автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.16, диссертация на тему:Информационно-измерительная система контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара

На правах рукописи

Уваров Александр Николаевич

ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОГО МУАРА

Специальность 05.11.16- "Информационно-измерительные и управляющие системы " (промышленность)

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Липецк - 2005

Работа выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Тамбовский государственный технический университет»

Научный руководитель: кандидат физико-математических наук, доцент Иванов Владимир Михайлович

Официальные оппоненты:

доктор физико-математических наук, профессор Блюмин Семен Львович кандидат технических наук Григорьева Светлана Викторовна

Ведущая организация: Тамбовское высшее военное авиационное инженерное училище радиоэлектроники (Военный институт) г. Тамбов

Защита состоится 02 декабря 2005 года в 12 — на заседании диссертационного совета Д 212.108.01 при государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Липецкий государственный технический университет» по адресу: 398600, г. Липецк, ул. Московская, 30, административный корпус, ауд. 601.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке при государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Липецкий государственный технический университет».

Автореферат разослан « » октября 2005 г.

Ученый секретарь диссертационного совета

Ш6Ч 1ЪГ<62\

2. г 5" 2 2. з

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

В последнее время все больший интерес вызывают задачи, связанные с электромагнитной совместимостью. Для решения подобных задач необходимо изучать топологию электромагнитных полей в сложных конструкциях, в частности, радиоэлектронных устройствах. При работе элементы радиоэлектронных устройств генерируют неоднородные электромагнитные поля в малых объемах, поэтому необходимо иметь возможность прямой оценки напряженности электромагнитных полей с целью определения их значительных искажений, вызванных различными дефектами в контролируемых изделиях.

Существующие электронно-оптические методы наблюдения магнитных полей рассеяния, позволяют решать узкий круг поставленных задач, связанных с определением бракованных электротехнических изделий на производстве, из-за наличия целого ряда взаимосвязанных критериев оценки напряженности электромагнитного поля, что вносит дополнительные коррективы в обработку муаровых картин, полученных средствами электронной микроскопии. Поэтому создание информационно-измерительной системы (ИИС), отличающейся определением единого критерия, характеризующего муаровые картины от металлизированных отверстий печатных плат, по фрактальной размерности муарового изображения после предварительной фильтрации открывает возможность разработки более надежного и менее трудоемкого метода контроля, что является важной и актуальной задачей. Актуальность работы также подтверждается возможностью создания на базе муаровой методики наблюдения магнитных полей принципиально новых программно-управляемых систем при автоматизации процесса контроля качества электротехнических изделий на производстве.

Целью работы является разработка оперативной, обладающей большей достоверностью информационно-измерительной системы и метода контроля качества металлизированных отверстий печатных плат с помощью электронно-оптического муара, отличающейся определением единого критерия, характеризующего муаровые картины от металлизированных , отверстий печатных плат, по фрактальной размерности муарового

изображения после предварительной фильтрации.

Идея работы заключается в применении ИИС, позволяющей по единому критерию (фрактальной размерности), характеризующему электронно-оптические муаровые картины от исследуемых неоднородных магнитных полей рассеяния в малых объемах, предложить более надежный и оперативный метод контроля качества электротехнических изделий на производстве.

Научная новизна:

— создана математическая модель, позволь кувдя цлЗДКЯНВДьная электронно-оптические муаровые картины от поля ра( сеяюдеишмОййЖЛ

Т

проводников по реальному распределению неоднородных магнитных полей в малых объемах, а также проведен метрологический анализ ИИС с целью оценки факторов, влияющих на погрешность определения качественных параметров, характеризующих муаровое изображение;

— предложена методика обработки муаровых картин от поля рассеяния металлизированных отверстий печатных плат с помощью фрактального анализа, основанная на использовании единого критерия, фрактальной размерности, характеризующего полученные муаровые изображения, по которому разработан метод контроля качества металлизированных отверстий печатных плат, основанный на сравнении текущего значения фрактальной размерности муарового изображения с эталонным; •

— разработана структура и программное обеспечение ИИС контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара, позволяющая без нарушения технологического цикла производства осуществлять контроль качества плоских проводников путем обработки первичной информации по алгоритму сопоставления с эталонным значением.

Практическая ценность работы заключается в том, что разработана ИИС контроля качества плоских проводников, основанная на визуализации магнитных полей рассеяния в малых объемах посредством электронно-оптических муаровых картин. Предложена методика контроля качества металлизированных отверстий по фрактальной размерности муарового изображения, получаемого в процессе машинного математического моделирования, отличающейся определением единого критерия, характеризующего муаровые картины от металлизированных отверстий печатных плат, по фрактальной размерности муарового изображения после предварительной фильтрации.

Для ИИС, реализующей предложенный метод разбраковки, разработан алгоритм функционирования, аппаратное и программное обеспечение, метрологическое обеспечение с учетом вероятности брака при контроле.

Методы и объект исследования. В диссертационной работе использованы методы получения муаровых картин от электрических и магнитных полей средствами электронной микроскопии, математического моделирования, схемотехники и метрологии. Объектом исследования является плоский проводник, в частности металлизированное отверстие печатной платы.

Достоверность результатов. Теоретические исследования подтверждены экспериментальными данными с использованием разработанной ИИС, при этом обеспечена сходимость результатов с погрешностью не более 10%.

Реализация работы. Основные результаты работы нашли применение при создании ИИС контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара, прошедшей испытания в акционерном обществе открытого типа "Тамбовэлектроприбор" (г. Тамбов). Ожидаемый

годовой экономический эффект за счет сокращения эксплуатационных затрат и уменьшения выхода бракованных электротехнических изделий составляет около 300 тыс. рублей.

Апробация. Основные положения диссертации были изложены в докладах на: IX Международной научно-технической конференции студентов и аспирантов "Радиоэлектроника, электротехника и энергетика" (Москва, 2003); III Международной конференции "Микромеханизмы пластичности, разрушения и сопутствующих явлений (MPFP)" (Тамбов, 2003); VII Всероссийской научно-технической конференции "Повышение эффективности средств обработки информации на базе математического моделирования" (Тамбов, 2004).

Публикации. Основные результаты диссертации опубликованы в 7 печатных работах.

Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, шести глав, заключения, библиографического списка из 107 наименований, приложений. Общий объем работы составляет 113 страниц. Основная часть диссертации изложена на 94 страницах машинописного текста. Работа содержит 30 рисунков.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы, сформированы цели и задачи, раскрыты научная новизна работы и ее практическая значимость

В первой главе приведены основные методы и устройства измерения, наблюдения и визуализации электромагнитных полей, создаваемых различными электротехническими устройствами, в плане их применения для систем контроля качества электромагнитных изделий на производстве.

Информационный анализ показал, что контроль печатных плат на производстве носит многокритериальный характер, не позволяющий судить о реальном распределении магнитного поля в плоских проводниках с током. Визуализация электромагнитных полей методом электронно-оптического муара позволяет создавать измерительно-вычислительные системы контроля качества магнитных изделий. Однако сложность выявления информативного параметра, анализирующего контроль качества магнитных систем, не позволяет создать инженерную методику разбраковки плоских проводников на базе информационно-измерительных систем. Применение электронно-оптической методики наблюдения микрополей рассеяния на плоских проводниках печатных плат и выявление единого критерия, характеризующего магнитное поле рассеяния, позволит решить задачу автоматизированного контроля качества электротехнических изделий на производстве.

Во второй главе поставлены следующие цели и задачи диссертационной работы:

— усовершенствовать методику наблюдения неоднородных электромагнитных полей рассеяния малой протяженности средствами электронной микроскопии;

— создать математическую модель, позволяющую описать электронно-оптические муаровые картины от поля рассеяния плоских проводников;

— предложить методику обработки муаровых картин от поля рассеяния металлизированных отверстий печатных плат с помощью фрактального анализа;

— разработать единый критерий, характеризующий полученные муаровые изображения по фрактальной размерности, и по нему предложить метод контроля качества металлизированных отверстий печатных плат;

— разработать структуру и программное обеспечение ИИС контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара;

— провести метрологический анализ ИИС на погрешность определения качественных параметров, характеризующих муаровое изображение и результаты разбраковки электротехнических изделий на производстве.

В третьей главе рассмотрено поведение плоского проводника с отверстием в электромагнитном поле.

Рассмотрена физическая модель магнитного поля плоского проводника с током на отверстии. Используемый проводник всегда содержит некоторое количество дефектов, искажающих внутрикристаллические поля и снижающие его практическую прочность. Вместе с тем, эти дефекты способны существенно перераспределить и усилить внешнее электромагнитное поле. Реальную прочность твердых тел и склонность их к разрушению определяют не только многочисленные несовершенен структуры, но и локальные технологические нарушения сплошности (отверстия, надрезы и вырезы, изгибы и т.д.). Здесь следует учитывать искажение поля тока дефектами, аналогичное концентрации механических напряжений вблизи них. Этот эффект происходит и на отверстии в проводнике.

Рассмотрено перераспределение и локальное усиление поля макронеоднородностями в виде отверстий в реальном проводнике с током (рис. 1).

Найдена максимальная напряженность магнитного поля на краю отверстия:

МоМ яЯ

/«¿У

г иг

б)

Рис. 1. Схема обтекания неметаллического включения электрическим током - а; сечение пластины - б.

Для определения напряженности поля по всей протяженности необходимо воспользоваться известным распределением поля в коротком соленоиде. Эллиптические интегралы первого и второго рода позволят рассчитать реальное распределение поля в пространстве.

В точке с координатами (х,у) отверстие создает поле, осевую и радиальную составляющие которого можно представить:

жЯ

Й"

■ к{9)

1-1^1 +

Е{<р)

(2)

где I - ток, протекающий по пластине; Я - радиус отверстия;

К(<р\ Е(<р)~ эллиптические интегралы 1-го и П-го рода.

Для изучения электромагнитной ситуации вокруг отверстия на плоской пластине с током опыты по получению муаровых картин магнитных полей рассеяния плоских проводников проводились на электронографе ЭГ-100А. Для исследования использовались плоские проводники с отверстием, которые располагали в колонне электронографа таким образом, чтобы пучок

электронов реагировал на нормальную составляющую магнитного поля (рис. 2).

Рис. 2. Электронно-оптическая схема наблюдения магнитного поля рассеяния плоского проводника с центральным отверстием:

П - электронная пушка; С - сетка; О - объект (изогнутая пластина с отверстием); Э - экран электронографа; ё - пучок электронов; и -напряжение источника.

При контроле работоспособности печатных плат на производстве проверяется ряд параметров, таких как: способ обработки металлизированных отверстий, состояние материала и полировки рабочей поверхности, которые существенно влияют на топологию магнитного поля рассеяния. Получены фрактальные размерности муаровых картин от неоднородного магнитного поля плоского проводника с током серийно выпускаемых радиоэлектронных изделий.

Одним из этапов контроля готового изделия является визуальный осмотр оператором качества обработки металлизированного отверстия, который включает затягивание по всей длине, резкую ограниченность и неровность краев, неплотное прилегание к немагнитной прокладке. При этом личные качества оператора отражаются на результатах выводов о годности контролируемого изделия. Такие дефекты изделия могут быть выявлены по муаровым изображениям магнитного поля протекающего тока.

При сравнении муаровых картин (рис. 3), полученных от годных и бракованных металлизированных отверстий печатных плат, установлена возможность их разбраковки по критерию фрактальной размерности

муарового изображения с последующим созданием информационно-

измерительной системы.

Математическое моделирование муарового изображения от магнитного поля металлизированного отверстия плоского проводника основано на наложении соответствующих поперечных Я, и продольных Я, составляющих напряженности поля.

б)

Рис. 3. Электронно-оптические муаровые картины магнитного поля рассеяния печатной платы: а) годная; б) бракованная

Указанные составляющие напряженности магнитного поля рассчитаны по следующим выражениям в зависимости от условий и геометрии съемки:

, Аналогичным образом обрабатываются эквипотенциали, полученные линиями вертикальных совпадений сетки, которые характеризуют радиальную составляющую магнитного поля. В этом случае отклонение по оси У можно рассчитать по формуле:

где х",у"- отклонение электронного пучка, измеренное по муаровой картине.

На рисунке 4 приведены теоретические и экспериментальные зависимости осевой и радиальной составляющей напряженности магнитного поля рассеяния плоского проводника с отверстием при неизменном токе.

Сравнение результатов, полученных в ходе обработки муарового изображения от поля рассеяния металлизированного отверстия плоского проводника с классическим решением для поля соленоида (рис. 4), показало, что методическая погрешность предложенного способа наблюдения неоднородных полей составляет не более 7% в рассматриваемом токовом диапазоне.

3.42-КГ6 '

(4)

Я,

>т" 5.25-Ю-6'

(5)

1000

о £ # £ ^ &

0 б 10 15 20 25 30 35 расстояние от центр«

расстояние от центра отдерсти*У(мм)

сгмрсгия Х(мм)

а)

б)

Рис. 4. Зависимость распределения составляющих магнитного поля, ток I = \5 А: а) осевая, б) радиальная. 1-экспериментальная; 2-теоретическая

В четвертой главе предложен алгоритм поиска информативного параметра в виде фрактальной размерности муаровой картины, которая является топологической мерой оценки исследуемого поля. Предварительно муаровая картина для подавления шумов и подготовке к дальнейшей обработке подвергается фильтрации. На рисунке 5 представлены муаровые картины до и после фильтрации.

Информативность параметра заключается в следующем:

1. Муаровая картина обладает фрактальной размерностью, так как представляет собой разряженный объект.

2. Фрактальная размерность указывает на ток, который протекает в плоском проводнике.

• 3. Фрактальная размерность плоского годного проводника лежит в диапазоне с!Ыии >й 1 > с1 . Это обусловлено тем, что нехватка меди на стенках отверстия приводит к ослаблению магнитного поля (г/ ), а наличие

дефектов (трещин, пузырьков воздуха, примесей) приводит к нежелательному усилению магнитного поля и уменьшению фрактальной размерности.

а)

б)

Рис. 5. Изображение муаровой картины а) до фильтрации; б) после фильтрации

1пМ(Я) 1пД '

(6)

где с1{ - фрактальная размерность муарового изображения; М(Я)-количество черных пикселей; Я - общее количество пикселей.

В результате эксперимента была выявлена связь фрактальной размерности с протекающим током (рис. 6) и получены фрактальные размерности муаровых картин от неоднородного магнитного поля плоского проводника с током серийно выпускаемых радиоэлектронных изделий.

В пятой главе описана структура информационно-измерительной системы контроля качества плоских проводников, аппаратная часть и программное обеспечение, реализующее методику определения фрактальной размерности электронно-оптического муарового изображения.

Структура ИИС контроля качества магнитных изделий (рис. 7) включает: электронограф (Э), цифровую фотокамеру (ЦФК) и персональный компьютер (ПК). Визуальная картина магнитного поля рассеяния металлизированного отверстия плоского проводника в виде электронно-оптического муарового изображения, полученная на экране электронографа с помощью цифровой фотокамеры, передается через видеоконтроллер на дисплей компьютера и через программируемый порт на центральный процессор. Управляющие коды и передача графической информации осуществляется посредством шины Universal Serial Bus (USB).

О 10 20 30 , 40 SO 60 !

Ток (A) |

Рис. 6. Зависимость фрактальной размерности от протекающего тока

Управление с компьютера производится при помощи программы Digital Desktop. Контроль над изображением ведется с входа видеосигнала фотокамеры. Обработка каждого файла из полученного пакета осуществляется разработанной программой, которая определяет фрактальную размерность по пикселям, являющимся наименьшими элементами поверхности рисунка на экране компьютера, с которыми можно манипулировать.

Рис. 7. Структурная схема информационно-измерительной системы контроля качества электромагнитных изделий:

ЭП - электронная пушка; ОК - объект контроля (металлизированное отверстие в плоском проводнике с током); ЭЭ - экран электронографа; ОЭП - оптико-электронный преобразователь; ПЗС - прибор с зарядовой связью; ДК - декодер; РПЗУ - репрограммируемое постоянное запоминающее устройство; ЦП - центральный процессор; Д - дисплей; ПУ - периферийные устройства; ВК - видеоконтроллер; ПП - программируемый порт; ЗУ -запоминающее устройство.

Программное обеспечение было выполнено при помощи программного продукта Borland Delphi 5.0, базирующегося на языке Object Pascal, который является объектно-ориентированным с твердой опорой в виде хорошего компилятора. Захват картинки с последующим переводом в ВМР-формат осуществляется программными средствами, которыми комплектуется цифровая фотокамера и видеокарта с входом. После обработки каждого файла графической информации • разработанным пакетом программ на экране ПК появляется окно с муаровым изображением (рис. 3) и данными, полученными в ходе обработки графического массива с последующим вынесением экспертного суждения о качестве изделия.

В шестой главе представлены факторы, влияющие на погрешность определения качественных параметров, характеризующих муаровое изображение отдельного изделия в ИИС, и результаты разбраковки.

Проведен ряд экспериментов по получению муаровых картин от плоских проводников с центральным отверстием. Выявлены регулируемые меры оценки качества металлизированных отверстий плоских проводников с током в виде фрактальной размерности, являющейся мерой оценки брака. На этой основе предложен метод контроля качества электромагнитных изделий В результате статистической обработки экспериментальных данных для годных и бракованных плоских проводников, в частности печатных плат, по

предложенному критерию качества (рис. 8) установлена точность технологического процесса.

- Годные

- Бракованные

1 2 3 4 5 6 печатные платы

Рис.8. Распределение плотности вероятностей фрактальных размерностей муарового изображения годных и бракованных изделий

По установленной точности технологического процесса и допуска на контролируемый параметр, а также по значениям брака контроля 1 -го и 2-го рода выявлена допустимая погрешность предложенной ИИС. Установлено, что разработанный метод является решением задачи контроля качества изделий при экспериментально подтвержденной погрешности определения критерия качества в ИИС на уровне 10%, удовлетворяющей поставленным требованиям.

В приложении представлены: программное обеспечение ИИС, справочные материалы и акты апробации результатов диссертационной работы.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертационной работе получено новое решение актуальной задачи по разработке информационно-измерительной системы контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара, основанной на использовании единого критерия фрактальной размерности, характеризующего муаровые картины от металлизированных отверстий печатных плат после предварительной фильтрации.

Основные результаты теоретических и экспериментальных исследований:

1. Усовершенствована методика наблюдения неоднородных электромагнитных полей рассеяния малой протяженности средствами электронной микроскопии;

2. Создана математическая модель, позволяющая описать электронно-оптические муаровые картины от поля рассеяния плоских проводников;

3. Предложена методика обработки муаровых картин от поля рассеяния металлизированных отверстий печатных плат с помощью фрактального анализа;

4. Разработан единый критерий, характеризующий полученные муаровые изображения по фрактальной размерности, и по нему предложен метод конгроля качества металлизированных отверстий печатных плат;

5. Разработана структура и программное обеспечение ИИС контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара;

6. Проведен метрологический анализ ИИС на погрешность определения качественных параметров, характеризующих муаровое изображение и результаты разбраковки электротехнических изделий на производстве.

Работы, опубликованные по теме диссертации:

1. Уваров, А.Н. Информационная система контроля качества электротехнических изделий [Текст] / А.Н. Уваров, Е.А. Печагин, В.М. Иванов // Радиоэлектроника, электротехника и энергетика: Тез. докл. IX Междунар. науч.-техн. конф. студентов и аспирантов: В 3-х т Т. 1. - М.: Изд. МЭИ, 2003. С. 409-410.

2. Уваров, А.Н. Применение электронно-оптических эффектов в дефектоскопии плоских проводников [Текст] / А.Н. Уваров, В.М. Иванов. Е.А. Печагин // VIII научная конференция- Пленарные докл. и краткие тез. Тамбов: Изд. Тамб. гос. техн. ун-та, 2003. Ч. 1. С. 150.

3. Уваров, А.Н. Электронно-оптический муар в оценке качества магнитных изделий [Текст] / А.Н. Уваров, В.М. Иванов, Е.А. Печагин // Вестник ТГУ. Сер. Естественные и технические науки. 2003. Т.8. вып. 4. С. 691-694. (Труды участников III Междунар. конф.).

4. Уваров, А.Н. Использование электронно-оптических эффектов при контроле качества магнитных систем [Текст] / А.Н. Уваров, Е.А. Печагин, В.М. Иванов // Труды 4-ой Международной конференции молодых ученых и студентов «Актуальные проблемы современной науки». Естественные науки. Части 12-16. Секции: электротехника, приборостроение, радиотехника и связь, энергетика, электроника. Самара, 2003. С. 28-30.

5. Уваров, А.Н. Исследование концентрации энергии в области непроводящих включений плоского проводника с током средствами электронной микроскопии [Текст] / А.Н. Уваров, В.М. Иванов, Е.А. Печагин // Электрика. 2003. № 7. С. 34-37.

6. Уваров, А.Н. Фильтрация изображений муаровых картин, полученных на основе электронно-оптических эффектов [Текст] / А.Н. Уваров, В.М. Иванов, Е.А. Печагин, Д.Н. Лимонов // VII Всероссийская научно-техническая конференция «Повышение эффективности средств

обработки информации на базе математического моделирования» мат-лы докл.: Тамбов ТВАИИ. - 2004. Ч. 1. С. 46-51.

7. Уваров, А.Н. Критерии разбраковки измерительно-вычислительной системы контроля качества магнитных систем [Текст] / А.Н. Уваров, В Ф. Калинин, В.М. Иванов, Е.А. Печагин, Д.Н. Лимонов // Вестник ТГТУ. 2004. Вып. 10. № 4а. С. 961-967.

Личный вклад автора в работах, написанных в соавторстве, заключается в следующем: в [1] исследована возможность применения ИИС для промышленности с целью автоматизации и повышения оперативности процесса разбраковки готовой продукции; в [2] проведено исследование топографии локальных магнитных полей в области непроводящих дефектов, находящихся под действием электрического тока методом электронно-оптического муара; предложено использовать метод для обнаружения дефектов по максимальному искажению наблюдаемой картины; в [3] усовершенствована структура информационно-измерительной системы контроля качества магнитных изделий путем введения в нее устройства с зарядовой связью (матрицы ПЗС); в [4] исследованы способы измерения магнитных полей в микрообъемах с целью их применения при контроле качества плоских проводников; в [5] проведено исследование концентрации энергии в области непроводящих включений плоского проводника с током средствами электронной микроскопии и приведена оценка электродинамических и тепловых усилий, способствующих локальному разрушению проводника; в [6] разработана фильтрация изображений муаровых картин, полученных на основе электронно-оптических эффектов с последующим применением обработанного изображения для нахождения фрактальной размерности муаровой картины для использования при контроле качества плоских проводников на производстве; в [7] предложены критерии разбраковки электротехнических изделий для дальнейшего их использования в измерительных системах контроля качества на производстве.

-i

■I

i

Подписано в печать 21 10 2005г Формат 60x84 1/16. Бумага офсетная. Ризография. Печ. л. 1,0 Тираж! 00 экз. Заказ № 1034. Липецкий государственный технический университет. Типография ЛГТУ 398600 Липецк, ул Московская, 30

У

} 4

4g 2 О 6 0®

РНБ Русский фонд

2006-4 22522

»

)

л

\

ВВЕДЕНИЕ.

1. ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ПРЯМОЙ ОЦЕНКИ НАПРЯЖЕННОСТИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ.

1.1. Методы исследования электромагнитных полей.

1.2. Методы производственного контроля качества электромагнитных изделий.

1.3. Способы визуализации электромагнитных полей.

2. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ.

3. ИССЛЕДОВАНИЕ НЕОДНОРОДНЫХ МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ.

3.1. Применение муаровой методики при контроле качества печатных плат на производстве.

3.2. Физическая модель магнитного поля плоского проводника с током на отверстии.

3.3. Математическая модель магнитного поля плоского проводника с током на отверстии.

3.4. Выводы.

4. ФРАКТАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МУАРОВЫХ КАРТИН.

4.1. Применение фрактального анализа к муаровой методике.

4.2. Фильтрация муаровых картин.

4.3. Вычисление фрактальной размерности муаровой картины.

4.4. Выводы.

5. ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ПРОВОДНИКОВ.

5.1. Структура информационно-измерительной системы контроля качества плоских проводников.

5.2. Аппаратные средства.

5.3. Программное обеспечение.

5.4. Выводы.

6. МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ПРОВОДНИКОВ.

6.1. Предварительная обработка экспериментальных данных по металлизированным отверстиям печатных плат.

6.2. Исследование вероятности брака контроля при использовании Информационно-измерительной системы.

6.3. Выводы.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ.

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ИСТОЧНИКОВ.

Актуальность работы. Современные сложные электронные системы включают ряд составляющих, в том числе основополагающих: радиотехническую, вычислительную и энергетическую. Энергетические устройства, такие как монтажные платы - неотъемлемая часть всех систем. Эти "кирпичики" - составляющие фундамента электронной аппаратуры, построены на основе использования электромагнитных явлений и применении новых магнитных материалов. Поэтому измерение параметров электромагнитных полей, а также исследование электрических и магнитных свойств материалов занимают значительное место в технике.

Производственный контроль печатных плат представляет собой многопараметрический, трудоёмкий процесс, зависящий от личных качеств оператора. Работа проводника часто сопровождается генерированием неоднородных электрических и магнитных полей малой протяженности из-за геометрических и физических особенностей самого проводника и границ раздела. Например, при производственном контроле соответствия серийно выпускаемых электротехнических изделий запроектированным стандартам не поддаются учету особенности, вызванные различной физико-химической предысторией систем, создающих магнитные поля рассеяния. Это способ обработки металлизированных отверстий, состояние материала и полировки рабочей поверхности, которые существенно влияют на топологию магнитного поля рассеяния. Многочисленность подобных трудно учитываемых при моделировании полной картины магнитных полей факторов требует прямых методов исследования магнитных и электрических полей рассеяния малой протяженности. К данным методам можно отнести оптические, оптические теневые, электронно-оптические.

Использование средств электронной микроскопии в совокупности с цифровой фототехникой, сопряжённой с персональным компьютером (ПК), открывает широкие возможности по созданию информационноизмерительных систем (ИИС) для промышленности с целью автоматизации и повышения оперативности процесса разбраковки готовой продукции. Применение в ИИС методики электронно-оптических муаровых картин позволяет визуализировать магнитные поля рассеяния контролируемых изделий. Создание ИИС, основанной на использовании критериев, характеризующих муаровые картины от металлизированных отверстий печатных плат, открывает возможность разработки более надёжного и менее трудоёмкого метода контроля, что является: важной и актуальной задачей. Актуальность работы также подтверждается возможностью создания на базе муаровой методики наблюдения магнитных полей принципиально новых программно-управляемых систем при автоматизации процесса контроля качества электротехнических изделий на производстве.

Предмет исследования: Методы контроля электромагнитных изделий на производстве. Разработка ИИС контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара.

Цель работы. Разработка оперативной, с большой достоверностью информационно-измерительной системы, и метода контроля качества металлизированных отверстий печатных плат с помощью электронно-оптического муара, отличающейся использованием единого критерия характеризующего полученные муаровые картины.

Идея работы заключается в применении ИИС, позволяющей по единому критерию, характеризующему электронно-оптические муаровые картины от исследуемых неоднородных магнитных полей рассеяния в малых объёмах, предложить более надёжный и оперативный метод контроля качества электронных изделий в масштабах производства.

Методы исследования. В диссертационной работе использованы методы получения муаровых картин от электрических и магнитных полей средствами электронной микроскопии, математического моделирования, схемотехники и метрологии. усовершенствована методика наблюдения неоднородных электромагнитных полей рассеяния малой протяженности средствами электронной микроскопии; создана математическая модель, позволяющая описать электронно-оптические муаровые картины от поля рассеяния плоских проводников; предложена методика обработки муаровых картин от поля рассеяния металлизированных отверстий печатных плат с помощью фрактального анализа; разработан единый критерий, характеризующий полученные муаровые изображения по фрактальной размерности и предложен метод контроля качества металлизированных отверстий печатных плат; разработана структура и программное обеспечение ИИС контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара; проведен метрологический анализ ИИС на погрешность определения качественных параметров, характеризующих муаровое изображение и результаты разбраковки электротехнических изделий на производстве.

Практическая ценность работы заключается в том, что разработана ИИС контроля качества плоских проводников, основанная на визуализации магнитных полей рассеяния в малых объемах посредством электронно-оптических муаровых картин, отличающаяся усовершенствованной геометрией съемки позволяющей получать более четкие муаровые картины. Предложена методика контроля качества металлизированных отверстий по фрактальной размерности муарового изображения, получаемого в процессе машинного математического моделирования, отличающаяся использованием в роли критерия контроля полученной фрактальной размерности муарового изображения.

Для ИИС, реализующей предложенный метод разбраковки, разработан алгоритм функционирования, аппаратное и программное обеспечение, метрологическое обеспечение с учетом вероятности брака при контроле.

Реализация работы. Основные результаты работы нашли применение при создании ИИС контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара, прошедшей испытания в акционерном обществе открытого типа "Тамбовэлектроприбор" (г. Тамбов).

Апробация. Основные положения диссертации докладывались: IX Международная научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Радиоэлектроника, электротехника и энергетика" (Москва, 2003); III Международная конференция "Микромеханизмы пластичности, разрушения и сопутствующих явлений (MPFP)" (Тамбов, 2003); VII Всероссийская научно-техническая конференция "Повышение эффективности средств обработки информации на базе математического моделирования" (Тамбов, 2004).

Публикации. Основные результаты диссертации опубликованы в 7 печатных работах.

Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, шести глав, заключения, библиографического списка из 107 наименований, приложений. Общий объем работы составляет 113 страниц. Основная часть диссертации изложена на' 94 страницах машинописного текста. Работа содержит 30 рисунков.

Основные результаты теоретических и экспериментальных исследований: усовершенствована методика наблюдения неоднородных электромагнитных полей рассеяния малой протяженности средствами электронной микроскопии; создана математическая модель, позволяющая описать электронно-оптические муаровые картины от поля рассеяния плоских проводников; предложена методика обработки муаровых картин от поля рассеяния металлизированных отверстий печатных плат с помощью фрактального анализа; разработан единый критерий, характеризующий полученные муаровые изображения по фрактальной размерности и предложен метод контроля качества металлизированных отверстий печатных плат; разработаны структура и программное обеспечение ИИС контроля качества плоских проводников с помощью электронно-оптического муара; проведен метрологический анализ ИИС на погрешность определения качественных параметров, характеризующих муаровое изображение и результаты разбраковки электротехнических изделий на производстве.

1. Пирогов, Л.И. Магнитные сердечники в автоматике и вычислительной технике Текст. / Л.И. Пирогов, Ю.М. Шамаев.-М.: Энергия, 1967.-296 с.

2. Розенблант, М.А. Магнитные элементы автоматики и вычислительной техники Текст. / М.А. Розенблант.-М.: Наука, 1974.-768 с.

3. Герасимов, В.Г. Методы и приборы электромагнитного контроля промышленных изделий Текст. / В.Г. Герасимов, В.В. Клюев, В.Е. Шатерников.-М.: Энергоатомиздат, 1983.-272 с.

4. Червинский, М.М. Проблемы магнитных измерений и магнитоизмерительной аппаратуры Текст. / М.М. Червинский // Материалы Всесоюз. науч.-техн. совещ.-Л., 1977.-С. 124-128.

5. Афанасьев, Ю.В. Средства измерения параметров магнитного поля Текст. / Ю.В. Афанасьев, Н.В. Студенцов, В.Н. Хорев.-Л.: Энергия, 1979.-320 с.

6. Ландау, Л.Д. Теория поля Текст. / Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц.-М.: Наука, 1967.- 453 с.

7. Тозони, О.В. Математические модели для расчета электрических и магнитных полей Текст. / О.В. Тозони.-1Сиев: Наукова думка, 1964.-378с.

8. Сочнев, А .Я. Расчет напряженности поля прямым методом Текст. / А.Я. Сочнев.- Л.: Энергоатомиздат, 1984.-539 с.

9. Стрэтон, Д.А. Теория электромагнетизма Текст. / Д.А. Стрэтон.-М.: ОГИЗ, 1948.-539 с.

10. Фейнман, Р. Фейнмановские лекции по физике Текст. / Р. Фейнман, Р. Лейтон, М. Сэндс.-М.: Мир, 1969.-Т.5.-330 с.

11. А.с. 318894 СССР, МКИ GOl №33/06. Устройство для измерения напряженности магнитного поля Текст. /.

12. А.с. 1818602 RU, МКИ G02 №1/29. Устройство для определения пространственного распределения магнитного поля Текст. /.

13. Fowler, C.A. Magnetic olomains in thin films by the Faraday effect Текст. / C.A. Fowler, E.M. Fryer//Phys. Rev.-1956.-V. 104, N2.-P. 548-552.

14. Теснек, Ю.М. Магнитные измерения: Обзор зарубежных и отечественных изобретений Текст. / Ю.М. Теснек.-М.: ЦНИИПИ, 1964.-380 с.

15. ГОСТ 16263-70. Государственная система обеспечения единства измерений. Метрология. Термины и определения Текст. .-Введ. с 01.01.71.-Пе*реизд. дек.1990 г.-М.: Изд-во стандартов, 1990.-54 с.

16. Чечурина, Е.Н. Приборы для измерения магнитных величин Текст. / Е.Н. Чечурина.-М.: Энергия, 1969.-168 с.

17. Панин, В.В. Практическая магнитометрия Текст. / В.В. Панин, Б.М. Степанов.- М.: Машиностроение, 1978.-256 с.

18. Сергеев, В.Г. Магнитоизмерительные приборы и установки Текст. /B.Г. Сергеев, А.Я. Шихин.-М.: Энергоатомиздат, 1982.-152 с.

19. Афанасьев, Ю.В. Магнитометрические преобразователи, приборы и установки Текст. / Ю.В. Афанасьев, Н.В. Студенцов, А.П. Щелкин.-JI.: Энергия, 1972.-264 с.

20. Степанов, Б.М. Вопросы изучения измерения нестационарных •магнитных полей Текст. / Под ред. Б.М. Степанова.-М.: ВНИИОФИ,1980.-287 с.

21. Листвин, А.В. Микрорезонаторный датчик магнитного поля Текст. / А.В. Листвин, В .Т. Потапов. // Письма в ЖТФ.-1993.-Т.19, №17.-С. 2628.

22. Балтес, Г.П. Интегральные полупроводниковые датчики магнитного поля Текст. / Г.П. Балтес, Р.С. Потапович. // ТИИЭИР.-1986.-Т.74, №8.C. 60-66.

23. Габидулин, Э.М. Кодирование в радиоэлектронике Текст. / Э.М. •Габидулин, В.Б. Афанасьев.-М.: Радио и связь, 1986.-176 с.

24. Аленин, С.В. Анализ метрологических характеристик индукционных электрометрических преобразователей Текст. / С.В. Аленин, В.В. Панин, В.В. Паршин.-М.: Энергоатомиздат, 1983.-429 с.

25. Гордиенко, В.И. Индуктивные излучатели и приемники вихревого электрического поля Текст. / В.И. Гордиенко, Н.И. Калашников, К.Д. Надточий.-Киев: Наукова думка, 1972.-386 с.

26. Вонсовский, С.В. Магнетизм Текст. / С.В. Вонсовский.-М.: Наука, 1971.-630 с.

27. Мизюк, Л.Я. Входные преобразователи для измерения напряженности низкочастотных магнитных полей Текст. / Л.Я. Мизюк.-Киев: Наукова думка, 1964.-173 с.

28. Вассерман, М.И. Новые приборы для измерения магнитной индукции, основанные на эффекте Холла Текст. / М.И. Вассерман, А.П. Щелкин. // Труды метрологических институтов СССР / ВНИИМ им. Менделеева.-Л., 1974.-Вып. 152.-С. 61-65.

29. Васенин, А.В. Измерение слабых, медленно изменяющихся магнитных полей с использованием датчика Холла Текст. / А.В. Васенин. // Электроизмерительная техника.-М., 1978.-Вып. 1.-С. 37-41.

30. Кобус, А. Датчики Холла и магниторезисторы Текст. / А. Кобус, Я. Тушинский.-М.: Советское радио, 1971.-76 с.

31. Вайсс, Г. Физика гальваномагнитных полупроводниковых приборов и их применение Текст. /Г. Вайсс.-М.: Энергия, 1974.-384 с.

32. Кучис, Е.В. Методы исследования эффекта Холла Текст. / Е.В. Кучис.-М.: Советское радио, 1974.-91 с.

33. Филлипов, А.Б. Электроизмерительная техника в научных исследованиях Текст. / Под. ред. А.Б. Филлипова.-М.: Атомиздат, 1978.-348 с.

34. Петрушенко, И.А. Миниатюрные преобразователи Холла для определения топографии магнитного поля Текст. / И.А. Петрушенко, А.П. Щелкин. // Автометрия.-1969.-№6.-С. 8-11.

35. Экдрго, Э. Ядерный магнитный резонанс: Пер. с англ. Текст. / Э. Экдрго.-М.: Изд-во иностранной литературы, 1957.-317 с.

36. Афанасьев, Ю.В. Вопросы проектирования феррозондовых магнитометров Текст. / Ю.В. Афанасьев, И.Г. Гольдреер, С.Ш. Долгинов. // Геофизическое приборостроение: Сб. тр.-М., 1960.-Вып. 6.-С. 53-58.

37. Долгинов, С.Ш. Малогабаритный магнитометр для измерения очень слабых магнитных полей Текст. / С.Ш. Долгинов, JI.H. Шуров. // Тр. ин-та физики металлов АН СССР.-Свердловск, 1959.-Вып. 21.-С. 44-49.

38. Фремке, А.В. Электрические измерения Текст. / Под ред. А.В. Фремке.-Л.: Энергия, 1980. 392 с.

39. Ландсберг, Г.С. Оптика Текст. / Г.С. Ландсберг.-М.: Гостехиздат, 1957.236 с.

40. Баланси, М. Фотоника Текст. / Под. ред. М.Баланси.-М.: Мир, 1978.-470с.

41. Rowe, R.G. Magnetostriction compass Текст. / R.G. Rowe // Electronics.-1954.-V. 18, №7 .-P. 114-119.

42. Perls, T.A. Magnetostriction magnetometr Текст. / T.A. Perls // Phys. Rev.-1952.-V.87, №1.-P. 68-71.

43. Стрэттон, Д.А. Теория электромагнетизма: Пер. с англ. Текст. / Д.А. Стрэттон.-М.: Огиз, 1954.-539 с.

44. Вичес, А.И. Моделирование магнитных полей на ЭВМ Текст. / А.И. Вичес, А.И. Горон, В.А. Смирнов.-М.: Радио и связь, 1984.-183 с.

45. Рязанов, Г.А. Опыты моделирования при изучении электромагнитного поля Текст. / Г.А. Рязанов.- М.: Наука, 1966.-290 с.

46. Рязанов, Г.А. Электрическое моделирование с применением вихревых полей Текст. / Г.А. Рязанов.-М.: Наука, 1969.-337 с.

47. Лебедев, А.А. Электронная микроскопия Текст. / Под ред. А.А. Лебедева.-М.: Наука, 1954.- 640 с.

48. Арцимович, JI.A. Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Текст. / Л.А. Арцимович, С.Ю. Лукьянов.-М.: Наука, 1972.-220 с.

49. Лейзеганг, З.А. Электронная микроскопия Текст. / З.А. Лейзеганг.-М.: Изд-во иностр. лит., 1960.-537 с.

50. Зуева, Н.Г. Применение магнетрона для измерения напряженности .магнитного поля Текст. / Н.Г. Зуева // Труды ВНИИМ.-М., 1938.-С. 3439.

51. Peter, М. A New method for the measurement of inhomogeneous magnetic fields Текст. / M. Peter, D. Weizierl // Review of Scient. Instrum.-1950.-№5.-P. 63-71.

52. Whitham, K. Measurement of the Geomagnetic Elements Текст. / К. Whitham // Coontribution from Dominion Observatory (Ottawa).-1960.-V.3, №30.-P. 34-37.

53. Marton, L. Elektron-Optical Shadow Method of Magnetic Field Mapping • Текст. / L. Marton, J. Arol Simpson, S.H. Lachenbruch // J. Research NBS.1954.-V.52, №2.-P. 97-99.

54. Вуд, P. Физическая оптика Текст. / P. Вуд.-М.: ОНТИ, 1936.-382 с.

55. Максутов, Д.Д. Теневые методы исследования оптических систем Текст. / Д.Д. Максутов.-М.: ГТТИ, 1934.-276 с.

56. Снивак, Г.В. Визуализация магнитного поля при помощи электронного зеркала Текст. / Г.В. Снивак, Р.Д. Иванов, О.П. Павлюченко // Изв. АН . СССР. Сер. Физ.-1963. Т.27, №9.-С. 1210-1212.

57. Малахов, Л.Н. Электронно-оптический метод исследования микрополей ' Текст. / Л.Н. Малахов, Ю.В. Воробьев // Докл. АН СССР.-1959.-Т. 152, №2.- С. 315.

58. Верцнер, В.Н. Применение теневого электронно-оптического метода к исследованию р-п переходов Текст. / В.Н. Верцнер, Ю.В. Воробьев, Л.Н. Малахов // Физика твердого тела: Сб. тр.-М; Л., 1959.-№2.-С. 109

59. Neumaier, P. Kupferschicht-dicken an Durchkontaktierungen von LeiterplattenMessen Текст. / Leiterplatten-technik, 1992, LP58-LP61.

60. Сухоруков, В.В. Дефектоскопия Текст. /В.В. Сухоруков, Ю.М. Улитин 1988, №Ю, с.32-39.

61. Палеес, Е.Э Дефектоскопия Текст. / Е.Э. Палеес, В.В. Сухоруков, Ю.М. Улитин 1993, №4, с.30-33.

62. Панин, В.В. Измерение импульсных магнитных и электрических полей Текст. /В.В. Панин, Б.М. Степанов.-М.: Энергоатомиздат, 1987.-120 с.

63. Гак, Е.З. Патент СССР 290244 G 01, 22.12.1970. Способ визуального определения напряженности неоднородных магнитных полей Текст. / Гак Е.З.

64. Кузмичев, В.М. Патент СССР 393705 G 01, 10.08.1973. Кузмичев В.М. и др. Устройство для визуализации электромагнитного излучения Текст. / Кузмичев В.М.

65. Гусев, М.Ю. Пат. 2177162 Российская федерация, МПК G 1, 10.03.2000. Способ получения оптического изображения магнитного поля Текст. / Гусев М.Ю.; заявитель и патентообладатель и др.

66. Печатан, Е.А. Измерительно-вычислительная система контроля качества магнитных изделий с помощью электронно-оптических муаровых эффектов Текст. / Е.А. Печатан, Автореферат кандидатской диссертации, Липецк 2002

67. Дюрелли, А. Анализ деформаций с использованием муара Текст. / А. Дюрелли, В. Паркс.-М.: Мир, 1974.-356 с.

68. Tollenaar, D. Moire-Interferentieverschienselen bie rasterdruk Текст. / D. Tollenaar; Amsterdam Institut vor Grafische Technik.- Amsterdam, 1945.-142P

69. Kaczer, J. The Determination of Strains by Mechanical Interference Текст. / J. Kaczer, F. Kroupa // Czechoslovak J. Phys.-1952.-V.l, №80.-P. 73-81.

70. Weller, R. Displacement Measurement by Mechanical Interferometry Текст.R. Weller, B.M. Shepard // Proc. SESA.-1948.-V.6, №1.-P. 21-24.

71. Teocaris, P. Moire Fringes Текст. / P. Teocaris // Appl. Mech. Surveys. • Spartan.-1966.-V. 15, №33.-P. 613-617.

72. Ронки, В. Испытание оптических систем Текст. / В. Ронки.-М.: Гостехиздат, 1933.-357 с.

73. Шубников, А.В. Антисимметрия Текст. / А.В. Шубников // VII Международ, конгр.: Сб. докл. АН СССР.-М., 1966.-С. 147.

74. Амелинкс, С. Методы прямого наблюдения дислокации Текст. / С. Амелинкс.-М.: Мир, 1968.-347 с.

75. Спивак, Г.В. О контрасте картины магнитных микрополей, наблюдаемых в растровом электронном микроскопе- Текст. / Г.В. Спивак, Г.В. Сапарин, Н.Н. Седов, Л.Ф. Комолова // Изв. АН СССР. Сер. Физ.-1968.-Т.32, №6.-С. 962-965.

76. Головин, Ю.И. Магнитное поле в трещине, обтекаемой током Текст. / Ю.И. Головин, В.М. Иванов, В.П. Иванов, В.М. Финкель // Дефектоскопия.-1982.-ЖЗ .-С. 43-45.

77. Кельман, В.М. Электронная оптика Текст. / В.М. Кельман, С .Я. Явор.-М.-Л.: Изд-во АН СССР, 1963.-362 с.

78. Гусев, В.Н. Наблюдение магнитных полей по теневым электронно-оптическим муаровым картинам Текст. / В.Н. Гусев, Б.А. Красюк // Физика и химия обработки материалов.-1969.-№5.-С. 40-46.

79. Уваров, А.Н. Электронно-оптический муар в оценке качества магнитныхизделий Текст. / А.Н. Уваров, В.М. Иванов, Е.А. Печатан // Вестник ТГУ. Сер. Естественные и технические науки.-2003.-Т.8.-вып. 4.-С. 691 -694.- (Труды участников III Международ, конф.).

80. Барышев, Г.А. Действие импульсного электрического поля на малолегированные стали вблизи отверстий и неметаллических включений Текст. / Барышев, Г.А. и др. // Физика и химия обработки материалов. 1980. №4. С.-12-17.

81. Финкель, В.М Доклады АН СССР Текст. / Финкель, В.М., Головин Ю.И., Слетков А.А., 1977, т.237, № 2, с.325-327.

82. Дорофеев, A.JT. Электромагнитная дефектоскопия Текст. / A.JT. Дорофеев, Ю.Г. Казанамов М.: Машиностроение, 1980. 232с.

83. Кнопфель, Г. Сверхсильные импульсные магнитные поля Текст. / Г. Кнопфель.: М. «Мир», 1972. 391с.

84. Монтгомери, Д. Получение сильных магнитных полей с помощью соленоидов Текст. / Д. Монтгомери.-М.: Мир, 1971.-359 с.

85. Янке, Е. Таблицы функций Текст. / Е. Янке, Ф. Эмде.-М.: Мир, 1951.512 с.

86. Федер, Е. Фракталы Текст. / М.: Мир, 1991, 254 с.

87. Шредер, М. Фракталы, хаос, степенные законы Текст. / Ижевск: НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2001, 528 с.

88. Божокин, С.В., Паршин Д.А. Фракталы и мультифракталы Текст. / Ижевск: НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2001, 128 с.

89. Балханов, В.К. Введение в теорию фрактального исчисления Текст. / Улан-Удэ.: Изд. Бурятского гос. ун-та, 2001, 58 с.

90. Гулд, X., Табочник Я. Компьютерное моделирование в физике Текст. / ч.П.- Москва.: Мир, 1990,400 с.

91. Попов, Н.А. Исследование пространственной структуры ветвящихся стримерных каналов коронного разряда Текст. // Физика плазмы, 2002, том 28, j 7, с. 664-672.

92. Цапенко, М.П. Измерительные информационные системы Текст. / М.: Энергия, 1974, 320с.

93. Архангельский, А.Я. Программирование в Delphi 5.0 Текст. / А.Я. Архангельский.-М.: ЗАО "Изд-во Бином", 2000.-1072 с.

94. Осипов, Б.В. Математические методы и ЭВМ в стандартизации и управлении качеством Текст. / Б.В. Осипов, Е.А. Мировская.-М.: Изд-во стандартов, 1990.-168 с.

95. Андреев, Н.И. Корреляционная теория статически оптимальных систем Текст. /Н.И. Андреев.-М.: Наука, 1966.-459 с.

96. Айвазян, С.А. Прикладная статистика и основы эконометрики Текст. / С .А. Айвазян, B.C. Михитарян.-М.: Юнити, 1998.-1023 с.

97. Львовский, Е.Н. Статистические методы построения эмпирических формул Текст. / Е.Н. Львовский.-М.: Высш. шк., 1982.-224 с.