автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.14, диссертация на тему:Исследование и разработка технологических методов повышения точности и размерной стабильности прецизионных деталей и узлов гироскопических приборов

005054427

На правах рукописи

Яковлева Светлана Анатольевна

ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ

МЕТОДОВ ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ И РАЗМЕРНОЙ СТАБИЛЬНОСТИ ПРЕЦИЗИОННЫХ ДЕТАЛЕЙ И УЗЛОВ ГИРОСКОПИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Специальность 05.11.14 - технология приборостроения

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

- 8 НОЯ 2012

Санкт-Петербург - 2012

005054427

Работа выполнена в Государственном научном центре Российской Федерации — ОАО «Концерн «Центральный научно-исследовательский институт «Электроприбор» и в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Санкт-Петербургский

национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики».

Научный руководитель: Щербак Александр Григорьевич

доктор технических наук, нач. сектора ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»

Официальные оппоненты: Валетов Вячеслав Алексеевич

доктор технических наук, профессор НИУ ИТМО

Мурашов Юрий Георгиевич кандидат технических наук, профессор БГТУ «Военмех» им. Д.Ф. Устинова

Ведущая организация: ФГУП «НИИ командных приборов»

(Санкт-Петербург)

Защита состоится «20» ноября 2012 г. в 17:30 часов на заседании диссертационного совета Д.212.227.04 при ФГБОУ ВПО «Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики» по адресу: 197101, Санкт-Петербург, Кронверкский пр., д. 49, ауд. 206.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке НИУ ИТМО. Автореферат разослан «•//"» октября 2012 г.

Отзывы (в 2-х экз.) по автореферату, заверенные печатью, просим направлять по адресу: 197101, Санкт-Петербург, Кронверкский пр., д.49, ученому секретарю диссертационного совета Д.212.227.04.

Ученый секретарь диссертационного

совета Д.212.227.04, ¿^Ь*

кандидат технических наук, доцент Киселев С.С.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Точность и надежность современных гироскопических приборов, которые являются характерными представителями изделий точного приборостроения и используются как в системах навигации, так и в бесплатформенных системах ориентации и стабилизации космических аппаратов, во многом зависят от точности и стабильности размеров их функциональных узлов, обеспечиваемой применяемыми в конструкции материалами и технологическими методами изготовления.

Широкое применение в точном приборостроении, в том числе и в гироскопических приборах, находят газовые подшипники, а современный уровень технологии прецизионного приборостроения определяет применение в различных конструкциях металлических материалов, удовлетворяющих сложному комплексу физико-механических свойств: высокие механические характеристики, коррозионная стойкость, требуемый коэффициент теплового расширения, размерная стабильность во времени.

Характерным изделием точного приборостроения, в котором используются современные конструкционные материалы и имеет место прямая зависимость между точностью и надежностью прибора и размерной стабильностью входящих высокоточных узлов, является двухстепенной поплавковый гироскоп - прецизионный датчик угловой информации, представляющий собой изделие, в корпусе которого взвешен в вязкой жидкости герметичный поплавок, содержащий быстровращающийся ротор. Для взвешивания ротора, задающего главную ось чувствительности гироскопа, применяется полусферический газовый подшипник, материалом деталей которого является дисперсионно-твердеющий сплав 40ХНЮ-ВИ, характеризующийся высоким сопротивлением пластическим деформациям и релаксационной стойкостью в условиях статического и циклического нагружения. К деталям и узлу газового подшипника предъявляются жесткие требования по точности изготовления на уровне десятых долей микрометра, по допуску размерной нестабильности во времени — тысячные доли микрометра в час.

Технологические процессы изготовления деталей подшипника, имеют две важные особенности: выполнение на детали нескольких прецизионных жестко взаимосвязанных поверхностей и формирование на окончательно выполненных с точностью в десятые доли микрометра рабочих поверхностях функциональных элементов,

таких как аэродинамический профиль и износостойкое покрытие нитрида титана TiN. Эти факторы, являясь, безусловно, необходимыми элементами технологии, определяют дополнительные сложности, связанные с сохранением заданной конфигурации деталей.

Проблемы размерной стабильности рассматривались в разное время Марингером Р., Имгрэмом А., Маршаллом C.B., Хоникомбом Р., Хенкиным M.JL, Локшиным И.Х., Сагалевичем В.М., Савельевым В.Ф., применительно к узлам гироскопических приборов - Гаврюсевым В.И. Исследованиям различных свойств сплава 40ХНЮ-ВИ посвящены работы Ерболатулы Д., Скакова М.К., Кукареко В.А. Однако до сих пор отсутствуют какие-либо практические рекомендации по режимам термических обработок, обеспечивающих высокие характеристики размерной стабильности сплава на уровне предела макроупругости о0.

На сегодняшний день при изготовлении прецизионных деталей газового подшипника возникают проблемы как с получением точностей уровня десятых долей микрометра, так и их сохранением в период хранения, сборки и эксплуатации прибора. Это делает задачу повышения точности и размерной стабильности прецизионных деталей и самого узла газового подшипника весьма актуальной, без решения которой невозможно улучшение качественных характеристик прибора в целом.

Целью работы является повышение уровня технологического обеспечения процесса изготовления прецизионных деталей и узлов из дисперсионно твердеющего сплава 40ХНЮ-ВИ на примере опор и фланцев газового подшипника двухстепенного поплавкового гироскопа, с выявлением прогрессивных технических решений, позволяющих обеспечить управляемый характер процесса формообразования и сохранения геометрической точности изделий на уровне десятых долей микрометра.

Для достижения поставленной цели необходимо решение следующих задач:

• проанализировать и обобщить основные факторы, влияющие на точность изделий, и физические механизмы процессов, определяющих их размерную стабильность и связанных со свойствами исходных материалов, конфигурацией деталей и особенностями сборки;

• разработать исходные условия, основные принципы и модели процесса повышения и сохранения точности узла;

• исследовать процессы закалки и старения сплава 40ХНЮ-ВИ, определить способы повышения его размерной стабильности и разработать соответствующие режимы термических обработок;

• разработать принципы, расчетно-экспериментальные методы и технологические приемы корректировки формы прецизионных деталей на уровне десятых долей микрометра с использованием элементов упруго-пластического принудительного деформирования;

• разработать средства бездеформационной технологии выполнения аэродинамического профиля на полусферических опорах газового подшипника.

Научная новизна диссертационной работы:

1. Разработаны структурная схема и система моделей процесса повышения точности и размерной стабильности прецизионного узла газового подшипника поплавкового гироскопа, основанные на использовании итерационных методов и подходов.

2. Предложены совокупность критериев для оценки структурно-фазового состояния сплава 40ХНЮ-ВИ, отвечающая условию обеспечения прецизионной геометрии в процессе формообразования деталей газового подшипника, и режим термической обработки, изменяющий структуру до уровня соответствия этим критериям.

3. Разработан и научно обоснован режим старения сплава 40ХНЮ-ВИ, согласованный с процессом изготовления деталей и обеспечивающий высокую размерную стабильность сплава.

4. Установлены основные взаимосвязи геометрических параметров рабочих, центрирующих и посадочных поверхностей прецизионных деталей на примере фланцев газового подшипника, предложены и обоснованы принципы корректировки формы деталей на различных этапах изготовления посредством упруго-пластического деформирования за счет регулируемых термомеханических воздействий.

5. Сформулированы положения и условия бездеформационной технологии выполнения аэродинамического профиля на полусферических опорах подшипника методом ионного травления. Определены значимые параметры процесса и кинематическая схема позиционирования опор для получения переменного, как в продольном, так и поперечном сечениях профиля.

Практическая значимость результатов работы:

1. Разработана методика оценки структурно-фазового состояния сплава 40ХНЮ-ВИ, позволяющая обеспечить прецизионную геометрию на этапе сферодоводки.

2. Предложены и научно обоснованы режимы термических обработок сплава 40ХНЮ-ВИ, обеспечивающие его высокую размерную стабильность после старения и изменяющие структуру сплава 40ХНЮ-ВИ в закаленном состоянии.

3. Разработаны методы снижения внутренних напряжений в прецизионных деталях с сохранением их геометрии на уровне десятых долей микрометра за счет стабилизирующего отжига, проводимого в условиях жесткой фиксации взаимосвязанных прецизионных поверхностей деталей, а также технологические схемы корректировки формы этих поверхностей.

4. Определены величины и диапазоны варьирования основных значимых параметров процесса формообразования аэродинамического профиля на полусферических опорах газового подшипника методом ионного травления. Разработан и изготовлен комплекс средств оснащения для ионного травления профиля.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Структурная схема и система моделей процесса решения задач повышения точности и размерной стабильности прецизионного узла газового подшипника поплавкового гироскопа.

2. Совокупность критериев и методика оценки структурно-фазового состояния сплава 40ХНЮ-ВИ, режим термической обработки, изменяющий структуру до уровня соответствия этим критериям и режим старения сплава 40ХНЮ-ВИ, обеспечивающий высокую размерную стабильность сплава.

3. Принципы и методы управляемого процесса корректировки формы прецизионных деталей на различных этапах изготовления посредством упруго-пластического деформирования за счет регулируемых термомеханических воздействий.

4. Совокупность и взаимосвязь значимых параметров процесса формообразования аэродинамического профиля методом ионного травления, средства обеспечения и кинематическая схема позиционирования полусферических опор.

Апробация результатов работы. Основные положения работы

докладывались и обсуждались на научно-технических конференциях:

XII, XIII, XIV конференции молодых ученых «Навигация и

управление движением», СПб, ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2010-2012; VII, VIII Всероссийские межвузовские конференции молодых ученых, СПб, НИУИТМО, 2010-2011; XI конференция молодых ученых и специалистов «Новые материалы и технологии», СПб, ФГУП ЦНИИ КМ «Прометей», 2010; XL научная и учебно-методическая конференция, СПб, НИУ ИТМО, 2011; I Всероссийский конгресс молодых ученых, СПб, НИУ ИТМО, 2012.

Публикации. По теме диссертационной работы опубликовано 14 печатных работ, из них 3 - в рецензируемых изданиях, рекомендованных ВАК. Ряд статей был опубликован при поддержке РФФИ в рамках работ по проекту № 10-08-00158а.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы из 90 наименований. Работа изложена на 141 странице машинописного текста, содержит 71 рисунок и 13 таблиц.

Автор выражает глубокую благодарность за помощь в проведении экспериментов сотрудникам кафедры «Исследование структуры и свойств материалов» и лаборатории «Исследование и моделирование структуры и свойств металлических материалов» НИИ Материалов и технологий СПб ГПУ.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении раскрыта актуальность темы диссертации, обоснована цель проведенных исследований, сформулированы задачи, научная новизна и практическое значение диссертационной работы.

В первой главе работы рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления полусферического газового подшипника двухстепенного поплавкового гироскопа из сплава 40ХНЮ-ВИ. Обосновано непосредственное влияние стабильности геометрии узла газового подшипника на функциональные характеристики прибора.

Представлен аналитический обзор применяемых в настоящее время технологических методов и средств обеспечения точности и размерной стабильности прецизионных деталей и узлов, в том числе из сплава 40ХНЮ-ВИ. Рассмотрены перспективные методы бездеформационного формообразования и термопластической корректировки формы заготовок, общие принципы и схемы реализации которых могут найти развитие и применение в технологии изготовления деталей подшипника.

Обоснована актуальность и необходимость работ, направленных на повышение точности и размерной стабильности газового подшипника. Первую главу завершает определение основных направлений диссертационной работы.

Во второй главе изложены элементы теории и технологические основы повышения точности и размерной стабильности прецизионных деталей и узла газового подшипника.

Представлена разработанная структурная схема решения задач повышения размерной стабильности прецизионных узлов (табл.1). Такое многоуровневое представление основано на системном подходе к решению конечной задачи, при этом размерная нестабильность узла рассматривается как единое множество нестабильностей, имеющих место на каждом выделенном уровне: материал, деталь, узел, в совокупности отношений и связей между ними. Выделенные уровни взаимосвязаны и взаимообусловлены - так характеристики размерной стабильности, полученные на этапе материала, являются допустимыми значениями остаточных напряжений в деталях на втором уровне, и затем суммарных напряжений, сохраняющихся в узле после сборки на третьем уровне.

Таблица 1. Структурная схема обеспечения стабильности геометрической точности прецизионных узлов

Уровень Причины нестабильности Критерии оценки Методы управления

Материал Структурно-фазовая нестабильность я- М Со Термическая обработка

Деталь Релаксация внутренних напряжений Значение °„ахд<а0м Структура ТП

Распределение Осесимметричность и равномерность Технология формообразования

Узел Релаксация напряжений в соединениях (внутренних и внешних) 1Рахя< °0М. Х^соед ® экспл +аУсб+°махД Структура сборочного ТП

Конфигурация и характер сопряжения

На базе общей структурной схемы разработана модель решения задачи повышения точности и размерной стабильности узла газового подшипника поплавкового гироскопа, замыкающим звеном которого, определяющим точность изделия, является смазочный зазор, создаваемый полусферическими поверхностями опоры и фланца.

При этом для замыкающего звена и образующих его сферических поверхностей деталей - опоры и фланца, существуют области допустимых деформаций и, соответственно, вызывающих их напряжений при определенном пределе макроупругости материала, а также реальных деформаций, наблюдающихся при изготовлении по существующей технологии. Эти области не всегда перекрываются, возможно их частичное совпадение в начальные моменты времени — например, на стадиях изготовления, межоперационного хранения и начала эксплуатации, но при увеличении времени работы узла имеет место расхождение этих областей, что приводит к выходу геометрических параметров деталей и, как следствие, замыкающего звена узла за допустимые пределы. Для иллюстрации процесса изменения напряжений в деталях и их деформации (изменение отклонения от круглости сферы) с течением времени на рис.1 приведены качественные зависимости без учета масштабного фактора.

£ нач £нач £доп Ереал

-► ВРЕМЯ

Рис.1. Области допустимых и реальных деформаций и их

соотношение во времени Для комплексного решения задачи повышения точности и размерной стабильности узла необходимо сближение указанных областей с обеспечением их максимального перекрытия, что возможно за счет проведения комплекса экспериментально-исследовательских работ по следующим направлениям: 1) снижение начального отклонения от круглости £нач до значений е'нач путем получения высокой точности сферы деталей при ее доводке и сохранения полученной формы при последующих

технологических операциях, таких как формирование покрытия и профилирование аэродинамических канавок на опорах;

2) снижение остаточных напряжений, имеющихся в деталях, за счет применения бездеформационных технологий формообразования;

3) повышение размерной стабильности сплава - его предела макроупругости а0м, для повышения значений допустимых напряжений адоп как в деталях, так и узле.

При этом для сохранения полученной при доводке точности сферы фланца при последующих операциях отжига и формирования покрытия, на которых наблюдается релаксация внутренних напряжений с искажением формы, перспективным технологическим приемом является корректировка формы, связанная с регулируемым воздействием механических напряжений, согласованных с операцией стабилизирующего отжига.

Фланец имеет три взаимосвязанные высокоточные поверхности: рабочая сфера с допуском круглости 0,3 мкм, центрирующий цилиндр с допуском круглости 2,0 мкм, посадочный торец с допуском плоскостности 0,6 мкм. С учетом проведенных работ сформулированы следующие исходные условия:

1) деформация прецизионных поверхностей фланца, вызываемая релаксацией напряжений, имеет взаимообусловленный характер;

2) существуют количественные параметры, в комплексе характеризующие взаимосвязь этих деформаций, что можно представить в виде выражения: к-Де1=ш-Д82=п-Дез, где Дбь Де2 и Де3 -изменение отклонений от исходной геометрии прецизионных поверхностей Дв= | енач - екон | : Де1 - сферы, Де2 - цилиндра, Де3 -плоскости, к, т и п - эмпирические коэффициенты.

Для практического решения проблемы на основе представленных исходных условий предложена гипотеза, включающая следующие положения:

1) посредством ориентированных определенным образом и управляемых механических воздействий, лежащих в области упругих деформаций и учитывающих приведенное выше выражение, можно восстановить исходную форму деталей, имевшую место до релаксации напряжений;

2) стабилизирующий отжиг упруго деформированных деталей, прецизионные поверхности которых находятся в заневоленном состоянии, переводит упругую деформацию в пластическую, фиксируя заданную конфигурацию.

Приведены экспериментальные данные по размерной стабильности деталей газового подшипника, изготовленных по существующей технологии. Установлено, что изменение геометрии сферической поверхности, как опор, так и фланцев с течением времени свидетельствует о протекании процессов релаксации и появлении микропластической деформации под действием внутренних напряжений без приложения сборочных и эксплуатационных воздействий. Обоснована корректность разработанного подхода повышения размерной стабильности узла через технологические методы, лежащие на уровнях «материал» и «деталь». Показано, что решение конечной задачи связано с повышением размерной стабильности сплава 40ХНЮ-ВИ, - предела макроупругости о0, и разработкой технологии изготовления деталей с уменьшением уровня остаточных напряжений.

В третьей главе описаны технологическое оборудование и средства оснащения для проведения лазерной и ионно-вакуумной обработки, включая многопозиционное устройство для прецизионного ионного травления, средства метрологического обеспечения процесса изготовления деталей газового подшипника, а также методики выявления и анализа микроструктуры сплава, рентгеноструктурного анализа материала и механических испытаний.

Четвертая глава диссертации посвящена исследованию и разработке технологических методов повышения точности и снижения остаточных напряжений с сохранением прецизионной геометрии деталей газового подшипника, а также исследованию влияния структуры сплава 40ХНЮ-ВИ на его микромеханические свойства и разработке режима старения, обеспечивающего повышение предела макроупругости, и термообработок, позволяющих изменять закаленную структуру материала.

Повышение качества операции сферодоводки прецизионных поверхностей.

Прецизионная геометрия сферической поверхности, как фланца, так и опоры, с допуском круглости 0,3 мкм выполняется на операции сферодоводки. Несмотря на стабильность применяемого оборудования и режимов операции, наблюдается устойчивый выход геометрических параметров части заготовок за допустимые пределы точности, причины которого могут быть связаны с материалом деталей. Микроструктура заготовок, поступающих на прецизионную сферодоводку, содержит 2 фазы: у-№, а-Сг. Причем, крупные

включения а-фазы, которые могут достигать 70 мкм, сохраняются еще из закаленного состояния.

Для оценки влияния структурных характеристик материала на прецизионную геометрию проводился сравнительный анализ микроструктур заготовок обеих групп: 1) допуск круглости сферы 0,3 мкм выдержан, и 2) допуск круглости не обеспечен; с помощью анализатора изображений ТШхоте1. Полученные результаты представлены на рис.2.

16 11 7,8 5,5 3,9 2,8 2 0 31 22 16 11 7,8 5,5 3,9 2,8 2 О СРЕДНИЙ ДИАМЕТР, МКМ б) СРЕДНИЙ ДИАМЕТР, МКМ

Рис.2. Гистограммы распределения объема частиц а-фазы по значениям среднего диаметра для структур: а) группа 1; б) группа 2 Установлено, что в структуре заготовок из 2-й группы, для которых не удалось обеспечить прецизионную геометрию, объем частиц, средний диаметр которых превышает 11 мкм, в среднем в четыре раза больше, и максимальный диаметр составляет 50-70 мкм, в то время как для первой группы - 32 мкм. Таким образом, на обеспечение прецизионной геометрии влияют размеры и количество крупных частиц фазы а-Сг в микроструктуре состаренного сплава.

Используя системный подход с выявлением совокупности обратных связей в комплексе «деталь»-«материал», переходя по технологическому процессу от стадии детали к стадии материал-заготовка, а также исследуя и оценивая материал как готовых деталей, так и заготовок, для которых не удалось выполнить прецизионную геометрию, выявлены критерии оценки структурных параметров материала в закаленном состоянии, а именно частиц а-фазы, влияющих на точность формообразования сферы (табл.2).

Таблица 2. Критерии оценки микроструктуры сплава 40ХНЮ-ВИ

№ п/п Критерии оценки Количественный показатель

1 Средний диаметр частиц по объемному распределению, мкм ДО 6

2 Максимальный диаметр частиц, мкм до 40

3 Объем частиц, средний диаметр которых от 20 мкм по 30 мкм по отношению к общему объему частиц, % до 6

4 Объем частиц, средний диаметр которых от 30 мкм по 40 мкм по отношению к общему объему частиц, % до 2

5 Объем частиц, средний диаметр которых свыше 40 мкм по отношению к общему объему частиц, % 0

Разработанная совокупность критериев для оценки микроструктурных параметров сплава в закаленном состоянии позволяет корректировать процесс изготовления деталей еще на этапе заготовки после выполнения операции закалки. Наглядно это можно показать в виде алгоритма, представленного на рис.3.

Рис.3. Алгоритм технологии изготовления деталей с использованием критериев оценки структурных характеристик материала Такой подход позволяет придать технологическому процессу изготовления прецизионных деталей газового подшипника из сплава 40НЮ-ВИ системный управляемый характер и минимизировать отклонения от прецизионной геометрии на операции сферодоводки за счет изменения и улучшения структурных характеристик материала посредством дополнительной термической операции, определяемой обратными связями предложенного алгоритма.

Термические обработки сплава 40ХНЮ-ВИ, обеспечивающие изменение его структурно-чувствительных характеристик.

Применяемый сегодня режим закалки: с 1150°С, выдержка 30 мин. после полного прогрева, быстрое охлаждение в воде, не обеспечивает получение однофазной структуры металла, сохраняются включения фазы а-Сг (объемная доля 5-6%) в виде крупных частиц (30-50 мкм), вытянутых в направлении прокатки прутка, и сферических выделений как в теле, так и по границам зерен сплава.

Так как увеличение времени выдержки под закалку и повышение температуры закалки к растворению крупных частиц а-фазы не привело, то предложен режим высокотемпературной термоциклической обработки: нагрев со скоростью 57с до температуры верхней ступени 1150°С, выдержка 15 мин., охлаждение со скоростью 57с до температуры нижней ступени 800°С, выдержка

5 мин., всего 5 циклов, последний цикл завершается нагревом до 1150°С, выдержкой 15 мин и быстрым охлаждением водой.

Такой режим термообработки позволяет сократить объемную долю а-фазы с 5% до 2,8%. Размеры крупных включений с 42 мкм уменьшаются до 20 мкм и их количество сокращается. В структуре 99,5% составляют частицы с размерами до 5 мкм, частицы с размерами свыше 20 мкм отсутствуют. Этот режим высокотемпературной термоциклической обработки может быть рекомендован как режим изменения закаленной структуры, сокращающий количество и размеры крупных частиц а-фазы до уровня соответствия разработанным критериям обеспечения прецизионной геометрии деталей.

Для изучения процессов изменения микроструктуры закаленного сплава в неравновесном состоянии (5-6% а-Cr) при старении, её влиянии на микромеханические свойства и разработки режима старения, повышающего предел макроупругости, на термомеханическом комплексе Gleeble-3800 были проведены физические моделирования применяемого режима старения: при температуре 810°С выдержка 5 часов, скорость нагрева 2507ч, а также изотермических выдержек 4 ч в диапазоне температур 300-860°С.

Установлена температура начала процессов распада твердого раствора y-Ni - 400°С. Выявлено, что за первые 10-12 мин. выделяется только интерметаллидная фаза Ni3Al, которая не приводит к существенному повышению предела макроупругости, определяемого по адаптированной к испытаниям на растяжение методике проф., д.т.н. В.Н. Чувильдеева (ННГУ).

Кинетика превращений при температурах старения 550°С, 650°С, 760°С схожа: вначале происходит интенсивное выделение а-Сг, затем рост частиц этой фазы и стабилизация процесса. Твердость достигает значений 50-60 HRC. При температурах старения 760°С и выше процессы распада происходят уже при нагреве со скоростью 5% при достижении температуры 670°С. При этом более дисперсная структура, формирующаяся при более низких температурах и начальных стадиях старения в диапазоне 550-860°С, обеспечивает более высокие значения предела макроупругости: 650°С 5ч - 930 МПа, 760°С 5ч - 775 МПа. Однако начальные стадии старения при температурах 550°С, 650°С характеризуются практически нулевой пластичностью.

Анализ применяемого сегодня режима старения деталей (рис.4, а), показал, что при нагреве до 810°С со скоростью 2507ч основные процессы протекают при температурах 560°С-605°С -мелкодисперсное выделение частиц а-Сг, дальнейший нагрев до температуры 810°С с последующей выдержкой в течение 5 часов приводит к укрупнению частиц выделений.

800 1200 1600 НАПРЯЖЕНИЕ (МПа)

Рис. 4. Применяемый режим старения 810°С, нагрев 2507ч, выдержка 5 ч: а) кинетика превращений, б) изменение предела макроупругости Существующий режим старения обеспечивает получение предела макроупругости сплава величиной 1010 МПа. Испытания образцов со временами выдержки с момента начала нагрева 2 ч 40 мин. и 3 ч 10 мин., показали, что предел макроупругости для таких режимов составляет 1210 МПа (рис.4, б). Твердость для всех режимов 48..50 Н11С. При этом режим с выдержкой 2 ч 40 мин. обеспечивает большую пластичность материала (удлинение при разрушении 5%), чем режим с выдержкой 3 ч 10 мин. (удлинение при разрушении 3,4%). Таким образом, на основе проведенного исследования структурно-фазовых превращений сплава 40ХНЮ-ВИ при разных температурно-временных режимах старения научно обоснован режим старения, заключающийся в нагреве со скоростью 2507ч до температуры 810°С с выдержкой от начала нагрева 2 ч 40 мин., отвечающий повышению предела макроупругости на 200 МПа и получению высоких свойств размерной стабильности сплава.

Технологические методы корректировки формы прецизионных деталей газового подшипника.

Для фланца газового подшипника в ряде случаев наблюдается снижение точности формы посадочного цилиндра после его выполнения при межоперационном вылеживании, точности рабочей сферы после нанесения износостойкого покрытия нитрида титана ТО4

(до напыления 0,3 мкм), при этом снижение точности сферы до 0,8 мкм допускается конструкторской документацией, а на практике возможен уход до 1,5 мкм.

Экспериментальные результаты подтвердили гипотезу о взаимосвязи геометрических параметров прецизионных поверхностей фланца, сформулированную во 2-й главе. Установлено, что посадка направляющего цилиндра на оправку с натягом 3-5 мкм (разница диаметров без учета их некруглости) и одновременная жесткая фиксация по торцу с выравниванием его неплоскостности обеспечивают улучшение геометрии сферы, повышение ее точности в 2 и более раза (табл.3).

Таблица 3. Взаимосвязь геометрических параметров фланца

Ml ФЛАНЦА исходаля ГЕОМЕТРИЯ ДЕТАЛИ ОПРАВКА СБОРКА В СБОРЕ ПОСЛЕ ОТЖИГА 360® 2 ч, В СБОРЕ ДЕТАЛЬ ПОСЛЕ ПРЕДЛОЖЕННОЙ КОРРЕКТИРОВКИ ФОРМЫ ДЕТАЛЬ ПОСЛЕ ОТЖИГА 3«0°С И НАПЫЛЕНИЯ TIN ДЕТАЛЬ ПОСЛЕ ХИН. УДАЛЕНИЯ ПОКРЫТИЯ

СФЕРА 017, ОТКЛОНЕНИЕ ОТ КРУГЛОСТИ, ДЕЙСТВИТЕЛЬНЫЙ РАЗМЕР 0М, KV ДЕЙСТВИТЕЛЬНЫЙ РАЗМЕР 034, мм НАТЯГ ПО 034, СФЕРА 017, ОТКЛОНЕНИЕ ОТ КРУГЛОСТИ. СФЕРА 017, ОТКЛОНЕНИЕ ОТ КРУГЛОСТИ, СФЕРА 017, ОТКЛОНЕНИЕ ОТ КРУГЛОСТИ, мим СФЕРА 017, ОТКЛОНЕНИЕ ОТ КРУГЛОСТИ, СФЕРА 017, ОТХЛШЕНИЕ ОТ КРУГЛОСТИ,

38«. С ПОКРЫТИЕМ 0,8 33,987 33,992 5 0,3 0,3 0,3 - -

382, БЕЗ ПОКРЫТИЯ 0,9 33,988 33,992 4 0,6 0,6 0,6 - "

319, БЕЗ ПОКРЫТИЯ >1 33,988 33,992 4 0,4 0 А 0,5 0.5 0,6

32», БЕЗ ПОКРЫТИЯ 1,5 33,988 33,992 4 0,5 0,5 0,5 0,6 0,4

331, БЕЗ ПОКРЫТИЯ 0,8 33,988 33,993 5 0,6 0,6 0,6 0,5 0,6

При этом упругая деформация детали посредством стабилизирующего отжига, применяемого при напылении, переводится в пластическую, и фиксируется восстановленная форма детали. Таким образом, обеспечивается использование термической правки как метода корректировки формы сложной прецизионной детали на уровне десятых долей микрометра.

Проведенные исследования позволили уточнить представленное в главе 2 выражение п-Дг3 = ш-Де2 - к-Де] и определить соотношения эмпирических коэффициентов к=(2-3)-т, п=(0,2-0,6)-т. Указанные соотношения справедливы для величин деформаций £1 до 1,2 мкм и е2 до 4,0 мкм и могут использоваться при выборе условий процесса корректировки формы посредством совмещения стабилизирующего отжига и посадки с натягом, жестко фиксирующей взаимосвязанные функциональные поверхности.

Для повышения точности изготовления деталей можно рекомендовать использование следующих технологических приемов: • стабилизирующий отжиг проводить в заневоленном состоянии с натягом 1 -2 мкм по цилиндру и жесткой фиксацией по торцу - для

сохранения прецизионной геометрии при снижении уровня внутренних напряжений, совмещая его с операцией напыления покрытия;

• применять разработанные технологические методы корректировки прецизионной геометрии для деталей, у которых отклонения формы, превышающие допустимые, появляются на финишных этапах изготовления.

При этом для корректировки геометрии цилиндра (на этом этапе сфера имеет припуск) можно проводить отжиг на оправке, создавая натяг в зависимости от действительного отклонения круглости цилиндра. Тогда

Donp = Оф + S-A£2> (1)

где Оф — номинальный диаметр, s - эмпирический коэффициент, имеющий значение 5-6.

Для корректировки формы сферы после напыления покрытия необходимо создавать упругую деформацию, приводящую к улучшению геометрии сферы, при этом следует учитывать отклонение от круглости цилиндра самой детали. Тогда для е2 до 3 мкм

Donp = Оф + е2 + q-Деь (2)

где Оф - номинальный диаметр, е2 - отклонение от круглости цилиндра фланца, q - эмпирический коэффициент, имеющий значение 2-3 при Де1 < 1 мкм, 1,2-1,5 при 1 < Asi < 1,5 мкм.

Создавая натяг за счет разницы ТКЛР эмпирические зависимости (1) и (2) можно представить следующим образом:

!-*опр ~

^опр ~ Аг>

' 1 + аф■АТ л \ + аОПР АТ j

1 + Д„-А Т 4

\ + а0ПР-АТ

s ■ Ае

1 + а0ПР - АТ

(3)

Ег+д-Ае, . (4)

\ + а0ПР-АТ

где аф и аопр - значения ТКЛР материалов фланца и оправки, причем аф<аопр, АТ=Тотж - 20°С.

На основе приведенных методов разработан алгоритм технологического процесса, основанный на итерационных методах и включающий элементы корректировки формы прецизионных поверхностей на различных этапах изготовления фланца (рис.5). Следует отметить, что при проведении напыления в заневоленном состоянии с натягом 1-2 мкм по цилиндру корректировка сферы деталей после напыления не требуется.

корректировки формы прецизионных деталей

Таким образом, проблема повышения и сохранения точности фланцев газового подшипника на уровне десятых долей микрометра решена с помощью выявленной взаимосвязи параметров прецизионных поверхностей и разработанных методов регулируемого термомеханического воздействия на высокоточную поверхность через взаимосвязанные с ней поверхности детали.

Принципы и условия бездеформационной технологии выполнения аэродинамического профиля на опорах газового подшипника.

Важным условием комплексного подхода к повышению точности и размерной стабильности прецизионных узлов является снижение внутренних напряжений в деталях, возможное за счет применения технологий бездеформационного формообразования. Это особенно актуально для создания аэродинамического профиля на опоре газового подшипника, который выполняется на сферической поверхности с допуском круглости 0,3 мкм. В качестве бездеформационных технологий были рассмотрены: лазерная (светолучевая) и ионно-вакуумная обработки.

Лазерная обработка, отличаясь простотой создания профиля и отсутствием необходимости экранирования поверхности, связана с искажением профиля в виде наплывов материала на границах обрабатываемой зоны, вследствие чего необходима последующая доводка поверхности, усложняющая технологический процесс и вносящая дополнительные внутренние напряжения в деталь.

Технология ионного травления, хотя и требует экранирования поверхности, обеспечивает получение профиля чистотой 11а 0,12 и отсутствие краевых эффектов. В рамках работы создан комплекс средств технологического оснащения процесса ионного травления опоры газового подшипника с получением полного аэродинамического профиля, состоящего из 10 сферических винтовых канавок глубиной 3...6 мкм и чистотой поверхности 11а 0,12.

Установлено, что травление полусферической поверхности ионным источником обеспечивает получение переменного по глубине, как в продольном (с уменьшением глубины при движении от экватору к полюсу), так и поперечном направлении профиля (рис.6). Для управления изменением глубины канавки целесообразно использовать соприкасающиеся плоскости, в которых лежат аппроксимирующие оси канавок, и перпендикулярные к ним плоскости, т.е. плоскости, ориентированные вдоль и поперек канавок. В качестве значимых параметров процесса определены величины углов я и р, измеряемых между проекциями направления ионного потока в указанных плоскостях и перпендикуляром к поверхности, восстановленным в точке падения ионного потока (рис.7).

а=15 Яа 0,11

Л

•И

а=43 Ка 0,1

а) ^ м б)

Рис.6. Профилограммы поперечных сечений одной канавки, снятые при угле измерения, отсчитываемом от экваториальной плоскости:

а) 15°, 6)43°

Полученный переменный профиль более близок к оптимальному, рассчитанному по законам газовой динамики, который ранее

невозможно было реализовать. Выявленная взаимосвязь формы такого переменного профиля и параметров кинематической схемы процесса позволяет управлять геометрическими параметрами

профиля, существенно повышая

НАПРАВЛЕНИЕ ИОННОГО ПОТОКА ч

Рис. 7. Ориентация опоры относительно ионного потока

характеристики подшипников. Установлено, что формообразование профиля ионным травлением гарантированно сохраняет точность формы детали на уровне 0,3 мкм. К тому же, обеспечивая одновременное формирование всего профиля и отсутствие вносимых напряжений, ионное травление позволяет снизить уровень суммарных остаточных напряжений и сохранить осесимметричную эпюру их распределения в детали.

Основные результаты и выводы

1. Обоснована эффективность использования структурной схемы решения задачи обеспечения размерной стабильности прецизионных узлов с выделением взаимосвязанных уровней: материал, деталь, узел. Разработана система моделей процесса повышения точности и размерной стабильности газового подшипника, основанная на использовании итерационных методов и подходов, и включающая управление размерной стабильностью сплава, деталей и узла в целом.

2. Разработана совокупность критериев для оценки структурно-фазового состояния сплава 40ХНЮ-ВИ, отвечающая условию обеспечения прецизионной геометрии.

3. Предложен режим высокотемпературной термоциклической обработки сплава, изменяющий структуру до уровня соответствия критериям обеспечения прецизионной геометрии. Исследованы процессы структурных превращений при старении в диапазоне температур 300°-860°С и разработан режим, обеспечивающий повышение предела макроупругости на 200 МПа.

4. Установлены основные взаимосвязи изменения геометрии прецизионных поверхностей фланца газового подшипника, предложены и обоснованы принципы корректировки формы на различных этапах изготовления за счет регулируемых термомеханических воздействий посредством упруго-пластического деформирования взаимосвязанных поверхностей.

5. Разработаны положения, условия и средства обеспечения бездеформационной технологии выполнения аэродинамического профиля на полусферических опорах газового подшипника методом ионного травления с получением переменного профиля канавок, как в продольном, так и поперечном сечении.

6. На основе разработанных технологических методов предложена система алгоритмов процесса изготовления деталей,

обеспечивающая повышение точности и размерной стабильности узла газового подшипника поплавкового гироскопа.

7. Разработанные методы могут быть использованы в технологии изготовления различных прецизионных конструкций из сплава 40ХНЮ-ВИ и применяться при изготовлении деталей других гироприборов, в которых предусмотрено выполнение высокоточных поверхностей и требуется получение сложного микрорельефа, например, в акселерометрах, скважинных модулях ориентации и т.п.

Список опубликованных работ по теме диссертации:

в публикациях из перечня ВАК

1. Яковлева С.А., Юльметова О.С. Размерная стабильность материалов и элементов конструций в приборостроении // Известия ВУЗов. Приборостроение. - 2010. - №8 (53). - С. 23-26.

2. Яковлева С.А., Гаврюсев В.И., Щербак А.Г. Особенности процесса изготовления прецизионных узлов гироприборов // Научно-технический вестник СПб НИУ ИТМО. -2010. -№6(70).- С.47-50.

3. Яковлева С.А., Щербак А.Г. Исследование влияния режимов термообработок на структурно-фазовое состояние сплава 40ХНЮ-ВИ // Научно-технический вестник СПбНИУ ИТМО. - 2011. -№5(75). - С.96-99.

в прочих публикациях

4. Яковлева С.А. Технологические методы и средства повышения размерной стабильности прецизионных деталей и узлов гироскопических приборов // Гироскопия и навигация. - 2010. -№2(69). - С. 68.

5. Гаврюсев В.И., Яковлева С.А. Исследование структурных характеристик сплава 40ХНЮ-ВИ, применяемого в прецизионных деталях гироскопических приборов // Гироскопия и навигация. -2010.-№2(69).-С. 69.

6. Яковлева С.А., Кошкин Н.В. Особенности процесса изготовления прецизионных узлов гироприборов // Сборник тезисов VII Всероссийской межвузовской конференции молодых ученых. -СПб: НИУ ИТМО, 2010. - С. 158.

7. Яковлева С.А. Исследование влияния структурных характеристик на размерную стабильность сплава 40ХНЮ-ВИ // Тезисы докладов XI конференции молодых ученых и специалистов. - СПб: ГНЦ ФГУП «Прометей», 2010. - С. 60.

8. Яковлева С.А. Технологические методы повышения размерной стабильности прецизионных деталей и узлов гироскопических приборов // Навигация и управление движением: Материалы XII конференции молодых ученых. - СПб: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2010. - С. 71-76.

9. Гаврюсев В.И., Яковлева С.А. Исследование структурных характеристик сплава 40ХНЮ-ВИ, применяемого в прецизионных деталях гироскопических приборов // Навигация и управление движением: Материалы XII конференции молодых ученых. - СПб: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2010. - С. 77-81.

Ю.Яковлева С. А., Щербак А.Г. Разработка алгоритма технологического проектирования процесса формообразования прецизионных деталей поплавкового гироскопа // Гироскопия и навигация. - 2011. - №2(73). - С. 93.

П.Беляев С.Н., Яковлева С. А., Щербак А.Г. Технология формирования профилированных дорожек на опорах гиромотора двухстепенного поплавкового гироскопа методом ионного травления // Гироскопия и навигация. - 2011. - №2(73). - С. 93.

12.Яковлева С.А. Исследование влияния режимов термообработок на структурно-фазовое состояние сплава 40ХНЮ-ВИ // Сборник тезисов VIII Всероссийской межвузовской конференции молодых ученых. - СПб: НИУ ИТМО, 2011. - С. 192.

13.Беляев С.Н., Яковлева С. А., Щербак А.Г. Технология формирования профилированных дорожек на опорах гиромотора двухстепенного поплавкового гироскопа методом ионного травления // Навигация и управление движением: Материалы XIII конференции молодых ученых. - СПб: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2011. - С. 197-202.

М.Яковлева С.А., Щербак А.Г. Прогрессивные технологические методы бездеформационного формообразования

аэродинамического профиля газового подшипника // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. - СПб: НИУ ИТМО, 2012.-№2.-С. 310-311.

Тиражирование и брошюровка выполнены в ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» 197046, Россия, Санкт-Петербург, ул. Малая Посадская, 30. Корректор: Л.Б. Баконина Усл. печ. л. 1,0. Тираж 100 экз.

Введение.

Глава 1. Размерная стабильность прецизионных узлов гироскопических приборов.

1.1. Конструктивно-технологические особенности изготовления полусферического газового подшипника двухстепенного поплавкового гироскопа из сплава 40ХНЮ-ВИ.

1.1.1 Принцип работы и основные узлы двухстепенного поплавкового гироскопа.

1.1.2. Свойства материала деталей газового подшипника — сплава 40ХНЮ-ВИ.

1.1.3. Технология изготовления деталей газового подшипника

1.1.4. Особенности технологии сборки подшипникового узла поплавкового гироскопа.

1.2. Технологические методы и средства обеспечения высокой точности и размерной стабильности прецизионных деталей и узлов гироскопических приборов.

1.2.1. Причины самопроизвольного изменения размеров конструкций с течением времени.

1.2.2. Современные методы обеспечения высоких точностей прецизионных деталей и узлов.

1.2.3. Перспективные технологические методы бездеформационного формообразования.

1.2.4. Характеристики и методы управления размерной стабильностью металлических материалов.

1.3. Постановка задачи и определение основных направлений повышения точности и размерной стабильности газового подшипника поплавкового гироскопа.

Глава 2. Элементы теории и технологические основы повышения точности и размерной стабильности прецизионных конструкций на примере газового подшипника.

2.1. Общий комплексный подход к обеспечению размерной стабильности прецизионных узлов и конструкций.

2.2. Моделирование процесса обеспечения размерной стабильности газового подшипника.

2.3. Технологическая схема повышения размерной стабильности сплава 40ХНЮ-ВИ.

2.4. Технологические методы и средства повышения точности прецизионных деталей газового подшипника.

2.5. Технологические методы повышения точности и размерной стабильности газового подшипника.

2.6. Практическое обоснование корректности разработанного подхода повышения размерной стабильности узла.

Глава 3. Методика экспериментально-исследовательских работ.

3.1. Методика выявления и количественной оценки микроструктуры сплава 40ХНЮ-ВИ.

3.2. Рентгеноструктурный анализ сплава.

3.3. Оборудование и методика проведения дилатометрических и механических испытаний.

3.4. Метрологическое обеспечение процесса изготовления прецизионных деталей газового подшипника.

3.5. Средства оснащения процессов лазерной обработки и прецизионного ионного травления.

Глава 4. Разработка технологических методов повышения точности и размерной стабильности газового подшипника.

4.1. Повышение качества операции сферодоводки прецизионных поверхностей.

4.1.1. Критерии оценки структурных характеристик сплава 40ХНЮ-ВИ, влияющих на качество изготовления прецизионных деталей.

4.1.2. Алгоритм технологического процесса изготовления деталей газового подшипника, обеспечивающий повышение качества сферодоводки.

4.2. Термические обработки сплава 40ХНЮ-ВИ, обеспечивающие изменение его структурно-чувствительных характеристик.

4.2.1. Кинетика термодинамических процессов распада, происходящих в сплаве 40ХНЮ-ВИ.

4.2.2. Режимы термических обработок, влияющие на закаленную структуру сплава.

4.2.3. Исследование и разработка режима старения, повышающего размерную стабильность сплава.

4.3. Технологические методы корректировки формы прецизионных деталей газового подшипника на различных этапах изготовления.

4.3.1. Основные закономерности изменения и взаимосвязи геометрических параметров рабочих, центрирующих и посадочных поверхностей прецизионных деталей.

4.3.2. Создание методов и средств технологии, обеспечивающих корректировку геометрии с повышением точности деталей

4.3.3. Алгоритм технологического процесса, включающий элементы корректировки формы прецизионных деталей на различных этапах изготовления.

4.4. Принципы и условия бездеформационной технологии выполнения аэродинамического профиля на опорах газового подшипника.

4.4.1. Формообразование профиля на плоскости методом лазерной обработки.

4.4.2. Получение профиля на плоскости ионным травлением.

4.4.3. Разработка технологии формообразования профиля на полусферической детали методом ионного травления.

В современном мире при быстром развитии науки и техники все больше возрастает роль точного приборостроения, которое является одним из важнейших составляющих научно-технического прогресса. Необходимость повышения уровня точного приборостроения обусловлена потребностями различных отраслей народного хозяйства. Приборы, входящие в состав различных систем и комплексов, обеспечивают получение текущей информации, необходимой для выработки решений по управлению объектами, в которых они используются, формированию воздействий на окружающую среду, оценке конкретных технических ситуаций и т.д. При этом качество выполнения этих приборов, изготавливаемых из современных материалов и сочетающих в себе элементы точной механики, оптики, электровакуумной техники, высоковольтной электроники, в первую очередь определяет инструментальную точность, ресурс работы и надежность указанных систем и комплексов.

Гироскопические приборы являются характерными представителями изделий точного приборостроения и используются как в системах навигации (авиагоризонт, гирокомпас, инерциальная навигационная система и т.п.), так и в бесплатформенных системах ориентации и стабилизации космических аппаратов. Точность и надежность современных гироскопических приборов во многом зависят от стабильности геометрических размеров и формы входящих в их состав высокоточных узлов, обеспечиваемой применяемыми в конструкции материалами и технологическими методами изготовления.

Широкое применение в изделиях точного приборостроения, в том числе и в гироскопических приборах, находят газовые подшипники -подшипники скольжения, смазываемые газом, особенно в тех случаях, когда требуется повысить точность взвешивания ротора, увеличить технический ресурс и производительность приборов и машин, снизить уровень собственных шумов.

Современный уровень технологии прецизионного приборостроения определяет применение в различных конструкциях металлических материалов, удовлетворяющих сложному комплексу физико-механических свойств: высокие механические характеристики, коррозионная стойкость, требуемый коэффициент теплового расширения, размерная стабильность во времени. Этим требованиям по совокупности показателей в наибольшей мере отвечает группа прецизионных дисперсионно-твердеющих сплавов с заданными свойствами упругости. Среди сплавов этой группы выделяется сплав 40ХНЮ-ВИ, характеризующийся высоким сопротивлением микропластическим деформациям и релаксационной стойкостью в условиях статического и циклического нагружения, что особенно важно для сохранения размеров высокоточных деталей изделий точного приборостроения. Сплав 40ХНЮ-ВИ широко применяется в корпусных деталях и ответственных прецизионных узлах с точностью изготовления на уровне единиц и десятых долей микрометра различных гироскопических приборов и систем: гироскопов, акселерометров, скважинных модулей ориентации и т.п.

Характерным изделием точного приборостроения, в котором используются современные конструкционные материалы, и имеет место прямая зависимость между точностью и надежностью прибора и размерной стабильностью входящих высокоточных узлов, является двухстепенной поплавковый гироскоп — прецизионный датчик угловой информации, представляющий собой изделие, в корпусе которого взвешен в вязкой жидкости герметичный поплавок, содержащий быстровращающийся ротор. Для взвешивания ротора, который задает главную ось чувствительности гироскопа, применяется полусферический газовый подшипник, материалом деталей которого является сплав 40ХНЮ-ВИ.

К деталям и узлу в целом прецизионного газового подшипника поплавкового гироскопа предъявляются жесткие требования по точности изготовления на уровне десятых долей микрометра, а по допуску размерной нестабильности во времени - тысячные доли микрометра в час. Эти требования необходимы для сохранения постоянства смазочного зазора газового подвеса, обеспечения нестабильности ухода прибора от деформаций подвеса (опора-фланец) менее 0,001°/ч за час, что непосредственно определяет функциональную точность и эксплуатационную надежность гироскопа и, как следствие, конкурентоспособность выпускаемой продукции.

Технологические процессы изготовления деталей газового подшипника имеют две важные особенности: выполнение на детали нескольких прецизионных жестко взаимосвязанных поверхностей и формирование на окончательно выполненных с точностью в десятые доли микрометра рабочих поверхностях функциональных элементов, таких как аэродинамический профиль и износостойкое покрытие нитрида титана ТОчГ.

Эти факторы, являясь, безусловно, необходимыми элементами технологии, определяют дополнительные сложности, связанные с тем, что каждая из указанных поверхностей находится в различных условиях эксплуатации и должна сохранять заданную конфигурацию при действии напряжений разной величины и направления. При этом необходимо обеспечивать требуемую геометрическую точность и каждой поверхности, и 6 взаимной ориентации этих поверхностей между собой. Поэтому одним из наиболее важных технологических аспектов процесса изготовления прецизионных узлов и конструкций является обеспечение стабильности их геометрической точности на уровне, который может достигать десятых долей микрометра. Очевидно, что совершенствование и повышение качества изготавливаемых гироскопических приборов, непосредственно связано с возможностями и уровнем развития наиболее эффективных средств технологического обеспечения процесса их изготовления.

Проблемы размерной стабильности, — сохранения геометрических параметров во времени, рассматривались в разное время Марингером Р., Имгрэмом А., Маршаллом C.B., Хоникомбом Р., Хенкиным M.JL, Локшиным И.Х., Сагалевичем В.М., Савельевым В.Ф. и др. Применительно к узлам гироскопических приборов проблемы сохранения геометрической точности практически впервые исследовал В.И. Гаврюсев: размерную стабильность применяемых в гироскопии конструкционных материалов и влияние технологических факторов (легирование, механические воздействия, сварка, нанесение покрытий) на размерную стабильность материалов и конструкций.

Эти работы представляют собой основы для рассмотрения проблем размерной стабильности конструкций, выявляют причины нестабильностей различной природы и дают теоретическое объяснение протекания процессов микропластической деформации. Но применительно к изделиям с точностями на уровне единиц микрометра их рекомендации носят общий характер и могут являться фундаментом для проведения дальнейших, более узких исследований и разработки методов стабилизации размеров деталей и узлов для более высоких точностей.

Задачи повышения точности прецизионных узлов гироскопических приборов за счет совершенствования уровня технологии их формообразования решались в разное время в ЦНИИ «Электроприбор». В работах В.И. Гаврюсева, которые получили развитие в исследованиях А.Г. Щербака, рассматривались вопросы изготовления сферических роторов шаровых гироскопов посредством диффузионной сварки с получением геометрии сварного узла при регулируемом пластическом деформировании с точностью 10-12 мкм. Работы В.Г. Кедрова были связаны со сферодоводкой в условиях упругой деформации и балансировкой этих роторов и позволили обеспечить получение конечной конструкции в виде эллипсоида вращения с разностью полуосей до 24 мкм и точностью формы до десятых долей микрометра. Г.В. Надежин проводил исследования для деталей газового подшипника поплавкового гироскопа и разработал технологию поэтапной 7 доводки их сферических поверхностей, обеспечивающую получение отклонения от круглости на сфере не более 0,3 мкм.

Но разработанные технологические методы и принципы формообразования применимы лишь для сравнительно узких областей, связанных только с формированием сферы или прецизионной доводкой сферических поверхностей. К тому же указанные выше исследования были связаны с обеспечением точности на этапе изготовления и не анализировали ее сохранение с течением времени. Это определяет необходимость и важность рассмотрения процессов развития и протекания микропластической деформации в узле — процессов ползучести и релаксации, в расширенных временных рамках и в более жестких условиях, включая период эксплуатации.

Известные на сегодня рекомендации по изготовлению и стабилизации размеров прецизионных узлов, в том числе и действующие руководящие технические материалы, такие, как ГОСТ 17535-75 и ОСТ4.ГО 054103, носят преимущественно общий характер и относятся к точности в пределах нескольких единиц микрометра. Указанные отраслевые стандарты имеют определенные ограничения, связанные, в первую очередь, с тем, что не включают ряд современных материалов, применяемых в навигационной технике, в том числе сплав 40ХНЮ-ВИ, и рекомендуют общую схему технологии изготовления деталей и узлов, которая не учитывает реальных особенностей конструкций с точностями в десятые доли микрометра.

В настоящее время для дисперсионно-твердеющего сплава 40ХНЮ-ВИ известны зависимости макромеханических свойств, таких как предел текучести ао,2> временное сопротивление разрыву ов, твердость НЕС, относительное удлинение 8, от температур закалки и старения. Для этого сплава Д. Ерболатулы и М.К. Скаков (2005-2007 г.г.) проводили работы по изучению эффекта сверхпластичности и установили оптимальные температурно-скоростные условия его сверхпластической деформации. Однако до сих пор отсутствуют какие-либо практические рекомендации по режимам термических обработок сплава 40ХНЮ-ВИ, обеспечивающих высокие характеристики размерной стабильности сплава на уровне прецизионного предела упругости а0>0001 или предела макроупругости ст0.

На сегодняшний день высокая точность гироскопа и постоянство рабочих характеристик в течение периода хранения, постановки прибора в навигационную систему и эксплуатации обеспечиваются в недостаточной степени.

Существующие технологические процессы изготовления прецизионных деталей газового подшипника имеют недостаточно высокий 8 уровень воспроизводимости результатов в части обеспечения точностных параметров. При изготовлении прецизионных деталей газового подшипника возникают проблемы как с получением точностей уровня десятых долей микрометра, так и их сохранением в период хранения, сборки и эксплуатации прибора. Все это делает задачу повышения точности и размерной стабильности прецизионных деталей и узла газового подшипника весьма актуальной, без решения которой невозможно улучшение качественных характеристик прибора в целом.

Для решения проблем геометрической точности и размерной стабильности прецизионных деталей и узлов гироскопических приборов, необходима разработка концептуально-прикладных подходов с использованием элементов системного анализа и итерационных методов, позволяющих комплексно оценивать и анализировать процессы изготовления прецизионных узлов на последовательных взаимосвязанных уровнях: материал, деталь, узел (сборка). На каждом уровне необходимо выявлять и оценивать сравнительную значимость возможных причин нестабильности, разрабатывать критерии оценки их влияния и технологические методы и средства повышения и сохранения точности узла. Область исследований является достаточно сложной и специфической, так как оперирует точностями порядка десятых долей микрометра.

Для решения проблемы обеспечения геометрической точности прецизионных деталей и узлов гироскопических приборов и ее стабильности в течение эксплуатации, необходим комплексный подход - проведение исследований в двух основных взаимообусловленных направлениях: с одной стороны повышение микромеханических характеристик сплава, таких как его предел макроупругости, определяющий уровень остаточных напряжений в материале, не приводящий к развитию микропластических деформаций; с другой стороны снижение и модификация поля остаточных напряжений в готовом узле при эксплуатации до уровня предела макроупругости материала.

Первое направление предполагает определенную долю металловедческих исследований для повышения микромеханических характеристик сплава. При этом управление микроструктурными параметрами сплава является инструментом для повышения его размерной стабильности.

Второе направление предусматривает рассмотрение технологии изготовления с позиций снижения уровня остаточных напряжений в деталях, но в тоже время и сохранения их формы, что связано с необходимостью анализа вносимых напряжений на различных операциях технологического процесса и разработкой методов снижающих вносимые напряжения.

Такой подход отражает многоуровневый характер исследования, предполагает разработку совокупности взаимосвязанных объективных критериев и прогрессивных технических решений, обеспечивающих управляемый характер технологического процесса изготовления деталей и узлов, что позволит решить проблему получения и сохранения в течение длительного периода времени геометрической точности прецизионных деталей и узлов гироскопических приборов.

Цель работы заключается в повышении уровня технологического обеспечения процесса изготовления прецизионных деталей и узлов из дисперсионно твердеющего сплава 40ХНЮ-ВИ, на примере опор и фланцев газодинамического подшипника двухстепенного поплавкового гироскопа, с выявлением прогрессивных технических решений, позволяющих обеспечить управляемый характер процесса формообразования и сохранения геометрической точности изделий на уровне десятых долей микрометра. Для достижения поставленной цели необходимо решение следующих задач:

1. Проанализировать и обобщить основные факторы, влияющие на точность изделий, и физические механизмы процессов, определяющих их размерную стабильность и связанных со свойствами исходных материалов, конфигурацией деталей и особенностями сборки.

2. Разработать исходные условия и основные принципы выбора прогрессивных технологических методов и средств повышения и сохранения точности изделий.

3. Исследовать процессы закалки и старения сплава 40ХНЮ-ВИ, определить способы повышения его размерной стабильности и разработать соответствующие режимы термических обработок сплава.

4. Разработать принципы, расчетно-экспериментальные методы и технологические приемы корректировки формы прецизионных деталей на уровне десятых долей микрометра с использованием элементов упруго-пластического принудительного деформирования.

5. Разработать средства бездеформационной технологии выполнения аэродинамического профиля на полусферических опорах газового подшипника.

6. Разработать схемы практической реализации элементов технологии при изготовлении реальных деталей и узлов.

Достоверность и обоснованность научных положений и выводов подтверждается использованием современных методов исследований, включая элементы системного анализа, итерационные подходы, ю моделирование, основы металловедения и теории упруго-пластического деформирования, и совпадением результатов экспериментальных исследований с теоретическими положениями диссертации; применением прогрессивных методов и средств обработки, анализа и оценки экспериментальных данных; достаточно высоким уровнем апробации результатов исследований, в том числе прохождение этапа рецензирования при опубликовании статей в реферируемых изданиях. Научные положения, выносимые на защиту:

1. Разработаны структурная схема и система моделей процесса повышения точности и размерной стабильности прецизионного узла газового подшипника поплавкового гироскопа, основанные на использовании итерационных методов и подходов.

2. Предложены совокупность критериев для оценки структурно-фазового состояния сплава 40ХНЮ-ВИ, отвечающая условию обеспечения прецизионной геометрии в процессе формообразования деталей газового подшипника, и режим термической обработки, изменяющий структуру до уровня соответствия этим критериям.

3. Разработан и обоснован режим старения сплава 40ХНЮ-ВИ, согласованный с процессом изготовления деталей и обеспечивающий высокую размерную стабильность сплава.

4. Установлены основные взаимосвязи геометрических параметров рабочих, центрирующих и посадочных поверхностей прецизионных фланцев газового подшипника, предложены и обоснованы принципы корректировки формы прецизионных деталей на различных этапах изготовления посредством упруго-пластического деформирования за счет регулируемых термомеханических воздействий.

5. Сформулированы положения и условия бездеформационной технологии выполнения аэродинамического профиля на полусферических опорах газового подшипника методом ионного травления. Определены значимые параметры процесса и кинематическая схема позиционирования полусферических опор для получения переменного как в продольном, так и поперечном сечении профиля.

Практическая ценность результатов заключается в следующем:

1. Разработана методика оценки структурно-фазового состояния сплава 40ХНЮ-ВИ, позволяющая обеспечить прецизионную геометрию на этапе сферодоводки.

2. Предложены и научно обоснованы режимы термических обработок сплава 40ХНЮ-ВИ, обеспечивающие его высокую размерную стабильность после старения и изменяющие структуру сплава 40ХНЮ-ВИ в закаленном состоянии.

3. Разработаны методы снижения внутренних напряжений в прецизионных деталях с сохранением их геометрии на уровне десятых долей микрометра за счет стабилизирующего отжига, проводимого в условиях жесткой фиксации взаимосвязанных прецизионных поверхностей деталей газового подшипника, а также технологические схемы корректировки формы этих поверхностей.

4. Определены величины и диапазоны варьирования основных значимых параметров процесса формообразования аэродинамического профиля на полусферических деталях газового подшипника методом ионного травления. Разработан и изготовлен комплекс средств оснащения для ионного травления профиля на опорах газового подшипника.

Результаты диссертационной работы нашли применение в технологии изготовления экспериментальных опор и фланцев газового подшипника поплавкового гироскопа. Разработанные методы могут быть использованы в технологии изготовления различных прецизионных конструкций из сплава 40ХНЮ-ВИ и иметь развитие в технологии изготовления сложных деталей, в которых предусмотрено выполнение нескольких высокоточных поверхностей, а также требуется получение сложного микрорельефа, например в акселерометрах, скважинных модулях ориентации и т.п. Предложенный общий комплексный подход к обеспечению размерной стабильности конструкции может быть применен к любому высокоточному узлу.

По теме диссертационной работы опубликовано 14 печатных работ, из них 3 - в рецензируемых изданиях, рекомендованных ВАК. Ряд статей был опубликован при поддержке РФФИ в рамках работ по проекту № 10-08-00158а.

Основные положения работы докладывались и обсуждались на научно-технических конференциях: XII, XIII, XIV конференции молодых ученых «Навигация и управление движением», СПб, ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2010-2012; VII, VIII Всероссийские межвузовские конференции молодых ученых, СПб, СПб НИУ ИТМО, 2010-2011; XI конференция молодых ученых и специалистов «Новые материалы и технологии», СПб, ФГУП ЦНИИ КМ «Прометей», 2010; XL научная и учебно-методическая конференция НИУ ИТМО, СПб, 2011; I Всероссийский конгресс молодых ученых, СПб, СПб НИУ ИТМО, 2012.

Разработанные методы, приемы и средства технологии опробованы в производстве при изготовлении двухстепенных поплавковых гироскопов и

12 определены перспективы использования этих методов и средств в отношении других типов гироскопических приборов.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы из 90 наименований. Работа изложена на 141 странице машинописного текста, содержит 71 рисунок и 13 таблиц.

Заключение

В результате проведенных экспериментально-исследовательских работ разработан комплекс научно обоснованных прогрессивных технических решений, позволяющих обеспечить управляемый характер процесса формообразования и сохранения геометрической точности прецизионных деталей и узлов из дисперсионно твердеющего сплава 40ХНЮ-ВИ на уровне десятых долей микрометра, что позволило решить задачу повышении уровня технологического обеспечения процесса изготовления прецизионных деталей и узлов, на примере опор и фланцев газового подшипника двухстепенного поплавкового гироскопа.

Основные научные и практические результаты диссертационной работы сводятся к следующему:

1. Обоснована эффективность использования концептуально-прикладной структурной схемы решения задачи обеспечения размерной стабильности прецизионных узлов, связанной с выделением взаимосвязанных уровней: материал, деталь, узел, с оценкой на основе разработанных критериев размерной нестабильности узла как единого множества нестабильностей, имеющих место на каждом выделенном уровне, в совокупности отношений и связей между ними.

2. Предложен комплексный системный подход к решению задач повышения точности и размерной стабильности узла газового подшипника, основанный на разработке приемов, методов и средств технологии, обеспечивающих совмещение допустимой области воздействий на детали при их изготовлении, которая ограничена кривой, определяемой множеством согласованных сочетаний 8Д0П и адоп (при данном пределе макроупругости метериала), и необходимой, реально имеющей место области, построенной для того же предела макроупругости материала и ограниченной сочетаниями реал И вреал*

3. Разработана система моделей процесса повышения точности и размерной стабильности прецизионного узла газового подшипника поплавкового гироскопа, основанная на использовании итерационных методов и подходов и включающая управление процессом обеспечения размерной стабильности исходного материала, деталей и узла в целом, в том числе модель, рассматривающая стабильность узла, а именно зазора газового подшипника, в статике и динамике. Разработанные модели включают иерархическую совокупность приемов, методов и средств технологии, представленных как классификационные признаки разных уровней.

4. Выявлены зависимости точностных параметров деталей на стадии прецизионной сферодоводки от структурного состава материала — сплава 40ХНЮ-ВИ, размеров и количества частиц фазы а-Сг в микроструктуре состаренного сплава, которые сохраняются из закаленного состояния. Разработаны совокупность критериев для оценки структурно-фазового состояния сплава 40ХНЮ-ВИ на этапе закалки, отвечающая условию обеспечения прецизионной геометрии, и алгоритм технологии изготовления деталей, в котором при несоответствии материала указанным критериям за счет обратных связей предусмотрено изменение структурно-фазового состояния посредством дополнительных термических воздействий.

5. Предложен режим высокотемпературной термоциклической обработки сплава 40ХНЮ-ВИ, модифицирующий структуру до уровня соответствия разработанным критериям обеспечения прецизионной геометрии. Исследованы процессы превращений, происходящие в сплаве при старении в диапазоне температур 300°-860°С и разработан режим старения, обеспечивающий повышение предела макроупругости на 200 МПа: нагрев 250°С/ч до температуры 810°С, время выдержки 2 ч 40 мин от начала нагрева.

6. Установлены основные взаимосвязи изменения геометрии прецизионных поверхностей фланца газового подшипника: рабочей сферы, направляющего цилиндра и посадочного торца. Предложены и обоснованы принципы корректировки формы на различных этапах изготовления за счет регулируемых термомеханических воздействий при упругопластическом деформировании взаимосвязанных поверхностей.

7. Определены эмпирические зависимости соотношений деформаций прецизионных поверхностей и выражения для расчета средств оснащения управляемого процесса корректировки конфигурации деталей посредством упругопластического деформирования, включая создание регулируемого давления термического натяга, согласованного с операцией стабилизирующего отжига.

8. Разработаны положения, условия и средства обеспечения бездеформационной технологии выполнения аэродинамического профиля на полусферических опорах газового подшипника методом ионного травления с получением переменного профиля канавок, как в продольном, так и поперечном сечении.

9. Определены значимые параметры процесса ионного травления, основными из которых являются величина угла наклона оси вращения опоры, совпадающей с осью симметрии опоры, относительно направления ионного потока и ориентация относительно ионного потока плоскостей, в которых лежат аппроксимирующие окружности аэродинамических канавок.

10. Выявлены особенности управления конфигурацией канавок аэродинамического профиля посредством варьирования величин значимых параметров процесса ионного травления, связанные с тем, что изменение глубины канавки в продольном направлении определяется углом наклона оси вращения опоры к оси ионного потока, а геометрия переменного профиля канавок в поперечном сечении — ориентацией относительно ионного потока плоскостей, в которых лежат аппроксимирующие окружности канавок.

11. На основе разработанных технологических методов предложена система алгоритмов процесса формообразования деталей, обеспечивающая повышение точности и размерной стабильности прецизионного узла газодинамического подшипника поплавкового гироскопа. Алгоритмы представляют собой структурные элементы общей технологии изготовления узла газодинамического подшипника и скомпонованы из условия обеспечения их устойчивой взаимосвязи.

12. Разработаны рекомендации для корректировки технологических процессов изготовления реальных деталей и узлов, основанные на представленных в диссертации технических решениях.

13. Разработанные методы, приемы и средства технологии опробованы в производстве при изготовлении двухстепенных поплавковых гироскопов и определены перспективы использования этих методов и средств в отношении других типов гироскопических приборов.

14. По результатам диссертационной работы опубликовано 14 печатных работ, из них 3 - в рецензируемых изданиях, рекомендованных ВАК. Ряд статей был опубликован при поддержке РФФИ в рамках работ по проекту № 10-08-00158а.

1. Общая и прикладная теория гироскопов с применением компьютерных технологий / В.Э. Джашитов, В.М. Панкратов, A.B. Голиков / Под общей ред. акад. РАН В.Г. Пешехонова.- СПб: ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 2010,- 154 с.

2. Пельпор Д.С., Михалев И.А., Бауман В.А. Гироскопические системы. Гироскопические приборы и системы: Учеб. для вузов / Под ред. Пельпора Д.С.- М.: Высш. шк., 1988.- 424 с.

3. Ишлинский А.Ю. Механика гироскопических систем.- М.: Академия наук СССР, 1963.- 482 с.

4. Прецизионные газовые подшипники / Сипенков И.Е., Филиппов А.Ю., Болдырев Ю.Я., Григорьев Б.С., Заблоцкий Н.Д., Лучин Г.А., Панич Т.В. / Под ред. Филиппова А.Ю. и Сипенкова И.Е.- СПб: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2007.- 504 с.

5. Филиппов А.Ю. О влиянии величины смазочного зазора на качество гироскопов с неконтактным сферическим газодинамическим подшипником // Гироскопия и навигация.- 1995.- №3(10).- С. 18-23.

6. Подшипники с газовой смазкой / Под ред. Грэссема Н.С. и Пауэлла Дж.У.- М.: Мир, 1966.- 424 с.

7. Гаврюсев В.И. Размерная стабильность материалов и элементов конструкций.- JL: ЦНИИ «Румб», 1990.- 114 с.

8. Рахпггадт А.Г. Пружинные сплавы.- М.: Металлургия, 1965.- 362 с.

9. Прецизионные сплавы: Справочник / Под ред. Молотилова Б.В.- М.: Металлургия, 1983.- 439 с.

10. И.Грановский В.А. Монахова O.A. Программа повышения качества метрологического обеспечения прибора Е32-148-01 в процессе его изготовления / Техн. отчет. Рег.№91/107.- СПб: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008.

11. Хенкин М.Л., Локшин И.Х. Размерная стабильность металлов и сплавов в точном машиностроении и приборостроении.- М.: Машиностроение, 1974.- 256 с.

12. Сагалевич В.М., Савельев В.Ф. Стабильность сварных соединений и конструкций.- М.: Машиностроение, 1986.- 264 с.

13. Уайтт О.Х. Микропластичность в металлах для прецизионных приборов / Перевод №299.- М., 1972.- 17 с.

14. Закономерности ползучести и длительной прочности: Справочник / Под общ. ред. Шестерикова С.А,- М.: Машиностроение, 1983.- 101 с.

15. Гольденблат И.И., Бажанов B.JL, Копов В.А. Длительная прочность в машиностроении.- М.: Машиностроение, 1977.- 248 с.

16. Биргер И.А. Остаточные напряжения.- М.: Машгиз, 1963.- 240 с.18,Остаточные напряжения: Учебное пособие / Ж.А. Мрочек, С.С.

17. Макаревич, JI.M. Кожуро и др.; Под ред. С.С. Макаревича.- Мн.: Технопринт, 2003.- 352 с.

18. Борздыка А.М., Гецов Л.Б. Релаксация напряжений в металлах и сплавах.- М.: Металлургия, 1978.- 256 с.

19. Гаврюсев В.И. Геометрическая стабильность металлических приборных конструкций и технологические методы ее повышения: Обзор.- Л.: ЦНИИ «Румб», 1981.- 146 с.

20. Гаврюсев В.И. Конструкционные гироскопические материалы: Учеб. пос. / ЛЭТИ.- Л., 1991. 56с.

21. Торопов Ю.А., Щербаков Ю.А. Вопросы проектирования гиромоторов /ЛЭТИ.-Л., 1975.

22. Сагалевич В.М. Методы устранения сварочных деформаций и напряжений.- М.: Машиностроение, 1974.- 248 с.

23. Винокуров В.А. Сварочные деформации и напряжения,- М.: Машиностроение, 1968.- 236 с.

24. Двуреченский А.Г., Корнеев В.П., Казаков В.А. Опыт термокалибровки сварных оболочковых конструкций для уменьшения сварочных деформаций и напряжений // Технология машиностроения.-2005.- №12.- С.28-30.

25. Королев А.Е., Фролов В.К. Внутренние напряжения в биметаллических вкладышах коленчатого вала дизелей Д49 // Механика и физика фрикционного контакта: Межвузовский сборник научных трудов.-Тверь 2003.- Вып. 10- С.61-71.

26. Каменичный И.С. Краткий справочник технолога-термиста.- М.: Машгиз, 1963.- 287 с.

27. Гаврюсев В.И. Метод оценки размерной нестабильности замыкающего звена гироскопических сборок // Гироскопия и навигация.- 1993.- №1.-С. 18-25.

28. Марингер P.E., Ингрем А.Г. Влияние некоторых факторов на стабильность размеров // Проблемы трения и смазки / Труды американского общества инженеров-механиков.- 1968.- N4,- С.212-216.

29. Marshall C.W., Maringer R. Dimensional instability on introduction // Pergamon Press, 1977.- 323 p.

30. Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н., Мисюров А.И. Технологические процессы лазерной обработки/ Под ред. А.Г. Григорьянца.- М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2006.- 664 с.

31. Вейко В.П., Либенсон М.Н. Лазерная обработка.- Л.:Лениздат, 1973,192 с.

32. Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н. Оборудование и технология лазерной обработки материалов.- М.: Высшая школа, 1990.- 159 с.

33. Технология обработки с использованием потоков высокоэнергетических частиц / Сенчило И.А., Зубарев Ю.М., Бабошкин А.Ф., Круглов А.И., Ревкин H.H. / Под ред. Сенчило И.А.-СПб, 2004.-116 с.

34. Русакова A.B. Особенности распыления конструкционных материалов ионами аргона с энергией 2-7 кэВ: На конкурс НИОКР молодых ученых и Специалистов НЯЦ PK.- Курчатов, 2006.- 15 с.

35. Патент RU №2204817 CI, MKnG01N3/00. Способ определения технического состояния материалов элементов конструкции / Чувильдеев В.Н., Мадянов С.А., Краев А.П., Нохрин A.B., Мельников Г.Ю., Грунтенко Г.С., Никитюк В.М.- 2003.- 9 с.

36. Чувильдеев В.Н. Влияние старения на эксплуатационные свойства сталей магистральных трубопроводов // Проблемы старения сталей магистральных трубопроводов.- Н. Новгород: Университетская книга,2006.- С. 18-67.

37. Столофф Н.С. Некоторые вопросы стабильности высокотемпературных подшипниковых материалов // Проблемы трения и смазки.- 1968.- №4.

38. Jia N., Lin Peng R., Wang Y.D., Johansson S., Liaw P.K. Micromechanical behavior and texture evolution of duplex stainless steel studied by neutron diffraction and self-consistent modeling // Acta Materialia.- 2008.- 56.-pp.782-793.

39. Хоникомб P. Пластическая деформация металлов / Пер. с англ.- М.: Мир, 1972. 408 с.

40. Новиков И.И. Теория термической обработки металлов.- М.: Металлургия, 1978.- 392 с.

41. Кукареко В.А. Субмикроскопическая структура и ее роль в формировании физико-механических свойств дисперсионно-упрочняемых материалов на никелевой и железной основах: автореф. дисс. на соиск. уч. ст. д. ф.-м. н.- Томск, 2004,- 36 с.

42. Гитгарц М.И., Кукареко В.А. О статической природе разупрочнения дисперсионно-твердеющих сплавов при длительном изотермическом старении // Физика металлов и металловедение.- 1989.- т. 68, вып. 3.-С.582-588.

43. Fazeli F., Poole W.J., Sinclair C.W. Modeling the effect of A13Sc precipitates on the yield stress and work hardening of an Al-Mg-Sc-alloy // Acta Materialia.- 2008.- 56.- pp.1909-1918.

44. Winther G. Slip systems extracted from lattice rotations and dislocation structures // Acta Materialia.- 2008.- 56.- pp. 1919-1932.

45. Гаврюсев, Клямкин, Певзнер. Исследование свойств сплава 40ХНЮ / Техн. отчет. Рег.№236-518-73.- Л., 1973.- 44 с.

46. Raghavan V. Aluminum Chromium - Nickel // Journal of Phase Equilibria and Diffusion.- 2006.- Vol. 27, No. 4.- pp. 381-388.

47. Ерболатулы Досым. Влияние структурно-фазовых состояний на сверхпластические и прочностные свойства сплавов 40ХНЮ и 67КН5Б: автореф. дисс. на соиск. уч. ст. к.ф.-м.н.- респ. Казахстан, Алматы, 2005.- 16 с.

48. Ерболатулы Д. Влияние структурно-фазового состояния промышленных дисперсионно-твердеющих сплавов на их технологические и прочностные свойства: На конкурс НИОКР молодых ученых и Специалистов НЯЦ РК.- Курчатов, 2006.- 16 с.

49. Ерболатулы Д., Скаков М.К., Алонцева Д.Л., Гребнева B.C. Особенности формирования ультрадисперсных структур и сверхпластичность сплава на Ni-Cr основе // Вестник НЯЦ РК. Ядерная физика и радиационное материаловедение,- 2002.- вып. 4.- С.66-68.

50. В.А. Петров, Р.Д. Строкатов, В.Ф. Суховаров. Комплексные реакции рекристаллизации и распада в высокохромистом Ni-Cr-Al сплаве // Физика металлов и металловедение.- 1984.- т. 57, вып.1.- С.127-130.

51. Скаков М.К., Мукажанов Е.Б., Ерболатулы Д., Исаева Ж.М. Изменение микроструктуры пружинного Cr-Ni сплава после старения // Известия Томского политехнического университета.- 2007.- т. 311, №2.-С.119-122.

52. Мукажанов Е.Б., Скаков М.К., Исаева Ж.М., Ерболатулы Д. Особенности изменения механических свойств дисперсионно-твердеющего сплава 47ХНМ при закалке и старении // Известия Томского политехнического университета.- 2007.- т. 311, №2.-С.123-126.

53. Гаврюсев, Певзнер. Выбор материалов для изготовления деталей прибора ЗШГО-ЮО / Техн. отчет. Рег.№298-518-72.- Л., 1972.- 15 с.

54. Лившиц Б.Г. Физические свойства металлов и сплавов.- М.: 1956.354 с.

55. Гаврюсев В.И., Щербак А.Г., Яковлева С.А. Особенности процесса изготовления прецизионных узлов гироприборов // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО,- 2010.- №6(70).- С.47-50.

56. Яковлева С.А., Юльметова О.С. Размерная стабильность материалов и элементов конструкций в приборостроении // Известия вузов. Приборостроение.- 2010.- №8.- С.23-26.

57. А.Г. Щербак, В.Г. Кедров. Технология прецизионной диффузионной сварки в точном приборостроении.- СПб: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 1997.- 166 с.

58. А.Г. Щербак. Прецизионная технология диффузионной сварки узлов точного приборостроения: дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н.- СПб, 1994273 с.

59. В.С. Коваленко. Металлографические реактивы: Справочник.- М.: Металлургия, 1970.- 133 с.

60. Беккерт М., Клемм X. Справочник по металлографическому травлению / Пер. с нем.- М.: Металлургия, 1979.- 336 с.

61. Thixomet PRO. Thixomet Products Family. Руководство пользователя в 2-х частях.- СПб, 2007.- 43 е., 73 с.72.3олоторевский B.C. Механические свойства металлов.- М.: Металлургия, 1983.- 352 с.

62. Бернштейн M.JL, Займовский М.А. Механические свойства металлов.-М.: Металлургия, 1979.- 496 с.

63. Коломийцов Ю.В. Интерферометры. Основы инженерной теории, применение.- JL: Машиностроение, 1976.- 296 с.

64. Доводка прецизионных деталей машин / П.Н. Орлов, A.A. Савелова,

65. B.А. Полухин, Ю.И. Нестеров / Под ред. Г.М. Ипполитова.- М.: Машиностроение, 1978.- 256 с.76.0рлов П.Н., Нестеров Ю.М., Полухин В.А. Процессы доводки прецизионных деталей пастами и суспензиями.- М.: Машиностроение, 1975.- 56 с.

66. Яковлева С.А., Щербак А.Г. Разработка алгоритма технологического проектирования процесса формообразования прецизионных деталей поплавкового гироскопа // Гироскопия и навигация.- 2011.- №2(73).1. C.93.

67. Яковлева С.А., Щербак А.Г. Прогрессивные технологические методы бездеформационного формообразования аэродинамического профиля газового подшипника // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых.- СПб: НИУ ИТМО, 2012.- вып.2.- С.310-311.

68. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Ионное травление микроструктур.- М.: Сов. радио, 1979.- 104 с.

69. Берш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под. ред. Р.Бериша.- М.:Мир, 1984.- 335 с.

70. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров / Пер. с англ.- М.: Наука, 1974.- 832 с.

71. Солонин М.И. Радиационностойкие сплавы системы никель-хром // Металловедение и термическая обработка металлов.- 2005.- №7 (601).-С.78-82.

72. Могильный В.А., Галиуллин Д.М. Улучшение технологии производства прутков из сплава 40ХНЮ-ВИ // Электрометаллургия.-2007.-№1.- С.6-9.

73. Яковлева С.А., Щербак А.Г. Исследование влияния режимов термообработок на структурно-фазовое состояние сплава 40ХНЮ-ВИ // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО.- 2011.- №5(75).- С.96-99.

74. Федюкин В.К. Термоциклическая обработка сталей и чугунов.- JL, 1977.- 144 с.

75. Федюкин В.К. Научное обоснование и разработка технологий улучшающей термоциклической обработки металлических материалов: дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н.- СПб, 1993.- 323 с.