автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.05, диссертация на тему:Разработка и исследование операционных преобразователей электрических величин для систем технологического контроля изделий микроэлектроники

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. АНАЛИЗ ПУТЕМ УЛУЧШЕНИЯ СРЩСГВ ИЗМЕРЕНИЯ ДЛЯ

ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ИЗДЕЛИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ. /

1.1. Вводные замечания. /

1.2. Место и роль контрольно-измерительных операций в общем технологическом цикле производства микросхем. /

1.3. Анализ путей агрегатировэнного построения автоматизированных средств измерения для технологического контроля изделий микроэлектроники.

1.4. Систематизированный обзор способов и средств операционного интегрирующего преобразования электрических величин для систем технологического контроля изделий микроэлектроники.

Цели и задачи диссертационной работы.

ХХУ1 съезд КПСС в качестве дальнейшего основного пути развития навдональной экономики в условиях современного научно-технического прогресса определил интенсивный путь ее развития. Обеспечение интенсивных темпов развития науки, техники и производства невозможно без всесторонней комплексной автоматизации и механизации производственных процессов.

Съездом, в частности, поставлена задача ".организовать производство приборов и средств автоматизации для контроля качества продукции" [1].

Важнейшим резервом повышения качества и эффективности производства является обеспечение производственных процессов высокопроизводительными совершенными средствами технологического контроля. Как отмечалось в [2], в действующих системах управления качеством основное внимание обращается на осуществление организационных и экономических мероприятий, на техническое и технологическое обеспечение производства, в то время как вопросы разработки и оснащения предприятий автоматизированными средствами контроля, измерения и испытания находятся в наименее развитом состоянии. Этот факт резко снижает эффективность систем управления качеством, так как по словам академика В.М.Глушкова, "•••даже одно небольшое звено единой технологической линии, оставленное без внимания, может свести на нет результаты автома

Достаточно отметить, что в настоящее время трудоемкость контрольных и испытательных работ в производстве радиоэлектронных изделий составляет более 20$ общей трудоемкости их изготовления. Стоимость всех видов испытаний и контроля для большинства фирм США составляет до 20$ всех затрат, достигая в некоторых случаях

Из вышесказанного следует, что в числе важнейших разервов улучшения качества продукции видное место занимает повышение уровня техники измерений. Без измерений невозможно объективно проконтролировать параметры исходных материалов, технологических режимов, готовых изделий, а, следовательно, невозможно и управлять качеством продукции.

Уровень и опережающее развитие техники измерений и контроля определяют дальнейший прогресс всех отраслей производства. По

Чарльза Х.Хауза, "изготовители должны проектировать и выпускать измерительные приборы, которые по своим характеристикам опережают самый современный уровень техники, коль скоро они предназначены этот уровень измерять".

В огромном арсенале средств современной измерительной техники ведущее место принадлежит электроизмерительной технике. Это обусловлено тем, что в ряде отраслей народного хозяйства, например, энергетике, радиоэлектронике и др., широко используются измерения электрических величин. Но еще большее значение они приобретают в связи с тем, что многие неэлектрические величины легко измеряются электрическими методами, что весьма удобно для тизации всех остальных звеньев" [з].

30$ [4]. меткому выражению специалиста регистрации, обработки и передачи информации на расстояние. Основными требованиями, относящимися непосредственно к электроизмерительной технике, являются улучшение метрологических и эксплуатапдонных характеристик, повышение надежности, а также расширение функциональных возможностей и совместимость при системном использовании.

Современный этап построения приборов, машин и оборудования характеризуется массовым переходом на микроэлектронную элементную базу, предусматривающим как разработку новых, так и дальнейшее увеличение выпуска изделий на базе аналоговых и цифровых микросхем большой степени интеграции. Наряду с широким использованием универсальных микросхем, выпускаемых специализированными отраслями, предусматривается применение ограниченной номенклатуры специальных интегральных микросхем и микросборок. То есть микросхемы становятся одним из самых массовых ЭРЭ.

Успешное решение проблемы обеспечения производства изделий микроэлектроники и перехода на микроэлектронную элементную базу контрольно-измерительным оборудованием (КИО) возможно лишь при комплексном подходе, учитывающем требования всех этапов технологии. Первоочередным направлением в этой проблеме несомненно является метрологическое обеспечение производства микросхем и, в первую очередь, создание аппаратуры для измерения и контроля электрических параметров исходных материалов, технологических процессов производства и готовых мищюсхем.

Очевидно, что наиболее эффективным подходом при планомерной разработке комплексов средств измерения и контроля для типовых технологических процессов производства изделий микроэлектроники с целью широкого и централизованного оснащения предприятий КИО является создание агрегатированного комплекса средств технологического контроля (АСТК) как одной из ветвей Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации [б]. Создание АСТК, как и любого другого агрегатированного комплекса, целесообразно проводить путем разработки рациональных параметрических рядов средств измерения и контроля Цб],

Одним из основных составляющих элементов любой системы автоматического контроля (САК), а, следовательно, и одним из параметрических рядов АСТК, являются операционные АЦП, выполняющие наряду с цифровым представлением информации ряд простейших математических операций.

До недавнего времени АЦП были самым слабым звеном в составе САК. За последние 5-10 лет в этой области достигнут значительный прогресс. Так в США, где разработкой АЦП занимаются десятки фирм, создана мощная элементная база, выпущены сотни различных по точности и быстродействию АЦП, освоено производство гибридных и твердотельных АЦП в единых корпусах, значительно снижены цены на серийно выпускаемые преобразователи. Аналогичные работы проводятся и у нас в стране.

Однако традиционно АЦП рассматривался как автономный прибор, и процесс оптимизации его структуры происходит без учета обратной связи СИСТЕМА-АЦП, что не всегда обеспечивало получение оптимального варианта его построения. Реализация системного подхода к разработке структур АЦП требует учета взаимосвязи основных параметров АЦП и системы и должна приводить к улучшению показателей качества САК в целом. Функции АЦП в системе до сих пор являются весьма ограниченными. Они сводятся к обеспечению согласования по форме представления информации между источником сигнала контролируемого объекта и остальной частью системы (ЭВМ, адаптером и т.п.). Такое положение вещей наглядно иллюстрируется в работе [7], где приведен ряд структурных схем измерительно-вычислительных комплексов. Необходимы же такие АЦП, которые обеспечивали бы в первую очередь электрическую, программную и временную совместимость. Помимо этого в системе обычно возникает потребность в разгрузке центрального процессора от ряда вычислительных операций, связанных с подключением АЦП к системе и первичной обработкой информации, поступающей от АЦП. Особенно актуальной становится эта задача при построении систем технологического контроля, когда для программного обеспечения контроля наиболее целесообразно применение микро- и мини-ЭВМ типов "Искра 1256", "Электроника 60", СМ-1 и т.п. Кроме того, ряд специфических особенностей измерения параметров изделий микроэлектроники также налагает определенные ограничения при разработке АЦП. К числу таких ограничений, например, относятся малая рассеиваемая мощность на объектах контроля (ОК) (десятки и даже единицы мВт), малое время подключения ОК к измерительной цепи (до единиц мс), большой набор функциональных зависимостей (линейная -при измерении напряжений, токов, сопротивлений, логарифмическая -при определении коэффициента усиления операционных усилителей, квадратичная - при измерении электрических шумов микросхем, кубическая - при контроле профиля концентрации неосновных носителей в полупроводниковых материалах, вычисление процентов - при допусковом контроле сопротивления пассивной части ГИС и т;д.). Причем, как правило, от таких преобразователей требуется достаточно высокая точность при их использовании в составе систем преимущественно в цеховых условиях, характеризующихся высоким уровнем промышленных помех (приведенная погрешность от 0,1% до 0,01$ и лучше).

Серийно выпускаемые электроизмерительные приборы для целей автоматического контроля изделий микроэлектроники в ряде случаев применять чрезвычайно сложно. Они обычно являются лабораторными мультиметрами, и их использование в подавлявдем большинстве случаев оказывается технически и экономически неоправданным.

Кроме того серийные АЦП или цифровые приборы с набором выполнения ряда математических операций практически отсутствуют. Только благодаря разработке в рамках рациональных параметрических рядов операционных проблемноориентированных АЦП удастся решить бсшыцую часть перечисленных выше задач. При этом появляется новый подход и к распределению (функций между отдельными устройствами в системе, и к разработке алгоритмов функционирования и структур АЦП.

Наиболее вероятным методом построения операционных АЦП для автоматизированных систем технологического контроля изделий микроэлектроники преимущественно в цеховых условиях их применения может быть метод интегрирующего преобразования. Он характеризуется возможностью получения высокой точности преобразования., достаточного быстродействия (до нескольких же), высокой помехозащищенности и разрешающей способностью, возможностью получения малых мощностей, рассеиваемых на ОК, возможностью строгой временной привязки работы реализующих его устройств, простотой схемотехнической реализации и т.д. Кроме того, и что также является очень важным, на его основе возможна реализация преобразователей с широким набором функциональных зависимостей выход-вход [ 83, что нередко ускользает от общего внимания.

Большой вклад в развитие теории и техники метода интегрирующего преобразования внесен такими отечественными учеными и руководимыми ими коллективами, как И.М.Вишенчук, Э.И.Гитис, В.С.Гут-ников, В.Н.Малиновский, Э.К.Шахов, Б.И.Швецкий, В.М.Шляндин и др. В настоящее время молено считать, что формирование основ теории подходит к логическому завершению. Однако, несмотря на более чем 25-летний путь развития, метод интегрирующего преобразования до сих пор еще не нашел своего широкого применения при построении на его основе различного рода операционных преобразо- ' вателей, а связанные с этим аспектом теоретические вопросы не привлекли должного внимания специалистов.

Настоящая диссертационная работа посвящена рассмотрению некоторых вопросов теории, синтезу алгоритмов и структур операционного интегрирующего преобразования электрических величин преимущественно для систем технологического контроля и измерения параметров изделий микроэлектроники, а также разработке на базе синтезированных структур конкретных измерительных преобразователей и их промышленному внедрению.

В данной работе поставлены и решаются следующие основные задачи:

I. Рассматривается место и роль контрольно-измерительных операций в общем технологическом цикле производства микросхем и выделяются первоочередные измерительные задачи; анализируются пути агрегатированного построения автоматизированных средств измерения для решения поставленных задач и определяются на этой основе требования к ним; обосновываются целесообразность, а для большинства измерительных задач с учетом выявленных требований -необходимость применения для их решения метода интегрирующего преобразования; проводится систематизированный обзор способов и средств операционного интегрирующего преобразования.

2; Проводится анализ динамических свойств интегрирующих преобразователей следящего уравновешивания с не^инитной ИПФ при входном воздействии типа меандра, выявляется необходимое условие минимизации числа циклов переходного процесса, возникающего в этом случае; исследуются избирательные свойства интегрирующих преобразователей с финитной ИПФ в режимах синхронного и фазового детектирования; ставится и корректно решается задача разработки динамической модели квадратичных интегрирующих преобразователей; анализируется влияние внутрисхемных шумов на результат преобразования операщонных интегрирующих преобразователей как динамических систем, причем для квадратичных преобразователей эта задача ставится и решается впервые.

3; С учетом результатов теоретических исследований разрабатываются и исследуются новые алгоритмы функционирования и базовые структуры операционных преобразователей, имеющих высокие метрологические характеристики.

4. Исследуются пути улучшения основных метрологических характеристик операщонных преобразователей и разрабатываются рекомендации по их совершенствованию, которые доводятся до конкретных примеров их технической реализации.

5. Осуществляется практическая реализация и промышленное внедрение некоторых из разработанных технических решений в составе автоматизированных измерительных средств технологического контроля изделий микроэлектроники.

Основные положвния диссертационной работы изложены в 27 научных трудах.

Работа обобщает результаты теоретических и экспериментальных исследований, выполненных автором в Пензенском филиале Всесоюзного научно-исследовательского технологического института приборостроения в 1976-1983 гг. под руководством д.т.н.»профессора кафедры "Информационно-измерительная техника" Пензенского политехнического института Шахова Э.К.

Основные результаты и выводы

1. В результате проведенных исследований возможности повышения входного сопротивления операционных ИЛИ разработаны: а) конкретные рекомендации, связанные с изменением алгоритма функционирования, применительно к классу ИЛИ уравновешивающего преобразования на основе базовых структур (рис.3.5, рис.3.7, рис.3.16). Побочным результатом, полученным при этом, явилось дальнейшее совершенствование динамических свойств базовой структуры (рис.3.5). Этот факт нашел воплощение в новом разработанном преобразователе (рис.4.2); б) интегратор с высоким входным сопротивлением, определяемым значением сопротивления синфазному сигналу операщонных усилителей, с передаточной функцией, тождественной передаточной функции интегратора Миллера, с возможностью простого установления нулевых начальных условий и практически применимый в любых операционных ИПН.

2. Разработаны две структуры линейных ИПН сигналов низкого уровня, реализущие принцип синхронного детектирования, и структура КПНВ, предназначенная для тех же целей и имеющая малое влияние внутрисхемных шумов.

3. Исследована возможность и разработаны конкретные рекомендации, воплощенные в виде соответствующих структур или способов 0

N / A A 0 0

J 1 i 1 £ i "

Li U U U LTUTJ UUUL 'Uli UU UUUÏÏÛU il UÜL u ü U U ' irU 0

-юзих построения, направленные на уменьшение времени преобразования ИПН при сохранении свойства подавления помех нормального вида с частотой промышленной сети, основанные на методе компенсации средних за время преобразования значений помехи и на методе усреднения с единичными и иррациональными весовыми коэффициентами. Произведена численная оценка коэффициента помехоподавления разработанных технических решений и выявлены наиболее перспективные из них.

4. Разработаны рекомендации по уменьшению погрешности, вызванной задержкой между моментом срабатывания сравнивающего устройства и моментом прихода ближайшего импульса образцовой частоты, характерной для базовых структур КПДО уравновешивающего преобразования. Разработана структурная схема КПВЧ названного класса с асинхронным формированием образцового заряда, в которой указанная погрешность вообще устранена.

5. Предложены технические решения линейного и квадратичного преобразования, в которых существенным образом уменьшена погрешность квантования, возникающая при суммировании непримыкающих информативных интервалов времени.

6. По материалам настоящей главы автором получено 8 авторских свидетельств и 2 решения о выдаче авторских свидетельств.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Основные итоги теоретических и экспериментальных исследований, проведенных автором в настоящей работе, заключаются в следующем:

1. Рассмотрены типовые технологические процессы производства изделий микроэлектроники, на основе чего выявлены место и роль контрольно-измерительных операций в общем технологическом цикле "исходные материалы и компоненты" - "потребитель готовой продукции"; определено, что наибольший процент среди них занимают операции измерения электрических величин; выявлены измерительные задачи, решение которых имеет первоочередное значение.

2. Подчеркнуто исключительное значение автоматизации контрольно-измерительных операций при производстве изделий микроэлектроники для повышения производительности труда и качества продукции; отмечено, что эффективное построение автоматизированных средств измерения и контроля достаточно большой совокупности параметров возможно лишь на основе принципов агрегатирования и унификации; определена обобщенная структура автоматизированной системы технологического контроля, на основе чего выявлены общие структурные блоки, образующие параметрические ряды; показано, что одним из самых основных структурных блоков являются операционные измерительные преобразователи, разработку которых в условиях их системного применения и промышленной эксплуатации в цеховых условиях целесообразнее проводить на основе метода интегрирующего преобразования.

3. Осуществлен систематизированный обзор способов и средств операционного интегрирующего преобразования, на основе которого выявлено, что с точки зрения потенциально высокой точности наиболее предпочтительным для практической реализации является ' метод уравновешивающего преобразования; выявлены наиболее перспективные направления создания средств операционного интегрирующего преобразования и возникающие при этом теоретические задачи.

4. Впервые теоретически исследованы динамические свойства линейных ИПН следящего уравновешивания с нефинитной ИПФ при входном воздействии типа меандра; показано, что несмотря на нефинитный характер ИПФ переходной процесс для такого типа воздействия при определенных условиях имеет конечную длительность, выявлены условия его сходимости; получены достаточно простые аналитические выражения, характеризующие число циклов переходного процесса после начала входного воздействия указанной формы в зависимости от заданной погрешности установления и значений уровней меандра; выявлено необходимое условие минимизации длительности переходного процесса.

5. Теоретически исследованы избирательные свойства линейных ИПН с финитной ИПФ в режимах синхронного и фазового детектирования; доказана адекватность предложенной математической модели ИПН в режиме фазового детектирования; получены аналитические выражения АЧХ для указанных режимов без суммирования и с суммированием (для режима синхронного детектирования) с произвольной кратностью ряда последовательных результатов преобразования; на основе чего подчеркнута перспективность дальнейших исследований ИПН в указанных режимах для измерения напряжений низкого уровня; показана математически принципиальная возможность построения на базе ИПН в режимах синхронного и фазового детектирования высокоточных измерителей коэффициента мощности.

6. Впервые разработана и исследована корректная обобщенная динамическая модель квадратичных ИПН; впервые предложен обобщенный принцип двухканальности построения квадратичных И.ПН с пространственным и временным разделением каналов, на основе которого получены обобщенные математические модели с последовательной и параллельной (перекрестной) импульсной модуляцией; идентифицированы квадратичные ИПН как нелинейные нестационарные динамические системы автоматического регулирования; на основе математического аппарата функциональных рядов Вольтерра получена двухмерная нестационарная АЧХ, справедливая для любого квадратичного ИПН; впервые разработан двухмерный принцип суперпозиции, позволяющий аналитически представить результат преобразования и получить выражение динамической погрешности для любого квадратичного ИПН при любом, ограниченном по выбранной норме, типе входного воздействия, представимого рядом Фурье; указано, что на основе проделанных исследований можно получить аналогичные результаты для любого функционального ИПН, функционал которого разлагается в степенной ряд; на базе проведенных исследований обобщенного двух-канального принципа выявлен путь синтеза высокоточных квадратичных ИПН по исходной линейной модели.

7. Впервые теоретически исследовано влияние внутрисхемных шумов типа суммы белого и фликкер-шума на результат преобразования ИПН как динамической системы в режиме синхронного детектирования и для квадратичных ИПН; в результате численного анализа на ЦВМ получены простые асимптотические выражения среднеквадрати-ческого отклонения, пригодные для инженерных расчетов и позволяющие легко определить порог чувствительности указанных ИПН при заданном времени преобразования и элементной базе, или определить необходимое время преобразования при заданном пороге чувствительности и элементной базе, или выбрать элементную базу при остальных заданных параметрах.

8. На основе проведенных теоретических исследований, резюми

I » рованных в п.п.4.7, осуществлены разработка и исследование новых алгоритмов функционирования и соответствующих им базовых структур операционных ИПН, а также исследованы пути улучшения основных метрологических характеристик операционных ИПН и разработаны конкретные рекомендации по их совершенствованию: а) разработаны высокоточные алгоритм функционирования и базовая структура линейного ИПН следящего уравновешивания с нефинитной ИПФ с минимальным для данного класса числом циклов установления выходной величины при входном воздействии типа меандра; выявлено достаточное условие минимизации числа циклов установления и условие сходимости итерационного процесса; для случая невыполнения достаточного условия минимизации переходного процесса получено аналитическое выражение, связывающее число циклов переходного процесса с уровнями меандра входного сигнала, параметрами схемы и заданной погрешностью установления; для последнего случая разработаны рекомендации по уменьшению длительности переходного процесса; б) разработаны два алгоритма и соответствующие базовые структуры линейных ИПН уравновешивающего преобразования с финитной , ИПФ, отличающиеся достаточно высокой точностью; исследованы специфические погрешности, характерные для разработанных технических решений; в) разработан ряд алгоритмов функционирования и базовых структур квадратичного преобразования с параллельной (перекрестной) и последовательной импульсной модуляцией с двумя и одним переменным параметром; исследована погрешность воспроизводимости характеристики преобразования разработанного простейшего алгоритма прямого преобразования с перекрестной модуляцией; исследована специфическая погрешность задержи, характерная для двух вариантов разработанных квадратичных ПНЧ уравновешивающего преобразования, произведена ее экстремальная оценка для обеих структур и их сравнительный анализ на этой основе; г) разработаны конкретные рекомендации по повышению входного сопротивления, связанные с изменением алгоритма функционирования и с применением разработанного автором интегратора с высоким входным сопротивлением; д) разработан ряд структур линейных ИПН сигналов низкого уровня, реализующих принцип синхронного детектирования, и структура квадратичного ПЕВ, предназначенная для тех же целей и имеющая малое влияние внутрисхемных шумов; е) исследована возможность и разработаны конкретные рекомендации, воплощенные в виде соответствующих структур или способа их построения, направленные на уменьшение времени преобразования ИПН при сохранении свойства подавления помех нормального вида с частотой промышленной сети, основанные на методе компенсации средних за время преобразования значений помехи и методе усреднения с единичными и иррациональными весовыми коэффициентами; произведена численная оценка коэффициента помехоподавления разработанных технических решений и выявлены наиболее перспективные из них; ж) разработаны рекомендации по уменьшению погрешности, вызванной задержкой между моментом срабатывания сравнивающего устройства и моментом прихода ближайшего импульса образцовой частоты, характерной для базовых структур квадратичных ГШЧ уравновешивающего преобразования; разработана структура преобразователя названного класса с асинхронным формированием образцового заряда, в которой указанная погрешность исключена вообще; з) предложены технические решения, в которых существенным образом уменьшена погрешность квантования, возникающая при суммировании непримыкающих информативных интервалов времени в структурах линейного и квадратичного преобразования.

9. Осуществлена экспериментальная проверка основных теоретических положений .диссертации; практически реализован ряд разработанных операционных ИПН, четыре из которых доведены до промышленного внедрения в составе различных автоматизированных средств технологического контроля изделий микроэлектроники; в частности, разработаны и внедрены в промышленную эксплуатацию

- преобразователь напряжения и тока в код в составе полуавтомата для контроля маломощных полупроводниковых диодов по прямому падению напряжения и обратному току (АМЦ 0620) [ИЗ];

- комплект из двух блоков преобразователя напряжения в интервал времени (АМЦ 0623) и преобразователя тока в интервал времени (АМЦ 0624) в составе тестера для контроля часовых МОП-БИС

АМЦ ИЗ) и его модификаций (АМЦ 115 и АМЦ 1150);

- АЦП в составе тестера для контроля бескорпусных операционных усилителей (АМЦ 1440);

- измеритель процентного отклонения сопротивления (АМЦ 1442) в составе установки лазерной подгонки тонкопленочных ГИС с управлением от ЭЕМ (АМЦ 0637); суммарный годовой экономический эффект от внедрения перечисленных выше автоматизированных средств технологического контроля изделий микроэлектроники, в которых используются разработки автора, составляет 2 млн. 212,06 тыс.руб., а непосредственно от их использования - 605,46 тыс.рублей.

10. Большинство практически реализованных автором ИПН в составе указанных выше автоматизированных средств технологического контроля экспонировались на следующих выставках:

- тестер АМЦ 113 для контроля часовых МОП-БИС - на выставке

HTTM - 78 (ВДНХ СССР, Москва, 1978г.);

- установка АМЦ 0637 лазерной подгонки, тестер АМЦ 115 для контроля часовых МОП-БИС, тестер АМЦ 1440 для контроля бескорпусных операционных усилителей - на Всесоюзной отраслевой выставке "Специальное технологическое оборудование и новые технологические процессы" СТехнология-80", г.Раменское, Московской обл., 1980г.).

II. По результатам осуществленных в диссертации разработок автором получено 14 авторских свидетельств и 3 решения о выдаче авторских свидетельств.

Основные положения работы изложены в ряде научно-технических статей и обсуждались на следующих конференциях: а) на ежегодных научно-технических конференциях "Метрологическое обеспечение технологии производства в приборостроении" (Пензенский филиал ВНИТИприбора, 1977 и 1978 гг.); б) на Всесоюзных научно-технических конференциях "Методы и средства аналогоцифрового преобразования параметров электрических сигналов и цепей" (г.Пенза, 1978 и 1981 гг.); в) на Всесоюзной научно-технической конференции "Новые электронные приборы и устройства" (г.Москва, 1980г.); г) на областном семинаре "Методы и средства преобразования электрических величин в частотно-временные сигналы и их применение в цифровых средствах измерения" (г.Пенза, 1980г.).

1. Основные направления экономического и социального развития СССР на 1.8I-I985 годы и на период до 1990 года. - В кн.: Материалы ХХУ1 съезда КПСС. - М.: Политиздат, 1981.

2. Глушков В.М. Стратегия автоматизации. Известия, 1975, НО.

3. Богородицкий A.A. Основные направления развития технологического контрольно-измерительного оборудования в приборостроении. Измерение, контроль, автоматизация: науч.-техн.реф.сб.-М., 1980, вып.9-10, с.20-26.

4. Богородицкий A.A. Повышение уровня оснащенности отрасли средствами технологического контроля на основе АСТК. Приборы и системы управления, 1981, № 3, с.19-22.

5. Певзнер Г.С.,Цветков Э.И.,Цодиков М.Д. Агрегатирование в электроприборостроении. М.: Энергия, 1981. - 176 с.

6. Иванов В.Н.,Певзнер Г.С.,Цветков Э.И. Основные направления развития электроизмерительной техники. М., 1980. - 64 с.

7. Богородицкий А.А.,Рыжевский А.Г. Контроль производства микросхем. М., 1978. - 64 с.

8. Шкабардня М.С. Комплексная система управления качеством продукции в отрасли приборостроения. Приборы и системы управления, 1979, I, с.1-2.

9. Каверкин И.Я.,Певзнер Г.С.,Цветков Э.И. Агрегатирование в электроприборостроительной технике. Приборы и системы управления, 1974, 16 I, с.28-30.

10. Полупроводниковые кодирующие и декодирующие преобразователи / Под ред. В.Б.Смолова. Л.: Энергия, 1967.

11. Некоторые результаты обзора патентного фонда в области АЦП / А.А.Аристов и др. Информационно-измерительная техника: Межвуз.сб.науч.тр. - Пенза: Пенз.политехи.ин-т, 1974, вып.4, с.45-49.

12. Телегин С.М.»Пантелеев В.Н.,Шляндин В.М. Современные средства измерения действующего значения переменного напряжения. -Информационно-измерительная техника: Межвуз.об.науч.тр. Пенза: Пенз.политехи.ин-т, 1974, вып.4, с.76-88.

13. Шляндин В.М. Цифровые измерительные приборы и преобразователи. М.: Высшая школа, 1973. - 280 с.

14. Прянишников В.А. Интегрирующие цифровые вольтметры постоянного тока. Л.: Энергия, 1976. - 224 с.

15. Мартяшин А.И.,Чапчиков Ю.К. О погрешностях быстродействующего интегрирующего преобразователя амплитуды гармонического сигнала в напряжение. Информационно-измерительная техника:

16. Межвуз.сб.науч.тр. Пенза: Пенз.политехи.ин-т, 1974, вып.4, с.124-127.

17. Султанов Б.В.,Телегин С.М. Преобразователь среднего значения напряжения в код. Информационно-измерительная техника: Межвуз.об.науч.тр. - Пенза: Пенз.политехи.ин-т, 1975, вып.5,с.125-128.

18. Преобразователь изменения мощности в число / С.С.Громов и др. Измерительная техника, 1976, 1Гэ 8, с.77-78.

19. Тушканов Н.Б. Способ построения интегрирующих преобразователей повышенной точности. В сб.: Элементы автоматических систем и методы их расчета: Труды У науч.-практич.конф. - Ново-черкаск, 1979, с.96-108.

20. Рябов В.Ф. Интегрирующий преобразователь параметров двухполюсных электрических цепей. Цифровая информационно-измерительная техника: Межвуз.сб.научн.тр. - Пенза: Пенз.политехи, ин-т, 1979, вып.9, с.27-30.

21. Чувыкин Б.В. Сплайн-интерполирующий фильтр. Приборы и техника эксперимента, 1980, I, с.147-148.tcnik i/O'StiUft- to-tuc. S&ttytb, ¿97*, >to

22. Электроника: Прошлое, настоящее, будущее. М.: Мир, 1980, с.209.26. dfrnsrucnsj1 4956} wo 4,

23. Евланов Ю.М.,Харченко P.P. Линейные измерительные преобразователи постоянного напряжения в частоту и длительность импульсов с импульсной обратной сеязью. Автометрия, 1966, № I.

24. Нода Т. Исследование различных систем цифровых вольтметров интегрирующего типа. Денси Кейсоку, 1968, т.8, $ 5.

25. Махнанов В.Д. ,Милохин Н.Т. Устройства частотного и вре-' мя-импульсного преобразования. -М.: Энергия, 1970.

26. Прянишников В.А. Интегрирующие цифровые вольтметры постоянного тока (обзор). Приборы и системы управления, 1970, № II, с.35-38.

27. Малиновский В.Н. Цифровые вольтметры интегрирующего типа (обзор). Приборы и системы управления, 1973, $ 2.

28. Шахов Э.К.,Михотин В.Д. Интегрирующие развертывающие преобразователи. Измерение, контроль, автоматизация: Науч.-техн.реф.сб. -М., 1977, вып.1(9), с.З-Б.

29. Михотин В.Д. Аналог теоремы Котельникова для интегрального представления информации. Изв.вузов СССР. Приборостроение, 1977, т.XX, J& 3.

30. Шахов Э.К. Аналог ряда Котельникова для интегрального представления информации. Автоматика и телемеханика, 1979, т.44, 7, с.185-190.

31. Шахов Э.К. Об использовании косвенной интерполяции для восстановления непрерывных сигналов при интегральном представлении информации. Цифровая информационно-измерительная техника: Межвуз .сб.науч.тр. - Пенза: Пенз.политехн.ин-т, 1978, вып.,8,с.5-13.

32. Михотин В.Д.,Чувыкин Б.В.,Шахов Э.К. Методы синтеза весовых функций для эффективной фильтрации измерительных сигналов.-Измерение, контроль, автоматизация: Науч.-техн.реф.сб. М., 1981, вып.5, с.3-12.

33. Журин А.А.,Чувыкин Б.В.,Шахов Э.К. Коррекция динамических характеристик интегрирующих развертывающих преобразователей.-Цифровая информационно-измерительная техника: Межвуз.сб.научн.тр.-Пенза; Пенз.политехн.ин-т, 1982, вып.12, с.8-18.

34. Мартяшин А.И.,Шахов Э.К.,Шляндин В.М. Преобразователиэлектрических параметров для систем контроля и измерения. М.: Энергия, 1976. - 392 с.

35. Шляндин В.М. Цифровые измерительные устройства. М.: Высшая школа, 1981. - 335 с.

36. Харкевич A.A. Спектры и анализ. М.: Физматгиз, 1962.

37. Андреев А.Б.,Фролов В.М. Способы и средства интегрирующего преобразования. Обзорная информация: ТС-5 "Электроизмерительные приборы, геофизические и гидрометеорологические приборы".-М.: ЦНИИТЭИприборостроения, 1982, вып.2. - 50 с.

38. Шахов Э.К.,Шляндин В.М.»Овчинников В.Г. A.c. 312279 (СССР). Аналого-цифровой преобразователь. ЕИ, 1971, № 25.43M.J J&egS im^OC--¿t^om ургwui -fv&ßuA* шл-оС ßfcOßW'1917,27, лк -10,зееjlfiwy а^ьаЛо^ог^ ЪМйииф vcUä-ьо

39. THfcJl d&ßz&frLWv . -¿ol^oiracl ttcAn^a,;1978 10,255-258.

40. Новый метод аналого-цифрового преобразования. Электроника, 1978, т.51, ¡Ь 9, с.120.

41. A.c. 367389 (СССР). Цифровой вольтметр действующего значения периодического напряжения произвольной формы / Э.К.Шахов и др. Ш, 1973, lö 8.oU^cta£ (umv-esitvb. 197Ъ ?

42. Заявка Великобритании 1448770. Модулятор длительности импульсов. Изобретения за рубежом: Реф.сб.ЦНИЖШ, 1976, вып.НОЗ, JG 20.49. -dufcvii Ж,1. ЗЬьиЛсАии 1977/VI 45,507. 540.

43. Тарасов Б.Ф.,Шахов Э.К. A.c. 332570 (СССР). Преобразователь напряжение-частота. Ш, 1972, J6 10.

44. Заявка Японии 49-41709. Преобразователь напряжения в частоту. Изобретения за рубежом: Реф.сб.ЦНИИПИ, 1975, вып.НОЗ,9.

45. Патент США 4047056. Преобразователь напряжение-частота. -Офител газетт, 1977, т.962, I.

46. Заявка Японии 53-35428. Преобразователь напряжения в частоту. Изобретения в СССР и за рубежом: Реф.сб.ЦНИИПИ, 1979, вып.НОЗ, .£ 8.гю4ьг ¿Ва^ЛалЛ S977, ^¿бъшгъу.55. ¿ftafa З^и^гсШ^

47. Cc^mj-eAAío^v -fy&tun, 97k.

48. A.c. 365038 (СССР). Аналого-цифровой преобразователь / Э.К.Шахов и др. ЕИ, 1973, Jé 5.58. ^aú^i- -épec^fítaúL&tb, /¿344-/4 (6>. Ж).4о59. -¿ptaúf 39-4JD50. -&H¿t£og-to-- си^гФаС с&иш&иел^, 75,

49. Заявка Японии 49-42269. Аналого-цифровой преобразователь.-Изобретения за рубежом: Реф.сб.ЦНИИПИ, 1975, вып.НОЗ, № 9.

50. A.c. 509990 (СССР). Преобразователь напряжения во временной интервал / В.М.Фролов и др. ЕИ, 1976, № 13.

51. А.с. 599352 (СССР). Способ интегрирующего преобразования величины в интервал времени / Э.К.Шахов и др. Ш, 1978, № II.

52. Малиновский В.Н.,Федотов В.П. О предельных возможностях метода интегрирования. Измерительная техника, 1976, 1!° II,с.81-82.

53. Быков В.Е.,Цывинский В.Г. Погрешности от шумов при интегрировании произведения сигналов. Радиотехника, 1977, т.32, № 12, с.28-33.

54. Фролов В.М.,Андреев А.Б. Интегрирующие уравновешивающие преобразователи с квадратичной характеристикой. Измерение, контроль, автоматизация: Науч.-техн.реф.сб. -М., 1980, вып.5-6, с. 3-И.

55. Интегрирующие преобразователи напряжения в режиме фазо-чувствительного детектирования / Э.К.Шахов, В.М.Фролов, В.Д.Ми-хотин, А.Б.Андреев. Изв.вузов. Приборостроение, 1977, т.XX,5, с.5-10.

56. Султанов Б.В. Исследование и разработка аналого-цифровыхпреобразователей энергетических параметров переменных сигналов ' с промежуточным частотным и временным преобразованием / Дис. . канд.техн.наук. Пенза: Пенз.политехи.ин-т, 1978.

57. Фролов В.М. Исследование и разработка средств интегрирующего уравновешивающего преобразования параметров гибридных интегральных схем / Дис. . канд.техн.наук. Пенза: Пенз.филиал ВНИИЛприбора, 1980.

58. Зи<фис/гъ. сифрС /гшы., 4975, 2J+ 9 по 5.

59. Циделко В.Д.»Кузнецов В.И.,Иванов Б.Р. A.c. 557623 (СССР). Способ измерения действующего значения напряжения инфранизкой частоты. БИ, 1974, $ 39.

60. Малыгина Н.В. Метод построения цифровых ваттметров постоянного и переменного тока. В кн.: Цифровая электроизмерительная техника, 1966, ч.П, с.24-29.

61. Белов В.М.,Собстель Г.М. A.c. 235847 (СССР). Измерительный преобразователь напряжения в частоту следования импульсов. -БИ, 1969, В 6.

62. Шахов Э.К.,П1ляндин В.М.,Овчинников В.Г. A.c. 323789 (СССР). Аналого-цифровой преобразователь. БИ, 1972, )£ I.76. deM&j^ М,. ЦУ&иМ-и&аг -¿уМ&пъ УИ&сМш^

63. Мл, ¿7g g g, 49 , £9, ко 42, tр. 4557- J575.

64. Дискретные нелинейные системы / А.Д.Аверина и др.; Под ред. Ю.И.Топчеева. М.: Машиностроение, 1982. - 312 с.

65. Балакришнан A.B. Прикладной функциональный анализ / Пер. с англ. М.: Наука, 1980. - 384 с.

66. Бендат Дж.,Пирсол А. Измерение и анализ случайных про

67. Цессов. М.: Мир, 1971. - 408 с.

68. Алексенко А.Г.,Коломбет Е.А.,Стародуб Г.И. Применение прецизионных аналоговых ИС. М.: Радио и связь, 1981. - 224 с.

69. Федонин А.И.,Андреев А.Б. Снижение порога чувствительности интегрирующих АЦП. Изв.вузов. Приборостроение, 1983 (в печати).

70. Фролов В.М.,Андреев А.Б. Интегрирующий преобразователь напряжения в интервал времени. Приборы и техника эксперимента, 1979, № 4, с.134-137.

71. A.c. I042I75 (СССР). Преобразователь напряжения в интервал времени / В.М.Фролов, И.Ф.Островский, А.Г.Рыжевский, А.Б.Андреев. Ей, 1983, № 34.

72. A.c. 9II560 (СССР). Функциональный преобразователь / А.Б.Андреев, Э.Н.Сысуев, В.М.Фролов, Л.Д.Гарин БИ, 1982, № 9.

73. A.c. 879772 (СССР). Цифровой интегрирующий вольтметр /

74. А.Б.Андреев, В.М.Фролов, Э.К.Шахов, В.М.Шляндин. Ш, 1981, № 41.

75. Фролов В.М.,Андреев А.Б. Новый способ интегрирующего аналого-цифрового преобразования. В сб.: Новые электронные приборы и устройства: Материалы конф. - М., 1980, с.33-38.

76. A.c. 809560 (СССР). Интегрирующий преобразователь напряжения в интервал времени / В.М.Фролов, А.Б.Андреев, М.П.Шадрин, А.А.Богородицкий. БИ, 1981, № 8.

77. Андреев А.Б.Дегалин Н.Г.,Новиков О.П. Заявка на изобретение 3598738/24 (СССР). Квадратор. Приоритет от 24.05.83.

78. Андреев А.Б.,Островский И.Ф.Фролов В.М. A.c. 643907

79. СССР). Квадратор. БИ, 1979, J& 3.

80. A.c. 627586 (СССР). Преобразователь напряжения в частоту / А.Б.Андреев, И.Ф.Островский, Е.Ф.Трифонов, В.М.Фролов. БИ, 1978, Дз 37.

81. A.c. 809234 (СССР). Функциональный преобразователь / А.Б.Андреев, А.А.Богородицкий, З.Ю.Готра и др. БИ, 1981, № 8.

82. A.c. 631835 (СССР). Аналого-цифровой преобразователь активной мощности / А.Б.Андреев, И.Ф.Островский, В.М.Фролов, Е.Ф.Трифонов. БИ, 1978, № 41.

83. Андреев А.Б.,Крысин Ю.М.,Фролов В.М. Интегрирующий преобразователь напряжения и тока в интервал времени. Приборы и техника эксперимента, 1981, c.III-114.

84. Гутников B.C. Интегральная электроника в измерительных устройствах. Л.: Энергия, 1980. - 248 с.

85. Ортюзи К. Теория электронных цепей, т.П: Синтез. М.: Мир, 1971, - 548 с.

86. Андреев А.Б.,Гарин Л.Д.,Новиков О.П. A.c. I0I9625 (СССР). Преобразователь напряжения в интервал времени БИ, 1983, № 19.

87. Гоноровский И.С. Радиотехнические цепи и сигналы. Изд. 3-е перераб. и доп. М.: Сов.радио, 1977. - 608 с.

88. Заявка на изобретение 3534350/24 (СССР). Квадратор / А.Б.Андреев, Л.Л.Преображенский, О.П.Новиков, Н.Г.Жегалин. Приоритет от 4.01.83.

89. A.c. 860047 (СССР). Устройство для ввода информации отаналогового датчика в вычислительную машину / В.М.Фролов,

90. A.Б.Андреев, А.И.Федонин, М.П.Шадрин. Ей, 1981, J5 32.

91. A.c. 991605 (СССР). Преобразователь напряжение-интервал времени / А.И.Федонин, В.М.Фролов, А.Б.Андреев, Л.Д.Гарин. -ЕИ, 1983, ib 3.

92. A.c. 940298 (СССР). Интегрирующий преобразователь аналог-код / А.Б.Андреев, А.И.Федонин, В.М.Фролов, Л.Д.Гарин. -ЕИ, 1982, J£ 24.

93. Заявка на изобретение 3376095/21 (СССР). Интегрирующий преобразователь напряжения в интервал времени / А.Б.Андреев, Н.Г.Жегалин, О.П.Новиков, А.И.Федонин. Решение о выдаче а.с. от 29.12.82.

94. Гальченко В.Д.,Семенов В.Ф. Система подстройки частоты управляемого генератора импульсов интегрирующего вольтметра.

95. В сб.: Тр.Моск.энергетич.ин-та: Информационно-измерительная техника. М., 1972, вып.154.

96. Заявка на изобретение 3468664/21 (СССР). Помехоустойчивый способ измерения электрических величин / А.Б.Андреев,

97. B.А.Баранов, Н.Г.Жегалин, О.П.Новиков. Приоритет от 9.07.82.

98. Андреев А.Б. Об одной возможности повышения точности квадратичного преобразования напряжения в частоту. Цифровая информационно-измерительная техника: Межвуз .сб.науч.тр. - Пенза: Пенз.политехн.ин-т, 1983, вып.13 (в печати).

99. Андреев А.Б.,Гарин Л.Д. A.c. 983719 (СССР). Квадратор.-Ей, 1982, гё 47.

100. Заявка на изобретение 3385164/24 (СССР). Квадратор / А.Б.Андреев, Вл.А.Баранов, Вик.Баранов, Н.Г.Жегалин. Решение о выдаче а.с. от 21.06.83.

101. A.c. I0I4I40 (СССР). Преобразователь напряжения в интервал времени / В.М.Фролов, А.Б.Андреев, И.Ф.Островский, А.Г.Ры-жевский. ЕИ, 1983, № 15.

102. Андреев А.Б. Квадратичный преобразователь напряжения в интервал времени интегрирующего типа. Цифровая информационно-измерительная техника: Межвуз.сб.науч.тр. - Пенза: Пенз.политехи, ин-т, 1982, вып.12, с.ПО-114.

103. ИЗ. Полуавтомат для контроля маломощных полупроводниковых диодов по прямому падению напряжения и обратному току / А.Б.Андреев, Л.Д.Гарин, И.Ф.Островский, В.М.Фролов. Информационный листок J6 140-78. - М.: ЦНИИТЭИприборостроения, 1978.