автореферат диссертации по машиностроению и машиноведению, 05.02.13, диссертация на тему:Исследование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе для процесса производства электронной техники

Введение.

Глава 1. Состояние вопроса и постановка задач исследования.

1.1. Научно-технические проблемы и особенности производства полупроводниковых структур.

1.2. Обзор работ по теме исследования.

1.2.1. Транспортирование пластин при помощи СМИФ-контейнеров

1.2.2. Туннельно-трековые системы транспортирования.

1.2.3. Транспортирование пластин при помощи пассиковых конвейеров (сверхлегкие ленточные конвейеры).

1.2.4. Автоматические тележки.

1.3. Выбор рационального межоперационного транспортирующего средства для перемещения изделий ЭТ. Формирование требований к транспортирующему средству, предназначенному для работы на современных предприятиях микроэлектроники.

1.4. Объект исследования.

1.5. Цели и задачи исследования.

Глава 2. Исследование геометрических и кинематических параметров транспортирующего агрегата.

2.1. Общие замечания.

2.2. Выбор геометрических параметров криволинейных участков направляющей в горизонтальной плоскости.

2.3. Параметры криволинейного участка направляющей в вертикальной плоскости, определяемые габаритными размерами носителя.

2.4. Зависимости между геометрическими и кинематическими параметрами системы "колесный носитель - направляющая".

2.5. Выбор геометрических параметров криволинейных участков в вертикальной плоскости, определяющих оптимальный контакт ведущего звена с направляющей.

2.6. Итоги и выводы.

Глава 3. Исследование силового взаимодействия колесного носителя с пространственной направляющей.

3.1. Общие замечания.

3.2. Определение усилий при взаимодействии носителя с направляющей без учета податливостей обрезиненных колес.

3.3. Определение усилий при конечных значениях податливостей обрезиненных колес.

3.4. Определение усилий при конечных значениях податливостей обрезиненных колес и зазора между опорными колесами и элементами направляющей при действии веса бокса с переменной массой.

3.5. Анализ влияния величин податливостей и зазора на параметры силового взаимодействия.

3.6. Анализ влияния жесткости пружины на параметры силового взаимодействия.

3.7. Определение суммарных сил сопротивления передвижению носителя

3.8. Выбор мощности двигателя для колесного носителя.

3.9. Итоги и выводы.

Глава 4. Исследование элементов динамики привода колесного носителя.

Экспериментальное исследование параметров транспортирующего агрегата.

4.1. Приведение массовых и силовых параметров.

4.2. Составление уравнения движения колесного носителя.

4.3. Решение дифференциальных уравнений движения носителя.

4.4. Экспериментальное исследование параметров транспортирующего агрегата.

4.4.1. Описание экспериментального макета транспортирующего агрегата.

4.4.2. Определение реакций в опорах колес и усилия в пружине для трех случаев положений носителя относительно направляющей. Определение величин жесткости обрезиненных ободов колес носителя и анализ влияния реакции на переменность жесткости.

4.4.3. Определение приведенных коэффициентов трения для опорных колес и ведущего звена носителя.

4.4.4. Определение сопротивлений передвижению носителю на участках направляющей.

4.5. Итоги и выводы.

Глава 5. Разработка методики и технических норм для проектирования и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе.

5.1. Расчет интенсивности выброса загрязнений элементами транспортирующего агрегата с колесными носителями.

5.2. Методика и технические нормы для выбора рациональных параметров транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе.

5.3. Итоги и выводы.

Результаты исследования и общие выводы по работе.

Актуальность проблемы. Интенсивное развитие микроэлектроники, обусловленное возрастающим спросом на полупроводниковые (п/п) приборы во всех сферах жизнедеятельности человека требует создания новых производственных площадей. При появлении нового поколения ИС уменьшаются размеры топологических элементов, увеличиваются площадь пластины и число технологических операций. В результате увеличиваются производственные площади, ужесточаются требования к чистоте окружающей среды на важнейших технологических участках.

Отличительной чертой интенсификации процесса п/п производства является внедрение гибких производственных систем (ГПС), в которых важнейшим компонентом является автоматизированная межоперационная транспортно-накопительная система.

При необходимости транспортировки изделий между технологическими участками расчлененными в пространстве, что особенно характерно для п/п производства, либо расположенными на разных уровнях, а тем более на разных этажах производственного здания, применение большей части известных транспортных средств становится нецелесообразным, либо конструктивно усложняется.

Анализ имеющихся транспортирующих агрегатов, применяемых как в общем машино- и приборостроении, так и в производстве электронной техники (ЭТ) показал, что наиболее универсальным и эффективным для организации межоперационного транспортирования в процессе п/п производства, учитывая его специфические особенности, являются транспортирующие агрегаты с колесными носителями с геометро-силовым замыканием, движущимися по пространственной трассе с одновременной организацией автоматической системы адресования, учета и хранения изделий.

Основным достоинством геометро-силового замыкания для колесных носителей является то, что оно позволяет осуществить перемещение носителей с изделиями по пространственной трассе под любым углом к горизонту.

К преимуществам межоперационных транспортных систем с пространственной формой перемещения можно отнести возможность создания гибкого транспортного потока, организованного в свободном пространстве производственных помещений и подведение носителей непосредственно на позицию обработки, реализуя одновременно заданную ориентацию партий изделий, без использования дополнительных перегрузочных и подъемно-транспортных устройств.

Использование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями при геометро-силовом замыкании с пространственной направляющей на современных предприятиях микроэлектроники ограничивает отсутствие широких исследований таких сложных технических систем, а также необходимых для их проектирования и эксплуатации научно-обоснованных технических норм и методик, основанных не только на традиционных критериях работоспособности, но и учитывающих критерий минимальной привносимой дефектности.

Цель и задачи работы. Целью диссертационной работы является разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями с геометро-силовым замыканием на пространственной трассе для процесса производства ЭТ.

В соответствии с поставленной целью в работе решаются следующие задачи:

- анализ транспортного оборудования, применяемого в общем машино- и приборостроении и в процессе производства ЭТ с целью выбора рационального межоперационного транспортирующего агрегата;

- исследование геометрических и кинематических параметров колесного носителя с геометро-силовым замыканием и геометрии пространственной направляющей транспортирующего агрегата;

- исследование силовых параметров взаимодействия колесного носителя при геометро-силовом замыкании с пространственной направляющей транспортирующего агрегата;

- разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями с геометро-силовым замыканием на пространственной трассе на основе проведенных исследований с учетом критерия привносимой дефектности.

Научная новизна работы:

1. Уточнены основные положения общей теории монорельсового транспорта по вопросам геометрии, кинематики и силового взаимодействия колесного носителя с геометро-силовым замыканием с пространственной направляющей при движении по круговой траектории в вертикальной плоскости для специфических условий эксплуатации в чистых производственных помещениях.

2. Разработаны технические нормы и методика для проектирования и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе с учетом влияния работы агрегатов на чистоту производственного процесса.

Практическая значимость. Разработанная расчетная методика, технические нормы, программы расчета и конструктивные разработки приводного механизма и замыкающего устройства носителей могут быть использованы при проектировании и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями на предприятиях по производству электронной техники, а также на предприятиях общего приборостроения.

Достоверность результатов. Достоверность полученных в ходе исследования теоретических положений и выводов подтверждается согласием их с экспериментальными результатами.

Внедрение результатов работы. Результаты работы в виде расчетной методики, технических норм, программ расчета и конструктивных разработок приводного механизма и замыкающего устройства носителей внедрены в конструкторскую практику предприятия "ОАО "НИИТМ".

Апробация работы. Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на всероссийских межвузовских научно-технических конференциях студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 99", 8

Микроэлектроника и информатика - 2000" и "Микроэлектроника и информатика - 2001" (Москва, 1999 - 2001).

Публикации. Основные результаты диссертационной работы опубликованы в 12 печатных работах в научно-технических журналах, сборниках научных трудов и тезисов докладов.

Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, общих выводов, списка литературы из 97 наименований и приложения. Общий объем работы составляет 212 страниц, в том числе 148 страниц основного текста, 61 рисунков, 8 таблиц и 7 страниц приложения.

Результаты исследования и общие выводы по работе

1. Для организации межоперационного транспортирования в процессе производства ЭТ, в наибольшей степени удовлетворяют транспортирующие агрегаты с колесными носителями с геометро-силовым замыканием, движущихся по пространственной трассе с одновременной организацией автоматической системы адресования, учета и хранения изделий.

2. Сформулированы требования к межоперационному транспортирующему агрегату с пространственной формой перемещения изделий, предназначенному для использования на современных предприятиях микроэлектроники.

3. Установлено, что повышенное выделение загрязнений в парах "обрезиненные колеса - направляющая" при движении носителя по криволинейным участкам трассы в горизонтальной плоскости вызвано нерациональной установкой оси ведущего катка относительно осей симметрии носителя и жестким закреплением осей опорных колес. Даны рекомендации по установке колес носителя, способствующие минимуму выбросов загрязнений.

4. Установлено, что начальная кривая зубчатой направляющей на переходных криволинейных участках в вертикальной плоскости существенно отличается от принятой в имеющихся конструкциях транспортирующих агрегатов кривой сопряжения прямой с окружностью, что нарушает правильность зацепления в паре "ведущее зубчатое колесо - направляющая". Показано, что для таких участков требуется переменное значение коэффициента смещения зубчатого зацепления, подчиняющегося определенной зависимости; такая закономерность в диссертации установлена.

5. Изучено влияние податливостей колес носителя и зазора между опорными колесами и полками направляющей на силовые параметры взаимодействия. Показано, что при расчете усилий в контактах колес носителя с направляющей необходимо учитывать упругие деформации колес, а при расчете суммарных сил сопротивления перемещению носителя, влиянием деформаций колес можно пренебречь.

6. Установлено, что коэффициент жесткости к обрезиненных колес носителя в функции от нагрузки является нелинейной величиной, особенно в области малых нагружений. Показано, что при практическом расчете, для достижения более точного результата, целесообразно использовать, полученные опытным путем зависимости k = f (R) для фрикционного катка и опорных колес носителя.

7. Экспериментальное исследование сопротивлений передвижению носителю показало, что переход носителя с фрикционного на зубчатое зацепление сопровождается ударными нагрузками, а выполненные начальные кривые зубчатой направляющей в виде сопряжения прямой с окружностью, создают неправильное зубчатое зацепление. При использовании комбинированного зацепления ведущего звена, необходимо применять безударные стабилизирующие устройства на переходных участках, и исполнять кривую зубчатой направляющей по уравнениям, полученным в диссертации.

8. Показано, что для силового замыкания колесного носителя более рациональным следует признать использование плоских пружин. Применение плоских пружин позволяет снизить пылегенерацию, за счет устранения подвижных соединений в зацепах винтовой пружины и конструктивно упрощает изменение жесткости и возможности регулирования усилия пружины.

9. Получены зависимости, позволяющие определять интенсивность пылегенерации загрязняющих частиц для открытой пары "ведущее звено носителя - направляющая" при двух вариантах зацепления - фрикционного и зубчатого, необходимые для оценки пригодности транспортирующих агрегатов для эксплуатации в чистых производственных помещениях.

10. Обоснованы технические нормы и разработана методика для поэтапного расчета рациональных параметров транспортирующих агрегатов с колесными носителями изделий. Методика позволяет на этапе проектирования производить расчет конструктивных параметров транспортирующих агрегатов, расчет интенсивности пылегенерации кинематических пар и подбирать параметры взаимодействия колесного носителя и направляющей, а также материалы элементов конструкции, отвечающие минимуму выброса загрязнений.

1. Баранов Ю.Л. Автоматизация производства полупроводниковых приборов. Обзоры по электронной технике. Серия 2. Полупроводниковые приборы. М.: ЦНИИ Электроника, 1990. Вып. 4 (1556). 48 с.

2. Назаров Г.В., Сатаров Г.Х. Транспортные и загрузочные системы микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1991. 67 с.

3. Стасова О.М., Гузенкова Н.Д., Симонова A.M. и др. Основные этапы создания свободного от загрязнений полупроводникового производства. Зарубежная электронная техника, 1997. №1. С. 15-39.

4. Основные направления совершенствования контроля за загрязнениями. Экспресс-информация по зарубежной электронной технике, 2000. №11. С. 1-3.

5. Большаков Н.А., Литвинов Ю.М., Раскин А.А. и др. Новое в технологии обработке пластин кремния большого диаметра для изготовления СБИС. Зарубежная электронная техника, 2000. №4. С. 17-20.

6. Ясунага К. Чистые комнаты по производству полупроводниковых пластин. Денси дзайре, 1987. т. 26. №8. С. 49-61 (Яп).

7. Мацумото Г. Чистые системы транспортирования. Денси дзайре, 1987. т. 26. №8. С. 62-68 (Яп).

8. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства. М.: Машиностроение, 1986. 264 с.

9. Блинов И.Г., Кожевников А.П. Основы комплексной механизации и автоматизации производственных процессов микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1977.

10. Александрова А.Т., Ермаков Е.С. Гибкие производственные системы электронной техники. М.: Высшая школа, 1989.

11. Егоров В.А. Транспортно-накопительные системы для ГПС. Л.: Машиностроение, 1989.-293 с.

12. Сотников М.И. Выбор типа транспортно-накопительной системы ГПС для обработки корпусных деталей по безлюдной технологии. Дисс. . к-та техн. наук. М.: 1991.

13. Иванов А.А. ГПС в приборостроении. М.: Машиностроение, 1988.

14. Гибкая производственно-транспортная система на предприятии электронной промышленности. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2001. №4. С. 11.

15. Мазеин П.Г., Сайфутдинов С.Р. Автоматизированные транспортно-накопительные системы машиностроительных производств: Текст лекций. В 2-частях. Часть 1. Челябинск: ЧГТУ, 1996. -54 с.

16. Мазеин П.Г., Сайфутдинов С.Р. Автоматизированные транспортно-накопительные системы машиностроительных производств: Текст лекций. В 2-частях. Часть 1. Челябинск: ЧГТУ, 1998. -74 с.

17. Сухихаре С. Классификация и выбор элементов м/о транспортировки и складирования. Отомэсён, 1985. т. 30. №8. С. 137-148 (Яп).

18. Nuberg S., Schardi W. Transport in flexiblen Fertigungssystemen. Werkstattstechnik, 1985. 75, №8. P. 473-476.

19. Кожевников А.П. Устройства автоматизации технологического оборудования микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1985.

20. Пертен Ю.А., Богуславский И.Н. Зарубежные конструкции напольных тележечных конвейеров. М., 1969. 38 с.

21. Левинсон В.И. Транспортные устройства непрерывного действия. М.: Машгиз, 1960.

22. Бондаренко Г.К. Разработка и исследование автоматизированных транспортно-конвейерных систем. Дисс. . к-та техн. наук. Львов, 1984.

23. Power & Free-Systeme. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. №11. P. 793-794 (Нем).

24. Спиваковский A.O., Бржезовский С.И., Дьячков В.К. Транспортирующие машины. Атлас конструкций. М.: Машиностроение, 1969. 115 с.

25. Подвесной конвейер с тремя рельсами. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2002. №5. С. 8.

26. Разработка и исследование конвейерно-адресного комплекса и системы разгрузочно-погрузочных устройств и роботов-манипуляторов для АПЛ эпитаксии. Технический отчет по теме "Оборудование-7". Руководитель Лобиков Л.В. М., 1977. 41 с.

27. Гребенкин В.З., Громов В.В., Осипова С.Д. и др. Транспортирующие устройства для межоперационного перемещения полупроводниковых пластин при производстве СБИС. Электронная промышленность, 1988. №10. С. 24-26.

28. Зиновьев Б.К., Ивацевич А.П., Ржанов В.Г. и др. Автоматический транспортный робот. Электронная промышленность, 1981. №10. С. 102-103.

29. Kobayashi Т. AGV system in FMS. Pobotto, Robot, 1984. №44. P. 43-47.

30. Козьмин П.С. Элеваторы, транспортеры и конвейеры. 4.1. Транспортные устройства с тяговым органом. Л. М.: ГНТИ по машиностроению, металлообработке и черной металлургии, 1932. - 428 с.

31. Сперанский Б.А. Индустриальные конструкции транспортерных эстакад. Дисс. . к-татехн. наук. Свердловск, 1952.

32. Никонов И.Я. Анализ средств механизации транспорта, трудоемких и тяжелых работ в текстильной промышленности. Дисс. . к-та техн. наук. М.: 1953.

33. Багдасарян P.M., Никонов И.Я. О монорельсовом транспорте. Известия вузов. Машиностроение, 1976. №10. С. 103-109.

34. Багдасарян P.M. Исследование механизма передвижения пространственной монорельсовой дороги. Дисс. . к-татехн. наук. М.: 1982.

35. Лейкехмахер Б.Я. Зарубежные конструкции монорельсовых дорог с закрытым профилем. М.: НИИинформтяжмаш, 1975. 34 с.

36. Новые функции электрических подвесных дорог. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2002. №9. С. 15.

37. Hangebahntradition mit Zukunft. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. №11. P. 784-785 (Нем).

38. Богачек A.3., Глухи Н.И. Однорельсовая подвесная дорога с автоматическим адресованием. Механизация и автоматизация производства, 1985. №8. С. 8-9.

39. Автоматизация транспортных систем с монорельсовыми подвесными трассами. Реферат. Исп. Моторный П.И. М.: МИЭТ, 1986. 33 с.

40. Elektrohangebahnen. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. №11. P. 786-789 (Нем).

41. Подвесная монорельсовая дорога на предприятии электронной промышленности. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2001. №7. С. 17.

42. Подвесная электрическая дорога с вертикальными участками трассы. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2001. №3.

43. Гольцова М.В. Пути сокращения затрат на освоение производства новых поколений ИС. Зарубежная электронная техника, 1995. № 2-3. С. 63-80.

44. Harada Н., Suzuki Y. SMIF system perfomance at 0.22 цш particle size. Solid State Technology, 1986. т. 29. №12. P. 61-65.

45. Панфилов Ю.В. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. М.: Радио и связь, 1988. 320 с.

46. Макушин М.В. Заводы по обработке пластин диаметром 300 миллиметров: переход от опытного к массовому производству. Зарубежная электронная техника, 2000. №4. С. 3-16.

47. Булынко Б.И., Лобиков Л.В., Ращинский В.П. и др. Автоматизированная транспортная система. Электронная промышленность, 1981. №10. С. 41-43.

48. Иванов В.И., Лобиков Л.В., Савин А.И. и др. Автоматическая поточная линия диффузии. Электронная промышленность, 1981. №10. С. 39-40.

49. Разработка, изготовление, монтаж, наладка и производственные испытания транспортной системы применительно к условиям ЛПК. Технический отчет по теме "БОЛТ-ТЛ-О". Руководитель Булынко Б.И. М„ 1982.-40 с.

50. Исследование транспортирующего устройства АПЛ с дискретным носителем изделий на пространственной трассе. Отчет о НИР "67-ТМ". Руководитель Гребенкин В.З.; отв. исп. Редин В.М. № Гос. per. 01820092634. М: МИЭТ, 1985. -76 с.

51. Пронин Б.А., Ревков Г.А. Бесступенчатые клиноременные и фрикционные передачи (вариаторы). М.: Машиностроение, 1980. 320 с.

52. Решетов Д.Н. Исследование и расчет деталей станков на основе контактных условий. Дисс. . к-татехн. наук. М.: 1946.

53. Михайлова В.А. Исследование фрикционных вариаторов. Исследование потерь на трение на площадке контакта тел качения вариатора; исследование шаровых вариаторов; установление типажа вариаторов для станкостроения. Дисс. . к-татехн. наук. М.: 1955.

54. Щетников В.А. Динамическая точность фрикционных механизмов. Дисс. . к-татехн. наук. М.: 1953.

55. Решетов JI.H. Самоустанавливающиеся механизмы: Справочник. М.: Машиностроение, 1979. 334 с.

56. Баранов Г.Г. Курс теории механизмов и машин. М.: Машиностроение, 1967. 508 с.

57. Теория механизмов и машин. Под ред. Фролова К.В. М.: Высшая школа, 1987.-496 с.

58. Машины непрерывного транспорта. Под ред. Плавинского В.И. М.: Машиностроение, 1969. 719 с.

59. Александров М.П. Подъемно-транспортные машины. М: Высшая школа, 1972.-504 с.

60. Гребенкин В.З., Андренюк В.А. Параметры силового взаимодействия колес носителя с пространственной направляющей. Межотраслевой научно-технический сборник "Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России". 2001. №2. С. 3-7.

61. Бать М.И., Джанелидзе Г.Ю., Кельзон А.С. Теоретическая механика в примерах и задачах: Учебное пособие для втузов. Том 2. М.: Наука, 1975.

62. Потемкин В.Г. Введение в MATLAB. М.: Диалог-МИФИ, 2000.

63. Дьяконов В.П. MATLAB: Современное средство мат. моделирования процессов. Учебный курс. СПб. и др.: Питер, 2001. 553 с.

64. Дьяконов В.П. MATLAB 6: Универсальная интегрированная система компьютерной математики. Учебный курс. СПб. и др.: Питер, 2001. 592 с.

65. Артоболевский И.И. Теория механизмов. М.: Наука, 1967. 719 с.

66. Комаров М.С. Динамика грузоподъемных машин. М.: Машгиз, 1962. 267с.

67. Зиновьев В.А., Бессонов А.П. Основы динамики машинных агрегатов. М.: Машиностроение, 1964. 239 с.

68. Микроэлектродвигатели для систем автоматики: Справочник. — М.: Энергия, 1969.-272 с.

69. Расчет и конструирование точных механизмов. Лабораторные работы. Под ред. Середы В.Т. Киев Донецк, изд. объединение "Вища школа", 1978. - 248 с.

70. Василенко Н.В., Ивашов Е.Н., Ковалев Л.К. и др. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства электронной техники. В 2-х томах. Том 2. Красноярск: Кн. изд-во Сиб. аэрокосм, акад, 1996. 416 с.

71. Методика определения параметров пылегенерации подвижными соединениями транспортных систем ТАЛ микроэлектроники. М.: МИЭТ, рукопись для ведомственного пользования, 1988.-39с.

72. Крагельский И.В., Добычин М.Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. 526 с.

73. Демкин Н.В. Фактическая площадь касания твердых поверхностей. М.: АН СССР, 1962.- 111 с.

74. Крагельский И.В., Непомнящий Е.Ф., Харач Г.М. Усталостный механизм и краткая методика аналитической оценки величины износа поверхностей трения при скольжении (исходя из свойств материалов и условий их работы). М.: АН СССР, 1967.-19с.

75. Прочность. Устойчивость. Колебания. Справочник в 3-х томах. Том 2. Под ред. Биргера И.А. и ПановкоЯ.Г. М.: Машиностроение, 1968. 465 с.

76. Дмитриев В.А. Детали машин. Л.: Судостроение, 1970. 792 с.

77. Спиваковский А.О., Дьячков В.К. Транспортирующие машины. М.: Машиностроение, 1968.-503 с.

78. Спиваковский А.О., Дьячков В.К. Транспортирующие машины. Справочник проектировщика. М.: Машиностроение, 1983. 487 с.

79. Промышленный транспорт. Под ред. Гельман А.С., Чубарова С.Д. М.: Стройиздат, 1984. 415 с.205

80. Черпаков Б.И. Загрузочные и транспортные устройства в автоматизированном производстве. М.: Высшая школа, 1977. 55 с.

81. Элементы приборных устройств. Курсовое проектирование в 2-х частях. 4.2. Под ред. Тищенко О.Ф. М.: Высшая школа, 1978. 232 с.

82. Нестеренко А.Д., Орнатский ПЛ. Детали и узлы приборов. Киев, 1963. -428 с.

83. Дубина В.В., Чикунов Н.П. Аккумуляторные батареи: устройство, обслуживание, ремонт. Учебное пособие. Саранск: Изд-во Мордов. ун-та, 2001. -188 с.

84. Бирюков Ю. Секреты правильного питания. Stereo&Video, 2001. №12. С. 122-126.

85. Норох А.А., Андренюк В.А. Оптические средства контроля и управления транспортной системой кристального производства микроэлектроники. М.: МИЭТ-ТУ. Известия вузов. Электроника, 2000. №2. С. 45-52.

86. Тимошенко С.П. Сопротивление материалов. В 2-х томах. Том 1. М.: Наука, 1965. 364 с.

87. Борисов С.И., Комаров В.Ф., Токарев B.JI. Теория механизмов и детали точных приборов. М.: Машиностроение, 1966. -408 с.

88. Добровольский В.А. и др. Детали машин. Учебник для машиностроительных вузов. Издание 7-е. М.: Машиностроение, 1972. 503 с.

89. Пронин Б.А. Клиноременные и фрикционные передачи и вариаторы. М.: Машгиз, 1960. 334 с.206