автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Разработка и исследование когерентно-оптических методов и средств измерений малых линейных размеров

р^ИРСКЛ! ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ .

На правах рукописи

Лизунов Виктор Дмитриевич

УДК 531.717:621.375

РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ КОГЕРЕНТНО-ОПТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ И СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ МАЛЫХ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ

05.11.07

Оптические и оптико-электронные приборы

Диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени кандидата технических наук

НОВОСИБИРСК

1 У У 5

Официальные оппоненты: профессор, доктор технических наук ЧУГУЙ Ю.В.

профессор, докюр технических наук ТОРОПОВ Л.К.

Ведущая организация : Производственное объединение Новосибирский приборостроительный завод

Защита диссертации состоится

на заседании диссертационного совета К 064.14.02 при Сибирской Государственной Геодезической Академии по адресу : 630108, Новосибирск, 108, ул. Плахотного, 10, СГГА в аудитории №

С диссертацией в виде научного доклада можно ознакомиться в библиотеке академии.

Диссертация в виде научного доклада разослана

Учений секретарь диссертационного совета О.П. ВЕРХОТУРОВ

9К9 Подписано в печать 2 марта 1995 г. Объем 1.6 печ. лист. 1.5 уч.-изд. листа. Заказ 18. Тираж 100.

630108, г. Новосибирск, 108, Плахотного, 8, РИО, КПЛ СГГА.

в

часов

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА-РАБОТЫ

АКТУАЛЬНОСТЬ ТЕШ. Повсеместный переход к миниатюризации изделий приборостроения, оптоэлектроники. вычислительной техники и, особенно, микроэлектроники резко обострил проблему совершенствования технологии их изготовления, в значительной степени зависящую от наличия высокоточных средств измерений (СИ) геометрических параметров изделий и соответствующего метрологического обеспечения. .'

Линейные размеры элементов современных миниатюрных изде-■лий составляют от сотен микрометров до десятых долей микрометра. ' т. е. находятся на пределе разрешающей способности широкого класса оптических, телевизионных и электронных микроскопов большого увеличения, используемых для измерений. Точность измерений таких размеров необходима в пределах 0,1 - О, 01 мкм. а погрешности измерений на практике достигают, в зависимости от метода измерений, типа прибора, материала изделия и других факторов, величин порядка 20 - 100 % .от измеряемого параметра. На ранних стадиях . технологии изготовления изделий используются тысячи приборов, которые в настоящее время фактически-не имеют образцовых средств и специальных эталонов для их проверки. По этой причине вероятность забраковки годных изделий и принятия негодных составляет более 50 %. что подтверждается, например, практическим выходом годных'изделий на предприятиях микроэлектроники, выпускающих интегральные и большие интегральные схемы. Отмеченные проблемы, характерны' и для производства световодов, синтетических, борных, угольных нитей, прецизионных.микропроводов из различных металлов и сплавов, широко используемых в различных отраслях народного хозяйства.

До недавнего времени отсутствовал единый' подход к методам измерений, испытаний и оценки качества такого рода изделий, а также' приборов для измерений Их параметров. . В. общесоюзной поверочной' схеме для СИ длины отсутствовали образцовые меры и приборы для метрологического обеспечения диапазона измерений 0,001 - 0,1 мм.

Вышеизложенное позволило сформулировать три актуальных задачи повышения точности метрологического обеспечения измерений

малых длин:

- создание специальных мер малых длин, как образцовых, так и рабочих, особенно в диапазоне менее 0,1 мм;

- создание образцовых СИ и рабочих эталонов для аттестации специальных мер малых длин;

- разработка поверочной схемы (или дополнения к государственной поверочной схеме СИ длины) и методики передачи значений единицы длины образцовым и рабочим СИ.

ЦЕЛЬ РАБОТЫ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ. Цель» работы является разработка и экспериментальное исследование высокоточных методов и СИ палых линейных размеров, а также разработка основ метрологического обеспечения СИ малых длин.

Поставленная цель достигается решением следующих задач:

- анализа методов и СИ, используемых для высокоточных измерений малых размеров в диапазоне 0,5 - 200 мкм, и состояния их метрологического обеспечения;

- разработки математической модели высокоточной когерентно-оптической измерительной системы дифракционного типа;

- оценки пределов измерений и разрешающей способности дифракционных измерителей малых.длин;

- анализа погрешностей измерений в дифракционных измерительных системах;

- разработки методов измерений диаметров микропроводов, стеклянных и синтетических волокон, .ширины штрихов'и щелей;

- разработки метода одновременного измерения ширины.щели и периода штрихов дифракционным.и интерференционным методом;

- разработки . высокоточных измерительных установок и комплекта мер для проверки СИ малых длин;

- создания проекта поверочной схемы, для СИ малых длин.-

МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ. Исследования проводились с привлечением аппарата волновой .'теории дифракции и интерференции .когерентного оптического . излучения, теории линейных систем, базирующейся на собственных функциях преобразований Фурье, и использованием методов математической статистики и'математического моделирования на ЭВМ. Исследования метрологических характеристик разработанных СИ проведены экспериментально.

НАУЧНАЯ НОВИЗНА работы заключается в следующем: - развита теоретическая модель для математического описа-

ния формирования и восстановления изображения микрообъекта в дифракционной измерительной системе, позволившая получить простые математические зависимости, удобные при.проектировании измерительных приборов:

. - получены математические зависимости распределения освещенности когерентного излучения в плоскости Фурье-изображения сложного микрообъекта, позволившие оценить уровень интенсивности составляющих излучения, как функции формы и материала измеряемых микрообъектов, влияющих на точность-измерений;

- теоретически и экспериментально показано, что предел разрежения в дифракционной измерительной системе менее "реле-евского", что позволяет осуществлять измерения линейных размеров меньших длины волны используемого когерентного излучения с высокой точностью;

- предложен и реализован физически обоснованный метод локализации положения края изображения микрообъекта' в когерентно-оптической измерительной системе яри одновременном измерении микрообъекта дифракционным и фотометрическим способом с использованием абсолютного интерференционного способа регистрации результатов измерений;

- разработаны и внедрены в метрологическую практику оригинальные образцовые меры и установки, научно-обоснованные методы передачи значений единицы длины в диапазоне 1 - 1000 мкм:

- ряд конкретных технических решений, выработанных в результате проведенных исследований, признаны изобретениями и защищены авторскими свидетельствами.

НА ЗАЩИТУ ВЫНОСЯТСЯ:

- принципы построения и математическая модель формирования и восстановления изображения микрообъекта в дифракционной измерительной системе;

- расчетные зависимости распределения освещенности когерентного излучения в плоскости Фурье-изобраясения сложного микрообъекта. как функции формы и материала микрообъекта;

- теоретические и экспериментальные результаты измерений линейных размеров меньших длины волны используемого когерентного излучения;

- метод локализации положения края изрображения микрообъекта в когерентно-оптической измерительной системе при одновре-

менном измерении микрообъекта дифракционным и фотометрическим способом с использованием абсолютного интерференционного способа регистрации результатов измерений; .

- оригинальные образцовые меры и установки, научно-обоснованные методы передачи значений единицы длины в диапазоне 1 - 1000 мкм, внедренные в метрологическую практику.

ПРАКТИЧЕСКАЯ ЦЕННОСТЬ. Разработаны и внедрены в метрологическую практику высокоточные исходные СИ малых длин,, предназначенные для аттестации образцовых мер малых длин, используемых для аттестации как образцовых, так и рабочих СИ. -Созданы-высокопроизводительные устройства для измерения диаметров движущихся волокон. Разработан, изготовлен и внедрен в метрологическую практику ряд специальных мер малых длин. Предложена локальная поверочная схема для СИ малых длин. Разработана методика определения, исключения (или существенного уменьшения) систематических погрешностей при измерении транспарентных (железоокисных; -частично прозрачных) фотошаблонов. Предложенный метод поверки дифракционного ' измерителя малых . длин позволяет исключить (или существенно уменьшить) систематическую погрешность исходных и образцовых установок. Устройство для измерения малых размеров с регулируемой щелью позволяет измерять размеры единичных элементов, значительно меньших длины волны источника света.'

РЕАЛИЗАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ. Впервые создан и утвержден в СНИИМ рабочий эталон единицы длины в диапазоне 0,001 - 0,200 мм ВЗТ2-25-91 в составе: дифракционного измерителя, компаратора для измерения штриховых периодических мер. фотометрического измерителя ширины объектов. Специальные меры малых длин внедрены на ряде предприятий страны - НПО "Союз", НПО "Восток". "Изомер", НИИМЭ, ПО "НПЗ им.Ленина". СТАНКИН, ИАиЭ СО РАН и др. Разработан проект поверочной схемы для СИ малых линейных размеров от 1 до 1000 мкм. который использовался при разработке государственной поверочной схемы МИ 2060-90, выпущены ГОСТы и методические указания (МУ) на поверку ряда СИ.

Экономический эффект, полученный народным хозяйством от внедрения в метрологическую практику созданных образцовых мер малых длин и СИ, оценивается более 2,5 млн.рублей в ценах 1990 г.. что подтверждается 9 актами практического использования результатов диссертации.

, АПРОБАЦИЯ РАБОТЫ. Основные положения диссертационной работы И ее.отдельные результата докладывались и обсуждались • -на ' следующих, научно-.технических конференциях. • совещаниях и семинарах:, • Ш, 1У.' У Ленинградское- совещание и Методы и приборы для точных, измерений' длины и углов"; 1973 г.. 1977 г.. ~ 1980 г.. г.Ленинград; . семинар "Опыт внедрения, прогрессивных методов и средств технического контроля качества", .у. Ленинград. -ЛЛНТП. 1975г.; II научно-техйическое' совещание "Контроль толщины защитных и специальных покрытий". г.Свердловск. 1976г.'; I республикан-• екая научно-техническая-конференция "Методы и.средства измерений механических' и.линейно- угловых величин в приборостроении и на.. шиностроении", г.Киев,. 1975 г.; Научно-техническая Конференция "Теория и' практика внедрения тонких электропроводящих нитей в " точном-приборостроения'",- г. Пенза. 1981т.; 5-я Уральская •■ научно-практическая конференция .по .метрологии, г. Свердловск, 1983г.; семинар "Внедрение средств и методов'размерного контроля", г.Ленинград. ЛЛНТП. 1984 г.';. Всесоюзное научно-техническое совещание "Внедрение прогрессивных' средств и методов, размерного контроля, точных измерений длин и углов'.', г.Ленинград,. 1984 г.;. "О состоянии метрологического обеспечения.измерений малых- линейных размеров". 'НТК Госстандарта.-сен.1987 г.; 9гй международный симпозиум по метрологии ИНСИМЕТ-88, Братислава. ЧССР, 1988 г.; научно'" техническая конференция-"Исследование,..разработка и применение в производстве-СБИС мер ширины-элементов", г. Минск.'1991 г.; НТК Госстандарта'РФ '■"О состоянии метрологического обеспечения измерений-малых длин". ?'..■Москва. 1992 г.

ПУБЛИКАЦИИ. По результатам 'диссертационных исследований ..имеется.42 публикации.• в том числе 5. авторских свидетельств.

. ■ • • СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

' ' ПОСТАНОВКА И СОВРЕМЕННОЕ .СОСТОЯНИЕ -ПРОБЛЕЮ. Повышение требований к' точности измерений геометрических параметров элементов миниатюрных изделий, используемых в'различных отраслях науки и техники, привело к необходимости существенного улучшения характеристик существующих и созданию принципиально новых методов и СИ. В настоящее время используются следующие основные способы измерений: непосредственно в плоскости микрообъекта, на

основе анализаувеличенного- изображения .микрообъекта;-и-на.базе-'обращения' 'Фурье-изображения,- ■."анализируемого/ в- . фраунгоферовой ' области, т.е. по!дифракционной'картине'мцкрообъектд.. ..' '•• ' '..' .. .Анализ точности СИ малых .длин' .в' диапазоне размеров';. Í "'200"мкм, ' используемых -В' технологии производства,- ползал, -чть' • использование контактных СИ'для измерёния непосредственно в"пло- . ■ ' скости микрообъекта,- в.- подав-цяющем' большинстве^ случаев • на ó.pécíre-' '' чивает .требуемой точности'-/2. 5-7,, 10,- 15, 19, 27,' 28/:.. Получившие". широкое распространение оптические'методы, фазирующиеся на'-применении ' микроскопов- й.про'екторов.большого-увеличения, ■' такие • г-как- визуальный '-ието'д,"'метод 'фогеметрированияИзображения скани- ", .рующёй'щёлью, метдц регистрации временя 'пробега;лу^а,.от края до, •

• края- телевизионного изображения микрообъекта.' метод регистрации ', ' подожекий"' краев микрообъекта, с помощьй оптического : юш* этгект- ■ ронного микроскопа и' лазерного .измерителя перемещений; -""xapakré-- •'

• ризуются-'.рядом негативных- свойств;.: •существенной- зависимостью ~ ' погрешностей йзмербний. от точности отсчетных устройств; точное- -.

. тьга фокусировки на-объект-измерения,, аберрациями оптических сис-" ■ тем, способами освещения, 'субъективными - ошибками операторов и" др.. - факторами. • .. •■'•.'..'•■. ; ...

■ . . Наиболее-перспективны'для высокоточных-измерений\микро-.объектов 'новые когерентно-оптические методы, использующие дифракционную картину, - получаемую при'освещении.'микрообъекта,'.'в-которых по характеру светорассеяния восстанавливается -мйкро^е'о-метрия,. т,е. размеры микрообъекта. Методы.бесконтактны, имеют: высокую , чувствительность и быстродействие, удобства-получения измерительной информации.; .и, хотя . в расчетную зависимость р.е-'

• зультага измерений входит длина волны используемого . изл^ения... размеры .-микрообъекта- определяются не путем прямого сравнения' с длиной волны,- .л- через некоторые "волновые параметры"; зависящие в этом числе и'от.конструктивных' параметров измерительных уст-/ ройств. Однако; отсутствие аттестованных .образцовых.мер и-этало-"нов не позволяет .получать достоверную информацию о' характеристиках приборов,". формирующих, изображениё, о параметрах,, .вносящих' погрешности в измерения, а также их компенсации или исключения: Практика показывает, " что результаты измерений одних и тех же объектов с размерами.1 - - 200 мкм для приборов разных типов отличаются на 0,6 - 1,2 мкм. ' и погрешности часто значительно превы-

• шавт.допустимые значения. • '" •' •■•"'■'.

■В-основе -когерентно-оатичерких методов измерений.лежит идея, определения изображения края микро'обьекта по измерению- ин-' ■ ■'

■ -тенсивности;света. Для 'повышения точности наведения на Край при. меняются фотоэлектрические .методы регистрации-изображения края : ." . по -некоторому положению, точки на кривой распределения,- интенсив- '

' ности.. В .зависимости- от вида освещения (когерентное, некогере'нт-- ' '.. .' нре) оптическая_ система СИ.' как фильтр пространственных частот; ; будет линейной .к амплитуде или. ее интенсивности.. Анализ точности

• .фотоэлектрических методЬв регистрации по - работам А. В.'Никитина.'

. Д: Ниссоне}}.' .Свита . и"др. показал, что теоретическая'погрей- ■. • .-' ' ,ностб 'определения края -при-определении, 'отнясительно. интенсив-'.'. ности 'с; точностью, + '2.-5?. соответствует'0.'01 цкм, • однако,' на ■ ■ .

■ 'практике достигнутая точности, составляет ±-0;05 -. 0.-1' мкм'.- ■ _ . • '' ' .

-• - , .Прин'цишальное.отличие'дифракционных методой-регистрации-.' '' • от" фотоэлектрических заключается в регистрации интенсивности' ис-^ пользуемого''когерентного.'излучения от. микрообъекта в. сопряженной .' .плоскости Фурье-изображенид; образующегося-в результате интерфе- .

■ -ренции дифракционного, излучения на краях изображения.. Это- обсто- . ., ятельство позволяет получать- пространственные .спектры для- раз-.'''

. дачных объектов и-.производить их обработку .в частотной -области. ■

Спектр инвариантен к сдвигу в;плоскости перпендикулярной к опти- . ' -' ческой- оси.системы, т.е., перемещение-объекта в плоскости прёдме- ' .'. ■ тов.не.приводит к искажению частотного спектра.. 'Зона формирова- '. ' . ния - Фурье-;йзо'бражений'СИ может быть выполнена как- с оптическими. ' . ■элементами,, 'так и без них:- В последнем случае лет-од не связан с ' . погрешностями,-' -зависящими от качества и-.разрешающей-способности

• оптичёской.системы. . С уменьшением .размеров мякрробъектов и при. ' увеличении расстояния до1 ".плоскости регистрации'пространственные -. •

' размеры распределения"интенсивности превышает размеры микрообъ—- . ■ •екта в 103 .-.10я раз. ; .: ■ . ' •- .

•' '. •-' Созданию исследований дифракционных методов и СИ -малых '. •' • линёйных размеров,- а также, анализу их точности посвящены ряд ра-

• бот зарубежных, и -отечественных -авторов -(Ютейнкнехт • X. Р;, -Майер

• X.; ' Коздан X..-; Митрофанов А.С., -Чугуй ¡0,В., 'Котлецов Б.Н-.. Вол-'ков В. В.; Катаев в: А.. - Евсеенко Н. И... Бычков Р. М..' ; Лоди М. Н. и др.), в. которых "рассмотрены теория. ■ принципы действия дифракш<^ онных СИ, использующих следующие основные способы, "базирующиеся .-

на регистрации: „интенсивности в фиксированных точках дифракционного распределения; линейных размеров до экстремальных точек дифракционного распределения; расстояния от • объекта до плоскости, в которой расстояние между регистрируемыми экстрему- . мами постоянно; соотношения интенсивности ' в различных дифракционных экстремумах. Основное внимание авторов уделяется увели-' чению производительности, расширению сферы применяемости, метода, повышению чувствительности .измерений. При. этом практически не исследуются систематические- составляющие погрешностей." которые существенно зависят от используемых при расчетах, приближенных зависимостей., формы и материала.измеряемых микрообъектов,"-и. в большинстве случаев, превосходят случайные', составляющие погрешностей; В предлагаемых СИ используются сложные-ортические элементы формирования -изображения типа объективов с исправленными или с искусственно созданными аберрациями. Градуировка СИ и оценка точности во всех случаях проводится по образцовым мерам, точность аттестации которых зачастую не определена и для отдельных СИ требуется на уровне сотых долей микрометра. По•этой при-, чине вопросы, метрологического обеспечения .СИ, рсновывающихся на. дифракционных методах,, становятся особенно актуальными. Как показал анализ, наибольшая разрешающая способность и точность из--меренийа диапазоне размеров 1 - 200 мкм может .быть достигнута при использовании фотометрических и дифракционных методов, при-, чем для получения достоверных результатов. • измерений "эти методы должны быть "привязаны" к абсолютным интерференционным методам, используемым при эталонных измерениях длины. •

".МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ФОРМИРОВАНИЯ И ВОССТАНОВЛЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ .МИКРООБЪЕКТА. Для измеряемого оптической системой объекта конечных размеров всегда можно построить изображение и по нему восстановить как сам объект, так и его отдельные параметры.' Точность восстановления ограничивается шумом в оптической системе формирования изображения, зависящим "от-размеров апертуры, ограниченной полосы анализируемых- частот, аберраций, .фоновых, засветок и т.п. В предположении точно известных характёристик системы формирования изображения, существует формальное решение проблемы восстановления объекта путем.инверсии процесса формирования /3,5,6,7.10,14,22/. В случае рассмотрения одномерной сис-

и

теш формирования . микрообъект освещается в плоскости объектов когерентным и ограниченным в некоторой области излучением. Изоб-

■ ражение на выходе системы анализируется фотоэлектрическими мето-

■ дами.

• •■ ■ Система формирования.изображения, в общем случае, описывается линейной интегральной операцией

F<U =7 qU.x)-.f(x)dx

(1)

где х координата в пространстве объектов; £ - координата в пространстве изображений; f(x) и F(U - комплексные амплитуда объекта и изображения, соответственно;

q(£,x) - аппаратная функция системы. ■

В линейной,системе формирования влияние отдельных элементов линз, диафрагм и т.п. полностью учитывается на основе анализа структуры изображения точки (которая и характеризует разрешение оптической системы). т:е. аппаратной функции q(£.x).

Для ' идеальной (неискажающей) системы формирования изображения с дифракционными ограничениями аппаратная функция (ядро интегрального уравнения) (1) имеет'вид

q(i.x) = l/dg -sin

(t-x)

t-X

(2)

где dR - расстояние- разрешения по Релею. Отсюда

F(U

■ в i/dR ; ■ -в

fix)- sin

U-X) d.

t-X

dB

dx

(3)

где..пределы интегрирования ' -в<х<в определяют пространственную интенсивность объектов, заданную в ограниченной области, что ■обеспечивает, равенство-нулю'функции Их) -вне области -в<х<в.

Если q(£.x) узкая по сравнению с деталями распределения света в объекте Их) . изображение в отсутствие шума очень похоже на объект. В случае, когда q(£,x) содержит детали меньшие по

R

ширине, эти детали будут, существенно • сглажены или• совер- ' шенно потеряны, и. следовательно, необходимо решение-проблемы восстановления изображения. .

. Система восстановления изображения микрообъекта- базирует ся на представлении выходного процесса рядом по. функциям с двой-.' ной ортогональностью /44/. позволяющего в отсутствий помех на' ' выходе прибора точно восстановить, выходной процесс'..' Искомое рё- . шение интегрального уравнения (3). 'в '.предположении- 'финитности : входного воздействия и.спектра ' и известной оценке .ошибок

измерения входного .процесса имеет вид- ..'.'..'-.■-.■

Г.(х)'- 11т -• • ' ' • (4) •

■ . . - . , . . • . ••••'..•.■

где . ' _ • • '._•::.

Гк(и - / Каа.-Х)-Ряа)<Ц. . ' ": ' (5) .

■ -В - • ■ ' .

■. ми -1 ——■.. . . .• ■.,. (6)-.

П=0 . • • / . . . ' .,

(х) -собственные функции ядра N '- число членов ряда, '

31,, - коэффициенты ряда. ' ; . .. - . ■ • •

• в - . - ■ " • ' ' . •- ' - . : . . • ' ■

Х„ = / Г(Х) % (х)(1х .-■ ' • . (7)'.

■ • ■ (!),. '■

-в .' • - •' ' •'■.'"." . .

> 2ЧЙО / • • ' . (8) .

П=0 -в . : • -

%(х) - собственные функции ядра я(£.х).' И' - число членов ряда,- . Хц - - коэффициенты ряда. - ■ ■ • '"

К - / Г(х)-тМх>йх . . .' (7). • . • . .;.. (7) ;

-в . . : 4 .'. . '. • • •"

N . в . : '. ' - -•

Рм<0 •■ -. '■. ' (8)

п=0 -в ' ' • . ■ ■ ' . ■ .

■ Из <5) следует, что:при ; отклик системы восстановле-. ния в области |х| Цив; стремится к дельта-функции 5(х~£). При конечных значениях N ширина отклика имеет вид4 (рис. 2).

График ширины отклика системы-восстановления

Р(0

1 мм.

Г(Х)

ю .20 .зо - -а мкм Рис. 2

Анализ графика показывает, ■ что по.мере сужения отклика системы создается большое количество-боковых лепестков в области •(х)>в. Их энергия, как и собственные значения; сфероидальных волновых функций, убывают .с увеличением индекса п. что. позволяет в отсутствии шума восстановить исходный сигнал с любой • степенью точности. Однако, вследствие - того, что'значения Х„ с увеличением П' быстро убывают, ошибка восстановления- в 'присутствии шума может-быть недопустимо-большой, что существенно ухудшит разрешающую способность системы.

Процедура восстановления эквивалента подключению к выходу

оптической системы формирования изображения-дополнительного линейного прибора: В результате входной.процесс восстанавливается с точностью, зависящей от используемого прибора и шумов в опта-, ческой системе формирования изображения. ■

Для получения практических . зависимостей при.построении измерительных установок рассмотрено . формирование ' дифракционной. картины на микропроводе с.использованием принципа Гюйгенса-Фре-■ нет. При этом получены простые расчетные зависимости ■ распределения интенсивности и положения' дифракционных максимумов и'' минимумов в зависимости от поперечных размеров микрообъекта .

пД /ьг + 1,г d =—--— ', ' (9)

или

lt

ni! X L

—- (10)

l/d2 - щг1г

где d - размер (диаметр) микрообъекта; . X - длина волны когерентного излучения; ш4- порядок или-номер экстремума дифракционной картины; -l'i- расстояние между экстремумами.

Точность определения - d -зависит от. погрешности, измерений- . ДЬ, Д1. и АХ, или, ввиду мáлocти АХ .

п. - X .' ' ■ ' ■ . '

Ad = —-- (L-A+ 1-AL) • (11) ;

В зависим'остьй (10) вйдно,' что при уменьшении á от неко,-торого значения d»X 1 увеличивается .сначала медленно! при d- X. начинает возрастать '(рис.' • 2)". При d=X, 1 =~» т.е. имеет место' лишь центральный , экстремум--далее, с'уменьшением d'интенсивность ■ уменьшается до нуля.. :' . •

Распространение сигналов-в сврбодном" пространстве связано с потерей экспоненциально, затухающих волн на расстояниях нескольких', длин волн от объекта, • поэтому высокочастотные составляющие дифракционного -спектра очень малы, по интенсивности, т-. ё.- эф-

1

i

фективное.число экстремумов функции распределения конечно. „Практически при измерении микрообъектов дифракционным методом .выход F(0 анализируется в .малоугловом диапазоне фраунгоферовой зоны Fs ({)/•.где направления на max.й min интерференционной- картины дифракции определяются известной-зависимостью/45/

d- sina = + тД -.. (12)

X '■ ' ■

где slna = nij — - направления, по которым разность хода-X.. • -й - ; идущих от краев микрообъекта а, равна-нулю' или целойу числу..-Наибольшее . которому.удовлетворяет/12/,/определяется - ,

d ■ ;

1+2 — = % . . . (13) ' • X ' "

Задаваясь определенным соотношением сигнал/шум при фото-,- .

метрическом анализе изображения- ?(£)■ зависимость /13/ дает возможность определить количество эффективных экстремумов для. по,-лучения требуемой точности, регистрации ,F( £). Алгоритм - вычисления ' размера микрообъёкта в автоматизированной измерительной системе дифракционного типа приведен на рис'. 3. „ . , ;

АНАЛИЗ РАЗРЕШАЩЕЙ СПОСОБНОСТИ дифракционного метода и пределов измерений базируется на критерии,Рзлея^ .когда вхбд при- • бора представляется суммой двух дельта-функций,' при этом определяется минимальная величина между ними вп10. Наличие у распределения на выходе при х=0-минимума равного 0.8-Imail' считается пределом разрешения, если же при этом наблюдается максимум, то ни-' .. чего нельзя сказать о входе. Однако, выход ?{(,) при каждом' значении имеет количественное различия, которые при измерении дают информацию о изменении входа /43/. .. _ '

Входное воздействие с учетом-критерия Рэлея - - ' '

/я

f(x) = /— I 5'(х-в). + 5(х+в)]

(14)

Рис. 3

тогда выход прибора определяемый откликом.на-дельта-функцию

' • sln(B-t)' sln(BH) ' • '

FOB f- • . •■•■' :.".■■ ' (15)

•',.■•■ ; „В--.4 • , в + 4 . .

'.', Минимальная величина в„1п. 1 при : которой еще .разрешается ejcoa.f (х).- определяется .условием исчезновения минимума, у функции

• • .' .;•. Г " . V -Л ч ' '. ••/',

' tffW* ~-—Г ' (16)

. откуда-вя1 в" =-2.1..ДЛЙ Излучения гелий-неонового лазера с длиной • волны V =0.63 нкы максимально разрешимая-величина' • вя1п »' 1-,-Змкм.-.•'. Зависимость /14/ показывает,- что- вход'.Т.МзО-при х > вл,„-так. что. преобразование Фурье f ix) ; ' . • ■ .. • • ' . '

•.*/'♦' ' COSMB . • . • • .'-'- '" . (17)'. '

является' ограниченной функцией при"« < 1■ . при - заданном спектре' ■'аппаратной функции^ .li(w). . отсюда видно, -' jjtq при-незначительных ■ 'изменениях ' значений "В"'".спектр'функции 717/ значительно изменя-' бтся. 'Это. показывает,.' что минимально, разрешимая "величина "дифракционного ' метода определяется-только, разрешением системы воссга-.новленного изображения. ' _ " • / ' . .

•ТОЧНОСТЬ ВОССТАНОВЛЕНИЯ объектна-по.-изображению определяется' погрешностями измерений отклика прибора, • свойств его.аппаратной функции и видом неизвестного^априори входа.- "На практике.' например, при измерения* в когерентно;оптйческих "системах прозрачных о'бьектов., • особенно, с дихрйизмом, невозможно' " определить тбчность.по неточно известному выходу. _" .Можно 'доказать', что ошибки будут-тем больше; чем'резче изменяется., функция ,f (хК т.е., чем тоньше, структура, входного воздействия. 'Поэтому. дЛя". получения' оценок 'точности необходима оценка ■ систематических-, погрешностей, присущих-измерительным установкам помимо погрешностей случайного.-характера-'от нестабильности <источникгг излучения. 'фотоЗлёктри-- ческой- систёмы регистрации, .измерения''внешни51 -уолоЬий" и т.п~„ • - .Для' оценки-фазовой погрешности;' зависящей от испол'ьзова-'

ния, в алгоритме измерений' приближенных зависимостей (фазовой 'погрешности-входного сигнала хтри формировании.изображений микро-.объекта), рассмотрена .система формирования изображения на примере щели или микроволокна /45, .37 , 3/.-Показано, что вместо точного выражения для' расчета -разности,-хода лучей от,середины и краев дели*ЛЬ в случае,- когда! погрешности, определения фазы складываемых колебаний «я. т. е> малы -по сравнению \/2, -.'можно использовать, приближённое _ ..-/..-.'

- М, йп-.з1па, ..'.-'-.- . ' '• ' (18)

где а - угол.между..нормалью-к щели и направлением, на.экстремум; -сЗп -ширина щели. .При этом -для всех выполняется условие

- -1 й„8 . , • X .

'--созга << — , . • , - ■ (19)

2 10 2

(1„ - расстояние, от- точки', наблюдения до -середины -щели). из которого-следует, что для'уменьшения.фазовой погрешности необходи-' мо -увеличивать расстояние до плоскости регистрации изображения микрообъекта. Оптимадь.ные "соотношения .-для размеров объекта й и 'расстояния'. ,' нормированные по значениям волновых параметров Р, - определяющих-конструктивные' размеры установок, диаграмму направленности или дифракционное изображение микрообъекта.' имеют вид

/Т0Т'Х ... - . ,

Р = -2-г. ■ ■ (20)

.'Таким образом, -приближенная -теория, формирования изображения микрообъекта будет, удовлетворительна при -волновых параметрах Р, заметно превышающих- единицу, .и тем более точна, чем .больше величина Р.- ' - '.''."-' •'■.-"."

. Для исследования.погрешностей;- зависящих от-формы объек-,та, рассмотрен, случай," когда края'¡цели "(или наружные точки тене-,вого изображения-и действительные точки' краёв- цилиндрического щкроо,бъекта) не .лежат-в'одной плоскости,- -перпендикулярной проходящему излучению.-' При э.том размер микрообъекта - определяется

выражением

nv-X"L0 .. li -4L • • ■

á=-----i- , (21)

- Íi , : -2L0 *; - . .

а погрешность-измерения

(• ГП^ L0- - AL

. -... t.,/ь .. -

-Д1 . . :' (22)

^ Погрешности от. материала- о№екта -возникают, при, измерениях полупрозрачных материалов. . например. . диаметров d, оптичёскйх световодов,'--"синтётических волокон. с коэффициентом преломления-Nz,. коэффи£иентом пропускания т и коэффициентов .отражения р .. Формирование, Фурье-изображения. шкрообъекта определяется-полем.-излучения.' которое можно разделить на-составляющие': '•

- излучение мимо объекта,. прошедшее без дифракции

I, = k2-n- (D2 -с2) . (23)

• - излучение, прошедшее через волокно .

1г = У1 (К -n d х ;2coszQ,/l4>z -- 'sin2dj . + eoaüj)2dü,; (24) fti

- излучение; дифрагировавшее, на'границах волокна-

-ц / '-- sinu' \ • ' 13 ■= Г k -n -d--:--]г du .-

. U V U )

(25)

- излучение, отраженное, и-прошедшее в'плоскость изображения ••'-.' . ■

-Q, / : / н£* - sin2 a -cosan2'

i4 - ¿ -[ k.'n 'd "cosGi "P —:--:— J dQi-' <26>

1 . - / Nzz - SlnzQ, ■+ cosQj'

" _ . 'где 0! у^ол падения'лу!и; ' ..- '•. .' . "... • ' ^ ■ '.. ■ , . • ■ Ог '"г -угол цреломлёрия;- , '. ✓ ■". \ . - ' ..."'"'■',■•-.

' ' . . ч • • « -'"л»! ••«•-'угловое положение экстремуца.:; •. ' "" '••' ; , '•'. .' ' .

■ - . . ' , . На"основб выражений (-23-26), рассчитаны на.ЭВМ и'пЬстрое- -.• -ны графические --зависимости. этих. состав'лявщих.' • Даш рекомендации . ■ -для- уменьшения и исключения-влияния их на результаты измерений." ' •;. , .'--•' \ ,-методами СРЕДСТВА .ИЗМЕРЕНИЯ ДИАМЕТ'РОВ.МЙКРОПРОВ0ДОВ'И'-_

._' 'ВОЛОШ.. Оснощюая^ \°теоретичесюк исследовавдй. •

. , ' разработаны и•' Экспериментально ' .исследованы ;ряд методов' и уст-'• • ' '. ■ -. ' ' ройбтв для" измерения диаметров.микропров'одов'; и. волокон,., ширины '. .' ■'• атрихйв'и щёлей-и други'Х'Микрообьектову1т2, '4-13У," • /.'.'-•. . .-' В; основу ./установок 'положены дифракционные/-методы -измере- ■ . - ., ний.- Тбчиость-',измерений- -зависит''от. чййл'овых значений .волновых V'. - параметров в конструкциях установок'" и порядка используемых.собс-. . , ' твенных" функций. 'На. созданных установках' при измерениях в диапа- "'" . • . •' ' зоне размеров 1 --.200.мкм"диаметров микрояроводов.■ в .стеклянной ." изоляций.. • -Твердосплавных'микропрово^ов; -оптических световодов,

, синтетических 'волокон,-.борных.нитей,, микропровдд'ов' а покрытий из ■ драгоценных металлов ц др!- объектов' "получены погрешности изме-.

- рений О". 02-0,-15" мкм 'в зависимости- от свойств' мйкроо'бьектов.. На . . - одной из-измерительных установок/4,5/реализован-метод измере-

- ,'ния микрообъектйв с размерами менее 1 -мкм с йогр'ешностью не бо- - • .

■ лее 0.05 мкм. •■'.'" '.- -',...'.'

..МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ . СПЕЦИАЛЬНЫХ ШТРИХОВЫХ МЕР. ■ Представление периодической, штриховой мера в виде решетки, которую можно точно измерить, как дифракционным." так.и абсолютным интерференционным -методом.' 1,дало возможность осуществить связь дифракционных - методов измерений с эталоном длины'. Для 'повышения точности измерений штриховых мер длины и сравнения методов'. разработаны и экспериментально исследованы ряд конструкций специальных штриховых мер и установок с использованием фотоэлектрических методов регистрации, центра: и края, штрихов и измерений

■ их положения абсолютным интерференционным.и дифракционным методами /15, 18, 22,-25, 28, 30, 33/. Использование одновременно обоих' методов•при измерениях специально изготовленных решеток позволило снизить погрешность их аттестации до.0.01 - 0.02 мкм. Создана фотометрическая установка с лазерным интерферометром для аттестации мер ширины в диапазоне размеров 0.5 - 1000 мм.

' ; ' МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ- ОБЕСПЕЧЕНИЕ 'СРЕДСТВ' ИЗМЕРЕНИЙ/МАЖК. ДЛИН.' .На основе теоретических.'и~экспер,именталйных 'исследований /Й,21 • • * -34/ предложен проект, поверочной - Схемы 'для/* средств'' измерений "• ■ шшны;щ',диапазрн'ёД" - -200" мам'.. РазраСЭтаны-и-внедрены в метроло- ' гинеекую практику ряд специальных мер-длины, предложен^ метбдики ' , • -.-аттестации ""высокоточных^средств^ .измерений малых линейных'разме--. . ; '.ров.' -На способ'поверки дифракционных' измерителей4 получено, -ав-, ' -

тораксе -свидетельство -на* изобретение. " Создана _ ¿снова для • разра- ; ' - ботки специальных* этаяонбв"малой длины," "поставлены е^Р Для осна-- ' . ,'щёния 'Территориальных Органов Госстандарта и"народного-хозяйства '. ■ исходашли.д5редстваки''измэрений! .Результаты .работ по; метрологи- -" ческому обеспечении предс'тдвлены в -виде, действующих- гойударс-• твенных -стандартов,. . методических указаний, локальных поверочных .

- схем.-'..На основе .провёдёнтк.исследований, поставлены; и--выполня-ютоя-ОКР--"Создание-рабочих эталонов-малой длины*"'. "Аетоматизиро- " ванно® рабоче'е меетегповерителя".- ■ '-'■ - '* • -.'•; .-'-,..' -

: '. ч. .: ОСНОВНЬЕ' РЕЗУЛЬТАТЫ И вывода: • •'"'/'-'.".''. . . " .Д. -В .'результате' анеГлиза'известных;методов'и-СИ микрорбь- ■• . екто'В; 'показано.*,' чтЬ повышение-точности'измерений размеров Г' .' -

- 20"0 -мкм:'можйо. обеспечить -когерентно-оптическими измерительными. .' сйстемамй. -использующими .фотометрический 'и дифракционный методы- ■

'. регистрация ¡положения краев микрообъекта') 'и абсолютный интёрфе- - •

р^нцибнный -метод в 'отсчетных устройствах.' измерительных- -.систем, -' Установлено-, также, '-'что. -требуемая", точность измерений не модет \ '' поддерживаться- при готсутствий ;мегродогическогр обеспечения СИ. • -' - • " 2'.- Предложены- шринципы. построения й математическая -мен' ' .. .•дель '-формирования й восстановления'.. изображения _ микраоёъёкта в '. . когерёнтно^оптичеокой'дифракционной.измерительной системе.' -Про-; ,. ведена теоретическая 'оценка пре'дедбв измерений "а разрешающей' 'способности дифракционных измерителей малых длин". Показано, .что . возможны высокоточные" измерения -разменов;. ме;нбшх .предела .разрег - шения по-Рэ^е'й.-■ •' '..'.' -•• ^ -.- .•';''•'•..."-■ •

3." Проведена Теоретическая.'оценка'.поррещно'с1и.'измер'ений, . зависящих от; использования приближенных- зависимостей ;фазы крле-"' .; баний'прй формирований изображения (фазовая, .погрешность)-,; а так- .- ' же ■ погрешностей,' зависящих, от формы-и материала "микрообъекта. . •-Показано,. "что для -повышения- точности измерений-при-малйх волна,- ' * ' -вых параметрах следует пользоваться точной- формулой'расчета раз- '-

•ности-хода лучей. в. формировании-изображения или увеличивать -вол-■ новые -параметры установок. Получены соотношения для -расчета- погрешности -измерений' при-формировании изображений,, 'зависящих от -

• формы и материала объекта.

.' . . 4. На основавши .проведенных теоретических /исследований разработаны ' и внедрены в практику'. ряд методов и'устройств для • "* , высокоточных измерений микрообъектов: '. - ; '' ' •

. . ' ■ - метод, измерений диаметров микропроводов в стеклянной изо-, ляции. й их,некруглость; '' • • > - '- '

-метод измерений толрны покрытий на,микропроводах и- волокнах; . . '-метод Непрерывного-измерения диаметра; .'.- . -, - -методы измерений' стеклянных.'и синтетических'волокон;' . -методы' измерений элементов"фотошаблонов, 'микросхем, микроще-- ' лей.и "зазоров;' • - ' у -.••".'.' V ' - . ' -метйды измерений микроперемещений.. ' . ■'

. . бгВ результате,- исследований метроло'гических„характерис-

тик, предложенных'методов и ,СИ микрообъектов разработаны специ-■ . ■ альные. меры малых длин;"методы 'поверки-и' аттестации -высокоточных . СИ. ..'."'.--'.'•

г . •. - Основные -результаты' опубликованы' • в с'ледуюйда работах. ' „' ' , -1., Лизунов В.-Д. . Дифракционный, метод измерения малых раз. ; • меров ■ с помощью '-лазера.// Тр.,- метролог, чийттов.' - 1974. -

• Был, 14.3 (-208). - С. 76-79. ' -,'. '-- -

. ■'.- , • '.2. Лизунов В.Д., Весельев В.'М. Метод,и-устройство для. из.' , мерения-'диаметров микропрввбдов ,, в - стеклянной, изоляции// -Опыт ' .' ■ внедрения . прогрессивных методов и', средств технического контроля . - -- 'качеств"а.-Л. Л975.--С.53-56. " ,„ . . . У . ■ '

'.' • г. 3. "Лизунов В.Д. .Бесконтактный метод измерения малых ' '. линейных,'размер.ов// Измерительная >е)шика.-197.б. -N2. -с. 37^40. ' - ' - .- 4. 'A.c., '508667 СССР, МКИ G01B11/08: Устройство для бесконтактного измерения -малых поперечных размеров/ В.Д. "Пизунов, '■¿.'М, Весельев-(.СССР);-N 1936596/25-28; 'Заявл. 25.06^73;-Опубл. . -30.03.76, Бюл. М, 12. -1

■5'. Исследование-, возможности создания прибора для измерения геометрических размеров'микропроводов' в стеклянной изоляции: От-■ чет ■ о. НИР-, -(заключит)/ СНИИМ; Руководитель В.Д. Лизунов.-N ГР 730.11316. -Н0в0сибирск..1973.- 40 с.

6. Разработка и исследование лазерного устройства для измерения диаметров микропрвводов: Отчет о НИР (заключит.)/ СНИИМ; Руководитель ■ В. Д. Лизунов.-N ГР .72011313.-Новосибирск. 1975,- 35 е. - Отв. исполн-. В.М. Весельев, Б. А. Буковский.

7. Разработка, исследование и аттестация установки для ■ измерения диаметров микропршодов: Отчет 6 НИР '(заключит.)/ СНИ- ' ИМ; Руководитель В. Д.' Лизунов. -Я ГР 05030153.-Новосибирск,1976,-33 с. . _

3. Лизунов В.Д., Весельев В.М. Разработка и исследование устройства для. измерения . диаметров микропрвводов// Метрология и точные измерения.-1976.-N11.-С. 34-37. ■ " " .

9. Лизунов в.Д.. ; Весельев В.М. Лазерная фотоэлектрическая установка для измерения малых поперечных размеров// Измерительная техника.-1977.-N3.-С.36-38;

10. Лизунов .в.Д. Измерение толщины покрытий цилиндрических обрернов малых размеров// Измерительная техника.- 1978.-N2. -С. 40-42. • .■ . -

11. Лизунов в.Д. Измерение диаметров . прозрачных -волокон He-Ne лазерами//Йзмерительная техника.-1978.-118.-С. 18-25.

12. Лизунов В.Д. Исследование лазерного устройства для измерения прозрачных волокон // Метрология.-1979.-N4.--C. 18-25.

13. Лизунов В.Д. Лазерный измеритель малых поперечных размеров: Информ. листок N39-80.-Новосибирск: ЦНТИ, 1980.-4с.

14. Лизунов В.Д. Метрологическое обеспечение средств,контроля малых линейных размеров//- Измерительная техни-ка.-1980.-N12.-С.19-21.

15. Создание и исследование рабочих эталонов для аттестации штриховых мер длины:. Отчет о НИР (заключит.)/СНИИМ; Руководитель В. Д. Лизунов. -Н ГР 810677-34; Инв N 0280032857.-Новосибирск.1982.-41 с.

16. Лизунов. В. Д. -, Весельев В. М". Фотоэлектрическое устройство для регистрации центра интерференционной полосы: . Информ. листок N 90-83.-Новосибирск: ЦНТИ,: 1983.—4с. ■■

17. Лизунов В.Д. Создание -и исследование рабочего эталона единицы длины для штриховых-мер до 200.мм'// Р.Ж. Метрологическая служба в СССР.-1984.-вып. 3_-С! 22-27. • : -

18. Лизунов В.д:, ■ Весельев В.М.' Образцовые меры для поверки средств измерений малых длин// Внедрение средств и методов раз-

мерного контроля.-Л.,1984.-С. 30-32.

19. Лизунов В.Д.. Весельев В.М., Копытов В.В. Интерференционные установки для абсолютных измерений штриховых мер длины и перемещений до метра//Внедрение прогрессивных средств и методов размерного контроля, • точных.измерений длин и углов: Тез. докл. Всесоюз. науч.-техн. семинара-совещ., 15-17 мая 1984.- Л. ,1984.-С. 67.

20. Лизунов В.Д. О поверке измерителей перемещений лазерных //Внедрение'прогрессивных ' .средств и методов размерного контроля, точных Измерений-длин и-углов: Лез. докл. Всесоюз. науч.-техн. семинара-совещ.,- 15-17 мая 1984.-Л.,1984.-С. 67.

21. Лизунов'В.Д.; Весельев В.И. Электронно-оптический измеритель углового- перемещения: . Информ. листок; N 380-85.-Новосибирск: ЦНТИ, 1985,-4с.

22. Лизунов .В. Д.,' Весельев В.'М. Способ аттестации электрического преобразователя: Информ. листок N 390-85:-Новосибирск: ЦНТИ. 1985.-4с.

23. Разработка аппаратуры, исследование и аттестация специальных штриховых мер длины (тест-объектов) повышенной точности и стабильности: Отчет о НИР • (заключ.)/ СНШМ; Руководитель В. Д. Лизунов.-Н ГР 01840019/836; Инв. N 0280032857,- Новосибирск, 1985.67 с. ' '

24. к.с.' -128849.9 СССР, МКИ G01B11/00. Способ поверки дифракционного измерителя/ В..Д. Лизунов, В.М. Весельев (СССР). - N 3783432/24-28; Заявл, 02.07.84: Опубл. 07. 02.87, - Бюл. N5.

25. Лизунов В:Д., Весельев В.М.. Загарских С.А. Аттестация фотоэлектрических измерителей топологий фотошаблонов:' Информ. листок N 386-85.-Новосибирск: ЦНТИ, 1986.-4с.

26. Лизунов В.Д., Весельев В.М., Загарских С. А. Фотоэлектрический микроскоп для наведения на центр и край изображения объекта:. Информ. ЛИСТОК N 452-86.-Новосибирск: ЦНТИ,- 1986.-4с.

27. Лизунов В.Д. Оценка погрешности измерений линейных размеров в микроэлектронике/ В.Д. Лизунов, В.М. Весельев, Ю.В. Ларионов, В. В. Волков//Метрологическая служба в СССР.-1987.-Вып.3.-С. 12-20.

28. Елисеев В.А., Лизунов В.Д. Проблемы измерений малых линейных размеров// Метрологическая служба в СССР.-1987.- вып. 3.-С. 1-8.

29. Лизунов В.Д. Образцовые меры малых длин повышенной точности/ В. Д. Лизунов. В. И. Весельев, В. В. Мищенко. Н. 0. -Гончаренко // Измерительная техника.-1989. - N 4.- С. 4-6.

3Q. Измерители перемещений лазерные. Методы и средства- поверки: МИ 1214-86. Введ 01.01.86/ Разраб. СНИИМ;- Руководитель Лизунов В.Д..-м.: Изд-во стандартов, 1986.- 26С. - Отв. исполн. A.B. Веселов, В.В. Копытов. Г.В. Симахина, D.H. Шестопалов, Л.Ю. Абрамова.

31. Весельев В.М., Лизунов В. Д. Установка для аттестации образцовых мер - малых- 'длин:Информ. листок - Н 87-42.-Новосибирск: ЦНТИ. 1987,- 4с.

32. Проекторы измерительные. Методика поверки. МИ 1825-88 Введ. 01. 0.1. 88/Разраб. СНИИМ; Руководитель В. Д. Лизунов,- М.: Изд-во стандартов, 1988. - 16с,- Отв. исполн. В..В. Копытов, Т.В. Набока, Г. П. Боровикова.

33. Микроскопы инструментальные. Методы и средства поверки. ГОСТ 8.003-83. Введ. 01.01.84/ Разраб. СНИИМ; Руководитель В. Д. Лизунов. -М.: ' Изд-во стандартов. 1983.- 24 е.- Отв. исполн. В. В.' Копытов, Л.М. Куликова.

34. A.c. 968601- СССР. МКИ G01B11/08. Фотоэлектрическое устройство наведения на край/ В. М. Весельев. . В. Д. Лизунов, - В. С. Блохина- (СССР).- К 4207939/24-28; Заявл. 10.03.87; Опубл. 28.02.89, Бюл. N 8.

35. A.c. 1469344 СССР, МКИ G01B11/08. Устройство для определения- размеров малых объектов/ В. Д. Лизунов. В.М. Весельев (СССР). - N 4293878/24-28; ,йявл. 29.06.87; Опубл. 30.03.89. Бюл. N 12.

36. Лизунов.В.Д. Опыт метрологического обеспечения-измерений малых линейных размеров// Тез. докл. IX Междунар. симпозиума по метрологии ИНСИМЕТ-88, 6-8 сент.. 1988.- Братислава, 1988.- С. 56-6L

37. Разработка и исследование когерентно-оптических методов оценки влияния формы края топологии на точность измерения малых длин: Отчет о НИР (заключит.)/ СНИИМ; Руководитель В.Д.- Лизунов.-N ГР 01860030480. - Новосибирск. 1988.- 127 с.

38. Лизунов В.Д. Математическая модель формирования и восстановления изображения микрообъекта в дифракционный' измерительной системе// Тез. докл. V Всесоюз. симпозиума. Методы теории иденти-

фикации в задачах измерительной техники и технологии., - Новосибирск, 1989. - С. 190-191.

39. Лизунов В.Д. Метод оценки точности восстановления линейных размеров микрообьектов в дифракционной измерительной системе // Тез. докл. V Всесоюз. симпозиума.' Методы.теории идентификации в задачах измерительной"техники и технологии., - Новосибирск, 1989,- С.192-193. ■

40. Меры малых длин. • Методика поверки. МИ 2013-89. Введ. 01.01.89/ Разраб. СНИИМ; Руководитель В.Д.' Лизунов,- М.: Изд-гво стандартов, 1989. - 30 е.- Отв. исполн. В.М. Весельев, И.А. Морозова, В.С. Блохина.

.41. Весельев В.М.. Лизунов В.Д.., . Загарских С.А.. Лазерный дифракционный измеритель малых линейных размеров// Измерительная техника.-1990.- N г. - С. 19-21.

■42. А. с. 1679301 СССР, МКИ С01И21/45. Устройство для измерения показателя преломления прозрачных сред/ В.Д. Лизунов. В.М. Весельев, В.А. Бородин (СССР). И. Мокрош (ЧСФР). - N 4636191/25; Заявл. 11.09.89; Опубл. 23.09.91, Бюл. Н 35.

Цитированная литература.

43. Хургин Я.И., Яковлев В.П: Методы теории целых функций в радиофизики, теории связи и оптике,- М.: ГИЗ ФМЛ. 1962,- 220 с.

44. Функции, с двойной ортогональностью в радиоэлектронике и оптике/ Пер. й науч. обраб. М.К. Размахнина. В. П.-Яковлева. - М.: Сов. Радио.•• 1971. - 256 е.-

45. Горелик Г.С. Колебания и волны. - М.: .ГИЗ ФМЛ. 1959. -

572 С.