автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.18, диссертация на тему:Моделирование ҽ - координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники

На правах рукописи

Ващенко Петр Андреевич

МОДЕЛИРОВАНИЕ е - КООРДИНАТНЫХ ВИБРОЗАЩИТНЫХ УСТРОЙСТВ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

Специальности: 05.13.18 — Математическое моделирование, численные методы

и комплексы программ 05.13.12 - Системы автоматизации проектирования

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Воронеж 2009

003474430

Работа выполнена на кафедре телекоммуникационных систем Воронежского института МВД России Научный руководитель: - доктор технических наук, профессор

Хохлов Николай Степанович

Официальные оппоненты: - доктор технических наук, профессор

Дурденко Владимир Андреевич - кандидат технических наук, доцент Железный Сергей Владимирович

Ведущая организация - Воронежский институт высоких технологий

Защита состоится 17 июля 2009 года в «|3» часов в ауд. № 213 на заседании диссертационного совета Д 203.004.01 по защите докторских и кандидатских диссертаций при Воронежском институте МВД России по адресу: 394065, г. Воронеж, пр. Патриотов, 53.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Воронежского института МВД России.

С текстом автореферата можно ознакомиться на официальном сайте Воронежского института МВД России: www.vimvd.ru в разделе "Научная работа " - " Диссертационные советы" - "Д 203.004.01".

Автореферат разослан «15"» июня 2009 года.

Ученый секретарь диссертационного совета

кандидат физико-математических наук

С.В. Белокуров

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность работы. Интенсивное развитие электронной техники, качественный скачок в изменение структуры электронных приборов - переход на создание интегральных схем с высокой и сверхвысокой плотностью размещения элементов в кристалле, развитие таких направлений функциональной электроники, как оптоэлектроника, акустоэлектроника, магнитоэлектроника требует от разработчика надежности и стабильности параметров создаваемых электронных приборов. Качество выпускаемых изделий, надежность, работоспособность оборудования производства электронной техники во многом зависят от наличия или отсутствия вибрационных воздействий. С целью виброизоляции оборудования электронной техники его обычно устанавливают на отдельный фундамент или применяют специальные массивные виброгасящие системы стационарного типа. Однако при монтаже оборудования на межэтажных перекрытиях производственных корпусов применение массивных фундаментов недопустимо, а также недостаточно эффективно при уровне вибрации до 0,1.. .5 мкм.

Переход на нанотехнологии требует использования эффективных типов виброизоляционных устройств, способных гасить колебания по всем шести степеням свободы. Высокую эффективность гашения колебаний обеспечивают I - координатные виброзащитные устройства. Однако широкое внедрение таких устройств сдерживается сложностью их проектирования, отсутствием моделей и способов оценки параметров на отдельных стадиях проектирования. Поэтому задача разработки математических моделей и определения характеристик таких виброзащитных устройств является актуальной и своевременной. Важным моментом применения £ - координатных виброзащйтных устройств в оборудовании электронной техники является использование их в вакууме, что требует решения вопросов теноэкологии, связанной, в первую очередь, с вопросами образования привносимой дефектности в условиях вибрационного режима работы £ - координатного виброзащитного устройства. Однако широкое внедрение таких устройств сдерживается сложностью их проектирования, отсутствием моделей и способов оценки конструкции на отдельных стадиях проектирования. Поэтому задача разработки автоматизированных систем проектирования таких виброзащитных устройств является актуальной и своевременной.

Цель работы. Целью работы является разработка и экспериментальное обоснование математических моделей I - координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники для определения основных параметров качества при заданных исходных данных с учетом вакуумных условий эксплуатации, а также разработка алгоритмов и методов анализа и синтеза для автоматизированной системы проектирования I - координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники, позволяющей сократить время их проектирования, выбирать наилучшие варианты среди спроектированных, рассчитывать основные параметры качества при заданных исходных данных.

Задачи исследования. Для реализации поставленной цели исследований решены следующие научные задачи:

1. Разработаны математические модели I - Координатных виброзащитных устройств.

2. Экспериментально подтверждена адекватность предложенных математических моделей I - координатных виброзащитных устройств оборудова-

ния электронной техники, в том числе с учетом вакуумных условий эксплуатации.

3. Выполнен морфологический анализ-синтез для организации автоматизированного поиска рациональных технических решений виброзащитных устройств, реализуемых в оборудовании электронной техники, и предложены технические решения, защищенные патентами на полезную модель.

4. Создана база данных и база знаний для реализации автоматизированного проектирования ( - координатных виброзащитных устройств, для чего выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований элементной базы виброзащитных устройств.

Методы исследования. В работе используются положения теории систем, теории множеств, теории принятия решений и искусственного интеллекта, динамики твердого тела с одной, тремя и шестью степенями свободы с использованием аналитических и численных методов решения.

Экспериментальная проверка полученных теоретических результатов выполнена на специально созданных установках и стендах.

При проведении экспериментальных исследований применялись методики прямых и косвенных измерений методом тензометрии, с последующей обработкой результатов методами теории вероятности и математической статистики.

Научная новизна.

1. Разработаны математические модели плоских (на три степени подвижности) и пространственных (на шесть степеней подвижности) ( - координатных виброзащитных устройств.

2. Предложен обобщенный критерий оценки качества I - координатного виброзащитного устройства, включающий функциональные (частоту колебаний, амплитуду и коэффициент демпфирования), экологические (привносимую дефектность и газовый поток), экономические (стоимость и окупаемость) локальные критерии.

3. Разработана база знаний, необходимая для управления информационными процессами и реализации процедурной части системы автоматизированного проектирования £ - координатных виброзащитных устройств.

4. Выполнен морфологический анализ-синтез для рациональных технических решений I - координатных виброзащитных устройств и предложены технические решения I- координатных виброзащитных устройств, защищенные патентами на полезную модель.

Практическая значимость.

1. Создана база опытных данных, необходимых для реализации практических расчетов и принятия решений при автоматизированной разработке I - координатных виброзащитных устройств.

2. Создан проблемно-ориентированный программный продукт «Расчет собственных частот и коэффициентов демпфирования I - координатных виброзащитных устройств» (Свидетельство о Государственной регистрации программы для ЭВМ № 2004610345 от 04.02.04).

3. Разработаны технические решения I - координатных виброзащитных устройств, отвечающие критериям качества по функциональным, экологическим и экономическим локальным критериям.

4. С использованием разработанной автоматизированной системы проектирования предложена трехуровневая система виброзащиты на основе I -

координат применительно к оборудованию электронной техники.

Достоверность результатов. Достоверность проведенных теоретических исследований обеспечивается строгим математическим обоснованием предлагаемых подходов и методов, сравнением с теоретическими и экспериментальными данными, известными в литературе и полученными автором.

Реализация и внедрение результатов работы.

Теоретические и практические результаты работы используются в учебном процессе в МИЭМ и практике системного конструирования для производства материалов и приборов электронной техники в НПФ «Сигма ИС», г. Москва, НПФ «Солвер», г. Воронеж, ОАО Воронежский НИИ «Вега».

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Математические модели плоских и пространственных I- координатных виброзащитных устройств.

2. Метод оценки качества £ - координатного устройства.

3. Теоретические и экспериментальные исследования параметров работоспособности и математических моделей I -координатных виброзащитных устройств, базы данных и базы знаний для автоматизированной системы проектирования I -координатных виброзащитных устройств.

4. Трехуровневая система виброзащиты и технические решения £ - координатных виброзащитных устройств, обладающие патентной чистотой.

Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на научно-технических конференциях МИЭМ для молодых ученых и специалистов в 2003, 2004, 2005 г.г.; на совместных заседаниях кафедр «Математическое моделирование» и «Технологические системы электроники» МИЭМ в 2003, 2004, 2005 г.г., на международной конференции «Компьютерные технологии в технике и экономике» (Международный институт компьютерных технологий, г. Воронеж, 2007 г.), на международной конференции Воронежского института МВД России, г. Воронеж, 2007г, межвузовском семинаре кафедры телекоммуникационных систем Воронежского института МВД России.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 13 научно-технических работ, в том числе получено свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ, два патента РФ на полезную модель, опубликовано 6 статей. Работа [1] опубликована в издании, рекомендованном ВАК России. В работах, выполненных в соавторстве, автором лично выполнено;-

в работах [3, 10, 11] предложены варианты построения виброзащитных устройств, в [2] предложен алгоритм расчета собственных частот виброзащитного устройства, в [4] обоснован обобщенный критерий качества, в [1, 6, 12, 13] сформулированы основные свойства математических моделей виброзащитных устройств и выполнен анализ их особенностей, в [7-9] рассмотрены особенности проектирования виброзащитных устройств с позиций системного подхода.

Объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, изложенных на 170 страницах машинописного текста, 93 рисунков, 6 таблиц, списка литератур ры из 89 наименований, Приложений с результатами расчетов и экспериментальными данными, актами внедрения.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность выбранной темы диссертационной

работы, определены цели и задачи работы, сформулированы научная новизна, практическая значимость и основные положения, выносимые на защиту.

В первой главе диссертации проведены обзорно-аналитические исследования виброзащитных устройств оборудования электронной техники. Выполнен анализ технологического и исследовательского оборудования с устройствами виброзащиты и систем их автоматизации проектирования.

Системный анализ £ -координатных виброзащитных устройств (ВУ), предполагает решение ряда задач, связанных с декомпозицией ВУ на функциональные типовые элементы и модули, выявлением свойств выделенных элементов, а также характеризующих их параметров и признаков, построением на основе найденных зависимостей математических моделей функционирования ВУ в целом и их функциональных модулей в частности, существенных целей и критериев, выявлением существенных для процесса извлечения знаний признаков и свойств описания объектов.

Системная модель описания ВУ как объекта проектирования совмещает структурно-параметрическое (статическое-Б) и функциональное (динамическое-?) описания. Связь этих описаний представляет собой однозначное соответствие £ £ -> Ф .

Формально двухуровневую системную модель для описания ВУ можно представить в виде следующих соотношений:

ВУ0=

{ к£' = < к1, ¥, кв, кП, % кС >' , к=0, 1; ¡=1, пк} { кФ' = < к\Ум, к\У,ых, кгф, "Ъ, кН, Т >', к=0,1; 1= 1, пк } 1 >

гДе индексы к = 0, 1 - соответственно нулевой или первый уровни членения, представляющие ВУ как целое или на уровне ее функциональных модулей (ФМ); 1-1-й ФМ, входящий в состав ВУ на первом уровне членения; пк - число ФМ на данном уровне членения (при к=0 - Пк=1); 1 -множество имен ФМ; Р -множество функций ФМ; Б - множество структур; П - множество признаков, описывающих компоненты системной модели на качественном уровне; Ъ -множество свойств; С - множество отношений связи ВУ (ФМ) с окружением;

- входные действия окружения на ВУ (ФМ); \\'вых - выходные действия системы (ФМ) на окружение; -состояние ВУ (ФМ), описывающее значения свойств объекта в данный момент времени; в - оператор выходов; Н - оператор перехода; Т - время.

Для выбора наилучшей структуры из множества синтезированных или прототипа ВУ необходимо введение в модель критериев, позволяющих оценить эффективность принимаемых проектных решений.

На основе вышесказанного системная модель ВУ как необходимая информация для процессов проектирования и конструирования ВУ, должна иметь следующий вид

{ кГ = < kI, kF, kS, "ТО, kA, kG, kU, kn, kZ, kC, kW, kQ >l, By= k=0,1; i=l,nk} (2)

{кф'=< kwBX, kwBbIX ,■■{ к+,ф'}, ^ф, kz* {к+1гф, }кгф,

kZo, kR, Т >', k=0,1; i=l, nk}

где L - множество целей проектирования ВУ (ФМ) на k-ом иерархическом уровне; ТО - множество известных ТО на k-ом уровне членения ВУ; А - множество абстрактных функциональных элементов; G - множество геометрических элементов, однозначно соответствующих абстрактным; U - множество отношений между элементами (следования, вместимости, включения и т.д.); W - множество соответствий, определяющих уравнения проектирования, конструирования и функционирования; Q - множество соответствий, оценивающих эффективность проектируемого ВУ; {k+1F'} - множество системных моделей функционирования на следующем (к+1 - ом) уровне членения ВУ (ФМ); - структура процесса функционирования объекта; {к+1гф} - множество состояний технических подсистем; - множество свойств, характерных для процессов функционирования; Z0 - множество свойств окружающей среды эксплуатации; R - множество условий существования и прекращения процесса.

Обзорно-аналитические исследования, выполненные по работам Армейского Е.В., Черноруцкого И.Т., Понтрягина JI.C., Василенко Н.В., Антамошки-на А.Н., Глазунова В.А., Крайнева А.Ф., Колискора А.Ш., Ивашова E.H., Реву-нова Г.И., Самохвалова Э.Н., Чистова В.В., Алиева Т.А., Зажигаева Л.С., Кишь-яна A.A., Романова Ю.И., Георгиева В.О., Чернова Л.Б., Михайлова В.П., Ани-симова В.В., Виноградова М.И., Докукина В.Г., Валиева К.А., Ракова A.B., Де-улина Е.А., Панфилова Ю.В., Панкратова И.В., Сатарова Г.Х., Лускиновича П.Н., Ананяна М.А., Быкова В.П., Норенкова И.П., Маничева В.Б., Корячко В.П., Курейчика В.М., Фролова К.В., Коловского М.З., Елисеева C.B., Брюэра Д.Р., Гринича Д.С., Херриота Д.Р., Оптнера С.П., Уолта А., Шенка X., Зайделя А.Н., Хокса Б., Вирта Н., Лорьера Ж.-Л. определили задачи дальнейших исследований и наметили пути решения поставленных задач.

Вторая глава посвящена созданию базы знаний для разработки и автоматизированного проектирования I -координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники.

Рассмотрены модели формирования упругих колебаний в единичном t-координатном исполнительном модуле и его виброизоляция. Описана установка и результаты экспериментальных исследований упругих колебаний модуля, выполненного в виде пневмоцилиндра с поршневой герметизацией и I-координатного модуля на сильфонах.

Проведенные исследования позволили определить коэффициенты жесткости К и коэффициенты сопротивления каждого единичного I -координатного модуля, которые определялись на базе логарифмических декрементов колебаний. Полученные знания в последствии использованы для разработки математических моделей плоских и пространственных £-координатных виброзащит-

ных устройств. .

Третья глава посвящена обоснованию критериев качества I -координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники и теоретическому подходу к решению задачи_создания автоматизированной системы проектирования таких устройств

Показана общая схема многокритериального выбора. Рассмотрены формы обобщенного критерия оценки качества виброзащитного устройства: аддитивная, мультипликативная и метрическая.

Предложенная форма обобщенного критерия К включает в себя функциональные, экологические и экономические локальные критерии. Каждый из перечисленных локальных критериев определяется следующими параметрами: функциональный - частотой колебаний, амплитудой, коэффициентом демпфирования; экологический - уровнем привносимой дефектности и газовым потоком; экономический - стоимостью и окупаемостью.

Представим процесс потери качества виброзащитного устройства (ВУ) как некоторую абстрагированную математическую модель. Пусть Хь Х2,...,ХК параметры ВУ, определяющие состояние, которые являются функциями времени I. Принадлежность состояния X множеству состояний (ХеОх) свидетельствует о том, что ВУ работоспособно. Если значения параметров Х1, Х2,...,Хк больше допустимых Х^, Х2р,...,Хр, т.е. Х^Х^, Х2>Х2р,...,Хк>Хкр, то ВУ не работоспособно. Если некоторые из значений параметров X будут больше допустимых, а другие меньше допустимых, то ВУ является частично работоспособным. Для условия полного удовлетворения параметрам качества ВУ Х1<Х1р, Х2<Х2р,...,Хк<Хкр, что соответствует тому, что множество 6хсОхр. При этом запас по качеству будет определяться к, =—, тогда качество по частоте колебала

О}11 А

ний - Качество по амплитуде колебаний - кА=-?-, качество по демпфи-

о) А

рованию качество по привносимой дефектности к,, качество по

со N

газовому потоку к, =—, качество по стоимости кс качество по окупаемости^ = ^. Здесь бй*, Ар, (о!р, Ыр, qp, Ср, Ор - допустимые значения частоты колебаний, амплитуды колебаний, демпфирования, привносимой дефектности, газового потока, стоимости и срока окупаемости для ВУ; сок, А, со1, N. я, С, О -фактическое значение указанных выше величин. Обобщенный критерий оценки

качества принят в виде

К Кя Ка К/ А'у К9 Кс К0 где ая, ад, аг, ам, а,,, ас, ао - весовые коэффициенты (для определения этих коэффициентов используется метод экспертных оценок или метод Саати)^д, =1, а в

общем случае .

п ,„1 к!

Приведен алгоритм выбора лучшего варианта ВУ с помощью обобщенного критерия оценки качества. На первом этапе осуществляется выбор допустимых ВУ, удовлетворяющих техническому заданию (ТЗ).

При этом возможны три ситуации: ТЗ соответствуют несколько ВУ, ТЗ соответствует одно ВУ, ТЗ не удовлетворяет ни одно ВУ.

В первой ситуации переходим ко второй стадии выбора, во второй - задачу считаем решенной, в третьей ситуации либо пересматриваем ТЗ, либо выбираем ближайший прототип и модернизируем его (с помощью морфологической таблицы), после чего добавляем обновленное ВУ в морфологическую таблицу, либо разрабатываем новую конструкцию, после чего добавляем новое ВУ в морфологическую таблицу.

Во второй стадии осуществляем выбор оптимальных ВУ (принадлежащих множеству Парето).

В третьей стадии выбирается лучшее ВУ с помощью обобщенного критерия оценки качества.

Желательно иметь некоторую добавочную информацию о критериях, что позволило бы выделить ту или иную часть множества Парето или даже найти некоторую единственную точку этого множества. Первое, в чём нуждается проектировщик, это в возможно большем количестве информации о критериальном множестве. Для получения такой информации проведены теоретические и экспериментальные исследования.

Задача критериальной оптимизации виброзащитных устройств может быть также решена последовательной максимизацией критериев в сужающихся подмножествах AicGxp допустимого множества.

При рассмотрении особенностей вакуумного технологического процесса в производстве изделий электронной техники показано, что существует множество различных факторов, воздействующих на технологический процесс, в том числе и механических. Предложена схема проведения математического моделирования виброзащитного устройства.

В четвертой главе обоснованы и экспериментально подтверждены математические модели £-координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники.

При рассмотрении плоских колебаний ВУ массы т введены две системы координат: О ¿¡Т] неподв ижная и подвижная хО, у.

В окрестности заданного положения ВУ линейные параметры е, = А1м1- =л2л/2; = /1|М2. полностью определяют положение твердого тела. Ки К2, Къ Ь\, Ъ2, Ь}. - соответствующие коэффициенты жесткости и коэффициенты сопротивления.

Выражения для сил, действующих на точки ВУ:

ч 2

Уравнения движения центра масс т системы и уравнения моментов относительно точки 0] имеют вид:

С, '3

¡■\ /•; /•",

с, «2 г3 ,

с, с2

гз

Если - начальные координаты центра тяжести, соответствующие

положению равновесия, то:

г1 = — » г2 = ~ <5 0 » 23 =По~1о > г4~1?0~г7(>'

-5 =<Р-<РИ, ''г6=ф-фи

Рис. 1. Плоская -координатная Рис. 2. Связь между ^ -координатами и система координатами

Будем полагать, что движение ВУ происходит в окрестности положения равновесия, т.е. величины г, (/ = 1,...,6) малы. Линеаризуем уравнения, т.е. разложим правые части уравнений в ряды Тейлора по степеням 2-, (/ = 1.....6) в окрестности положения равновесия и отбросим члены, начиная со второго порядка малости. Получим систему дифференциальных уравнений возмущенного движения вида: лг + ог+вг + ь^о ,где ?=(/, ,г3 ;А - матрица масс и моментов инерции, собственные значения которой следует определить; Б - матрица диссипации; В - матрица жесткости; Е - матрица возмущающих сил и моментов, которые определены.

Исследованы собственные частоты колебаний консервативной системы. В этом случае последнее уравнение примет вид л£+вг = о , решение которого ищется в виде: г =е""где - собственная частота колебаний, - собственная форма колебаний. Некоторые из полученных результатов представлены на рис 3-г5.

Для определения собственных частот колебаний и коэффициентов демпфирования неконсервативной системы рассматривается система дифференциальных уравнений лг + ог+вг= о ,

В этом случае IV =н>д + /и>/ - где и>к -действительная часть и> - называется собственной частотой колебаний, а VV/ - мнимая часть и» -коэффициентом демпфирования (затухания).

Уравнения движения центра масс ВУ и динамические уравнения объединены и записаны с соответствующими преобразованиями в систему дифференциальных уравнений 12 порядка, которая описывает колебательное движение исполнительного устройства. Положение устойчивого равновесия принято за начало отсчета обобщенных координат и за нулевой уровень потенциальной энергии. Отклонение системы от положения равновесия при таком выборе начала отсчета будет определяться значениями обобщенных координат г/ = 1,...,6

со

А

Й

О

Рис. 3. Консервативная задача. Рис.4 Зависимость собственных

Зависимость собственных частот от жесткости Къ

частот от жесткости Кг

здесь 4о'По'Со ' координаты центра масс исполнительного устройства в положении устойчивого равновесия;

<р0,у/О,0О - углы Эйлера в начальный момент времени.

С0„

ч

Х1

V 5 ■ '

а>т

2 4 о в а &4

15 20 а ю

5

'О

•

У

/ Г

/

/

£ 4 6 8 а 6,

Рис. 5. Неконсервативная задача. Зависимость собственных частот м>ц и коэффициентов демпфирования и>, от коэффициента сопротивления Ъ\.

После линеаризации системы дифференциальных уравнений 12 порядка получаем систему дифференциальных уравнений вида: А2.+02 + В2 + Е = 0 у ГДР Z = (z^,zlУzг,z^,z5,z^f.

Для определения собственных частот колебаний консервативной системы положено Ь,-1 = 1...6. Система приобретает вид +В2 = о . Решение ищется в виде .

Для определения собственных частот колебаний и коэффициентов при рассмотрении пространственного колебания ВУ массы т введены две системы координат: неподвижная система подвижная система координат О1 ху:

(рис. 6). В окрестности заданного положения ВУ = 0М];£2 =0М2;^з = А1М2;£4 = А2М2,£5 = А2М3;£6 =А2М1. линейные параметры полностью определяют его положение.

К], ..., Кб, Ь\, ..., Ь6. - соответствующие коэффициенты жесткости и коэффициенты сопротивления.

Выражения для сил, действующих на точки ВУ в неподвижной системе координат имеют вид:

Уравнения движения центра масс ВУ имеют вид:

Здесь 4 ,г/0, Со - координаты центра масс;

- начальные координаты соответствующих точек ВУ; , г],, с, - текущие координаты. Динамические уравнения Эйлера имеют вид:

¿и

л

<#.„ г Л I

=Му , + кх1.у - *>у1.х = Л/г .

где и'хм'уМ', - главные моменты внешних сил относительно осей координат О,*, 0,>>, О [Г.; = ния.

Полученные сведения о частотах собственных колебаний позволяют избежать опасных разностных колебаний в системе и обосновать пределы применимости той или иной конструкции гасителя колебаний и оценить целесообразность его использования в плоских и пространственных I -координатных системах.

С помощью специально разработанной экспериментальной установки подтверждены основные параметры предложенных математических моделей и приведены экспериментальные результаты и их анализ.

В пятой главе рассмотрен морфологический анализ-синтез автоматизированного поиска рациональных технических решений виброзащитных устройств оборудования электронной техники.

Морфологический анализ включает операции, выполняемые алгоритмически. Сущность его состоит в расчленении общей функции проектируемого виброзащитного устройства на частные и в отыскании возможных способов их выполнения.

л Ч =1К; * = 1 = 1,л; 1 = 1,1

При этом I ,,1 '

хк е X е и,

где хк - элемент множества технических решений; Х- полное множество технических решений; и, j - средство ] выполнения функции /; и, - множество средств выполнения функции /.

Основным принципом проектирования процедура поиска технических решений определена как установление бинарных отношений между множествами признаков и технических решений, причем возможные варианты составляют подмножество

хо =((*)" р\(а.п)^ <рл(р,х)еу/лреГ0лаеА„] У

С использованием разработанной автоматизированной системы проектирования предложены технические решения единичных I -координатных виброзащитных модулей и технические решения I -координатных виброзащитных устройств на шесть степеней свободы, которые защищены патентами Российской Федерации.

Предложена трехуровневая виброзащита на основе I -координат приме-

нительно к оборудованию электронной техники. Первый уровень предусматривает виброзащиту аналитических и технологических установок. Источниками вибрации здесь является обслуживающий персонал, вакуумные механические насосы, вентиляционные системы. Второй уровень обеспечивает виброзащиту исполнительной системы аналитико-технологического оборудования от электромеханических и пневмомеханических приводов. Третий уровень обеспечивает виброзащиту объектодержателей, подложкодержателей от механических возмущений, вызванных неточностью изготовления механических и электромеханических передач.

В заключении изложены основные результаты работы ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ПО РАБОТЕ

1. Показана целесообразность и необходимость применения £ - координатных виброзащитных устройств для широкой гаммы оборудования: микронной и субмикронной литографии, рентгенолитографии, электронно-лучевой литографии, зондового контроля, молекулярно-лучевой эпитаксии, оже-спектрального послойного анализа, сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопии, а также оборудования для выполнения нанотехнологи-ческих операций.

2. Необходимость применения ( -координатных виброзащитных устройств (ВУ) требует создания четко структурированного его описания в виде системной модели, всесторонне вскрывающей все необходимые для проектирования данные: модели, описывающие ВУ как объект проектирования и модели как источник необходимой информации для самого процесса проектирования. Разработанные базы данных необходимы для создания базы знаний с последующим их использованием в системе автоматизации проектирования £ -координатных виброзащитных устройств.

3. Созданная база знаний для разработки автоматизированной системы проектирования £ - координатных виброзащитных устройств обеспечивает постоянное наполнение и корректировку базы исходных данных с целью их уточнения и применения в разработанных математических моделях, таких как показатели жесткости и сопротивления единичного I - координатного модуля. Разработанные базы данных необходимы для создания базы знаний с последующим их использованием в системе автоматизации проектирования £-координатных виброзащитных устройств.

4. Предложена методика оценки качества £ - координатного виброзащитного устройства, учитывающая функциональные - частоту колебаний, амплитуду и коэффициент демпфирования, экологические - привносимую дефектность и газовый поток, экономические - стоимость и окупаемость, локальные критерии качества. Все локальные критерии входят в обобщенный критерий качества с учетом их весовых коэффициентов.

5. Разработанные математические модели плоских и пространственных £ - координатных виброзащитных устройств позволяют получать необходимую информацию о проектируемом устройстве, в первую очередь о собст-

венных частотах колебаний и коэффициентах демпфирования, что позволяет, в теоретическом плане, решить задачу виброустойчивости оборудования электронной техники с учетом упругих и диссипативных свойств системы.

6. На базе проведенных теоретических, экспериментальных и патентно-лицензионных исследований предложен морфологический подход при подготовке базы данных рациональных технических решений t - координатных виброзащитных устройств. Разработанная морфологическая таблица виброзащитных устройств обеспечивает эвристический подход к их автоматизированному проектированию.

7. На основе предложенных математических моделей и алгоритмов проблемно-ориентированных прикладных программ может быть разработана автоматизированная система проектирования I -координатных виброзащитных устройств применительно к оборудованию электронной техники, позволяющая сократить время проектирования таких устройств, выбирать наилучшие варианты среди спроектированных, рассчитывать параметры качества при заданных исходных данных с учетом не только функциональных, но и экологических и экономических параметров.

8. Предложены технические решения I - координатных виброзащитных устройств для вакуумных и атмосферных условий эксплуатации. Предложенные технические решения защищены патентами Российской Федерации и отвечают требуемым параметрам виброустойчивости оборудования электронной техники.

9. Разработана трехуровневая система виброзащиты на основе I-координат применительно к оборудованию электронной техники. , имеющая существенное практическое значение. Трехуровневая система виброзащиты предусматривает виброзащиту аналитических и технологических установок (первый уровень), виброзащиту исполнительной системы аналитико-технологического оборудования (второй уровень) и виброзащигу отдельных устройств и узлов исполнительной системы (третий уровень).

ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ Статья, опубликованная в издании, рекомендованном ВАК России по научной специальности диссертационной работы

1. Ващенко, П.А. Моделирование плоских t - координатных виброзащитных устройств изделий электронной техники [Текст] /П.А. Ващенко, Н.С. Хохлов // Воронеж, Вестник Воронежского государственного технического университета, Том 5, №5,2009. - С. 164-168.

Другие издания

2. Расчет собственных частот и коэффициентов демпфирования I - координатных виброзащитных устройств [Текст] /П.А. Ващенко, E.H. Ивашов, М.В Курчатова. // Свидетельство о Государственной регистрации программы для ЭВМ № 2004610345. Зарегистрировано в Реестре программ для ЭВМ 04.02.2004 г.

3. Ващенко, П.А. Система виброзащиты нанотехнологического оборудования/ П.А. Ващенко [Текст] // Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов /МГИЭМ. - М., 2004 г. - С. 214 - 216.

4. Ващенко, П.А. Обобщенный критерий оценки качества виброзащитного устройства. [Текст] / П.А. Ващенко// Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов /МГИЭМ. - М., 2005 г. - С. 34-35.

5. Морфологический анализ синтез в организации автоматизированного поиска рациональных технических решений устройств оборудования электронной техники [Текст] / П.А. Ващенко, E.H. Ивашов, М-во образования Росс. Федерации, МГИЭМ. - 2004,16 с. Деп. в ВИНИТИ 08.12.04 №1954-В2004

6. Математические модели для построения автоматизированной системы проектирования ¿-координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники [Текст] / П.А. Ващенко, ЕН. Ивашов, М-во образования Росс. Федерации, МГИЭМ. - 2004,12 с.. Деп. в ВИНИТИ 08.12.04 №1953-В2004

7. Создание базы знаний для разработки автоматизированной системы проектирования i -координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники [Текст] / П.А. Ващенко, E.H. Ивашов, М-во образования Росс. Федерации, МГИЭМ. - 2004,21 с. Деп. в ВИНИТИ 08.12.04 №1952-В2004

8. Системная модель описания виброзащитного устройства как объекта проектирования. [Текст] / П.А. Ващенко, E.H. Ивашов, М-во образования Росс. Федерации, МГИЭМ. - 2004,21 с. Деп. в ВИНИТИ 08.12.04 №1951-В2004

9. Теоретический подход к решению задачи создания автоматизированной системы проектирования I - координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники. [Текст] / П.А. Ващенко, E.H. Ивашов, М-во образования Росс. Федерации, МГИЭМ. - 2004, 14 с. Деп. в ВИНИТИ 08.12.04 №1955-В2004

10. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Система гашения колебаний для нанотех-нологии. [Текст] Пат РФ на ПМ №40419. Опубл. 10.09.04. Б.И. №25.

11. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Степанчиков C.B. Система виброзащиты. [Текст] Пат РФ на ПМ №43047. Опубл. 27.12.04. Б.И. №36.

12. Ващенко, П.А. Системные модели для моделирования виброзащитных устройств элементов систем связи [Текст] /П.А. Ващенко, О.И. Бокова //Международная конференция «Компьютерные технологии в технике и экономике. /Воронеж: МИКТ, 2007. - С. 153-156.

13. Ващенко. П.А., Математическое моделирование вибростенда для испытаний электронных устройств [Текст] /П.А. Ващенко, О.И. Бокова// Международная конференция Воронежского института МВД России / Воронеж, ВИ МВД России, 2007. - С. 67-69.

Подписано в печать^. 0^2009 Формат 60x90 1/16. Бумага для множительных аппаратов. Печать офсетная. Усл. печ. л.0,93. Тираж 100 экз. Заказ №

Участок оперативной полиграфии Воронежской институт МВД России 394065, г. Воронеж, пр. Патриотов, 53

ВВЕДЕНИЕ

1. ГЛАВА 1. АНАЛИЗ ВИБГОЗАЩИТНЫХ УСТРОЙСТВ

ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ.

1.1 Виброзащита оборудования электронной техники.

1.2. Особенности проектирования ¿-координатных виброзащитных устройств.

1.3. Анализ современного технологического и исследовательского оборудования с устройствами виброзащиты.

1.4. Системный анализ ¿-координатных виброзащитных устройств.

1.5. Постановка задачи исследования.

ГЛАВА 2. БАЗА ЗНАНИЙ ДЛЯ РАЗРАБОТКИ И ПРОЕКТИРОВАНИЯ ¿ -КООРДИНАТНЫХ ВИБРОЗАЩИТНЫХ УСТРОЙСТВ ОБОРУДОВАНИЯ

ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ.

2.1. Виброустойчивость технических объектов (ТО) оборудования электронной техники.

2.2. Модели формирования упругих колебаний в единичном -координатном исполнительном модуле.

2.3. Виброизоляция единичного ¿-координатного исполнительного модуля.

2.4. Установка и результаты экспериментальных исследований упругих колебаний единичного £ -координатного исполнительного ^ модуля.

2.5. Упругие колебания единичного ¿-координатного модуля на сильфонах.

2.6. Выводы.

ОБОСНОВАНИЕ КРИТЕРИЕВ КАЧЕСТВА £-КООРДИНАТНЫХ ВИБРОЗАЩИТНЫХ УСТРОЙСТВ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ И ПОДХОД К СОЗДАНИЮ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ ИХ ПРОЕКТИРОВАНИЯ.

3.1. Понятие о выборе вариантов виброзащитных устройств.

3.2. Формы обобщенного критерия оценки качества виброзащитного устройства.

3.3. Обобщенный критерий оценки качества виброзащитного устройства.

3.4. Системный подход к вопросу моделирования виброзащитных устройств.

3.5. Выводы.

ГЛАВА 4. МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ I -КООРДИНАТНЫХ ВИБРОЗАЩИТНЫХ УСТРОЙСТВ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ

ТЕХНИКИ.

4.1. Математические модели проектируемых виброзащитных устройств.

4.2. Моделирование плоских ¿-координатных виброзащитных устройств.

4.3. Моделирование пространственных ^-координатных виброзащитных устройств.

4.4. Экспериментальная проверка адекватности математических моделей.

4.5. Выводы.

ГЛАВА 5. МОРФОЛОГИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ-СИНТЕЗ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПОИСКА РАЦИОНАЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕШЕНИЙ ВИБРОЗАЩИТНЫХ УСТРОЙСТВ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ.

5.1.Морфологический подход при подготовке базы данных рациональных технических решений виброзащитных устройств.

5.2.Технические решения единичных ^-координатных виброзащитных модулей.

5.3.Разработка охраноспособных технических решений t-координатных виброзащитных устройств.

5.4.Трехуровневая система виброзащиты на основе ^-координат применительно к оборудованию электронной техники.

5.5. Выводы.

Актуальность работы.

Интенсивное развитие электронной техники, качественный скачок в изменение структуры электронных приборов - переход на создание интегральных схем с высокой и сверхвысокой плотностью размещения элементов в кристалле, развитие таких направлений функциональной электроники, как оптоэлек-троника, акустоэлектроника, магнитоэлектроника требует от разработчика надежности и стабильности параметров создаваемых электронных приборов. Качество выпускаемых изделий, надежность, работоспособность оборудования производства электронной техники во многом зависят от наличия или отсутствия вибрационных воздействий. С целью виброизоляции оборудования электронной техники его обычно устанавливают на отдельный фундамент или применяют специальные массивные виброгасящие системы стационарного типа. Однако при монтаже оборудования на межэтажных перекрытиях производственных корпусов применение массивных фундаментов недопустимо, а также недостаточно эффективно при уровне вибрации до 0,1.5 мкм.

Переход на нанотехнологии требует использования эффективных типов виброизоляционных устройств, способных гасить колебания по всем шести степеням свободы. Высокую эффективность гашения колебаний обеспечивают £ - координатные виброзащитные устройства. Однако широкое внедрение таких устройств сдерживается сложностью их проектирования, отсутствием моделей и способов оценки параметров на отдельных стадиях проектирования. Поэтому задача разработки математических моделей и определения характеристик таких виброзащитных устройств является актуальной и своевременной. Важным моментом применения £ - координатных виброзащитных устройств в оборудовании электронной техники является использование их в вакууме, что требует решения вопросов техноэкологии, связанной, в первую очередь, с вопросами образования привносимой дефектности в условиях вибрационного режима работы £ - координатного виброзащитного устройства. Однако широкое внедрение таких устройств сдерживается сложностью их проектирования, отсутствием моделей и способов оценки конструкции на отдельных стадиях проектирования. Поэтому задача разработки автоматизированных систем проектирования таких виброзащитных устройств является актуальной и своевременной.

Цель работы. Целью работы является разработка и экспериментальное обоснование математических моделей £ - координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники для определения основных параметров качества при заданных исходных данных с учетом вакуумных условий эксплуатации, а также разработка алгоритмов и методов анализа и синтеза для автоматизированной системы проектирования £ - координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники, позволяющей сократить время их проектирования, выбирать наилучшие варианты среди спроектированных, рассчитывать основные параметры качества при заданных исходных данных.

Задачи исследования. Для реализации поставленной цели исследований решены следующие научные задачи:

1. Разработаны математические модели £ - координатных виброзащитных устройств.

2. Экспериментально подтверждена адекватность предложенных математических моделей £ - координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники, в том числе с учетом вакуумных условий эксплуатации.

3. Выполнен морфологический анализ-синтез для организации автоматизированного поиска рациональных технических решений виброзащитных устройств, реализуемых в оборудовании электронной техники, и предложены технические решения, защищенные патентами на полезную модель.

4. Создана база данных и база знаний для реализации автоматизированного проектирования е. - координатных виброзащитных устройств, для чего выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований элементной базы виброзащитных устройств.

Методы исследования.

В работе используются положения теории систем, теории множеств, теории принятия решений и искусственного интеллекта, динамики твердого тела с одной, тремя и шестью степенями свободы с использованием аналитических и численных методов решения.

Экспериментальная проверка полученных теоретических результатов выполнена на специально созданных установках и стендах.

При проведении экспериментальных исследований применялись методики прямых и косвенных измерений методом тензометрии, с последующей обработкой результатов методами теории вероятности и математической статистики.

Научная новизна.

1. Разработаны математические модели плоских (на три степени подвижности) и пространственных (на шесть степеней подвижности) I - координатных виброзащитных устройств.

2. Предложен обобщенный критерий оценки качества I - координатного виброзащитного устройства, включающий функциональные (частоту колебаний, амплитуду и коэффициент демпфирования), экологические (привносимую дефектность и газовый поток), экономические (стоимость и окупаемость) локальные критерии.

3. Разработана база знаний, необходимая для управления информационными процессами и реализации процедурной части системы автоматизированного проектирования I - координатных виброзащитных устройств.

4. Выполнен морфологический анализ-синтез для рациональных технических решений £ - координатных виброзащитных устройств и предложены технические решения £- координатных виброзащитных устройств, защищенные патентами на полезную модель.

Практическая значимость.

1. Создана база опытных данных, необходимых для реализации практических расчетов и принятия решений при автоматизированной разработке £ -координатных виброзащитных устройств.

2. Создан проблемно-ориентированный программный продукт «Расчет собственных частот и коэффициентов демпфирования £ - координатных виброзащитных устройств» (Свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ № 2004610345 от 04.02.04).

3. Разработаны технические решения £- координатных виброзащитных устройств, отвечающие критериям качества по функциональным, экологическим и экономическим локальным критериям.

4. С использованием разработанной автоматизированной системы проектирования предложена трехуровневая система виброзащиты на основе £ -координат применительно к оборудованию электронной техники.

Достоверность результатов.

Достоверность проведенных теоретических исследований обеспечивается строгим математическим обоснованием предлагаемых подходов и методов, сравнением с теоретическими и экспериментальными данными, известными в литературе и полученными автором.

Реализация и внедрение результатов работы.

Теоретические и практические результаты работы используются в учебном процессе в МИЭМ и практике системного конструирования для производства материалов и приборов электронной техники в НПФ «Сигма ИС», г. Москва, НПФ «Солвер», г. Воронеж, ОАО Воронежский НИИ «Вега».

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Математические модели плоских и пространственных £- координатных виброзащитных устройств.

2. Метод оценки качества £ - координатного устройства.

3. Теоретические и экспериментальные исследования параметров работоспособности и математических моделей /-координатных виброзащитных устройств, базы данных и базы знаний для автоматизированной системы проектирования I -координатных виброзащитных устройств.

4. Трехуровневая система виброзащиты и технические решения £ - координатных виброзащитных устройств, обладающие патентной чистотой.

Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на научно-технических конференциях МИЭМ для молодых ученых и специалистов в 2003, 2004, 2005 г.г.; на совместных заседаниях кафедр «Математическое моделирование» и «Технологические системы электроники» МИЭМ в 2003, 2004, 2005 г.г., на международной конференции «Компьютерные технологии в технике и экономике» (Международный институт компьютерных технологий, г. Воронеж, 2007 г.), на международной конференции Воронежского института МВД России, г. Воронеж, 2007г, межвузовском семинаре кафедры телекоммуникационных систем Воронежского института МВД России.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 13 научно-технических работ, в том числе получено свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ, два патента РФ на полезную модель, опубликовано 6 статей. Работа [1] опубликована в издании, рекомендованном ВАК России. В работах, выполненных в соавторстве, автором лично выполнено: в работах [3, 10, 11] предложены варианты построения виброзащитных устройств, в [2] предложен алгоритм расчета собственных частот виброзащитного устройства, в [4] обоснован обобщенный критерий качества, в [1, 6, 12, 13] сформулированы основные свойства математических моделей виброзащитных устройств и выполнен анализ их особенностей, в [7-9] рассмотрены особенности проектирования виброзащитных устройств с позиций системного подхода.

Объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, 93 рисунков, 6 таблиц, списка литературы из 89 наименований, изложенных на 170 страницах машинописного текста, 4 Приложений с расчетными и экспериментальными результатами, актами внедрения.

5.5. Выводы

1. Выполнен морфологический анализ-синтез для автоматизированного поиска рациональных технических решений виброзащитных устройств, реализуемых в оборудовании электронной техники, и предложены технические решения, защищенные патентами на полезную модель.

2. Разработаны технические решения I- координатных виброзащитных устройств, отвечающие критериям качества по функциональным, экологическим и экономическим локальным критериям.

3. Предложена трехуровневая система виброзащиты на основе £ - координат применительно к оборудованию электронной техники.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Показана целесообразность и необходимость применения £ - координатных виброзащитных устройств для широкой гаммы оборудования: микронной и субмикронной литографии, рентгенолитографии, электроннолучевой литографии, зондового контроля, молекулярно-лучевой эпитаксии, оже-спектрального послойного анализа, сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопии, а также оборудования для выполнения нанотехноло-гических операций.

2. Необходимость применения I -координатных виброзащитных устройств (ВУ) требует создания четко структурированного его описания в виде системной модели, всесторонне вскрывающей все необходимые для проектирования данные: модели, описывающие ВУ как объект проектирования и модели как источник необходимой информации для самого процесса проектирования. Разработанные базы данных необходимы для создания базы знаний с последующим их использованием в системе автоматизации проектирования £ -координатных виброзащитных устройств.

3. Созданная база знаний для разработки автоматизированной системы проектирования £ - координатных виброзащитных устройств обеспечивает постоянное наполнение и корректировку базы исходных данных с целью их уточнения и применения в разработанных математических моделях, таких как показатели жесткости и сопротивления единичного £ - координатного модуля.

4. Предложена методика оценки качества £ - координатного виброзащитного устройства, учитывающая функциональные - частоту колебаний, амплитуду и коэффициент демпфирования, экологические - привносимую дефектность и газовый поток, экономические - стоимость и окупаемость, локальные критерии качества. Все локальные критерии входят в обобщенный критерий качества с учетом их весовых коэффициентов.

5. Разработанные математические модели плоских и пространственных £ - координатных виброзащитных устройств позволяют получать необходимую информацию о проектируемом устройстве, в первую очередь о собственных частотах колебаний и коэффициентах демпфирования, что позволяет, в теоретическом плане, решить задачу виброустойчивости оборудования электронной техники с учетом упругих и диссипативных свойств системы.

6. На базе проведенных теоретических, экспериментальных и патентно-лицензионных исследований предложен морфологический подход при подготовке базы данных рациональных технических решений £ - координатных виброзащитных устройств. Разработанная морфологическая таблица виброзащитных устройств обеспечивает эвристический подход к их автоматизированному проектированию.

7. На основе предложенных математических моделей и алгоритмов проблемно-ориентированных прикладных программ может быть разработана

170 автоматизированная система проектирования ^-координатных виброзащитных устройств применительно к оборудованию электронной техники, позволяющая сократить время проектирования таких устройств, выбирать наилучшие варианты среди спроектированных, рассчитывать параметры качества при заданных исходных данных с учетом не только функциональных, но и экологических и экономических параметров.

8. Предложены технические решения I - координатных виброзащитных устройств для вакуумных и атмосферных условий эксплуатации. Предложенные технические решения защищены патентами Российской Федерации и отвечают требуемым параметрам виброустойчивости оборудования электронной техники.

9. Разработана трехуровневая система виброзащиты на основе координат применительно к оборудованию электронной техники. , имеющая существенное практическое значение. Трехуровневая система виброзащиты предусматривает виброзащиту аналитических и технологических установок (первый уровень), виброзащиту исполнительной системы аналитико-технологического оборудования (второй уровень) и виброзащиту отдельных устройств и узлов исполнительной системы (третий уровень).

1. Вибрации в технике: Справочник в 6-ти томах./ Ред. совет: В.Н. Челомей (пред.). - М.: Машиностроение. 1981. - т.6 Защита от вибраций и ударов/ Под ред. К.В. Фролова, 1981. - 456 с. ил.

2. Работнов Ю.Н. Теория ползучести. Механика в СССР за 50 лет. -М.: Наука, 1972, т. 3, с. 119-154.

3. Колтунов М.А. Ползучесть и релаксация. М.: Высшая школа, 1976.- 277 е., ил.

4. Виброзащита радиоэлектронной аппаратуры полимерными компаундами. /Ю.В. Зеленев, A.A. Кирилин, Э.В. Слободник, E.H. Талицкий./ Под .ред. Ю.В.Зеленева. М.: Радио и связь, 1984. - 120 е., ил.

5. Ржаницын А.Р. Некоторые вопросы механики систем, деформирующихся во времени. М.: Физматгиз, 1949. - 673 е., ил.

6. Коловский М.З. Автоматическое управление виброзащитными системами. М.: Наука, 1976. - 320 е., ил.

7. Елисеев C.B. Структурная теория виброзащитных систем. -Новосибирск.: Наука, Сиб. отд-е, 1978. 222 е., ил.

8. Кузнецов Н.К. О демпфировании упругих колебаний манипуляторов.- В кн.: Управляемые механические системы. Иркутск, 1978, с. 89-101.

9. Кузнецов Н.К. К построению систем виброзащиты упругих колебаний манипуляторов. В кн.: Управляемые механические системы. Иркутск, 1979, с. 117-126.

10. Короткое В.П., Тайц Б.А. Основы метрологии и теории точности измерительных устройств. М.: Изд-во стандартов, 1978. -352 е., ил.

11. Бусленко Н.П. Моделирование сложных систем. М.: Наука, 1978.-399 с.

12. Оптнер С.П. Системный анализ для решения деловых и промышленных проблем. М.: Советское радио, 1968. - 263 е., ил.

13. Черняк Ю.И. Системный анализ в управлении экономикой. М.:

14. Экономика, 1975; 374 ч., ил.

15. Павленко А.И. Системный анализ в задачах проектирования АСУ: Учебное пособие. М.: МАИ, 1982.

16. Уолт А. Опыт методологии для системотехники. М.: Советское радио, 1975, — 254 е., ил.

17. Розанов Ю.А. Случайные процессы. М.: Наука, 1979, -184 е., ил.

18. Брагинский А.И., Зеленев Ю.В. Установка для определения динамических характеристик полимеров методом вынужденных резонансных колебаний. Высокомолекулярные соединения - 1975, т. XVHA, №1, с. 198-199.

19. Корячко В.П. и др. Теоретические основы САПР: Учебник для вузов/ В.П. Корячко, В.М. Курейчик, И.П. Норенков М.: Энергоатомиздат, 1987-400 е., ил.

20. Норенков И.П., Маничев В.Б. Основы теории и проектирования САПР: Учебник для вузов М.: Высшая школа, 1990 - 335 е., ил.

21. Быков В.П. Методическое обеспечение САПР в машиностроении -JI.: Машиностроение. Ленинградское отд., 1989-255 е., ил.

22. Половинкин А.И. Основы инженерного творчества: Учеб. пособие для студентов втузов М.: Машиностроение, 1988 - 368 е., ил.

23. Тимошенко С.П. Сопротивление материалов. Ч. 2: Теория и задачи. М-Л.: Государственное технико-теоретическое изд-во, 1933.-340 е., ил.

24. Работнов Ю.Н. Механика деформируемого твердого тела. М.: Наука, 1979. - 744- е., ил.

25. Онегин Е.Е. Точное машиностроение для микроэлектроники. М.: Радио и связь, 1986. - 22 е., ил.

26. Кузнецов H.A., Шашков А.И. Вакуумный манипулятор. Авт. свид. СССР № 823117.: Бюллетень изобретений № 15, 1981.

27. Хант К.Х. Направления исследований в кинематике и геометрии механизмов. Конструирование и технология машиностроения, 1984. № 3, с. 179-181.

28. Лускинович П.Н., Ананян М.А., Дадан Е.В. и др. Нанотехнологические процессы и установки// Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур. Труды научного семинара М.: МИФИ, 2001 - 116 е., ил.

29. Ващенко П.А. Система виброзащиты нанотехнологического оборудования // Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МГИЭМ. М.: МИЭМ, 2004 г. - С. 214 - 216.

30. Ващенко П.А. Обобщенный критерий оценки качества виброзащитного устройства. // Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МГИЭМ. М.: МИЭМ, 2005 г. - С. 3435.

31. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Морфологический анализ синтез в организации автоматизированного поиска рациональных технических решений устройств оборудования электронной техники. Печ. Деп рук ВИНИТИ №1954-В2004 08.12.04

32. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Математические модели для построения автоматизированной системы проектирования ^-координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники Печ. Деп рук ВИНИТИ №1953-В2004 08.12.04

33. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Создание базы знаний для разработки автоматизированной системы проектирования ^-координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники Печ. Деп. рук ВИНИТИ №1952-В2004 08.12.04

34. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Системная модель описания виброзащитного устройства как объекта проектирования. Печ. Деп. рук ВИНИТИ №1951-В2004 08.12.04

35. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Теоретический подход к решению задачи создания автоматизированной системы проектирования координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники. Печ. Деп. рук ВИНИТИ №1955-В2004 08.12.04

36. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Система гашения колебаний для нанотехнологии. Пат РФ на ПМ №40419. Опубл. 10.09.04. Б.И. №25.

37. Ващенко П.А., Ивашов E.H. Степанчиков C.B. Система виброзащиты. Пат РФ на ПМ №43047. Опубл. 27.12.04. Б.И. №36.

38. Ващенко П.А., Бокова О.И. Системные модели для моделирования виброзащитных устройств элементов систем связи //Международная конференция «Компьютерные технологии в технике и экономике. Воронеж:1. МИКТ, 2007.-С. 153-156.

39. Ващенко П.А., Хохлов Н.С. Моделирование плоских I -координатных виброзащитных устройств изделий электронной техники /П.А. Ващенко, Н.С. Хохлов / г. Воронеж, Вестник ВГТУ, №5, 2009. С. 36-42.

40. Ващенко П.А., Бокова О.И. Математическое моделирование вибростенда для испытаний электронных устройств // Международная конференция Воронежского института МВД России / г. Воронеж, ВИ МВД России, 2007. С. 67-69.

41. Боголюбов H.H., Митропольский Ю.А. Асимптотические методытеории нелинейных колебаний. М.: Физматгиз, 1963, 503 е., ил.

42. Моргунов Б.И., Петров Л.Ф. Динамический расчет конструкционных элементов ЭВМ. Вопросы радиоэлектроники. Серия АВТ, 1981, вып. 3-е. 82-86.

43. Вибрации в технике: Справочник в 6-ти томах /Ред. Совет: В.Н. Челомей (пред.) М.: Машиностроение, 1979, - т. 2 Колебания нелинейных механических систем/. Под ред. Блехмана И.И., 1979, -352 е., ил.

44. Вибрации в технике: Справочник в 6-ти т./Ред. совет: В.Н. Челомей (пред.) М.: Машиностроение, 1978. - т. 1 Колебания линейных систем/. Под ред. Болотина В.В., 1978. - 352 е., ил.

45. Демидович Б.П., Марок H.A. Основы вычислительной математики. М.: Наука, 1980, - 664 е., ил.

46. Демидович Б.П. Лекции по математической теории устойчивости. -М.: Наука, 1980. 472 е., ил.

47. Вентцель Е.С. Теория вероятностей. М.: Наука, 1969. - 576 е., ил.

48. Колискор А.Ш. Оперативное управление в механизмах и машинах с циклическим движением исполнительных органов. Дисс. на соискание ученой степени д.т.н. - М.: ИМАШ, 1979. - 382 е., ил.

49. Блинов К.Г., Никольская Т. Г., Мальгина В.Ф. Тенденция роботизации в микроэлектронике. В сб.: Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике. - М.: ИЭТ, 1982. - с. 24-29.

50. Бабаков И.М. Теория колебаний. М.: Наука, 1965. - 560с., ил.

51. Арамович И.Г., Левин В.И. Уравнения математической физики.

52. M.: Наука, 1964. 285 е., ил.

53. Кац A.M. Теория упругости. М.: ГИТТЛ, 1956 - 207 е., ил.

54. Многокритериальный выбор технических объектов: Метод, указ. по вып. РГР по спец. 200500.: Сост. Б.Г. Львов, А.И. Кожевников, С.П. Смоленский М., 1997, 20 с.

55. Антамошкин А.Н. и др. Системный анализ: Проектирование, оптимизация и приложения: Учебное пособие. В 2-х томах. Том 1 -Красноярск: Сибирская аэрокосмическая академия, 1996 206 е., ил.

56. Антамошкин А.Н. и др. Системный анализ: Проектирование, оптимизация и приложения: Учебное пособие. В 2-х томах. Том 2 -Красноярск: Сибирская аэрокосмическая академия, 1996 290 е., ил.

57. Ивашов E.H. Теория и проектирование £- координатных исполнительных устройств оборудования электронной техники на стадиях предварительной разработки. Дисс. на соиск. Ученой степени д.т.н. М: МИЭМ, 1993.-420 с. ил.

58. Ивашов E.H., Колискор А.Ш., Некрасов М.И., Степанчиков C.B. Система гашения колебаний. Авт. свид. СССР № 1180586. Бюллетень изобретений № 35, 1985.

59. Ивашов E.H., Григорьев И.Ю., Некрасов М.И., Степанчиков C.B. Устройство управления динамической системой. Авт. свид. № 1251026.: Бюллетень изобретений № 30, 1986.

60. Ивашов E.H., Некрасов М.И., Петров Л.Ф., Трояновский И.Е. Динамический гаситель колебаний. Авт. свид. № 1283456.: Бюллетень изобретений № 2, 1987.

61. Курманалиев Т.И., Некрасов М.И., Петров Л.Ф. ,Ивашов E.H. Виброзащита объектов НКА. В кн. Конструирование научных космических приборов. - М.: Наука, 1985. - с. 47-51, ил.

62. Ивашов E.H., Майборода В. П., Некрасов М.И., Петров Л.Ф., Трояновский И.Е. Динамический гаситель колебаний. Авт. свид. № 1298448.: Бюллетень изобретений № 11, 1987.

63. Ивашов E.H., Некрасов М.И., Петров Л.Ф., Трояновский И.Е. Динамический гаситель колебаний. Авт. свид. № 1293406.: Бюллетень изобретений № 8, 1987.

64. Ивашов E.H., Курчанова М.В. Плоские колебания исполнительных устройств промышленных роботов на ^-координатах. М.: ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 48-мш-86 Деп., 1986. - 20 е., ил.

65. Ивашов E.H., Курчанова М.В. Динамическая модель исполнительного устройства промышленного робота на £ -координатах. -М. : ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 186-мш-86 Деп. 1986 23 е., ил.

66. Ивашов E.H., Колебания пневматического модуля промышленного робота. В кн. Автоматические манипуляторы и металлообрабатывающее оборудование с программным управлением. Тула.: ТЛИ, 1986 с. 95-105.

67. Ивашов E.H. Виброустойчивость исполнительных устройств промышленных роботов в микроэлектронике. Тезисы доклада на

68. Всесоюзном научно-практическом семинаре "Гибкие автоматизированные производства, их проектирование, технология и внедрение". М.: ЦНИИТЭИ приборостроения, 1986. - 0,9 с.

69. Ивашов E.H. Взаимодействие исполнительного устройства промышленного робота со средой, как система автоматического регулирования. В кн. Электронное машиностроение, робототехника, технология ЭВП. М.: МИЭМ, 1986. - с. 73-75., ил.

70. Ивашов E.H., Курчанова М.В. Численное исследование динамики исполнительных устройств промышленных роботов в плоских £ -координатах. М: ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 473 мш-86. Деп. 1986. - 13 е., ил.

71. Ивашов E.H., Курчанова М.В. Численное исследование динамики исполнительных устройств промышленных роботов в пространственных £-координатах. М.: ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 472 мш-86.

72. Ивашов E.H. Собственные изгибные колебания пневмоцилиндра промышленного робота, смоделированного в виде цилиндрической оболочки и стержня. В кн. Автоматизированные станочные системы и роботизация производства. Тула.: ТПИ, 1987 - с. 125-135, ил.

73. Ивашов E.H. Геометрические зависимости в роботах на £-координатах. В кн. Безлюдные роторные и гибкие технологии. Тула.: ТПИ,1987. с. 7-10, ил.

74. Ивашов E.H., Курчанова М.В. Необходимые и достаточные условия существования ^-координат. М.: ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 425/19 мш,1988. 7 е., ил.

75. Ивашов E.H., Майборода В.П., Некрасов М.И., Петров Л.Ф. Устройство передачи движения. Авт. свид. № 1315665.: Бюллетень изобретений № 21, 1987.

76. Ильюшин A.A. Механика сплошной среды.-М.: МГУ, 1978. 287 е., ил.

77. Ворович И.И., Бабешко В.А. Динамические смешанные задачи теории упругости для неклассических областей.-М.: Наука, 1979. 320 е., ил.

78. Тимошенко С.П. Колебания в инженерном деле. М.: Наука, 1967. -344 е., ил.

79. Бидерман B.J1. Теория механических колебаний. М.: Высшая школа, 1980. - 408 е., ил.

80. Фрунжиев Р.И. Проектирование оптимальных виброзащитных систем. Минск: Высшая школа, 1971. - 318 е., ил.

81. Фролов К.В., Фурман Ф.А. Прикладная теория виброзащитных систем. М.: Машиностроение, 1980. - 276 е., ил.

82. Елисеев C.B. Структурная теория виброзащитных систем. -Новосибирск.: Наука, 1978. 224 е., ил.

83. Ржаницын А.Р. Теория ползучести. М.: Госстройиздат., 1968. - 416е., ил.

84. Колискор А.Ш. Определение положения твердого тела в пространстве на основе ¿'-координат. В кн.: Внедрение прогрессивных средств и методов размерного контроля точных измерений длин и углов. Л.: ВНИИМ, 1984, с. 183-184.

85. Колискор А.Ш., Сергеев В.И. Промышленные роботы: их устройства и системы на основе, £ -координат. In: International Conference on Control problems of indastrial robots. Paper abstracts. Varna, 17-17 October 1985, ROBCON 3, 1985, p. 65-66.

86. Фролов K.B., Сергеев В.И., Колискор А.Ш. Исследование механических параметров промышленных роботов £ -координатными методами. In: Proc. of Second Yugoslav-Soviet Symposium on applied robotics, 14-15 June, Arandjelovac Yugoslavia, 1984, p. 147-151.

87. Потапов Ю. Обзор САПР печатных плат. / Ю.Потапов -http:// www.chipinfo.ru Aiteraturc/chipnews/200304/7 .html.

88. Потапов Ю. Российский рынок САПР печатных плат. / Ю. Потапов // Электронные компоненты. 2001. № 5.