автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.16, диссертация на тему:Повышение эффективности времяимпульсных лучевых сканирующих информационно-измерительных систем для контроля геометрических и физических параметров изделий

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. Технические и математические средства автоматизации контроля и управления производством.

1.1. Средства компьютеризации производства с применением измерительных информационных систем и технологий.

1.2. Лучевые сканирующие системы и оптико-электронные средства получения и преобразования информации.

1.3. Применение машинного зрения в измерениях и контроле.

1.4. Применение информационных технологий в промышленности.

1.5. Постановка задач исследований.

ГЛАВА 2. Анализ и синтез оптимальных времяимпульсных измерительных информационных систем на основе лучевого сканирования.

2.1. Задача синтеза оптимального прибора с точно и неточно заданными параметрами на основе JICC.

2.2. Параметры и характеристики средств и систем лучевого сканирования.

2.3. Локальность и точность преобразования данных измерений при лучевом сканировании.

2.4. Информационные характеристики дискретных систем.

2.5. Анализ и синтез оптимальных времяимпульсных лучевых сканирующих информационно-измерительных систем

Выводы.

ГЛАВА 3. Метод редукции в задачах синтеза лазерных лучевых сканирующих измерителей геометрических параметров объектов.

3.1. Особенности получения, преобразования и обработки информации при измерениях методом лучевого сканирования.

3.2. Точность измерения пространственных смещений.

3.2.1. Случайная погрешность.

3.2.2. Погрешность преобразования интервала времени.

3.3. Метод редукции в задаче синтеза оптимального устройства измерения смещений при неточно заданной модели измерительно-вычислительной системы.

3.4. Автоматизация измерений и технического контроля плоскостности и параллельности направляющих поверхностей технологического оборудования.

3.5. Редукция данных измерений при контроле некруглости и диаметров при обработке каландровых валов бумагоделательных машин.

Выводы.

ГЛАВА 4. Задача редукции к прибору, удовлетворяющему заданным требованиям к его параметрам, и синтез оптимальных оптико-электронных измерительных преобразователей со случайными параметрами.

4.1.Особенности использования аппаратурных и программных средств полутонового анализа изображений в задачах распознавания машиностроительных деталей.

4.2.Информационный анализ и синтез диссекторных систем существенно полутонового анализа гладких поверхностей.

4.3.Аппаратурные особенности реализации экспериментальной техники для сбора и обработки визуальной информации.

4.4.Инструментальные средства контроля качества нанесения и пропечатки рисунка обойных машин.

4.5,Особенности построения автоматизированных систем управления процессами изготовления изделий на базе ЛСС

Выводы.

ГЛАВА 5. Измерительно-вычислительные системы и средства автоматизации измерений на основе электронно-лучевого сканирования.

5.1. Применение машинного зрения в системах контроля качества и управления процессами изготовления изделий микроэлектронных производств.

5.2. Прогнозирование отказов, надежность и дефектоскопия многокомпонентных устройств с высокой степенью интеграции.

5.3. Бесконтактные электронно-лучевые средства контроля материалов, изделий и технологических процессов в микроэлектронике.

5.4. Методы и средства автоматизации локальных измерений, экспериментальное оборудование для количественного анализа и отбраковки продукции микроэлектронного производства.

Выводы.

Актуальность темы. Задачи автоматизация управления на современных предприятиях решаются с широким применением персональных компьютеров (ПК), а подключение ПК к локальным сетям в качестве внутрипроизводственной коммуникационной системы создает дополнительные преимущества, что позволяет рассматривать проблему сбора и обработки данных как отдельную подсистему компьютеризованного интегрированного производства (computer integrated manufacturing - CIM). Вместе с тем, проблемы совместимости аппаратных и программных средств создают большие трудности реализации таких систем.

Разработка автоматизированных средств измерений и систем технического контроля, решение проблем автоматизации управления на основе информационных технологий, развитие средств и систем адаптивного управления станками и другим технологическим оборудованием, являются очередными шагами на пути создания CIM и, безусловно, актуальными задачами, поскольку их решение оказывает существенное влияние на развитие современной технологической базы производства. В диссертационной работе впервые поставлена и решена задача исследования, разработки и совершенствования измерительных информационных систем и технологий на основе лучевого сканирования и времяимпульсного преобразования. Показано, что развитие аппаратурных и программных средств автоматизации измерений и управления на базе лучевых сканирующих систем, технического зрения и лучевых сканирующих средств активного контроля, ведёт к существенному расширению возможностей использования информационных технологий в автоматизации производственных процессов, повышению эффективности производства и качества продукции.

Цель работы. Исследование и разработка времяимпульсных лучевых сканирующих измерительных информационных систем контроля геометрических и физических характеристик объектов, решение некоторых проблем авто7 матизации и управления процессами на основе информационных технологий, создание новых средств и взаимосвязанных способов обработки технологической информации с помощью компьютера в полностью автоматизированном производственном процессе для обеспечения задач интегрированного информационного сопровождения и управления качеством изделий, существенного повышения эффективности производства.

Задачи исследования:

1. Совершенствование и развитие методов анализа и синтеза оптимальной лучевой сканирующей информационно-измерительной системы для контроля геометрических и физических характеристик объектов и материалов при неточно заданной модели прибора, на основе редукции данных.

2. Разработка научно-методических и теоретических проблем проектирования и реализации времяимпульсных средств измерения геометрических параметров объектов на основе лазерных лучевых сканирующих систем и ину формационных технологий.

3. Разработка средств и методов получения и анализа полутоновых изображений и создание на их основе устройств (сканирующих оптико-электронных преобразователей - диссекторов), обеспечивающих более высокую достоверность и объективность при интерпретации данных и решении задач распознавания в автоматизированной системе управления предприятием.

4. Исследование процессов формирования сигналов, развития средств и методов, рациональных приемов математической обработки получаемых экспериментальных данных, проблем автоматизации дефектоскопии микроэлектронных производств на базе растрового электронного микроскопа. Применение ЭВМ для автоматизированной обработки количественной информации и машинного анализа электронно-микроскопических изображений.

Методы исследования. Теоретический анализ, математическое и физическое моделирование, эксперимент.

Достоверность и обоснованность результатов работы обеспечивается 8 необходимой и достаточной полнотой решения поставленных задач.

Необходимая полнота полученных решений достигается на основе тщательного теоретического анализа условий и границ применения методов редукции данных и методов математической статистики для вычисления погрешности расчетов и измерений, оценки надёжности используемой математической модели преобразования данных и устойчивости редукции для заданной модели. Теоретический анализ проблем применения и разработки автоматизированных средств измерений и технического контроля на базе лучевых сканирующих систем, завершается разработкой технических решений.

Достаточность - в соответствии полученных решений результатам теоретического анализа, что подтверждено созданием опытных образцов оборудования, аппаратурных и программных средств автоматизации измерений, технического контроля и их использованием при выполнении научно-исследовательских работ по «Грантам», Заказ-нарядам и Хозяйственным договорам.

Научная новизна работы:

1. В постановке задач исследований, обосновании эффективности применения методов редукции данных в автоматизации измерений, решении задач анализа и синтеза оптимальных времяимпульсных информационно-измерительных средств и систем технического контроля с использованием лучевого сканирования, а также в формулировке и принятии новых условий, обеспечивающих оптимизацию структуры, высокую точность получения, преобразования и обработки данных, при их аппаратурной реализации.

2. В разработке математической модели и формулировке критериев оценки характеристик линейных измерительных преобразователей с точными и случайными физическими параметрами (например, сканирующих оптико* электронных устройств), обеспечивающих оптимальность преобразования «вход-выход» (например, локальных структурометрических характеристик объекта и контраста на фотоносителе при преобразовании изображений), точ9 ный расчёт параметров квантования и дискретизации при проектировании вре-мяимпульсных лучевых сканирующих систем (оптико-электронных, лазерных лучевых, электронно-оптических и электронно-лучевых).

На основе разработанной модели получены оценки физических параметров линейных измерительных лучевых сканирующих преобразователей и даны рекомендации по выбору оптико-электронных преобразователей для создания оптимальных лучевых сканирующих времяимпульсных видео датчиков. Установлены конкретные зависимости для расчёта параметров квазиидеальной системы преобразования полутоновых изображений при вводе с фотоносителя.

Показано, что предложенная модель адекватна редукции данных и обеспечивает эффективное решение задачи анализа и синтеза, - как оптимального прибора, так и структуры компьютеризованного интегрированного управления производством в целом.

3. В методах решения поставленных задач и развитии методологии применения информационных технологий для обеспечения интегрированного информационного сопровождения некоторых производственных процессов изготовления изделий, в частности: а) усовершенствована методика анализа и расчёта основных характеристик лучевых сканирующих систем, разработана процедура и алгоритм машинного синтеза оптимальных времяимпульсных автоматизированных сканирующих средств измерений и технического контроля на основе редукции данных, что позволяет определить оптимальные характеристики прибора для работы в составе автоматизированной системы управления производством, рассматриваемой как измерительно-вычислительный комплекс; б) разработана методика измерения, анализа, интерпретации данных, получаемых с помощью лучевых сканирующих систем, а также воссоздания формы поверхности по результатам измерений; в) разработана динамическая модель и структура управления операциям* поверхностного шлифования с измерением и компенсацией усилия резания I

10 упругого смещения инструмента, реализующая активный контроль, а также управление и взаимосвязь с параметрами технологического процесса при плоском шлифовании и бомбировке каландровых валов на основе применения сканирующих средств измерений и обеспечивающая повышение эффективности, производительности и качества; г) разработаны оригинальные приемы и методы получения количественной и визуальной информации с целью обеспечения неразрушающего автоматизированного контроля и дефектоскопии изделий электронной техники на основе электронно-лучевого сканирования и применения информационных технологий.

4. В сущности полученных научно-практических результатов и создании новых средств оснащения современных подсистем компьютеризованного интегрированного управления процессами на основе средств лазерного, оптико-электронного, электронно-лучевого сканирования и времяимпульсного преобразования для машиностроения и приборостроения.

Практическая ценность. Разработанный алгоритм анализа и синтеза информационно-измерительных лучевых сканирующих систем обеспечивает возможности расчета оптимальных характеристик получения и преобразования данных, позволяет существенно улучшить точность измерения формы и расположения поверхностей по всем видам операций технического контроля. Тем самым, создаются новые средства и условия реализации технологических процессов, комплексного контроля геометрических параметров, обеспечения качества изделий и автоматизации учета.

Разработанные лучевые сканирующие средства измерений и технического контроля обладают улучшенными характеристиками в сравнении с отечественными и зарубежными аналогами и прототипами (по данным фирм «OPTON», «MITUTOYO», «ROCH», «ANRITZU», завода «Калибр» и др.).

Например, точность апланометрических измерений методом лазерного лучевого сканирования и времяимпульсного преобразования (техническое ре

11 шение «Устройство измерения продольных и поперечных смещений» - патент РФ №2054626) составляет « 0,5.1,0 мкм/м, что на порядок выше точности и 5. 12 мкм/м традиционных методов контроля плоскостности и параллельности направляющих поверхностей технологического оборудования с помощью оптической линейки, фотоэлектрического микроскопа или автоколлиматора, которые широко используются в станкостроении для оценки качества изготовления исполнительных поверхностей.

Точность измерения некруглости (соискателем разработана цифровая модель лазерного сканирующего устройства для автоматизированных микрометрических измерений некруглости, контроля формы поверхностей вращения и управления, например, процессом бомбировки каландровых валов бумагоделательных машин) составляет « 0,1.0,5 мкм и сравнима с точностью серийных индуктивных приборов для линейных измерений, выпускаемых заводом «Калибр», но, вместе с тем, разработанный автором лазерный сканирующий микрометр имеет преимущества по таким важным характеристикам, как диапазон и линейность измерений.

Разработанные устройства обладают широким спектром функциональных возможностей при использовании их в качестве средств измерений, позволяя реализовать большое число технологических операций технического контроля. В частности, сканирование луча в двух взаимно-ортогональных направлениях в сочетании с редукцией результатов измерений с помощью ЭВМ, обеспечивает возможности измерения неплоскостности и не параллельности по всей длине направляющих поверхностей и накопления информации для формирования математического образа изделия, с целью последующего сравнения с расчетной геометрической формой. Отсюда возникает возможность автоматического перехода от образа изделия к изделию в натуре и анализа пространственных отклонений формы от математического образа, что позволяет выделять различные количественные характеристики формы объекта в любом поперечном сечении: - макро геометрические (отклонения плоскостности и некруг

12 лости в пределах габаритных размеров); - волнистость (периодические неровности на участках от 1 до 10мм); - шероховатость (микро неровности в пределах участков ~ 1мм2).

Диссекторная система технического зрения («Устройство для ввода полутоновых изображений в ЭВМ» - патент РФ №5005601/24) имеет четырехкратное преимущество в сравнении с прототипом по разрешающей способности. В отличие от прототипа может перестраиваться на 25 кратно больший формат вводимого изображения. Обладает более высокой градационной чувствительностью. В совокупности это дает значительные преимущества по информационной емкости при преобразовании изображений и, как следствие, увеличивается достоверность распознавания до 87.90% относительно 65.70%, характерных для прототипа.

Научно-обоснованное техническое решение для проведения бесконтактных измерений на поверхности образца (A.C. №2024447/26-25 «Растровый зеркальный электронный микроскоп») и способ автоматизации количественных исследований пространственной топографии электрических и магнитных микрополей в РЭМ (A.C. №2496852/18-25. «Электронно-микроскопический способ измерения двумерных полей рассеяния»), обеспечивают рекордную точность измерения (например, точность измерения поверхностного потенциала 0,04 В в сравнении с 0,5 В, полученными в известных решениях у нас и за рубежом).

Практическая и научная ценность результатов подтверждена актами об использовании и внедрении, патентами и авторскими свидетельствами на изобретения. Применение разработанных средств измерений и технического контроля существенно повышает эффективность процессов, сокращая трудоемкость и себестоимость контрольных операций, существенно влияя на технологичность конструкции в целом. Созданные информационно-измерительные средства контроля могут использоваться для автоматизации технологических процессов не только в машиностроении и приборостроении, но и в электрон

13 ной технике, природопользовании и т. д.

Теоретические положения и практические рекомендации, изложенные в диссертации по проблемам разработки информационно-измерительных средств и систем контроля на базе лучевого сканирования для автоматизации технологических процессов и управления производством на основе информационных технологий, могут быть использованы в учебном процессе при подготовке студентов по специальностям: 21.03.00 - «Роботы и робототехнические системы», 07.18.00 - «Мехатроника» и 34.01.00 - «Управление качеством».

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, 5 глав, выводов, списка литературы из 297 наименований, приложений I и И, содержит 370 страниц машинописного текста, 106 рисунков и иллюстраций, 4 таблицы.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Задачи автоматизация управления на современных предприятиях решаются с широким применением персональных компьютеров (ПК), а подключение ПК к локальным сетям в качестве внутрипроизводственной коммуникационной системы создает дополнительные преимущества, что позволяет рассматривать проблему сбора и обработки данных как отдельную подсистему компьютеризованного интегрированного производства. Создание современной производственно-технологической базы невозможно без оснащения производства средствами реализации высоких технологий (роботами и робототехническими комплексами, средствами автоматизации основного и вспомогательного оборудования, транспортно-накопительных и складских систем), охваченных единой сетью информационных средств на базе ЭВМ для обеспечения управления производством, что и представляет собой, в совокупности, технологию CIM - computer integrated manufacturing. В свою очередь, применение информационно-измерительных систем и другой информационной техники в управлении различными процессами (например проектировании, объемном моделировании, конструировании, обработке, сборке и т.п.) приводит к созданию, так называемых компьютеризованных систем - САх, таких как - CAD, САМ, CAE, CAP, CAQ. Задачей CIM является соединение на основе использования возможностей информационных технологий всех производственных процессов, начиная с проектирования изделия и до его изготовления и сбыта, т.е. интеграция потоков данных и производственных потоков, когда данные генерируемые на одном участке производства используются и на всех других участках. При этом, отпадает необходимость в многократном получении одних и тех же данных, устраняются узкие места и сокращается время прохождения информационных пото

306 ков. В организованном по концепции CIM производстве все начинается с проектирования изделия и заканчивается его изготовлением без промежуточного вмешательства в автоматизированный производственный процесс. Планирование производства и само производство образуют здесь управляющие кибернетические системы и при необходимости быстро модифицируются. Вместе с тем, возможность практической реализации «безлюдных производств» на основе CIM еще далеко не очевидна, т.к. пока ещё не созданы достаточные технические предпосылки для сведения воедино отдельных подсистем, например, CAD и САМ. Есть трудности и в области совместимости аппаратурных и программных средств, которые, как показано в работе, могут быть успешно преодолены с помощью методов редукции данных.

Характерным, для поставленных в работе задач, является их актуальность, так как они связанны с разработкой автоматизированных средств измерений и систем технического контроля, развитием средств и систем адаптивного управления станками и другим технологическим оборудованием, решением проблем автоматизации управления на основе технологии CIM.

2. Проведенные теоретические и экспериментальные исследования по разработке и совершенствованию измерительных информационных систем и технологий на основе лучевого сканирования и времяимпульсного преобразования показали, что развитие аппаратурных и программных средств автоматизации измерений и управления процессами пассивного и активного контроля, обработки и сборки на базе лучевых сканирующих систем, ведёт к существенному расширению возможностей использования информационных технологий в автоматизации производства. Решение этих задач - определённый шаг к компьютеризованному интегрированному производству (CIM) на пути повышения его эффективности и улучшения качества выпускаемой продукции.

307

3. Исследование информационных характеристик сигналов и изображений, получаемых с помощью активных лучевых сканирующих систем позволило определить условия их оптимального преобразования. Выявлена связь параметров дискретизации сигналов и изображений с микроструктурными характеристиками объектов, исследуемых с помощью лучевых сканирующих систем, заключающаяся в том, что при формировании и преобразовании изображений в лучевых сканирующих системах минимальный шаг дискретизации ограничивается, главным образом, микроструктурой исследуемого объекта и контрастной чувствительностью оптико-электронного преобразования. В частности, для вычисления шага дискретизации разрешающую способность, ограниченную микроструктурой объекта (т. е., разрешение в направлении сканирования), можно определить по минимальной величине регистрируемого контраста, используя полученное расчетное соотношение (2.28).

4. Установлены закономерности и выявлены взаимосвязи структурных и энергетических характеристик объекта с информационной емкостью при преобразовании полутоновых изображений. Сформулированы физические критерии экспериментального моделирования и расчета диссекторных квазиидеальных систем для существенно полутонового анализа гладких поверхностей (соотношения (2.65), (4.6), (4.9)).

5. Предложена модель преобразования информации в операторной форме, которая адекватно описывает характер преобразования данных независимо от формы представления (логической, семантической, статистической, структурированных данных, сигналов и изображений). Показано, что редукция данных является наиболее эффективным методом анализа и синтеза структуры управления предприятием, так как его иерархическая структура управления строится с учетом возрастающей сложности обработки и обоб

308 щения данных необходимых для принятия решения. Редукция данных позволяет рассматривать полученный на нижнем уровне управления результат как входные данные для более высокого уровня иерархии и, следовательно, реализует математическую процедуру управления производством в наиболее общей форме.

6. На основе метода редукции данных измерений разработаны математические модели, процедуры и алгоритм машинного анализа и синтеза оптимальных автоматизированных средств измерений и технического контроля на основе лучевого сканирования, позволившие установить их оптимальные характеристики, выявить связи разрабатываемых информационно-измерительных систем с параметрами базового оборудования, технологические ограничения на проведение измерений и технического контроля при их работе в составе автоматизированной системы управления производством, рассматриваемой в целом как измерительно-вычислительный комплекс.

7. Исследованы особенности построения средств автоматизированных измерений и систем информационного контроля для оснащения производства на базе оптического, лазерного и электронно-лучевого сканирования, получены оригинальные научно-обоснованные технические решения, созданы и конструктивно проработаны следующие опытные образцы устройств:

- лучевой сканирующий измеритель плоскостности и параллельности обрабатываемых поверхностей для машиностроения;

- прецизионный лазерный сканирующий микрометр для измерения не-круглости деталей вращения;

- диссекторная система технического зрения для существенно полутонового анализа изображений;

- оптико-механические и диссекторные средства визуального контроля качества быстро движущихся поверхностей и объектов;

309

- растровый зеркальный электронный микроскоп;

- электронно-оптические средства бесконтактного измерения поверхностных потенциалов и магнитных микрополей.

Новизна полученных решений подтверждена десятью авторскими свидетельствами и патентами.

8. Внесен ряд усовершенствований в конструкции электронно-лучевых сканирующих приборов, создаваемых на базе растрового электронного микроскопа. Разработаны оригинальные методы получения количественной и визуальной информации для дефектоскопии и неразрушающего автоматизированного контроля интегральных микросхем и изделий электронной техники.

9. Получены научно-обоснованные технические решения, созданы отдельные образцы приборов и действующие лабораторные образцы контрольно-измерительной экспериментальной техники для автоматизации некоторых технологических процессов в микроэлектронике на базе растрового электронного микроскопа.

10. Исследования показали, что разработанный алгоритм анализа и расчета оптимальных параметров и основных характеристик автоматизированных средств технического контроля на базе лучевых сканирующих систем позволяет существенно улучшить качество создаваемой аппаратуры:

- точность апланометрических измерений методом лазерного лучевого сканирования составляет «0,5. 1,0 мкм/м, что на порядок выше точности («5. 12 мкм/м) традиционных методов контроля плоскостности и параллельности направляющих поверхностей технологического оборудования с помощью оптической линейки, фотоэлектрического микроскопа или автокал-лиматора, широко используюемых в машиностроении для контроля качества

310 изготовления исполнительных поверхностей;

- точность измерения некруглости (« 0,1.0,5 мкм) сравнима с точностью серийных индуктивных приборов для линейных измерений, выпускаемых заводом «Калибр», но лучевой лазерный сканирующий прибор имеет существенные преимущества по таким важным характеристикам, как диапазон и линейность измерений;

- диссекторная система технического зрения имеет четырехкратное преимущество в сравнении с прототипом по разрешающей способности, может, в отличие от прототипа, перестраиваться на 25 кратно больший формат вводимого изображения, обладает более высокой градационной чувствительностью, что в совокупности дает значительные преимущества по информационной емкости при преобразовании изображений и, как следствие, увеличивается достоверность распознавания до 87.90% относительно 65.70%, характерных для прототипа.

Все полученные технические решения обладают улучшенными метрологическими характеристиками, более полными функциональными возможностями и позволяют учитывать большее число факторов при их использовании в качестве средств измерений, визуального контроля и технического зрения, для автоматизации технологических процессов в машиностроении, электронной технике, природопользовании и в других приложениях.

11. Результаты исследований внедрены на научно-производственных фирмах и предприятиях машиностроительного и оборонного комплексов: ДАО Ижмашстанко", г. Ижевск; НПФ "НИОТК", г. Ижевск; п/я В-8759, г. Жуковский (в настоящее время ЛИИ им. М.М. Громова); ГОСЦЕНТР «ПРИРОДА» федеральной службы геодезии и картографии России, г. Москва (Приложение II).

311

1. Абрамов И.В., Иванников В.П., Санников А.И. Лазерное сканирование и прецизионные измерения в машиностроении // Тез. докл. XXV1.I НТК «Ученые ИжГТУ - производству» (Ижевск, 1994г.) - Ижевск: ИжГТУ, 1994. - С. 11.

2. Абрамов И.В., Иванников В.П. и др. Устройство лазерной апланомет-рии // Заводская лаборатория. 1993. - N3. - С.36.39.

3. Абрамов И.В., Иванников В.П. Информационные технологии в машиностроении на базе лучевых сканирующих систем // Материалы XXI научно-метод. конф. ИжГТУ: Тез. док. Ижевск,1997. - С. 13. 16.

4. Абрамов И.В., Иванников В.П. Информационные технологии в машиностроении на базе лучевых систем // Тез. докл. МНПК (Ижевск, 5. 10 октября 1997г.) Ижевск: ИЖГТУ, 1997. - С.8.9.

5. Абрамов И.В., Збар С.Г., Иванников В.П. Аппаратурные средства прецизионного лучевого сканирования // Тез. док. ХХХ-ой НТК «Ученые ИжГТУ производству» (Ижевск, 1996) - Ижевск: ИжГТУ, 1996. - С.4.

6. Абрамов И.В., Иванников В.П. и др. Устройство измерения продольных и поперечных смещений. Патент РФ RU2054626 С1 / МКИ 6 G01 В 21/00. -№5050230/28; Заявл. 30.06.92; Опубл. 20.02.1996, Бюл. №5.

7. Ангина Н.Р., Варфоломеев С.П., Матвеенко A.B. Военные области применения инфракрасной техники // Зарубежная электронная техника. 1980. -N9. - С.3.36.

8. Аксененко М.Д., Баранчиков М.Л. Приемники оптического излучения. М.: Радио и связь, 1987. - 312с.312

9. Алексенко А.Г., Гаврилов А.Г., Иванников В.П. и др. Выявление дефектов интегральных схем с помощью РЭМ // Тез. док. X Всесоюзн. конф. по электрон, микр. (Ташкент, 5.8 окт. 1976г.) Ташкент: АН Узб. ССР, 1976. -Т.1.-С.110.111.

10. Алексенко А.Г., Гаврилов А.Г., Иванников В.П. и др. Об автоматизации исследования локальных потенциалов интегральных схем с помощью ЭМ // Изв. АН СССР. 1977. - Сер. физ. - Т.41. - N5. - С.884.890.

11. Антонюк В.А., Пытьев Ю.П. Спецпроцессоры реального времени для морфологического анализа реальных сцен // Обработка изображений и дистанционные исследования: Сборник. Новосибирск: СОАН СССР, 1981. -С.87.88.

12. Антонюк В.А. и др. Методы морфологического анализа в задачах совмещения, идентификации и выделения: реализация и результаты // Идентификация папилярных узоров на оптико-цифровом комплексе: Межвузовский те-матич. сб. Владивосток: ДГВУ, 1980. - С.24.36.

13. Аникина Г.А., Поляков М.Г., Романов JI.H. О выделении контура изображения с помощью линейных обучаемых моделей. // Изв. АН СССР. 1980. - Сер. техн. киб. - N6. - С.36.43.

14. Арбиб М. Мозг, машина и математика: Пер. с англ. / Под ред. М.И. Кратко. М.: Наука, 1968. - 224с.

15. Арцимович JI.A., Лукьянов С.Ю. Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях. М.: Наука, 1978. - 224с.

16. Балакшин Б.С. Основы технологии машиностроения. М.: Машиностроение, 1969. - 559с.

17. Бейлин A.A. и др. // Электронная промышленность. 1974. - N4. -С.46.51.

18. Бейлин А.Ф., Далиненко Н.К. Современные диссекторы и их применение // Электронная промышленность. 1984. - Вып. 3(131). - С.9. 11.

19. Берченко H.H., Матвеенко A.B. Многоцветные ИК приемники // Зарубежная электронная техника. 1979. - N16. - С.46.56.

20. Берковский А.Г., Гованин В.А., Зайдель И.Н. Вакуумные фотоэлектронные приборы. М.: Энергия, 1976. - 344с.

21. Бернштейн М.Л. и др. Разработка и экспериментальная проверка методики количественного анализа растровых изображений изломов стали // Металловедение и термическая обработка металлов. 1976. - N8. - С.50.54.

22. Белозерцев А.Н., Новиков Н.И. Повышение стабильности пространственных характеристик излучения лазерных измерительных систем при контроле больших размеров // Метрология. 1989. - N1. - С.3.7.

23. Белянин П.Н. Промышленные роботы и их применение. Робототехни313ка для машиностроения. 2-е изд. доп. - М. ¡Машиностроение, 1983. - 311с.

24. Берестенко Е.Б., Великотный М.А., Иванов Ю.В. Телевизионные информационно-измерительные системы контроля чистоты поверхностей для гибких автоматизированных производств // Электронная техника. 1984. -Сер.8. - Вып.З (108). - С.43.45.

25. Богачев И.Н., Вайнштейн A.A., Волков С.Д. Введение в статистическое металловедение. М.: Металлургия, 1972. - 216с.

26. Богданов K.M. и др. Оптико-структурный машинный анализ изображений / Под ред. К.А. Яновского. М.: Машиностроение, 1984. - 287с.

27. Борисовский С.П., Кронкевич В.П., Ханов В.А. Лазерные интерферометры перемещений второго поколения // Обзоры по электронной технике. -М.: ЦНИИ «Электроника», 1982. Серия II. - Вып.4 (915). - 52с.

28. Браилко Л.А. и др. Цифровой автоматический микроденситометр с управлением от ЭВМ // ОМП. 1976. - N4. - С.34.37.

29. Бронштейн И.М., Фрайман Б.С. Вторичная электронная эмиссия. -М.: Наука, 1969. 407с.

30. Бурмистров В.В., Дубинина Е.М., Еловиков С.С., Иеанникое В.П. Роль структурных дефектов и примесей в реконструкции поверхности кремния (100) // Вестник МГУ. 1987. - Сер. III. Физика-астрономия. - Т.28. - N2. -С.63.69.

31. Бутслов М.М., Степанов Б.М., Фанченко С.Д. Электронно-оптические преобразователи и их применение в научных исследованиях. М.: Наука, 1978.-364с.

32. Бутылкина H.A., Губенко А.Я., Иеанникое В.П., Лукьянов А.Е. Выявление дефектов полупроводниковых структур в РЭМ. // Изв. АН СССР. -1977. Сер. физ. - Т.41. - Nil. - С.2420.2427.

33. Быков P.E., Сигалов В.М., Эйссенгардт Г.А. Телевидение. М.: «Высшая школа», 1988. - 248с.

34. Вавилов B.C., Ухин H.A. Радиационные эффекты в полупроводниках и полупроводниковых приборах. М.: Атомиздат, 1969. - 142с.

35. Вандеровский Е.К., Файн B.C. Существенно полутоновой анализ сцен // Кодирование и обработка изображений: Тематический сборник. М.: Наука, 1988.-214с.

36. Васьков С.Т. и др. Сканирующие устройства на ЭЛТ высокого разрешения / Под ред. С.Т. Васькова. Новосибирск: Наука, 1978. - 136с.

37. Верхаген К. и др. Распознавание образов: Состояние и перспективы / Под ред. И.Б. Гуревича. М.: Радио и связь, 1985. - 104с.

38. Ветохин С.С., Перцов А.Н., Резников И.В. Диссекторы и их применение //ПТЭ. 1981. - N1. - С.12.21.314

39. Воронов A.A. Цифровые аналоги для систем автоматического управления. М. : АН СССР, 1960. - 120с.

40. Войчинский А.М. Проектирование гибких автоматизированных производств механической обработки // Электронная промышленность. 1983. -Вып.5 (122). - С.10.14.

41. Галстян В.Г., Носиков C.B. // Зарубежная электронная техника. -1971. -N9. С.55.

42. Гебель И.Д. и др. Опыт разработки и эксплуатации в объединении им. Я.М. Свердлова приборов для измерения некруглости: Сборник. JL: Ленинградский дом НТП, 1974. - 39с.

43. Гибкие производственные комплексы / Под ред. П.Н. Белянина и В. А. Лещенко. М.: Машиностроение, 1984. - 384с.

44. Гибкое автоматизированное производство / В.О. Азбель и др. / Под общ. ред. С.А. Майорова, Г.В. Орловского, С.Н. Халкиопова. 2-е изд. доп. -Л.: Машиностроение (Ленингр. отд.), 1985. - 454с.

45. Гнеденко Б.В. Курс теории вероятностей. М.: Физматгиз, 1969.443с.

46. Головенков С.Н., Сиротин C.B. Основы автоматики и автоматического регулирования станков с программным управлением. М.: Машиностроение, 1980. - 142с.

47. Голубков В.В., Колотов О.С. // Тез. док. X ВКЭМ (Ташкент, 5.8 окт. 1976г.) Ташкент: АН Узб. ССР, 1976. - Т.1. - С.74.

48. Гоноровский И.С. Радиотехнические цепи и сигналы. М.: Сов. радио, 1971.-439с.

49. Горловский В.Б., Свечников C.B., Смовж Ф.К. Разработка и исследование методов повышения помехозащищенности позиционно-чувствитель-ных фоторезистивных приборов // ОМП. 1980. - N5. - СЛ.4.

50. Гришин М.П. Автоматическая обработка фотографических изображений с применением ЭВМ. Минск: Наука и техника, 1976. - 229с.

51. Грязин Г.Н. Оптико-электронные системы для обзора пространства: Системы телевидения. Л.: Машиностроение, 1988. - 220с.

52. Гуревич С.Б. Эффективность и чувствительность телевизионных систем. М.-Л.: Энергия, 1964. - 344с.

53. Гуревич С.Б. К вопросу об изменении отношения сигнал-шум телевизионной системы, вносимом передающими трубками // Радиотехника и Элек315троника. 1961. - Вып.6. - Т.6. - С.63.

54. Деч Г. Руководство к практическому применению преобразования Лапласа и z преобразования. - М.: Наука, 1971. - 288 с.

55. Дудник E.H., Иеанников В.П. Обработка изображений полученных на электронном микроскопе / Тез. док. III Всесоюзн. конф. «Математические методы распознавания образов» (Львов, 10.12 ноября 1987г.) Львов: ФМИ им. Карпенко, 1987. - 4.2. - С.93.94.

56. Дунин-Барковский И.И., Клевалин В.А. Использование микропроцессорных систем управления промышленными роботами для задач технического зрения // Микропроцессорные системы для управления технологическими процессами. Л.: ЛДНТП, 1985.

57. Дюков В.Г. // ПТЭ. 1975. - N5. - С.214.

58. Дюков В.Г., Седов H.H., Гавриков С.И. // Изв. АН СССР. 1977. -Сер. физ. - Т41. -N5.

59. Еловиков С.С., Дубинина Е.М., Иеанников В.П. Электронно-лучевая полимеризация для получения диэлектрических пленок. // Радиотехника и электроника. 1974. - T.XIX. -N1. - С.210.213.

60. Емельяненко И.С., Лазарев Ю.В., Пытьев Ю.П. Отслеживание линий и выделение мелких особенностей в задаче анализа папилярных узоров // Идентификация папилярных узоров на оптико-цифровом комплексе: Межвуз. тематич. сб. Владивосток: ДГВУ, 1980. - С.40.49.

61. Жаботинский Ю.Д., Исаев Ю.В. Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике. М.: Радио и связь, 1985. - 104с.

62. Журба Ю.И. Краткий справочник по фотографическим процессам и материалам. М.: Искусство, 1990. - 352с.

63. Зайдель И.Н., Куренков Г.И. Электронно-оптические преобразователи. М.: Изд-во «Советское радио», 1970. - 56с.

64. Застрогин Ю.Ф. Контроль параметров движения с использованием лазеров. -М.: Машиностроение, 1981. 176с.

65. Збар С.Г., Иванников В.П., Клековкин B.C. Оптические лучевые сканирующие информационно-измерительные системы для технологического контроля // Тез. док. ХХХ-ой НТК "Ученые ИжГТУ производству" (Ижевск, 1996г.) - Ижевск: ИжГТУ, 1996. - С.9.

66. Здор С.Е., Широков В.Б. Оптический поиск и распознавание. М.: Наука, 1973. - 240с.

67. Золотухин В.Г., Чесалкин Л.С. Космос и ЭВМ. / Проблемы космических исследований: Сборник. Москва, 1981. - С.78.83.

68. Зуев В.А., Попов В.Г. Фотоэлектрические МДП приборы. М.: Радио и связь, 1983.- 160с.316

69. Ивандиков Я.М. Оптические приборы наведения и ориентации космических аппаратов. М.: Машиностроение, 1979. - 208с.

70. Иеанников В.П. Развитие методов изучения микрополей в растровой электронной микроскопии: Диссертация на соискание ученой степени кандидата физ. мат. наук. - М.: МГУ, Физический факультет, 1978. - 157с.

71. Иеанников В.П. Диссекторы в устройствах ввода полутоновых изображений в ЭВМ // Электронная промышленность. 1988. - Вып. 10(178). -С.53.56.

72. Иеанников В.П., Перепелов С.П. Контроль геометрических искажений и потерь информации при оптико-электронном преобразовании в диссектор-ных устройствах ввода изображений // Измерительная техника. 1991. - N8. -С.21.24.

73. Иванникое В.П. Особенности реализации диссекторного измерителя оптической плотности устройства ввода полутоновых изображений с переменным форматом // Дискретные системы обработки информации: Межвуз. сб. -Ижевск: ИМИ, 1988. Вып.8. - С. 107.113.

74. Иеанников В.П. Применение диссекторов в анализаторах полутоновых изображений и некоторые проблемы обеспечения качественного ввода фотоизображений в ЭВМ // Дискретные системы обработки информации: Межвуз. сб. Ижевск: ИМИ, 1989. - С.67.74.

75. Иванникое В.П., Перепелов С.П. Оптико-электронный преобразователь полутоновых изображений. Патент РФ 1Ш2078479 С1 / МКИ 6 Н ОН 31/26. №94015471/28; Заявл. 1.09.93; 0публ.24.04.97, Бюл. №12.

76. Иеанников В.П. и др. Методы подготовки сложных объектов и анализ317электронно-микроскопических изображений // Тез. док. Всесоюзного симпозиума по электронной микроскопии. Петрозаводск: АН СССР, 1976.

77. Иванников В.П. Оптико-измерительный тракт диссекторного устройства ввода полутоновых изображений в ЭВМ // Тез. док. НТК «Разработка СТЗ и их применение в промышленности» (Ижевск, 15. 17 сент. 1988г.) Ижевск: Межвуз. тип., 1988.

78. Иванников В.П. Оптико-измерительный тракт диссекторного устройства ввода полутоновых изображений в ЭВМ // Оптико-механическая промышленность. 1989. - N 9. - С.54.57.

79. Иванников В.П. и др. Двухформатное диссекторное устройство ввода полутоновых изображений // ПТЭ. 1990. - N2. - С.238.

80. Иванников В.П., Перепелов С.П. Устройство для ввода полутоновых изображений в ЭВМ. Патент РФ RU2009542 С1 / МКИ 5 G06 К 9/00. -№5005601/24; 3аявл.23.07.91; Опубл. 15.03.94, Бюл. №5.

81. Иванников В.П. и др. Разработка теоретических основ управления роботизированными комплексами / Закл. отчет НИР (з/н N13); ГР № 0188077746; Инв. №02910030530. Ижевск: ИМИ, 1991. - 33с.

82. Иванников В.П. и др. Диссекторное устройство ввода. A.C. 319063 СССР/МКИ 5 G06 К 9/00. -№318409; Заявл. 04.04.88; Опубл. 01.10.90.

83. Иванников В.П. Способ количественных измерений магнитных микрополей рассеяния методом муара в электронной микроскопии. // Заводская лаборатория. 1986. - Т.52. - N1. - С.25.29.

84. Иванников В.П., Передереев В.А. Влияние электронного облучения на деградацию характеристик биполярных интегральных схем, исследуемых в РЭМ / Физика и электроника твердого тела: Межвуз. сб. Ижевск: УдГУ, 1981. - Вып.4. - С.144.151.

85. Иванников В.П. и др. Повышение чувствительности измерений локальных потенциалов с помощью растрового электронного микроскопа / Физика и электроника твердого тела: Межвуз. сб. Ижевск: УдГУ, 1979. - Вып.З. -С.187.194.

86. Иванников В.П. и др. Растровый электронный микроскоп. A.C. 693483 / МКИ Н 01 J 37/26. №2432905/18-25; Заявл. 24.12.76; Опубл. 28.06.79, Бюл. №39.

87. Иванников В.П. и др. Измерение электрических микрополей в растро318вом электронном микроскопе // ПТЭ. 1977. - N5. - С. 191. 193.

88. Иванников В.П. и др. Растровый теневой метод исследования магнитных полей рассеяния / Тез. докл. X Всес. конф. по электрон, микр. (Ташкент, 5.8окт. 1976г.)-Ташкент: АН Узб. ССР, 1976. T.l. - С.78.79.

89. Иванников В.П., Лукьянов А.Е. Автоматизация измерения полей рассеяния с помощью РЭМ // Изв. АН СССР. 1977. - Сер. физ. - Т.41. - N7. -С.1468.1477.

90. Иванников В.П. Исследование методом муара магнитных полей в просвечивающем электронном микроскопе // ПТЭ. 1986. - N3. - С.217.221

91. Иванников В.П., Лукьянов А.Е. Электронно-микроскопический способ измерения двумерных полей рассеяния. A.C. 682968 / МКИ Н 01 J 37/26. -№2496852/18-25; Заявл. 14.06.77; Опубл. 30.08.79, Бюл. №32.

92. Иванников В.П. и др. Разработка теоретических основ управления роботизированными комплексами / Закл. отчет НИР (з/н N25); ГР №01910038396; Инв. №02940001892. ГР Ижевск: ИМИ, 1994. 42с.

93. Иванников В.П. и др. Двухформатное диссекторное устройство ввода полутоновых изображений // Информационный листок 46-89 о внедрении. -Ижевск: Удм. МТЦНТИ, 1989.

94. Иванников В.П. Прецизионный ввод и обработка полутоновых изображений с помощью диссекторных оптико-электронных преобразователей / Закл. отчет НИР (Грант ПГ-2). Ижевск: ИжГТУ, 1996. - 39с.

95. Иванников В.П. и др. / Закл. отчёт НИР (х/д тема «Риск», пост. ВПК). Ижевск: НИОТК ИМИ, 1989. - 24с.

96. Иванников В.П. и др. Вопросы конструирования оптико-механической системы контроля качества пропечатки рисунка на движущемся полотне // Тез. докл. НТК «Ученые ИжГТУ производству» (Ижевск, 1994г.) - Ижевск: ИжГТУ, 1994.-С. 14.

97. Информационные системы промышленных роботов / А.Е. Кобрин-ский и др. // Станки и инструмент. 1978. - N 8. - С.12.17.

98. Интерфейсы средств вычислительной техники: Справочник / A.A. Мячев. М.: Радио и связь, 1993. - 352с.

99. Исследования в области измерений геометрических величин: Труды метрологических институтов СССР. М.: Изд. стандартов, 1977. - Вып. 218(278).- 112с.

100. Карелин В.В. Развитие роботизации производства. // Электронная промышленность. 1983. -N 5. - С.3.5.

101. Катыс Г.П. Автоматическое сканирование. М.: Машиностроение, 1969.-240с.

102. Катыс Г.П., Кравцов Н.В., Чирков JI.E. Модуляция и отклонение оптического излучения. М.: Наука, 1967. - 176с.

103. Катыс Г.П. Информационные сканирующие системы. М.: Машиностроение, 1965. - 448с.

104. Катыс Г.П., Здор С.Е. Широков В.Б. Оптимальные структуры опто-электронных систем поиска и распознавания / Цифровая вычислительная техника и программирование. М.: Сов. радио, 1972. - Вып.7. - С. 172. 181.

105. Катыс Г.П. Принципы двумерного сканирования в обзорно-поисковых системах / Развертывающие системы / Под ред. Ф.Е. Темникова. -М.: Энергия, 1976. С.63.67.

106. Катыс Г.П. Автоматический обзор и поиск в оптическом диапазоне. -М.: Наука, 1966.- 160с.

107. Катыс Г.П. Оптико-электронная обработка информации. М.: Машиностроение, 1973. - 448с.

108. Катыс П.П. Восприятие и анализ оптической информации автоматической системой. М.: Машиностроение, 1986. - 415с.

109. Китенко Т.Н., Слободян С.М. Диссекторы (обзор) // Итоги науки и техники. Сер. электроника. -М.: НТИ, 1983. Т.15. - С.118.153.

110. Клишин C.B. Задачи синтеза оптимального прибора при неточно заданной модели измерительно-вычислительной системы / Диссертация на соис320кание ученой степени кандидата физико-математических наук. М.: МГУ, 1993.

111. Ковалевский В.В., Клековкин B.C., Кривошеин В.Н., Иванников В.П. Вопросы конструирования приборов для измерения конических отверстий в процессе их обработки // Тез. докл. НТК «Ученые ИжГТУ производству» (Ижевск, 1994г.) - Ижевск: ИжГТУ, 1994. - С. 10.

112. Козырев Ю.Г. Промышленные роботы: Справочник. М.: Машиностроение, 1983. - 376с.

113. Конурин Ю.Л. Лазерная локация луны // Труды ФИАН СССР. -1976. С.159.225.

114. Комаров В.М., Яцкевич Г.Б. Лазерные системы в локации и навигации // Зарубежная радиоэлектроника. 1987. - N2. - С.86.107.

115. Корольков В.Г., Вроблевский А.А Физические основы магнитной звукозаписи. М.: Энергия, 1970. - 268с.

116. Корндорф С.Ф. и др. Расчет фотоэлектрических цепей. М.: Энергия, 1967. - 234с.

117. Коуэн Дж. Многозначные логики и надежные автоматы // Принципы самоорганизации: перевод с английского. М.: Мир, 1966. - 368с.

118. Кошкин В.Л. Аппаратные системы числового программного управления. М.: Машиностроение, 1989. - 248с.

119. Кошкин Л.Н. Роторные и роторно-конвеерные линии. М.: Машиностроение, 1982. - 350с.

120. Лазарев Л.П. Инфракрасные и световые приборы самонаведения и наведения летательных аппаратов. М.: Машиностроение, 1976. - 568с.

121. Лазеры в авиации. // И.Н. Гончаров и др. / Под ред. В.М. Сидорина. -М.: Воениздат, 1982. 160с.

122. Левшин В.Л. Обработка информации в оптических системах пеленгации. М.: Машиностроение, 1978. - 168с.

123. Лендарис Г., Стенли Г. Методы дискретизации дифракционных картин для автоматического распознавания образов // ТИИЭР. 1970. - Т.58. - N2. - С.22.40.

124. Леонов В.В. Анализ методов измерений отклонений от прямолинейности и плоскостности поверхностей. М.: Изд. стандартов, 1982. - 367с.

125. Либенсон М.Н., Хесин А.Я., Янсон Б.А. Автоматизация распознавания телевизионных изображений. М.: Энергия, 1975. - 159с.

126. Литвинов P.O. Влияние поверхности на характеристики полупроводниковых приборов. Киев: Наукова думка, 1972. - 87с.

127. Лохин В.М., Мадыгулов Р.У., Макаров В.В. и др. Времяимпульсные системы автоматического управления / Под ред. И.М. Макарова. 2-е издание,321переработанное. M.: Наука. Физматлит, 1997. - 224с.

128. Лукьянов Д.П., Корниенко A.A., Рудницкий Б.Е. Оптические адаптивные системы. М.: Радио и связь, 1989. - 240с.

129. Лукьянов А.Е., Иеанников В.П., Антонюк В.А., Доронин И.О. Способ детектирования сигнала в растровом электронном микроскопе. A.C. 830597 / МКИН 01 J 37/26. №2801360/18-25; Заявл. 25.07.79; Опубл. 15.05.81, Бюл. №18.

130. Лукьянов А.Е., Иеанников В.П. Автоматизация измерений локальных электрических и двумерных магнитных микрополей // Тез. докл. Всесоюзного семинара «РЭМ 78» (Звенигород, 17.20 апреля 1978г.). - М.: ИКАН, 1978. -С.8.

131. Лукьянов А.Е., Pay Э.И., Иеанников В.П., Гусев В.Н. Электронно-микроскопический способ измерения полей рассеяния. A.C. 503317 / МКИ H 01 J 37/26; G 01 N 33/00. №2035908/26-25; Заявл. 21.06.74; Опубл. 15.02.76, Бюл. №6.

132. Мадьяри В. Элементы оптоэлектроники и фотоэлектрической автоматики. М.: Сов. радио, 1979. - 160с.

133. Малашин М.С., Каминский Р.П., Борисов Ю.В. Основы проектирования лазерных локационных систем. М.: Высшая школа, 1983. - 208с.

134. Мачтовой И.А. Сравнительное исследование анализаторов изображений//ОМП. 1978. - NI. -С.12.14.

135. Месаревич М., Такахара Я. Общая теория систем. Математические основы: пер. с англ. / Под ред. C.B. Емельянова. М.: Мир, 1978. - 311с.

136. Минский М. На пути к созданию искусственного разума // Вычислительные машины и мышление: пер. с англ. / Под ред. Э.М. Бравермана, A.B. Напалкова и Ю.В. Орфеева. М.: Мир, 1967. - С.402.457.

137. Минский М. Вычисления и автоматы: перевод с английского М.: Мир, 1971.-365с.

138. Мирошников М.М. Теоретические основы оптико-электронных приборов. Л.: Машиностроение, 1983. - 696с.

139. Михель К. Основы теории микроскопа. М.: Госиздат., 1955. - 276с.

140. Михелькевич В.Н. Автоматическое управление шлифованием. М.: Машиностроение, 1975. - 304с.

141. Мишкинд С.И. Автоматизация сборочных процессов с помощью промышленных роботов. М.: НИИ Маш, 1980. - 72с.

142. Мишкинд С.И. Системы технического зрения для автоматизации машиностроительного производства // Технология машиностроительного производства. М.: НИИ Маш, 1982. - 88с.322

143. Мищенко Н.И., Пустынский И.Н., Суворов Б.И. Оптимизация параметров оптико-электронной системы в режиме поиска. // ОМП. 1976. - N9. -С.6.7.

144. Молебный В.В. Оптико-локационные системы. Основы функционального построения. М.: Машиностроение, 1981. - 184с.

145. Нестерихин Ю.Е. Оптико-электронные системы и автоматизация исследований // Автометрия. 1977. -N5. - С.7.13.

146. Новицкий П.В. Основы информационной теории измерительных устройств. М.: Энергия, 1968. - 247с.

147. Носов Ю.Р., Шилин В.А. Основы физики приборов с зарядовой связью. М.: Наука, 1986. - 318с.

148. Обработка изображений // Зарубежная радиоэлектроника. 1985. -N10.-С.85.100.

149. Парыгин В.Н., Чирков JI.E. Модуляция и сканирование световых пучков // Справочник по лазерам. М: Сов. радио, 1978. - Т.2. - С.183.194.

150. Пат.ЖЗ07929 НКИ 350-371, N4313651 НКИ 350-355 (США).

151. Пат.№958863, 3977770, 3994569 НКИ 350-161; 4118113, 4150880, 4381887 НКИ 350-358 (США).

152. Пат. N4385798 НКИ 350-96.14 (США).

153. Полковский И.М., Стыцько В.П., Рудберг Ю.Е. Схемотехника микроэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь, 1981. - 320с.

154. Порфирьев Л.Ф. Теория оптико-электронных приборов и систем. -Л.: Машиностроение, 1980. 272с.

155. Ползунов Ю.П. Фотоэлектрические микроскопы и автокалиматоры в станкостроении. М.: РЖИ Маш, 1971. - 172с.

156. Полупроводниковые формирователи сигналов изображений / Под ред. P.A. Суриса. М.: Мир, 1979. - 572с.

157. Пособие по применению промышленных роботов / Под ред. Кацу-хико-Нода. М.: Мир, 1975. - 451с.

158. Практические методы в электронной микроскопии / Под ред. Одри М. Глоэра: пер. с англ. под ред. В.Н. Верцнера. Л.: Машиностроение (Ле-нингр. отд.), 1980. - 375с.

159. Практическая растровая электронная микроскопия / Под ред. Дж. Гоулдстейна и X. Яковица. М.: Мир, 1978. - 656с.

160. Прангишвили И.В. Микропроцессоры и локальные сети микро-ЭВМ в распределительных системах управления. М.: Энергоатомиздат, 1985. -232с.

161. Преобразователь свет-сигнал в телевизионных системах / В.Н. Короленко и др. М.: Связь, 1978. - 120с.323

162. Пресс Ф.П. Формирователи видеосигнала на приборах с зарядовой связью. М.: Радио и связь, 1981. - 136с.

163. Приборы с зарядовой связью / Под ред. Д.Ф. Барба. М.: Мир, 1982.- 240с.

164. Промышленная робототехника и гибкие автоматизированные производства: опыт разработки и внедрения / Под ред. Е.И. Юревича. JI.: Лениздат, 1984.-224с.

165. Промышленная робототехника / A.B. Бабич и др. // Под ред. Я.А. Шифрина. М.: Машиностроение, 1982. - 415с.

166. Промышленные роботы. Внедрение и эффективность: Пер. с англ. / К. Асаи и др. М.: Мир, 1987. - 384с.

167. Прэтт У. Цифровая обработка изображений: перевод с англ. М.: Мир, 1982. - Кн. 1 -2.

168. Пустынский И.Н., Слободин С.Н. Диссекторные следящие системы.- М.: Радио и связь, 1984. 136с.

169. Пытьев Ю.П. и др. Об автоматизации сравнительного морфологического анализа электронно-микроскопических изображений // Изв. АН СССР. -1977. Сер. физ. - Т.41. - N11. - С.2436.2441.

170. Пытьев Ю.П. Морфологический анализ изображений // Докл. АН СССР. 1975. - Т.224. -N6. - С. 1283. 1286.

171. Пытьев Ю.П. Математические методы интерпретации эксперимента.- М.: Высшая школа, 1989. 351с.

172. Пытьев Ю.П. Проекционный анализ изображений // Кибернетика. -1975. -N3. С.130.139.

173. Пытьев Ю.П., Чуличков А.И., Голубцов П.В. Задачи оптимальной редукции измерений в физическом эксперименте // Вестн. Моск. Ун-та. Серия физика, астрономия. 1986. Т.27, №2. - С. 8. 12.

174. Пытьев Ю.П., Козлов A.A. Об эффективности редукции измерений и некоторых задачах синтеза измерительно-вычислительного комплекса // ЖВМ и МФ, 1987. Т. 27, №3. - С. 323.331.

175. Пытьев Ю.П., Журавлев О.В., Козлов A.A. О предельных возможностях измерительных преобразователей второго порядка // ЖВМ и МФ, 1987. -Т. 27, №6. С. 935.939.

176. Pay Э.И., Лукьянов А.Е., Мелик-Оганджанян П.Б., Гусев В.Н., Ре-тюнский Б.Н., Иеанников В.П. Измерение частотно-фазовых и переходных характеристик локальных магнитных полей рассеяния // Изв. АН СССР. 1974. -Сер. физ. - Т.38. - N7. - С.1417.1423.

177. Pay Э.И., Иеанников В.П. Растровый теневой метод исследования324магнитных полей рассеяния // Изв. АН СССР. 1977. - Сер. физ. - Т.41. - N5.- С.928.932.

178. Ребрин Ю.К. Управление оптическим лучом в пространстве. М.: Сов. радио, 1977. - 336с.

179. Резников В.И. Тенденции развития средств линейных измерений с помощью лазера в станкостроении: обзор. М.: НИИ Маш, 1982. - 34 с.

180. Робототехника / К. Фу, Р. Гонсалес, К. Ли: перевод с английского. -М.: Мир, 1989. 624с.

181. Робототехника // Ю.Д. Андрианов и др. / Под ред. Е.П. Попова, Е.И. Юревича. М.: Машиностроение, 1984. - 288с.

182. Робототехника и гибкие производственные системы: Проблемы создания гибких автоматизированных производств / Под ред. И.М. Макарова, К.В. Фролова, П.Н. Белянина. М.: Наука, 1987. - 326с.

183. Робототехника и гибкие автоматизированные производства: Гибкие автоматизированные производства в отраслях промышленности (Учебное пособие для вузов в 9кн.) / И.М. Макаров и др./ Под ред. И.М. Макарова. М.: Высшая школа, 1986. - 176с.

184. Роботизация сборочных процессов / Под ред. Д.Е. Охоцимского. -М.: Наука, 1985. 224с.

185. Розенфельд А. Распознавание и обработка изображений с помощью вычислительных машин: перевод с английского. М.: Мир, 1972. - 230с.

186. Рябов С.Г., Тропкин Г.Н., Усольцев И.Ф. Приборы квантовой электроники / Под ред. М.Ф. Стельмаха. М.: Сов. радио, 1976. - 322с.

187. Рыфтин Я.А. Телевизионная система. М.: Сов. радио, 1967. - 271с.

188. Сакин И.Л. Инженерная оптика. Л.: Машиностр., 1976. - 255с.

189. Салтыков С.А. Стереометрическая металлография. М.: Металлургия, 1970. - 294с.

190. Седов H.H.: Диссертация на соискание степени доктора физико-математических наук. М.: МГУ, 1973.

191. Седов H.H. и др. // Радиотехника и электроника. 1971. - Т.16. - N9.- С.1745.

192. Секен К., Томпсет М. Приборы с переносом заряда. М.: Мир, 1978.- 328с.

193. Сидорин Ю.Я., Дъякова Ю.Г. Лазерные системы наведения с подсветкой цели // Зарубежная электронная техника. 1972. - N20. - С.3.26.325

194. Система «Протва 2М» для оптико-структурного машинного анализа микрообъектов и их изображений / Богданов K.M. и др. // Труды ВНИИБио-техники. - М.: ОНТИТЭИ микробиопром, 1972. - Вып.1. - С.68.75.

195. Системы очувствления промышленных роботов и гибких производственных систем: Сб. научных трудов под ред. И.М. Макарова, Е.П. Попова. -М.: Наука, 1989. 144с.

196. Системы очувствления и адаптивные промышленные роботы / В.Б. Брагин и др. / Под общ. ред. Е.П. Попова, В.В. Клюева. М.: Машиностроение, 1985.-256с.

197. Системы технического зрения / А.Н. Писаревский и др. / Под общей ред. А.Н. Писаревского, А.Ф. Чернявского. Л.: Машиностроение, 1988. -424с.

198. Сканирующая техника в исследованиях клеточных популяций, клеток, органоидов и макромолекул: Сборник. Пущино на Оке: АН СССР, 1973.- 196с.

199. Слуев В.И., Сапарин Г.В., Спивак Г.В. О пространственном разрешении областей и спектров люминесценции при наблюдении полупроводников в стробоскопическом растровом электронном микроскопе // Радиотехника и электроника. 1976. - Т.21. - N2. - С.312.317.

200. Слюсарев Г.Г. Методы расчета оптических систем. М.: Машиностроение, 1969. - 312с.

201. Смирнов А.Я., Меньшиков Р.П. Сканирующие приборы. Л.: Машиностроение, 1986. - 143с.

202. Современные промышленные роботы: Каталог. / Под ред. Ю.Г. Козырева, Я.А. Шифрина. М.: Машиностроение, 1984. - 152с.

203. Сосонкин В.Л. Программное управление станками. М.: Машиностроение, 1981. - 330с.

204. Спивак Г.В., Лукьянов А.Е., Pay Э.И., Иеанникое В.П. Электронно-микроскопическое устройство для измерения полей рассеяния. A.C. 507905 / МКИН 01 J 37/26. №2036417/26-25; Заявл. 21.06.74; Опубл. 25.03.76, Бюл. №11.

205. Спивак Г.В., Комолова Л.Ф., Сапарин Г.В. О наблюдении наведенного тока в полупроводниках при помощи стробоскопического растрового электронного микроскопа // Радиотехника и электроника. 1976. - Т.21. - N2.- С.414.416.

206. Спивак Г.В. и др. Способ наблюдения диэлектриков в РЭМ. / A.C. 405141 / МКИН 01 J 37/26. 1973г.

207. Спивак Г.В., Лукьянов А.Е., Pay Э.И., Иеанникое В.П. Растровый зеркальный электронный микроскоп. A.C. 506084 / МКИ Н 01 J 37/26.3262024447/26-25; Заявл. 14.05.74; Опубл. 05.03.76, Бюл. №9.

208. Средства измерения линейных и угловых размеров в машиностроении: Каталог / Под общей редакцией A.B. Высоцкого. М.: НИИ Маш, 1980. -359с.

209. Статистические методы обеспечения качества / Х.-Й. Миттаг, X. Ринне: Пер. с нем. М.: Машиностроение, 1995. - 616 с.

210. Телевизионная астрономия / А.Н. Абрамов и др. М.: Наука, 1974.280с.

211. Теория передачи электрических сигналов при наличии помех: сб. переводов / Под ред. Железнова H.A. М: ИИЛ, 1953.

212. Технологическая классификация промышленных роботов / Е.П. Чернов, Е.И. Юревич. // Промышленные роботы. Л.: Машиностроение, 1982.- С.3.12.

213. Толковый словарь по вычислительным системам / Под ред. В. Ил-лингуорта и др.: Пер. с англ. Белоцкого А.К. и др., под ред. Е.Ю. Московского.- М.: Машиностроение, 1990. 231с.

214. Тюрев A.B., Бочаров Б.Г. Метод выделения сигналов от малоразмерных объектов в сканирующих системах // ОМП. 1975. - N1. - С.68.

215. Управляющие системы промышленных роботов / Ю.Д. Андрианов и др. / Под ред. И.М. Макарова, В.А. Чиганова. М.: Машиностроение, 1984. -288с.

216. Файн B.C. Распознавание образов и машинное понимание естественного языка. М.: Наука, 1987. - 174с.

217. Файн B.C. Опознавание пространственных объектов // Проблемы передачи информации. 1961. - N10. - С.49.56.

218. Федоров Б.Ф. Лазерные приборы и системы летательных аппаратов.- М.: Машиностроение, 1979. 272с.

219. Федотов А.И. Автоматизация делительных работ. Л.: Машиностроение, 1969. - 318с.

220. Халецкий М.Б., Иванов А.Э., Pay Э.И., Иванников В.П. Поля рассеяния магнитных головок с уменьшенной рабочей поверхностью // Радиотехника.- 1977. Т.32. - N9. - С.92.94.

221. Харалик P.M. Статистический и структурный подходы к описанию текстур // ТИИЭР. 1979. - Т.67. - N5. - С.98.120.

222. Харкевич A.A. Теория преобразователей. М.-Л. : Госэнергоиздат, 1948.- 191с.

223. Хорн Б. Определение формы по данным о полутонах // Психология машинного зрения. М.: Мир, 1978. - С. 137. 184.327

224. Цукерман И.И. и др. Цифровое кодирование телевизионных изображений. М.: Радио и связь, 1981. - 239с.

225. Шварце X., Хольцгрефе Г.В. Использование компьютеров в регулировании и управлении: пер. с нем. М.: Энергоатмиздат, 1990. - 176с.

226. Шибанов Г.П. Распознавание в системах автоконтроля. М.: Машиностроение, 1973. - 424с.

227. Широков В.А. и др. Устройство ввода полутоновых изображений // Дискретные системы обработки информации: Межвузовский сборник. -Ижевск: ИМИ, 1982. С.56.59.

228. Шмидт Д., Шварц В. Оптоэлектронные сенсорные системы: перевод с немецкого. М.: Мир, 1991. - 96с.

229. Якушенков Ю.Г. Основы теории и расчета оптико-электронных приборов. М.: Сов. радио, 1971. - 336с.

230. Ярославский Л.П. Введение в цифровую обработку изображений. -М.: Сов. радио, 1979. 312с.

231. Akime Н. A method of bivariate interpolation and smooth surface fitting based on local procedures // Commun. ACM. 1974. - V.17. - N1. - P.18.20.

232. Balk P, Eldridge J.M. // Proc. of the IEEE. 1969. V.57. - N9. -P.1558.1563.

233. Bancroft J.B., Hills G.J., Markham R. // Virology. 1967. - V.31.1. P.354.

234. Banbury J.R., Nixon W.C. // Proc. of the 3rd Annual SEM Symp. IITRI. Chicago, 111. 1969. -P.403.

235. Bansky B.A., Greenberg D.P. Determining a set of B-spline control vertices to generate an interpolating surface // Comput. Vision Graph, and Image Process. 1980. - V.14.-N3. - P.203.206.

236. Boyle W.S., Smith G.E. Charge coupled semiconductor devices // BSTJ Briefs. 1970. - V.49. -N4. -P.584.587.

237. Bragg L. / Nature. 1944. - V.154. - P.69.

238. Cook K.B., Brodersen A.J. / Solid State El. 1971. - V.14. - N12. -P.1237.1250.

239. Driver M. // Proc. 2nd Ann. SEM Simp. IITRI. Chicago. 1969. - P.405.

240. Dudani S.A., Freeding K.J., McGher R.B. Aircraft identificahion by328moment ivariants // IEEE Trans.- 1977.- V.c-26. N1. - P.39.46.

241. Everhart T.E., Thornley R.F.M. // J. Sci. Instr. 1960. - V.37. - P.246.

242. Everhart T.E., Oatley C.M., Wells O. // J. Electron, and Control. 1959. -V.7. -N2. -P.97.

243. Everhart T.E. // Proc. of the 3rd Stereoscan Colloquium. (Morton Grove, 111., Kent Cambridge Scientific). 1970. - P. 1.

244. Fisher L.T. A riviev of technologies and methods for computer analisys of images // Amer. J. Roentgenal. 1980. - V.134. -Nl. - P.204.216.

245. Flemming Y.P. // Y. of Scient. Instr. (J. Phys. E). 1969. - Ser.2. - V.2.1. P.93.

246. Gray P.V. // Proc. of the IEEE. 1969. - V.57. -N9. - P. 1545. 1551.

247. Green D., Sandor J.E., O'Keeffe T.W., Matta R.K. // J. Appl. Phys. Lett. -1965. V.6. - N1. - P.3.4.

248. Grafe H., Ivanikov V.P., Luk'ynov A.E., Rau E.I., Spivak G.W. Rasterspiegelelektronenmikroskop // VIII Arbeitstagung "Elektronenmikroskopie". (bis 30.1.1975 in Berlin). 1975.-Vom.27.-P.285 (B69).

249. Gopinath A., Sanger C., Parachini C., Jones G. / IITRI. 1971. - P.457.

250. Gopinath A., Tee W.J. // Proc. of the Workshop on Micr. Divices Fabrication and Quality Control with the SEM. IITRI. Chicago. 1976. - P.603.

251. Gordon W.I., Riesenfeld R.F. B spline curves and surfaces // Computer aided geometric design. -N.Y.: Acad, press., 1974. - P.95.126.

252. Hart K.M., Camabe M. //Metrologia. 1968. - V.4. -N4. - P.155.161.

253. Hill M.S., Gopinath A. // Rew. Sci. Instr. 1977. - V.48. - N7. - P.806.

254. Horn B.K.P., Brocks M.J. The variational approach to shape from shading // Comput. Vision, Graph, and Image Procees. 1986. - V.33. - N2. - P.174.208.

255. Johnson W.C. // IEEE Trans, on Nucl. Sci. 1975. - V.NS-22. - N6. -P.2144.2150.

256. Joy D.C., Newbury D.E., Hazzledine P.M. // Proc. of the 5th Annual SEM Symp. IITRI. Chicago, 111. 1972. - P.97.

257. Kanaya K.,Okayama S. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1971. - V.5. -P.43.56.

258. Keery WJ., Leedy K.O., Galloway K.F. // Proc. of the Workshop on Microel. Device Fabr. and Quality Contr. with the SEM. IITRI. Chicago. 1976.

259. Lamberts C.W. Active imaging system: a long range scanned laser // Appl. optics. 1976. - V.15. -N5. -P.1284.1289.

260. Ma T.R., Scoggan G, Keone R. // J. Appl. Phys. Lett. 1975. - V.27. -P.61.63.

261. Markham R., Frey S., Hills G.J. // Virology. 1963. - V.20. - P.88.

262. McDonald N.C., Everhart T.E. // J. Appl. Phys. Lett. 1965. - V.7.3291. P.267.271.

263. Moore D.J.H. A theory of form // International Journal of Man-Machine Studies. 1971. - V.3.-Nl.-P.31.59.

264. Munakata C. // Japan J Appl. Phys. 1967. - V.6. - P.963.971.

265. Oatley C.W., Everhart T.E. // J. Electron. 1957,- V.2. - P.568.

266. Parrish E.A., Jr.McKey E.S. Implication of charge-coupled devices for pattern recognition // IEEE Trans. Compt. 1976. - V.25. - N11. - P. 1146. 1152.

267. Petley C.H., Pook R. Some applications of single channal multipliers // Acta Electron. 1971.- V. 14. - N2. - P. 151. 157.

268. Petrov V.l., Rau E.I., Dukov V.G., Spivak G.V. // Proc. 5th Europ. Congr. on El. Micr. Manchester. 1972. - P. 184

269. Pfeifer T. u.a. Geometriche prufungen mit dem Laser-Geradheits-Mob-system // Industrie-Anzeiger. 1977 - V.99. - N6.

270. Ring B.A. An overviev: computed axial tomography // Appl. Radiol. -1979. -V.8. -N6. -P.110.125.

271. Rose A. Television pickup tubes and the problem of vision // Advances in Electronics (Marton L., ed) New York: Academic Press, 1948 - V. 1. - P. 131.

272. Rozenfeld Ed.A. Digital picture analysis. -N.Y.: Springer, 1976. 361p.

273. Sanger C., Gopinath A. // Proc. 5th Europ. Congr. on Electr. Microscopy. Manchester, 1972.-P.482.

274. Simpson I.A. // Rev. Scient. Instrum. 1961. - V.32. - P. 12.

275. Spivak G.V., Ivannikov V.P., Luk'yanov A.E., Rau E.I. Development of scanning miror electron microscopy for quantitative eveluation of electric micröfields //J. Microsc. Spectrosc. Electron. 1978. - V.3. -P.89.100.

276. Swing R.E. Optics of microdensitometer // Opt. Eng. 1973. - Nov-Dec. - P. 185.

277. Thornley R., Hutchisson Y. // Appl. Phys. Lett. 1968. - V. 13. - P.249.

278. Tornton P. // Scan. Electr. Micr. (Chapman and Hall). 1968.

279. Yu K.C., Fu K.S. A syntactic aproach to shape recognition // Computer Graphics and Image Processing. 1980. V.13.-N1.-P.1.16.

280. Zahh C.T., Roskies R.Z. Fourier descriptors for plane closed curves // IEEE Trans. 1972.- V.c-21.-N3. - P.269.281.

281. Von ArdenneM. HZ. Phys. 1938. - V.109. -P.553.

282. Wilkins M.F.H., Stokes A.R., Seeds W.E, Oster G. // Nature. 1950. -V.166. -P.127.330