автореферат диссертации по авиационной и ракетно-космической технике, 05.07.05, диссертация на тему:Метод ионно-плазменной очистки и осаждения покрытий на детали ГТД с использованием разряда на основе эффекта полого катода

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ. ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ

ИССЛЕДОВАНИЯ.

1.1 Анализ условий работы лопаток турбины ГТД.

1.2 Анализ эффективности технологии нанесения ионно-плазменных защитных покрытий.

1.3 Анализ эффективности методов предварительной обработки поверхности перед нанесением покрытий. | д

1.4. Анализ физико-химических процессов на поверхности твердого тела и в объеме разряда при возникновении эффекта полого катода.

1.5 Цель и задачи исследования.

ГЛАВА 2. МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ СВОЙСТВ. ОБОРУДОВАНИЕ

И ПРИБОРЫ.

2.1 Механические свойства и химический состав исследуемых сплавов.

2.2 Исследуемые покрытия.

2.3 Принцип работы и краткое описание модернизированных установок.

2.4 Методика испытания влияния предварительной подготовки поверхности на адгезию вакуумных ионно-плазменных покрытий.

2.5 Методика определения коэффициента и скорости распыления поверхности. ^

2.6 Методика испытания жаростойкости.

2.7 Методика испытания долговечности.

2.8 Методика рентгеноструктурного анализа покрытий.

ГЛАВА 3. МОДЕЛЬ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НА ОСНОВЕ

ЭФФЕКТА ПОЛОГО КАТОДА.

3.1 Обоснование и описание разработанной модели тлеющего разряда на основе эффекта полого катода. ^

3.2 Математический эксперимент и расчеты.

3.3 Анализ полученных экспериментальных результатов, сравнение с теоретическими данными.

Выводы

ГЛАВА 4. СВОЙСТВА ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ, НАНЕСЕННЫХ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАЗРЯДА НА ОСНОВЕ

ЭФФЕКТА ПОЛОГО КАТОДА.

4.1 Рентгеноструктурное исследование структуры и фазового состава тонких пленок, осажденных с использованием разряда на основе эффекта полого катода. ^

4.2 Исследование влияния вакуумных ионно-плазменных покрытий, полученных с использованием разряда на основе эффекта полого катода на долговечность.

4.3 Исследование влияния вакуумных ионно-плазменных покрытий, полученных с использованием разряда на основе эффекта полого катода на жаростойкость.

4.4 Исследование влияния вакуумных ионно-плазменных покрытий, полученных с использованием разряда на основе эффекта полого катода на микротвердость. j q^

Выводы.

ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАЗРЯДА НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА ПОЛОГО КАТОДА.

5.1 Определение технологических режимов ионной очистки поверхности перед нанесением покрытий. jq

5.2 Влияние предварительной обработки и очистки поверхности на адгезию вакуумных ионно-плазменных покрытий.

5.3 Технологический процесс нанесения вакуумных ионно-плазменных покрытий с использованием разряда на основе эффекта полого катода. j j

Выводы.

Актуальность темы. Эксплуатационные свойства лопаток турбины ГТД формируются в ходе всего технологического процесса их изготовления. Вместе с тем основной вклад в защиту поверхности от различных агрессивных воздействий (высокая температура, окислительные процессы сгорания топлива, усталостные и термоусталостные нагрузки и др.) вносят заключительные операции, предусматривающие подготовку поверхности и осаждение защитных покрытий.

Анализ литературных данных показал, что традиционные методы предварительной обработки поверхности потоком заряженных частиц, такие как очистка при помощи мощных ионных и электронных пучков, в плазме тлеющего разряда и ионами плазмы материала покрытия характеризуются высокой длительностью технологического цикла, сложностью реализации и не всегда обеспечивают требуемое качество поверхностного слоя и заданные эксплуатационные свойства. Наиболее часто используется очистка тлеющим разрядом (работы Барвинка В.А., Боброва Г.В., Данилина Б.С.), позволяющая удалить загрязненные поверхностные слои материала, создать на поверхности активные центры адсорбции и адгезии. Однако, такая очистка низко результативна вследствие малой степени ионизации и продолжительного времени обработки.

Как показывают проведенные ранее исследования (работы Смыслова A.M., Мингажева А.Д.), перспективным является метод, основанный на осаждении покрытий через экран, обуславливающий формирование ориентированной структуры и, как следствие, кардинально повышающий жаропрочность и жаростойкость никелевых сплавов. Дальнейшее изучение метода осаждения покрытий через технологический экран показало (работы Будилова В.В.), что при определенных расстояниях между обрабатываемой деталью и экраном формируется плазма со свойствами, характерными для разряда на основе эффекта полого катода (ЭЦК). Однако, физико-химические процессы, происходящие при обработке поверхности тлеющим разрядом с использованием ЭПК, равно как и технологические режимы, не изучены. Влияние обработки поверхности с использованием разряда на основе ЭПК на эксплуатационные свойства, а также на элементный состав получаемых покрытий не выяснено. В связи с этим задача определения параметров разряда на основе ЭПК, использованного для ионной очистки поверхности и ионно-плазменного осаждения покрытий на лопатки турбины ГТД представляется актуальной.

Актуальность темы диссертационной работы подтверждается тем, что она связана с выполнением планов работ по:

1. подпрограмме "Наукоемкие технологии" с Самарским аэрокосмическим университетом;

2. программе "Проблемы машиноведения конструкционные материалов и технологий" 1997. АН РБ;

3. программе "Конверсия и высокие технологии 1997-2000 гг.". Научная новизна.

1. Установлено, что в системе, состоящей из специального экрана в виде сетки и обрабатываемой поверхности детали, находящихся под отрицательным потенциалом, возникает ЭПК, проявляющийся в том, что формируется плазма с повышенной концентрацией заряженных частиц, генерируемых быстрыми осциллирующими электронами, эмиттируемыми с поверхности катодной полости, приводящая к интенсивной бомбардировке обрабатываемой детали.

2. Впервые на основе двухжидкостной гидродинамики физики низкотемпературной плазмы разработаны физическая и математическая модели тлеющего разряда на основе ЭПК, позволяющие описать основные характеристики потока заряженных частиц - энергию ионов и плотность ионного потока в тлеющем разряде.

3. Экспериментально установлены закономерности влияния расстояния между обрабатываемой поверхностью и экраном, напряжения горения разряда, прозрачности экрана и давления рабочего газа на величину тока разряда.

4. Установлено, что при осаждении покрытия ВСДП-11 по методу с применением разряда на основе ЭПК, в поверхностном слое образуется повышенная концентрация оксидов АЬОз и 8Ю2, обеспечивающих повышение жаростойкости за счет снижения скорости проникновения ионов кислорода и торможения диффузии атомов основы.

Практическая ценность.

1. Разработан метод ионной очистки и осаждения покрытий на поверхность конструкционных материалов с использованием разряда на основе ЭПК (Патенты РФ № 2075538, № 2096493, № 2101383).

2. Разработана технология очистки поверхности тлеющим разрядом с использованием разряда на основе ЭПК перед нанесением жаростойких покрытий, позволяющая увеличить в 4 раза скорость распыления, повысить в 4-5 раз ее температуру, повысить адгезию вакуумных ионно-плазменных покрытий и снизить длительность обработки.

3. Разработана технология осаждения жаростойкого покрытия ВСДП-11 на сплав ЖС6У с использованием разряда на основе ЭПК, позволяющая увеличить на 21% долговечность и на 30 % его жаростойкость.

Реализация результатов работы. Разработан новый технологический процесс нанесения покрытия ВСДП-11 на лопатки турбины ГТД, принятый к внедрению на ОАО "УМПО". Модернизированы промышленные установки МАП-1 и подготовлен участок для реализации нового технологического процесса. Методики проведения экспериментальных исследований распыления металлов под действием ионной бомбардировки и влияния подготовки поверхности на адгезию вакуумных ионно-плазменных покрытий внедрены в учебный процесс в УГАТУ. На защиту выносятся.

1. Физическая и математическая модели тлеющего разряда с использованием эпк.

2. Закономерности влияния расстояния между обрабатываемой поверхностью и экраном, напряжения горения разряда, прозрачности экрана и давления рабочего газа на величину тока разряда.

3. Способ обработки поверхности тлеющим разрядом на основе ЭПК, по которому осуществляют обработку и активацию поверхностного слоя с помощью плазмы повышенной плотности, создаваемой между экраном, в виде сетки, и деталью, позволяющий поднять скорость распыления в 4 раза, увеличить температуру поверхности в 4-5 раз и достичь равномерности ее нагрева.

4. Технологический процесс нанесения защитных покрытий, включающий предварительную обработку в тлеющем разряде, ионную очистку и осаждение покрытий на лопатки турбины ГТД, в котором, с целью получения покрытия с высокими эксплуатационными свойствами, осаждение покрытия осуществляют с помощью разряда на основе ЭПК.

Апробация работы. Результаты работы докладывались на 5 международных, 3 российских и региональных конференциях: "Региональной конференции молодых ученых Урала и Поволжья"(Оренбург, 1994.); Международной НТК "Вакуумная наука и техника" (Москва, 1994); III конф."Модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" (Томск, 1994); Международной НТК "Отделочно-упрочняющая технология в машиностроении" (Минск, 1994); Международной НТК "Напыление и покрытия-95" (Санкт-Петербург, 1995); 4-й Международной конф. (Харьков, Рыбачье, 1995); 4-й Всероссийской конф."Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" (Томск, 1996); Международной НТК "Проблемы и перспективы развития двигателестроения в поволжском регионе" (Самара, 1997); Межнациональном совещании "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 1998). В законченном виде диссертация обсуждалась в Уфимском государственном авиационном техническом университете и в Московском авиационном институте.

Публикации. Результаты исследований отражены в 23 публикациях. Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, 5 глав, приложения и выводов, включает 138 страниц машинописного текста, содержит 50 рисунков, 15 таблиц и 143 наименования литературы.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Установлено, что в системе, состоящей из специального экрана в виде сетки и обрабатываемой поверхности детали, находящихся под отрицательным потенциалом катода, формируется плазма с повышенной концентрацией заряженных частиц, генерируемых быстрыми осциллирующими электронами, эмиттируемыми с поверхности катода.

2. На основе двухжидкостной гидродинамики физики низкотемпературной плазмы разработаны физическая и математическая модели тлеющего разряда с использованием ЭПК, описывающие параметры тлеющего разряда.

3. Проведена модернизация промышленных установок для реализации метода ионно-плазменной очистки и осаждения покрытий с использованием разряда на основе ЭПК, заключающаяся в изготовлении и установке натекателя и коллектора, позволяющего производить дозированную подачу рабочего газа; изготовлении и установке дополнительного анода; установке специального источника.

4. Экспериментально установлены закономерности влияния расстояния между обрабатываемой поверхностью и экраном, напряжения горения разряда, прозрачности экрана и давления рабочего газа на величину тока разряда.

5. Установлено, что при осаждении покрытия ВСДП-11 по методу с применением разряда на основе ЭПК увеличивается долговечность защищаемого сплава на 21%, а в поверхностном слое образуются оксиды АЬОз и 810г с повышенной концентрацией, обеспечивающие увеличение жаростойкости на 30 % за счет снижения скорости проникновения ионов кислорода из окружающей окислительной среды и встречного потока химических элементов сплава ЖС6У в покрытие.

122

6. Разработан способ обработки поверхности тлеющим разрядом, по которому осуществляют очистку и активацию поверхности с помощью плазмы повышенной плотности, создаваемой между экраном, в виде сетки, и обрабатываемой поверхностью, позволяющий увеличить скорость распыления в 4 раза, повысить температуру поверхности в 4-5 раза и достичь равномерности ее нагрева, снизить длительность обработки и обеспечить повышение адгезии и пластичности вакуумных ионно-плазменных покрытий.

7. Разработан и внедрен в производство технологический процесс нанесения защитных покрытий, включающий обработку в тлеющем разряде, ионную очистку и осаждение покрытий на лопатки турбины ГТД, в котором, с целью получения покрытия с высокими эксплуатационными свойствами, осаждение осуществляют с помощью разряда на основе ЭПК

1. Абрамов В.Г., Якупов И.М., Мингажев А.Д. Автоматизация проектирования технологических экранов для нанесения конструкционных покрытий // Оптимизация технологических процессов по критериям прочности. -Уфа: УАИ, 1989. -С.35 38.

2. Абрамов В.Л., Светцов В.И. Очистка поверхности титана в плазме тлеющего разряда // Тезисы докладов научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника" Гурзуф, 1995. - С. 35.

3. Адлер Ю.П., Маркова Е.В., Грановский Ю.В. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. -М.: Наука, 1976. -278 С.

4. Акимов Л.М. Выносливость жаропрочных материалов. -М.: Металлургия, 1977.-138 С.

5. Анищенко Л.М., Кузнецов С.Е., Лавренюк С.Ю. Эффективность обработки полиимидной пленки в различных зонах тлеющего разряда // Физика и химия обработки материалов, 1985. № 6. - С. 46 - 47.

6. Анферов М.А. Моделирование и оптимизация технологических процессов в авиадвигателестроении. Уфа: УАИ, 1990. - 81 С.

7. Арцимович Л.А. Элементарная физика плазмы. -М.: Атомиздат, 1969. -191 С.

8. Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г.Д. Радиационно-стимулируемая химико-термическая обработка. -М.: Энергоиздат, 1982. 182 С.

9. Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. -М.: Машиностроение, 1990. 385 С.

10. Ю.Барг А.Е., Дубовицкая Н.В., Дудко Д.А. и др. Образование аморфной фазы на основе хрома при ионно-плазменном осаждении // Металлофизика, 1987, -Т. 9, № 4. -С. 118.

11. П.Барченко В.Т., Коваленко В.А. Применение модулей на базе несамостоятельного тлеющего разряда для ионной очистки имодификации поверхности изделий // Тезисы докладов научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника" -Гурзуф, 1995. -С. 23.

12. Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. -М.: Мир, 1986.-Вып. 11,-501 С.

13. З.Боровский С.М., Гриценко Г.В., Маслов Н.Б. и др. Особенности использования ионно-плазменных покрытий для защиты поверхности деталей // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: УАИ, 1990. -С. 22-30.

14. Боровский С.М., Мухин B.C. Пластификация покрытий и подложки как метод повышения эксплуатационных свойств деталей // Проблемы машиностроения и автоматизации. Международный журнал, -1993. -№6, -С.23 28.

15. Бородин B.C., Коган Ю.М. Исследование разряда в полом катоде // ЖТФ, 1966. -T. XXXVI, вып. 1. -С.181-185.

16. Бородин B.C., Коган Ю.М., Лягущенко Р.Н. Исследование разряда в полом катоде -2 // ЖТФ, 1966. -T. XXXVI, вып. 7. -С. 1198 1201.

17. Боченин В.И., Бурнаков К.К. Неразрушающий контроль покрытий лопаток газовых турбин // Защита металлов, 1996. -Т. 32, № 6. -С. 670 -672.

18. Бугаев С.П., Крейндель Ю.Е., Щанин П.М. Электронные пучки большого сечения. -М.: Энергоатомиздат. 220 С.

19. Булат В.Е., Лукашевич Л.Л., Нагайбеков Р.Б. Физические основы и параметры очистки поверхности металлов от окалины действием вакуумной дуги // Тезисы докладов 4 Всероссийской конференции

20. Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" -Томск, 1996. -С. 461 462.

21. Будилов В.В., Мельников С.А. Основные закономерности формирования шероховатости вакуумных покрытий // Оптимизация технологических процессов по критериям прочности. Межвуз. науч.сб. Уфа: УАИ, 1987. -С.42 - 49.

22. Будилов В.В. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий. -Уфа: УГАТУ, 1993. -77 С.

23. Будилов В.В. Обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД вакуумными ионно-плазменными методами обработки с учетом технологической наследственности. Автореф. дис. док. техн. наук. -Уфа, 1994. 44 С.

24. Будилов В.В. Физические основы вакуумно-плазменной технологии нанесения покрытий. -Уфа: УГАТУ, 1993. -74 С.

25. Бурдовицин В.А. Галинский B.JL, Груздев В.А. и др. Аксиальное распределение параметров плазмы в катодной полости отражательного разряда // ЖТФ, 1992. -Т. 62. -С. 108 114.

26. Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. -М.:Энергоатомиздат, 1991. -240с.

27. Вакуумные дуги.Теория и приложения / Под ред.Дж.Лафферти; Пер. с анг. -М.:Наука, 1982. -302 С.

28. Васильева Г.Г., Крейндель Ю.Е. Эффект полого катода в разряде типа пеннинга низкого давления // ЖТФ, 1969. -Т. XXXIX, вып. 2. -С. 298 301.

29. Васильев В.Ю., Неволин В.Н.,Фоминский В.Ю. ионная имплантация металлических материалов. -М.:Энергоатомиздат, 1991. -240 С.

30. Васильев В.Ю., Исаев Н.И.,Гусева М.И. // Поверхность: физика, химия, механика. -1986, -№5. -С. 13-14.

31. Веденов A.A. Задачник по физике плазмы. -М.: Наука, 1981. -230 С.

32. Велихов Е.П., Ковалев A.C., Рахимов A.C. Физические явления в газоразрядной плазме. М.: Атомиздат, 1987. -312 С.

33. Вендик О.Г., Горин Ю.Н., Попов В.Ф. Корпускулярно-фотонная технология -М.: Высшая школа, 1984. -340 С.

34. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. -М.: Атомиздат, 1972. -356 С.

35. Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров С.А. Основы физики плазмы. -М.: 1977.-460 С.

36. Голубев B.C., Пашкин C.B. Тлеющий разряд повышенного давления. -М.: Наука, 1990.-380 С.

37. Грановский В.Л. Электрический ток в газах. Установившийся ток. М.: Наука, 1971.-544 С.

38. Григоров А.И., Семенов А.П. Обработка газовых подшипников с применением ионного распыления. -М.: Наука, 1976. -122 С.

39. Гришин С.Д., Лесков Л.В., Козлов Н.П. Плазменные ускорители. -М.: Машиностроение, 1983. -196 С.

40. Данилин B.C., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. -264 С.

41. Данилин B.C. Получение тонкопленочных элементов микросхем. -М.: Энергия, 1977. -136 С.

42. Достанко А.Г., Грушевский B.C. Плазменная металлизация в вакууме. -Минск: Наука и техника, 1983. -279 С.

43. Евстигнеев М.И., Подзей A.B., Сулима A.M. Технология производства двигателей летательных аппаратов. -М.: Машиностроение, 1982. -260 С.

44. Жаропрочные сплавы для газовых турбин / Под ред. P.E. Шалина М.: Металлургия, 1981. - 480 С.

45. Жаропрочные покрытия для защиты конструкционных материалов. / Труды VII Всесоюзного совещания по жаростойким покрытиям. -Ленинград: Наука, 1977. -310 С.

46. Жерздев C.B., Тамарин Ю.А. Керамические конденсированные покрытия рабочих охлаждаемых лопаток газотурбинных двигателей // Тезисы докладов международной научно-технической конференции "Напыление и покрытия 95", Санкт-Петербург, 1995. -С. 35 - 37.

47. Жоу Кесонг, Жанг Ронгуо Исследования и разработка технологии поверхностной обработки металлов в Китае // Физика и химия обработки материалов, 1997. -№ 5. -С. 64 -73.

48. Иванов М.И., Мубояджян С. А. Исследование процесса очистки поверхности бомбардировкой ионами аргона // Тезисы докладов российского научно-технического семинара "Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин" М:. МГАТУ, 1995. -С. 34.

49. Источники заряженных частиц с плазменным эмиттером. -Екатеринбург: УИФ Наука, 1993.-144 С.

50. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. -М.: Мир, 1967.-506 С.

51. Капцов H.A. Электроника. М.: Гос.изд. технико-теоретической литературы, 1953. 468 С.

52. Кириченко, В.Н., Ткаченко В.М., Тютюнник В.Б. Влияние геометрических размеров, материала катода и рода газа на область оптимальных давлений тлеющего разряда с цилиндрическим полым катодом // ЖТФ, 1976. -Т. 46, вып. 9. -С. 1857- 1867.

53. Клубникин B.C. Напыление и покрытия: особенности развития и достижения // Тезисы докладов международной научно-технической конференции "Напыление и покрытия 95". - Санкт-Петербург, 1995. -С.З -6.

54. Клярфельд Б.Н., Москалев Б.И. Роль фотоэффекта в эмиссии электронов из катода тлеющего разряда в Кг и Хе // ЖТФ, 1969. -Т. XXXIX, вып. 6. -С. 1066-1069.

55. Ковшов А.И. Технология машиностроения. -М.: Машиностроение, 1987. -320 С.

56. Коломыцев П.Т. Высокотемпературные защитные покрытия для никелевых сплавов. -М.: Металлургия, 1991. -237 С.

57. Коломыцев П.Т. Газовая коррозия и прочность никелевых сплавов. -М.: Металлургия, 1984. -215 С.

58. Коломыцев П.Т. Жаростойкие диффузионные покрытия. -М.: Металлургия, 1979.-271 С.

59. Костиков В.И. Плазменные покрытия. М.: Металлургия, 1978. - 160 С.

60. Косточкин В.В. Надежность авиационных двигателей и силовых установок. -М.: Машиностроение, 1988. -272 С.

61. Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. М.: Машиностроение, 1987. - 208 С.

62. Крейндель Ю.Е., Лемешев Н.М., Слосман А.И. Эффект полого катода при азотировании в тлеющем разряде // Электронная обработка материалов, 1990. —вып.6. -С. 38-47.

63. Крейндель Ю.Е., Никулин С.П. Тлеющий разряд с полым катодом в режиме частичного заполнения полости плазмой // ЖТФ, 1992. -Т. 62. вып. 4. -С. 89-93.

64. Крейндель Ю.Е., Никулин С.П., Шубин O.A. Влияние электронной эмиссии из плазмы на структуру отражательного разряда с полым катодом // ЖТФ, 1990. -Т. 60, вып. 4. -С. 88 92.

65. Крейндель Ю.Е., Осипов И.В., Ремпе. Н.Г. Параметры плазмы в отрицательном разряде с полым катодом // ЖТФД992. -Т. 62, вып. 10. -С. 165- 169.

66. Кудинов В.В., Бобров Г.В. Нанесение покрытий, напыление теория, технология и оборудование. -М.: Металлургия, 1992. 432 С.

67. Кудинов В.В. Нанесение покрытий плазмой. -М.: Наука, 1990. 170 С.

68. Кудинов В.В., Иванов В.М. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий. -М.: Машиностроение, 1981. -126 С.

69. Кузнецов Н.Д. Перспективные газотурбинные двигатели и проблема коррозии // Проблемы прочности, 1993. № 8. -С. 78 - 86.

70. Куляпин В.М., Старцева O.A. Взаимосвязанные процессы в электрическом разряде. Уфа, УАИ, 1989. -51 С.

71. Курнат Р.Н. Хаусова С.Г. Структурные изменения и механизмы зарождения термоусталостных трещин в жаропрочных сплавах с покрытиями // Проблемы прочности, 1993. № 12. -С. 33 - 38.

72. Кучеренко Е.Т. Справочник по физическим основам вакуумной техники. -Киев: Вища школа, 1981. -358 С.

73. Лесников В.П., Кузнецов В.П., Репина О.В. Защитные свойства покрытий Co-Cr-Al-Y // Защита металлов, 1996. -Т. 32, № 5. -С. 473 477.

74. Максимович Г.Г., Шатинский В.Ф. Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями. -Киев: Наукова думка, 1983. -264 С.

75. Месси Г., Бархоп Е. Электронные и ионные столкновения. /Под ред. С.М. Осовец -М.: Мир, 1958. -604 С.

76. Месяц Г.А. Проскуровский Д.И. Импульсный электрический разряд в вакууме. -М.: 1984. -203 С.

77. Мингажев А.Д. Исследование и разработка технологии получения на деталях ГТД конденсированных жаростойких покрытий с дискретнымперемещающимся фронтом наращивания: Автореф. дис.канд.техн.наук. -Уфа, 1987. -24 С.

78. Мингажев А.Д., Абрамов В.Г. К анализу процесса осаждения материала при дискретном фронте наращивания // Оптимизация технологических процессов по критериям прочности. -Уфа: УАИ, 1989. С. 33 - 37 С.

79. Мовчан Б.А., Малашенко И.С. Жаростойкие покрытия осаждаемые в вакууме. -Киев: Наукова думка, 1983. -232 С.

80. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под. ред. Дж.М. Паута М.: Машиностроение, 1987.-424 С.

81. Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. -М.: 1969. -180 С.

82. Моряков О.С. Элионная обработка. М.: Высшая школа, 1990. - 128 С.

83. Мубояджян С.А., Будиновский С.А. Конденсированные и конденсационно-диффузионные покрытия для лопаток турбин из жаропрочных сплавов с направленной кристаллической структурой // МиТОМ, 1996. -№4. -С.15 18.

84. Мубояджян С.А., Будиновский С.А. Промышленная установка МАП-1 для нанесения защитных покрытий различного назначения // Авиационная промышленность, 1995. № 7-8, -С. 44 - 48.

85. Мубояджян С.А. Ионно-плазменные защитные покрытия для лопаток авиационных ГТД: Автореф. дис. док. техн. наук. -М.1997. 49 С.

86. Мубояджян С.А., Терехов В.В., Шалин М.Р. Новый метод получения жаростойких алюминидных диффузионных покрытий // В сб.: Вопросы авиационной науки и техники. Серия "Авиационные материалы", 1988. -№4, -С. 48-55.

87. Мухин B.C., Смыслов A.M., Боровский С.М. Модификация поверхности деталей ГТД по условиям эксплуатации. М.: Машиностроение, 1995. -190 С.

88. Мухин B.C. Технологические аспекты прочности деталей ГТД // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: УАИ, 1990. 75 С.

89. Мухин B.C. Формирование специальных свойств поверхности деталей летательных аппаратов. Уфа: УГАТУ, 1986. - 76 С.

90. Мухин B.C., Шустер Л.Ш. Износ инструмента, качество и долговечность деталей из авиационных материалов. -Уфа: УАИ, 1987. 215 С.

91. Насыров Ш.Г. Исследование и синтез компьютерной поддержки разработки технологии нанесения коррозионностойких ионно-плазменных покрытий: Автореф. дис. канд. техн. наук. Оренбург, 1997. - 23 С.

92. Никитин В.И. Коррозия и защита лопаток газовых турбин. Ленинград: Машиностроение, 1987. - 272 С.

93. Никитин М.М. Технология и оборудование вакуумного напыления. -М.: Металлургия, 1992. 265 С.

94. Никулин С.П. Характеристики тлеющего разряда низкого давления с цилиндрическим полым катодом при большой протяженности катодного слоя //ЖТФ, 1992. -Т 62, вып. 12. -С. 21-27.

95. Никулин С.П. Устойчивость и эмиссионные свойства газоразрядных структур с осциллирующими электронами: Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. -Томск, 1992. -19 С.

96. Новиков И.И., Строганов Г.Б., Новиков А.И. Металловедение, термообработка и рентгенография. -М.: МИСИС, 1994. 480 С.

97. Плещивцев М.В. Катодное распыление. -М.: Атомиздат, 1988. -343 С.

98. ЮО.Падалко В.Г., Толок В.Т. Методы плазменных технологий высоких энергий // Атомная энергетика, 1978. Т. 44. - С. 476 - 478.

99. Перспективы применения ионной обработки в авиадвигателестроении / Каблов Е.Н., Мубояджян С.А., Сулима A.M., Ягодкин Ю.Д. и др. // Авиационная промышленность, 1992, -№ 9. -С. 9 -12.

100. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин /Под ред. А.М Сулима., В.А Шулов., Ю.Д. Ягодкин М.: Машиностроение, 1988.-240 С.

101. Ю4.Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. -М.: Наука, 1980. 416 С.

102. Ю5.Райзер Ю.П. Физика газового разряда. -М.: Высшая школа,1987. 320 С.

103. Ройх И.Л., Колтунова Л.Н., Лебединский O.B. Защитные покрытия, получаемые методом ионного осаждения в вакууме. -М.: Машиностроение, 1976. -350 С.

104. Ю9.Ройх И.Л., Колтунова Л.Н., Федосов С.Н. Нанесение защитных покрытий в вакууме. -М.: Машиностроение, 1976. -369 С.

105. Ю.Семенов А.П., Батуев Б.-Ш.Ч. К вопросу извлечения ионов из разряда с полым катодом в условиях проникающей плазмы // ЖТФ, 1991. -Т. 61, вып.5. -С. 21-27.

106. Ш.Сенчило И.А. Теоретические и технологические основы направленного улучшения свойств поверхностных слоев изделий из инструментальных материалов посредством их ионно-вакуумной модификации: Автореф. дис. док. техн. наук. -Санкт- Петербург, 1995. 33 С.

107. Симс Ч., Хатель В. Жаропрочные сплавы. -М: Металлургия, 1976. -568 С.

108. ПЗ.Синкевич O.A., Стаханов И.П. Физика плазмы. Стационарные процессы в частично ионизованном газе. М.: Высшая школа,1991. 191 С.

109. Смирнов Б.М. Физика слабо-ионизированного газа в задачах с решениями. -М.: Наука, Гл. ред. физ. мат. лит, 1985. 424 С.

110. Смыслов A.M. Комбинированные технологии на базе ионно-имплантационного модифицирования поверхности, обеспечивающие повышение ресурса и надежности лопаток компрессора и турбины ГТД: Автореф. дис. док. техн. наук. Уфа, 1993. - 40 С.

111. Современные технологии в производстве газотурбинных двигателей / Под.ред А.Г. Братухина, Г.К. Язова, Б.Е. Карасева. М.: Машиностроение, 1997. - 416 С.

112. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П. и др. -М.: Машиностроение, 1991. -176 С.

113. Тамарин Ю.А. Жаростойкие диффузионные покрытия лопаток ГТД. М.: Машиностроение, 1978. 132 С.

114. Тамарин Ю.А., Качанов Е.Б., Жерздев C.B. Свойства керамических покрытий для турбинных лопаток // Проблемы машиностроения и надежности машин, 1994. -№ 1. -С. 74 80.

115. Температуроустойчивые покрытия. Труды 11-го Всесоюзного совещания по жаростойким покрытиям г. Тула. Ленинград: Наука, 1985. -325 С.

116. Тушинский Л.И., Плохов A.B. Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий. Новосибирск: Наука, 1986. -197 С.

117. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб.статей 1986-1987 гг. / Пер. с англ. Сост. Е.С. Машкова . -М.: Мир, 1989. -349 С.

118. Чен Ф. Введение в физику плазмы./ Пер. с англ. -М.: Мир, 1987. 210 С.

119. Чернетский A.B. Введение в физику плазмы. М.: Атомиздат, 1969. -303 С.

120. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. М.: Радио и связь, 1987. - 464 С.

121. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем. М.: Энергия, 1977. - 376 С.

122. Шулов В.А. Модификация свойств жаропрочных сплавов непрерывными и импульстными ионными пучками: Автореф. дис. док. техн. наук. -Минск, 1994.-42 С.

123. Ягодкин Ю.Д. Основы технологических процессов обработки пучками заряженных частиц деталей газовых турбин при их изготовлении и ремонте: Автореф. дис. док. техн. наук. -М.: 1995. 38 С.

124. Ягодкин Ю.Д. Покрытия и способы их получения // Новости науки и техники. Сер.: Новые материалы, технология их производства и обработки.-М.: 1988,-№ 6. -С.1 -41.

125. Alexandrov I.V., Enikeev N.A., Kilmametov A.R. and Valiev R.Z. Microstructure and properties of nanocrystals // Intern. Conf. on the Quntit. Description of Mater. Microstructure Q-MAT ' 97, Warsaw, April 1997, -p.173-184.

126. Barthel G. Lichtbogenspritzen für das Regenerieren von Kurbelwellienteilen // Schweißtechnik, 1990. № 3. -S. 126 127.

127. Blume F., Rosert R., Kaziolek M. Verschleißfeste Gestalting von Oberflachen durch Auftragsschweißen // Schweißtechnik, 1988. № 3. -S. 108-110.136

128. Hohne K. Haftvermittelnde Schichten beim thermischen Sprichten von Metallen. // Schweißtechnik, 1985. -№11. -S. 497 499.

129. Lowrie R., Boone D.H. Composite coatings of CoCrAlY plus platinum // Thin. Solid. Films., 1977. -M> 3. P 491 - 498.

130. Shanbar S. Vacuum Plasma Sprayed Metallic coating // Journal of Metals, 1981.-T. 33, 10,-P. 13-20.

131. Springer R.W., Catbett D.S. Structure and mechanical properties of Al / AlxOy vacuum deposited laminate // Thin. Solid. Films. 1977. -№ 2. P. 197 -205.

132. Valiev R.Z., Alexandrov I.V., Chiou W.A., Mishra R.S. and Mukheijee A.K., Comparative structural studies of nanocrystalline materials processed by different techniques // Mater. Sei. Forum. 1997. Vols. 235 238, 497 - 506.

133. Weichlrodt K.-H. Dietzschold D. Brauer A. Einsatz von Auftragsverfahren zur Einzelteillinstandsentzung // Fertigungtechnik und Betrieb. 1988, -№ 10. -S. 591-594.

134. Zhang K., Alexandrov I.V., Valiev R.Z. and Lu K., The structural characterization of a nanocrystalline Cu by means of the X-ray diffraction // J. Appl. Phys. 1996. -Vol.21,407 416138