автореферат диссертации по энергетическому, металлургическому и химическому машиностроению, 05.04.06, диссертация на тему:Исследование нестационарного режима откачки адсорбированных паров в вакуумных машинах и установках

ВВДЦЕНИЕ.

Глава I. ОТКАЧКА. АДСОРБИРОВАННЫХ ПАРОВ ВОДЫ ИЗ ВАКУУМНЫХ

СИСТЕМ. Ю

1,1« Основные закономерности десорбвдонного газовыделения паров воды . Ю

1.2. Методы расчета времени откачки вакуумной системы без учета газовыделения.

1.3. Методы расчета времени откачки вакуумной системы с учетом газовыделения.

1.4. Влияние адсорбированных паров воды на время откачки в нестационарном режиме и способы его уменьшения

1.5. Постановка задачи исследований.

Глава 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЩОВАБИЯ ВРЕМЕНИ ОТКАЧКИ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ С УЧЕТОМ ВЛИЯНИЯ АДСОРБИРОВАННЫХ ПАРОВ ВОДЫ

2.1. Расчет времени откачки при нестационарном режиме

2.2. Основы теоретического подхода к расчету времени откачки при квазистационарном режиме.

2.3. Определение времени откачки при адсорбции паров воды по полимолекулярной и мономолекулярной теориям адсорбции.

2.4. Время откачки для линейной изотермы адсорбции паров воды.

2.5. Определение времени откачки с учетом влияния адсорбированных паров воды по теории Дубинина-Ра-душкевича.

2.6. Графо-аналитический метод расчета времени откачки по экспериментальной изотерме адсорбции

Глава 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ АДСОРБЦИИ ПАРОВ вода НА МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ.

3.1. Обзор экспериментальных данных об адсорбции паров воды на твердых поверхностях

3.2. Методика экспериментального исследования адсорбции паров воды на металлической поверхности

3.3. Изучение и обработка экспериментальной изотермы адсорбции паров воды на поверхности стали ЮХ18НЮТ по существующим теориям адсорбции

3.4. Шероховатость поверхности вакуумных камер и соотношение между истинной и геометрической поверхностями

3.5. Погрешность методики экспериментального исследования адсорбции паров воды на поверхности нержавеющей стали.

Глава 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ВЛИЯНИЯ АДСОРБИРОВАННЫХ ПАРОВ ВОДЫ НА ВРЕМЯ ОТКАЧКИ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ В КВАЗИСТАЦИОНАРНШ РЕЖИМЕ.

4.1. Измерение газовых потоков при низком вакууме . Ю

4.2. Анализ методов измерения быстроты откачки вакуумных насосов.П

4.3. Исследование времени откачки низковакуумных систем

4.4. Исследование времени откачки высоковакуумных систем в нестационарном режиме.

4.5. Оценка точности предложенных методик расчета времени откачки с учетом влияния адсорбированных паров воды.

Глава 5. РАЗРАБОТКА СПОСОБОВ УМЕНЬШЕНИЯ ВЛИЯНИЯ АДСОРБИРОВАННЫХ ПАРОВ ВОДЫ НА ВРЕМЯ ОТКАЧКИ И ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ ВАКУУМНЫХ МАШИН И УСТАНОВОК.

5;1. Технология нанесения лакокрасочных покрытий и их технические характеристики.

5.2» Применение лакокрасочных покрытий для уменьшения времени откачки низковакуумных систем

5.3. Использование лакокрасочных покрытий для уменьшения влияния адсорбированных паров воды на время откачки высоковакуумных систем.

5.4. Анализ влияния времени откачки в нестационарном режиме на производительность вакуумных машин и установок.

5.5. Эффективность применения лакокрасочных покрытий в вакуумном оборудовании

ВЫВОДИ.

ЛИТЕРАОТА.

В решениях П У 1 съезда.КПСС отмечается, что одной из важнейших задач, стоящих перед советскими учеными, является повышение производительности общественного труда. Наиболее эффективно эта проблема решается путем увеличения производительности существующих машин и установок [ I ] .Вакуумные технологические процессы нашли самое широкое применение в электронной, химической, фармацевтической, пищевой и легкой промышленности, в металлургии и медицине. Продолжается дальнейшее изучение и освоение космического пространства, научные исследования в области естественных и технических наук с пшроким применением вакуумных технологических установок. Основной инст1)умент современной ядерной физики - ускоритель заряженных частиц немыслим без вакуума.Время откачки вакуумных систем в нестационарном режиме является существенной составляющей цикловых и внецикловых потерь и определяет фактическую производительность вакуумного оборудования.Существующие в настоящее время методы расчета времени откачки в нестационарном режиме имеют малую точность, т.к. не учитывают десорбцию паров воды с внутренних стенок вакуумных систем и не позволяют с необходимой для практики точностью рассчитывать производительность вакуумных машин и установок на этапе их проектирования.В связи с этим является актуальным и необходимым разработка методики расчета времени откачки, учитывающей количество адсорбированных паров воды, Анализ причин, определяюощх длительность работы вакуумного оборудования в нестационарном режиме позволяет разработать способы уменьшения времени откачки, и, тем самым, повысить производительность вакуумных машин и установок.Целью исследований является определение влияния адсорбированных паров воды на время откачки вакуумных систем в нестационарном режиме и разработка способов увеличения производительности вакуумных машин и установок. Для этого в работе решались следующие основные задачи: 1. Теоретические исследования времени откачки вакуумных систем в нестационарном режиме для различных законов адсорбции паров воды.2. Экспериментальные исследования адсорбции паров воды на поверхности нержавеющей стали в области среднего и низкого вакуума.3. Экспериментальные исследования влияния адсорбированных паров воды на время откачки при квазистационарном режиме для низковакуумных и высоковакуумных систем.4. Исследование лакокрасочных покрытий с целью уменьшения влияния адсорбированных паров воды на время откачки и производительность вакуумных машин и установок, В разработку вопросов, рассмотренных в диссертации, большой вклад внесли многие советские и зарубежные ученые. Вопросы расчета и проектирования вакуумных систем представлены в работах Тягунова Г.А., Дешмана С , Грошковского Я., Лубенца В.Д., Фролова E.G., Левина Г., Пипко А.Н., Плисковского В,Я., Ерюхина А.Б., Саксаганского Г.Л., Макарова А,М., \fenemcL ^. , ^raus Т.К., Steckeimacher- U/.Исследованием десорбционного газовыделения паров воды и его влиянием на время откачки занимались Данилин B.C., Басалаева Н.Я,, Жшйшп B,0,,Power B.jD. , dotjion В.В., Schatui С- и другие ученые.Время откачки в нестационарном режиме-существенно зависит от влажности напускаемого в систему атмосферного воздуха; длительности -разгерметизации системы; температуры поверхности камеры перед откачкой£'шероховатос.ти поверхности. Пренебрежение вжянием адсорбированных паров воды приводит в некоторых случаях к большому расховдению между экспериментальными и расчетньми временами откачки. Особо важное значение учет адсорбции паров воды приобретает для часто разгерметизируемых непрогреваемых установок с напуском неосушенного атмосферного воздуха.Анализ экспериментальных значений, полученных в данной работе, показал, что время откачки с давления ниже 10""^ Па определяется в основном десорбцией паров, воды с внутренних стенок системы. Имекщиеся в литературе методы расчета, учитывающие адсорбцию паров воды, не позволяют точно описать.процесс откачки и. получить хорошее совпадение расчетных и экспериментальных данных.Количественное влияние десорбционного газовыделения паров воды на время откачки необходимо описывать при помощи экспериментальной изотермы адсорбции на поверхности вакуумной камеры. Проведенные исследования показали, что влияние адсорбированных паров воды на время откачки в нестационарном, режиме начинает проявляться при давлении в камере.ниже 10 Па. Б литературе отсутствуют данные по адсорбции парок воды на поверхности нержавеющей стали,- основном материале для вакуумных камер в области среднего и низкого вакуума.Для оценки - точности, предложенных нами, методик расчета времени откачки с учетом десорбционного - выделения паров воды представляется необходимым проведение экспериментальных исследований времени откачки вакуумных систем.Для уменьшения влияния адсорбированных паров воды на время откачки применяются напуск инертного газа в вакуумную систему при. ее разгерметизации или нагрев поверхности камеры при откачке. Однако первый.способ недостаточно эффективен, а второй не. всегда применим, а их использование существенно усложняет конструкцию откачной системы. На наш взгляд представляется перспективным замена нержавеющей стали конструкционной сталью с лакокрасочными покрытиями, что • позволит уменьшить адсорбцию паров воды и время работы вакуутлного оборудования.На основании поставленных задач проведен комплекс исследований нестационарного режима откачки, адсорбированных паров воды в вакуумных машинах и установках. Основные результаты,, полученные в . работе, имеют научную новизну и представляют практическую ценность.Получены аналитические зависимости для расчета времени откачки вакуумных систем в. нестационарном режиме с учетом адсорбции паров воды, подчиняющихся уравнению изотермы адсорбции Генри..Масс-спектрометрические исследования лакокрасочных покрытий на стали 30 позволили определить общее газовыделение и десорбционное выделение паров воды.Разработана инженерная методика расчета времени откачки, в квазистационарном режиме, учитывающая адсорбцию паров воды по уравнению изотермы адсорбции Фрейыдлиха. Экспериментальная проверка этого уравнения показала, что оно выполняется с точностью 20 %, Установдена принципиальная возможность замены неджавепцей стали конструкционной с лакокрасочными покрытиями .дяя непрогреваемых вакуумных систем. Показано, что .применение лакокрасочных покрытий дяя зтменьшения десорбционной составляющей времени откачки позволяет увеличить производительность некоторых типов вакуувшых машин и установок. Например, для газонаполненных камер типа "Атмосфера" использование покрытия ЭП-51 на стали 30 позволяет уменьшить время откачки в I,I раза, .Результаты исследований по. расчету времени откачки вакуумных сиатем с учетом влияния адсорбированных паров воды и .нанесение лакокрасочных покрытий внедрены в промышленность. Полученные в диссертации рекомендации могут быть использованы при расчете нестационарных режимов откачки крупных вакуумных камер электрофизических установок.Данная работа выполнялась в соответствии с координационным планом АН СССР: 1»2 "Ядерная физика"; проблема 1.2.4.1 "Создание новых ускорителей".

173 ВЫВОДЫ

1. Анализ существующих теоретических методов расчета времени откачки и их сравнение с экспериментальными данными показал, что в настоящее время отсутствует методика расчета времени откачки в нестационарном режиме с учетом влияния адсорбированных паров воды на внутренней поверхности вакуумной системы и расчетное время откачки может быть в несколько раз меньше экспериментального.

2. Разработана методика и проведено экспериментальное исследование адсорбции паров воды на металлической поверхности в обла

3 П сти среднего и низкого вакуума. В диапазоне давлений 10 *10 Па экспериментальная изотерма адсорбции паров воды на стали 10Х18Н10Т хорошо описывается уравнением Фрейндлиха. Определены константы

О (у- 1/п)'] О уравнения Фрейндлиха: п = 2,9 и к - 0,0185 [м -Па \/иг.

В более узком диапазоне относительных давлений 0,2*0,005 (давление паров воды 630*16 Па) экспериментальная изотерма может быть описана уравнением БЭТ, что позволяет определить среднее значение теплоты адсорбции паров воды = 56,5 кДж/моль и рассчитать для холоднокатанной нержавеющей стали отношение истинной поверхности к геометрической, равное 5,8 при высоте микронеровностей 17 мкм.

3. Адсорбция паров воды на стенках вакуумной камеры влияет на точность измерения быстроты откачки вакуумных насосов методом постоянного объема. При исследовании характеристик вращательных насосов этим методом, в случае напуска в откачиваемый объем атмосферного воздуха, измерения методом постоянного объема могут проводиться только при давлении выше 20 Па.

4. Разработана конструкция открытого термопарного потокомера для определения скорости газового потока в вакуумной камере в области низкого вакуума. При скорости газового потока меньше 5 м/с получено эмпирическое уравнение зависимости скорости потока от температуры нити накала манометрического преобразователя ПМТ-2.

5. Получены аналитические зависимости для расчета времени откачки вакуумных систем в нестационарном режиме с учетом адсорбции паров воды» подчиняющихся уравнению изотермы адсорбции Генри, а при квазистационарном режиме подчиняющихся уравнению изотермы адсорбции Фрейндлиха. Для определения времени откачки в широком диапазоне рекомендуется пользоваться графо-аналитическим методом, задавая малые интервалы давлений, в которых эффективную быстроту откачки насоса для квазистационарного режима (эффективную быстроту откачки насоса и коэффициент Генри для нестационарного режима) можно считать постоянными. Экспериментальная проверка полученного для квазистационарного режима уравнения показала, что оно выполняется с точностью 20 %. Влияние адсорбированных паров воды на время откачки вакуумных систем после напуска атмосферного воздуха проявляется при давлении ниже 10 Па, а при давлении меньше 10~%а время откачки полностью определяется десорбционным газ отделением паров воды с внутренних стенок камеры,

6. Разработана технология нанесения лакокрасочных покрытий на конструкционные стали. Масс-спектрометрические исследования позволили расположить изученные покрытия в порядке увеличения де-сорбционного выделения паров воды: ЭП-51, ВН-30, КО-822, ХС-791, ПФ-218г, ЭП-773. Применение лакокрасочного покрытия ЭП-51 на стали 30 позволяет снизить процентное содержание паров воды в вакуумной системе по сравнению со сталью 30 без покрытия на 21 %, но на 5 % хуже, чем для нержавеющей стали. Использование этого покрытия позволяет уменьшить время откачки в 1,25 раза для УПН-7Ш-3 и в 1,11 раза для камеры "Атмосфера".

7. Ожидаемый годовой экономический эффект при использовании лакокрасочного покрытия ЭП-51 на стали 30 вместо стали 10Х18Н10Т 3 для одной камеры объемом 108 м составляет 45630 рублей» На данную сумму получен акт о внедрении в ПИ НПО "Лакокраспокрытие" г. Ленинград.

1. Материалы ШТ съезда КПСС. - М.: Политиздат, 1981. - 223 с.

2. Агранат Б.Л., Хесман Б.Л., Либерман А.И., Акимов Ю.Д. Применение лакокрасочных покрытий в среде инертного газа высокой чистоты. Лакокрасочные материалы и их применение. 1979, J& 4,с. 58-60.

3. Акимов Ю.Д., Кузиниц Л.А., Розанов Л.Н., Розенцвейг И.И. Измерение локальных скоростей газовых потоков при низких давлениях.- ПТЭ, 1981, Jß 2, с.241-242.

4. Акимов Ю.Д., Лапина Т.Н. Влияние времени откачки в нестационарном режиме на производительность. вакуумных машин и установок.

5. Труды /ЛПИ, 1982, № 382,с.20-25.

6. Акимов Ю.Д., Розанов Л.Н. Анализ цикловых потерь при автоматизации вакуумных технологических процессов. Труды /ЛПИ, 1978, № 360, с.68-72.

7. Акимов Ю.Д., Розанов Л.Н. Влияние влажности атмосферного воздуха на квазистационарные процессы откачки высоковакуумных систем.- В кн.: 1У Всесоюзная научно-техническая конференция "Физика и техника высокого вакуума". Л., 1974, с.74-75.

8. Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства.- М.: Энергия, 1974. -384 с.

9. Балицкий A.B. Технология изготовления вакуумной аппаратуры. -. М.: Энергия, 1974. 312 с. .

10. Барсон Л.М. Мягкая камера для сварки титана и его сплавов. -Сварочное производство, 1962, JS 10, с. 36-38.

11. Басалаева Н.Я. Газоотделение металлов, применяемых в вакуумной технике. Ш, 1958, J6 5, с.1102-1107.

12. Батунер Л.М., Позин М.Е. Математические методы в химической технике. ЖТф Л.: Госхимиздат, 1963. - 640 с.

13. Брунауэр С. Адсорбция газов и паров. T.I. Физическая адсорбция. М.: Иностранная литература, 1948. 784 с.

14. Будников С.Ф. Динамика вакуумной откачки как совокупность переходных процессов. Труды /Саратовский политехи, ин-т, 1975, вып. 76, с.12-17.

15. Вакуумная техника. Термины и определения. ГОСТ 5197-70. М.: Госстандарт, 1971. - 13 с.

16. Витенберг Ю.Р. Система характеристик шероховатости поверхности. Вестник машиностроения, 1970, iS II, с.56-58.

17. Витенберг Ю.Р. Оценка волнистости поверхности с помощью корреляционных функций. Вестник машиностроения, 1971, $ 8, с.58-60.

18. Волчкевич А.И., Демашкевич Т.Б. О невозможности очистки вакуумной системы от загрязнений путем создания потока промывочного газа. Электронная техника. Электроника СШ, 1970, вып. 7,с.90-94.

19. Волчкевич Л.И., Кузнецов М.М., Усов Б.А. Автоматы и автоматические линии, ч.1. М.: Высшая школа, 1975. - 230 с.

20. Волчкевич Л.И., Кузнецов М.М., Усов Б.А. Автоматы и автоматические линии, ч. 2. М.: Высшая школа, 1975. - 336 с.

21. Востров Г.А., Розанов Л.Н. Вакуумметры. Л.: Машиностроение, 1967. - 236 с.

22. Гейнце В. Введение в вакуумную технику. М.-Л.: Госэнергоиз-дат, i960. - 510 с.

23. Глазков A.A., Милованова P.A. Учебная лаборатория вакуумной техники. М.: Атомиздат, 1971. - 278 с.

24. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. М.: Мир, 1975.-624с.

25. Гуляев М.А., Ерюхин A.B. Измерение вакуума. М.: Госстандарт, . 1967. - 147 с.

26. Гуревич Л.С., Розанов Л.Н., Саксаганский Г.Л. К вопросу о количественном анализе газовых смесей в вакуумных системах с помощыо масс-спектрометров, Электронная техника. Приемно-усили-тельные лампы, 1971, вып. 1/8, с.29-36.

27. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М.: Энергия, 1972. - 256 с.

28. Данилин B.C., Пупко В.А. Технико-экономические аспекты проектирования, изготовления и эксплуатации вакуумного напылитель-ного оборудования. Электронная техника. Микроэлектроника, 1968, вып. 3, с.101-119.

29. Данилин B.C., Пупко В.А. Технико-экономические аспекты проектирования, изготовления и эксплуатации вакуумного напылитель-ного оборудования. Электронная техника. Микроэлектроника, 1968, вып. 4, с.113-127.

30. Данилин B.C., Минайчев В.Е. Пути коренного улучшения характеристик оборудования для напыления тонкопленочных элементов и схем. Электронная техника. Микроэлектроника, 1967, вып. 4, с.5-14.

31. Данилин B.C., Минайчев В.Е., Пискарев А.Ф. Комбинированная откачка вакуумных напылительных установок. Электронная техника. Микроэлектроника, 1967, вып. 4, с.15-21.

32. Данилин B.C., Минайчев В.Е., Пупко В.А. К вопросу сокращения откачного цикла, повышения рабочего вакуума установок для изготовления тонкопленочных элементов интегральных схем. Электронная техника. Микроэлектроника, 1968, вып. 2, с.96-103.

33. Де-Бур Я. Динамический характер адсорбции. М.: Иностранная литература, 1962. - 290 с.

34. Джуринский К.Б. Простой метод исследования сорбции воды металлическими поверхностями. Электронная техника. Электроника СВЧ, 1969, вып. I, с.150-158.

35. Дмитриев М.Т. О конвекционном манометре. ПТЭ, 1959, $ 3, с.148-149.

36. Дубинин М.М. Адсорбция и пористость. М.: Воен.акад.хим.защиты им. маршала Сов.Союза С.К.Тимошенко, 1972. - 127 с.

37. Дубинин М.М., Радушкевич Л.В. К вопросу об уравнении характеристической кривой для активных углей. ДАН СССР, 1947, № 4,с.331-334. ,

38. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1964, - 716 с.

39. Ершов В.Д., Саксаганский Г.Л., Филиппова Л.В. Вакуумные системы синхротронных ускорителей и ускорительно-накопительных комплексов. Л.: НИИЭФА, 1982. - 101 с.

40. Ерюхин A.B. Основы вакуумных измерений. М.: Машиностроение, 1977. - 40 с.

41. Ерюхин A.B., Исследования в области вакуумных измерений. М.: ВНИИКЙ, 1981. - 35 с.

42. ЗакировФ.Г., Николаев Е.А. Откачник-вакуумщик. -М.: Высшая школа, 1973. 248 с.

43. Запорожец Г.И. Руководство к решению задач по математическомуанализу. М.: Высшая школа, 1964. - 480 с.

44. Калябина И.А. Газовыделение некоторых электровакуумных материалов. -Вопросы радиоэлектроники. Электроника СВЧ, 1962, вып. 9, с. 43-53.

45. Кей Дж., Лэби Т. Таблицы физических и химических постоянных. -М.: Госиздат физ.-мат.лит., 1962. 248 с.

46. Кельцев Н.В. Основы адсорбционной техники. М.: Химия, 1976. -512 с.

47. Королев Б.И. Основы вакуумной техники. М.: Энергия, 1964.- 464 с.

48. Коротков П.А., Беляев Д.В., Азимов Р.К. Тепловые расходометры.- Л.: Машиностроение, 1971. 176 с.

49. Котляков И.О., Глинер Э.Б., Смирнов М.М. Уравнения в частных производных математической физики. М.: Высшая школа, 1970.- 712 с.

50. Кошмаров Ю.А., Куприянов В.И., Иванов А.Е., Чубарев Е.В., Дря-мов В.А. Исследование газовыделения конструкционных материалов криогенно-вакуумной техники. -Вопросы атомной науки и техники. Физика и техника высокого вакуума, 1976, вып. 1(5), с.23-27.

51. Кузьмин В.В. Проблемы измерений потоков (расходов) разряженных газов. Вопросы атомной науки и техники. Физика и техника высокого вакуума, 1976, вып. 1(5), с.3-18.

52. Кузьмин Ю.И., Отмахова Н.Г., Писарев В.Е. Сорбция паров воды металлами и сплавами. Электронная техника. Электроника СВЧ, 1972, вып. 2, с.99-105.

53. Лаки, краски и вспомогательные материалы. Государственные стандарты Союза ССР, ч.1. М.: Госстандарт, 1974. - 512 с.

54. Лакокрасочные покрытия в машиностроении. Справочник /Под ред. . М.М.Гольдберга. М.: Машиностроение, 1974. - 576 с.

55. Левин Г. Основы вакуумной техники. М.: Энергия, 1969. -272с.

56. Методические указания по внедрению ГОСТ 2789-73. М.: Госстандарт, 1975. - 16 с.

57. Лубенец В.Д. Оптимизация низковакуумных установок по удельным параметрам. Труды /МВТУ, 1978, & 269, с.62-75.

58. Лубенец В.Д. К расчету многоступенчатых систем низкого вакуума.- Изв.вузов. Машиностроение, 1965, № 10, с.99-105.

59. Мёнх Г.Х. Техника высокого вакуума. М.-Л.: Энергия, 1965,- 560 с.

60. Михеев M.А., Михеева И.M. Краткий курс теплопередачи. М.-Л.: Госэнергоиздат, i960. - 208 с.

61. Основы вакуумной техники /Королев Б.И., Кузнецов В.И., Пипко А.И., Плисковский В.Я. М.: Энергия, 1975. - 416 с.

62. Основы технологии производства электровакуумных приборов / Иориш А.Е., Кащган Я.А., Птицын C.B., Шейнгауз A.A. Л.: Энергия, 1971. - 312 с.

63. Пауэр В.Д. Высоковакуумные откачные устройства. М.: Энергия, 1969. - 528 с.

64. Печатников М.Н. Исследование некоторых вопросов расчета и проектирования машин для бесштенгельной откачки приборов. Автореферат канд.дисс. Л.: , ЛПИ, 1974. - 20.с.

65. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1970. - 504 с.

66. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Оборудование для откачки вакуумных приборов. М.-Л.: Энергия, 1965. - 464 с.

67. Полякова P.A., Будников С.Ф. Две номограммы для оценки переходник процессов в вакууме. Труды /Саратовский политехи, ин-т, 1975, вып. 76, с.70-76.

68. Разработка термовакуумной установки, методики и аппаратуры для испытаний специзделий. Отчет по теме )£ 2154, ЛПИ им. М.И.Калинина, 1977. 58 с.

69. Разработка термовакуумной установки, методики и аппаратуры для испытаний специзделий. Отчет по теме Jfc 1124, ЛПИ им. М.И.Калинина, 1974. 48 с.

70. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1982. -. 207 с.

71. Розанов Л.Н. Производительность непрерывного способа адсорбционной откачки при переменной температуре, движущегося слоя адсорбента. Труды /ЛПИ, 1982, $ 382, с.З-Ю.

72. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. I.: Машиностроение, 1975. - 336 с.

73. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. Конспект лекций, ч.1. Л.: ЛЕИ, 1971. - 176 с.

74. Розанов Л.Н., Щенев В.В., Акимов Ю.Д. Проводимость вакуумных клапанов при молекулярном режиме течения газа. ЗГО, 1977, № 10, с.2145-2150.

75. Саксаганский Г.Л. Расчет вакуумных систем с распределенной газовой нагрузкой. ПТЭ, 1971, № 3, с.226.

76. Сборник технических условий на лакокрасочные материалы, т.1. -М.: Химия, 1971. 396 с.

77. Сборник технических условий на лакокрасочные материалы, т. Доп. М.: Химия, 1972. - 316 с.

78. Сорбционные процессы в вакууме / Под ред. К.И.Мазникова. -М.: Атомиздат, 1966. 313 с.

79. Справочник по физико-техническим основам глубокого охлаждения /Малков М.П., Данилов И.Б., Зельдович А.Г., Фрадков А.Б. М.: Госэнергоиздат, 1963. - 416 с.

80. Тимофеев Д.П. Кинетика адсорбции. М.: АН СССР, 1962. - 252с.

81. Толстов Г.П. Ряды Фурье. М.: Наука, 1980. - 384 с.

82. Тягунов Г.А. Основы расчета вакуумных систем. М.: Госэнергоиздат, 1948. - 148 с.

83. Фролов Е.С., Абрамов Б.М., Гришан В.К. Методика расчета вакуумной системы с заданным составом остаточной газовой среды. -Вопросы атомной науки и техники. Физика и техника высокого вакуума,.1978, вып. 1(7), с.82-84.

84. Фролов Е.С., Никулин Н.К. Теоретические основы процессов высокого вакуума. М.: МВТУ, 1978. - 72 с.

85. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. М.: Советское радио, 1973. - 384 с.

86. Черепнин H.B. Вакуумные свойства материалов для электронных приборов. М.: Советское радио, 1966. - 350 с.

87. Черепнин Н.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике-. М.: Советское радио, 1967. - 408 с.

88. Шаповал Б.И. Влияние эмалирования внутренней поверхности реципиента на состав и количество остаточных газов. ФТИ АН УССР, 1968, с.3-8.

89. Шаумян Г.А. Комплексная автоматизация производственных процессов. М.: Машиностроение, 1973. - 640 с.

90. Шаумян Г.А., Кузнецов М.М., Волчкевич Л.И. Автоматизация производственных процессов. М.: Высшая школа, 1967. - 470 с.

91. Шероховатость поверхности. Параметры, характеристики и обозначения. ГОСТ 2789-73, ГОСТ 2.309-73. М.: Госстандарт, 1975.- 24 с.

92. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.-Л.: Госэнер-гоиздат, 1963. - 608 с.

93. Эшбах Г.Л. Практические сведения по вакуумной технике. М.: Энергия, 1966. - 296 с.х х х х х

94. Baker W.C. Messung von Gasdurchflu3 in durch und aus einem Vakuumsystem. Vakuumtechnik, 1970, 19, N 5, S. II3-II7.95*' Bateson S. Aluminium reflecting film applied to glass and plastics. Vaccum. 1952, 2, N p. 365-376. " *

95. Boehm H. P., Sappok E. Mesrogravimetric studies of water vapour adsorption on solid surface. Progr. Vacuum Microbalance Techn. 1972, N I, p. 247-264.

96. Bowden P.P., Throssell W.E. Adsorption of water vapour of solid surfaces. Nature, 1951» 167, N 4250, p. 601-602.

97. Kraus T.K. Anew theory an adsorption and desorption of vapour. -A.V.S., 1963, P. 77-83.

98. Kraus T.K. On the use of the pumping time equation in the vacuum technique. A.V.S., 1959, p. 204-205.

99. Kraus T.K. tTber die Evakuiru^gsgeschwindigkeit von hochvakuumanlagen. Vakuum-Technik, 1959, 8, N 2, S, 39-4-3«

100. Kraus T.K. TTber die Evakuirungsgeschwindigkeit von Vakuumanlagen. Die Naturwissenschaften, 1958, 4-5, N 22, p. 538.

101. Nair C.V.G., Vijedran P.A. New cryosorption pump for better ultimate vacue. Proc. 6-th int Vacuum Congr.,1974-, P« 93-96.

102. Pitt K.E.G. The nature of residual gases during the evaporation of silicon oxide. Vacuum. 1967, 17, N 12, p. 649.

103. Pitt K.E.G., Howard A.I. The nature of residual gases during the depostion of resistive thin films. Vacuum, 1968, 18, p. 517-518.

104. Power B.D., Crawlay D.I. Problems arising the attainment of low pressure by fractionating vapour pumps in large demountable systems. Advance in vacuum science and technology, I960, I, p. 206-211.

105. Roger K.W. The variation in outgassing rate with the time of exposure and pumping. A.V.S., 1963, p. 84-87.

106. Coolidge A.S. The adsorption of vapoure by charcoal. The journal of "the American chemical society, 1924, v. 46, N 3, p. 596-627.

107. Dayton B.B. Outgasing rate of contaminated metal surfaces. -American vacuum society (A.V.S.), 1961, p. 42-57«

108. Dayton B.B. Relations between size of vacuum chamber, outgas-sing rate and required pumping speed. A.V.S., 1959» p. 101-119.

109. Deitz V.R., Turner N.H. Introduction of water vapour into vacuum systems and the adsorption by the walls, Vac. Sci. and Technol., 1970, 7, N 6, p. 577-580.

110. Delatosse, Mongodin G. Les calculs de la technique du vide. -be Vide, 1961, 16,- N 92, p. I-I07.

111. Frazer I.C.W., Patrick W.A., Smith H.E. The thinkness .of adsorbed vapor films. The ¿journal of physical chmistry, 1927, v. 31, N 5, p. 897-9o5.

112. Galron H. Reduction in outgassing rate of water vapour from a vacuum system after exposure by improved treatment. Vacuum, 1973, 23, N 7, P. 177-178.

113. Halsay G. Physical adsorption om non-unoform surfaces. The journal of chemical Physics, 1948, 16, N 10, p. 931-937.

114. Hawis C.E., Baker W.C. Measuring small gas flows into vacuum systems. I. Vac. Science and Technol., 1969, 6, N II,p. 255-257.

115. Hayashi Ch. Role of adsorption in production and measurement of hight vacuum. A.V.S., 1957, p. 13-26.

116. Varadi P.F. Effect of pretreatment on the degassing of materials -A.V.S., 1961, p. 73-77.

117. Vavasseur G. Procédé de mise sous vide L'urne emceinte par pompage fractionne (Commissariat a L'Energia Atomique), F048, 32/00, N 2038665.

118. Venema A. Processes limiting the ultimate prossurein ultra high vacuum systems. A.V.S., 1961» p. 1-7.

119. FOR 1=1 TO 3 '¿•;40 E«El'(I).\ N»N1 <I> '50 , R1NT $2»*"-"PS«" E>"N»«",N" , 0 H«.5&PI/1SQ'''' ;•• 80 RU)«<E*H~N/H)/(lfE*H), ' £ r9'0 :;R (2)■(E*2*H~N/(2*H) > M1 *E*H)'

120. A«SIN (Fl) /COS (Fl) ,* -120 B~- (E«F1-N/F1) / (1 ¡E«N)! ' v^130 *R(3)-(B~A) '

121. OPEN "LPs" FOR 0UTPU1 AS FILE #2

122. DIM PI(3> *R(3>*P2(3>»01(3>»0(3*5) »r'(3»5>»N(3)*C(3)/N1(3)40 FOR 1=1 TO 3

123. PRINT *"EP3~V'»E<I> »»"NKK'JNa) 180 PRINT i2»*"EP3="*E(I>»"N»='"*Na)190 PRINT #2*".r."200 FOR K=1 TO N2

124. PRINT ,TiriKr>="F<IiK>**"OMriKr>="?Oa*K>

125. PRINT $2»USING " FI<#) UM<S)=«i.«i"»K»ra*K> rK*G(I»K)230 NEXT K240 T=0250 0=01(M>260.-A-0270 FOR K=1 TO N2

126. B=OU»K>*<COS(Fa*K>) -(NiD/F (I * K > > x 31N (f (I y K)))

127. C=(F(I*K> > A2* (10/ <1 »-00*0)) A2xT300 IF 080 THEN ¡>00310 A™~A+B/EXP (C)320 NEXT K330 P~P1(M)»A

128. PRINT " T™ " * T *" P="'* P i" PK= " * P2 (M) ,<350 IF P<P2(M) GO TO 330360 T*T+H370 GO TO 260380 H=ffi 1390 IF H)3 GO TO 510400 l-N20«H410 GO TO 250420 PRINT #2» "430 PRINT «»440 PRINT #2*" T~F (F)•450 PRINT $2*" ."

129. PRINT S2» 470 PRINT 12," P=0" 480 PRINT $2»" .

130. PRINT "PN»-"?P1 <L) »"PK~"»P2(L) » "'l=-'"*".r(L)

131. PRINT 4=2»USING "Pi !=*.#** PK»*.tt# T=i't.»i»$iT*' »P.l <L) *P2 (L) »T (L)510 NEXT I

132. A3xA3)+P 13x2xA2xA3x(A2+A3)+pf 4xA3*

133. A3xA2xA2,; R:=~sxpxd/(Vxd+FxA11. FxpxpxA1xA2xA3); end:read(h* a,b,s*V,F,Po,a1,k,Q»g,f1,f2);format('. 1234^12«-«»); e1~f1 ; e2«g;c:=exp ((Q-10800)/596■); Al~a1 xC/Po;

134. Испытание дакокрасочных покрытий для• (название работы) *работы.в вакууме: .■ г . .--■ гстоимостью—-тыс. руб.,, начата в 197*7 году, закончена и принята заказчиком1.НОЯбрЯ 1977 года.

135. Внедрена (использована) ПИ НТО "ЛЯКОКШСПОКРЫТИе"• "■1111111 .(место внедрения-предприятие, отрасль)

136. ТУТЯНТОТ при изготовлении камеры для сварочныхпроцессы и т. д., испб5>ьзоваиы при составлении проектов, проведении научны* исследоварф^ф|р

137. Годовой экономический эффект-|~^^составил 45630 рублей сорок пять тысяч шестьсот тридцать рублейцифрами и прописью) „-г;."*»^

138. К акту л а гд етсяк р а т к и й расчет годового э койдаи дееког^'э (см. 11 а о т,е М'1 о дп и с а ни ы й ответственнымиз а ц и и {/¿й едрГяющей результаты НИР, скреплен нШ ¿^¿ь&Й^* V1. Л. Гх 1 « * ' \ £

139. Представители организации" ¿-П• V ? НИ *1. Преостцмшли вуза ■ " < £0%-У'

140. Краткий расчет годового экономического эффекта

141. Стальная камера: объем 108000л ;вее П =51000 кГплощадь поверхности Экономический-эффект Эл от использования ст.З с лакокрасочным по!фытием взамен стали 1Х18Н10Т равен:эл=сК1-сК2- хсл,: , (X)где .1. Т X • *

142. С„ = 51000 руб. стоимость камеры из стали КХ 1Х18Н10Т; • • :•:

143. С = 5100. руб. стоимость намеры из ст.З без к2 • ( . по1фытия;270 руб. стоимость покрытия поверхности л ' камеры лакокрасочным покрытием^1

144. Тогда согласно уравнению (I) экономический эффект при использовании ст.З с лакокрасочным покрытием 'ЗП-51 для одной камеры составит Э^ = 45630 рублей.'

145. Данный акт не является основанием для предъявления Заказчйку'.какихглибо финансовых претензий.1. АКТ

146. ОБ ИСПОЛЬЗОВАНИИ (ВНЕДРЕНИИ) НИР01 . марта и/я А-77-01-197 Э-.

147. Краткий расчет годового экономического эффекта1. Работа поисковаям. п.1. Представители организации

148. ЛПИ. Зак. 1135-6000. 16-Х1-77 г.1. СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ1. Титульный лист2. Оглавление3. Рисунки4. Таблицы5* Литература6. Материалы внедрения7. Текстовая часть