автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Многоцелевой дифракционный интерферометр

ВСЕСОЮЗНЫЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ им. С. И. ВАВИЛОВА "

На правах рукописи

Подоба Владимир Иванович

МНОГОЦЕЛЕВОЙ ДИФРАКЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР

05.11. 07 - оптические и оптико-электронные

приборы

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Санкт-Петербург 1992

Работа выполнена в научно-исследовательском институте комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем Всесоюзного научного центра "ГОИ им. С. И. Вавилова".

Научный руководитель: доктор технических наук Духопел И. И.

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор Нагибина И. М.

кандидат технических наук Сокольский М.К

Ведущая организация: Производственное объединение " ЛЗОС "

(г. Лыткарино Московской обл.)

Защита состоится лл/Х&-_1992 г.

в Н час. на заседании специализированного совета Д 105.01.01 в ВНЦ, "ГОИ им. С. И. Вавилова" ( 199034, Санкт-Петербург, ВНЦ ГОИ )

С диссертацией молено ознакомиться в библиотеке института.

Автореферат разослан " 1992 г.

Ученый секретарь специализированного

совета, к. ф. -м. н. С. А. Цыпляев

Всесоюзный научный центр "ГОИ им.С. И. Вавилова", 1992

- 1 -

I

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы диссертации. В настоящее время широкое распространение при контроле качества оптических систем получили интерференционные методы, характеризующиеся сравнительно высокими точностью и производительностью, а также наглядностью контроля [12. Интерферометры используются на разных стадиях изготовления оптических деталей. Однако не существует универсальных интерферометров, позволяющих решать любые измерительные задачи в оптическом приборостроении, поскольку различным типам интерферометров присуши недостатки, ограничивающие область их применения. В связи с тем, что постоянно возрастают требования к точности создаваемых оптических систем, а, следовательно, к методам и средствам их контроля, как необходимым условиям прогресса оптического приборостроения, актуальной является задача совершенствования существующих и создания новых интерферометров.

Среди интерферометров многочисленных типов важное место занимает интерферометр с дифракционным светоделителем в виде рассеивающей пластины (РП), состоящей из большого количества рассеивающих центров (дифракционных точек). В дифракционном интерферометре с рассеивающей пластинкой (ДИРП) привлекают такие его достоинства, как простота оптической схемы, отсутствие материальной поверхности сравнения, повышенная виброустойчивость, обусловленная тем, что рабочая и опорная ветви в нем совмещены. Для ДИРП характерны равенство длин опорной и рабочей ветвей и независимость контраста интерференционных полос от коэффициента отражения контролируемой поверхности. Кроме того, РП может функционировать в широком спектральном диапазоне, что позволяет изменять в широких пределах чувствительность измерений и контролировать аберрации оптических систем на различных длинах волн излучения.

В литературе имеются сведения о принципе действия ДИРП, методах изготовления РП и использовании ДИРП при контроле качества различных оптических деталей, в частности, длиннофокусных прецизионных поверхностей. Однако анализ принципа действия ДИРП ограничивается областью поверхностей с невысокими относительными отверстиями и большими радиусами кривизны. Поэтому остается не до

- г -

конца ясным процесс формирования интерференционной картины в ДИРП, не установлены его предельные возможности. В СССР ДИРП не нашел применения из-за отсутствия технологии изготовления эффективных РП.

Между тем в последние годы появляются публикации, посвященные применению ДИРП, в том числе при создании сложных оптических телескопов с асферическими поверхностями. Предлагаются новые методики изготовления РП. Повышенный интерес к ДИРП связан также с открывающимися возможностями автоматизации измерений в нем.

Весь комплекс обстоятельств определяет актуальность работы по исследованию свойств ДИРП, разработке технологии изготовления эффективных РП и созданию автоматизированного ДИРП, который может быть широко использован в современном оптическом приборостроении.

Целью диссертационной работы явилось:

1. Обобщение сведений о ДИРП и разработка теоретических основ его функционирования, определение потенциальных возможностей ДИРП.

2. Разработка технологии изготовления эффективных высокоапер-турных РП.

3. Разработка методов улучшения качества интерферограмм в ДИРП путем устранения влияния бликов, переотраженного света и спекл-структуры.

4. Создание автоматизированного ДИРП, работающего в широком спектральном диапазоне.

5. Определение возможностей широкого использования ДИРП, в том числе при аттестации сферических поверхностей и контроле формы асферических поверхностей без специальных компенсаторов.

Научная новизна работы состоит в следующем.

1. Разработаны теоретические, основы ДИРП, которые позволяют выполнять уточненные расчеты погрешности ДИРП и контраста интерференционный полос в нем. Установлены зависимости характеристик ДИРП от параметров контролируемых систем, что позволяет оптимизировать процесс контроля.

2. Разработана технология изготовления высокоапертурных РП, сохраняющих свои свойства длительное время и позволяющих получать интерферограммы со сравнительно высоким контрастом и равномерным распределением освещенности в них.

3. Разработан и создан автоматизированный ДИРП, функционирую-

щий в широком спектральном диапазоне от 400 до 1000 нм. В созданном ДИРП образуются интерферограммы высокого качества за счет устранения влияния спекл-структуры.

4. Проанализированы возможности использования ДИРП при аттестации сферических вогнутых поверхностей и контроле формы асферических поверхностей без компенсаторов волновых фронтов.

Научная и практическая ценность работы заключается с следующем.

Построена математическая модель ДИРП, позволяющая определять возможности контроля оптических деталей и систем с различными параметрами.

Создан автоматизированный полихроматический ДИРП с высоко-апертурными светостойкими РП, который может быть использован при контроле оптических систем на различных стадиях их создания (при формообразовании поверхностей, сборке, юстировке и аттестации систем и поверхностей).

Предложены и проанализированы методики применения ДИРП при измерении аберраций объективов на различных длинах волн и при контроле формы асферических поверхностей без компенсаторов.

Апробация работы и публикации. Основные результаты диссертационной работы представлены на Всесоюзном семинаре " Методы контроля формы оптических поверхностей " (Москва, 1989), Всесоюзной конференции " Оптические зеркала из нетрадиционных материалов" (Москва, 1989), -Всесоюзном симпозиуме " Методы и применение голо-графической интерферометрии " (Куйбышев, 1990). Всесоюзной конференции " Диагностические применения лазеров " (Волгоград, 1991).

По теме диссертации опубликовано 7 работ в научных журналах и трудах конференций, поданы 3 заявки на изобретения, по которым получены положительные решения Государственной патентной экспертизы.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав и заключения, изложенных на 170 страницах, включая 45 рисунков и 7 таблиц. Список литературы содержит 100 наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ Во введении обоснована актуальность темы диссертационной ра-

Соты на основе современного состояния предмета исследования, сформулированы основные цели. Изложен круг вопросов, затронутых в работе, приведено краткое содержание каждой главы.

В первой главе приведен обзор литературных сведений по принципу действия и применению ДИРП, определены основные задачи исследований.

Принцип действия ДИРП впервые описан Дж. Бэрчем в работе [2]. Рассмотрим ДИРП на примере схемы, предложенной в работе [3] (рис.1 Основным элементом является РП, рассеивающие свойства которой обладают симметрией относительно центра О:

Б(х;у) = 5(-х;-у), ( 1 )

где Б - коэффициент пропускания РП.

РП размещается вблизи центра кривизны контролируемой поверхности. Каждый ее рассеивающий центр является независимым источником света. При рассмотрении принципа действия ДИРП удобно разделить пучки, приходящие в плоскость изображения, на четыре типа: 1х>р - свет, не рассеянный после двух прохождений через РП, -Гм - свет, рассеянный только после второго прохождения через РП, - свет, рассеянный только после первого прохождения через РП, ~ дважды рассеянный свет. На рис.1 излучение от источника 1 фокусируется микрообъективом 2 в точку Р, которая проецируется с помощью линзы 3 после отражения от светоделителя 4 и прохождения через РП 5 на контролируемую поверхность 6 в точку Н. Часть исходного пучка света после отражения от светоделителя 4 рассеивается на РП 5, освещая всю поверхность 6. Эта часть пучка отражается от поверхности 6 и проходит через РП частично без рассеяния С -пучок ). -пучок является рабочим. В нем содержится информация о дефектах контролируемой поверхности. Часть исходного пучка не рассеивается при первом прохождении через РП, отражается от поверхности 6 в точке Н и рассеивается на РП, образуя опорный пучок 1вд , состояний из большого числа сферических волн. 1др - и - пучки проходят через светоделитель 4 к линзе 7, которая формирует изображение поверхности 6 в плоскости 8. Изображение пересечено интерференционными полосами, являющимися результатом интерференции и -пучков.

Рис. 1. Схема ДИРП: 1 - источник излучения; 2 - микрообъектив; 3,7 - линзы; 4 - светоделитель; 5 - РП 6 - контролируемая поверхность; 8 - плоскость изображения

Ьв-пучок, не рассеянный при двух прохождениях части исходного излучения через РП 5, образует яркое пятно в центре интерференционной картины, а 155 - пучок образует фоновую засветку в плоскости изображения 8,уменьшая контраст интерференционных полос.

Рассмотрены различные методики изготовления РП. Проанализированы имеющиеся сведения по теории работы ДИРП. В опубликованных статьях [3,4] дана оценка погрешности ДИРП и контраста полос для случая контроля поверхностей со сравнительно небольшими относительными отверстиями ( не более 1: 4 ) и радиусами кривизны в несколько метров. Поэтому приведенные расчеты не позволяют установить предельные возможности ДИРП. Качественное описание ДИРП дано в понятиях фурье-оптики.

Приведены примеры использования ДИРП при контроле формы сферических и асферических поверхностей, качества линз и линзовых объективов. Проанализированы возможности автоматизации измерений.

Во второй главе приведен точный расчет хода лучей в ДИРП, составлена математическая модель, позволяющая определить погрешность ДИРП и контраст полос при контроле сферических поверхностей.

Рассмотрим ход произвольного луча в ДИРП. На рис. 2 показано расположение РП и контролируемой поверхности. Оптическая ось совпадает с осью 2. Точки на РП и поверхности даны в осях ( х„, у0 ) и ( х1, у,), соответственно. Луч опорного пучка из точки А на РП попадает в точку о' поверхности, отражается и проходит через точку, расположенную на РП симметрично точке А относительно центра О. Луч рабочего пучка попадает в точку Р и после отражения от поверхности проходит через точку а' на РП. Разность хода рабочего и опорного лучей для точки Р определяется выражением:

А = - С 2 )

где х^ у'- координаты точки пересечения отраженного луча с поверхностью РП с учетом аберраций, Я - радиус кривизны поверхности.

Поскольку на РП имеется большое число рассеивающих центров, суммарная, интерференционная картина может быть получена интегрированием картин двухлучевой интерференции для каждой пары симметричных точек РП по всей поверхности РЕ После тригонометрических преобразований и перехода к полярным координатам получим распределение

Рис. 3. Погрешность ДИРП и контраст полос при различных радиусах кривизны поверхностей: 1-100 мм; 2 - 500 мм; 3 - 1000 мм; 4 - 10000 мм, Z -радиус детали.

интенсивности в суммарной интерференционной картине: где 10 - интенсивность интерферирующих пучков,

л = andcf.(B/A),

^ ff Cûô^A sclsdy

О О

гж s0

im—A-sdsdip,

о о

( 4 )

( 5 )

( б )

( 7 )

S - текущий радиус РП ( О - S ^ ), f - угол ( О ^ У ¿¿я), "н- фазовый член, определяемый параметрами настройки интерферометра на полосы конечной ширины, f - коэффициент, учитывающий степень когерентности источника излучения и падение контраста, вызванное ошибками изготовления РП, W- функция аберраций. Как видно, имеются фазовые искажения и ухудшение контраста полое из-за наличия внеосевых точек РЕ На рис. 3 приведены графики зависимости контраста полос и дополнительного фазового сдвига от величины, пропорциональной квадрату размера РП, квадрату относительного отверстия детали и обратно пропорциональной радиусу кривизны детали при некоторых значениях радиуса кривизны. Расчеты показали, что при контроле зеркала с относительным отверстием 1:1 и радиусом кривизны 100 мм погрешность ДИРП не превышает 0,1Лк (-Лк =0,63 мкм ) в том случае, если диаметр РП 2S0 не более 0,2 мм. Можно рассматривать фазовый сдвиг Л как систематическую погрешность или изменение цены интерференционной полосы. Тогда допустимо увеличение диаметра PIL Даны рекомендации по выбору размера РП при контроле деталей с различными параметрами при условии, что контраст полос не ниже 0,5.

Анализ ДИРП с использованием понятий волновой оптики показал, что .интерференционная картина от внеосевых точек РП, смещенной из

центра кривизны контролируемой поверхности, представляет собой полосы эллиптической формы.

В третьей главе, представлены результаты исследования возможности получения аффективных РП на высокоразрешающих фотослоях ЛОИ-2, ПЭ-2 и слоях бихромированной мэлатины ( ЕХЖ ).

Для записи РП выбрана схема, приведенная на рис. 4. Излучение лазера 1 фокусируется объективом 2 в центральную зону микродиафрагмы 3. Расходящийся пучок фокусируется объективом 4 через шлифованное стекло 5 на поверхность фотопластинки 6, закрепленной на поворотном устройстве 7. Для ограничения диаметра пучка перед стеклом 5 размещена диафрагма 8 диаметром d . Расстояние между шлифованной поверхностью стекла 5 и фотослоем пластинки 6 равно-D . Полный апертурный угол записанной таким образом РП равен:

sU = 4 aïct(f,(ol/2I>). ( 8 )

Оптимальная дифракционная эффективность РП выбрана из условий удовлетворительного контраста полос в ДИРП и минимальных энергетических потерь и составила 50£.

Определены условия, обеспечивающие получение РП со сравнительно равномерной индикатрисой рассеяния, а, следовательно, интерфе-рограмм с равномерным распределением освещенности. Следует переэкспонировать фотослои при записи РП и в качестве диафрагмы 8 (см. рис. 4) использовать аподизирующую маску с пропусканием, пропорциональным симметричной обратной функции Гаусса, или диафрагму с центральным экраном размером не более 0,5 от диаметра пучка в плоскости размещения диафрагмы. Обработку фотопластинок необходимо производить в нелинейном режиме с отбеливанием. .

Описана методика изготовления светостойких ( не подверженных потемнению под действием излучения ) РП на основе галогенидосе-ребряных фотослоев ЛОИ-2 и ПЭ-2. Экспозиция, обеспечивающая работу на нелинейном участке экспозиционных характеристик, лежит в пределах 0,2. ..0,5 мДж/см2 для слоев ЛОИ-2, для слоев ПЭ-2 экспозиция приблизительно на порядок больше. Оптимальный режим химико-фотографической обработки фотослоев включает следующие операции: проявление в проявителе Д-82 в течение 5 минут, отбеливание в отбеливателе для фотопластинок ПВ-1 ( двойное время осветления ) и

Рис.4. Схема записи PIL- 1 - лазер; 2 - микрообъектиЕ; 3 - микродиафрагма; 4 - объектив; 5 - шлифованное стекло; 6 - фотопластинка; 7 - поворотное устройство

Рис.5. Принципиальная схема ДИРП ИТ-387:

1 - источник излучения; 2 - расширитель пучка; 3,6,9,10 - объективы; 4 - зеркало; 5 - плоскопараллельная пластина; 7 - РП; 8 - контролируемая поверхность; 11 - плоскость фотоприемника

фиксирование в нейтральном фиксаже в течение 2... 5 минут при температуре ( 20 ± 2 )°С. при такой обработке осуществляется полное удаление из фотослоев соединений серебра и задубливание желатины.

Для изготовления РП подобраны бессеребряные слои БХЖ толщиной 5...7 мкм с весовым содержанием бихромата аммония 10%. Оптимизирован режим водно-спиртовой обработки слоев, обеспечивающий получение РП с теми же параметрами, что и на галогенидосе-ребряных слоях. Режим обработки заключается в дегидратации экспонированных слоев в водных растворах изопропилового спирта разной концентрации в течение 5 минут при температуре 18... 20°С. Для повышения влагостойкости слоев ЕХЖ необходимо покрывать их защитными пленками гидрофобных или влагонепроницаемых материалов.

В четвертой главе приведено описание оптической схемы и конструкции разработанного и изготовленного ДИРП ИТ-387.

Принципиальная оптическая схема ИТ-387 приведена на рис. 5. Излучение от источника 1 расширяется расширителем 2 и фокусируется объективом 3 на малое диагональное зеркало 4, выполненное на выступе, закрепленном на прозрачной плоскопараллельной пластине 5. После отражения от зеркала 4 пучок фокусируется объективом б через РП 7 на контролируемую поверхность 8. При прохождении через РП 7 исходный пучок разделяется на два пучка: рассеянный.и нерассеянный. Оба пучка после отражения от поверхности 8 проходят вторично через РП . Как отмечено в первой главе, при этом формируются

-пучки, которые являются рабочим и опорным, соответственно. Проекционная система, включающая объективы 6, 9 и 10 формирует изображение поверхности 8 с интерференционными полосами в плоскости 11 фотоприемника. Промежуточная интерференционная картина образуется в плоскости, проходящей через зеркало 4. Зеркало 4 экранирует центральный яркий пучок , который мешает наблюдению и автоматизированной обработке данных. Аберрационный расчет схемы произведен на разных длинах волн в диапазоне от 400 до 1000 нм. Дисторсия проекционной части не превышает О,82 во веем спектральном диапазоне.

Приведены результаты исследования различных способов улучшения качества интерферограмм в ДИРП.' Для устранения бликов и переотраженного света целесообразно просветлять поверхности линз и РП и использовать поляризационную оптику ( поляризаторы и четверть-

волновую фазовую пластину ). Для устранения спекл-структуры ин-терферограммы рассмотрены 3 метода:

1) использование некогерентных источников излучения;

2) формирование интерференционной картины на вращающемся рассеива-теле;

3) понижение пространственной когерентности источника света.

Наиболее эффективен третий метод., Разрушение пространственной когерентности можно осуществить с помощью движущегося рассеивате-ля или многомодового осветительного световода. Использование световода предпочтительно, поскольку обеспечиваются меньшие потери света и облегчается взаимная юстировка ДИРП и источника.

Проведен анализ источников погрешностей в ДИРП. Аберрации осветительной системы и дефекты РП незначительно влияют на точность измерений, т. к. рабочий и опорный пучки совмещены. Дисторсия приемной системы контролируется с использованием специальных тестов.

Предложена экспериментальная методика оценки инструментальной погрешности ДИРП, основанная на использовании статистического характера распределения отклонений оптических поверхностей от ближайшей сферы [53. С помощью аттестуемого интерферометра измеряется форма образцовой поверхности при различных ее положениях ( с поворотами вокруг оптической оси и смещениях относительно оси интерферометра После усреднения результатов всех измерений получают уточненную топограмму образцовой поверхности ( с практически полным отсутствием в ней погрешностей интерферометра и погрешности восстановления волнового -фронта ). Разность то-лограммы для частного положения поверхности и усредненной топо-граммы является оценкой погрешности интерферометра. Эксперименты показали, что среднеквадратическая погрешность ДИРП ИТ-387 не превышает О,005 Лк при контроле деталей с относительным отверстием не более 1: 7.

Автоматизированная обработка интерференционной картины осуществляется амплитудным методом с использованием телевизионной камеры с ПЗС-матрицей.

В пятой главе представлены результаты использования ДИРП при контроле вогнутых сферических поверхностей в процессе их полировки и аттестации на предприятиях оптико-механической промышленности.

Предложена методика сравнения с высокой точностью радиусов кривизны длиннофокусных зеркал, основанная на использовании ДИРП с источником белого света.

Приведены результаты измерений аберраций линзового объектива на разных длинах волн. Полученные данные использованы для синтеза полихроматической частотно-контрастной характеристики объектива.

Проанализированы возможности контроля асферических поверхностей с помощью ДИРП без компенсаторов, основанного на использовании источников излучения с перестраиваемой длиной волны и интерферометрии двух длин волн.

Поскольку ДИРП может быть использован- для решения сравнительно широкого круга задач в оптическом приборостроении, его можно назвать многоцелевым. В качестве дифракционного светоделителя вместо РП могут быть использованы также дифракционная точка и зонная пластина Френеля.

В заключении сформулированы основные результаты диссертационной работы.

1. Проанализированы литературные сведения по устройству и применению ДИРД Определены актуальные задачи работы.

2. Произведен уточненный расчет погрешности ДИРП и контраста интерференционных полос, который позволил определить предельные возможности интерферометра.

Даны рекомендации по выбору размера РП в'зависимости от параметров контролируемых деталей при допустимом контрасте полос 0,5 с учетом того, что погрешность ДИРП является систематической.

3. Разработаны методики изготовления высокоапертурных РП с применением галогешдосеребряных фотослоев ЛОИ-2, ПЗ-2 и слоев БХЖ.

Выявлено, что наиболее эффективными являются светостойкие РП, полученные на слоях ЛОИ-2 при их специальной обработке, обеспечивающей полное удаление из слоя соединений серебра.

4. Разработан и изготовлен ДИРП ИТ-387, функционирующий в широком спектральном диапазоне от 400 до 1000 нм. Исследованы способы улучшения качества интерферограмм за счет устранения бликов, переотраженного света и спекл-шумов. Наиболее

эффективные способы связаны с использованием поляризационной оптики и многомодового осветительного световода.

5. Разработана методика оценки инструментальной погрешности ДИРП. На основе предложенной методики проведена аттестация ИТ-387, которая показала, что его среднеквадратическая погрешность не превышает 0,005Лкпри относительном отверстии деталей не более 1: 7.

6. Разработаны и изготовлены малогабаритные макеты ДИРП с упрощенной оптической схемой, предназначенные для использования в цеховых условиях.

7. ДИРП ИТ-387 использован при контроле формы сферических поверхностей на предприятиях оптико-механической промышленности. Результаты использования прибора полностью подтвердили его характеристики.

8. Разработана и экспериментально исследована методика сравнения радиусов кривизны длиннофокусных зеркал с использованием источника белого света. Результаты исследований подтвердили возможность сравнения радиусов кривизны поверхностей с радиусом кривизны 10 м и диаметром 1 м с погрешностью не более 10 мкм, что невозможно обеспечить другими методами.

9. Проанализированы методы контроля формы асферических поверхностей и качества объективов с применением источников излучения с перестраиваемой длиной еолны и источников, излучающих в различных спектральных диапазонах.

На защиту выносятся следующие положения.

1. Теоретические основы функционирования ДИРП. Уточненный расчет погрешности ДИРП и контраста интерференционных полос с учетом аберраций пучков от внеосевых точек РЕ

2. Методика изготовления высокоапертурных светостойких РП с квазиоднородной индикатрисой рассеяния на основе высокоразрешающих фотослоев.

3. Оптическая схема и конструкция ДИРП ИТ-387, функционирующего в широком спектральном диапазоне.

4. Методика экспериментальной оценки инструментальной погрешности интерферометра.

5. Способ сравнения радиусов кривизны длиннофокусных поверхностей с помощью ДИРП.

Цитированная литература

1. Оптический производственный контроль. Под ред. Д. Мала-кары. М. , "Машиностроение", 1985. - 346 с.

2. Burch J. // Nature, 1953, V. 171.- P. 889.

3. Scott R. // Appl. Optics, 1969, V. 8, N3.- P. 531.

4. Rubin L. // Opt. Eng\ , 1980, V. 19, N 6.- P. 815.

5. Витриченко Э. А. и др. Проблемы оптического контроля. Новосибирск, "Наука", 1990,- С. 186.

Основные материалы диссертации опубликованы в следующих работах:

1. Ефимов В. К. , Кузнецова О. Г. , Медведев В. Е. , Образцов В. С. , Подоба В. М. Дифракционный интерферометр для контроля качества сферических"поверхностей // Тез. докл. Всесоюз. семинара "Методы контроля формы оптических поверхностей". Л. , 1989.- С.7.

2. Вубие И. Я. , Долик И. В. , Образцов В. С. , Подоба В. И. , Серегин А. Г., Федина JL Г. Способ сравнения радиусов кривизны сферических поверхностей с помощью интерферометра // Заявка на изобретение N 4732697 от 24. 08. 89. Положит, решение от 13. 02.90.

3. Кузнецова 0. Г. , Образцов В. С. , Подоба В. И. , Коржикова

Л. М. Получение светостойких рассеивающих пластинок к интерферометру // ОМП, 1990, N 5.- С.71.

4. Кузнецова 0. Г. , Образцов В. С. , Подоба В. И. Дифракционный интерферометр с рассеивателем-светоделигелем // Тез. докл. Всесоюз. симпозиума "Методы и применение голографической интерферометрии". Куйбышев, 1990,- С. 51.

5. Богомолов А. Н. , Борейко В. М. , Ееьков Д. Е , Захаренков В. Ф. , Линский Б. М. , Образцов В. С. , Подоба В. И. , Серегин А. Г. Способ сравнения радиусов кривизны оптических поверхностей // Заявка на изобретение N 4777722 от 08. 01.90. Положит, решение от 30.01.91.

6. Ефимов В. К. , Образцов В. С. , Подоба В. И. Дифракционный интерферометр // Заявка на изобретение N 4853297 от 24. 07.90. Положит, решение от 29.05.91.

7. Ефимов В. К. , Образцов В. С. , Подоба В. И. , Кузнецова О. Г. Дифракционный интерферометр для контроля оптических систем // ОМП, 1990, N 5.- С. 64.

- 16 -

8. Духопел И. И. , Образцов В. С. , Подоба В. И. Дифракционный интерферометр с рассеивающей пластинкой // ОМП, 1991, N 1.- С. 3.

9. Долик И. В. , Образцов В. С. , Подоба В. И., Федина Л Г. Многоцелевой дифракционный интерферометр // Тез. докл. Всесоюз. симпозиума "Диагностические применения лазеров". Волгоград, 1991.- С. 51.

10. Федина Л. Г. , Долик И. В. , Подоба В. И. Способ сравнения радиусов кривизны зеркальных элементов составных зеркал телескопов // ОМП, 1992, N 3 ( в печати ).

Подписано к печати 17.04.9^. М-Формат 60х84х/1б. Печать офсетная. Усл. печ. л. ~ , Уч.-изд. л.

Тираж 100 экз. Заказ 1156 . Тип. ГОИ. Бесплатно