автореферат диссертации по энергетическому, металлургическому и химическому машиностроению, 05.04.03, диссертация на тему:Исследование селективной откачки газовых смесей в низкотемпературных высоковакуумных ловушках

Условные обозначения.

ВВЕДЕНИЕ.

Актуальность проблемы.

Цель работы.

Научная новизна.

Практическая ценность.

Автор защищает.

Апробация работы.

Публикации.

Структура и объем работы.

1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА О СЕЛЕКТИВНОЙ ОТКАЧКЕ ГАЗОВ.

1.1. Принципы селективной откачки.

1.2. Защитная способность ловушек.

1.3. Классификация ловушек.

1.3.1. В одоохлаждаемые ловушки.

1.3.2. Умеренно охлаждаемые ловушки.

1.3.3. Крио ловушки.

1.3.4. Сорбционные ловушки.

1.3.5. Каталитические (химические) ловушки.

1.4. Постановка задачи исследований.

2. МЕТОДЫ РАСЧЕТА УСТРОЙСТВ СЕЛЕКТИВНОЙ ОТКАЧКИ С УЧЕТОМ НАМЕРЗАЮЩИХ КРИОСЛОЕВ.

2.1. Аналитические зависимости определения профиля криослоя.

2.2. Применение метода статистических испытаний для определения формы криослоя

2.2.1. Моделирование роста криослоя на плоской пластине.

2.2.2. Выбор размера условной частицы.

2.2.3. Результаты моделирования.

2.3. Сравнение профилей криослоев.

2.3.1. Методика сравнения профилей криослоев.

2.3.2. Результаты сравнения.

2.3.3. Итоговые номограммы.

2.4. Выводы по главе 2.

3. РАСЧЕТ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ЛОВУШКИ, РАБОТАЮЩЕЙ НА ДРОССЕЛЬНОМ ЦИКЛЕ.

3.1. Введение.

3.2. Особенности работы ловушки.

3.3. Методика построения профилей криослоя.

3.4. Профили криослоя.

3.5. Экспериментальное определение формы криослоя.

3.6. Расчёт коэффициента захвата и проводимости ловушки AT-200.

3.7. Альтернативная конструкция ловушки AT-200.

3.8. Выводы по главе 3.

4. ФРАКТАЛЬНЫЙ РОСТ КРИОСЛОЕВ.

4.1. Введение.

4.2. Моделирование роста фрактальных структур [].

4.3. Определение фрактальной размерности моделируемых криослоев.

4.4. Выводы по главе 4.

5. РАСЧЕТ ВЫСОКОВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК ДЛЯ ДИФФУЗИОННЫХ НАСОСОВ.

5.1. Введение.

5.2. Расчет водоохлаждаемой ловушки для диффузионного насоса.

5.3. Селективная откачка смесей разреженных газов.

5.3.1. Изменение температуры рабочих поверхностей.

5.3.2. Изменение геометрии рабочих поверхностей.

5.4. Экспериментальное определение проводимости водоохлаждаемой ловушки

5.4.1. Описание установки.

5.4.2. Определение быстроты действия насоса.

5.4.3. Результаты эксперимента.

5.4.4. Определение погрешностей основных экспериментальных величин.

5.4.5. Расчетное определение проводимости ловушки Ду-400.

5.5. Выводы по главе 5.

6. ВЛИЯНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ НА ПРОВОДИМОСТЬ ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО ТРУБОПРОВОДА.

6.1. Введение.

6.2. Влияние шероховатости на угловое распределение частиц [].

6.3. Расчет проводимости шероховатого трубопровода.

6.4. Выводы по главе 6.1"

Обеспечение технологических процессов в таких областях науки и техники, как микро -и наноэлектроника, нанотехнология, получение чистых материалов, химические технологии, как правило сопряжено с созданием высокого безмас-лянного вакуума. При осуществлении таких технологических процессов внутри вакуумной камеры происходят сложные химические реакции, продукты которых должны откачиваться вакуумной системой. В состав смесей могут входить такие компоненты, как пары воды, гелий, а также активные компоненты, такие как кислоты, свободные радикалы (F*, Ct), которые негативно воздействуют на конструктивные элементы насоса, соприкасающиеся с ними.

Вакуумные насосы также могут являться сильными источниками загрязнения вакуумной камеры примесями различных газов. Например, диффузионные, турбомолекулярные и многие механические насосы являются источниками паров масла, которое попадает в откачиваемую камеру.

В связи с этим встает проблема по удалению этих компонент из газовой смеси. Данная проблема может быть решена либо путем замены насоса, что может привести к существенному увеличению стоимости вакуумной установки или ухудшению технических и технологических показателей системы в целом, либо путем удаления или существенного уменьшения концентрации этих компонент перед входом в насос.

Одним из наиболее простых способов селективной откачки газовых смесей является установка между насосом и технологической камерой таких устройств, 6 как вакуумная ловушка. В результате труднооткачиваемые или активные компоненты смеси улавливаются ловушкой, а оставшиеся компоненты смеси откачиваются насосом. Как правило, вакуумная ловушка является достаточно простым устройством и ее стоимость на порядок ниже стоимости насоса.

В свою очередь применение ловушек сопровождается рядом таких отрицательных моментов как:

1. уменьшение быстроты откачки вакуумной камеры;

2. насыщение рабочих поверхностей ловушек улавливаемыми компонентами, что приводит к прекращению выполнения защитных функций.

Поэтому важно знать еще на стадии проектирования как будет влиять ловушка на технические характеристики вакуумной системы. Также необходимо отметить, что для получения более полной информации о рабочих характеристиках ловушки ее нужно рассматривать не как отдельный элемент, а как составляющую всей вакуумной системы.

Актуальность проблемы

Устройства селективной откачки газовых смесей широко применяются во многих областях современной науки и техники, где используется вакуумное оборудование. Основное назначение устройств селективной откачки (ловушек) - это защита различных технологических и испытательных камер от паров веществ, мешающих проведению технологических процессов. Поэтому от такого относительно простого устройства как ловушка могут зависеть технологические процес7 сы, в результате которых получают изделия, стоимость которых превышает во много раз стоимость самой ловушки. Некоторые типы ловушек также служат своего рода насосами и помогают удалять из вакуумной системы такие компоненты смесей как пары воды.

В настоящее время наибольшим спросом пользуются ловушки конденсационного типа, которые охлаждаются в основном водой, жидким азотом или холодильными машинами. Существуют различные подходы для анализа устройств вакуумной техники, в том числе и конденсационных ловушек. Однако расчет таких характеристик ловушек как проводимость и защитная способность проводится, как правило, отдельно, без учета влияния насоса и испытательной камеры, между которыми располагается ловушка. Хотя известно, что неучет влияния испытательной камеры в отдельных случаях может приводить к изменению результатов до 20%.

Совершенствование конденсационных высоковакуумных ловушек осуществляется по двум основным направлениям - изменение температуры рабочих поверхностей ловушек и изменение геометрии рабочих поверхностей. Второй путь является наиболее простым и дешевым способом повышения эффективности. С учетом развития современных вычислительных средств комплексный анализ основных характеристик высоковакуумных ловушек можно проводить с помощью метода статистических испытаний пробной частицы и его приложений.

Также при анализе характеристик высоковакуумных криоловушек необходимо учитывать то, что на рабочих поверхностях постоянно образуется слой 8 криоосадка (криослоя). Рост криослоя приводит к уменьшению проводимости ловушки и уменьшению коэффициента прилипания, что в свою очередь ведет к тому, что ловушка прекращает выполнять свои защитные и селективные функции. Поэтому для получения исчерпывающих данных об эффективности работы крио-ловушки необходимо знание формы и структуры образующегося на ее поверхностях криослоя. Данная проблема также актуальна при эксплуатации крионасосов, где от толщины криослоя зависит эффективность откачки, при напылении различных функциональных и декоративных покрытий, качество которых также зависит от толщины и формы нанесенного слоя, при молекулярной эпитаксии.

Немаловажную роль при анализе сложных вакуумных систем играет такая характеристика, как шероховатость поверхности. Величина шероховатости поверхности может существенно влиять на такие характеристики вакуумной системы, как проводимость, интегральный коэффициент прилипания, угловое распределение частиц при отражении от стенок системы.

Наличие перечисленных проблем, требующих решения, обуславливает актуальность проведения комплексного анализа устройств селективной откачки и процессов, связанных с их эксплуатацией.

Цель работы

С учетом вышеперечисленных проблем, характеризующих актуальность работы, можно определить ее цели:

1. Проведение анализа известных средств селективной откачки газовых смесей, таких как высоковакуумные ловушки. Создание алгоритма для проектирования устройств селективной откачки;

2. Создание и дополнение уже существующих подходов для анализа сложных вакуумных систем с целью формирования единой, универсальной, способной к дальнейшему расширению методики, позволяющей выполнять тепловой и вакуумный расчет, определять индикатрисы рассеивания;

3. Проведение с помощью созданной методики и экспериментального стенда комплексного исследования конденсационных ловушек для диффузионных насосов;

4. Применение разработанной методики для определения формы криослоев с учетом ранее сформированного слоя и сравнение с известными результатами;

5. Определение проводимости и коэффициента захвата криоловушек для турбо-молекулярных насосов с учетом влияния криослоя, образующегося на криопа-нелях ловушки. Предложения по повышению эффективности ловушек данного типа;

6. Исследование влияния шероховатости поверхности на интегральные характеристики вакуумных систем;

7. Построение модели формирования криослоев и их анализ с использованием методов фрактальной геометрии.

Научная новизна

Впервые разработан алгоритм на базе метода статистических испытаний пробной частицы, позволяющий моделировать структуру криослоев и проводить анализ вакуумных систем с учетом и без учета этих криослоев. Алгоритм позволяет проводить как вакуумный, так и тепловой расчет устройств селективной откачки с учетом изменения геометрии системы и коэффициентов прилипания.

Проведен анализ влияния формы криослоя на характеристики ловушек типа AquaTrap, применяемых для нужд микроэлектроники, и даны рекомендации по повышению эффективности таких ловушек.

Проведен комплексный анализ и улучшение на его основе характеристик высоковакуумных ловушек типа ЛП, используемых с диффузионными насосами типа DFR. Выполнено экспериментальное и расчетное исследование влияния водоохлаждаемой ловушки на откачные характеристики диффузионного насоса НВДМ-400.

Выполнено исследование по влиянию шероховатой поверхности на угловое распределение частиц при отражении от стенки и на проводимость цилиндрического трубопровода.

Практическая ценность

Полученные в ходе работы результаты с использованием разработанного программного комплекса нашли применение при решении ряда актуальных задач

11 при проектировании и повышении эффективности криоловушек AquaTrap (IGC-APD Cryogenics Inc.) для нужд микроэлектроники при проектировании и повышении эффективности высоковакуумных ловушек типа ЛП (ОАО «Вакууммаш») для диффузионных насосов типа DFR (Leybold Vacuum GmbH).

Результаты по моделированию роста криослоя с учетом его толщины имеют первостепенное значение в таких областях промышленности, как создание декоративных и функциональных покрытий, в области микро - и наноэлектроники, нанотехнологии.

Результаты анализа влияния шероховатости на величину проводимости трубопровода и закон отражения частиц от реальной поверхности рекомендованы для использования в расчетах сложных вакуумных систем.

Полученные в работе результаты используются в учебном процессе в Московском энергетическом институте (техническом университете) в курсах «Крио-вакуумная техника», «Расчет сложных вакуумных систем», «Основы нанотехнологии».

Автор защищает

- Методику расчета формы криослоя с учетом предварительно намороженного слоя;

- Компьютерные модели устройств селективной откачки газовых смесей;

- Номограммы для определения формы криослоя для различных типов источника газа, полученные путем сравнения расчетных и известных аналитических результатов;

- Влияние криослоя на рабочие характеристики высоковакуумных криоловушек;

- Влияние шероховатости поверхности стенок цилиндрического трубопровода на угловое распределение частиц и величину проводимости;

- Компьютерную модель роста фрактальных структур применительно к криос-лоям.

Апробация работы

Основные положения и результаты работы доложены на V, VI, VII, VIII, IX научно-технических конференциях «Вакуумная наука и техника» (Гурзуф, 1998, 1999 г.г. и Судак 2000, 2001, 2002 г.г), VI, VII международных студенческих школах-семинарах «Новые информационные технологии» (Судак, 1998, 1999 г.г.), VI, VII, VIII международных научно-технических конференциях студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика» (Москва, 2000, 2001, 2002 г.г.), 10-й международной научно-технической конференции «Состояние и перспективы развития вакуумной техники» (Казань, 2001 г.), XXVII международной научно-технической конференции «Гагаринские чтения» (Москва, 2001 г.), 48-ом международном вакуумном симпозиуме Американского вакуумного общества (Сан-Франциско, 2001 г.), V международном симпозиуме «Вакуумные тех

13 нологии и оборудование» (Харьков, 2002 г.), 20-м заседании научно-технического семинара «Электровакуумная техника и технология» (Москва, 2002), 7-й международной конференции «Инженерные проблемы термоядерных реакторов» (Санкт-Петербург, 2002 г.).

Некоторые части работы выполнялись по заказу группы конструкторов ОАО «Вакууммаш», IGC-APD Cryogenics Inc.

Публикации

По теме диссертации имеется 17 печатных работ, в том числе 1 учебное пособие, 6 статей и материалов в трудах конференций, 10 тезисов докладов.

Структура и объем работы

Диссертация состоит из введения, шести глав и заключения и имеет объем 173 стр., включая 111 рисунков и 20 таблиц. Библиография включает 103 наименования.

ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

Разработана методика расчета характеристик устройств селективной откачки с учетом влияния образующегося криослоя. Полученный алгоритм позволяет моделировать, помимо криослоев, формирование различных покрытий в области высокого вакуума. Данная методика является дополнением к разработанному ранее программному комплексу расчета сложных вакуумных систем. На основе полученных результатов были сделаны следующие выводы:

1. Неучет ранее сформированного слоя в аналитических зависимостях может приводить к существенному отклонению от реального профиля криослоя. С помощью сравнения профилей криослоев, построенных по аналитическим зависимостям, со слоями, полученными по разработанной методике, можно вносить поправочные коэффициенты в аналитические зависимости для учета ранее сформированного слоя.

2. Созданная компьютерная модель серийно выпускаемой низкотемпературной ловушки AquaTrap-200 позволила провести расчет характеристик данной ловушки с учетом формирующегося на ее охлаждаемых поверхностях криослоя. Сравнение криослоев, полученных расчетным и экспериментальным путем, показало их качественное сходство. На основе проведенного анализа конструкции ловушки AquaTrap-200 даны рекомендации по улучшению ее характеристик, связанные с изменением геометрии рабочих поверхностей.

3. Расчет ловушки Ду-400 показал, что в данном случае наличие испытательной камеры не влияет на значение ее проводимости. Проведенный эксперимент по определению проводимости ловушки Ду-400 показал, что расчетное значение проводимости (4500 л/с) отличается от опытного (6200 л/с) на 38%.

4. На основе расчета характеристик ловушек типа ЛП, выпускаемых ОАО «Вакууммаш», предложен ряд альтернативных конструкций, позволяющих понижать поток масла, проходящего через ловушку, в 1,5.2 раза.

5. Показано, что для принятой модели шероховатой поверхности угловое распределение при отражении частиц может существенно отличается от диффузного. С ростом глубины моделируемой канавки увеличивается отличие распределения частиц от диффузного, но при достижении определенного значения дальнейшее изменение углового распределения прекращается. Изменение закона углового отражения при взаимодействии с поверхностью оказывает заметное влияние на проводимость цилиндрического трубопровода и вакуумной системы в целом. Так проводимость шероховатого трубопровода с L/R=4 и локальным коэффициентом прилипания равным 0 на 16% ниже проводимости такого же гладкого трубопровода. Показано, что для такого же трубопровода с L/R-4, но с коэффициентом прилипания равным 0,5 эта разница может достигать 30 %.

6. Проведенное исследование показало, что коэффициент прилипания оказывает существенное влияние на время роста фрактальных структур. На

163 величину фрактальной размерности коэффициент прилипания влияет незначительно.

Автор выражает глубокую признательность научному руководителю профессору Нестерову С.Б. за постановку задачи и постоянную помощь в работе, научному консультанту д.т.н. Кеменову В.Н. за плодотворные научные консультации и постоянный интерес к работе, профессору Боярскому М.Ю., Капустину Е.Н., Сабирзянову Н.Р. за помощь в проведении экспериментов, Зиловой О.С. и к.т.н. Васильеву Ю.К. за помощь в проведении вычислений.

1. Вакуумная техника. Справочник под ред. Е.С. Фролова и В.Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1990, 320 с.

2. N. Metropolis, S. Ulam, The Monte-Carlo method. -J. Avtr. Statist. Assoc., 1949, v. 44, №247, pp. 335-341.

3. Г. Л. Саксаганский. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. М.: Атомиздат, 1980, 215 с.

4. B.D. Power, D.J. Crowley, Vacuum, 1954, 4, 415.

5. M. Auwarter, Ergebnisse der Hochvakuumtechnik und der Physik dtinner Schichten. Wiss. Verl. Ges. Stuttgart, 1957,207.

6. H.M. Барышова, ПТЭ, 1965, №6, 139.

7. D.W. Jones, C.A. Tsonis. J. Vac. Sci. Technol. I, 17-32, 1964.

8. W.D. Bascom, R.L. Cottingtorm, C.R. Singleterry. Advances in Chemistry series №43, 1964, 355.

9. Каталог ОАО «Вакууммаш». Вакуумное оборудование, 2001, 115 с.

10. Каталог фирмы Varian, Vacuum products, 2000, 624 с.

11. Каталог фирмы Leybold Vacuum GmbH, 2000.

12. Каталог фирмы Pfeiffer Vacuum, 2000.

13. С. Дэшман. Научные основы вакуумной техники, М.: Мир, 1965.

14. Е.А. Коленко. Термоохлаждающие приборы. АН СССР, 1963.

15. D.J. Crowley. Le Vide, 19, №109, 641, 1964.

16. Каталог фирмы Edwards, Vacuum products, 2000.

17. Патенты Франции №№ 1.329.649,1.294.916

18. A. Khatri, М. Boiarski, S. В. Nesterov. A Throttle cycle cryocooler with mixed gas refrigerant for a water trap. Abstracts of 44th National Symposium. October 20-24. 1997. San Jose. USA, p. 113.

19. A. Khatri, М. Boiarski, S. Nesterov. Water trap refrigerated by a throttle-cycle cooler using mixed gas refrigerant. Advances in Cryogenic Engineering. Edited by P. Kittel, Plenum Press, New York, 1998, vol. 43B, p. 1693.

20. APD Crygenics Products. 1998.

21. CTI Crygenics Products. 1997.

22. Основы вакуумной техники. А.И. Пипко, В .Я. Плисковский, Б.И. Королев, В.И. Кузнецов.-2-е изд. перераб. и доп.-М.: Энергоиздат, 1981.-432 с.

23. Kurt J. Lesker Company. Vacuum Products, 1993, 530 c.

24. Каталог фирмы Leybold Vacuum GmbH, 1964, HV110 6.

25. D.H. Davis. J. Appl. Phys. 31, 1169,1960.

26. J.D. Pinson, A.W. Peck. IX Nat. Symp. On Vac. Sci Technol. Trans. Pergamon Press, 1962, p. 406.

27. JI. Левенсон, H. Миллерон и Д. Дэвис. «Современная вакуумная техника», Сборник статей, Изд-во иностранной литературы, 1963, стр. 82

28. М.Н. Hablanian. First Intern. Congr. On Vacuum Technique in Space Research. Paris, 1963

29. J.A. Trueman. First Intern. Congr. On Vacuum Technique in Space Research. Paris, 1963.

30. G. Zinsmeister. Proc. of the First Intern. Congress on Vacuum Technique and Technology, Pergamon Press, vol.1, 1960. p. 335

31. А.И. Пипко, В.Я. Плисковский, E.A Пенчко. Оборудование для откачки вакуумных приборов, М.-Л.: Энергия, 1965

32. М.П. Ларин, В.В. Быстрое, В.М. Папко, М.С. Назарматов. Охлаждаемая жидким азотом ловушка паров масла с собственным охранным вакуумом. Вакуумная техника и технология. Том 11, №4, 2001, с. 189-194.

33. Л.Н. Розанов. Вакуумная техника. М.: Высшая школа.

34. L.N. Rozanov. Vacuum Technique. Edited by М.Н. Hablanian.

35. Z. Kerris. f. techn. Physik, 16, 120,1935.

36. D. Alpert. Rev. Sci. Instr. 24, 1004, 1953.

37. E. Blauth. Z. angew. Phys. 14, 668, 1962, №11.

38. M. Бионди, «Современная вакуумная техника», Сборник статей, Изд-во иностранной литературы, 1963, стр. 136-142.

39. А.И. Пипко, В.Я. Плисковский, Е.А Пенчко. Конструирование и расчет вакуумных систем, М.: Энергия, 1970, 504 стр.

40. Л. Левенсон, Н. Миллерон. «Современная вакуумная техника», Сборник статей, Изд-во иностранной литературы, 1963, стр. 35.

41. W. Bachler. Патент ФРГ № 1.153.855.

42. А.С. Назаров, Г.Ф. Ивановский, Г.Н. Плисковская, отчет 915 предприятия п/я 2168.

43. О.В. Крылов, М.Д. Шибанов. Глубокое каталитическое окисление углеводородов. Проблемы кинетики и катализа, 1982. т. 18, № 1, стр. 18-23.

44. Л .Я. Марголис. Окисление углеводородов на гетерогенных катализаторах. М.: Химия, 1977, 321 стр.

45. Г.И. Голодец. Гетерогенно-каталитические реакции с участием молекулярного кислорода. Киев: Наукова думка, 1977. 203 стр.

46. В.А. Дубинский, В.Н. Кеменов. Особенности конструкций и основные параметры форвакуумных ловушек. Вакуумная техника и технология. Том 11, №3, 1992, с.189-194.

47. Каталог фирмы Cit-Alcatel, Франция «Vacuum Technology» Rotary Vane pump accessories, 1991, p. 30-31.

48. В.А. Дубинский, В.Н. Кеменов. Научно-технические достижения №4, М.: ВИМИ, 1992, стр. 17.

49. И.В. Золотухин. Фракталы в физике твердого тела. Соросовский образовательный журнал, №7, 1998, стр. 108-113.

50. Ю.Д. Третьяков. Дендриты, фракталы и материалы. Соросовский образовательный журнал, №11, 1998, стр. 96-102.

51. Леонард М. Сандер. Фрактальный рост. В мире науки, №3, 1987, стр. 62-70.

52. А.И. Олемской, А .Я. Флат. Использование концепции фрактала в физике конденсированной среды Успехи физ. Наук. Т. 163, №12,1993, стр. 1-50.

53. Смирнов Б.М. Физика фрактальных кластеров. М.: Наука. Гл. ред. Физ.-мат. Лит., 1991.

54. Е. Федер. Фракталы-М.: Мир, 1991.

55. В.В. Mandelbrot. The Fractal Geometry of Nature. N.Y.: Freeman, 1982.

56. С. Ф. Финько. Моделирование теплофизических процессов инееобразования на низкотемпературных поверхностях энергетических установок. Автореферат дисс. на соискание уч. ст. к. т. н. Воронеж, ВГТУ, 2002, 16 с.

57. М. Boiarski, A. Khatri, S.B. Nesterov, A. Androsov. Compact Trapping Device Integrated with a Throttle Cycle Cooler Operating with Mixed Refrigerant. AVS 48th International symposium. San Francisco. 2001.

58. С.Б. Нестеров, A.B. Андросов, М.Ю. Боярский. Низкотемпературная ловушка, работающая на дроссельном цикле. Материалы V международного симпозиума «Вакуумные технологии и оборудование» (ICVTE-5), Харьков, 2002, стр. 279-285.

59. S.B. Nesterov, Yu.K. Vassiliev, G.L. Saksaganski, В.A. Loginov, V.V. Protasenko. «How the sorbent microgeometry effects the sorptional characteristics of cryopumps» -Vacuum, 199, vol. 53, p. 145-149.

60. С.Б. Нестеров, Ю.К. Васильев. Влияние углового распределения частиц на проводимость. Материалы VI научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника», Гурзуф, 1999, стр. 101-109.

61. Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров. Исследование влияния микроструктуры на характеристики нераспыляемых геттеров. Вакуумная техника и технология, 2000, №1, с. 9-14.

62. Е.В. Прусаков. Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Москва, МГИЭМ, 2001, 145 с.

63. С. Б. Нестеров, Ю. К. Васильев, А. В. Андросов. Расчет сложных вакуумных систем. М.: Издательство МЭИ, 2001. - 180 с.

64. Л.И. Калашник, A.M. Кислов, Э.М. Лившиц. Расчет параметров криогенных вакуумных камер методом Монте-Карло. ИЖФ, 1967, т. 13, №6.

65. Р. Зигель, Дж. Хауэл. Теплообмен излучением. М.: Энергия, 1971.

66. Теплопередача: Учебник для вузов / В.П. Исаченко, В.А. Осипова, А.С. Суко-мел. 4-е изд., перераб. и доп. - М.: Энергоиздат, 1981. - 416 стр.

67. С. Б. Нестеров, Е. И. Миронова. Расчет профилей криослоев. Тезисы докладов четвертой научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника». Гурзуф. 1997. стр. 50-52.

68. С.Б. Нестеров, А.В. Андросов. Расчет профилей криослоев, Вакуумная техника и технология, Санкт-Петербург, 2000, том 10, №4, стр. 137-143.

69. С.Б. Нестеров. Криосорбция изотопов гелия. Физические особенности и практические приложения. Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктор наук. Москва, МЭИ, 2000, 420 с.

70. R. Longsworth. 1994, Cryogenic Refrigerator with Single Stage Compressor, USA Patent 5, 337, 572.

71. Г. В. Качалин, А. П. Крюков, С. Б. Нестеров. Расчет и сопоставление характеристик холодных ловушек. Тезисы докладов 3-й научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника". Гурзуф, сентябрь, 1996г., с. 55.

72. G. V. Kachalin, А. P. Kryukov, S. В. Nesterov, М. Е. Vorsobin. Calculation of Rarefied Gas Flows in Vacuum Systems at Transition and Free Molecular Flows. Proceedings of Rarefied Gas Dynamics Conference. China, Beijin 1997. p. 875.

73. С.Б. Нестеров, А.В. Андросов Исследование профиля конденсата, формирующегося на охлаждаемых пластинах ловушки. Тезисы докладов 6-й международной студенческой школы семинара «Новые информационные технологии», Судак, 1998 г., с.68.

74. С.Б. Нестеров, А.В. Андросов. Расчет проводимости ловушки с учетом намороженного слоя. 5-я научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника», Гурзуф, 1998 г., с.89-94.

75. А.В. Андросов, С.Б. Нестеров. Определение характеристик криовакуумной ловушки. Материалы XXVII международной научно-технической конференции «Га-гаринские чтения», Москва, 2001 г., с.98-101

76. С.Б. Нестеров, А.В. Андросов, М.Ю. Боярский. Экспериментальное и расчетное исследование структуры криослоя. 9-я научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника» Судак, 2002 г., с.54-58.

77. С.Б. Нестеров, О.С. Зилова. Определение фрактальной размерности поверхностей сорбентов. Материалы 8-й научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника». Судак, 2001.

78. О.С. Зилова, С. Б. Нестеров Определение фрактальной размерности различных поверхностей. Материалы 7-й международной научно-технической конференции студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика». Москва, 2001.

79. P. Meakin // Phys. Rev. -1983, -Ser. A. -vol.27, p.604.

80. P. Meakin, Z.P. Wasserman //Phys. Lett. -1984, Ser. A. vol.103, p.337.

81. А.В. Андросов, В.Н. Кеменов, С.Б. Нестеров. Пути совершенствования высоковакуумных ловушек для диффузионных насосов типа DFR. 8-я научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника» Судак, 2001 г., с. 124-129.

82. H. Kumano, Z. Matsumara and Y. Takahashi. Backstreaming of the oil from a diffusion pump. Bulletin Chemical Research Inst, of Non-Aqueous Solutions. Tohoku Univ., vol. 31, July, 1981, p. 5-7

83. M.A. Backer A cooled quarts microbalance method for measuring diffusion pump backstreaming. J. of Sci. Instr., 1698, vol. 1,7, p. 774-776

84. С.Б. Нестеров, T.C. Строгова. Расчет характеристик охлаждаемых ловушек. Материалы VIII Международной научно-технической конференции студентов и аспирантов "Радиоэлектроника, электротехника и энергетика". Москва. 2002.

85. ОСТ 26-19-002-88 «Насосы и агрегаты вакуумные пароструйные и бустерные. Методы испытаний».

86. DIN 28427. Германские промышленные нормы DIN 28427. Правила приемки диффузионных насосов и пароструйных вакуумных насосов для давления рабочего пара меньше 1 миллибара.

87. S.B. Nesterov, Yu.K. Vassiliev, R.C. Longsworth. Affect on Pumping-Speed Measurements Due to Variations of Test Dome Design Based on Monte-Carlo Analysis. Book of abstracts of AVS 46th International Symposium, 1999.

88. С.Б. Нестеров, Ю.К. Васильев; Влияние испытательной камеры на измерения быстроты действия. Вопросы атомной науки и техники, сер. «Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники». Харьков, 1999, вып. 1(9), стр. 33-37.

89. С.Б. Нестеров, Т.С. Строгова. Расчет проводимости сложного трубопровода при молекулярном режиме течения. Материалы 7-й международной научно-технической конференции студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика». Москва. 2001.

90. С.Б.Нестеров, Т.С. Строгова. Подходы к расчету проводимости сложного трубопровода при молекулярном режиме течения. Материалы XXVII международной молодежной научной конференции «Гагаринские чтения». Москва, 2001.

91. D. Н. Davis, L. L. Levenson, N. Milleron. Effect of "Rougher-than-Rough" Surfaces on molecular flow through short ducts. Journal of Applied Physics, 1964, v. 35, №3, parti, pp. 529-532.

92. А.В. Андросов, Ю.К. Васильев, О.С. Зилова, С.Б. Нестеров. Разработка и внедрение методов анализа сложных вакуумных систем. Тезисы докладов 7-й международной конференции «Инженерные проблемы термоядерных реакторов», Санкт-Петербург, 2002, стр. 205-206.