автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.14, диссертация на тему:Разработка и исследование измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности

РГБ ОЛ

7

' * МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА й ОРДЕНй ОКТЯБРЬСКОЙ

РЕВОЛЮЦИИ АВИАЦИОННЫЙ ИНСТИТУТ имени СЕРГО 0РД10НИШЗЕ

На права* рукописм ВОЛКОВ Николай Васильевич

УДК 621.317.39:531,71 РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИОННОЙ СИСТЕМУ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

Специальность 05.11.14 - Технология приборостроения

АВТОРЕФРАТ диссертации на соискание ученой степени каняилата технических наук

Москва - 1993

- ДОКТОР Тё"пКЧЗСГйХ Н3VК,

ОФ г ЦИаЛ ЬНЫ= оппоненты:

Ведущее предприятие:

профессор В.Е.Нельников

- доктор технических наук, профессор И.И. Помыкаев

- кандидат технических наук, дсцент В.А. Таран

Арзамасский приборостроительный завод

1/*ЬК& 1993 г^в/5ечассв

на заседании специализированного совета К 053.13.11 б Московском авиационном институте имени Серго Орджоникидзе по адресу: 125В71, Москва, Волоколамское шоссе, 4.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Московского авиационного института им. Серго Орджоникидзе.

Отзыв на автореферат в одном экземпляре, заверенный печатью, просим выслать по адресу: 125871, ГСП, Москва, Волоколамское шоссе, 4, Ученый совет, ученому секретар®.

Автореферат разослан <<-?_>> ^ „ ,, 1993 года.

н н * Ъ>о Шгр^а^

Ученый секретарь специализированного совета" кандидат технических наук '/ Ю.А.Т0Л0ЧК0В

0ВД4Я

Актуальность проблежы. Современный этап развитая общественного производства характеризуется постоянно изменяющимися объемами производимой продукции, ее номенклатуры, аеортимента и качества. Производство сложной техники в в тик условиях, возможно только щи введении жесткого контроля качества изделий. Многоплановость понятия качества требует выявления доминирующих его показателей, способных оказать решающее воздействие на эксплуатационные свойства продукции. Одним из таких показателей является качество поверхности деталей и, в частности, шероховатость ее профиля, преобретаыцая ре-шавдее значение при изготовлении деталей перспективных прецизионных авиационных приборов. В втой связи повышение качества профиля поверхности деталей ответственных узлов прецизионной авиационной техники является актуальной проблемой современного приборостроения, требующей введения строгой регламентации в конструкторской и технологической документации основных параметров шероховатости поверхос-■ги деталей. В связи с этим чрезвычайно важным элементом технологического процесса становится проведение достоверного контроля выполнения всех требований к параметрам шероховатости поверхности.

Проблема повышения степени достоверности оценки качества поверхности ставит задачу разработки адекватного средства измерения параметров шероховатости продля поверхности. Сложность поставленной задачи, в основном, определяется двумя факторами: нетривиальностью структуры оценки поверхности, включающей большую номенклатуру исходных параметров качества поверхности; необходимостью минимизации погрешности измерения исходных параметров.

Одним из наиболее перспектвных направлений обеспечения высокоточных измерений исходных параметров является■ использование частотных измерительных преобразователей на базе кварцевых структур (КЧИП).

Обработка результатов измерений с целью получения всей но-меклатуры оценок параметров шероховатости предполагает анализ комбинаторного множества исходов, необходимого привлечения достаточно сложного математического аппарата и поэтому эффективна только о привлечением современной вычислительной" техники.

Целью настоящей работы ¡является: создание средства адек- • ватного отображения профиля шероховатости поверхности путем разра-

ботки и исследования измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности (ИИСКПШП)на основе кварцевых частотных измерительных преобразователей и цифрового вычислителя. Поставленная проблема требует решения следующих задач:

- анализа состояния метрологического обеспечения измерения профиля шероховатости поверхности в разработки принципов построения перспективной ШСКПШП;

- разработки принципов построения и конструкции частотного измерительного преобразователя шероховатости поверхности на основе комплексного использования свойств аморфного и кристаллического кварцев;

- создания адекватной математической модели КЧИП.

- анализа метрологических и эксплуатационных КЧИП и, разработки методики и рекомендаций по выбору его рациональных параметров Г

- определения принципов преобразования сигнала, аппаратного состава и рациональных параметров устройства сопряжения с вычислителем;

- разработки алгоритмов и программного обеспечения комплекса нормированных параметров шероховатости поверхности в цифровом вычислителе;

- экспериментальных исследований ШСКПШП и внедрения ее в технологический процесс изготовления узлов прецизионных приборов.

Научная новизна. На основе анализа состояния метрологического обеспечения измерений параметров шероховатости потребностей прецизионного проиборостроения определены требования к перспективным ШСКПШП.

Предложен принцип комплексирования аморфного и кристаллического кварцев в конструкциях измерительных, преобразователей (ИП) и на его основе создан частотный ИП, обеспечивающий прецизионные измерения параметров шероховатости.

Разработана математическая модель частотного ИП, описывающая состояние его упругой пьезосреды и устанавливающая связь между входным перемещением щупа и собственной частотой Ш.

Разработана , математическая модель погрешностей ИИСКПШП, определяемая воздействием дестабилизирующих факторов.

Построены алгоритмы работы вычислителя, обеспечивающие определение всей номенклатуры нормированных параметров шероховатости.

Практическая ценность. Разработана конструкция и созданы образцы частотного ИП на основе комбинации аморфного и кристалли-

ческого кварцев. *

Определен аппаратурный состав и разработано устройство -сопряжения с плававдЕЫ коэффициентом деления, обеспечивающее сопряжение частотного ИП с цифровым вычислителем.

Разработано программное обеспечение цифрового вычислителя, ревлизущее алгоритмы определения всей номенклатуры нормированных параметров шероховатости поверхности.

Разработали методики экспериментальных исследований узлов и в целом ИСКПШП.

На основании опытно-проишленных испытаний ИИСКПШП осуществлена корректировка технологического процесса изготовления определяющего опорного узла одного из наиболее перспективных прецизионных гироскопов.

В целом создана перспективная ИИСКПШП измерения параметров шероховатости внешних и внутренних поверхностей различных формообразований, обеспечивающая точность измерения порядка 1Й, измерение всей номенклатуры нормированных параметров шероховатости и объективность документированного представления результатов измерений.

Реамэация и. внедрение. Работа выполнена в ракшах бюджетных и хоздоговорных НИР, проводимых Арзамасским филиалом МАИ. Унифицированные измерительные преобразователи на базе комплексного использования аморфного и кристаллического кварцев внедрены на Арзамасском приборостроительном заводе в средствах измерения микроперемещений, упругих характеристик, параметров шероховатости внутренних и внешних поверхностей.

По результатам работы получено положительное решение ВНИИГПЭ по заявке на изобретение "Профилометр".

Апробаи^я работы. Основные положения диссертации обсуждались на Втором мевдународном семинаре Института космических исследований "Научное космическое приборостроение" (г. Фрунзе, 1978 г.), доложены на научных семинарах кафедр АПУ Арзамасского филиала МАИ (1991 г). Систем ориентации, навигации и гироскопических устройств МАИ (1990 г.), Технологии приборостроения МАИ (1992 г.), на научно-технических совещаниях на Арзамасском приборостроительном производственном объединении (1990, 1992 г.г.).

Публикации. По результатам выполненных исследований опубликованы 7 печатных работ. -

Структура и обЬея работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, вывода по ли""•■-■■"нцт, списка использованных источни-

ков и семи приложений. Основной текст содержит 159 страниц в том числе 13 таблиц, 36 рисунков. Список используемых источников состоит из 103 наименований. .

СОДЕР1АНИЕ РАБОТЫ

Во введении дается общая характеристика проблемы, показана

ее актуальность, обосновывается необходимость адекватного отображе-

\

ния профиля поверхности деталей в машино-приборостроении и, особенно, в прецизионном авиаприбростроенш. Здесь же формулируется основная цель диссертации, заключающаяся в создании средства адекватного отображения профиля шероховатости Поверхности путем. разработки и исследования измерительной информационной системы на основе кварцевых частотных преобразователей и цифрового вычислителя. Дана характеристика полученных в работе результатов.

Первая глава посвящена анализу влияния шероховатости поверхности на эксплуатационные характеристики изделий и анализу состояния метрологического обеспечения измерения параметров шерохова- -тости.

Шероховатость поверхности» являясь совокупной оценкой качества поверхности, оказывает влияние на многие эксплуатационные свойства изделий, среди которых: износоустойчивость, виброустойчивость, контактная жесткость, прочность, усталостная прочность и др. Наиболее существенно это влияние проявляется в прецизионном авиаприборостроении поскольку связано с жесткой регламентацией отклонений форм и размеров при общей миниатюризации размеров конструкции. Анализ конструкторско-технологических особенностей определяющих опорных узлов прецизионных перспективных гироскопов выявил необходимость обеспечения регламентированных параметров шероховатости с точностью до 1% при большой номенклатуре регистрируемых параметров. В связи с этим возникает проблема создания средства адекватного отображения профиля поверхности на основе высокоточного ИП и цифрового вычислителя.

Проведенный анализ прецизионных ИП показал, что одним из перспективных направлений разработок ИП следует считать применение в ИП кварцевых структур и, в частности, комплексное использование аморфного и кристаллического кварцев на основе пьезокварцевого преобразователя (ПКП), выходной сигнал которого яромодулирован по частоте перемещением возбуздаицих пьезокристалл электродов.

Анализ подсистем ИИСКПШП с учетом особенностей метрологии шероховатости поверхности позволил сформулировать основные требования к подсистемам и собственно ИИСКПШП: погрешность измерения не более количество измерений не менее 1000 на базовой длине; скорость опроса периферии не менее 1000 операций в секунду; объективность документирования результатов измерений.

Во второй гмхЬе рассмотрены теоретические основы построения и исследования узлов ИИСКПШП.

В соответствии с реализацией контактного способа исследования микрорельефа профиля КЧИП представляется совокупностью двух физических элементов - первичного (ПП) и вторичного (ВП) преобразователей.

На основании анализа особенностей контактного способа измерения параметров шероховатости поверхности, связанных с регистрацией микроперемещений при ограниченных измерительных усилиях и динамики собственно процесса, конструктивная реализация ПП должна основываться на упругих передаточных элементах, исключающих направляющие движения, содержащие люфты и зазоры. В этом случае решающее значение приобретает выбор конструкционного материала упругого ПП. В связи с уникальностью физико-химических свойств плавленного кварца, изготовленные из него упругие элементы обладают наибольшей добротностью. Анализ вариантов кварцевых ПП позволил выбрать конструктивное решение, основывающееся на торсионном подвесе щупа. Математическая модель такого ПП определена на основании законов упругости и в соответствии с принципом суперпозиции представляет функцию преобразования ПП:

ж--:-{

V I.

V,

V,

1

Г

9

V* -б

где УУУ характерные размеры ПП; р - рабочие деформации элементов:

С -I.

«1 1б

2 С «Г.

6т + «а гэ

2 С ^

У У У 2> 2 в

р р р

УА,Ув~ паразитные деформации, формирующие погрешности преобразования:

а з з з

у = ?к ** 4з гэ %

А 24 Е J? 24 Е JT 24 Е JT 24 Е JT у = _!íl¿. _ .

в 3 Е J а Е J На основании проведенного анализа, в основу БП положен ПКП,

частотозадавдий элемент которого реализован пьезоэлектрической кварцевой пластиной толщиной "Т", снабженной двумя электродами системы возбуждения, один из которых расположен с зазором "А"по отношению к пьезопластине. В связи с этим задача разработки математической модели ВП является совместной задачей теории упругости и электростатики. На основании совместного решения уравнений: движения упругой среды •

р й -А*—

где р - плотность материала пластины, u¿ = (ut,ua,u3>) - компоненты вектора упругого смещения, - координаты точки пластины, Ощ' - компоненты тензора механических напряжений;

состояния пьезосреды

tt * *■ ' t а = l¿Mm иЬп + h.ik Ег •

%

di=c1aeá - uát •

где ^[¿Лт - тензор модулей упругости, ~ тензор' пьезоэ-

лектрических коэффициентов,„ c-j. - диэлектрическая проницаемость среды, - компоненты вектора электростатической индукции, Е^ -компоненты вектора напряженности электростатического поля; электрического поля

día D = 0, not Е а О; граничных условйй на поверхности пьезопластины

= Ч'

в котором Р = ( Р , Р3> Р ) - внешняя сила, действующая на, единицу

площади поверхности тела, п = (ajt п2, п3) - единичный вектор внешней нормали к поверхности тела, может быть определена резонансная частота ВП:

, _ 16 -2—1 /-.

2 т*- п е1 V р

аз 1а 1а

С учетом проведенной лианеризациа я способа включения ВП, уравнение статической характеристики Ш примет вид:

/,,4» +

16 .О /1313 £_„ Ц. =-а»?3 3-— /-^-1 д Д.

П11312<£3Т+еааЛо> /

На основании полученных соотношений разработаны методики расчета ПП и ВП, согласно которым определены геометрические и функциональные параметры КЧИП, В частности, для ЕЛ получены следующие значения параметров: нелинейность не более крутизна статичес-

кой характеристики 100 Гц/мкм, собственная частота пьезовибратора 5179989Гц, диапазон частот выходного сигнала 11316 Гц.

Вычисление значений нормированных параметров шероховатости поверхности осуществляется в вычислительном устройстве ИИСКПШП, в памяти которого записана функция-огибаицая микропрофиля исследуемой поверхности по показаниям КЧИП. При этом значения этих параметров справедливы в системе средней линии, которая представляет собой базовую линию, имеющую форму номинального профиля и проведенную таким образом, что в пределах базовой длины среднее квадратическое отклонение профиля до этой линии минимально. Уравнение средней линии профиля с учетом ее возможного наклона относительно плоскости номинальной поверхности в дискретной форме имеет вид:

V = «Ь + ь -

где К - коэффициент наклона; Ь - постоянная составляющая; Х^ - координата (абсцисса) А - ой точки: - ордината средней линии профиля соответсвупцая А - ой точке (1^).

Для функции - огибающей реального профиля микронеровностей исследуемой поверхности отклонения ее ординат йтносительно средней линии профиля могут быть представлены дисперсионным уравнением:

А

О = Р(к.Ъ) = ^ Г (КХ. + Ь - У.)3.

¿«1

коэффициенты которого определяются из условия минимума диспер-

сии Р(К.Ъ).

е?(к,ь) = 0 , а?(к.ь) _ ак еь

Тогда ординаты У^ реального профиля в системе средней линии

будут

У^ = ( УА - Ь )сал(ааЫ4 К ) - Х^ Ыл (апс^ К ),

Х^ = ХгСдес(аас^ К) - ып(апсЦ} К)] + (У^- Ъ)саь{апс£д- К).

С учетом результатов экспериментальных исследований математическая модель координат профиля поверхности в системе средней линии может иметь более простое выражение для программной реализации:

= «V ь) -

При етом алгоритм определения координат функции-огибающей по произведенным измерениям приобретает вид:

л

1 е I Ч я 10"э Ул • ¿.1

к

у = Д6Д

4, д

где 7 = 0.25 »ш/с-скорость перемещения алмазной иглы датчика относительно исследуемой поверхности; п - номер точки, на которой определяются координаты; Х^- интервал дискретизации, Кд - коэффициент перелечи КЧШ; X - номер координаты.-

На основе разработанных математических моделей проведен анализ и оценка погрешностей ИИСКПШП и его элементов. Величина погрешностей составила: для ПП - 0,55»10~^£, для БП - 0,0956, для блока сопряжения - 7,8«10"^ %. для вычислительного устройства - 0,6 для ШСКПШ - 0,8556.

В третьей глаВе проведено схемно-конструктивное построение ИИСКПШП, в результате которого разработана функциональная схема ИИСКПШП, включающая КЧИП, блок управления двигателем, горизонтальный привод и вычислитель, управляющий работой блока сопряжения и протяжкой.

На основании проведенного анализа конструктивных, технологических к эксплуатационных, особенностей кварцевых структур разра-

ботаны варианты КЧИП для измерения параметров шероховатости . внутренних и внешних поверхностей, в которых с целью минимизации влияния температурного дестабилизирующего фактора изготовление КЧШ осуществляется в виде монолитных кварцевых блоков. •

Сопряжение КЧШ с цифровым вычислителем производится блоком сопряжения, основным назначением которого является формирование кода выходного сигнала КЧИП и сигналов управления вычислителем. Схемная реализация этого блока основана на методе преобразования частоты с отсчетом по периоду с плавающим коэффицентом.деления частоты, что позволяет обеспечить высокие быстродействие (не более 0,1 мс) и точность преобразования (не более 0,1%).

Работа вычислителя осуществляется по разработанным алгоритмам, учитывающим динамику КЧШ и его привода и обеспечивающим • не менее 1000 измерений на одной базовой длине.

- . Четвертая глава посвящена экспериментальным исследованиям , основной целью которых является подтверждение ожидаемых метрологических характеристик. Поэтому программа экспериментальных исследований включает следующие основные направления: исследование характеристик КЧИП, исследование влияния отдельных узлов ШСКШП ня точность измерения, исследование точностных возможностей ШСКПШП. В результатечэкспериментальных исследований КЧИП были получены следующие результаты: крутизна статической характеристики 100 Гц/мкм; градиент измерительного усилия по перемещению иглы не более 50 Н/м; измерительное усилие не более 5*10~ЭН.

Оценка метрологических возможностей КЧШ производилась в составе ИИСКПШП в реальных условиях эксплуатации. Методика проведения эксперимента строилась таким образом, чтобы получить возможность определения степени влияния отдельных функциональных- узлов ИИСКПШП на точность измерения. Поэтому весь эксперимент был разбит на ряд следующих экспериментов: исследование информационного канала: исследование влияния механизма протяжки на точность представления результата; исследование точностных характеристик КЧИП.

Исследование информационного канала ИИСКПШП, проводимое на неподвижном основании, позволило определить уровень шумов КЧШ, который в единицах параметра шероховатости Иа составил 0.001 мкм.

Исследование влияния механизма протяжки КЧИП на точность измерения параметров шероховатости позволило определить уровянь шумов механизма протяжки, «оставляющих в интегральной оценке 0,006 мкм.

Исследование точностных характеристик ИИСКПШ производилось на кварцевых образцовых мерах шероховатости на основании статистического анализа результатов експеримента, при этом погрешность измерения не превысила 1$. ✓

На основании опытно-промышленных испытаний ИИСКПШП осуществлена корректировка технологического процесса опорного узла динамически настраиваемого гироскопа, позволившая увеличить выход годных деталей на 20% + 30%.

В приложении 1 представлен сопоставительный анализ частотных ИП.

В приложении 2 представлена классификация ПКП.

В приложении 3 проведен анализ принципов построения и метрологическиI возможностей ПКП.

В приложении 4 даны сравнительные характеристики средств измерения параметров шероховатости поверхности.

В приложении 5 приведены протоколы испытаний образцовой меры шероховатости.

В приложении 6 приведены результаты испытаний КЧИП.

В приложении 7 представлено программное обеспечение вычислителя .

основные результаты исследования ~

1. Анализ влияния шероховатости поверхности на експлуатв-ционные характеристики изделий, в частности в области современного прецизионного приборостроения, выявил необходимость создания компьютеризированной измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности, которая должна обеспечивать для внутренних и внешних поверхностей различных формообразований измерения всей номенклатуры нормированных параметров шероховатости с точностью порядка Л%.

2. Перспективным направлением построения измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности является направление, основанное на использовании кварцевых частотных измерительных преобразователей и цифрового вычислителя; предложены принципы и структура формирования системы.

3. Проведена классификация измерительных частотных преобразователей, показано, что построение частотного измерительного преобразователя на основе предложенного в работе принципа кс.мплек-

сирования элементов конструкции из аморфного и кристаллического кварца обеспечивает большой коэффициент передачи ( 100 Гц/мкм- ), высокую стабильность и помехозащищенность преобразования перемеще-

_3

'ния щупа в частоту, измерительное усилие не более 5*10 Н, градиейт измерительного усилия в направлении перемещения иглы не более 50 К/и; разработаны функциональные схемы и конструкции квацевых частотных измерительных преобразователей.

4. В рамках предложенной физической модели, .на ■ основании совместного решения задач теории упругости.и электростатики разработана математическая модель кварцевого частотного измерительного преобразователя, учитывающая "паразитные" деформации его подвижных частей и особенности граничных условий состояния пьезосреды; предложенные методики выбора параметров преобразователя обеспечивают потребный коэффициент преобразовании при минимизации влияния "паразитных" деформаций и налинейности преобразования.

5. Использование в блоке сопряжения кварцевого частотного измерительного преобразователя с вычислителем метода преобразования с отсчетом по периоду с плавающим коэффициентом деления частоты обеспечивает высокие быстродействие (0,1ме) и точность преобразования частоты ( 0,1&) в код.

6. Предложенные алгоритм и программное обеспечение вычисления координат исследуемого профиля поверхности в системе средней линии обеспечивают определение в вычислителе всей номенклатуры нормированных параметров шероховатости поверхности.

7. Разработана математическая модель инструментальных погрешностей измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности, определяемых дестабилизирующими фак- • торами, и показано, что максимальная погрешность измерения параметров шероховатости не превышает Л%.

8. Разработаны рациональные конструкции кварцевых частотных измерительных преобразователей для измерений параметров шероховатости в виде монолитных кварцевых блоков, а так же принципиальные схемы измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности с использованием современной вычислительной базы; требования к вычислительному устройству составляют: параллельный обмен информации через стандартный интерфейс по 16 разрядной шине данных, скорость опроса не менее 10000 операций в секунду, • объем исходасй информации не менее 1000 измерений на каждой базовой длине.

9. Разработаны методики и Аппаратные средства исследования кварцевых частотных измерительных преобразователей и измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности в целом, обеспечивающие возможность экспериментального уточнения определяющих параметров и метрологических характеристик, как кварцевого частотного измерительного преобразователя, так и всей системы в целом.

10.Созданы опытно-промышленные" образцы измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности и проведены их экспериментальные исследования на образцовых мерах шероховатости; результаты экспериментальных исследований подтвердили в целом достоверность результатов теоретической части работы, рациональность принятых конструкторско-технологаческих решений, позволили оценить дестабилизирующее воздействие шумов привода и разрешающую способность системы.

11. Применение разработанной измерительной информационной системы контроля параметров шероховатости поверхности в процессе опытно-промышленных испытаний для корректировки, в частности, "технологического процесса изготовления спорного узла одного из наиболее перспективных гироскопов, позволило увеличить выход годных деталей на 20-3035.

12. В целом разработана и исследована компыотиризирован-ная измерительная информационная система контроля параметров шероховатости поверхности, обеспечивающая измерение всей номенклатуры нормированных параметров шероховатости- внутренних и внешних поверхностей различных формообразований и объективность документирования результатов измерений; погрешность измерений не более Л% от диапазона, разрешающая способность 10 мкы, диапазон измерений

0.02...100.мкм йа.

Содержание диссертации отражено в следующих работах:

1.Волков Н.В.,Сергеев Ь.а>. Профилометр. Положительное решение. Заявка N 4769421/28/150358, 1989.

2.Мельников В.Е..Волков Н.В.и др. О возможности применения датчиков информации из кварцевого стекла для метрологического обеспечения задач технологии изготовления узлов и блоков научной космической аппаратуры //Тезисы докладов на Втором международном семинаре.-М.:Институт космических исследований АН СССР,1978. *

3.Сергеев В.Ф..Волков Н.В.и др. Разработка и исследование информационно - измерительных систем на основе комплексного / использования

анизотропных структур и аморфный материалов. //Отчет по НИР. Этап N3. N У3201, Н.:ЦНТй "Волна", 1986.

4.Сергеев В.Ф., Волков Н.В. в др. Разработка и исследование информационно - измерительных систем на основе комплексного использования анизотропных структур и аморфных материалов, //Отчет по НИР. Этап N6. N У3201, И.:ЦНТИ "Волна", 1937.

Э.Сергеев В.Ф., Волков Н.В, в др. Исследование унифицированных кварцевых преобразователен для информационных систем, систем ориентации, навигации и задач автоматизации эксперимента. //Отчет по НИР. Этап N3. N 01870053710, ВНТИЦЕНТР, 1903.

¿.Сергеев В.Ф., Волков Н.В. Анализ погрешностей пьезорезонансных кварцевых навигационных акселерометров. Учебное пособие. -П.: ИйИ. 19В9.

7.Сергеев В.Ф., Волков Н.В. и др. Теоретические исследования характеристик я расчет параметров элементов в узлов профилометра - лро-фипографа. //Отчет по НИР. N У61205, Н.:ЦНТИ "Волна", 19В9.

Подп. к печ. офсетная. Уч. -

17.03.93. Формат 60 х 84 1 /16. Бумага, оберт, Печать йзд,л.1,0. Тираж 100 экз. Заказ 81. Бесплатно.

Лаборатория офсетной печати ВГТУ, 603122, Н.Новгород, пр. Гагарина, 1