автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.18, диссертация на тему:Математическое моделирование и разработка методов измерения параметров оптических поверхностей

На правах рукописи

ЧЕМЯКИН Эдуард Владимирович

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Специальность 05.13.18 — Математическое моделирование,

численные методы и комплексы программ

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Москва 2006

Работа выполнена в Московском государственном техническом университете им. Н.Э. Баумана

Научный руководитель:

кандидат технических наук, доцент В.И. Алехнович

Официальные оппоненты:

доктор физико-математических наук, профессор И.А. Соловьев

кандидат технических наук, доцент А.Ф. Ширанков

Ведущая организация:

ОАО «Лыткаринский завод оптического стекла»

Защита диссертации состоится «17» октября 2006 г. в 13 час. 00 мин. на заседании диссертационного совета Д 212.141.15 при Московском государственном техническом университете им. Н.Э. Баумана по адресу: 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Ваш отзыв на автореферат в одном экземпляре, заверенный печатью организации, просьба направлять по адресу:

105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, МГТУ им. Н.Э. Баумана, ' Ученому секретарю диссертационного совета Д 212.141.15.

Автореферат разослан «1Ц» сентября 2006 г.

Ученый секретарь

диссертационного совета,

доктор технических наук, профессор

Г.Н. Кувыркин

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Крупногабаритные вогнутые зеркала со сферической, параболической или гиперболической рабочей поверхностью являются главным оптическим компонентом телескопов астрономических обсерваторий, лидаров и других инструментов, используемых для получения информации об окружающей среде и мире в целом. Современные астрономические и атмосферные исследования, задачи дистанционного зондирования поверхности Земли в видимой части спектра требуют высокоточного изготовления рабочей поверхности зеркала для полной реализации теоретически заложенных возможностей научно-исследовательских и коммерческих систем. Срок службы подобных систем исчисляется годами, а в некоторых случаях и поколениями исследователей, достоверность открытий которых зависит и от практических возможностей используемого инструментария.

Требования к пространственно-угловой разрешающей способности современных оптических систем постоянно повышаются. Обеспечение этих требований достигается в частности путем увеличения относительных отверстий и диаметров зеркал, а также повышением точности придания нужной формы рабочим поверхностям главного и вторичного зеркал. Изготовить оптическую поверхность можно лишь с той точностью, с какой возможно проконтролировать эффект от воздействия обрабатывающего инструмента. В случае с крупногабаритными астрономическими зеркалами задача контроля может быть разбита на две подзадачи:

1. Количественный контроль качества изготовления рабочей поверхности детали. Повышение качества рабочих поверхностей зеркал особенно важно для космических телескопов, которым необходимо обеспечивать разрешение на дифракционном уровне. В этом случае, например, для двухзер-кального телескопа, необходимо обеспечить оптическое качество зеркал со среднеквадратичной погрешностью не более 0,03 рабочей длины волны. Технологический процесс изготовления крупногабаритного вогнутого зеркала можно считать итерационным: «формообразование оптической поверхности — анализ формы поверхности». Оптимальность задания режима следующего этапа обработки поверхности во многом зависит от точности производственного контроля изменений, произошедших с поверхностью за время проведения предыдущего этапа.

2. Измерение основных геометрических параметров итоговой оптической поверхности: радиуса кривизны, а для асферических; поверхностей второго порядка еще и эксцентриситета. Речь идет о полированных поверхностях оптических деталей, микронеровности которых значительно меньше длины волны света. В техническом задании на изготавливаемую поверхность записывается диапазон приемлемых значений радиуса кривизны и эксцентриситета, но окончательное значение геометрических параметров, воплощенное в конкретном крупногабаритном зеркале, требует уточнения.

Точное знание основных геометрических параметров необходимо для корректировки элементов конструкции и проектируемого инструмента в целом.

Изготовление крупногабаритного астрономического зеркала представляет серьезную технологическую трудность, которая связана с большим размером оптической поверхности при высоких требованиях к ее качеству. Площадь современного зеркала исчисляется квадратными метрами, а форма его поверхности должна быть выдержана с точностью, исчисляемой сотыми долями микрометра.

Среди существующих методов количественного контроля качества изготовления рабочих поверхностей астрономических зеркал необходимо особенно выделить «компенсационный метод», который получил такое название благодаря линзовому компенсатору профессора Д.Т. Пуряева, используемому в оптической схеме. Метод является интерференционным, а в качестве результата проведения измерения можно рассматривать цифровую амплитудную интерференционную картину. Актуальной является задача восстановления с минимальными потерями фазового распределения такой картины.

Целью настоящей диссертационной работы является разработка алгоритма и программного комплекса определения двумерного фазового распределения амплитудной интерференционной картины, а также разработка математической модели и метода адаптивного измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка.

В соответствии с этой целью решаются следующие задачи:

— выбор метода решения обратной задачи восстановления фазы интерференционной картины;

— оценка методической погрешности выбранного алгоритма фазовой демодуляции амплитудной интерферограммы;

— выбор метода решения обратной задачи измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка;

— оценка точности измерения радиуса кривизны и эксцентриситета для выбранного алгоритма и реальных погрешностей исходных данных.

При проведении исследования использовались такие методы как:

• математическое моделирование интерференционных измерений, в результате которого была оценена методическая погрешность предлагаемого алгоритма демодуляции интерферограмм;

• проведение и обработка результатов интерференционных измерений формы поверхности крупногабаритного астрономического зеркала интерферометром схемы Тваймана-Грина с использованием линзового компенсатора профессора Д.Т. Пуряева;

• математическое моделирование нового адаптивного метода измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхно-

стей второго порядка, для которого была доказана единственность решения задачи измерения радиуса кривизны и эксцентриситета оптической поверхности, а также оценена устойчивость предлагаемого метода к погрешности исходных данных.

Научная новизна проведенного исследования заключается в достижении следующих результатов:

1) разработан алгоритм восстановления с минимальной погрешностью двумерного распределения фазы статической интерференционной картины;

2) проведено численное моделирование контролируемой поверхности и интерференционных измерений, позволившее определить методическую погрешность разработанного алгоритма в зависимости от величины пространственных частот;

3) определены оптимальные параметры настройки интерферометра при проведении технологического контроля качества изготовления крупногабаритных астрономических зеркал;

4) разработана математическая модель нового метода адаптивного измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка;

5) проведено численное моделирование нового адаптивного метода для случаев измерения основных геометрических параметров наиболее часто используемых видов поверхностей: сферической, параболической и гиперболической;

6) проведена оценка погрешности измерения геометрических параметров поверхности в зависимости от погрешности измерения неадаптивных параметров.

Основные положения работы, выносимые на защиту:

1) использование двумерного преобразования Фурье позволяет с высокой точностью восстановить двумерное фазовое распределение статической интерференционной картины;

2) аподизация спектра исходной интерференционной картины на этапе спектральной фильтрации позволяет снизить методическую погрешность алгоритма восстановления фазы;

3) использование адаптивного подхода к проблеме измерений позволяет уменьшить влияние инструментальных погрешностей контролирующего прибора на точность измерения основных геометрических параметров оптических поверхностей;

4) теоретическое обоснование единственности решения обратной задачи с использованием предложенной измерительной схемы;

5) обоснование точности измерения радиуса кривизны и эксцентриситета оптических поверхностей при адаптивном подходе.

Практическая значимость проведенного исследования состоит в разработке программного комплекса, предназначенного для автоматизированной обработки результатов интерференционных измерений. По сравнению с

з

программным обеспечением, ранее использовавшимся в ведущем отечественном центре изготовления крупногабаритных оптических элементов, разработанный программный комплекс позволяет добиваться более высокого пространственного разрешения, большей точности получаемых результатов, а также обладает преимуществами с точки зрения удобства и скорости обработки амплитудных интерференционных картин.

Внедрение результатов диссертационной работы. Разработанный программный комплекс в настоящее время успешно используется в ведущем отечественном центре изготовления крупногабаритных оптических элементов — ОАО «Лыткаринский завод оптического стекла». Внедрение и использование результатов диссертационной работы подтверждаются соответствующими актами.

Апробация работы. Основные положения диссертационной работы представлялись на 6-ом Всероссийском совещании-семинаре «Инженерно-физические проблемы новой техники» (г. Москва, 2001), X и XII Международных конференциях «Ломоносов» (г. Москва, 2003 и 2005 гг.) и на III Научно-технической конференции «Радиооптические технологии в приборостроении» (г. Сочи, 2005).

Публикации. По теме диссертации опубликованы работы [1-8].

Структура и объем диссертации. Работа состоит из введения, трех глав, выводов, списка литературы из 79 наименований и приложения; изложена на 146 стр., включая 3 табл. и 46 рис.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы исследования, дан обзор существующих подходов в области измерений, сформулированы цели и задачи исследования.

В первой главе — «Математическое моделирование в оптических измерениях» — проведен обзор наиболее распространенных в оптике косвенных методов измерения характеристик оптических поверхностей. Показано, что основным их недостатком является суммирование систематической и случайной инструментальной погрешностей. В некоторых случаях удается частично компенсировать систематическую погрешность введением поправки с учетом некоторой априорной информации. Чаще измерения проводятся при неполной определенности условий, и приходится мириться с тем, что окончательный результат не может быть улучшен.

В этой же главе сформулированы основные принципы адаптивного подхода к проблеме измерений, достоинством которого является возможность снижения требований к точности выдерживания большинства параметров измерительной системы (ИС). Значение этих параметров будет уточнено при минимизации невязки, т. е. в процессе оптимизационной «подгонки» векторов адаптивных и информативных параметров к условиям, диктуемым известными (неадаптивными) параметрами.

4

Во второй главе — «Математическое моделирование интерференционных измерений формы оптической поверхности» — рассматривается задача восстановления двумерного фазового распределения амплитудной интерференционной картины.

В условиях современного оптического производства широко используется интерферометр «ИКАП-3» схемы Тваймана-Грина, сигнал на выходе которого представим в следующем виде:

у) = а{х,у)+ Ь(х,у)-соэ[><0 ■х + а„-у +О) где случайные поля а(х,у) и Ъ(х,у) представляют собой нежелательные аддитивное и мультипликативное возмущения, обусловленные различными факторами и условиями интерференционной съемки. Предполагается, что функции а{х,у), Ь{х,у) и ф{х,у) изменяются медленнее по сравнению с изменениями, вносимыми пространственными частотами и0 и &„', случайные поля а(х,у) и ь(х,у) являются однородными. Фаза сигнала ф{х,у) линейно зависит от функции р(х,у) профиля контролируемой поверхности:

где А — длина волны интерферометра. Поскольку распределение интенсивности можно непосредственно измерить, восстановление функции р(х,у) профиля контролируемой поверхности сводится к решению обратной нелинейной алгебраической задачи.

Для решения этой задачи было предложено использовать преобразование Фурье, среди прочего обладающее следующим свойством: если спектр функции /(х) есть Р[у), тогда спектр функции /(х) е'"°'" есть

Перепишем уравнение (1) в виде: %{х>у) — ^(х.у)- ехр (¡-у0-х + ¡-та -^)+с*(х,у)-ехр (-/•>>„-х-Ью^ (2)

где * — знак комплексного сопряжения,

С{х>У) = ~Ь{Х,У)Ч* Р ['• «*(*.>■)]•

Далее уравнение (2) подвергнем процедуре двумерного преобразования Фурье по пространственным координатам х тлу и получим:

о&,а)=а(у,а>)+с(у-у,1,со-со0)+с*(у+у,1,а+(»0), где С(у,ю), а(у,й>), С(и,о)э С*{у,ю) - фурье-спектр функций а(х,у),

с(х,у), с*(х,у); V — пространственная частота в направлении со - пространственная частота в направлении^.

Все три составляющие функции с(у,а>) разнесены на фурье-плоскости на величину пространственных частот и а>0. Это следует из начального предположения о том, что пространственное изменение функций а(х,у\ Ь(х,у\ ф(х,у) менее значительно в сравнении с изменением, вносимым пространственными частотами и а>0.

Преобразование Фурье теоретически позволяет получить частотный спектр непрерывной функции, пространственные координаты которой определены для всей числовой оси. Практически же проводится обработка дискретных сигналов, пространственные координаты которых определены лишь для некоторой замкнутой пространственной области. Поэтому более справедливым будет следующее представление сигнала (2), регистрируемого приемным устройством:

у) = тая к (х,у)(а(х, у)+¿(х, у) • сох[у0 - * + -у+ <г>(х,у)]), где та$к{х,у) - функция, равная единице в информативной пространственной области интерференционной картины и равная нулю вне этой области.

Из этого рассуждения следует, что компонента л(у,а>) может быть почти полностью компенсирована, т. к. главным образом это есть ни что иное, как результат двумерного преобразования Фурье функции маски интерферо-граммы.

Теперь можно выделить аддитивную составляющую С(и-у0,<а-о0) функции с(у,а>), проигнорировав остальные ее составляющие. Далее сдвигом компоненты спектра с(у- в начало координат приводим к нулю

значения пространственных частот. Проводим процедуру обратного преобразования Фурье и получаем функцию с{х,у). Чтобы получить функцию ф(х,у), необходимо вычислить комплексный логарифм от функции с(х,у):

1п[с(х,у)]=1п

\-Ъ(*>у)

■-у).

Мнимая составляющая и представляет собой зависимость ф{х,у).

Необходимо отметить, что таким способом возможно восстановить функцию ф(х,у), свернутую по модулю 2-я-, т. е. относительные фазовые значения <р{х,у). Для получения абсолютных фазовых значений необходимо провести процедуру «развертки фазы». Данной процедурой используется то, что в дискретном случае операция свертки по модулю 2-л- искажает абсолютные значения функции, оставляя без изменения поле градиентов.

Математически проблема развертки фазы может быть формализована следующим образом:

<р(х-у) = Ф>у)+2-я--к(х,у), где <р(х,у)в[о, 2-я) — фаза, свернутая по модулю 2-я-; ф(х,у)в{гМ,М), где М -велико, развернутая фаза; к{х,у}ег.

Обозначим через ж векторное поле градиента функции <р(х,у). Проблема восстановления развернутой фазы формально сводится к поиску функции Ф(х,у) такой, что ее градиент в каждой точке совпадает с 1радиентом исходной функции <р(х,у):

V ф =

Очевидно, что при такой постановке задачи возможно найти функцию ф(х,у) с точностью до константы.

Для получения функции ф(х,у) достаточно проинтегрировать градиент « вдоль произвольного непрерывного пути, соединяющего точки изображения, начиная с некоторой фиксированной точки р0. Результат для некоторой произвольной точки р может быть записан следующим образом:

где г — единичный касательный вектор к траектории интегрирования поля градиента.

В отсутствие зашумленных участков изображения результат не зависит от пути интегрирования, т. к. в этом случае векторное поле соответствует градиенту развернутой фазы и является потенциальным (\7х$ = 0). При наличии шумов, т. е. точек, где V х « # 0, решение зависит от пути и потому не является единственным.

Развернутая фаза сигнала ф(х,у) может быть преобразована в функцию р{х,у) профиля контролируемого крупногабаритного астрономического зеркала и использована

В третьей главе — «Математическое моделирование адаптивного метода измерения основных геометрических параметров вогнутой оптической поверхности» - рассматривается бесконтактный геометрический метод измерения радиуса кривизны и эксцентриситета вогнутой асферической поверхности второго порядка.

Известно, что общая погрешность результата прямых и косвенных измерений определяется погрешностью выдерживания параметров измерительного средства. В связи с этим оправдано введение нового, адаптивного подхода проведения измерений. При адаптивном подходе определяемыми величинами являются как характеристики объекта, так и параметры ИС, величина которых в действительности не вполне определена. Применение адаптивного метода измерений требует построения ИС таким образом, чтобы можно было выделить три типа параметров: адаптивные, неадаптивные и информативные. Адаптивные параметры — это параметры математической модели ИС, значение которых точно не известно, но интервалы их возможных значений известны. Про неадаптивные параметры можно сказать, что известно их истинное значение или достаточно точное для того, чтобы его можно было считать действительным.

При обработке результатов измерения по некоторому критерию проводится уточнение величины адаптивных и информативных параметров, т. е. решается задача минимизации с целью достижения оптимальных характеристик.

В классическом подходе к проблеме измерений (прямой и косвенные методы) погрешность определения интересующего параметра снижается за

счет повышения требований к средствам измерения задействованных физических величин.

Достоинством адаптивного подхода является возможность снижения требований к точности прямого измерения большинства величин, задействованных в ИС. Значение этих величин будет уточнено при минимизации невязки, т. е. в процессе оптимизационной «подгонки» векторов адаптивных и информативных параметров к условиям, диктуемым известными (неадаптивными) параметрами. Невязка конечно же должна быть составлена с учетом специфики ИС, иметь единственный глобальный минимум в области решения задачи, а начальная неопределенность по всем параметрам не должна препятствовать сходимости метода оптимизации.

Принцип работы моделируемой ИС заключается в следующем: излучение лазера разбивается диафрагмой а на отдельные лучи. Далее каждый луч (например, выходящий из точки 1) фокусируется объективом б, проходит через полупрозрачную пластину в, отражается от измеряемой поверхности г, отражается от полупрозрачной пластины вив итоге через объектив д попадает на регистрирующее устройство е (см. рис. 1). По искажению изображения диафрагмы, причиной которого является измеряемая поверхность, можно судить о ее геометрических параметрах.

Вышеупомянутая диафрагма предназначена для разбиения лазерного пучка на множество отдельных лучей и представляет собой металлическую пластинку с отверстиями, расположенными в узлах квадратной сетки. Диаметр рабочей зоны диафрагмы примерно равен диаметру лазерного пучка. Для удобства настройки автоколлимационного отражения центрального луча

■х

Рис. 1. Принцип работы измерительной системы

от исследуемой оптической поверхности вокруг центрального отверстия предусмотрена область без рабочих отверстий, а для удобства геометрической привязки отсутствует одно из угловых отверстий. Координаты центра каждого из отверстий были измерены с помощью двухкоординатного измерительного прибора «ДИП-6». Для повышения точности наведения на центр отверстия был использован визир с системой концентрических окружностей.

На основе известных законов прохождения луча через оптическую систему в диссертационной работе получены соотношения, связывающие адаптивные, неадаптивные и информативные параметры — взаимосвязь между локальными координатами точек 1 и 2 (см. рис. 1). Для сферической поверхности, заданной уравнением хг +у2 + = К1:

У2 "У,

и У

а*+/>{*) [

>

/пЗС' СО

•/,«•. (4)

где /л — фокусное расстояние объектива б, /пзс — фокусное расстояние объектива д, Л — радиус кривизны поверхности, с12=х2+у, и & = г11-2-/л, гц -сдвиг измеряемой поверхности по оси Ог (см. рис. 1).

Для параболической поверхности, заданной уравнением х2+у2 + 2-Я-(г-г,)=0:

'/тс >

У2=-Уг-

'/тс •

Для гиперболической поверхности, заданной уравнением

2 — -;с1 "Т71 7 ¡Г~ Т /лзт > Л — 777 7 \ ./гас»

где г — эксцентриситет поверхности,

^ I-—-ч2

-Л

На практике координаты точек 7 известны — это заранее измеренные координаты центров отверстий в диафрагме, а координаты соответствующих им точек 2 могут быть измерены регистрирующим устройством е (см. рис. 1). Используя это, можно попытаться восстановить основные геометрические параметры измеряемой поверхности. В общем случае запишем минимизируемую невязку следующим образом:

2 " Е[(*2-^Й.^Лм/шс,«.^,))2 +(%-у&.у{.г* ./дас.*.*.2,))*]-* 0. (5)

I

где индекс / обозначает номер отверстия в диафрагме, (х,',у!) - координаты центра этого отверстия, а (ж- соответствующие им измеренные локальные координаты на регистрирующем устройстве.

Анализ выражений (з) и (4), составленных для случая сферической поверхности, показывает, что невязка (5) будет иметь бесконечное количество

абсолютных минимумов. Действительно, пусть Л" и Д° — истинные значения радиуса кривизны и сдвига измеряемой сферической поверхности из точки (0,0,2-/л). Предположим также, что /л = сот1 и = сот/. Тогда для любых К и Д, удовлетворяющих соотношению

д д»'

координаты точки 2 совпадут с координатами точки 2, вычисленными с использованием и Д°, т. е. фактически будет выполняться

г = о.

Таким образом, решение обратной задачи в постановке (5) не является единственным.

Выходом из этой ситуации служит проведение минимум двух измерений в позициях г'ч и г* с известным базовым расстоянием 8 между ними (см, рис. 2). Геометрические параметры измеряемой поверхности конечно же не меняются, и проблема неоднозначности решения обратной задачи исчезает. Минимизируемая невязка при этом принимает вид:

г = 0, (б) у <

где индекс] обозначает номер позиции проведения съемки.

Рис. 2. Проведение измерений в двух положениях ИС

Акцентируем внимание на том, что адаптивность — главная особенность предлагаемого метода измерения — заключается в отказе от предъявления жестких требований к точности измерений таких параметров, как, например, г,. В натурном эксперименте измерение сдвига контролируемой поверхности по оси Ог с высокой точностью реализовать было бы трудно. Гораздо проще точно измерить параллельный сдвиг ИС на расстояние 5 (см. рис. 2). Далее при решении обратной задачи алгоритм подбирает или адаптирует вектор параметров (/Л,/ЯЗС,Д,г,г,) таким образом, чтобы достигался минимум невязки (б), которая и характеризует качество получаемого решения.

Выбор метода минимизации невязки (б) был проведен с использованием численного моделирования, которое показало, что абсолютные значения производных и на один-два порядка меньше абсолютных значе-

ний производных ^/¿у- и во всех точках области поиска решения.

Такая несбалансированность значений компонентов вектора производных невязки (б) делает неэффективным использование градиентных методов минимизации. Поэтому в качестве метода минимизации необходимо использовать один из известных прямых методов. Выбор был сделан в пользу генетического алгоритма, который и показал себя наилучшим образом.

Серия модельных численных экспериментов подтвердила теоретическую возможность применения предложенного адаптивного подхода в целом и используемой ИС в частности для определения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка.

С помощью численного эксперимента было показано, что увеличение количества съемок не приводит к улучшению точности получаемых результатов. Для точного определения параметров поверхности достаточно провести две съемки с точно измеренным базовым расстоянием 6 между ними.

Еще несколько численных экспериментов позволили оценить точность получаемых результатов для выбранного алгоритма в зависимости от погрешности измерения базового расстояния 3. Показано, что увеличение абсолютной величины базового расстояния позволяет линейно уменьшить негативное влияние погрешности его измерения.

На начальном этапе построение математической модели, т. е. аналитический вывод взаимосвязи между локальными координатами точек 1 и 2 (см. рис. 1), проводилось с учетом предположения об идеальности взаимного расположения и соосности оптических элементов ИС и измеряемой поверхности. В реальных условиях невозможно было бы создать такую ИС и обеспечить такие условия проведения съемки. Поэтому математическая модель была доработана для того, чтобы максимально полно учесть влияние различных искажающих факторов на результат проводимых измерений:

1. Настройка автоколлимационного хода центрального луча диафрагмы проводится при помощи совмещения зондирующего луча, отраженного от измеряемой поверхности, с лучом, выходящим из полупрозрачной пластины. Такое совмещение не может быть проведено идеально точно, поэтому необходимо учесть рассогласование направления центрального зондирующего луча и нормали к измеряемой поверхности в точке пересечения с центральным лучом.

2. При установке объективов б и д (см. рис. 1) возможны их смещения, а также нарушения коллинеарности оптических осей объективов и направления распространения центрального зондирующего луча.

3. Полупрозрачная пластина в (см. рис. 1) имеет конечную толщину, т. е. при прохождении через нее луча необходимо учесть его преломление. Пластина может быть несколько смещена из своего идеального положения.

Натурный эксперимент по измерению основных геометрических параметров оптической поверхности был проведен с использованием доработанной математической модели и сферического пробного стекла с радиусом кривизны 1119 мм. Величина базового расстояния составила 3 мм.

В ходе эксперимента, используя известный радиус кривизны, были определены погрешности установки и взаимной юстировки двух объективов и полупрозрачной пластины, используемых в ИС. Далее была сделана попытка восстановить величину радиуса кривизны, используя полученные параметры. Результаты восстановления радиуса показаны на рис. 3.

Значение радиуса, мм

Рис. 3. Итерационное уточнение радиуса кривизны пробного сферического стекла

Из разных начальных точек запускался численный итерационный процесс определения радиуса кривизны пробного стекла (тонкие линии на рис. 3). Огибающая точек сходимости всех численных процессов (толстая линия на рис. 3) имеет минимум в точке, соответствующей радиусу кривизны 1109,1 мм, т. е. погрешность восстановления радиуса составила почти 10 мм или 0,9% в относительном выражении.

Причин столь большой погрешности несколько:

— базовое расстояние составляет всего 3 мм, т. е. погрешность измерения базового расстояния 3 мкм примерно эквивалентна 1 мм погрешности в определении радиуса кривизны;

— не учтены реальные аберрации объективов.

По результатам проведения натурного эксперимента был сделан вывод о необходимости доработки конструкции ИС с целью ее упрощения и пре-

доставления более широких возможностей юстировки взаимного положения оптических элементов самой ИС.

В заключение отметим, что моделируемый метод является геометрическим, поэтому для повышения точности измерений необходимо использовать информацию о профиле измеряемой поверхности. Такая информация может быть получена компенсационным методом с использованием алгоритма, предложенного во второй главе настоящего исследования.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Разработан алгоритм решения обратной задачи восстановления двумерного фазового распределения амплитудной интерференционной картины, который позволяет наиболее полно реализовать потенциальные возможности компенсационного метода контроля качества изготовления крупногабаритных астрономических зеркал.

2. Проведена оценка методической погрешности предлагаемого алгоритма, максимальное значение которой при оптимальном подборе параметров съемки и обработки составляет величину порядка Л/100, а среднеквадра-тическое отклонение — порядка Я/2000. Разработанный алгоритм является спектральным, поэтому методическая погрешность обусловлена главным образом эффектом Гиббса и максимальных значений достигает на краях информативной части интерферограммы.

3. Показано, что оптимальным при использовании разработанного алгоритма является режим настройки интерферометра, при котором полосы на интерферограмме ориентированы под углом 45° к оси у, а каждая полоса занимает 4-5 элементов разрешения ПЗС-матрицы приемного устройства.

4. Предложенный алгоритм реализован в виде программного комплекса, который в настоящее время успешно используется в производственном процессе в крупнейшем отечественном центре изготовления крупногабаритных оптических элементов — ОАО «Лыткаринский завод оптического стекла». По сравнению с использовавшимся ранее программным обеспечением, разработанный программный комплекс предоставляет возможность получать результаты с более высоким пространственным разрешением, т. е. добиваться большей информативности и точности, а также повышает удобство и скорость обработки амплитудных интерферограмм.

5. Предложен принципиально новый подход к измерению радиуса кривизны и эксцентриситета рабочей поверхности астрономического зеркала с адаптацией по неточно заданным параметрам ИС, т. н. адаптивный метод измерения, в рамках которого разработана математическая модель прохождения лучей через ИС для наиболее часто используемых типов оптических поверхностей: сферической, параболической и гиперболической.

6. Предложен подход к решению обратной задачи измерения основных геометрических параметров вогнутых оптических поверхностей, устраняю-

щий неоднозначность определения информативных параметров, и доказана единственность в случае его использования.

7. На основе эволюционно-генетического алгоритма разработан метод минимизации невязки, характеризующей точность решения обратной задачи. Метод хорошо показал себя при работе с овражными функциями, типичным представителем которых является минимизируемая невязка.

8. Разработан программный комплекс, реализующий обработку результатов измерения основных геометрических параметров крупногабаритных оптических поверхностей адаптивным методом.

9. Проведено имитационное моделирование определения радиуса кривизны и эксцентриситета асферической поверхности, и показана теоретическая достижимость относительной погрешности измерений порядка 0,001% для каждого из параметров.

10. Проведена оценка точности решения обратной задачи определения основных геометрических параметров оптической поверхности для выбранного алгоритма. Наиболее существенно точность зависит от погрешности измерения базового расстояния между двумя съемками. Показано, что увеличение абсолютной величины базового расстояния позволяет частично компенсировать влияние погрешности его измерения.

11. С использованием макетного образца ИС проведена серия натурных измерений радиуса кривизны пробного сферического стекла, обработка результатов которых продемонстрировала сходимость метода и совпадение погрешности измерения с теоретической оценкой.

ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. Чемякин Э.В. Применение фазового метода для измерения рельефа земной поверхности по результатам интерферометрической съемки в сантиметровом диапазоне с борта КЛА // Инженерно-физические проблемы новой техники: Тез. докл. б-го Всерос. совещания-семинара. - М., 2001. -С. 186-188.

2. Чемякин Э.В., Алехнович В.И. Применение двумерного преобразования Фурье для восстановления фазы волнового фронта по статической интерференционной картине // Ломоносов 2003: Тез. докл. X Межд. конф. -М., 2003.-С. 16-17.

3. Чемякин Э.В., Алехнович В.И. Использование преобразования Фурье для определения двумерного распределения фазы статической интерференционной картины // Вестник МГТУ. Естественные науки. — 2004. - № 3(14). -С. 72-78.

4. GRANTECAN telescope МЗ mirror manufacturing I Abdulkadyrov M.A., Alechnovich V.l., Chemjakin E.V. et all // Proceedings of SPIE. - 2004. -№5494.-P. 398-405.

5. Чемякин Э.В. Автоматическое совмещение интерферометрической пары спутниковых РСА изображений с использованием генетического алгоритма И Ломоносов 2005: Тез. докл. XII Межд. конф. - М., 2005. - С. 74.

6. Чемякин Э.В. Автоматическое совмещение интерферометрической пары спутниковых РСА изображений с использованием генетического алгоритма // Исследование Земли из космоса. - 2005. - № 2. — С. 31-39.

7. Алехнович В.И., Чемякин Э.В. Исследование устойчивости адаптивного метода измерения геометрических параметров вогнутых оптических поверхностей // Измерительная техника. — 2005. — № 10. — С. 36-38.

8. Алехнович В.И., Чемякин Э.В. Математическое моделирование процесса адаптивных измерений геометрических параметров оптических компонент // Радиооптические технологии в приборостроении: Тез. докл. 1П Научно-техн. конф. - Сочи, 2005. -13

Подписано к печати 11 сентября 2006. Заказ 387. Объем 1.0 п.л. Тир. 100 экз. Типография МГТУ им. Н.Э. Баумана 16

Соискатель

Чемякин Э.В.

Введение.

Глава 1. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ В ОПТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ.

1.1. Математическое моделирование как метод метрологического обеспечения измерений.

1.2. Математическое моделирование измерений при неполной определенности условий их проведения.

1.3. Примеры оптических измерений, использующих математическое моделирование.

1.4. Обсуждение основных результатов первой главы.

Глава 2. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ.

2.1. Основные методы измерения формы оптической поверхности. Постановка задачи.

2.2. Математическая модель интерференционных измерений формы оптической поверхности.

2.3. Выбор и описание метода решения задачи восстановления формы оптической поверхности.

2.4. Разработка программного комплекса.

2.5. Численный эксперимент.

2.6. Обработка результатов измерения формы астрономического зеркала.

2.7. Представление результатов в виде топографической карты волнового фронта.

2.8. Выводы ко второй главе.

Глава 3. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ АДАПТИВНОГО МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЯ ОСНОВНЫХ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ

ПАРАМЕТРОВ ВОГНУТОЙ ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ.

3.1. Геометрический ход лучей в идеализированной измерительной системе. Решение прямой задачи.

3.2. Существование и единственность решения обратной задачи.

3.3. Выбор метода минимизации.

3.4. Описание генетического алгоритма.

3.5. Численные эксперименты.

3.5.1. Эксперимент

3.5.2. Эксперимент 2.

3.5.3. Эксперимент 3.

3.5.4. Эксперимент 4.

3.6. Уточнение математической модели измерительной системы. Учет искажающих факторов.

3.6.1. Учет искажающих факторов. Автоколлимационный ход центрального луча.

3.6.2. Учет искажающих факторов. Конечная толщина полупрозрачной пластины и неточность в установке объектива.

3.6.3. Учет искажающих факторов. Неточность в установке выходного объектива.

3.7. Обработка результатов лабораторного эксперимента адаптивного измерения радиуса кривизны сферической поверхности.

3.8. Выводы к третьей главе.

Выводы.

Актуальность темы. Крупногабаритные вогнутые зеркала со сферической, параболической или гиперболической рабочей поверхностью являются главным оптическим компонентом телескопов астрономических обсерваторий, ли-даров и других инструментов, используемых для получения информации об окружающей среде и мире в целом. Современные астрономические и атмосферные исследования, задачи дистанционного зондирования поверхности Земли в видимой части спектра требуют высокоточного изготовления рабочей поверхности зеркала для полной реализации теоретически заложенных возможностей научно-исследовательских и коммерческих систем. Срок службы подобных систем исчисляется годами, а в некоторых случаях и поколениями исследователей, достоверность открытий которых зависит, в том числе, и от практических возможностей используемого инструментария.

Требования к пространственно-угловой разрешающей способности современных оптических систем постоянно повышаются. Обеспечение этих требований достигается в частности путем увеличения относительных отверстий и диаметров зеркал, а также повышением точности придания нужной формы рабочим поверхностям главного и вторичного зеркал. Изготовить оптическую поверхность можно лишь с той точностью, с какой возможно проконтролировать эффект от воздействия обрабатывающего инструмента. В случае с крупногабаритными астрономическими зеркалами задача контроля может быть разбита на две подзадачи:

1. Количественный контроль качества изготовления рабочей поверхности детали. Повышение качества рабочих поверхностей зеркал особенно важно для космических телескопов, которым необходимо обеспечивать разрешение на дифракционном уровне [1]. В этом случае, например, для двухзеркального телескопа, необходимо обеспечить оптическое качество зеркал со среднеквадратичной погрешностью не более 0,03 рабочей длины волны [2]. Технологический процесс изготовления крупногабаритного вогнутого зеркала можно считать итерационным: «формообразование оптической поверхности - анализ формы поверхности». Оптимальность задания режима следующего этапа обработки поверхности во многом зависит от точности производственного контроля изменений, произошедших с поверхностью за время проведения предыдущего этапа.

2. Измерение основных геометрических параметров итоговой оптической поверхности: радиуса кривизны, а для асферических поверхностей второго порядка еще и эксцентриситета. Речь идет о полированных поверхностях оптических деталей, микронеровности которых значительно меньше длины волны света. В техническом задании на изготавливаемую поверхность записывается диапазон приемлемых значений радиуса кривизны и эксцентриситета, но окончательное значение геометрических параметров, воплощенное в конкретном крупногабаритном зеркале, требует уточнения.

Точное знание основных геометрических параметров необходимо для корректировки элементов конструкции и параметров проектируемого инструмента в целом.

Изготовление крупногабаритного астрономического зеркала представляет серьезную технологическую трудность, которая связана с большим размером оптической поверхности при высоких требованиях к ее качеству. Площадь современных зеркал исчисляется квадратными метрами, а форма его поверхности должна быть выдержана с точностью, исчисляемой сотыми долями микрона.

Вспомним некоторые общие требования, предъявляемые специалистами-оптиками к современным методам измерений [3]:

Первое требование - точность. Самой насущной задачей является создание астрономической оптики, которая по своему качеству приближалась бы к теоретическим возможностям. Например, при оценке качества изготовления рабочей поверхности детали может быть использован критерий Шеффлера [3], согласно которому среднеквадратическая ошибка оптической поверхности не должна превышать 0,03 мкм. Если потребовать, чтобы методы контроля обеспечивали точность в 3 раза лучше, то получаем, что среднеквадратичная ошибка метода контроля должна составлять 0,01 мкм.

Второе требование - полнота получаемой информации, которая может быть достигнута при одновременном получении сведений о всей оптической поверхности, т. е. результатом контроля должна быть карта всей оптической поверхности, показывающая нормальные уклонения. Это требование связано с тем, что для астрономических зеркал наиболее типичны локальные ошибки.

Третье требование - информация о форме оптической поверхности должна быть количественной.

Четвертое требование - объективность и документальность. Это означает, что исследования должны проводиться объективными методами и дать в итоге документ, который можно анализировать с нужной точки зрения.

В рамках изложенных выше требований рассмотрим разные классы методов контроля. Разделим методы на контактные и бесконтактные. В контактных методах контроля измерительный прибор приводится в соприкосновение с оптической поверхностью. Контактные методы не отвечают ни первому, ни второму требованию к методам контроля. Точность этих методов невысока и зависит от конкретной реализации, а при их использовании существует опасность повреждения контролируемой поверхности. Общим недостатком контактных методов контроля является также то, что они не дают одновременной информации о состоянии всей поверхности, т. е. получаемые сведения часто относятся к какому-либо одному профилю на оптической поверхности, и большая продолжительность процесса контроля.

Бесконтактные методы можно разделить по принципу работы измерительного прибора на два типа: геометрические и волновые. Большинство создаваемых сегодня методов измерений являются бесконтактными. В рамках настоящей диссертационной работы будем следовать этой тенденции.

Среди существующих методов количественного контроля качества изготовления рабочей поверхности крупногабаритных астрономических зеркал необходимо особенно выделить «компенсационный метод», который получил такое название благодаря линзовому компенсатору, используемому в оптической схеме [4]. Метод является интерференционным, т. е. по приведенной выше классификации бесконтактным волновым. Интерференционные методы измерений, как известно, являются наиболее точными, т.к. позволяют проводить измерения с точностью до долей длины волны используемого источника когерентного излучения. В качестве результата проведения измерения можно рассматривать цифровую амплитудную интерференционную картину. Актуальной является задача восстановления с минимальными потерями фазового распределения такой картины.

Что касается методов измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка, то их рассмотрим поподробнее.

Например, измерение радиуса кривизны с использованием кольцевого сферометра требует контакта с измеряемой поверхностью и сводится к определению стрелки прогиба h контролируемой поверхности и вычислению радиуса кривизны по формуле [5]: где R - искомый радиус кривизны для выпуклой (вогнутой) поверхности, г -радиус кольца и р - радиус шарика. Последние два параметра являются конструктивными и аттестуются заводом-изготовителем с высокой точностью, поэтому систематическими погрешностями можно пренебречь и погрешности измерения считать случайными. Метод является контактным и обладает всеми вышеописанными недостатками.

Бесконтактный интерференционный метод позволяет путем сравнения с эталонной поверхностью быстро контролировать радиус кривизны исследуемой поверхности [5]. Интерференционная картина может наблюдаться и невооруженным глазом. Зная число колец, наблюдаемых в поле зрения прибора вначале от эталонной, а затем от контролируемой поверхности, можно вычислить разность радиусов кривизны проверяемой и эталонной поверхностей.

Метод хорош в том случае, если в наличии имеется эталонная поверхность с заранее измеренными геометрическими параметрами. Вопрос о том, где взять эталонную поверхность остается открытым.

Фокусное расстояние длиннофокусных оптических систем можно измерить дифракционным методом с погрешностью ОД % и лучше [6]. В случае со сферическим или параболическим зеркалом измерение фокусного расстояния эквивалентно измерению радиуса кривизны.

Метод основан на использовании двухщелевой диафрагмы и оптического клина с небольшим (несколько угловых минут) углом при вершине. Введение клина в геометрический ход лучей измерительной системы приводит к смещению дифракционного изображения щели в фокальной плоскости контролируемой системы в поперечном направлении на величину d. Это смещение может быть измерено с помощью микроскопа.

Фокусное расстояние исследуемой оптической системы определяется по формуле: f=tg[(n-1) <рУ где d - расстояние между положениями сфокусированных пучков в фокальной плоскости исследуемой оптической системы; п - показатель преломления стекла клина; ср - угол при вершине клина.

Очевидно, что простота измерений данным методом обеспечивается предварительным выполнением очень сложных измерений на уникальном оборудовании при определении угла клина и показателя преломления его материала.

Автоколлимационный метод измерения радиуса кривизны основан на зеркальном отражении лучей, идущих из центра кривизны полированной поверхности. Измерения сводятся к определению разности отсчетов для двух положений окуляра зрительной трубы, сфокусированной на бесконечно удаленный предмет и на автоколлимационное изображение перекрестия окуляра, которое получают от поверхности контролируемой детали, помещенной перед объективом трубы. Точность измерения радиуса кривизны зависит от точности отсчетных устройств, точности знания фокусного расстояния автоколлимационной зрительной трубы и чувствительности продольной наводки.

Проведение измерений автоколлимационным методом значительно усложняется для деталей с радиусом кривизны несколько десятков метров: достаточно сложно технически реализовать высокоточное отсчетное устройство продольной наводки с диапазоном измерений несколько десятков метров.

Существует также метод колец Ньютона, который предназначен для измерения больших радиусов кривизны выпуклых и вогнутых сферических поверхностей [7]. Для получения колец Ньютона на контролируемую поверхность накладывают плоскую эталонную пластинку. Радиус кривизны проверяемой поверхности вычисляют по формуле: n Dl-D] -7-\ 5

4 Л {тг - тх) где D2 и Д - диаметры колец Ньютона соответственно с номерами т2 и т1. Погрешность метода зависит, главным образом, от погрешности установки перекрестия микроскопа на середину интерференционной полосы.

Метод является контактным и, конечно же, при проведении измерений есть опасность повредить исследуемую поверхность.

С невысокой точностью радиус кривизны сферической поверхности также можно измерить при помощи «оптико-цифрового метода» [8]. Метод является бесконтактным геометрическим и для нахождения радиуса кривизны использует зарегистрированные телекамерой искажения изображения щели, сформированного на контролируемой сферической поверхности. Метод не претендует на высокие точности получаемых результатов, т.к. для офтальмологических исследований погрешность несколько процентов является приемлемой. Интересной и перспективной кажется сама идея использования искажения геометрии известного объекта (щель) для определения некоторого информативного параметра (радиус кривизны роговицы глаза).

В связи с написанным выше актуальна задача разработки высокоточного бесконтактного метода измерения радиуса кривизны и особенно эксцентриситета асферической поверхности второго порядка.

Целью настоящей диссертационной работы является разработка алгоритма и программного комплекса определения двумерного фазового распределения амплитудной интерференционной картины, а также разработка математической модели и метода адаптивного измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка.

В соответствии с этой целью решаются следующие задачи:

- выбор метода решения обратной задачи восстановления фазы интерференционной картины;

- оценка методической погрешности выбранного алгоритма фазовой демодуляции амплитудной интерферограммы;

- выбор метода решения обратной задачи измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка;

- оценка точности измерения радиуса кривизны и эксцентриситета для выбранного алгоритма и реальных погрешностей исходных данных.

При проведении исследования использовались такие методы как:

• математическое моделирование интерференционных измерений, в результате которого была оценена методическая погрешность предлагаемого алгоритма демодуляции интерферограмм;

• проведение и обработка результатов интерференционных измерений формы поверхности крупногабаритного астрономического зеркала интерферометром схемы Тваймана-Грина с использованием линзового компенсатора профессора Д.Т. Пуряева;

• математическое моделирование нового адаптивного метода измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка, для которого была доказана единственность решения задачи измерения радиуса кривизны и эксцентриситета оптической поверхности, а также оценена устойчивость предлагаемого метода к погрешности исходных данных.

Научная новизна проведенного исследования заключается в достижении следующих результатов:

1) разработан алгоритм восстановления с минимальной погрешностью двумерного распределения фазы статической интерференционной картины;

2) проведено численное моделирование контролируемой поверхности и интерференционных измерений, позволившее определить методическую погрешность разработанного алгоритма в зависимости от величины пространственных частот;

3) определены оптимальные параметры настройки интерферометра при проведении технологического контроля качества изготовления крупногабаритных астрономических зеркал;

4) разработана математическая модель нового метода адаптивного измерения основных геометрических параметров вогнутых асферических поверхностей второго порядка;

5) проведено численное моделирование нового адаптивного метода для случаев измерения основных геометрических параметров наиболее часто используемых видов поверхностей: сферической, параболической и гиперболической;

6) проведена оценка погрешности измерения геометрических параметров поверхности в зависимости от погрешности измерения неадаптивных параметров.

Основные положения работы, выносимые на защиту:

1) использование двумерного преобразования Фурье позволяет с высокой точностью восстановить двумерное фазовое распределение статической интерференционной картины;

2)аподизация спектра исходной интерференционной картины на этапе спектральной фильтрации позволяет снизить методическую погрешность алгоритма восстановления фазы;

3) использование адаптивного подхода к проблеме измерений позволяет уменьшить влияние инструментальных погрешностей контролирующего прибора на точность измерения основных геометрических параметров оптических поверхностей;

4) теоретическое обоснование единственности решения обратной задачи с использованием предложенной измерительной схемы;

5) обоснование точности измерения радиуса кривизны и эксцентриситета оптических поверхностей при адаптивном подходе.

Практическая значимость проведенного исследования состоит в разработке программного комплекса, предназначенного для автоматизированной обработки результатов интерференционных измерений. По сравнению с программным обеспечением, ранее использовавшимся в ведущем отечественном центре изготовления крупногабаритных оптических элементов, разработанный программный комплекс позволяет добиваться более высокого пространственного разрешения, большей точности получаемых результатов, а также обладает преимуществами с точки зрения удобства и скорости обработки амплитудных интерференционных картин.

Внедрение результатов диссертационной работы. Разработанный программный комплекс в настоящее время успешно используется в ведущем отечественном центре изготовления крупногабаритных оптических элементов -ОАО «Лыткаринский завод оптического стекла». Внедрение результатов диссертационной работы подтверждается соответствующими актами.

Апробация работы. Основные положения диссертационной работы представлялись на 6-ом Всероссийском совещании-семинаре «Инженерно-физические проблемы новой техники» (Москва, 2001), X и XII Международных конференциях «Ломоносов» (Москва, 2003 и 2005) и на III Научно-технической конференции «Радиооптические технологии в приборостроении» (Сочи, 2005).

Структура и объем диссертации. Работа состоит из введения, трех глав, выводов, списка литературы из 79 наименований и приложения; изложена на 146 стр., включая 3 табл. и 46 рис.

Выводы

1. Разработан алгоритм решения обратной задачи восстановления двумерного фазового распределения амплитудной интерференционной картины, который позволяет наиболее полно реализовать потенциальные возможности компенсационного метода контроля качества изготовления крупногабаритных астрономических зеркал.

2. Проведена оценка методической погрешности предлагаемого алгоритма, максимальное значение которой при оптимальном подборе параметров съемки и обработки составляет величину порядка Я/100, а среднеквадратиче-ское отклонение - порядка Я/2000. Разработанный алгоритм является спектральным, поэтому методическая погрешность обусловлена главным образом эффектом Гиббса и максимальных значений достигает на краях информативной части интерферограммы.

3. Показано, что оптимальным при использовании разработанного алгоритма является режим настройки интерферометра, при котором полосы на интерферограмме ориентированы под углом 45° к оси^, а каждая полоса занимает 4-5 элементов разрешения ПЗС-матрицы приемного устройства.

4. Предложенный алгоритм реализован в виде программного комплекса, который в настоящее время успешно используется в производственном процессе в крупнейшем отечественном центре изготовления крупногабаритных оптических элементов ОАО «Лыткаринский завод оптического стекла». По сравнению с использовавшимся ранее программным обеспечением, разработанный программный комплекс предоставляет возможность получать результаты с более высоким пространственным разрешением, т. е. добиваться большей информативности и точности, а также повышает удобство и скорость обработки амплитудных интерферограмм.

5. Предложен принципиально новый подход к измерению радиуса кривизны и эксцентриситета рабочей поверхности астрономического зеркала с адаптацией по неточно заданным параметрам ИС, т. н. адаптивный метод измерения, в рамках которого разработана математическая модель прохождения лазерных лучей через ИС для наиболее часто используемых типов оптических поверхностей: сферической, параболической и гиперболической.

6. Предложен подход к решению обратной задачи измерения основных геометрических параметров вогнутых оптических поверхностей, устраняющий неоднозначность определения информативных параметров, и доказана единственность в случае его использования.

7. На основе эволюционно-генетического алгоритма разработан метод минимизации невязки, характеризующей точность решения обратной задачи. Метод хорошо показал себя при работе с овражными функциями, типичным представителем которых является минимизируемая невязка.

8. Разработан программный комплекс, реализующий обработку результатов измерения основных геометрических параметров крупногабаритных оптических поверхностей адаптивным методом.

9. Проведено имитационное моделирование определения радиуса кривизны и эксцентриситета асферической поверхности, и показана теоретическая достижимость относительной погрешности измерений порядка 10"3 % для каждого из параметров.

10. Проведена оценка точности решения обратной задачи определения основных геометрических параметров оптической поверхности для выбранного алгоритма. Наиболее существенно точность зависит от погрешности измерения базового расстояния между двумя съемками. Показано, что увеличение абсолютной величины базового расстояния позволяет частично компенсировать влияние погрешности его измерения.

11. С использованием макетного образца ИС проведена серия натурных измерений радиуса кривизны пробного сферического стекла, обработка результатов которых продемонстрировала сходимость метода и совпадение погрешности измерения с теоретической оценкой.

В заключение автор выражает благодарность научному руководителю: к.т.н, доценту Алехновичу В.И. - за постоянную помощь при написании работы; коллективу 95 отделения ЗАО «Лыткаринский завод оптического стекла» в лице: Абдулкадырова М.А., Патрикеева В.Е., к.т.н. Семенова А.П. и Шарова Ю.А. за внимательное отношение к настоящей работе и полезные советы.

Отдельные слова благодарности автор произносит Сергиевой З.М., неустанная поддержка которой способствовала доведению работы до логического завершения.

1. Рябова Н.В., Захаренков В.Ф. Активная и адаптивная оптика в крупногабаритных телескопах // Оптический журнал. 1992. - Т. 59, № 12. - С. 5-32.

2. Мирошников М.М., Любарский С.В., Химич Ю.П. Зеркала оптических телескопов // Оптико-механическая промышленность. 1990. - Т. 57, № 9. -С. 3-18.

3. Витриченко Э.А. Методы исследования астрономической оптики. М.: Наука, 1980.- 152 с.

4. Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. -М.: Машиностроение, 1976. 262 с.

5. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения: Учебник для вузов. / Под ред. проф. Д.Т. Пуряева М.: Машиностроение, 1987. -264 с.

6. Мещеряков В.И., Синельников М.И., Филиппов O.K. Измерение фокусных расстояний длиннофокусных оптических систем // Оптический журнал. -1999. Т. 66, № 5. - С. 92-94.

7. Афанасьев В.А. Оптические измерения: Учебник для вузов. / Под ред. проф. Д.Т. Пуряева М.: Высшая школа, 1981.-229 с.

8. Оптико-цифровой метод измерения радиуса кривизны сферических поверхностей / В.Г. Баранов, Н.Ю. Ильясова, В.В. Котляр и др. // Компьютерная оптика. 2000. - Вып. 20. - С. 111-117.

9. Дворяшин Б.В. Основы метрологии и радиоизмерения: Учебное пособие для вузов. М.: Радио и связь, 1993. - 320 с.

10. Назаров Н.Г. Метрология. Основные понятия и математические модели: Учебное пособие для вузов. М.: Высшая школа, 2002. - 348 с.

11. Пфанцагль И. Теория измерений. М.: Мир, 1976. - 248 с.

12. Теребиж В.Ю. Введение в статистическую теорию обратных задач. -М.: ФИЗМАТЛИТ, 2005. -376 с.

13. Лукьянов Д.П., Корниенко А.А., Рудницкий Б.Е. Оптические адаптивные системы. / Под ред. Д.П. Лукьянова М.: Радио и связь, 1989. - 240 с.

14. Голубовский Ю.М. Аттестация угломерного прибора при помощи поворачивающегося стеклянного клина // Оптический журнал. 1997. - Т. 64, № 9. -С. 40-42.

15. Герасимова Л.А. Новый интерференционный метод измерения толщины и показателя преломления тонких пленок // Оптический журнал. 1998. - Т. 65, № 2. - С. 78-82.

16. Кизиветтер Д.В. Оптический способ измерения толщины прозрачных пластин с рассеивающей поверхностью // Оптический журнал. 2003. - Т. 70, № 1. - С. 72-73.

17. Иванов В.Н., Коломиец А.С. Измерение углового смещения лазерного пучка // Оптический журнал. 1997. - Т. 64, № 8. - С. 79-81.

18. Максутов Д.Д. Астрономическая оптика. Л.: Наука, 1979. - 395 с.

19. Marechal A. Etude des effect combines de la diffraction et des aberrations ge-ometriques sur L'image d'un point lumineux // Revue d'Optique. 1947. - Vol. 26. -P. 257-277.

20. Максутов Д.Д. Теневые методы исследования оптических систем. М. - Л.: Государственное технико-теоретическое издательство, 1934. - 171 с.

21. Максутов ДД. Изготовление и исследование астрономической оптики. -М.-Л.: ОГИЗ, 1948.

22. Автоматизированные методы контроля оптических поверхностей / В.А. Горшков, В.И. Новикас, А.В. Подобрянский и др. // Оптико-механическая промышленность. 1980. - Т. 47, № 2. - С. 37-43.

23. Копылов И.М., Коровяковский Ю.П. Результаты цеховых испытаний шестиметрового зеркала большого азимутального телескопа // Оптико-механическая промышленность. 1977. - Т. 44, № 10. - С. 3-5.

24. Математические основы гармановского теста главного зеркала БТА / В.А. Зверев, С.А. Родионов, М.Н. Сокольский, В.В. Усоскин // Оптико-механическая промышленность. 1977. - Т. 44, № 2. - С. 18-22.

25. Оптический производственный контроль. / Под ред. Д. Малакары; Пер. с англ. Е.В. Мазуровой и др.; Под ред. А.Н. Соснова М.: Машиностроение, 1985.-400 с.

26. Снежко Л.И. О точности метода Гартмана при исследовании асферических волновых фронтов // Оптико-механическая промышленность. 1980. - Т. 47, №9.-С. 1-3.

27. Технологический контроль главного зеркала БТА методом Гартмана / В.А. Зверев, С.А. Родионов, М.Н. Сокольский, В.В. Усоскин // Оптико-механическая промышленность. 1977. - Т. 44, № 3. - С. 3-5.

28. Щеглов П.В. Об одной модификации метода Гартмана // Астрономический циркуляр. 1977. - № 954. - С. 2-5.

29. Пуряев Д.Т., Горшков В.А. Интерферометр ИКАП-2 для контроля качества астрономических зеркал // Оптико-механическая промышленность. 1980. -Т. 47, № 12.-С. 17-20.

30. Пуряев Д.Т., Шандин Н.С. Расчет линзовых компенсаторов для контроля вогнутых астрономических зеркал крупных телескопов // Оптико-механическая промышленность. 1979. - Т. 46, № 4. - С. 21-23.

31. Исимару А. Распространение и рассеяние волн в случайно неоднородных средах; В 2-х томах. М.: Мир, 1981. - Т. 1. - 598 с.

32. Ахманов С.А., Дьяков Ю.Е., Чиркин А.С. Введение в статистическую радиофизику и оптику. М.: Наука, 1981. - 640 с.

33. Гудмен Дж. Статистическая оптика. М.: Мир, 1988. - 528 с.

34. Перина Я. Квантовая статистика линейных и нелинейных оптических явлений. М.: Мир, 1987. - 368 с.

35. Губин В.Б. Лекции по математическим методам восстановления формы оптических поверхностей по интерферограммам. М.: Изд-во РУДН, 1995. -247 с.

36. Jozwicki R., Kujawinska М., Salbut L. New contra old wavefront measurement concepts for interferometric optical testing // Optical Engineering. 1992. - Vol. 31, №3.-P. 422-433.

37. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике. М.: Наука, 1974. - 832 с.

38. Мазанько И.П., Швец Ю.И. Принципы преобразования и детектирования оптических сигналов. М.: Изд-во МФТИ, 2001. - 144 с.

39. Takeda М., Ina Н., Kobayashi S. Fourier-transform method of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry // Journal of Optical Society of America. 1982. -№ 72. - P. 156-160.

40. Macy W.W. Two-dimensional fringe-pattern analysis //Applied Optics. 1983. -Vol. 22, № 23. - P. 3898-3901.

41. Bone D.J., Bachor H.A., Sandeman R.J. Fringe-pattern analysis using a 2-D Fourier transform // Applied Optics. 1986. - Vol. 25, № 10. - P. 1653-1660.

42. Coordinate-transform technique for closed-fringe analysis by the Fourier-transform method / Z. Ge, F. Kobayashi, S. Matsuda, M. Takeda // Applied Optics. -2001. Vol. 40, № 10. - P. 1649-1657.

43. Nugent K.A. Interferogram analysis using an accurate fully automatic algorithm //Applied Optics. 1985. - Vol. 24, № 18. - P. 3101-3105.

44. Roddier C., Roddier F. Interferogram analysis using Fourier techniques // Applied Optics. 1987. - Vol. 26, № 9. - P. 1668-1673.

45. Чемякин Э.В., Алехнович В.И. Использование преобразования Фурье для определения двумерного распределения фазы статической интерференционной картины // Вестник МГТУ. Естественные науки. 2004. - № 3(14). - С. 72-78.

46. Чемякин Э.В., Алехнович В.И. Применение двумерного преобразования Фурье для восстановления фазы волнового фронта по статической интерференционной картине // Ломоносов 2003: Тез. докл. X Межд. конф. М., 2003. -С. 16-17.

47. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. - 719 с.

48. Chen C.W., Zebker H.A. Network approaches to two-dimensional phase unwrapping: intractability and two new algorithms // Journal of Optical Society of America. A. 2000. - Vol. 17, № 3. - P. 401-414.

49. Constantini M. A novel phase unwrapping method based on network programming // IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing. 1998. - Vol. 36, № 3. - P. 813-821.

50. Constantini M., Farina A., Zirilli F. A fast phase unwrapping algorithm for SAR interferometry // IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing. 1999. -Vol. 37, № l.-P. 452-460.

51. Davidson G.W., Bamler R. Multiresolution phase unwrapping for SAR interferometry // IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing. 1999. - Vol. 37, № l.-P. 163-173.

52. Dias J.M., Leitao J.M. The Z л M algorithm: a method of interferometric image reconstruction in SAR/SAS // IEEE Transactions on Image Processing. 2002. -Vol. 11, №4.-P. 408-422.

53. Flynn T.J. Two-dimensional phase unwrapping with minimum weighted discontinuity // Journal of Optical Society of America. A. 1997. - Vol. 14, № 10. -P. 2692-2701.

54. Ghiglia D., Romero L. Robust two-dimensional weighted and unweighted phase unwrapping that uses fast transforms and iterative methods // Journal of Optical Society of America. A. 1994. - Vol. 11, № 11.-P. 107-117.

55. Hubig M., Suchandt S., Adam N. Equivalence of cost generators for minimum cost flow phase unwrapping // Journal of Optical Society of America. A. 2002. -Vol. 19, № l.-P. 64-70.

56. Lyuboshenko I.V., Maitre H., Maruani A. Least-mean-squares phase umwrapping by use of an incomplete set of residue branch cuts // Applied Optics. 2002. -Vol. 41, № 11.-P. 2129-2148.

57. Pritt M.D., Shipman J.S. Least-squares two-dimensional phase unwrapping using FFT's // IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing. 1994. - Vol. 32, №3.-P. 706-708.

58. Spagnolini U. Two-dimensional phase unwrapping and instantaneous frequency estimation // IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing. 1995. -Vol. 33, №3.-P. 579-589.

59. Strand J., Taxt T. Two-dimensional phase unwrapping using robust derivative estimation and adaptive integration // IEEE Transactions on Image Processing. -2002. Vol. 11, № 10. - P. 1192-1200.

60. Trouve E., Nicolas J.-M., Maitre H. Improving phase unwrapping techniques by the use of local frequency estimates // IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing. 1998.-Vol. 36, №6.-P. 1963-1971.

61. Xu W., Cumming I. A region-growing algorithm for InSAR phase unwrapping //IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing. 1999. - Vol. 37, № 1. -P. 124-134.

62. Schaham M. Precision optical wavefront measurement // SPIE. 1981. -№306.-P. 183-191.

63. Зоммерфельд А. Дифференциальные уравнения в частных производных физики. М.: Изд-во Иностранной литературы, 1950. - 458 с.

64. Автоматизированное производство крупногабаритной астрономической и космической оптики / М.А. Абдулкадыров, С.П. Белоусов, А.Н. Игнатов и др. // Оптический журнал. 1999. - Т. 66, № 1. - С. 80-84.

65. GRANTECAN telescope МЗ mirror manufacturing / М.А. Abdulkadyrov, V.I. Alechnovich, E.V. Chemjakin et all // Proceedings of SPIE. 2004. - № 5494. -P. 398^105.

66. Духопел И.И. Интерференция и интерферометрия // Оптический журнал. -1999. Т. 66, № 3. - С. 115-133.

67. Алехнович В.И., Чемякин Э.В. Математическое моделирование процесса адаптивных измерений геометрических параметров оптических компонент // Радиооптические технологии в приборостроении: Тез. докл. III Научно-техн. конф. Сочи, 2005. - 190-193.

68. Курейчик В.М. Генетические алгоритмы и их применение. Таганрог: Изд-во ТРГУ, 2002. - 242 с.

69. Лазерный оптико-акустический анализ многокомпонентных газовых смесей. /В.И. Козинцев, М.Л. Белов, В.А. Городничев, Ю.В. Федотов М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003. - 352 с.

70. Cantu-Paz Е. Efficient and accurate parallel genetic algorithms. Kluwer Academic Publishers, 2001. - 167 p.

71. Goldberg D.E. Genetic algorithms in search, optimization and machine learning. Addison-Wesley, 1989. -412 p.

72. Haupt R.L., Haupt S.E. Practical genetic algorithms. John Wiley & Sons Inc., 2004. - 260 p.

73. Mitchell M. An introduction to genetic algorithms. The MIT Press, 1999. -162 p.

74. Былинович П.А. Многохромосомная оптимизация оценки качества программных средств // Автоматизация проектирования. 1999. - № 1. - С. 15-21.

75. Чемякин Э.В. Автоматическое совмещение интерферометрической пары спутниковых РСА изображений с использованием генетического алгоритма // Исследование Земли из космоса. 2005. - № 2. - С. 31-39.

76. Чемякин Э.В. Автоматическое совмещение интерферометрической пары спутниковых РСА изображений с использованием генетического алгоритма // Ломоносов 2005: Тез. докл. XII Межд. конф. М., 2005. - С. 74.

77. Алехнович В.И., Чемякин Э.В. Исследование устойчивости адаптивного метода измерения геометрических параметров вогнутых оптических поверхностей // Измерительная техника. 2005. - № 10. - С. 36-38.

78. ОСТ 3-5476-83. Объективы. Классификация ошибок волнового фронта и погрешностей изготовления оптических деталей. М.: Изд-во стандартов, 1983. -51 с.