автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.16, диссертация на тему:Измерительные преобразователи систем контроля параметров многополюсных электрических цепей

кандидата технических наук
Андреев, Александр Николаевич
город
Самара
год
1993
специальность ВАК РФ
05.11.16
Автореферат по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам на тему «Измерительные преобразователи систем контроля параметров многополюсных электрических цепей»

Автореферат диссертации по теме "Измерительные преобразователи систем контроля параметров многополюсных электрических цепей"

самарский государственный технический университет

На правах рукописи

АНДРЕЕВ Александр Николаевич

удк 621.217.799

ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ МНОГОПОЛЮСНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ЦЕПЕЙ

Специальность 05.11.16 — «Информационно-измернтельные системы» (в промышленности)

Автореферат дпссср!аш:и на соискание ученой степени кандидата технических наук

самара 1993

Работа выполнена в Пензенском региональном центре высшей школь; Пензенского государственного технического университета.

Научный руководитель — кзндндат технических наук, доцент В. И. Чернецов.

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор С. П. Орлов;

кандидат технических наук, доцент Б. Л. Свистунов.

Ведущее предприятие указано в решении специализированного совета.

Зашита сосюится з {Ф часов 28 декабря 1993 года на заседании специализированного совета Д 063.16.01 Самарского гоеударстнемного технического университета по адресу: 443010, г. Самара, ул. Гидам поповская, 141, я ул. 23.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Самарского государственного технического уннзкренгетл по адресу: ул. Первомайская, 18.

Автореферат разослан « Ь ^ 1993 года.

Ученый секретарь

специализированного совета, доцент

^т/

В. Г. Жироа

ОНДАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОШ

Актуальность работы. Ускорение научно-технического прогресса связано с разработкой и совершенствованием средств, способных обеспечить сбор и.переработку интенсивных потоков измерительной информации. Такими средствами являются инфорыаиионно-измеритель-ньге системы (ИИС).

Одним из основных сдерживавших факторов качественного совершенствования ИИС является недостаточное развитие их аналоговой ччрти, выполняющей восприятие измерительного сигнала с объекта измерения, его первичную обработку с целью минимизации влияния внешних воздействий и параметров объекта, не подлежащих измерению и контролю, и преобразование информации в унифицированный сигнал для дальнейшей переработки,'осуществляемой*как правило, в цифровой части ИИС. Основным функциональным элементом аналоговой части ИИС являются измерительные преобразователи (ИП), на которые и возлагается обеспечение перечисленных требований.

Известные технические решения зачастую не удовлетворяют всему комплексу проблем, стоящих перед ИП для-ИИС, поэтому поиск новых и совершенствование известных методов и средств преобразования параметров реальных физических объектов в унифицированные сигналы является актуальной задачей.

Решение данной задачи требует проведения анализа электрической модели реального физического объекта,.эквивалентная схема замещения которого, как правило, - многополюсная электрическая цепь (Ю10, выявление её топологической структуры, способов включения МЭЦ в измерительную схему (ИС) преобразователя, алгоритмов инвариантного преобразования сигнала ИС в унифицированные сигналы. ,

Указанные обстоятельства и определили выбор направления диссертационной работы.

Цель работы и задачи исследования. Разработка, теоретическое и экспзриментальное исследование инвариантных ИП параметров различных объектов исследования, описываемых с пом судью МЭЦ, значения элементов которого однозначно определены искомыми параметрами исследуемого объекта, и превосходящих известные по совокупности технических характеристик; реализация на базе предло-

женных технических решений ДОС для измерения параметров различных неэлектрических величин, контроля и диагностики исправности состояния радиоэлектронных схем и полупроводниковых материалов.

Методы исследования основываются на использовании положений теории линейных и нелинейных электрических иепей. При анализе методов получения информации о параметрах МЭЦ и синтезе алгоритмов преобразования использовалась теория инвариантности, при исследовании преобразователей использованы аналитические методы расчета электрических пепей, математический аппарат преобразования Лапласа, численные методы анализа с использованием ПЭВМ, при метрологической аттестации разработанных преобразователей использовались методы теории вероятности и математической статистики.

Научная новизна работы заключается в следуящем:

1. Предложен обобщенный подход к анализу топологической структуры электрической модели (МЭЦ) реального физического объекта исследования с целью определения измеряемости его параметров.

2. Разработан алгоритм машинного анализа для преобразования топологической структуры ЫЭЦ до упрощенной трехколесной с целью обеспечения условия измеряемости каждой исследуемой ветви ЫЭЦ.

3. Развиты способы включения упрощенной трехполосной цепи

в КС, обеспечивающие получение сигнала определяемого параметрами только исследуемой ветви.

4. Предложены новые и усовершенствованы известные алгоритш инвариантного преобразования параметров линейных и Нелинейных элементов МЭЦ в унифицированные сигналы, в том числе алгоритш диагностики состояния элементарных многополюсников непосредствен!» в составе радиоэлектронной аппаратуры. ■ {

Практическая ценность заключается в следующем:

1. Разработаны и исследованы структуры ИД для получения информации о значениях линейных и нелинейных элементов .МЭЦ, диагностики их исправности. По результатам исследований определен! перспективы использования преобразователя и пути дальнейшего совершенствования.

2. Проведен анализ основных погрешностей разработанных Ш, выработаны рвкоыендат*ии по их инкенерному проектированию и расчету.

3. Ня основе проведенных исследований разработаны и внепре-ны в производство ряп системных блоков и измерительных систем для внутрисхемного контроля операционных усилителей, транзисто ров и других радиоэлементов без их выпаивания из плят, для дистанционного контроля герметичности объектов систем связи, для измерения линейных размеров в процессе изготовления деталей.

Реялизяггия результатов работы. В результате выполнения работы разработаны и внедрены:

- системный блок контроля токя потребления интегральных схем на печатных платах - внедрен в НИИКонтрольприбор (г.Пенза);

- система для контроля и измерения коэффшгиентя усиления по ■ току транзисторов, вмонтированных в схему, - внедрена в ННИКонт-ролъприбор (г.Пенза); «

- система автоматизированногв допускового контроля параметров ' электрических пепей электронного блока экономайзера (ПАК) -внедрена на заводе АТЭ-1 (г.Москва),*.

- блок контроля влажности системы диагностики состояния кон-тейнеря НУП - внедрен в ТУСЙ-1 (г.Пенза);

- измерительный блек системы контроля линейных размеров -внедрен в НИИЭМП г.Пенза. .

Суммарный годовой экономический эффект от внедрения разрабо-тянгах систем измерения и контроля составил 415 тысяч рублей.

Апробация г*боть'. Основные результаты работы были доложены и обсуждены на научно-технической конферештии стран СНГ "Контроль и диагностика радиоэлектронной аппаратуры и изделий электронной техники п (г.Пеняя, 1990 г.), Международной научно технической конферент'ии "Методы и средства опенки и повышения надежности приборов, устройств и систем" (г.Пенза, 1993 г.), Зональных й*учно т^хиичеёки* конференциях и семинарах "Вопросы обеспечения точности мящиноетроитель'е** производств" (г.Пенза, ,1992 г.). и "Статистическая идентификация, прогнозирование и контроль" (г.Севастополь, 1991 г.), на конференциях профессорско-преподавательского состава Пензенского политехнического института.

Публикации. По теме диссертационной работы опубликовано четырнадцать печатных работ, в том числе три авторских свидетельства.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения и четырех глав, выполненных на 129 страницах машинописного текста, иллюстрируемого рисунками и таблицами на 67 страницах. Список литературы иа 89 наименований и три приложения выполнены на 62 страницах.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность и новизна рассматриваемой проблемы, сформулированы основные положения диссертации, выносимой на защиту.

В первой главе проведен анализ и систематизация методов получения информацг.и о значениях электрических параметров реальных ^и^ическкт объектов исследования, описываемых в общем случае моделью * виде МЭЦ, состоящей и» взаимосвязанных активных и пассивных элементов (микросхем, транзисторов, источников теки и напряжения, резисторов, инлуктивностей я т.п.).

Рассмотрены вопросы построения модели в виде слс^игс МЭЦ для рашения задач получения информации об искомых параметрах реаль-кыу физических объектов различного типа по его реакции на внешнее воздействие.

Выделены два основ«гх типа моделей: мчкромодель, которая содержит описание связей между внешними, доступными для наблюдения переменными (напряжениями и токами) нш полисах;

уикромоделъ, которая содержит описание связей между внешними и внутренними переменным»; при этоу степень приближения мик-рейодели к реальному ебъекту определяется характером решаемых зада*.

Решение задач измерения я контроля обеспечивается при выполнении следующих условий:

% модель должна «меть достаточную степень адекватности реальному объекту в данных условиях эксперимента;

• модель должна удовлетворять условию измеряемости (наблюдав кости) искошх параметров;

- модель должна отвечать требованиям» инвариантности результа та пкепегймента по етншению к нейк^срматквн^' параметрам в аанных условиях;

- модель воля»« быть универсальной, т.е. описывать доетаточн

этрокий класс реальных объектов.

Условие адекватности удовлетворяется в холе целого ряда эке-ериментов, расчетов и< исследований, выявляющих и уточняющих тему замещения объекта исследования на соответствие некоторому яперед заданному критерию подобия.

Условие измеряемости искомых параметров в исходной моделн-МЭЦ зачастую не выполняется без физического разрупения исс-едуемого объекта. Проблема решается при преобразовании топо-огии ЫЭЦ путем закорачивания доступных полюсов с целью её уп-|Ощения.При этом целая группа элементов исходной МЭЦ заменяет-я одним (в результате получают упрощенную модель в виде трех-олюеной цепи. /

Исследования показали, что условие измеряемое^параметров етви для данного метода топологического преобразования структу-. и МЭЦ формулируется следующим образом:

измерение параметров ветви ¿и¡.-екду полюсами А и В возможно огда и только тогда, когда все пути протекания тока в МЭЦ от олвса А к полюсу В (исключая путь через ветвь 2и) содержат отя бы один дортупный полос. Пусть КЭЦ характеризуется множеством полюсов Р- (Р£), где I, 2,...,А.; множеством ветвей , где = I, 2,...

.., 1 ; множеством элементарных многополюсников (микросхем, рпнзисторов и т.п.) М где ^ = I, 2,..., 3 . Необхо-

имо определить подмножество ветвей 2 €?, сходящихся в одном олюсе иселедуемой ветви, и подмножество полюсов Р 6 Р (вклв-ая полюсы элементарных многополюсников), являющихся вторыми олюеами ветвей подмножества 2 . При замыкании полюсов попмно-ества Р исходная МЭЦ преобразуется в упрощенную-трехполтос-ую, где полюсы А и В принадлежат удовлетворяющей условию из-еряемости исследуемой ветви 2 и, я полюс & - остальным шунти-увщим ветвям.

Структура любой цепи однозначно описывается матрицей инци-ении из нулей и единиц, количество столбцов которой соответ-твует числу ветвей, а колиечство строк - числу полюсов. Еди-ица соответствует случаю, когда I - я ветвь подключена к I - ■ му полюсу, и нуль, если такая связь отсутствует. Это позволи-о формализовать описанные преобразрвания топологической струк-уры МЭЦ и предложить алгоритм машинного анализа на ПЭВМ, поз-

замыкаемых полюсов для как-

волявицЯ определить подмножество Р дой из исследуемых ветвей.

В процессе последовательного преобразования пассивных параметров к' -ветвей МЭЦ в активные эквиваленты получают систему мэ & уравнений

А х г • А оа

Кг

П<

Пг

Ах£ * До к Кь- ГЦ,

(I)

пе К С , Д01 , Пс - коэффициент преобразования, опорное энер гетическсе еозлеПстяие и совокупность параметров I - Я ветви соответственно.

При ртом условие инвариантности результата преобразования выполняется только для одноэлементных ветвеЯ МЭЦ, когда систем уравнений (I) имеет однозначное решение.

В случае многоэлементных ветвей каждое ич соответствующих изначально неразрешимых однозначно уравнений системы (I) должн быть дсопгелелено подмножеством уравнений, описывающих дополнительно организуемые преобразования параметров многсэлеуентнм ветвей в электрические сигналы. Таким обрпзохц исходно керазре шимая система уравнений (I) доопределяется до разрешимой однозначно.

Обобщенная структурная схема ИКС,, решающей задачу получении шарманки о значениях параметров ЯЭЦ, представлена на рис. I.

Она содержит программируемый комутатор (ПК), посредством юторого осуществляется топологическое преобразование структуры МЭЦ (модели исследуемого объекта) в Трехполтоснуо, Ш, сос-■оящей кз КС, источника опорного воздействия (КОВ), набора о С,-¡азпопых элементов Пос и устройство обработки (УО) по зплан-юму алгоритму результатов преобразования параметров Ь'^'Ц р ¡лектрические сигналы и потребителя информации о значениях п*->аметров для дальнейшего использования. УО по сути решает сис-■ему уравнений.(I).

Во втогой главе рассматривается вопросы разработки и иссле-ования ИП для преобразования параметров пассивных элементов янейных трехполосных пепеЯ. . ,

Анализ схем подключений трехполюсной цепи позволил классифи-;ировать способы инвариантного преобразования параметров её вет-ей в унифицированные сигналы в зависимости от структуры трех-олтосника типа "звезда" и типа " треугольник".

Разработана и исследована группа ИП для трехполюсных цепей ю структурой типа "звезда" (ТТГЗ") с доступным внутренним поясом. Показано, что при использовании опорного напряжения в . нде одиночного импульса прямоугольной формы реализация'ИП па-!аметров ветвей ТП"3" в амплитуду напряжения наиболее проста, [ри этом УО выполняет простейшие вычислительные '.операции в ре-льном масштабе времени, что существенно повстает Сыстрояейст-ие Ш. Однако необходимо учитывать влияние дрейфа нуля огеря-ионных усилителей, используемых п ИС и УО. Кроме того, имеет есто погрешность, обусловленная нестабильностью опорного еоз-ейстрия и напряжения питания.

Более высокую точность обеспечивает И параметров МЭЦ в чяс-■отные сигналы, а именно, в частоту, период и интервал,! времени. лагодаря использованию знакопеременного опорного воздействия •нижчется влияние дрейфа нуля, нестабкльностей опорного воздсй-трия и напряжения питания. Дальнейшее повышение точности пре-бразования в таких ИП связано со снижением влияния погрешности, ■бусловленой наличием зоны нечувствительности устройств срав-ения УО.

Для снижения влияния зоны нечувствительности предложена алго-итм и структура ИП, позволяющие изменять направления изменения равниваемых напряжений, таким образом, чтобы угол пересечения

направлений был близок к прямому.

Недоступность внутреннего полюса ИГЗ" для подключения к И( существенно ограничивает функциональные возможности ИЛ. Для такого класса МЭЦ предложены алгоритмы инвариантного преобраз« вания на основе параметрического доопределения путем включегои в ИС дополнительного опорного пассивного элемента. Это позвол] ло также практически полностью исключить погрешность,.вызванную конечным значением коэффициента усиления операционного ус: лителя ИС.

С целью упрощения реализации рассмотрены ИП, использующие УО фяэоуправляемые инверторы напряжения ИС. Точность преобрази вания таким ИП сравнительно высока, однако быстродействие сни жяется из-за потерь времени на переходные процессы в фильтрах нижних частот.

Более высокое быстродействие обеспечивают ИП е дифференцир ванием в УО составляющей сигнала ИС, изменяющейся етупенчато. Основным недостатком таких ИП является погрепность из-за неи-д?*льности выполнения операции ограничения выброса напряжения описывпемого функцией, полючазхзегося после диФферетгярор ния.

Для снижения влияния данной погрешности разработано устрой во дифференцирования и ограничения виброса следящего типа. Причем быстродействие достаточно высоко, так как процесс прео рязования заканчивается в течение одного периода генерируемых ИП колебаний.

Для преобразования параметров ветвей ТП"3" с большим внутренним сопротивлением разработаны ИП, использующие опорный и регулируемый источник тока, подключена^на два внешних полю« двух информативных ветвей. Изменяя ток, обеспечивают равенстг кулю разностного тока, протекающего по неинформативной ветви. 3 результате повышается точность преобразования и расширяются функциональные возможности, так как получается информация о значениях пассивных элементов сразу двух ветвей ТП'З" при недоступном внутреннем полюсе.

В ИП для преобразования параметров элементов информативно? ветви трегхполюсной цепи типа " треугольник" (ТП"Т") нео^оди! исключить шунтирующее влияние двух остальных.ветвей, в данно! случае неинформативных. Цель достигается, при обепечении режи-

Ю

ua заданного тока или режима заданного напряжения в иседедуемой ветви ИГТ"; при этом в первой случае о параметрах ветви судят по параметрам напряжения каее полюсах, во втором - по параметрам тона, протекающего вней.

Предложены и пселедованы новые алгоритмы преобразования, реализуйте данный епоеоб. Показано, что наибольшее быстродействие достигается при фиксации мгновенного значения еигнала ИС в ме>- • менты временя, определяемые однозначно значением только одного кз элементов иселедуемой ветви. При знакопеременном импульсном воздействии эти моменты соответствует окончании четверти периода (по одному элементу) и окончании полуперяода ( по другому элементу той же ветви).

Для подавления влияния дрейфа нуля в этом случае предложено использовать двухполупернодше выпрямители зафиксированных значений еигнала КС с последующей фильтрацией.

Для измерения параметров элементов ветви, формирующих экспоненциально затухавдуп составлявшую сигнала ИС, предложен оригинальный алгоритм, основанный на выделении с полощьо аналоговых операций данной составляшей и определении длительности интервяла времени затухания (постоянной затухания) ее до значения^, а в раз меньшего. Рассмотрен ИП, где получаемые два уравнения с двумя неизвестными решаются аналоговыми аппаратными средствами УО. '

5 третьей гляа» рассматривайте* вопросы разработки н исследования ИП для измерения параметров нелинейных элементов, включая многополвеш® sswwrrарные активные элементы типа микросхем, транзисторов а полупроводниковых структур;

Как показали исследования, одним из основных информативных параметров для исправных микросхем, является значение тока потребления, для транзисторов - значение токов, коллектора, . базы, коэффициенты усиления по току, а для нелинейных полупроводниковых структур - значение емкоетей и вроводямеетвй подложки и собственно полупроводниковой структуры в етатичевком и динамическом режимах работы.

Предложена структура ИП для измерения токов потребления микросхем 'àlCT) непосредственно в еоетаве радиоаппаратуры. Показана целесообразность реализации ИП в виде астатической системы» в которой для исключения влияния цепей, шунтируццюс М^, ток, про-

текающий через них, компенсируется дополнительным регулируемым опорным источником напряжения. В результате регистрируется значение тока потребляемого непосредственно

Анализ показал, что одним из основных источников погрешнсГстей являются контактное сопротивление и контактная разность потенциалов контактирующих устройств (КУ). Найдены решения, позволившие снизить данные погрешности'ИП до пренебрежимо малых значений. Для устранения влияния шунтирующих цепей, раеположеных по обе стороны от М^, предложен и применен шунт, объединяющий все шунтирующие цепи в одну общую. ИП сравнительно просты в реализации, но погрешность измерения для случаев больших токов в шунтирующих цепях,например, при коротких замыканиях в них, из-за неидеальности КУ остается существенной.

Практически полное исключение влияния параметров КУ достигается при разделении цепей в ИС ня токовые и потенциальные для случая четырехзондових КУ. При этом отается только составляющая погрешности, обусловлена неидеяльностью элементов ИП, входящих в цепи компенсации влияния шунтирующих цепей.проверяеуой платы, главным образом, напряжения смещения нуля.

Для измерения параметров транзисторов при внутрисхемном контроле предложена и исследована струтура ИП, алгоритм работы которого организуется следующим образом:

- в первом цикле получается информация е суммарных.токах, текущих через полностью открытый транзистор и через шунтирующие его цепи;

- во втором цикле при закрытом транзисторе получают информацию только о токах, текущих через шунтирующие цепи.

По результататам преобразований получаю- одной унифицированный сигнал, однозначно определяемы? значениями токов базы и коллектора исследуемого транзистора в статическом режиме работы.

Для определения динамических параметров транзистора дополнительно используется высокочастотное малое по амплитуде тестовое воздействие. При этом измеряются Значения токов коллектора, базы и, следовательно, коэффициента усиления транзистора, работающего в динамическом режиме.

Для исследования параметров ЭДП-етруктур предложена структура ИП, работающая в трех режимах:

- получение информации о значениях и емкости диэлектрика и

я сопротивления полложки, компенсация емкоети диэлектрика;

- полупение информации о значениях емкостии проводимости области пространственного заряда;

- получение информации о значениях емкости и проводимости полупроводниковых структур.

При этом иепольэуетея комбинированное тестовое воздействие из медленно изиеняпзего'ея во времени и высокочастотного. В результате обеспечивается инвариантность результата преобразования параметров ЗДП-етруктуры в унифицированные сигналы.

По результатам исследований даны рекомендации по дальнейшему совершенствовании разработанных ИП.

3 чгтзертой главе приведены принципиальные схемы я результаты экспериментального исследования некоторых из разработанных ИП, а также функциональные схемы и основные технические характеристики внедренных ИКС для контроля параметров объектов различной флзпчеекоЯ природы.

СиетечтмЯ блок контроля тока потребления интегральют схем на печатных платах:

реализован в виде субблока системы контроля тока потребления и сигнализации об исправности (неисправности) интегральных микросхем непосредственно на печатной плате.

диапазон измеряемых токов, мА I - 500

Относительная погрешность, % не более 15

Сопротивление гунтпруг^их элементов, См не менее 10

Систем* ПКТ для контроля я измерения коэффициента усиления по току транзисторов (предназначена для внутрисхемного контроля параметров транзисторов на печатных платах без выпаивания). Диапазон измерения, А 21 1-1000

Ток, коллектора, иА не долее 200

Напряжение коллектор-эмиттер, В 0,1,2,3,5,7,10

Отноептелоняя погреяноеть, % не более 5

Сопротивление цунтирутап« элементов, Ом не менее 100.

Система автоматизированного допуекового контроля параметров электрических цепей электронного блока управления экономайзером, (предназначена для межоперацнонного допуекового контроля плат радиоэлектронного оборудования а условиях крупносерийного производства по заданной программе опроса контролируемых цепей). Число контролируемых электрических цепей до 50

Диапазон контролируемых

сопротивлений, Ом 10 - 10^

емкостей, п5 10 - ю'

Контроль исправности диодов, стабилитро-

нов в транзисторов

Погрешность контроля, % не более 0,5

Время контроля, с 0,С4

Системный блок контроля налитая влаги (предназначен для непрерывного контроля герметичности НУП л;зний дальней связи в составе информационной системы).

Диапазон изменения выходного напряжения, В 0-1 Чувствительность, В/Ф 2,5-Ю-*®

Порог срабатывания, В 0,002

Нестабильность, В за еутки 0,01

В блоке контроля НУП использован И1 влажности в частоту и напряженке е помощью разработанного для этой цели емкостного датчика е эквивалентной схемой в виде МЭЦ типа ТГГТ". Диапазон частот генерируемых КП колебаний составили 40—50 кГц, погрешность нелинейности ИП 0,1%, разрешапаая способность 0,1 пФ при информативной емкости датчика 20 п$ к паразитных емкостях датчика порядка 40 пФ с 60 пФ.

Измерительный блок контроля сиетсш линейных размеров (предназначен для измерения линейных размеров деталей в процессе их производства, входного, выборочного и т.п. контроля в составе енетеыы, предусматривающей статистическую обработку результа-товязмерения е целью прогнозирования брака и паспортизации изготовленных деталей).

Диапазон измеряемых отклонений от номинального размера, им +-1,999 Приведенная погрешность измерения, % 0.2 Время измерения, е 0,1 Предусмотрена световая сигнализация результата контроля. В системном блоке контроля иапольаован КБ для параметров датчика перемещения с эквивалентной схемой типа ИГЗ" с недоступной средней точкой в частоту следования импульсов. Исключено влияние паразитной емкости между подвижным электродом и резиетившм элементом бесконтактного датчике на базе потенциометра. Диапазон частот выходного сигнала ИП составил 5-15 кГц, погрешность нелинейности 0,05%, разрешающая способность 2 мкк, для диапазонов

перемещения 0-5, 0-10, 0-20 мм.

Приведены результаты экспериментального исследования ИП параметров МДП-струхтур во схемой замещения в виде параллельно соединенных емкости С1 и проводимости <г диэлектрике, подкл»-ченных к емкости С2 подложки (погрешности преобразования по С1 - 0,3?, по С2 - 0,5%, по & - 0,155 в реальном диапазоне изменения данных параметров). '

Результаты производственных испытаний разработанных систем ■. и блоков подтверждают теоретические выводы яиссертапионной работы.

В приложении I приведем алгоритм анализа на ПЭВМ структур/ МЭЦ с целью ее топологического преобразования в трехполосную • для обеспечения измеряемости параметров ее ветвей.

В приложении 2 рассмотрены конструктивные особенности и дано обоснование разработанных эквивалентных схем датчиков:

- бесконтактного пстенцииметрического датчика перемещений для системного блока контроля линейных размеров;

- емкостного датчика наличия влаги для системы контроля герметичности КУП.

В приложении 3 приведены протоколы испытаний и документы о внедрении разработанных систем я блоков.

. Основные результаты изложеш в разделах автореферата, посвященных научной новизне, практической ценности и внедрение результатов диссертационной работа.

Перечень публикапий. в которых отражены наиболее существенные аспекты диссертации.

1. Андреев А.Н. Преобразование параметров физических объектов в унифицированное сигналы. - В кн.: Цифровая информационно-измерительная техника. - Пенза, ПЛИ, 1992. - 8 е.......

2. Андреев А.К., Чернецов В.И. Измерительная преобразователь параметров трехэлементных двухполюсников. - В кн.: Цифровая информационно-измерительная техника. - Пенза, ПЛИ, 1993. - 7 с.

2. Андреев А.Н., Казаков В.А. Внутрисхемной контроль активных элементов. - В кн.: Контроль я диагностика радиоэлектронной аппаратуры и изделий электронной техники: Тез. Всессюзн. няучн.-техн. конференции. - Пенза, 1990.

4. Андреев А.Н., Чернепов В.И. Преобразователи параметров укогоэлеуэнтных электрических гелей на основе многоканалъноети. - В кн.: Контроль и диагностика радиоэлектронной аппаратуры и

изделий электронной техники: Тез. Всесовзн. научн.-техн. конференции. Пенза, 1990.

5. Андреев À.H., Никишин C.B., Светлов A.B. Прибор для непрерывного допускового контроля погонного электрического сопротивления проволоки в процессе перемотки. - В кн.: Статистическая идентификация, прогнозирование и контроль радиоэлектронной аппаратуры: Тез. Всесоюзн. научн.-техн. семинара. - Севастополь, 1991.

6. Андреев А.Н., Казаков В.А., Чернецов В.il. Способы контроля исправности элементов электронных систем. - В кн.: Статистическая идентификация, прогнозирование и контроль радиоэлектронной аппаратуры: Тез. Всесопзн. научн.-техн. семинара. - Севастополь, 1991.

7. Андреев А.Н., Чернецов В.И. О погрепностях измерителей перемещения на основе бесконтактных потенциометров. - В кн.: Вопросы обеспечения точности машиностроительных производств: Тез. научн.-техн. конференции. - Пенза, 1992.

8. Андреев А.Н., Чернецов В.II. Измеритель малых перемещений для машиностроительных производств. - В'кн.: Вопросы обеспеченш точности машиностроительных производств: Тез. научн.-техн. конференции. - Пенза, 1992.

9. Андреев А.Н., Никишин C.B., Светлов А.Б. Стенд для контроля печатных плат РХ. - В кн.: Методы и средства оценки и повышенна надежности приборов, устройств и систем: Тез. Мевдуна-родн. научн.-техн. конференции. - Пенза, 1992.

10. .Андреев А'Н., Ломтев Е.А., Чернецов В.И. О инвариантных способах сбора и обработка измерительной^информацияi - В кн.: Технологии и системы сбора,.обработки и представления янфориа-gijpf Тез, международной конференции, г Рязань, 1292.

11. Андреев А.Н., Афанасьев.Н.В. Диэлектрические материалы для изготовления подложек микросхем: Учебное пособие.' - Оь:ск: 0Ш1, 1968. - 83 с. S

12. A.C. ä 1279373 СССР. Устройство для измерения коэффициента усиления по току транзисторов/ А.Н.Андреев, В.А.Казаков, А.И.Ыартяпшн, .Л.В.Орлова, Б.В.Цшшн. - ДСП, 1986.

13. A.C. ¿ 1402411 СССР. Устройство для регистрация- параметров ШШ-структур /А.Н.Андреев, А.В.Калинин, Р.М.Сорокян, С.М.Фельдберг, К.Н.Чернецов. - ДСП, 1989.

14. A.C. Л 1756687 СССР. Устройство для определения параметров трехэлементных двухполюсных цепей /А.Н.Андреев, В.А.Казаков, А.;1.!4артяшн, С.В.Никяшин, А.В.Светлов - Q1 И 32, 1992.