автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.14, диссертация на тему:Разработка и исследование критериального управления технологией автоматизированного формообразования крупногабаритных оптических элементов

Введение.

Глава 1. Автоматизированные методы формообразования крупногабаритных оптических поверхностей.

1.1. Обзор технологий автоматизированного формообразования.

1.2. Технологические исследования процесса прецизионной автоматизированной обработки.

1.3. Принципы управления, используемые в методах оптической обработки на х-у машинах.

Выводы по главе 1.

Глава 2. Экспериментальное и теоретическое исследование процесса формообразования оптических поверхностей

Оценивание параметров управления.

2.1. Построение модели управляемого процесса и анализ механизма изнашивания при оптической обработке.

2.2. Количественное определение нелинейности параметров функции материалосъема при проведении автоматизированного формообразования.

2.3. Исследование отдельных факторов, влияющих на технологический процесс.

2.4. Оценивание параметров и определение критериев управления.

Выводы по главе 2.

Глава 3. Технологическая система формообразования крупногабаритных оптических элементов.

3.1. Основные принципы создания управляемой технологии формообразования.

3.2. Разработка критериального управления технологическим процессом.

3.2.1. Дифференциация задач и этапов управления.

3.2.2. Принятие решений в многокритериальной задаче оптической обработки.

3.2.3. Технологический анализ качества крупногабаритной оптической поверхности.•.

3.3. Комплексное использование осевых оптических станков и х - у машин в технологическом процессе.

Выводы по главе 3.

Глава 4. Разработка математического и программного обеспечения управляемой технологии.

4. 1. Анализ экспериментальных данных функции материалосъема. . ИЗ 4.2. Разработка технологического программного комплекса.

4. 3. Определение критериальных соотношений формообразования.

4.4. Выводы по главе 4.

Глава V. Практическая реализация принципов управления технологическим процессом автоматизированного формообразования.

5.1. Оптическая обработка с использованием критериальных оценок.

5.1.1. Предварительная асферизация внеосевого зеркала.

5.1.2 Критериальное управление при проведении тонкого шлифования.

5.1.3. Опыт использования комплексной технологии.

5. 2. Доводка крупногабаритных асферических поверхностей из силицированного карбида кремния.

В астрономическом приборостроении существует устойчивая тенденция повышения требований к оптико - физическим и информационным характеристикам крупногабаритных систем. В ряде случаев эти требования приближены к предельно достижимым значениям параметров. Вместе с этим, изготовление таких систем должно происходить в жестко ограниченное время, ибо они, как правило, являются частью большого исследовательского комплекса, временной график создания которого определен заранее. Таким образом, постоянно существует . задача создания все более совершенных крупногабаритных оптических элементов в короткие временные сроки. Очевидное решение этой задачи состоит в разработке более совершенных технологий оптической обработки и, прежде всего, в разработке принципов управления процессом формообразования оптических поверхностей.

Традиционный путь создания поверхности'оптического элемента, когда при обработке реализуется колебательный режим отклонений от номинальной формы, определяет значительные затраты времени и, зачастую, невозможность обеспечить сходимость процесса на финишных этапах, задолго до достижения требуемой точности. Особый интерес, поэтому, вызывает направленное совершенствование известных технологий формообразования; разработка, внедрение и использование технологических принципов, позволяющих организовать управляемый процесс оптической обработки.

Цель работы:

Разработка, исследование и анализ принципов и методов управления автоматизированным формообразованием крупногабаритных оптических поверхностей.

В рамках поставленной проблемы были поставлены и решены следующие задачи:

- исследование закономерностей диспергирования обрабатываемого материала;

- разработка и формализация критериев направленного воздействия на технологический процесс, в том числе при обработке облегченных зеркал;

- разработка технологического комплекса формообразования оптических поверхностей, принципов и методов управления, определение оптимальных путей взаимного дополнения технологий оптической обработки на осевых станках и станках с координатным управлением положения инструмента (х-у машины);

- исследование особенностей оптической обработки крупногабаритных изделий из нетрадиционных материалов, прежде всего из карбида кремния, а также алюминиевых сплавов и остеклованного бериллия.

- разработка программного обеспечения, охватывающего управление обработкой и технологический контроль на всех этапах формообразования, включая доводочные операции;

- проведение экспериментальной проверки разработанного метода управления процессом;

- реализация технологии в практической работе по созданию крупногабаритных оптических элементов.

Автор защищает:

- методы расчета технологических критериев;

- принципы построения технологии;

- метод критериального управления процессом оптического формообразования;

- принципы формализации и сравнительной оценки критериев технологического процесса;

- результаты расчетных и экспериментальных исследований технологии формообразования крупногабаритных оптических элементов из силицированного карбида кремния и других материалов.

Работа состоит из введения, пяти глав и заключения.

В первой главе проведен анализ применяемых автоматизированных методов формообразования крупногабаритных зеркал. Показано, что необходимы исследования, позволяющие повысить достигаемую точность изготовления поверхностей посредством поиска оптимальных значений параметров обработки и сочетания значений параметров с использованием новых технологических принципов получения заданной формы на оптических элементах.

Во второй главе обсуждаются вопросы экспериментального и численного моделирования физических процессов, происходящих при обработке. Проведены исследования и выработаны основные критерии управления, учитывающие нелинейность функции материалосъема, стабилизацию параметров процесса, намечены пути, позволяющие реализовать быстросходящийся процесс. Анализируются результаты численного и экспериментального моделирования.

В третьей главе предложена замкнутая технологическая система формообразования оптической поверхности, проведен выбор и оптимизация параметров управления процессом по совокупности критериальных оценок, определены условия применимости технологического комплекса, сформулирована идеология совместного поэтапного использования различных элементов станочного парка и измерительного технологического оборудования.

В четвертой главе приведено описание разработанного комплекса математического и программного обеспечения исследований и автоматизированной обработки, работающего в режиме экспертной системы.

В пятой главе описаны результаты практической реализации комплексной ' автоматизированной технологии формообразования; показана эффективность использования получаемых критериальных соотношений при обработке крупногабаритных плоских, сферических и асферических оптических деталей, из различных материалов на этапах тонкого шлифования и доводочного полирования.

Работа завершается заключением с выводами.

В диссертации обобщены и развиты результаты работ за 1988 -- 1996 гг., опубликованных в журналах, тематических сборниках, доложенных на' Всероссийских и международных конференциях. В результате проделанной работы продемонстрирована практическая эффективность разработанных принципов управления оптической обработкой крупногабаритных элементов.

- 9

Основные результаты работы:

1. Разработаны и формализованы признаки необходимых или достаточных условий оптимальной реализации процесса формообразования.

2. Разработаны методы расчета технологических критериальных соотношений, оптимизирующих процесс формообразования.

3. Разработана критериально управляемая технология обработки оптических элементов, позволяющая организовать быстросходящийся процесс;

4. Разработан комплекс математического и программного обеспечения, в построение которого заложены принципы функционирования экспертных систем на всех этапах использования технологии;

5. Осуществлено многократное успешное использование технологии на ряде изделий.

Основные результаты диссертационной работы сводятся к следующему:

1. Проведены исследования технологии оптического формообразования и степени влияния различных технологических факторов на точность и качество обрабатываемых поверхностей. Выполнено количественное оценивание их воздействия на процесс на всех технологических стадиях оптического формообразования. Определены диапазоны нелинейности используемых параметров, разработаны методы оптимизации с точки зрения быстроты сходимости и повышения реально достигаемого уровня точности. Методы оптимизации учитывают факторы формообразования, проявляющиеся при обработке сильно облегченных зеркал и тонких пластин зеркал. Методы реализуются путем последовательного анализа конструкции корпуса изделия, комплексного анализа результатов экспериментов, предшествующих оптической обработке, расчета критериев и их уточнения на первых сеансах тонкого шлифования и полирования крупногабаритного изделия. Получено лучшее ( по сравнению с имеющимися моделями формообразования ) соответствие созданной модели реальным процессам, происходящим при обработке облегченных и внеосевых зеркал. Разработаны критерии, позволяющие снижать либо полностью нивелировать различные ошибки на оптической поверхности.

2. Разработана и реализована методика исследований по оптимизации технологического процесса с большим количеством влияющих факторов. Она имеет значительно большую информационную эффективность сравнительно с существующим набором необходимых

- 163 экспериментальных исследований. Установлены диапазоны значений ряда параметров, выдерживание которых обеспечивает стабилизацию проводимого процесса и снижение трудоемкости в целом.

3. Предложена и разработана технология, основанная на количественной трактовке направленного взаимодействия элементов рассматриваемой технологической системы, через критериальное управление различными параметрами формообразования. В ней обеспечивается стабильность значений критериальных величин, характеризующих проводимый технологический процесс. Применение модели управления ведется совместно с матрицей оценочных функций и базой данных ранее отработанных технологических решений. Разработан и апробирован процесс принятия решения в многокритериальной задаче оптической обработки через построение областей эффективности критериальных функций и учет относительной важности вводимых критериев.

4. На основе использования критериального управления синтезирована комплексная оптическая технология формообразования, вкючающая станочное оборудование, измерительную аппаратуру и программно-математическое обеспечение и применяющая постоянный целенаправленный выбор элементов станочного парка.

5. Выработан подход к контролю формы оптических поверхностей, позволяющий в ряде случаев сузить задачи измерений и, следовательно, сократить время на их проведение.

6. Создано математическое и программное обеспечение с элементами экспертной системы, формализующее разработанные принципы управляемой технологии обработки крупногабаритных элементов на этапах тонкого шлифования и доводочного полирования. Разработаны алгоритмы управления процессом формообразования.

- 164

Обеспечивается математическое моделирование процесса, обработки для расчета параметров технологического ' сеанса и обработки результатов контроля. Функционально расширено штатное программное обеспечение интерферометрической системы Mark IV; обеспечивается программная поддержка критериальных и вспомогательных расчетов и исследований.

Универсальность и гибкость используемого программного обеспечения проверены его многолетней эксплуатацией при создании различных крупногабаритных оптических элементов с высокой точностью.

7. Показана сравнительная эффективность практического использования технологии при совместной работе парка осевых оптических станков и применения автоматизированной оптической обработки крупногабаритных деталей, в 'том числе плоских, сферических, асферических, внеосевых асферических, на различных стадиях процесса получения точной поверхности изделия.

8. Описано применение разработанных критериальных зависимостей при формообразовании поверхностей из нетрадиционного для крупногабаритной оптики материала - силицированного карбида кремния.

Практическая значимость работы подтверждена изготовлением ряда крупногабаритных оптических элементов для больших телескопических систем и составляющих элементов оптических схем.

1. Meinel А.В. Optical Fabrication Methods. - New Methods 1. Optical Design and Engineering, vol.2, Jan.14-18, 1974.

2. Stowers I.F. ets. Review of precision surfase generating processes and their potential application to the fabrication of large optical components.//SPIE v.966, 1988, N1, p.62.

3. Лелюхин С.И. и др. Особенности построения гибкой производственной системы изготовления крупногабаритной оптики. //ОМП 1989, N5,c.45.

4. Jones R.A., Plante R. L. Rapid fabrication of large aspheric optics. // SPIE 1985, vol.571, p. 1985.

5. Jones R.A. Optimization of computer controlled polishing. //Appl. Opt. vol.16, 1977, p. 218.

6. Богданов А.П. Оптимизация технологии процесса автоматизированной обработки высокоточных крупногабаритных оптических деталей малым инструментом.//ОМП 1985, N7, с.32.

7. Богданов А.П. Управление и оптимизация технологических процессов автоматизированного формообразования поверхности оптических деталей. // ОМП 1987, N11, с.18.

8. Витриченко Э. А. и др. Методы изготовления астрономической оптики. М.: Наука, 1980.-196с.

9. Бубис И.Я., Есин Д.Р. Технологические комплексы для формообразования крупногабаритных высокоточных асферических поверхностей.// ОМП 1990,' N11, с. 77.

10. Aspden R., McDonough R. and Nitchie E.R. Computer assisted optical surfacing.// Appl. Opt.- vol.11, 1972, p. 2739. fabrication of optics.-California.,1986.- 166

11. И. Лысянный Ю. К., Хохленков Л. Н., Прохорчик С.М. Разработка технологий и оборудования для изготовления оптических деталей с асферическими поверхностями. // ОЖ 1994, N6, с. 62.

12. А.с. 1574436, СССР, МКИ В24в13/00 Способ обработки поверхностей оптических деталей./Филонов И.П. Климович Ф.Ф., 4с.

13. Leister A.J. Teflon Laps: Some new developments and results. // Appl. Opt. vol.32, 1993, p. 3416.

14. Wagner R.E., Shannon R. R. Fabrication of asferics using a mathematical model for material removal. //Appl. Opt.-vol.13, 1974, N7, p. 1683.

15. Chen G.-H., Moore D. T. Aspherical surface polishing with a ring polisher. //Appl. Opt. 1979, vol.18, N4, p. 559.

16. Willard B.S.Asferic polishing technique with equal polishing rate distribution. //Appl. Opt.- 1980, vol.19, N4, p.488.

17. Богданов А.П., Савельев А. С. Опыт автоматизированной обработки крупногабаритных оптических деталей малым инструментом // ОМП 1986, N8, с.49.

18. Отчет по теме ТТУ 563-83 Совершенствование технологического процесса доводки высокоточных плоских оптических поверхностей. М.: предприятие п/я Р-6670, 1984, - 139с.

19. Отчет по теме НСУ-461-81 Создание прогрессивных методов и аппаратуры для обработки и контроля астрооптики с применением ЭВМ. Л.: ЛОМО, 1985, -500с.

20. А.с.1577942, СССР, МКИ В24в13/00 Способ обработки поверхностей оптических деталей./ Абдулкадыров А.С., Горшков В.А., Семенов А.П., Савельев А.С., 4с.

21. А.с. 1324829 МКИ В24в13/00 Способ формообразования поверхностей оптических деталей. / Савельев А.С., Семенов А.П.,

22. Абдулкадыров А. С., Горшков В.А., 4с.

23. Jones R. A. Computer-controlled Polisher Demonstration. // Appl. Opt.- vol.19, N12, p. 2076.

24. Jones R. A.Computer controlled polishing of telescope mirror segments. // Opt. Eng. 1985, vol.22, N2, p. p. 236.

25. WIYN: A New Name atop Kltt Peak Sky & Telescope, December, 1990, vol.80, N6, p. 586.

26. Arisona's Glass Factory Expands Sky & Telescope, December, 1990, vol.80, N2, p. 121.

27. Максутов Д.Д. Изготовление и исследование астрономической ' оптики. М.: Наука, 1984.-272с.

28. Максутов Д. Д. Астрономическая оптика. -JI.: Наука, 1979,-369с.

29. Формообразование оптических поверхностей. / под ред. К. Г. Куманина М.: Оборонгиз, 1962.-432с.

30. Витриченко Э.А., Пушной J1.A., Лукин В. П., Тартаковский В. А.-Проблемы оптического контроля Новосибирск: Наука, Сиб.отд. 1990, -349с.

31. Савельев А. С., Богданов А. П. Автоматизированная обработка крупногабаритных оптических деталей' малым инструментом. // ОМП 1985, N5, с.40.

32. Богданов А.П. Автоматизация проектирования технологических процессов обработки высокоточных деталей. // ОМП 1984, N9, с. 36.

33. Савельев А. С. и др. Программа автоматизированной доводки крупногабаритных оптических деталей малым инструментом. // ОМП 1985, N10, с.35.

34. Семенов А.П., Савельев А.С. Программа управления формообразованием оптических деталей. // 0Ж- N9, 1995, с.62.- 168

35. Jones R. A. Computer-controlled Optical Surfacing with Orbital Tool Motion.// Opt.Eng. 1986, vol.25, N6, p. 785.

36. Altenhof R.R., Jones R.A. Large Optics Fabrication. //Technical News 1977, vol.6, N1.

37. Ultraprecision mechining and automated fabrication of optics.: Proc. of the conf., 18-20 Aug. 1986, San Diego, Calif./Donald L. Decker, Robert A. Jones, chairs /ей. -Bellingham(Wash.): SPIE, 1986 (cop.1987),-166c.

38. Витриченко Э.А. и др. Методы исследования астрономической оптики. М.: Наука, 1980, -152с.

39. Ган М.А., Долгих С. Г. и др. Измерительно вычислительный комплекс для обработки интерферограмм.- ОМП, 1986, N6, с. 44.

40. Ган М.А., Устинов С.И. и др. Комплекс программ INTERF для обработки на ЭВМ интерферограмм при контроле оптических деталей и систем. // ОМП 1990, N11, с.68.

41. Горшков В.А., Новикас В.И. и др . Автоматизированные методы контроля оптических поверхностей. // ОМП 1980, N2, с.37.

42. Семенов А.П., Савельев А. С. Расчет траектории движения малого инструмента при автоматизированном формообразовании поверхностей оптических деталей. // ОЖ 1994, N6, с. 21.

43. Rapp W. Loose abrasive grinding of optical surface. // Appl.Opt.- 1975, vol.11, N12, p.2797.

44. Дунин-Барковский И.В., Карташова А.Н.' Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М.: Машиностроение, 1978, -239с.

45. Гродников А.И. Горшков В.А. Технологическа система автоматизированного формообразования оптических деталей. // ОМП, 1991, N9, с. 63.- 169

46. Wilson T.J. New Technologies Fabricate Large Aspheres. //Laser Focus World September, 1990, p.111.

47. Dance B. Grinding Machine Provide Extreme Precision. //Laser Focus World 1989, vol.25, N11, p. 54.'

48. Nordwall B.D. Kodak Prepares to Make Larger, Cheaper Optics for Aerospace Use. // Aviation Week & Space Technology-August 14, 1989, p. 44.

49. StahlH.P., Ketelsen D. Aspheric figure generation using feedback from infrared phase shifting interferometer. -SPIE, 1985, vol.571, p. 22.

50. Small D.W., Hoskins J.S. An automated aspheric polishing machine. // SPIE 1986, vol.645, p.66.

51. Jones R. A. Segmented Mirror Polishing Experiment. // Appl. Opt.- 1982, vol.21, N3, p. 561.

52. Лямин Ю.Б. и др. Автоматизированные доводочные станки серии АД. // ОМП 1987, N7, с.31.

53. Насонов Ю. Н . и др. Исследование зависимости интенсивности процесса полирования от толщины слоя жидкости. //ОМП 1974, N1, с. 16.

54. Ашкеров Ю.В. Роль сил трения в процессах шлифования и полирования оптических деталей на станках, работающих по методу притира. // ОЖ 1992, N4, с. 66.

55. Ходаков Г. С., Кудрявцева Н. П. Физико-химические процессы полирования оптического стекла. М.: Машиностроение, 1985, -220с.

56. Климович Ф. Ф., Филонов И. П. Моделирование формообразования поверхностей оптических деталей с учетом динамики процесса изнашивания инструмента. // ОЖ 1992, N9, с.30.

57. Савельев А.С. и др. Определение коэффициента сполировывания стекла. // ОМП 1989, N9, с. 32.

58. А.с. 1458173, СССР, МКИ В24в13/00 Способ исследования сопротивления стекол оптических деталей истиранию при полировании. / Савельев А.С., Горшков В.А., Зс.

59. Семенов А.П., Савельев А.С., Абдулкадыров А.С., Горшков В.А. Определение абсолютного съема при автоматизированной доводке оптических поверхностей по программе АД1//0Ж 1992, N10,с.60

60. Семенов А.П., Савельев А.С., Абдулкадыров А.С. Расчет съема материала при автоматизированном формообразовании поверхностей крупногабаритных оптических деталей по программе АД1. // ОМП 1990, N4, с.61.

61. Brown N.J. Preparation of Ultrasmooth Surfaces. //Ann.Rev. Mater. Scl. vol. 16, 1986, p. 371.

62. Хусу А.П. и др. Шероховатость поверхностей. М. : Наука, 1975, -343с.

63. ЦеснекЛ.С. Механика и микрофизика истирания поверхностей. М.: Машиностроение, 1979, -264с.

64. Reiter G., Carl Н. Optimiert polieren in der Optischen Fertigung. Feinwerktechnik & Masstechnic vol.98, 1990, N1-2 p.29.

65. Karow H.H. Fabrication methods for precicion optics. -New York ets.: Wiley & Sons, cop. 1993, -751c.

66. Семенов А.П. и др. Анализ погрешностей автоматизированного формообразования ОП на станках серии АД по программе АД-1. // ОМП N1, 1990, с. 51.

67. Geppert Н. About very large Air-Bearing Tables (3M O.D.) for Microvfchining of Aspherical and Fresnel Mirrors. // SPIEvol.645, 1986. p. 75.

68. Леонтьев А.Д., Гузман B.E. Конструкции устройств и методы технологической разгргрузки крупногабаритных деталей.//ОМП -1983, N11, с.54.

69. Rechnergestutztes Interferometer ahalysiert Oberflachen.- Feinwerktechnik & Masstechnic vol.99, 1991.

70. Optical Shop Testing.-second edition, edited by D.Malakara, New York ets.: John Wiley & Sons Inc. 1993.

71. Lund D.L. Direct contact profilometry of large aspherics. //SPIE vol.645, 1986, p. 75.

72. Богданов А.П., Цеснек Л.С. Контактные • задачи формообразования оптических поверхностей. // ОМП -'1979, N8, с. 51.

73. Кузнецов В.Д. Поверхностная энергия твердых тел. М.: Гостехиздат, 1954.

74. Davies R. Proceedings of the Symposium on Friction and Wear.- Detroit: 1957, Amsterdam 1959, -191c.

75. Попов Ю.Б., Смирнов C.E. Механизированная доводка асферических поверхностей с повышенными технологическими показателями // ОМП 1990, N11, с.72.

76. Krim М.Н. Ultralighweight Mirrors. //Technical News.- 1977, vol.6, N1.

77. Амур Г.И. Оптимальные методы изготовления астрономических зеркал. автореф. на соис.учен.степ.к.т.н. - Л.: 1983,-17с.

78. Chore W.J. ets. SiC a new material of mirrors. // Appl.Opt.-1976, N15, p.2006.

79. Croda J.S. ets. Fabrication of light-Weight Si/SiC Lidar mirrors. //Proc.Soc.Photo-Opt.Instrum.Eng.- 1989, vol.690, p.3748.- 172

80. Крагельский И.В. Трение и износ. М.: Наука, 1968, -480с.

81. Контактное взаимодействие твердых тел и расчет сил трения и износа./ сб. статей под ред. А.Ю. Ишлинского М.: Наука, 1971, -239с.

82. Трение, изнашивание и смазка./ под ред. И.В.Крагельского, т.1. М.: Машиностроение, 1978, -400с.

83. Боуден Ф., Тейбор И. Трение и смазка твердых тел. М.: Машиностроение, 1965, -543с.

84. Крагельский И.В. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977, -526с.

85. Кащеев В.Н. Абразивное разрушение твердых тел. М.: Наука, 1970, -247с.

86. Хрущов М.М.Бабичев М.А. Абразивное изнашивание М.: Наука, 1970, -252с.

87. Макушок Е.М. и др. Массоперенос в процессах трения. Минск: Наука и техника, 1978, -272с.

88. Макушок Е.М. Механика трения. Минск : Наука и техника, 1974, -254с.

89. Горячева И.Г. Контактные задачи в трибологии. М. : Машиностроение, 1988, -253с.

90. Свириденок А.И. и др. Механика дискретного фрикционного контакта. Минск: Навука i тэхн1ка, 1990, -272с.

91. Галахов М.А., Усов П. П. Дифференциальные и интегральные уравнения математической теории трения. М. : Наука, 1990, -280с.

92. Галахов М.А. и др. Математические модели контактной гидродинамики. М: Наука, 1985, -296с.

93. Бурмистров А.Н., Галахов М.А. Математические модели механики- 173 контакта. М.: МФТИ, 1982, -92с.

94. Абрамов Ю.Т., Перец М.И. Влияние "выхода за край" на закон распределения контактных давлений между инструментом и изделием дисковой формы. // Вопросы технологии машиностроения 1973, -42с.

95. Слезкин Н.А. Динамика вязкой несжимаемой жидкости. М.: Гостехиздат, 1955, -520с.

96. Камерон А. Теория смазки в инженерном деле. М.: Машгиз, 1962, -294с.

97. Иванович Ф.Ф., Никитин Д.Б. Особенности процедуры оптимизации опорных систем облегченных зеркал.//III всесоюзная конф. по механике неоднородных структур: Сб.тез.докл. -Львов, сентябрь, 1991, с.133.

98. Иванович Ф.Ф., Никитин Д. Б. Анализ процедуры оптимизации опорных систем облегченных зеркал. // ОЖ 1992, N6, с. 66.

99. ЕвтеевГ.В., Иванович Ф.Ф., Никитин Д.Б. Сравнительный анализ массогабаритных характеристик адаптивных оптических зеркал. // ОЖ 1992, N6, -63с.

100. Евтеев Г.В., Иванович Ф.Ф., Никитин Д.Б. Сравнительный анализ весогабаритных характеристик адаптивных оптических зеркал. //,-Вестник НОУ-ХАУ"- 1993, N5, -36с.

101. Винокуров В.М. Исследование процесса полировки стекла. -М.: Машиностроение, 1967, -196с.

102. Тимошенко С.П. Сопротивление материалов. М.: Наука, 1965, -363с.

103. BabishR.C. Lighweight Mirrors. //Technical News. 1977, vol.6, N1.

104. Доннелл Л.Г. Балки, пластины, оболочки. М. : Наука,1982, -568с.

105. Пановко Я.Г. и др. Устойчивость и колебания упругих систем. М.: Наука, 1979, -324с.

106. Новицкий П.В. Зограф И.А. Оценка погрешностей результатов измерений. J1.: Энергоатомиздат, 1991, -304с.

107. Захаров С.И., Топильская О.В. Особенности полирования кольцевым инструментом. // ОМП 1991, N8, с.77.

108. Сейдж Э.П. Мелса Д.Л. Теория оценивания и её применение в связи и управлении. М.: Связь, 1976, -495с.

109. Райбман Н.С. и др. Построение моделей процессов производства. М.: Энергия, 1975, -375с.

110. Сэйдж Э.П. и др. Оптимальное управление системами. М.: Радио и связь, 1982, -392с.

111. Розенвассер Е.Н. Чувствительность систем управления. М.: Наука, 1981, -464с.

112. Спиридонов А.А. Планирование эксперимента при исследовании технологических процессов. М.: Машиностроение, 1981,-184с.

113. Евдокимов Ю.А., Колесников В.И. и др. Планирование и анализ экспериментов при решении задач трения и износа. М. : Наука, 1980, -228с.

114. ИЗ. Савельев А. С. Мелкоструктурная погрешность формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей. // 0Ж-1994, N6, с. 9.

115. Евтеев Г.В., Никитин Д.Б. К вопросу о природе мелкоструктурной ошибки при автоматизированной доводке оптических поверхностей. // ОЖ 1995, N12, с.75.

116. Бубис И.Я., Орлов В.Я., Спиридонов В.П. Контактный асферометр // ОМП 1980, N2, с.44.- 175

117. Евтеев Г.В., Есин Д.Р., Никитин Д.Б. Принципы построения управляемого процесса формообразования оптических поверхностей. //Международная конференция "Прикладная оптика-96": Сб. тез.докл.межд. конф., сентябрь, 1996, с. 54.

118. Боровин Г.К. Нелинейности в системах управления. Математические модели, особенности моделирования. М.: ИПМ, 1993, 29с.

119. Сэйдж Э.П., Мелса Д.Л. Идентификация систем управления. М. : Наука, 1974, -246с.

120. Райбман Н.С. Основы управления технологическими процессами. М.: Наука, 1978.

121. Рей У. Методы управления технологическими процессами.-М.: Мир, 1983, -368с.

122. Эйкхофф П. Основы идентификации систем управления.-М.: Мир, 1975, -683с.

123. Смышляев П.П. и др. Управление технологическими процессами: Математические модели. Л.: ЛГУ, 1989, -286с.

124. Пухов Г.Е. Модели технологических процессов.-Киев.: TexHika, 1974, -219с.

125. Яковлев-В.Б. Автоматизированное управление технологическими процессами. Л.: Наука, 1988, -221с.

126. Myзыкин С.Н. Моделирование динамических систем.-Верхн.волж. кн.изд., 1984, -301с.- 176

127. Leister A.J. ets. Polishing study using Teflon and Pitch Laps to produce flat and supersmooth surfaces. Appl.Opt. vol.31, 1992, p. 1472.

128. Кини P. Jl., Райфа X. Принятие решений при многих критериях: предпочтения и замещения. М.: Радио и связь, 1981, -560с.

129. Пухов Г.Е. и др. Критерии и методы идентификации объектов.- К.: Наукова думка, 1979, -190с.конф. "Прикладная оптика-96", сентябрь, 1996.

130. Подиновский В.В. Оптимизация по последовательно применяемым критериям. М.: Советское радио, 1975, -192с.

131. Подиновский В.В. Парето-оптимальные решения многокритериальных задач.-М.: Наука, 1982, -254с.

132. Гельднер А., Кубик С. Нелинейные системы управления. М.: Мир, 1987, -367с.

133. Форсайт Р. Экспертные системы. Принципы работы и примеры. -М.: Мир, 1987, -220с.

134. Построение экспертных систем./ под ред. Хейес-Рот. М.: Мир, 1987, -441с.

135. Саати Т.Л. Аналитическое планирование: Организация систем.- М.: Радио и связь, 1991, -224с.

136. Райфа X. Анализ решений. Введение в проблему выбора в условиях неопределенности. М.: Наука, 1977, -407с.

137. Проектирование оптических систем./ под. ред. Р.Шеннона, Дж. Вайанта. М.: Мир, 1983, -430с.

138. Евтеев Г.В., Есин Д.Р., Никитин Д.Б. Формообразование оптических поверхностей из нетрадиционных . материалов на автоматизированных станках.//Международная конференция "Прикладная оптика-96": Сб.тез.докл.межд. конф., сентябрь, 1996, с.57.- 177

139. Оптический производственный контроль.-/ под ред. Д.Малакары-М.: Машиностроение, 1985, -400с.

140. Катковник В.Я. Непараметрическая идентификация и сглаживание данных: метод локальной аппроксимации.-М.: Наука, 1985, -336с.

141. Евтеев Г. В., Никитин Д. Б., Подгорбунских И. В. Пакет прикладных технологических программ для обработки крупногабаритных поверхностей оптических деталей. // ОМП -1992, N7, с.57.

142. Жимерин-Д.Г. Автоматизированные и автоматические системы управления. М.: Энергия, 1979, - 591с.

143. Мушик Э., Мюллер П. Методы принятия технических решений. -М.: Мир, 1990, 208с.

144. ОСТ 34918-81. Детали оптические с асферическими поверхностями. Показатели технологичности.

145. Евтеев Г. В., ЕсинД. Р., Никитин Д. Б. Автоматизированное шлифование внеосевой детали при проведении контроля на координатно- измерительной машине.//ОЖ 1995, N12, с. 73.

146. Евтеев Г. В., ЕсинД. Р., Никитин Д. Б. Автоматизированное шлифование внеосевой асферической детали.//Семинар "Технология изготовления прецизионных оптических элементов": Сб.тез. докл.-АООТ "ЛОМО", С.-Петербург, 29-30мая 1996г, часть 2,с.7.