автореферат диссертации по электронике, 05.27.01, диссертация на тему:Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки

ВВЕДЕНИЕ.

1. СЕНСОРНЫЕ И АКТЮАТОРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МОЭМС.

1.1. Анализ принципов построения сенсорных и актюаторных элементов МОЭМС.

1.1.1. Технология объемной микрообработки.

1.1.2. ЬЮА-технология.7.:.;:.

1.1.3. Технология поверхностной микрообработки.

1.1.4. МиМРБ-технология.

1.2. Обзор сенсорных элементов МОЭМС.

1.2.1. Сенсоры температуры.

1.2.2. Сенсоры механических величин.

1.2.3. Сенсоры магнитного поля.

1.2.4. Сенсоры излучений.

1.2.5. Сенсоры химического состава.

1.3. Обзор актюаторных элементов МОЭМС.

1.3.1. Механические микронасосы и микросмесители.

1.3.2. Микрозеркала с электростатической активацией.

1.3.3. Микромеханические ключи.

1.4. Выводы.

1.5. Постановка задач диссертационной работы.

2. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНОГО СЕНСОРА МАГНИТНОГО ПОЛЯ.

2.1. Разработка интегральной конструкции сенсора магнитного поля.

2.2. Моделирование сенсора магнитного поля.

2.3. Методика проектирования сенсора магнитного поля.

2.4. Выводы.

3. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ АКТЮАТОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МОЭМС.

3.1. Разработка и исследование интегрального микрозеркала с электростатической активацией.

3.1.1 .Разработка конструкции интегрального микрозеркала с электростатической активацией.

3.1.2.Моделирование интегрального микрозеркала с электростатической активацией.

3.1.3. Методика проектирования интегрального микрозеркала с электростатической активацией.

3.2. Разработка и исследование интегрального поршневого механического микронасоса.

3.2.1. Разработка конструкции интегрального поршневого механического микронасоса.

3.2.2. Моделирование интегрального поршневого механического микронасоса.

3.2.3. Методика проектирования интегрального поршневого механического микронасоса.

3.2.4. Методика проектирования интегрального поршневого механического микросмесителя.

3.3. Выводы.

4. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЦИФРОВЫХ УСТРОЙСТВ НА ОСНОВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОМЕХАНИЧЕСИХ КЛЮЧЕЙ.

4.1. Разработка и исследование интегрального микромеханического ключа.

4.1.1. Разработка конструкции интегрального микромеханического ключа.

4.1.2. Моделирование интегрального микромеханического ключа.

4.1.3. Методика проектирования интегрального микромеханического ключа.

4.2. Разработка и исследование логических элементов на основе интегральных микромеханических ключей.

4.3. Методика проектирования цифровых устройств на основе интегральных микромеханических ключей.

4.4. Выводы.

Анализ современного состояния микроэлектроники позволяет сделать заключение о том, что с конца 80-х - начала 90-х годов одним из наиболее динамично развивающихся научно-технических направлений является разработка, исследование и применение микрооптикоэлектро-механических систем (МОЭМС) /1-14/.

Объем работ по разработке, исследованию и применению МОЭМС в 2002 году достигнет 38 млрд. долл. и будет расти. Причем, объем разработок в области систем подачи жидкости и газа, аналитических ДНК-чипов, оптических и микромеханических ключей, сетевых затворов и микродвигателей, в этот же году вырастет до 4,2 млрд. долл. /1,7-9/.

Микрооптикоэлектромеханическими системами, называют устройства с интегрированными в объеме или на поверхности твердого тела электрическими, оптическими и микромеханическими структурами. Статическая или динамическая совокупность этих структур обеспечивает реализацию процессов генерации, преобразования, передачи энергии и механического движения в интеграции с процессами восприятия, обработки, передачи и хранения информации /1,2/.

В рамках данного направления создаются миниатюрные чувствительные (сенсорные) и исполнительные (актюаторные) системы, в основе функционирования которых лежит использование классических принципов механики, оптики, электротехники и электроники твердого тела /1-8/.

Лидирующими организациями в области разработки и исследования элементной базы и средств проектирования МОЭМС, являются Berkeley Sensor & Actuator Center (BSAC), University of California (USA); Tanner Research (USA); Tima-CMP (France); Analog Devices (USA); Sandia National Laboratories (USA); Texas Instruments, Inc. (USA); Московский институт электронной техники (Технический университет) (Россия); Центр микротехнологии и диагностики Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета (Россия) и др. /1/.

В настоящее время одним из основных направления развития мик-рооптикоэлектромеханических систем является создание по интегральным технологиям сенсорных и актюаторных элементов на одном кристалле совместно с логическими устройствами /1,2,8/.

Невысокой стоимости таких систем можно добиться снижением стоимости проектирования, позволяющим избегать дорогостоящих ошибок при разработке элементов МОЭМС. Так как экспериментальные исследования занимают слишком много времени и слишком дороги, возникла необходимость применения средств математического моделирования на всех этапах проектирования микрооптикоэлектроме-ханических систем /15-17/. Математическое моделирование позволяет снизить время и затраты на проектирование, а также определить целесообразность развития той или иной технологии создания элементов МОЭМС /16,18/.

В современных микрооптикоэлектромеханических системах требуется обеспечить функционирование большого числа сенсорных и актюаторных систем. Выпустить же достаточное количество экспериментальной аппаратуры для тестирования даже самых критических комбинаций параметров и структур практически невозможно /15,16/.

Другое преимущество математического моделирования - возможность определения структуры, механических и физических параметров элементов МОЭМС, а также возможность с помощью моделирования проанализировать функционирование любого сенсорного или актюаторного элемента МОЭМС /15,16,19/.

Применение моделирования МОЭМС на основе механических и физико-топологических моделях, позволяет решить проблему анализа элементов МОЭМС, содержащих микромеханические элементы.

В связи с этим, задача разработки и исследования сенсорных и ак-тюаторных элементов и методик проектирования микрооптикоэлектро-механических систем является актуальной.

Целью данной диссертационной работы является разработка и исследование интегральных сенсорных и актюаторных элементов микрооп-тикоэлектромеханических систем, разработка методик проектирования МОЭМС.

Поставленная цель определяет следующие основные задачи:

1. Разработка интегральных сенсорных и актюаторных элементов МОЭМС, изготовленных по технологии поверхностной микрообработки.

2. Разработка и исследование физико-топологических и механических моделей сенсорных и актюаторных элементов МОЭМС.

3. Разработка методик моделирования элементов МОЭМС.

4. Разработка методик проектирования элементов МОЭМС.

Научная новизна диссертационной работы выражается в следующем:

1. Разработана и исследована физико-топологические модель интегрального сенсора магнитного поля, позволяющая определять не только индукцию магнитного поля, но и направление его воздействия.

2. Разработаны и исследованы механические модели интегральных микрозеркала с электростатической активацией, поршневого механического микронасоса и микросмесителя на его основе, микромеханического ключа и логических элементов на его основе, выполненных по технологии поверхностной микрообработки.

Предложенные интегральные сенсорные и актюаторные элементы МОЭМС, методики моделирования и проектирования МОЭМС разработаны при выполнении НИР и могут быть использованы в практике проектирования микрооптикоэлектромеханических систем.

Основные результаты работы докладывались: на V-VII Международной научно-технической конференции «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники» (с. Дивноморское, 19982000гг.); на IV-V Всероссийской научной конференции студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления» (г. Таганрог, 1998-2000гг.); на 44-48 научно-технических конференциях ТРТУ (г. Таганрог, 1998-2002гг.); Всероссийской научно-технической дистанционной конференции «Электроника» (г. Москва, 2001г.); IV Всероссийской научной конференции с международным участием молодых ученых и аспирантов «Новые информационные технологии. Разработка и аспекты применения» (г. Таганрог, 2001г.); VIII ежегодной Международной научно-технической конференции студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика» (г. Москва, 2002г.); IX Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2002» (г. Москва, 2002г.).

По теме исследований опубликовано 17 печатных работ, в ВНИИТЦ зарегистрировано 10 отчетов по НИР, выполненных при участии автора. Подана заявка на патент РФ.

Основные положения и результаты, выносимые на защиту: - интегральные конструкции сенсора магнитного поля, микрозеркала с электростатической активацией, поршневого механического мик9 ронасоса и микросмесителя на его основе, микромеханического ключа и цифровых логических элементов на его основе;

- физико-топологическая модель интегрального сенсора магнитного поля;

- механические модели интегрального микрозеркала с электростатической активацией, интегрального поршневого механического микронасоса и микросмесителя на его основе, интегрального микромеханического ключа;

- методики проектирования интегрального сенсорных (интегральный сенсор магнитного поля) и актюаторных (интегральное микрозеркало с электростатической активацией, интегральный поршневой механический микронасос и микросмеситель на его основе, микромеханический ключ и цифровые логические элементы на его основе) элементов МОЭМС.

В результате выполнения теоретических и экспериментальных ис следований в рамках настоящей диссертационной работы решены сле дующие основные задачи и получены следующие результаты:

1. Разработаны конструкции интегрального сенсора магнитного по ля; интегрального микрозеркала с электростатической активацией, инте грального поршневого механического микронасоса и микросмесителя на его основе, и интегрального микромеханического ключа, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки.2. Разработана физико-топологическая модель сенсора магнитного поля и механические модели интегрального микрозеркала с электростати ческой активацией, интегрального поршневого механического микронасо са и микросмесителя на его основе, и интегрального микромеханического ключа для нормального и инверсного режимов работы.3. Разработано УНВЕ-описание предложенньпс цифровых логиче ских элементов на основе интегральных микромеханических ключах.4. Разработаны методики проектирования предложенных сенсора магнитного поля, интегрального микрозеркала с электростатической акти вацией, интегрального поршневого механического микронасоса и микро смесителя на его основе, интефального микромеханического ключа и цифровых логических элементов, посфоенных на его основе, позволяю щие проектировать интефальные сенсорные и актюаторные элементы МОЭМС с приемлемым соответствием заданным требованиям.В ходе выполнения диссертационной работы, полученные результа ты нашли практическое применение в научно-исследовательских работах №№13055, 13001, 13090, 13054, 13060, 13091, 13056, 13056/4, 13063, 13460, выполняемых в период с 1999г. по 2002г. в учебно-научнотехническом центре факультета электроники и приборостроения (УНТЦ ФЭП) и кафедре конструирования электронных средств (КЭС), и в учеб ном процессе ТРТУ /146,147, см. прил.2/.Полученные результаты позволяют сделать вывод об эффективности использования предложенных методик проектирования сенсора магнитно го поля, предназначенного для определения величины индукции магнит ного поля и направления его воздействия; интегрального микрозеркала с электростатической активацией, интегрального поршневого механическо го микронасоса и микросмесителей на его основе; интегрального микро механического ключа и цифровых устройств на его основе, алгоритмов и программ при проектировании интегральных сенсорных и актюаторных элементов МОЭМС на основе разработанных элементов.

1. Д.МКлимов, А.А.Васильев, В.В.Лз^инин, П.П.Мальцев. Перспективы развития микросистемной техники в X X I веке // Микросистемная техника.- 1999.- № 1 . - 3-6.

2. Л.В.Соколов. Сенсорные твердотельные микроприборы и микросистемы на основе MEMS-технологии // Зарубежная электронная техника.-1999.-№1.-С.93-116.

3. А.В.Корляков, В.В.Лучинин, П.П.Мальцев. Микроэлектромеханические структуры на основе композиции «карбид кремния-нитрид алюминия // Микроэлектроника.- 1999.- Т.28, № 3 . - 201-212. 4. А.Васенко, В.Епифанов, В.Юдинцев. Микроэлектромеханическиесистемы. Настало время выходить в свет // Электроника: Наука, Технология, Бизнес-1998.-№5-6.-С.55-59.

5. А.В.Корляков, В.В.Лучинин. Перспективная элементная база микросистемной техники // Микросистемная техника.- 1999.- № 1 . - 1215.

6. Л.Ю.Бочаров, П.П.Мальцев. Состояние и перспективы развитиямикроэлектромеханических систем за рубежом // Микросистемнай техника.- 1999.- № 1 . - 41-46.

7. Л.В.Соколов. Твердотельные микроприборы и микросистемы с интегрированными микромеханическими структурами // Зарубежная электронная техника - 1998 - №2 - 62-79.

8. M.A.Michalicek. Introduction to micromechanical systems. URL:http://mems.colorado.edu.

9. S.T.Picraux, P.J.McWhorter. The broad sweep of integrated microsystems// IEEE Spectrum.- december 1998.- pp.24-33.

10. G.B.Hocker. MEMS-based sensors. URL: http://bsac.eecs.berkeley.edu.

11. R.S.Muller. Microactuators. URL: http://bsac.eecs.berkeley.edu.

12. В.В.Лучинин, П.П.Мальцев, Е.П.Маляков. «Широкозонные материалы - основа экстремальной электроники будущего». Микроэлектроника.-1999.-Т.28, №1-С.21-29.

13. В.В.Лучинин, Ю.М.Таиров. «Карбид кремния - перспективный материал электронной техники». Известия вузов. Электроника.- 1997.№1.-С.10-37.

14. Z.Mrcarica, V.B.Litovski, H.Detter. Modeling and simulation ofmicrosystems using hardware description language // Microsystem Technologies.- 1997.- pp.80-85.

15. G.K.Fedder. Structured design of integrated MEMS. URL:http://www.ece.cmu.edu.

16. А.Н.Бубенников. Моделирование интегральных микротехнологий,приборов и схем: Учеб. пособие для спец . «Физика и технология материалов и компонентов электронной техники». - М.: Высшая школа, 1989.-320.: ил .

17. П.П.Мальцев, В.А.Телец, А.Ю.Никифоров. Технология и изделиямикроэлектромеханики // Микросистемная техника.- 2001.- №10.С.18-24.

18. К.Э.Петерсен. Кремний как механический материал // ТИИЭР.1982.-Т.70,№5.-С.5-49.

19. F.Yalcinkaya, E.T.Powner. Intelligent structures // Sensor Review.1996.-vol.16, #2.-pp.32-37.

20. R.A.Lawes. Fabrication technology for microengineering // SensorReview.- 1996.-vol. 16, #2.-pp. 16-22.

21. MEMS technologies. URL: http://tima.imag.fr.

22. S.Mir. Design and test of next generation integrated systems embeddingMEMS // Invited talk at the 2nd Electronic Circuits and Systems Conference (ECS 99).- 1999.

23. В.В.Лучинин, Ю.М.Таиров, А.А.Васильев. Особенности материаловедческого и технологического базиса микросистем // Микросистемная техника.- 1999.- № 1 . - 7-11.

24. В.Д.Вернер, А.Н.Сауров. Метод самоформирования в технологиимикросистем // Известия вузов. Электроника.- 2000.- №4-5.- 118123.

25. W.Ehrfeld, V.Hessl, H.Lowe, Ch.Schulz, L.Weber. Material of LIGAtechnology // Microsystem Technologies.- 1999.- #5.- pp. 105-112.

26. R.Ruprecht, T.Hanemann, V.Piotter, J.Haugelt. Polymer materials formicrosystem technologies // Microsystem Technologies.- 1998.- #5.pp.44-48.'

27. A.Both, W.Bacher, M.Heckele, K.-D.Muller, R.Ruprecht, M.Strohrmann.Fabrication of LIGA-acceleration sensors by aligned molding // Microsystem Technologies.- 1996.- #2- pp. 104-108.

28. В.А.Колясников, Т.Я.Рахимбабаев. Синхротронное излучение в микротехнологии // Микросистемная техника.- 2000.- № 1 . - 9-13.

29. H.-J.Ritzhaupt-Kleissl, W.Bauer, E.Gunther, J.Laubersheimer, J.Haubelt.Development of ceramic microstructures // Microsystem Technologies . 1996.-#2.-pp.l30-134.

30. R.Knitter, E.Gunther, C.Odemer, U.Maciejewski. Ceramicmicrostructures and potential application // Microsystem Technologies.1996.-#2.-pp.l35-138.

31. A.Thies, V.Piotter, O.F.Hagena. A new method for mass fabrication ofmetallic microstructures // Microsystem Technologies.- 1998.- #4.p p . U O - m .

32. W.Menz, W.Bacher, W.Bier, O.F.Hagena, J.Mohr, D.Seidel. Combinationof LIGA with other microstructure technologies // Microsystem Technologies.- 1996.- #2.- pp.162-166.

33. В.А.Колясников, Т.Я.Рахимбабаев. Микрожидкостные системы и ихреализация с использованием LIGA-технологии // Микросистемная техника.- 1999.- JNol.- 15-21.

34. И.В.ГОДОВИЦЫН, Н.А.Шелепин, Г.А.Лыженкова. Формирование поверхностных микромеханических структур из пленок поликремния // Известия вузов. Электроника.- 1997.- №2. - 49-54.

35. D.A.Koester, R.Mahadevan, B.Hardy, K.W.Markus. MUMPs designhandbook. Revision 5.0. URL: http://www.memsrus.com.

36. W.Sun, W.J.Li, Y.Xu. A MUMPs angular-position and angular-speedsensor with off-chip wireless transmission // Microsystem Technologies.2001.-PP.63-70.

37. И.М.Викулин, В.И.Стафеев. Полупроводниковые датчики.- М.: Сов.радио.- 1975.- 104с.

38. И.А.Каляев, В.Н.Котов, В.Г.Кливдухов, А.П.Кухаренко. Микроэлектронные сенсорные системы: опыт создания и применения // Микросистемная техника.- 1999.- № 1 . - 32-35.

39. О.А.Агеев, В.М.Мамиконова. В.В.Петров, В.ИКотов,О.Н.Негоденко. Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Учебное пособие. - Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000.153 с.

40. Б.Подлепецкий. Интегральные полупроводниковые сенсоры: состояние и перспективы разработок // Chip news.- 1998.- №5(26).- 3845.

41. E.T.Powner, F.Yalcinkaya. Intelligent sensors: structure and systems 7/Sensor Review.- vol.15, #3.- pp.31-35.

42. В.И.Захаров, А.О.Олеск. Пленочные терморезисторы // Зарубежнаяэлектронная техника.- 1983.- №5. - 43-75.

43. Е.П.Осадчий. Проектирование датчиков для измерения механических величин. - М.: Машиностроение, 1979.- 480 с.

44. О.В.Панкратов, Р.С.Брехов, А.И.Погалов, Н.А.Шелепин. Разработкаи исследование интегральных пьезорезистивные акселерометров // Известия вузов. Электроника.- 1997.-№1.-0.57-61.

45. А.И.Погалов, О.В.Панкратов. Микроэлектронные пьезорезистивныеакселерометры // Известия вузов. Электроника.- 2000.- №2. -С .95102.

46. В.П.Тимошенков, П.Тимошенков, А.А.Миндеев. Разработка конструкции микрогироскопа на основе КНИ-технологии // Известия вузов. Электроника.- 1999.-№6.-С.46-50.

47. Н.А.Шелепин. Кремниевые микросенсоры и микросистемы: от бытовой техники до авиационных приборов // Микросистемная техника.2000.-№1.-С.40-43.

48. C-F.Yung, K.Ishihara. Integrated Sensors // M I L Annual Report. Microelectromechanical Devices.- 1999.- p.55. URL: http://www-mtl.mit.edu.

49. В.Л.Будкин, В.А.Паршин, В.Прозоров, А.КСаломатин,B. М.Соловьев. Инерциальные датчики для систем навигации и ориентации // Микросистемная техника.- 2000.- №2. - 31-34.

50. L.M.Roylance, J.A.Angell. А batch-fabricated silicon accelerometer //

51. EE Trans. Electron Devices.- 1979.- vol. ED-26.- pp.1911-1917.

52. Б.Г.Коноплев, И.Е.Лысенко. Сенсор ускорения по трем направлениям // Известия ТРТУ. - Таганрог: ТРТУ, 2001, № 1 . - 96-97.

53. И.М.Викулин, Л.Ф.Викулина, В.И.Стафеев. Гальваномагнитные приборы.- М.: Радио и Связь.- 1983.- 104 с.

54. А.И.Галушков, Ю.А.Чаплыгин. Кремниевые магниточувствительныеинтегральные схемы // Известия вузов. Электроника.- 1997.- № 1 . C. 53-56.

55. В.В.Амеличев, Ю.А.Чаплыгин. Интегральный сенсор магнитного поля комбинированного типа // Известия вузов. Электроника.- 1998.№2.-С.41-44.

56. Г.П.Балтес, Р.С.Попович. Интегральные полупроводниковые датчикимагнитного поля // ТИИЭР.- 1986.- т.74, №8. - 60-90.

57. М.А.Королев, ИА.Шумский. Интеллектуальные измерительныемикросистемы на основе структуры кремний-на-изоляторе // Известия вузов. Электроника.-1998.-№5.-С.34-38.

58. А.И.Галушков, Ю.А.Чаплыгин. Интегральные магниточувствительные микросистемы // Известия вузов. Электроника.- 2000.- №4-5.С. 124-127.

59. В.В.Амеличев, А.И.Галушков, Ю.А.Чаплыгин, В.Шубин. Интетральные магниточувствительные матрицы с высоким уровнем разрешения // Известия вузов. Электроника.- 2000.- № 1 . - 45-50.

60. В.Гуменюк, Б.И.Подлепецкий, А.Б.Симаков. Магниточувствительные полупроводниковые преобразователи // Зарубежная электронная техника.- 1983.- №7.- 33-67.

61. А.В.Корляков, В.В.Лучинин, М.В.Четвергов. Сенсоры "жесткого"ультрафиолетового излучения на основе широкозонных материалов // Микросистемная техника.- 2000.- №2. - 9-15.

62. Ф.Г.Агаев. Кремниевые микроэлектронные фотоприемники ближнего ИК-диапазона//Известия вузов. Электроника.-2001.-№5.- 6871.

63. A.Pauchafd, B.Furrer, Z.Randjelovic, A.Rochas, D.Manic, R.S.Popovic.1.tergrated microsystem for blue/ultraviolet detection // Sensor Review.2000.- vol.20, # 1.- pp.31 -35.

64. А.В.Евдокимов, М.Н.Муршудли, Б.И.Подлепецкий, А.Е.Ржанов,С.В.Фоменко, В.И.Филиппов, С.Якимов. Микроэлектронные датчики химического состава газов // Зарубежная электронная техника.1988.-№2.-С.З-40.

65. Б.И.Подлепецкий, А.Б.Симаков. Микроэлектронные датчики влажности // Зарубежная электронная техника.- 1987.- №2. - 64-98.

66. А.А.Евстрапов, Д.О.Муравьев, В.ПКотов, В.Е.Курочкин. Люминесцентные^ сенсоры кислорода: тенденция и перспектива развития // Микросистемная техника.- 2000.- №4.- 27-32.

67. В.Е.Земляков, Р.Г.Крышталь, А.В.Медведь, В.В. Шемет. Газовыйдатчик с перестраиваемой селективностью на основе ПАВ-волновода //Микросистемная техника.-2000.-№4.-С.40-43.

68. T.M.Berlicki. Thermal vacuum sensor with compensation of heat transfer// Sensors and Actuators - 2001.- #A93.- pp.27-32.

69. R.Kocache. Gas sensors // Sensor Review.-1994.- vol. 14, #1.- pp.8-12.

70. G.Pasciak, W.Mielcarek. Thick film N02 sensor // MicrosystemTechnologies.- 1996.- #3.- pp.28-30.

71. И.Е.Лысенко. Трехмерный интегральный микрозажим // V Всероссийская научная конференция студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления» (КРЭС2000).-Таганрог: ТРТУ, 2000.- 224-225.

72. T.Ebefors, E.Kalvesten, G.Stemme. New small radius joints based onthermal shrinkage of polyimide in V-grooves for robust self-assembly 3D microstructures // J. Micromech. Microeng.- 1996.- #8.- pp. 188-194.

73. A.Olsson, G.Stemme, E.Stemme. A valve-less planar fluid pump with twopump chambers // Sensors and Actuators.- 1995.- #46-47.- pp.549-556.

74. A.Olsson, P.Enoksson, G.Stemme, E.Stemme. A valve-less planar isotropically etched in silicon // Journal of Micromechanics and Microengineering.- 1996.- #6- pp. 87-91.

75. K.E.Petersen. Dynamic micromechanics on silicon: techniques and devices // i E E E Trans, on Electron Devices.- 1978.- vol. ED-25, #10.pp.1241-1250.

76. J.W.Judy, R.S.Muller, H.H.Zappe. Magnetic microactuation of polysiliconflexure structures // Journal of microelectromechanical systems.- 1995.vol.4,#4.-pp.l62-169.

77. Y . Y i , C.Liu. Machanically-stable micro assembly using magnetic actuation. URL: http://galaxy.ccsm.uiuc.edu.

78. M.Khoo, C.Liu. Development of a micromachined membrane magneticactuator for biomedical application. URL: http://galaxy.ccsm.uiuc.edu.

79. Б.Г.Коноплев, И.Е.Лысенко. Моделирование интегральной микросборки элементов МОЭМС с использованием шарниров на основе полиимида // «Перспективные информационные технологии и интеллектуальные системы», 2001.- №4(8).- 52-58 (URL http://pitis.tsure.ru)

80. L.Cao, SJVTantell, D.Polla. Design and simulation for an implantablemedical drug delivery system using microelectromechanical systems technology // Sensors and Actuators.- 2001.- #A94.- pp. 117-125.

81. А.В.Корляков, В.В.Лучинин, И.В. Никитин. Применение SiCмикронагревательных систем в микросистемной технике / /Микросистемная техника.- 2000.- №2.- 27-31.

82. Л.Ю.Бочаров, И.Д.Эпинатьев. Состояние и перспективы развитияподводных мини- и микроробототехнических систем за рубежом // Микросистемная техника.- 2000.- №4.- 39.

83. T.Ebefors, J.U.Mattsson, E.Kalvesten, G.Stemme. A walking silicon micro-robot// The 10th Int. Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers'99), Sendai, Japan.- 1999.- pp.1202-1205.

84. Inch-worm stepper motor. URL: http://www.ece.umn.edu.

85. L.Dellmann. The elastic force motor. URL: http://www-imt-dr.unine.ch.

86. T.MuUer, J.Gimsa, B.Wagner, G.Fuhr. A resonant, dielectric micro-motordriven by low ac-voltages (<6V) // Microsystem Technologies.- 1997.#3.-pp.l68-170.

87. B.Zhai, S.-P.Lim, K.-H.Lee, S.Dong, P.Lu. A modified ultrasonic linearmotor // Sensors and Acttiators.- 2000.- #86.- pp. 154-158.

88. Кремниевый микронасос - новое достижение микрообработки //Электроника.- 1990.- №8 (837).- 7-8.

89. J.C.Rife, M.I.Bell, J.S.Horwitz, M.N.Kabler, R.C.Y.Auyeung, W.J.Kim.Miniature valveless ultrasonic pumps and mixers // Sensors and Actuators.-2000.-#86.-pp. 135-140.

90. C.Vieider. Pneumatically actuated micro valve. URL:http://www.imc.kth.se

91. D.Xu, L.Wang, G.Ding, Y.Zhou, A .Yu, B.Cai. Characteristics andfabrication of NiTi/Si diaphragm micropump // Sensors and Actuators.2001.-#A93.-pp. 87-92.

92. W.Wijngaart, A.Olsson, P.Enoksson, G.Stemme. Valve-less diffusermicropumps. URL: http://www.s3.kth.se.

93. S.Bohm, W.Olthuis, P.Bergveld. A plastic micropump constructed withconventional techniques and materials // Sensors and Actuators.- 1999.#77.-pp.223-228.

94. A.Tuantranont, L.-A. Liew, V.M.Bright, J.Zhang, W.Zhang, Y.C.Lee,Bulk-etched surface micromachined and flip chip integrated micromirror array for infrared applications. URL: http://mems.colorado.edu.

95. H.Fujita, H.Toshiyoshi. Optical MEMS // lEICE Trans. Electron.- 2000.vol. E83-C, #9.- pp. 1427-1434.

96. C.Marxer. 2x2 Fiber optic switch. URL: http://www-imt-dr.unine.ch.

97. Torsional micromirror. URL: http://www.memcad.com.

98. K.Jung, J.Lee, B.Choi. Numerical analyses of the micromirror for projection TV using F E M // Microsystem Technologies.- 2001.- #7.- pp.75-79.

99. П.И.Иванов, В.Е.Челноков. Полупроводниковый карбид кремниятехнология и приборы // Физика и техника полупроводников.- 1995.Т.29,№11.-С.1921-1943.

100. W.V.Munch, Р.Ноеск. Silicon carbide bipolar transistor // Solid-StateElectronics.- 1978.- vol.21.- pp.479-480.

101. Разработка высокопроизводительных вычислительных микросистемвысокой надежности и живучести на основе суперкристаллов (заключительный отчет), инв. №02.20.00 01020, рук. темы Коноплев Б.Г., исполнитель Лысенко И.Е. - Таганрог: ТРТУ, 1999, 79с.

102. Properties Of Silicon Carbide.// Edited by Gary L. Harris. MaterialsScience Research Center of Excellence Howard University, Washington, DC, USA.

103. Справочник no электротехническим материалам в 3-х томах. Подред. Ю.В. Корицкого.- 1988. Ш.Б.Г.Коноплев, И.Е.Лысенко. Сенсор магнитного поля на основе карбида кремния // Известия вузов. Электроника.- 2001.- №4. - 78-82.

104. Б.Г.Коноплев, И.Е.Лысенко. Сенсор для определения модуля и направления индукции магнитного поля // Всероссийская научнотехническая дистанционная конференция «Электроника». - Москва, 2001.URL: http://econf allvuz.ru.

105. И.Е.Лысенко. Моделирование сенсора магнитного поля // VIII ежегодная Международная научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика».Москва: Изд-во МЭИ, 2002.- Т.1.-С.212.

106. Исследование физических основ создания интегральных карбидкремниевых структур и моделирование их характеристик (промежуточный отчет), инв. №02.20.00 02598, рук. темы Коноплев Б.Г., исполнитель Лысенко И.Е.- Таганрог: ТРТУ, 1999, 27с.

107. Исследование физических основ создания интегральных карбидкремниевых структур и моделирование их характеристик (заключительный отчет), инв. №02.20.01 01189, рук. темы Коноплев Б.Г., отв. исполнитель Лысенко И.Е. - Таганрог: ТРТУ, 2000, 30с.

108. А.Г.Захаров. Физические основы микроэлектроники. Учебное пособие. Таганрог: Изд-во ТРТУ.- 1999.-221с.

109. Я.Таруи. Основы технологии СБИС: Пер. с япон.- М.: Радио исвязь.-1985.-480с.

110. Т.Сугано, Т.Икома, Ё.Такэиси. Введение в микроэлектронику: Пер. сяпон.-М.: Мир.- 1988.-320с.

111. И.П.Степаненко. Основы микроэлектроники: Учебное пособие длявтузов.-М.: Сов. радио-1980.-424с.

112. Сухоруков А.И., Лысенко И.Е. Численные методы решения уравнения Пуассона // Известия ТРТУ. - Таганрог: ТРТУ, 2000.- № 1.С.138-139.

113. M.Ruff, H.Mitlehner, R.Helbig. «SiC devices: physics and numericalsimulation)) // IEEE Transactions on Electron Devices.- 1994.- vol.41.№6.-pp.l040-1053. 114. M.Bakowski, U.Gustafsson, U.Lindefeh. «Simulation of SiC high powerdevices)) // Phys. stat. sol.- 1997.- №162.- pp. 421-439.

115. И.Е.Лысенко. Моделирование устройства управления интегральныммикрозеркалом // IX Всероссийская межвузовская научнотехническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика- 2002)).- Москва: МИЭТ, 2002.- 71.

116. А.И.Сухоруков, И.Е.Лысенко. Разработка дисплея с плоским сенсорным экраном // Известия ТРТУ.- Таганрог: ТРТУ, 1999.- №2 . - 141.

117. Х.Кухлинг. Справочник по физике: Пер. с нем.- М.: Мир.- 1982.520 с.

118. И.В.Савельев. Курс общей физики: Учеб. пособие. В 3-х т. Т.1. Механика. Молекулярная физика.- 3-е изд., испр.- М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.-432 с.

119. А.В.Александров, В.Д.Потяпов, Б.П.Державин. Сопротивление материалов: Учеб. Для вузов.- М.: Высшая школа, 1995.- 560 с.

120. В.ИБутенко, А.Д.Захарченко, И.В.Косов, Д.Л.Ретивова,А.А.Сущенко. Механика машин, механизмов и приборов. Информационно-справочное пособие. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000.- 248 с.

121. И.Н.Бронштейн, К.А.Семендяев. Справочник по математике для инженеров и учащихся вузов.- 13-е изд., испр.- М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.- 544 с.

122. Б.Г.Кон6плев, И.Е.Лысенко. Интегральный термопневматическиймикронасос // Известия ТРТУ. - Таганрог: ТРТУ, 2002, № 1 . - 141142.

123. Исследование методов проектирования высоконадежных микроэлектронных компонентов базовой вычислительной системы (заключительный отчет), инв. №02.20.00 02710, рук. темы Коноплев Б.Г., отв. исполнитель Лысенко И.Е. - Таганрог: ТРТУ, 1999,62с.

124. Разработка элементной базы, методов и средств проектирования высокопроизводительных СБИС высокой надежности (заключительный отчет), ГР №01.20.01 15758, рук. темы Коноплев Б.Г., исполнитель Лысенко И Е . - Таганрог: ТРТУ, 2001, 61с.

125. И.Е.Лысенко. Особенности проектирования сверхбыстродействующих БМК // IV Всероссийская научная конференция студентов и аспирантов- «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления» (КРЭС-98).- Таганрог: ТРТУ, 1998. - 235-236.

126. И.Е.Лысенко. Моделирование микромеханического ключа // VIIIежегодная Международная научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика».- Москва: Изд-во МЭИ, 2002.- Т .1 . - 212-213.

127. М.Ф.Пономарев. Конструкции и расчет микросхем и микроэлементов ЭВА; Учебник для вузов.- М.: Радио и связь, 1982.- 288с.

128. L.Castaner, A.Rodrigues, J.Pons, S.D.Senturia. Pull-in time-energy product of electrostatic actuators: comparison of experiments with simulation // Sensors and Actuators.- 2000.- #83.- pp.263-269.

129. A.Dewey, J.H.Hillman, B.Hillman, KDussault, G.Fedde, E.Christen,K.Bakalar, H.Carter, B.F.Romanowics. VHDL-AMS modeling considerations and styles for composite systems. Version 2.0. URL: http ://www. hamster, com.

130. Е.В.Авдеев. Аналоговые и смешанно-сигнальные расширения VHDL:Учебное пособие.- М.: МИЭТ, 200.- 92с.

131. Аналоговая и цифровая электроника (Полный курс): Учебник для вузов / Ю.Ф.Опадчий, О.П.Глудкин, А.И.Гуров; Под ред. О.П.Глудкина.- М.: Горячая Линия - Телеком, 2000.- 768с.

132. Коноплев Б.Г., Итенберг И.И., Солодовников СВ. , Рындин Е.А., Ковалев А.В., Лысенко И.Е. Проектирование специализированных СБИС на основе ПЛИС с использованием САПР Mentor Graphics. Руководство к лабораторной работе. - Таганрог: ТРТУ, 2000. 43 с.

133. Коноплев Б.Г., Итенберг И.И., Ивченко В.Г., Ковалев А.В., Лысенко И.Е. Моделирование специализированных СБИС с использованием языка VHDL. Руководство к лабораторной работе. - Таганрог: ТРТУ, 2000. 20 с.