автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.14, диссертация на тему:Разработка и исследование технологических методов изготовления, контроля и юстировки оптических элементов и устройств инфракрасных приборов

9 15-5/353

На правах рукописи

Со-—

Солк Сергей Вольдемарович

РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ, КОНТРОЛЯ И ЮСТИРОВКИ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И УСТРОЙСТВ ИНФРАКРАСНЫХ ПРИБОРОВ

Специальность: 05.11.14 - Технология приборостроения

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук

Санкт-Петербург - 2015

Работа выполнена в Санкт-Петербургском национальном исследовательском университете информационных технологий, механики и оптики

Научный консультант: доктор технических наук, профессор

Медунецкнй Виктор Михайлович

Официальные оппоненты: Тупиков Владимир Алексеевич

доктор технических наук, профессор Зам. Ген. директора

НПП «Авиационная и Морская Электроника»

Гордеев Сергей Константинович

доктор технических наук Нач. лаборатории ОАО «ЦНИИМ» Кузьмин Владимир Николаевич доктор технических наук, профессор Зам. Ген. директора ООО «НТП «ТКА»

Ведущая организация: ОАО «ЛОМО»

Защита состоится "29 " июня 2015г. в 15:00 ч. на заседании диссертационного совета Д.212.227.04. при Санкт - Петербургском национальном исследовательском университете информационных технологий, механики и оптики по адресу: 197101, г. Санкт-Петербург, Кронверкский пр., д.49.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Санкт-Петербургского национального исследовательского университета информационных технологий, механики и оптики по адресу 190000, Санкт-Петербург, пер. Гривцова, д. 14 и на сайте fppo.ifnio.ru.

Ваши отзывы и замечания по автореферату (в двух экземплярах), заверенные печатью, просим направлять в адрес университета: 197101, г. Санкт-Петербург, Кронверкский пр., д.49, учвному секретарю диссертационного совета Д.212.227.04.

Автореферат разослан "21 " мая 2015 г.

Учёный секретарь диссертационного совета

доктор технических наук, профессор

МедунецкиЙ В.М

Российск; государстве! библиотек

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы исследования. В настоящее время всё более широкое распространение получают инфракрасные (ИК) приборы, используемые в научных исследованиях, в медицинских целях, при проведении спасательных работ, в военном деле, в охранной и антитеррористичсской деятельности, а также во многих других областях. Свою эффективность они доказали как во время вооружённых конфликтов в Югославии и Персидском заливе, так и в период эпидемии атипичной пневмонии, когда медики с их помощью выявляли людей с повышенной температурой в аэропортах и других общественных местах.

По данным зарубежной печати (в частности, ряду публикаций в Photonics Spectra) такие технически развитые страны, как США, Япония, Великобритания, инвестируют сотни миллионов долларов в исследования и разработки в области ИК-техники. Однако в России очень мало работ (статей, монографий) по ИК-технике, их количество не соответствует интересу, проявляемому к её развитию и применению. Особенно это стало заметно в последнее десятилетие, когда произошёл качественный скачок в производстве инфракрасных фотоприёмных устройств (ФПУ).

Увеличение формата и уменьшение размеров пиксела многоэлементных ФПУ, появление двух- и многодиапазонных ФПУ обусловило повышение требований к показателям качества оптических элементов (ОЭ) и оптико-механических систем (ОМС). Возникла необходимость разработки новых и совершенствование существующих технологических методов изготовления, контроля и испытаний.

Производство ИК оптических элементов и устройств - сложный наукоёмкий и высокотехнологичный процесс. Перед проектировщиками, технологами, сотрудниками оптотехнических лабораторий встают проблемы, не возникающие при проектировании, изготовлении и испытании систем видимого диапазона, например, связанные с собственным излучением оптических элементов и элементов конструкции. В ОЭ широко применяются материалы, непрозрачные в видимой области спектра, это требует разработки новых методик измерения и юстировки.

Применение современных прогрессивных технологий позволяет разрабатывать новые конструкции как отдельных элементов, так и приборов в целом, использовать новые материалы и добиваться более высокого качества промышленной продукции, что, в конечном счете, определяет престиж страны как индустриальной державы и её конкурентоспособность в условиях рыночной экономики. Особенно это характерно для высокотехнологичных наукоёмких изделий.

Разработанные технологии, методики и схемные решения могут использоваться и для ОМС, работающих в других спектральных диапазонах. Поэтому разработка и исследование технологических методов изготовления,

з

контроля и юстировки ОЭ и устройств ИК-приборов является важной и актуальной задачей.

Степень разработанности темы. Значительный вклад в исследование теоретических вопросов, связанных с разработкой и применением инфракрасных ОМС, внесли М.М. Мирошников, Г.Т. Петровский, В.А. Тупиков. Расчёт оптических систем и контроль их параметров выполнен в работах М.М. Русинова, А.П. Граммэтина, С.А. Родионова, Г.И. Цукановой, Л.Н. Архиповой, В.Н. Кузьмина, B.C. Нужина. Технология изготовления ИК оптических элементов, их конструкции, новые перспективные материалы предложены C.B. Любарским, С.К. Гордеевым, Ю.П. Химичем. Конструкции высокоточных ОМС представлены в работах С.М. Латыева, Е.Р. Маломеда, М.Н. Сокольского. В настоящее время в России работы по проектированию, изготовлению и исследованию ИК ОМС ведутся в ГОИ им. С.И. Вавилова, Университете ИТМО, ЛОМО, НИИ ОЭП, НПО ГИПО, НПК СПП. За рубежом аналогичные работы ведутся такими фирмами, как Umicor IR Glass (Франция); Fresnel Technologis, Inc., Lockheed (США); Fujinon, Seiko (Япония).

Цель и задачи работы. Целью исследования, имеющей важное народнохозяйственное значение, является разработка научно-методических подходов, методик и технологий, обеспечивающих повышение показателей качества оптических элементов и устройств ИК-приборов.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи.

1. Разработка инновационных технологий изготовления оптических элементов и оптико-механических узлов, а также новых конструкций на основе этих технологий.

2. Разработка и совершенствование методик контроля заготовок ОЭ, непрозрачных в видимой области спектра. Разработка методик измерений оптических параметров ИК ОМС.

3. Разработка методик и устройств для испытания стойкости оптических элементов и покрытий к воздействию окружающей среды.

4. Разработка методики обеспечения показателей качества промышленной продукции с учётом жизненного цикла и необходимых затрат ресурсов.

5. Разработка принципов построения конструкций термонерасстраиваемых ОМС, контроля состояния покрытий ОЭ и газовой среды внутри ОМС в процессе их эксплуатации.

6. Внедрение разработанных методик, конструкций и технологий на приборостроительном предприятии, выпускающем наукоёмкие высокотехнологичные приборы.

Научная новизна работы состоит в том, что:

1. Определены новые возможности алмазного микроточения (AMT), расширяющие области применения этой технологии и позволяющие решать новые технологические задачи (изготовление пресс-форм, разработка совмещённых технологий, исследование технологической наследственности).

2. Предложен новый подход к конструированию оптико-механических модулей (ОММ) и разработана технология низкотемпературной пайки для их изготовления.

3. Рассмотрены эффекты, к которым приводит неравномерность коэффициентов пропускания в различных зонах зрачка ИК-объективов с высоким относительным отверстием.

4. Предложено использовать физические свойства ряда оптических материалов (кварца, лейкосапфира и др. с аномально высоким коэффициентом отражения в некоторых областях спектра) для создания трёхдиапазонных спектроделителей.

5. Предложена новая методика обеспечения показателей качества высокотехнологичной наукоёмкой продукции, предполагающая анализ достигнутой результативности и затрат ресурсов на различных этапах жизненного цикла изделия.

Теоретическая и практическая значимость работы. Разработанные технологии, методики измерений и конструкции на их основе позволяют обеспечивать высокие показатели качества инфракрасных оптико-механических систем. Для их реализации может использоваться имеющееся на некоторых предприятиях России станочное и контрольно-измерительное оборудование.

Предложенные новые технические решения могут также быть использованы при проектировании и изготовлении ОМС, работающих в других спектральных диапазонах. Разработанные технологии могут применяться в других отраслях промышленности, например, машиностроении и электронной промышленности.

Теоретическая часть работы выполнена в Университете ИТМО, практическая - в НИИ ОЭП.

Методы исследования. При решении поставленных задач использованы методы и положения теоретической и прикладной оптики, основные положения теории планирования эксперимента, пакет программ расчёта оптических систем Zemax, программная среда Excel.

Положения, выносимые на защиту

1. Совмещённые технологии, позволяющие объединить операции формообразования и сборки.

2. Технология вакуумного прессования ОЭ с использованием алмазного микроточения для изготовления рабочих поверхностей пресс-форм.

3. Технология пайки оптических материалов и металлов с использованием индия, позволяющая создавать оптико-механические модули.

4. Методика исследования технологической наследственности материалов с использованием технологии AMT.

5. Метод контроля состояния покрытий ОЭ и газовой среды внутри оптико-механической системы. Методика построения схем и конструкций коллимирующих ОЭ светодиодных излучателей для данного метода.

6. Методика входного контроля оптических материалов, непрозрачных в видимой области спеюра; методика контроля положения визирной оси ИК ОМС

с переменным фокусным расстоянием, методика измерения фокусировки телескопических ИК ОМС.

7. Методика обеспечения показателей качества (ПК), основанная на анализе жизненного цикла изделия и вариантов достижения ПК с учетом результативности и требуемых для этого затрат ресурсов.

Достоверность полученных в диссертационной работе результатов, научных рекомендаций и выводов основывается на положениях прикладной математики и физики, результатах экспериментов, контроле оптических и геометрических параметров оптико-механических систем и их опытной эксплуатации.

Результаты диссертационной работы представлялись и обсуждались на различных конференциях, опубликованы в виде научных статей, материалов и тезисов конференций.

Апробация работы. Основные результаты работы представлены на:

Всесоюзной конференции «Оптические зеркала из нетрадиционных материалов» (Москва, 1989);

Научно-технической конференции «Технология производства и обработки оптического стекла и материалов» (Москва, 2000);

Совещании «Кремний-2004» (Иркутск, 2004);

17, 18,19, 20,21-й Международных научно-технических конференциях по фотоэлектронике и приборам ночного видения (Москва, 2002,2004,2006, 2008, 2010);

- Конференциях «Лазеры. Измерения. Информация» (Санкт-Петербург. 2002,2003,2006,2007);

1,2, 3-й Международных конференциях «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности» (Санкт-Петербург, 2005,2006,2007);

- Международных конференциях «Прикладная оптика» (Санкт-Петербург, 2000, 2004, 2006, 2008, 2010,2014);

- Научно-практической конференции «Оптика - XXI век» (Москва, 2005);

- Международной научно-технической конференции «Четвёртые Уткинские чтения» (Санкт-Петербург, 2009);

14-й Всероссийской конференции «Актуальные проблемы защиты и безопасности» (Санкт-Петербург, 2011);

Международной конференции «Фундаментальные и прикладные проблемы надёжности и диагностики машин и механизмов» (Санкт-Петербург, 2011);

Х1Л научной и учебно-методической конференции НИУ ИТМО (Санкт-Петербург, 2011);

Секции технологии машиностроения и приборостроения в Доме учёных (Санкт-Петербург, 2012,2014);

4-м Международном семинаре по проектированию и технологиям в области оптического приборостроения IODTS'12 (Санкт-Петербург, 2012); - Научно-практической конференции «Оптико-электронные комплексы наземного и космического базирования» (Лыткарино, 2014).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 84 печатных работы, в том числе одна монография, 27 работ в изданиях из перечня ВАК, 8 патентов, из них 4 - на изобретения.

Реализация в промышленности. Разработанные конструкции, методики и технологии нашли практическое применение в научно-исследовательских и опытно-консгрукторских работах в НИИ ОЭП (Сосновый Бор, Ленинградская область). Они использовались при проектировании, изготовлении и испытании следующих изделий: ИК-объектив ИК-05 с дискретно изменяющимся фокусным расстоянием для зенитно-ракетного комплекса Палаш, крупногабаритный (апертура 1,1 м) ИК-объектив Берет-01, низкофоновый гермонерасстраиваемый ИК-объектив Сажень ТА-ИК; отдельных узлов и оптических элементов глубокоохлаждаемых объективов Копьё, Пика, Асфар-22, сканирующих систем НП, Якорь, многоспектральной системы Атолл и др.

Структура и объём работы. Диссертационная работа состоит из введения, 6 глав, заключения, списка использованной литературы, включающего 391 наименования, и шести приложений. Диссертация содержит 288 страниц, 47 рисунков и 10 таблиц.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ Во введении обоснована актуальность диссертационной работы, сформулированы цель и задачи исследования, обоснована научная новизна исследований, показана научная и практическая значимость результатов работы, представлены положения, выносимые на защиту.

В первой главе проанализировано современное состояние проблемы повышения показателей качества инфракрасных оптических элементов и систем.

Выполнен обзор публикаций, посвящённых современным технологиям изготовления ИК оптико-механических систем, конструкциям на основе этих технологий и методикам контроля. Отмечается, что наиболее перспективна для формообразования ИК оптических элементов технология алмазного микроточения. Подчёркивается, что при работе в ИК-диапазоне, в отличие от оптико-механических систем видимого, УФ и ближнего ИК-диапазонов, необходимо учитывать собственное излучение, создаваемое оптическими элементами и элементами конструкции, и стремиться к минимизации его воздействия на фотоприёмные устройства. Показана важность разработки методик контроля оптических параметров на всех стадиях жизненного цикла оптико-механической системы - от заготовок оптических элементов до системы в целом, связанная с тем, что известные методики, работающие в видимом диапазоне спектра, далеко не всегда могут быть использованы d ИК-диапазоне. Подчёркивается повышенный интерес к разработке конструкций и технологий

многоспектральных оптических систем, позволяющих значительно повысить объём и точность получаемой информации.

Во второй главе рассматриваются методы повышения показателей качества промышленной продукции. Показана целесообразность подхода к обеспечению качества продукции с учётом достигаемой результативности и требуемых затрат (временных, людских, технических, экономических и экологических ресурсов) на её разработку, изготовление и эксплуатацию. Под результативностью понимается степень реализации запланированной деятельности и достижения запланированных результатов.

Разработана методика, которая может быть использована при проектировании высокоточных наукоёмких изделий. Методика включает следующие этапы.

1. Определение цели проекта и показателей качества, которые требуется обеспечить. Выявление значимости различных показателей качества.

2. Рассмотрение жизненного цикла изделия и вариантов обеспечения показателей качества для каждой стадии.

3. Рассмотрение взаимного влияния выбранных вариантов на другие ПК.

4. Определение необходимых затрат ресурсов для всех вариантов.

5. Принятие решения о выборе конкретного варианта.

На рис. 1 приведена схема жизненного цикла ИК оптико-механической системы. Ветвь «А» - единичное производство (изготовление опытного образца), «В» - серийное, или массовое, производство. Установлено, что для обеих ветвей необходимо отдельно рассматривать варианты (технологические и конструкторско-технологические) обеспечения показателей качества.

«с»

«А»

Происгоровмнс

Изготовление

1!

«в»

Проопнровмие

1 1||

Я И

и н

Нзготомсние

«*

I а 8 8 $ В-

§ ч £ в| I

Рис. 1. Жизненный цикл оптико-механической системы прибора

Для сложных дорогостоящих изделий, например крупногабаритных оптических систем, необходимо дополнительно предусмотреть наличие ветви «С» - модернизации изделий.

Рассмотрены организационно-технические мероприятия, позволяющие сократить временные затрат на изготовление опытного образца изделия.

В третьей главе рассмотрены технологические методы обеспечения показателей качества ОМС.

Предложена классификация требований к конструкции оптических элементов, изготавливаемых алмазным микроточением. Первая группа требований определяется типом и техническими характеристиками станка AMT, ко второй относятся требования, обусловленные функциональным назначением проектируемого оптического элемента. Разработан компенсационный метод устранения астигматизма глубокоохлаждаемых ОЭ, возникающего при охлаждении их до криогенных, порядка 20 К, температур. Метод заключается в том, что при формообразовании ОЭ вводится дисбаланс (к шпинделю станка крепится груз требуемой массы), что вызывает астигматизм заданной величины и направления. При охлаждении ОЭ до рабочих температур из-за разницы в коэффициентах термического расширения по разным осям (направлениям проката) возникает астигматизм, компенсирующий полученный при формообразовании.

Представлена методика, позволяющая при разработке технологии AMT новых материалов (получение требуемой шероховатости рабочей поверхности) с минимальными временными затратами определить режимы резания, геометрические параметры резца, вид смазочно-охлаждающей жидкости (СОЖ) и способ её подачи. IIa первом этапе используются методы планирования полнофакторного эксперимента 2к (к - число варьируемых факторов). На этом этапе модель строится для таких факторов, как частота вращения шпинделя, глубина резания, подача. Модель позволяет получать поверхности со среднеквадратической (Rq) шероховатостью порядка 10 нм. Проведённые эксперименты показали, что использование другого станка AMT аналогичного типа, другого резца с такими же геометрическими параметрами или того же резца после переточки приводило к изменению коэффициентов регрессии на 2030 %.

На втором этапе применялись методы решения экстремальных задач. Проведённые эксперименты показали, что симплексный метод, метод Гаусса-Зейделя или метод крутого восхождения по поверхности отклика недостаточно эффективны и излишне сложны. Поэтому был предложен алгоритм, согласно которому величина среднеквадратической шероховатости поверхности рассматривалась как функция от типа резца с определёнными геометрическими параметрами (Т), типа СОЖ (Р) и способа ее подачи (V):

Rq=fiJn. Pm. V,\

где л - число типов резцов, используемых в эксперименте, m - число видов СОЖ, s - число способов подачи СОЖ в зону резания.

9

Так как наиболее трудоёмкой операцией является замена резца, то эксперимент проводился при фиксированном значении одной из составляющих. Устанавливался резец определённого типа. Затем проводилось AMT образца для всех возможных комбинаций «тип СОЖ-способ её подачи», после чего измерялось значение Rq.

С использованием предложенной методики впервые разработаны технологии формообразования оптических элементов AMT из магниевых сплавов и БрХ1 (хромистой бронзы). Отработаны режимы резания, определены углы заточки резцов, виды СОЖ. Rq полученных поверхностей не превышает 7 нм. ОЭ из магниевых сплавов (благодаря низкой плотности магния) используются в качестве сканирующих зеркал в пространстве изображений. Достигнутое за счет этого снижение их массы позволяет использовать менее мощные и габаритные двигатели. Зеркала из БрХ1 используются в высоконагруженных охлаждаемых лазерных системах.

С целью упрощения технологии AMT и повышения точности взаимного расположения поверхностей впервые разработаны совмещённые технологии, позволяющие объединить сборку с формообразованием ОЭ.

На рис. 2 приведена схема сканера, состоящего из шести призм 1-6 с разными углами наклона граней к основанию ßi- Рб и планшайбы 3, к которой призмы крепятся винтами. На первом этапе изготавливаются планшайба и призмы, а на втором этапе, в процессе сборки, выдерживаются углы аир. Рабочие поверхности зеркал могут изготавливаться как AMT, так и полированием.

et

Технология AMT позволяет совместить процессы сборки и формообразования. Планшайба устанавливается на глобусном столе.

К планшайбе крепится призма с наибольшим углом ß, рабочая поверхность которой затем обрабатывается на станке AMT. Далее глобусный стол разворачивается на углы аир, устанавливается следующая призма и проводится её формообразование. Последовательность установки и обработки призм должна обеспечивать «выход» резца (резец не должен касаться ранее установленных и обработанных призм).

Эксперименты показали, что такая технология позволяет обеспечить погрешность углов а и ß в пределах ± 5" (при использовании глобусного стола с погрешностью ± 2"). При использовании традиционной технологии погрешность составляет ± 30".

На рис. 3 приведен однолинзовый германиевый объектив со сферической поверхностью Б и асферической В, входящий в состав ИК-интерферометра. Жёсткие требования к торцевому биению этих поверхностей относительно базовых Г и Д потребовали разработки совмещённой технологии, которая заключается в изготовлении заготовки линзы 1 и обработке сферической поверхности Б. Затем линза устанавливается в корпус 2 и закрепляется кольцом 3, после чего осуществляется центрировка (например, при помощи трубки Забелина или датчика линейных перемещений) по поверхности Б с обработкой поверхностей Г и Д. После этой операции линза в оправе устанавливается на станок AMT и базируется по поверхностям Г и Д, далее осуществляется формообразование асферической поверхности В.

Точность, обеспечиваемая такой технологией, зависит от используемого оборудования и радиусов рабочих поверхностей линзы. Проведённые эксперименты показали, что торцевое биение асферической поверхности не превышает 0,0015 мм.

Рис. 3. Конструкция однолинзового ИК-объектива

Впервые разработана методика исследования технологической наследственности с использованием технологии AMT. Поверхность, обработанная AMT, представляет собой дифракционную решётку, параметры которой зависят от режимов резания (подачи и глубины резания) и используемого инструмента (радиуса заточки резца), поэтому при оценке качества обработанной поверхности могут быть использованы методики и установки, применяемые для контроля дифракционных структур.

На рис. 4 представлена схема установки для исследования технологической наследственности. Луч от гелий-неонового лазера 1 падает на проточенную алмазным резцом поверхность 2 под углом 45° и, отражаясь от неё, образует на экране 3 дифракционную картину. Если вместо экрана установить приёмник излучения 4, перемещающийся по линейке 5, можно проводить измерения распределения энергии по дифракционным максимумам и расстояния между ними.

Рис. 4. Схема установки для исследования технологической наследственности

Проведённые эксперименты показали, что образцы из одних и тех же материалов, обработанные на станке AMT при одинаковых режимах одним и тем же резцом, дают разные дифракционные картины, если образцы имеют разную технологическую наследственность, то есть прошли разную механическую и термическую предварительную обработку.

Впервые разработана технология вакуумного прессования ОЭ с использованием пресс-форм (ПФ), формообразование рабочих поверхностей которых осуществляется AMT. Получение ПФ, позволяющей изготовить тысячи ОЭ, дорого и трудоёмко. Из-за усадки материала и других технологических факторов, после изготовления и контроля пробной партии ОЭ, необходима корректировка формы рабочих поверхностей ПФ. При высоких требованиях к рабочим поверхностям ОЭ такой процесс может повторяться неоднократно. В этом случае целесообразно использовать технологию AMT. Детали ПФ с

1

поверхностями оптического качества изготавливаются из алюминиевых сплавов или латуни, а их формообразование осуществляется на станке AMT. Использование стали невозможно из-за быстрого разрушения алмазного резца. Использование сверхпрецизионного станка с компьютерным управлением позволяет получить высокоточную, в том числе асферическую, поверхность ПФ, а также оперативно корректировать её по результатам измерений опытной партии ОЭ.

Были проведены эксперименты по вакуумному прессованию ОЭ из полиметилметакрилата (ПММК) и инфракрасных стёкол с апертурой до 40 мм и толщиной 5-8 мм с плоскими и сферическими поверхностями. Проведённые измерения ОЭ показали, что при таком подходе возможно получение 5-10 ОЭ с точностью формы порядка N/AN 5/1 для ПММК и 8/4 - для инфракрасного стекла при шероховатости рабочих поверхностей порядка 6 нм. Используя несколько образцов ОЭ, возможно позволяет создать макет прибора без использования дорогостоящей оснастки.

Разработана методика получения ОЭ с заданным взаимным расположением рабочих поверхностей. Такие ОЭ могут использоваться, например, в исследовательских целях. Изготовленный ОЭ с двумя сферическими поверхностями, центры кривизны которых не совпали на доли микрометра, был использован в экспериментальной установке для исследования термодеформаций. Предложено использовать технологию AMT для изготовления ОЭ с линейной и угловой децентрировками, имеющими заданные величину и азимут. Такие ОЭ могут быть использованы как в целях проверки обоснованности допусков, заданных расчетчиком оптической системы, так и для компенсации погрешностей изготовления корпусных деталей.

Рассмотрены варианты расширения технических возможностей станков путём координатных преобразований уравнений асферических поверхностей при некоторой потере точности изготовления этих поверхностей. Проанализирована возможность использования предложенных решений для станков AMT токарного типа. Установлено, что методы координатных преобразований оптических поверхностей могут применяться только для узкого набора специальных условий. Для широкого круга практически важных задач они не обеспечивают необходимой точности.

В объективах и других ОМС широко применяются диафрагмы с постоянным и изменяемым световым отверстием. Показана целесообразность изготовления в условиях единичного и мелкосерийного производства лепестков диафрагм (из стальной ленты марок У8А, СТ1, Х18Н9) лазерной резкой вместо вырубки специально изготовленным штампом. В работе для изготовления лепестков диафрагм была использована установка, включающая импульсно-

периодический или непрерывный лазер на гранате с неодимом (1=1,06 мкм), устройство транспортировки и фокусировки излучения в зону воздействия, устройство для подачи в зону реза рабочего газа, трехкоординатный стол, контроллер шаговых двигателей координатного стола и персональный компьютер, а также устройство удаления мелкодисперсных продуктов резки. Установлена предпочтительность использования импульсно-периодического лазерного излучения и подачи кислорода в качестве рабочего газа для получения качественных изделий.

Разработана технология пайки металлов и неметаллов с помощью чистого индия или его сплавов. Показано, что адгезия припоя к поверхности существенно зависит от степени шероховатости поверхности. Удовлетворительная прочность спая может быть получена только при шероховатости соединяемых поверхностей не более Rz<0,l мкм. Необходимое значение шероховатости может быть получено традиционными способами полирования, обработкой на станках AMT или химической полировкой.

Разработана методика создания оптико-механических модулей, конструкция которых обеспечивает повышение производительности труда и упрощение формообразования оптических поверхностей, проведение контрольных операций, нанесение вакуумных покрытий, сборку и юстировку оптических систем. ОММ включают металлическую оправу, содержащую базовые поверхности, резьбовые и гладкие отверстия, герметично припаянную к оптическому элементу. Изготовлены и испытаны ОММ из германия, кремния, ситалла, кварца и стекла, спаянные с оправами из алюминиевых и медных сплавов, титана и инвара. Установлено, что оптимальной является комбинация, при которой коэффициенты термического расширения оптических и механических материалов близки.

Получены спаи кремний-кремний, которые герметичны для воздуха и воды, но пропускают газообразный гелий. Образцы были помещены в охлаждающую жидкость типа «тосол» на один год, в течение которого их свойства не изменились, что позволяет предположить возможность изготовления по этой технологии охлаждаемых лазерных зеркал.

Впервые разработана методика центрировки металлических зеркал со сферическими и асферическими рабочими поверхностями, использующая вихретоковые датчики линейных перемещений. Использование бесконтактных датчиков, не чувствительных к диэлектрическим материалам, позволяет покрыть рабочую поверхность лаком ЛФ, который легко снимается «чулком». Лак защищает оптическую поверхность от стружки и СОЖ в процессе обработки базовых поверхностей.

Разработана комплексная технология изготовления из алюминиевых сплавов крупногабаритных зеркал с плоскими рабочими поверхностями, включающая в себя:

алмазное микроточение для создания базовой макроформы (минимизация сферичности и местных ошибок);

доводку свободным притиром (минимизация астигматической ошибки и снижение коэффициента рассеяния за счёт уменьшения шероховатости поверхности).

Показана целесообразность использования голографических оптических элементов при сборке двухзеркальных оптических систем. С их помощью выставляется расстояние между зеркалами и устраняются заклоны зеркал относительно визирной оси. Такая технология сборки, позволяющая проектировать системы с «недоисправленными» фокусами, рассмотрена на примере юстировки крупногабаритного ИК-объектива, спроектированного по схеме Кассегрена с «недоисправленным» фокусом Эпса Шулте и блоком переноса изображения, непрозрачного в видимой области. Показана целесообразность дополнительного задания допусков на точность формы кольцевых зон зеркал с учётом их работы при юстировке системы в видимом диапазоне.

В четвертой главе рассмотрены конструкгорско-технологические методы обеспечения показателей качества ИК ОМС.

Отмечается, что основным направлением развития современных ОМС является обеспечение многоспектральности. Предложена методика создания многоспектральных ОМС. Показана возможность использования для разделения каналов оптических систем некоторых физических свойств ряда оптических материалов, в частности, сильной зависимости коэффициента отражения от длины волны.

На рис. 5 представлен разработанный по этой методике однолинзовый объектив диаметром Э и толщиной Н, в котором использовано такое свойство кварца, как наличие высокого коэффициента отражения в ИК-диапазоне. Объектив, представляющий собой ОЭ, выполненный из кристаллического кварца, работает одновременно в трёх спектральных диапазонах и имеет единую визирную ось. На сферической поверхности 1 радиусом в центральной зоне диаметром Б) нанесено полупрозрачное покрытие из германия. На сферической поверхности 2 радиусом кроме центральной зоны диаметром нанесено отражающее покрытие из алюминия. Излучение в спектральном диапазоне 8,010,0 мкм, отразившись от поверхности 1, фокусируется в плоскости А. В спектральном диапазоне прозрачности кварца 0,2-3,7 мкм излучение преломляется на поверхности 1 и отражается от поверхности 2. Затем излучение

диапазона 1,8—3,7 мкм преломляется на поверхности 1 в зоне Б) и фокусируется в плоскости В. Излучение диапазона 0,2-1,8 мкм отражается от поверхности 1 в зоне Оь преломляется на поверхности 2 в зоне Оз и фокусируется в плоскости С.

Рис. 5. Схема одноэлементного трёхдиапазонного спектроделителя

На рис. 6 приведен пример зеркально-линзового объектива, в котором аналогичный ОЭ из сапфира является одновременно спектроделителем и

Разработан работающий в спектральном диапазоне 0,4-10 мкм объектив с апертурой 600 мм, относительным отверстием 1:3 и полем зрения 1°. Объектив представляет собой модифицированную схему Ричи-Кретьена с линзовым

корректором. Коэффициент экранирования составляет 0,25. Модифицированная схема использована для того, чтобы отклонения параметров зеркал от теоретических вносили кому, которая компенсировала бы кому, вносимую линзовым корректором. Корректор является однолинзовым и, в отличие от традиционно применяемых, не является афокальным, а имеет оптическую силу. Для изготовления однолиизового корректора возможно использовать материалы, прозрачные в широком спектральном диапазоне без нанесения дополнительных просветляющих покрытий. В данном случае использован ВаР2. Такой подход позволяет, изменяя приёмники излучения в зависимости от задач и условий наблюдения, использовать один о&ьектив во всех спектральных диапазонах.

В таблице приведены диаметры пятен рассеяния и коэффициенты пропускания в центре и по полю.

Оптические характеристики многоспектрального объектива

Спектральный диапазон, мкм Диаметр кружка рассеяния, мм (концентрация энергии 83,8 %) Коэффициент пропускания без учета центрального экранирования

центр поля зрения, оНГОС край поля зрения, йНПО'

0,4-0,8 0,011 0,031 0,68

1,8-2,7 0,026 0,039 0,74

3,2-4,2 0,041 0,049 0,85

4,5-5,3 0,053 0,060 0,87

8,0-10,0 0,098 0,159 0.82

Объективы, рассчитанные по описанной схеме, имеют «недоисправленный фокус» - увеличенный диаметр пятна рассеяния в фокальной плоскости двухзеркальной системы. У рассмотренного выше объектива диаметр пятна рассеяния в видимом диапазоне на оси (без линзового компенсатора) менее 10 мкм, что не приводит к усложнению сборки и юстировки. Однако в ряде случаев увеличение пятна рассеяния значительно усложняет юстировку, так как традиционно сначала по виду дифракционной точки юстируется двухзеркальная система, а затем устанавливаются и юстируются линзовые компоненты.

Предложенная в главе 3 методика юстировки двухзеркальных систем с использованием голографических компенсаторов обеспечивает успешное решение поставленной задачи. Предложенные выше подходы к созданию многоспектральных систем позволяют избежать применения сложных многослойных покрытий, недостаточно стойких к воздействию внешней среды.

В качестве примера успешного применения технологии юстировки двухзеркальных систем приводится разработанный, изготовленный и испытанный объектив Берет-01 с диаметром главного зеркала 1,1м, работающий в спектральных диапазонах 0,4-0,8 и 8-12 мкм. Объектив имеет фокусное расстояние 3600 мм, относительное отверстие 1:3, полный угол поля зрения 1°. Основной канал инфракрасный. Для работы в видимой области спектра в

объектив дополнительно устанавливается ФПУ видимого диапазона с предфокальным компенсатором полевых аберраций. Уменьшение паразитных фоновых засветок в ИК-диапазоне обеспечивает блок переноса изображения, являющийся также компенсатором аберраций. Пятно рассеяния (80 % энергии) в фокальной плоскости двухзеркальной системы в центре поля составляет 0,35 мм. Использование системы с недоисправленным фокусом позволило уменьшить длину объектива при сохранении высокого относительного отверстия.

Показана целесообразность замены работающих в ИК-диапазоне призм зеркальными аналогами. Их использование позволяет работать в широком спектральном диапазоне, включая видимый, а также отказаться от дорогостоящих ИК-материалов. Преимущество металлических зеркал заключается в том, что их применение позволяет получить как рабочие, так и высокоточные базовые поверхности с гладкими или резьбовыми отверстиями на единой заготовке.

В качестве примера рассмотрены предложенная конструкция зеркального аналога призмы Аббе, технология изготовления деталей, сборки и юстировки. Разработанный зеркальный аналог призмы Аббе (рис. 7) состоит из четырёх основных деталей: призмы 1, плоского зеркала 2, втулки 3, а также корпуса 4, имеющего соосные цилиндрические пояски I и IV, с помощью которых призма может быть установлена на призматические лагеры и врашаться вокруг оптической оси при юстировке призмы.

134мм

Рис. 7. Зеркальный аналог призмы Аббе

Конструкция максимально упрощена. Все детали изготовлены из алюминиевого сплава АМгб. Плоское зеркало крепится к корпусу тремя, а

призма к втулке - двумя винтами, изготовленными из того же алюминиевого сплава. Такая конструкция обеспечивает работоспособность в широком температурном диапазоне и устойчивость к виброударным нагрузкам. Точность изготовления деталей такова, что не требуется дополнительных сложных юстировочных приспособлений.

Показана возможность использования светоизлучающих диодов в качестве источников излучения в контрольно-измерительных устройствах ИК оптико-механических систем. Разработаны, изготовлены и испытаны компактные устройства для коллимирования излучения светоизлучающих диодов.

На рис. 8 приведена схема конструкции, работающей со свеггоизлучающими диодами видимого и ближнего ИК-диапазона. ОЭ изготовлен вакуумным прессованием с использованием ПФ, с формообразованием рабочих поверхностей алмазным микроточением.

Особенностью схемы является то, что отражение от первой асферической поверхности (АП) осуществляется либо на зеркальном, либо на прозрачном участке за счет эффекта полного внутреннего отражения. Выполнен комплекс исследований, в результате которых были отработаны зеркально-отражающие вакуумные покрытия, обеспечивающие минимальные потери в видимом и ближнем ИК-диапазоне спектра. На преломляющую поверхность наносятся просветляющие покрытия, которые обеспечивают механическую защиту ОЭ, а также уменьшают долю УФ-излучения, попадающего внутрь концентратора. Последнее обстоятельство повышает срок службы за счет замедления процесса фотодеструкции полимера, стимулируемого УФ-излучением. Просветляющее покрытие дополнительно обеспечивает устойчивость к атмосферным воздействиям (включая влагостойкость), а также защиту от химически активных соединений, часто присутствующих в атмосфере.

4

1 -оптический элемент

2 - зеркальные участки

3 - полость изучающего кристалла,

заполненная иммерешшной средой 4 - шлучающнй кристалл

Рис. 8. ОЭ для коллимирования излучения светодиодов видимого и ближнего ИК-диапазонов

Излучающий кристалл светодиода помещается в фокусе оптического элемента, изготовленного из полимерного материала, рассчитанного таким образом, что любой луч, ограниченный углом 180°, после двух отражений и преломления параллелен оптической оси.

В целом потери излучения внутри концентратора за счет отражения и поглощения не превышают 5-6 %. Следует отметить, что, изменяя коэффициенты отражения и пропускания зеркального покрытия первой асферической поверхности, можно управлять диаграммой направленности излучения. Проведённые эксперименты показали эффективность такого технического решения при использовании конструкции в осветительных системах.

Разработана конструкция для излучающих диодов ИК-диапазона. Конструкция содержит параболическое зеркало и W-аксикон, 90 % энергии лежит в пучке с угловой расходимостью ±1,5°.

Предложена конструкция диафрагмы ИК-объектива. Диафрагмы, обращённые в сторону пространства предметов, изготовлены из материалов с высокой излучательной способностью или имеют покрытия с высокой излучательной способностью. Поверхности, обращённые в сторону пространства изображений, имеют низкую излучательную способность. Такая конструкция позволяет эффективно бороться с внешними фоновыми засветками и минимизировать собственное излучение, направленное в сторону приёмника. Величина излучательной способности должна быть определена в интервале спектральной чувствительности приёмника.

В пятой главе рассмотрены методы обеспечения показателей качества ИК ОМС на стадии контрольно-измерительных операций.

Впервые разработана методика контроля качества заготовок линз из непрозрачных в видимой области спектра материалов. Методика включает следующие этапы. С использованием инфракрасной коллиматорной установки измеряется функция рассеяния линии (ФРЛ); рассчитывается оптическая передаточная функция эталонного объектива в рабочем спектральном диапазоне. Затем перед эталонным объективом размещается заготовка линзы (плоскопараллельная пластина с отполированными плоскими поверхностями и заданной клиновидностью) и измерения повторяются. По результатам сравнения ФРЛ и оптической передаточной функции объектива и системы «объектив+пластина» определяется качество заготовки.

По разработанной методике исследовались заготовки из монокристаллических Si и Ge, в частности, були диаметром 150 и длиной 600 мм, выращенные методом Чохральского. Образцы вырезались из середины и краёв були. Измерения показали существенные различия в качестве образцов, это позволило сделать вывод о том, что для изготовления высокоточных ОМС необходим контроль каждой заготовки. Недостаток разработанной методики -сложность изготовления приёмной щели коллиматорной установки и низкое

соотношение сигнал/шум при измерении систем с малым (10-30 мм) диаметром входного зрачка.

Усовершенствована методика определения функции передачи модуляции (ФПМ), основанная на измерении функции рассеяния края. В отличие от известной методики, установленная в фокальной плоскости коллиматора щель является тест-объектом. Её изображение сканируется краем полуплоскости, установленной в плоскости изображения исследуемого объектива. Такое решение не требует изготовления щелей микронной ширины с жёсткими допусками. Сканирование краем полуплоскости позволяет получить исходные данные для расчёта ФПМ по разработанной программе.

Впервые разработана методика контроля параллельности визирных осей с дискретным или панкратическим изменением увеличения ИК-объективов при смене фокусных расстояний. Несовпадение визирных осей проявляется в смещении изображения относительно неподвижного приемника излучения. Методика предусматривает применение коллиматорной установки и специального анализатора положения точечного изображения тест-объекта, состоящего из двух узких протяженных щелей, расположенных под углом друг к другу так, что биссектриса угла перпендикулярна направлению перемещения анализатора. Размер анализатора не должен превышать размера чувствительной площадки фотоприемника, расположенного вблизи анализатора. Ширина щелей должна быть соизмерима с размером пятна рассеяния, а угол между щелями должен обеспечивать независимость определения энергетического центра тяжести пятна рассеивания при работе каждой из щелей. На рис. 9 представлена схема работы анализатора (А и В - положение пятен рассеяния при изменении фокусного расстояния).

Рис. 9. Схема измерения непараллельности визирных осей ИК-объектива

Перемещая анализатор вдоль оси А", совмещают щель 1 с изображением точки А (это положение анализатора хл)>. Далее с изображением точки А совмещают щель 2 (положение анализатора ха2). Затем так же определяют два

21

положения анализатора, когда в поле зрения находится точка В. Получим координаты хм и хы- По полученным четырем отсчётам можно определить координаты точек А и В в плоскости Х02\

Здесь 2р - угол между щелями I и 2. Затем рассчитывается расстояние между точками А и В:

Впервые разработана методика оценки расфокусировки телескопического расширителя с малым относительным отверстием в ИК-диапазоне спектра, использующая узкие пучки лучей, которые сходятся в фокусе системы «телескопический расширитель + эталонный объектив» под предельно большим углом, зависящим от относительного отверстия эталонного объектива. Если прошедшие эталонный объектив лучи параллельны, они собираются в фокальной плоскости объектива на выходе зеркального преобразователя, если не параллельны - вблизи фокальной плоскости. Величина расфокусировки системы, обусловленная расфокусировкой телескопического расширителя, рассчитывается по измеренным расстояниям между максимумами интенсивности в поперечных сечениях пучков лучей в плоскостях установки, расположенных на известном расстоянии симметрично относительно фокальной плоскости эталонного объектива.

„ _ Лы т Ам 2

1 2 3 4 7 Я

9

Л

10 12 13

Рис. 10. Принципиальная оптическая схема измерительного стенда

22

Схема измерительной установки приведена на рис. 10 (1 - источник излучения, 2 - светофильтр, 3 - щель переменной величины, 4 - модулятор, 5 -зеркальный объектив коллиматора, 6 - плоское зеркало, 7 - телескопический расширитель, 8 - прямоугольное зеркало, 9 - наклонные зеркала, 10 и 11 -эталонный объектив, 12- приёмная щель, 13 - приёмник излучения).

При изготовлении ИК ОМС крайне важной задачей является повышение коэффициента пропускания. Исследовано изменение коэффициентов пропускания серийно выпускаемых ИК-объективов с относительными отверстиями 1:0,7, работающих в спектральном диапазоне 8-12 мкм. Показано, что для различных радиальных зон зрачка пропускание может существенно (до 20 %) отличаться из-за больших углов падения и преломления. Проведённые эксперименты позволяют сделать следующие выводы.

1. Результаты измерения параметров объективов, характеризующих качество изображения (концентрация энергии в изображении точечного источника, функция передачи модуляции и др.) могут отличаться от расчётов. Это происходит в основном из-за уменьшения влияния сферической и хроматических аберраций.

2. Неравенство коэффициентов пропускания в различных зонах зрачка может приводить к тому, что не будет выполняться условие изменения освещённости изображения в два раза при изменении диаметра диафрагмы в л/2 раза.

3. Различие в углах падения и преломления лучей в разных зонах зрачка приводит к разнице в спектральном пропускании.

4. Целесообразно разрабатывать просветляющие покрытия с учетом площади преломляющих зон линз и углов падения и преломления для достижения максимально возможного суммарного коэффициента пропускания системы.

Разработана методика измерения коэффициента пропускания ИК-объектива, учитывающая неравномерность пропускания в различных зонах зрачка. Разработана методика измерения диаметра входного зрачка при наличии радиального изменения коэффициента пропускания. Отмечается важность проведения таких измерений при использовании фотоприёмного устройства с «холодной» диафрагмой.

Разработана методика измерения дисторсии ИК-объективов с использованием матричных фотоприёмников. Показано, что использование измеренных значений дисторсии при анализе изображений (вместо исправления дисторсии) в широкоугольных объективах позволяет значительно уменьшить количество линз и повысить коэффициент пропускания объектива. Показана возможность использования матричных фотоприёмников при измерении ФРЛ и ФРК.

На примере ИК-объективов с различным качеством изображения показана целесообразность проведения математического моделирования методом Монте-

Карло перед проведением измерений. Математическое моделирование позволяет оптимизировать число точек, в которых проводятся измерения, уровень усечения и определить погрешность измерений.

Проанализированы способы задания требований к точности формы асферических поверхностей. На сегодняшний день допуски задаются для рабочей или для контрольной длины волны в длинах волн или в микрометрах, как к поверхности, так и к волновому фронту. Иногда допуски могут задаваться для конкретной контрольной схемы. Предложено задавать требования только к точности формы рабочей поверхности и только в микрометрах.

В шестой главе рассмотрены методы обеспечения показателей качества ИК ОМС на стадии их эксплуатации. Проведённые испытания ИК ОМС показали, что наиболее распространённой причиной отказов при эксплуатации, как правило, в сложных климатических условиях (перепал температур, повышенная влажность, виброударные нагрузки), является деградация просветляющих, отражающих, спектроделительных и других покрытий ОЭ. Поэтому крайне важны контроль их состояния в готовом изделии и создание устройств, позволяющих имитировать рабочие условия для проведения физического моделирования.

Разработана методика контроля состояния газовой среды внутри ОМС и состояния покрытий ОЭ. Создано устройство, состоящее из светодиода и фотоприёмника, регистрирующего отражённый от рабочей поверхности оптического элемента поток излучения. Эксперименты показали, что разрушение покрытия приводит к изменению (как уменьшению, так и увеличению) снимаемого с фотоприёмника сигнала. Кратковременное уменьшение сигнала при изменении температуры связано с запотеванием оптических элементов.

(1? < Г ■ ■ ... I

1/ А/

Рис. 11. Схема термонерасстраиваемого ИК-объектива

Проведённые эксперименты показали недостатки устройства: его не всегда можно разместить таким образом, чтобы излучение отражалось от наименее

24

стойкого покрытия ОЭ; оно срабатывает, когда деградация покрытий ОЭ уже началась и необходимы повторные полировка оптических элементов и нанесение покрытий.

Устранить указанные недостатки позволило разработанное оптическое устройство (рис. 11). Излучение оптического излучателя 8 видимого диапазона отражается от контрольного оптического элемента 9, на рабочую поверхность которого нанесено покрытие, менее стойкое по сравнению с остальными покрытиями ОЭ ОМС, и попадает на приёмник излучения. Излучатель видимого диапазона прост в юстировке и не создаёт дополнительных помех. Также возможно использовать устройство, работающее с пропускающими излучение оптическими элементами. Испытания макетов ИК-объективов, снабжённых описанными устройствами, показали, что такой подход позволяет обеспечить достаточный объём информации о состоянии как оптических элементов, так и газовой среды внутри объектива.

Разработаны методики экспресс-контроля оптико-механических систем к воздействию таких факторов внешней среды, как влажная атмосфера, соляной туман и механические факторы (истирание, динамическое воздействие пыли), и комплекс аппаратуры, реализующий эти методики. Комплекс имеет малые габариты, прост в изготовлении и размещается на письменном столе. Его использование позволяет решить задачи оптимизации выбора материалов и технологий и в некоторых случаях - прогнозирования поведения изделия во времени.

Разработана методика создания термонерасстраиваемых ИК-объективов с относительным отверстием 1:5-1:8, предполагающая подбор материалов ОЭ и механических деталей, обеспечивающий минимальное изменение положения плоскости наилучшей установки и применению конструктивных решений для минимизации температурных градиентов в объективе. Спроектированный по схеме Максутова объектив (см. рис. 11) предназначен для наблюдения удалённых «точечных» объектов в спектральном диапазоне 3-5 мкм. Мениск 1 и зеркало 2 изготовлены из 81, корпус 3 объектива - из инвара. Трёхлинзовый Се-вО блок переноса изображения 4 служит для уменьшения фоновых засветок. Выходной зрачок объектива совпадает с «холодной» диафрагмой (ХД) приёмника 5. Входной зрачок расположен на оправе мениска. Относительное отверстие объектива 1:6, фокусное расстояние 600 мм, коэффициент экранирования 0,26. Полное угловое поле зрения 1,1°. Пятно рассеивания для 83,8 % энергии составляет 95 и 110 мкм для центра и края поля соответственно.

Выбраны такие материалы ОЭ и корпуса, что изменение диаметра пятна рассеяния в температурном диапазоне ±40 °С составляет 0,002 мм. Недостатком такой системы является невысокое относительное отверстие, однако локальный световой поток от бесконечно удалённого предмета пропорционален площади входного зрачка и не зависит от фокусного расстояния ОС. Таким образом, уменьшение относительного отверстия приводит только к увеличению дифракционного пятна, что допустимо в ряде случаев.

Проведён ряд экспериментов по измерению температуры механических и оптических элементов при работе объектива в полевых условиях (солнечный день, температура окружающей среды -20 °С). Результаты измерений показали значительную разницу температур (до 3 °С) нерадиального характера отдельных ОЭ и разницу температур (до 7 °С) первой и последней линз объектива.

Проведённые эксперименты показали, что наилучшей защитой от нагревания объектива солнечным излучением служит дополнительный экран 6, покрытый краской с низкой поглощательной (в спектральной области излучения Солнца) способностью. Наибольший эффект возникает в случае применения стального листа с полированной поверхностью. Между экраном и корпусом объектива размещаются про ставки из материала с низкой теплопроводностью, например из ситалла 7. Такие конструктивные решения позволяют уменьшить температурные градиенты ОЭ в несколько раз.

Заключение

В процессе выполнения диссертационной работы получены следующие основные результаты.

1. Разработаны рекомендации по разработке конструкции оптических элементов, изготавливаемых алмазным микроточением.

2. Впервые разработаны совмещённые (позволяющие объединить операции формообразования и сборки) технологии.

3. Впервые показана возможность использования технологии AMT для изготовления рабочих поверхностей пресс-форм.

4. Впервые разработаны технологии формообразования ОЭ из магниевых сплавов (изготовление малогабаритных лёгких зеркал), хромистой бронзы (силовые охлаждаемые зеркала) AMT.

5. Впервые разработана методика исследования технологической наследственности материалов с использованием технологии AMT.

6. Разработана технология пайки оптических материалов и металлов при помощи индия. Предложена методика создания оптико-механических модулей.

7. Впервые разработана методика создания трёхдиапазонных спектроделителей, основанная на физических свойствах некоторых оптических материалов.

8. Разработаны методики создания ОЭ доя коллимирования излучения светодиодов.

9. Разработана методика входного контроля материалов, непрозрачных в видимой области спектра, на ИК-коллиматоре. По этой методике исследованы образцы, полученные из различных зон заготовок монокристаллических германия и кремния.

10. Разработаны новые методики измерения оптических характеристик инфракрасных оптических систем - площади входного зрачка, положения визирных осей, ФПМ, расходимости излучения.

11. Исследовано пропускание ИК-объективов с большим относительным отверстием в различных зонах зрачка. Показано, что имеет место значительное падение пропускания на краю зрачка, исследованы эффекты, возникающие вследствие этого.

12. Разработаны и изготовлены установки для ускоренных испытаний покрытий ОЭ на перепад температур, влажность и соляной туман, истирание, динамическое воздействие пыли.

13. Разработана методика обеспечения показателей качества промышленной продукции с учётом жизненного цикла и затрат ресурсов, необходимых для их обеспечения.

Перспективы и тенденции развития инфракрасных оптико-механических

систем

Перспективы развития ИК-приборов во многом связаны с успехами электронной промышленности в части изготовления ФПУ. Снижение стоимости ИК-приборов позволит расширить области их применения. Например, на сегодняшний день в народном хозяйстве ИК-приборы крайне редко используются, хотя практика показала, что с их помощью можно находить места утечки тепла, несанкционированные врезки в трубопроводы и контролировать состояние трубопроводов, строительные работы (наличие скрытых полостей), состояние электропроводки и электрооборудования при минимальных затратах времени и труда. Повышение чувствительности ФПУ позволит использовать ИК-объективы с меньшими относительными отверстиями, что тоже уменьшит стоимость ИК-приборов.

ОМС, как и любые другие технические системы, развиваются по трём тесно связанным между собой, активно влияющим друг на друга направлениям: совершенствование существующих и разработка новых материалов, технологий и конструкций. Анализ литературных источников, проведённые исследования и разработки позволяют говорить о целесообразности проведения дальнейших работ по следующим направлениям.

1. Материалы:

- разработка новых материалов, которые могут быть использованы для изготовления ОЭ прессованием, литьём или другими способами, которые целесообразно применять в условиях серийного и массового производства;

создание материалов, прозрачных в широком спектральном диапазоне, особенно в видимой области спектра с увеличением габаритов заготовок;

- создание конструкционных материалов с КТР, близким к нулю, и с заданными КТР, изменяемыми в широком диапазоне значений. Использование материалов с заданными КТР (на сегодняшний день, в первую очередь, это армированные полимерные композиционные материалы, например, углепластики) позволяет создавать термонерасстраиваемые ОМС или

27

минимизировать диапазоны перемещения ОЭ, что обеспечивает повышение ПК и упрощение конструкции;

создание покрытий механических деталей ОМС, работающих одновременно в видимом и ИК-диапазонах. В видимом диапазоне покрытия должны обладать как можно более высоким коэффициентом поглощения, а в ИК-диапазоне - как можно более низким коэффициентом излучения. Конструкции с такими свойствами обеспечивают минимальные фоновые засветки ФПУ.

2. Технологии:

- разработка технологий получения заготовок ОЭ больших размеров, в первую очередь большого диаметра, прозрачных в инфракрасной (и видимой) области спектра. Заготовки большого диаметра и толщины позволяют создать ИК линзовые объективы с большими полями зрения, что невозможно в зеркальных и зеркально-линзовых системах. В зеркально-линзовых системах ОЭ из крупногабаритных заготовок позволяют создавать пылевлагозащтцённые или герметичные системы, устойчивые к неблагоприятному воздействию окружающей среды;

- разработка технологии изготовления заготовок для градиентных оптических ИК-элементов. Создание градиента показателя преломления позволяет значительно упростить конструкцию оптической системы - исключить асферические поверхности или сделать их более технологичными, сократить число линз;

- развитие технологий AMT в части изготовления киноформов на асферических поверхностях. Использование в оптических системах таких ОЭ позволяет уменьшить количество линз и повысить качество изображения;

разработка технологии AMT стеклообразных (инфракрасных стёкол) и твёрдых (кремния) материалов;

- разработка технологий лезвийной обработки заготовок из армированных полимерных композиционных материалов с целью получения прецизионных деталей.

3. Конструкции;

- разработка новых конструкций многоспектральных зеркально-линзовых крупногабаритных ОС. Применение новых конструкций для спектроделения;

разработка широкоугольных и сверхширокоугольных линзовых ИК-объективов, работающих с ФПУ с охлаждаемыми диафрагмами;

разработка конструкций зеркальных объективов с повышенными углами поля зрения;

разработка систем для микросканирования (сдвига изображения в пределах одного пиксела ФПУ.

СПИСОК ОСНОВНЫХ РАБОТ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

Монографии

1. Солк C.B. Обеспечение показателей качества инфракрасных оптико-механических систем. СПб: Политехника-сервис, 2014.143 с. - 8,94/8,94 п.л.

Публикации из перечня ВАК

2. Солк C.B., Шевцов С.Е., Яковлев A.A. Особенности изготовления методом алмазного микроточения оптических элементов для систем транспортировки лазерного излучения // Оптический журнал. 1999. Т. 66. № 11. С. 87-89. -0,18/0,1 п.л.

3. Лебедев O.A., Сабинин В.Е., Солк C.B. Полимерная оптика для светоизлучающих диодов // Светотехника. 2001. № 5. С. 18-19. - 0,125/0,1 п.л.

4. Сабинин В.Е., Солк C.B. Проблемы проектирования и изготовления оптики из полимерных материалов // Оптический журнал. 2002. Т. 69. № 1. С. 61-64,-0,25/0,15 п.л.

5. Васильева Л.В., Лебедев O.A., Нужин B.C., Солк C.B. Проектирование и изготовление линзовых объективов для работы в инфракрасной области спектра // Оптический журнал. 2003. Т. 70. № 4. С. 72-75. - 0,25/0,08 п.л.

6. Нужин B.C., Нужин A.B., Солк C.B. Метод фокусировки лазерного телескопического расширителя в инфракрасной области спектра /У Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 2. С. 25-27. - 0,18/0,06 пл.

7. Сабинин В.. Солк С., Сараев О. Лидеры по критерию «стоимость-эффективность» // БДИ (безопасность-достоверность-информация). 2004. № 3 (54). С. 52-53. - 0,125/0,04 п.л.

8. Нужин B.C., Нужин A.B., Солк C.B. Контроль положения визирной оси инфракрасной оптической системы с переменным фокусным расстоянием // Оптический журнал. 2005. Т. 72. № 3. С. 34-36,- 0,18/0,06 п.л.

9. Нужин B.C., Солк C.B., Князев В.К. Разработка и изготовление зеркального аналога призмы Дове // Оптический журнал. 2005. Т. 72. № 6. С. 70-72.-0,18/0,1 п. л.

10. Солк C.B., Сабинин В.Е. Новые области применения технологии алмазного микроточения // Оптический журнал. 2005. Т. 72. № 11. С. 82-85. -0,25/0,15 п.л.

11. Нужин B.C., Нужин A.B., Солк C.B. Измерение функции передачи модуляции объективов с помощью матричных ПЗС-фотоприёмников // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 2. С. 55-57.-0,18/0,04 п.л.

12. Солк C.B., Яковлев A.A. Технология изготовления малогабаритных зеркал из магниевых сплавов // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 3. С. 84-85. -0,125/0,1 п.л.

13. Сабинин В.Е., Солк C.B. Использование индия в оптическом приборостроении // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 12. С. 34-36. -0,18/0,09 пл.

14. Головков В.А., Солк C.B. Одноэлементный термодетекгор // Изв. вузов. Приборостроение. 2010. Т. 53. № 12. С. 51-54.-0,25/0,12 пл.

15. Сабинин В.Е., Солк C.B., Лебедев O.A. Одноэлементный трёхдиапазонный спекгроделитель // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 6. С. 20-22.-0,18/0,1 пл.

16. Лебедев O.A., Сабинин В.Е., Солк C.B. Крупногабаритный многоспектральный объектив // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 11. С. 24-27. -0,25/0,1 пл.

17. Головков В.А., Солк C.B., Щербакова H.H. Возможность использования излучения ультрафиолетового диапазона для обнаружения б ли кующих оптических элементов // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 1. С. 38-41. -0,25/0,1 п.л.

18. Солк C.B., Лебедев O.A. Инфракрасный термонерасстраиваемый объектив //Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 38^0.-0,18/0,1 пл.

19. Солк C.B., Лебедев O.A. Проектирование и контроль широкоугольных ИК объективов // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 2. С. 45-47.-0,18/0,1 п.л.

20. Головков В.А., Емельянов В.Н., Солк C.B. Обнаружение нагретых движущихся малоразмерных объектов в ИК-диапазоне // Изв. вузов. Приборостроение. 2013. Т. 56. № 5. С. 40-44.-0,31/0,12 п.л.

21. Медунецкий В.М., Солк C.B. Методика обеспечения качественных показателей промышленной продукции /'/ Металлообработка. 2013. № 1(73). С. 38-42.-0,31/0,17 пл.

22. Медунецкий В.М., Солк C.B. Опыт применения и перспективы технологии алмазного микроточения // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2014. Т. 89. № 1. С. 165-170. -0,37/0,17 пл.

23. Медунецкий В.М., Солк C.B. Конструкторско-технологические методы повышения показателей качества инфракрасных оптико-механических систем // Изв. вузов. Приборостроение. 2014. Т. 57. № 8. С. 68-70. - 0,18/0,12 пл.

24. Бурбаев А.М., Латыев С.М., Леонтьева А.И., Солк C.B. Юстировка вращаемого зеркального аналога призмы Аббе // Оптика и спектроскопия. 2014. Т. 117. № 6. С. 157-162,- 0,37/0,05 пл.

25. Патент на изобретение № 2174646 РФ. Излучатель / В.Е. Сабинин, C.B. Солк, С.Е. Шевцов. 2000.-0,44/0,2 п.л.

26. Патент на изобретение № 2394258 РФ. Способ изготовления оптико-механического модуля / В.Е. Сабинин, C.B. Солк, A.A. Яковлев. 2010. -0,44/0,14 пл.

27. Патент на изобретение № 2434256 РФ. Светосильный широкоугольный линзовый объектив для ИК области спектра / O.A. Лебедев, В.Е. Сабинин, C.B. Солк. 2011.-0,62/0,25 п.л.

28. Патент на изобретение № 2446420 РФ. Катадиоптрическая система / O.A. Лебедев, В.Е. Сабинин, C.B. Солк. 2011. 0,5/0,2 п.л.

Другие публикации

29. Obraztsov V.S., AgeichikA.A., Larionov N.P., Lebedev О. A., Lukin A.V., Solk S. V. Alignment of Cassegrain telescope with Epps-Shulte focus // 9th Intern. Symp. on Measurement Technology and Intelligent Instruments. St. Petersburg, Russia, 2009. V. 3. P. 3-233-3-237.-0,25/0,07 п.л.

30. Медунецкий B.M., Солк С.В. Проектирование как исходный процесс обеспечения качественных показателей наукоёмких и высокоточных изделий // Тр. Нижегородского гос. техн. ун-та им. Р.Е. Алексеева. 2012. № 4 (97). С. 117-122.-0,37/0,2 п.л.

31. Solk S., Shevtsov S., lakovlevA. Designing of optical elements manufactured by diamond turning // SPIE. 2000. V. 4231. P. 181-188. - 0,5/0,3 п.л.

32. Sabinin V.E., Savelyev S.K., Solk S.V. The application of the Light Emitting Diodes (LED) in optical measurement // SPIE. 2002. V. 5066. P. 325-329. -0,31/0,15 п.л.

33. Kim Y., Lebedev O, Nujin V., Savelyev S„ Solk S. Monte-Carlo simulation of the 1R lens Modulation Transfer Function determination // SPIE. 2003. V. 5381. P. 341-344,-0,25/0,15 п.л.

34. Lebedev OA., Nujin V.S., Sabinin V.E., Savelyev S.K., Solk S.V. Determination of IR lens transmission coefficient// SPIE. 2007. V. 6594. P. 65941K-7,-0,44/0,2 п.л.

35. Golovkov V.A., Nujin V.S, Savelyev S.K., Solk S. V. Development of the single sensor thermodetectors // SPIE. 2008. V. 7006. P. 700601-8.- 0,5/0,15 п.л.

36. Малеванный А.И., Солк C.B. Вихретоковой датчик линейных перемещений // Сб. матер. Всесоюз. конф. «Оптические зеркала из нетрадиционных материалов». 1989. Т. 2. С. 193-194.-0,06/0,03 п.л.

37. Азаров С.А, Солк С.В. Методика центрирования металлооптических элементов // Сб. матер. Всесоюз. конф. «Оптические зеркала из нетрадиционных материалов». 1989. Т. 2. С. 195-196.-0,125/0,08 п.л.

38. Азаров С.А., Заборов Я.О., Солк С.В. Методика измерения биения оптической поверхности металлооптических элементов // Сб. матер. Всесоюз. конф. «Оптические зеркала из нетрадиционных материалов». 1989. Т. 2. С. 197-198.-0,125/0,04 п.л.

39. Сабинин В.Е., Солк С.В., Шевцов С.Е. Изготовление оптических элементов из полимерных материалов с использованием технологии алмазного микроточения // Сб. матер, науч.-техн. конф. «Технология производства и обработки оптического стекла и материалов». М., 2000. С. 23-25. - 0,19/0,11 п.л.

40. Сабинин В.Е., Солк С.В., Шевцов С.Е. Проблемы поиска новых форм организации труда в наукоёмких технологиях // Лазер-информ. 2001. № 1-2 (208-209). С. 2-5.-0,19/0,08 п.л.

41. Сабинин В.Е„ ¡{ужин B.C., Солк C.B. Использование кремния и германия в оптическом приборостроении. Требования к качеству и методы контроля // Кремний-2004: Тез. докл. Иркутск: Изд-во Ин-та географии СО РАН, 2004. С. 207.-0,06/0,03 п.л.

42. Лебедев O.A., Нужин B.C., Солк C.B. Проектирование и изготовление линзовых ИК-объективов, работающих с матричными фотоприёмниками // Тез. докл. 17-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2002. С. 67. - 0,06/0,03 п.л.

43. Сабинин В.Е., Солк C.B. ИК-прожектор на основе светоизлучающих диодов // Тез. докл. 17-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2002. С. 121. - 0,06/0,03 п.л.

44. Лебедев O.A., Нужин A.B., Нужин B.C. Солк C.B. Объектив с дискретным изменением фокусного расстояния для работы в области спектра 3...5 мкм // Тез. докл. 18-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2004. С. 148-149. - 0,125/0,06 п.л.

45. Лебедев O.A., Сабинин В.Е., Солк C.B. Оптика для инфракрасных излучающих диодов // Тез. докл. 18-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2004. С. 204-205. -0,06/0,03 п.л.

46. Солк C.B., Шевцов С.Е., Яковлев A.A., Нужин B.C. Комплексная технология изготовления ИК объективов // Тез. докл. 19-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2006. С. 71. -0,06/0,02 п.л.

47. Солк C.B., Яковлев A.A. Технология изготовления и сборки сканирующих зеркальных систем // Тез. докл. 19-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2006. С. 159. -0,06/0,04 п.л.

48. Солк C.B., Сабинин В.Е., Нужин B.C. Использование монокристаллического кремния в ИК линзовых объективах // Тез. докл. 19-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М„ 2006. С. 159-160. - 0,06/0,03 п.л.

49. Сабинин В.Е., Солк C.B., Шевцов С.Е. Миникомплекс для проведения климатических испытаний оптических покрытий // Тез. докл. 19-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2006. С. 160-161.-0,06/0,025 пл.

50. Нужин B.C., Нужин A.B., Солк C.B. Усовершенствованная методика определения функции передачи модуляции ИК объективов // Тез. докл. 19-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлеюронике и приборам ночного видения. М., 2006. С. 161 -162. - 0,06/0,02 пл.

51. Яковлев A.A., Солк C.B. Технология изготовления крупногабаритного облегчённого зеркала из алюминиевого сплава // Тез. докл. 19-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2006. С. 161.-0,06/0,03 пл.

52. Солк C.B, Сабинин В.Е., Яковлев A.A. Проблемы герметизации ИК объективов // Тез. докл. 20-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2008. С. 199-200. - 0,06/0,03 п.л.

53. Макин B.C., Пестов Ю.И., Солк C.B., Яковлев A.A. Технология изготовления лепестков диафрагм // Тез. докл. 20-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2008. С. 200-201. -0,125/0,05 п.л.

54. Сабинин В.Е., Солк C.B. Контроль устойчивости оптических покрытий к динамическому воздействию пыли // Тез. докл. 20-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2008. С. 201-202. -0,06/0,03 пл.

55. Нужин B.C., Солк C.B., Сабинин В.Е. Определение предельного разрешения оптических элементов в ИК диапазоне спектра // Тез. докл. 20-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2008. С. 204-205. - 0,06/0,02 п.л.

56. Солк C.B., Лебедев O.A. Проектирование термически стабильных ИК объективов // Тез. докл. 21-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2010. С. 186-187. - 0,06/0,04 п.л.

57. Сабинин В.Е., Солк C.B., Яковлев A.A. Технология пайки с использованием индия // Тез. докл. 21-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2010. С. 187.-0,06/0,025 пл.

58. Солк C.B., Яковлев A.A. Проблемы проектирования и изготовления инфракрасных объективов в условиях мелкосерийного производства // Тез. докл. 21-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2010. С. 188.-0,06/0,04 п.л.

59. Яковлев A.A., Солк C.B. Изготовление ИК зеркал алмазным микроточением // Тез. докл. 21-й Междунар. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. М., 2010. С. 188-189. -0,06/0,03 п.л.

60. Сабинин В.Е, Савельев С.К, Солк C.B. Использование светоизлучающих диодов в оптических измерениях // Лазеры. Измерения. Информация: Тез. докл. конф. СПб, 2002. С. 72-73.- 0,06/0,03 п.л.

61. Ким Ю.В., Лебедев O.A., Нужин B.C.. Савельев С.К., Солк C.B. Моделирование методом Монте-Карло измерения функции передачи модуляции ИК объективов // Лазеры. Измерения. Информация: Тез. докл. конф. СПб, 2003. С. 41.-0,06/0,03 пл.

62. Солк C.B., Нужин B.C., Савельев С.К., Сабинин В.Е., Лебедев O.A. Исследование коэффициента пропускания ИК объектива // Лазеры. Измерения. Информация: Тез. докл. конф. СПб, 2006. С. 96-97. - 0,06/0,03 пл.

63. Головков В.А., Нужин B.C., Савельев С.К.. Солк C.B. Разработка одноэлементных термодетекторов // Лазеры. Измерения. Информация: Тез. докл. конф. СПб, 2007. С. 69-70. - 0,06/0,02 пл.

64. Com C.B., Сабинин В.Е., Шевцов С.Е. Перспективы развития технологии алмазного микроточения // Сб. тр. 1-й Междунар. конф. «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности». СПб: Изд-во Политехнического ун-та, 2005. Т. 1. С. 84-85.-0,06/0,04 п.л.

65. Сот C.B., Сабинин В.Е., Шевцов С.Е. Изготовление алмазным микроточением глубокоохлаждаемых металлооптических элементов // Сб. тр. 2-й Междунар. конф. «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности». СПб: Изд-во Политехнического ун-та, 2006. Т. 4. С. 165-166.-0,06/0,04 п.л.

66. Солк C.B., Сабинин В.Е., Шевцов С.Е., Яковлев A.A. Перспективы совершенствования конструкций и технологий изготовления инфракрасных объективов // Сб. тр. 3-й Междунар. конф. «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности». СПб: Изд-во Политехнического ун-та, 2007. Т. 8. С. 116-117. - 0,06/0,04 п.л.

67. Солк C.B., Сабинин В.Е., Шевцов С.Е., Яковлев A.A. Технология алмазного микроточения в производстве ИК объективов // Сб. тр. 3-й Междунар. конф. «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности». СПб: Изд-во Политехнического ун-та, 2007. Т. 8. С. 117-118. - 0,06/0,04 п.л.

68. Сабинин В.Е., Солк C.B., Шевцов С.Е. Светодиодный излучатель // Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная оптика-2000». СПб, 2000. С. 62-64— 0,125/0,06 п. л.

69. Сабинин В.Е., Солк C.B., Матвеев Б.А. Диодные светоактивные элементы нового поколения в оптике и фотометрии // Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная оптика-2004». СПб, 2004. Т. 1(1). С. 200-204.-0,25/0,08 п.л.

70. Солк C.B., Сабинин В.Е. Возможности технологии алмазного микроточения для изготовления многофункциональных оптических элементов // Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная О1ггика-2004». СПб, 2004. Т. 2. С. 166-170.-0,31/0,25 п.л.

71. Сабинин В.Е., Солк C.B., Шевцов С.Е. Аппаратура для климатических испытаний малогабаритных оптических элементов // Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная оптика-2006». СПб, 2006. Т. 1. С. 204-207.-0,25/0,1 п.л.

72. Данилов М.Ф., Солк C.B., Яковлев A.A. Алмазное микроточение. Координатные преобразования асферических поверхностей // Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная оптика-2006». СПб, 2006. Т. 2. С. 211-215.-0,25/0,09 п.л.

73. Яковлев A.A., Солк C.B. Проблемы технологического контроля формы оптических поверхностей // Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная оптика-2008». СПб, 2008. Т. 2. С. 54-57. - 0,125/0,6 пл.

74. Сабинин В.Е., Солк C.B. Испытание покрытий оптических элементов на динамическое воздействие пыли // Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная оптика-2008». СПб, 2008. Т. 2. С. 58-61. - 0,25/0,1 пл.

IS. Данилов М.Ф., Нужин B.C., Солк C.B. Методика измерения диаметра (площади) входного зрачка ИК объектива Ч Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная О1ггика-2010». СПб, 2010. Т. 1(2). С. 221-224. - 0,18/0,07 п.л.

76. Головков В.А., Емельянов В.Н., Солк C.B., Щербакова Н.И. Возможности обнаружения быстро движущихся объектов в оптическом диапазоне // Матер. Междунар. науч.-техн. конф. «Четвертые Уткинские чтения». СПб, 2009. Т. 1. С. 93-96.-0,25/0,08 пл.

77. Головков В.А., Солк C.B., Щербакова Н.И. Возможность использования ультрафиолетового диапазона излучения для обнаружения бликующих оптических элементов // Тр. 14-й Всерос. конф. «Актуальные проблемы защиты и безопасности». СПб, 2011. Т. 3. С. 126-129.- 0,25/0,1 п.л.

78. Головков В.А., Солк C.B., Щербакова Н.И. Возможность использования ультрафиолетового излучения для обнаружения бликующих оптических элементов // Вопросы оборонной техники. Сер. 16. 2011. № 9-10. С. 29-31. -0,18/0,08 пл.

79. Cam C.B., Шевцов С.Е. Вопросы проектирования и изготовления зеркально-линзовых многоспектральных оптико-механических систем // Тез. докл. науч.-практ. конф. «Оптико-электронные комплексы наземного и космического базирования». Лыткарино, 2014. С. 45-46.-0,06/0,04 п.л.

80. Б)>рбаев A.M., Латыев С.М., Солк C.B. Юстировка вращаемого зеркального аналога призмы Аббе // Сб. тр. Междунар. конф. «Прикладная О1тгика-2014». СПб, 2014. Т. 1(2). С. 201-205. - 0,31/0,05 пл.

81. Патент на полезную модель № 88824 РФ. Диафрагма для ИК-области спектра / C.B. Солк. 2008.0,37/0,37 п.л.

82. Патент на полезную модель № 100307 РФ. Оптический спекгроделитель / O.A. Лебедев, В.Е. Сабинин, C.B. Солк. 2010.-0,56/0,36 п.л.

83. Патент на полезную модель № 112425 РФ. Устройство для контроля изменения влагосодержания / C.B. Солк. 2012.-0,44/0,44 п.л.

84. Патент на полезную модель № 126480 РФ. Объектив для ближней ИК-области спектра / C.B. Солк, O.A. Лебедев. 2013.-0,37/0,17 пл.

15--7В47

Тиражирование и брошюровка выполнены в учреждении

«Университетские телекоммуникации»

197101, Санкт-Петербург, Саблинская ул., 14

Тел. (812) 233 46 69.

Объем 2,0 у.п.л. Тираж 100 экз.

2015675796

2015675796