автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.13, диссертация на тему:Автоматическая система непрерывного дистанционного контроля влажности и температуры воздуха

На правах рукописи

У ;<

Иванченко Олег Иванович и-сл^'*' —

Автоматическая система непрерывного дистанционного контроля влажности и температуры воздуха

Специальность: 05 1113 - Приборы и методы контроля природной среды, Веществ, материалов и изделий

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Санкт-Петербург 2007

003059472

Работа выполнена в государственном образовательно^ учреждении высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный технологически институт (технический университет)"

Руководитель

доктор технических наук, профессор

Катушкин Владимир Петрович

Официальные оппоненты

доктор технических наук, профессор

кандидат технических наук, доцент

Кондрашкова Галина Анатольевна Новиков Юрий Александрович

Ведущая организация

Научно-техническое предприятие «ТКА» (Санкт-Птеребург)

Защита состоится «¿£>> М 2007 г в «_» часов на заседании

диссертационного совета при государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)" по адресу 190013, Санкт - Петербург, Московский пр , 26

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке С^нкт-Петербургского государственного технологического института (технического университета) по адресу 190013, Санкт - Петербург, Московский пр , 26

Автореферат разослан «^7» апреля 2007 г

Ученый секретарь диссертационного Совета

Д 212 230 03 Халимон В И

Общая характеристика работы

Актуальность темы работы

Влажность воздуха является одним из основных технологических параметров В жилых и производственных помещениях и в общественных зданиях влажность воздуха - это один из факторов, определяющих самочувствие человека и условия комфорта для него Регулирование влажности воздуха (наряду с другими его параметрами) необходимо во всех установках для создания искусственного климата, начиная с лабораторных камер-гигростатов вплоть до современных фитотронов

В промышленности актуальны задачи контроля и регулирования влажности воздуха в складских и производственных помещениях, связанных с гигроскопическим сырьем, полуфабрикатами и готовыми изделиями (пищевая, текстильная, бумажная, полиграфическая, кино-фотоматериалов и другие отрасли промышленности), на некоторых машино- и приборостроительных предприятиях (для предотвращения коррозии изделий, создания необходимых условий при сборке и испытаниях приборов), в промышленности полупроводниковых материалов и приборов, электронной и т д Поддержание определенной влажности необходимо в ряде биологических процессов (например, в микробиологической промышленности, процессах ферментации табака) Аналогичные задачи возникают и в сельском хозяйстве - при выращивании растений в закрытом грунте (теплицы, оранжереи), в животноводстве и птицеводстве - в инкубаторах и помещениях для содержания скота, продуктивность которого зависит от влажности окружающего воздуха, в зернохранилищах и помещениях для хранения и дозревания овощей и фруктов

Технологические процессы химической промышленности выдвигают задачи контроля и регулирования влагосодержания чистых газов азота, водорода, кислорода, метана и др , во многих случаях необходимо контролировать с большой точностью степень осушки воздуха и различных газов Аналогичные задачи современные электровакуумная промышленность и металлургия (черная, цветная, в том числе редких металлов и полупроводников). Следует отметить, что перечисленные современные задачи и их решения могут быть реализованы на базе уже существующих систем контроля и регулирования влажности газов Однако, чувствительные элементы в таких системах находятся в непосредственной близости от электронной части прибора Предлагаемая разработанная система контроля, измерения и регулирования влажности газов имеет существенное преимущество, заключается в возможности удаления первичных преобразователей (датчиков) от измерительной схемы до 100 метров при этом, не теряя своих технических характеристик 1 ем самым создание такой системы контроля влажности газов можно отнести к важной научно-технической задаче Цели и основные задачи работы

Целью диссертации являлось создание и разработка системы измерения и контроля влажности воздуха на базе электрических гигрометрических датчиков с

улучшенными характеристиками на объектах, удаленных от измерительной схемы до 100 метров Для достижения этой цели были решены следующие задачи

- устранение основного недостатка ЭГД - недостаточной устойчивости их характеристик во времени, те ст арения датчиков в процессе эксплуатации и хранения,

- разработка И внедрение метода расширения диапозона измерения относительно влажности воздуха на базе рассматриваемых преобразователей,

- разработка методики расчета оптимальных геометрических параметров для датчиков измерения влажности воздуха,

- внедрение и практическое применение разработанной системы контроля и измерения влажности воздуха в условиях предприятия

Научная новизна работы состоит в следующем:

1 Метод расчета геометрических параметров датчиков измерения влажности газов, с возможностью получения оптимальных характеристик измерительных преобразователей

2 Разработаны и изготовлены датчики ЭГД, расчитанные при помощи разработанного метода, на основе созданных датчиков измерения влажности воздуха впервые создана система контроля и измерения влажности воздуха на удаленных объектах

3 Метод расширения диапазона измерения влажности воздуха на основе теоретических и эксперементальных данных, полученных в результате разработки системы контроля влажности воздуха

4 Предложен метод автоматической температурной коррекции гигрометра при помощи определенного схемотехнического исполнения измерительного преобразователя

Практическая значимость

Разработанная система контроля влажности воздуха позволяет удаление первичного преобразователя (датчика) от измерительной схемы, что является значимым для складских, в том числе опасных производственных помещений Удаление датчиков от измерительного блока, как показал эксперимент, не сказывается на точность измерения и быстродействие срабатывания системы в требуемом диапазоне значений температуры от -5°С до +50°С и значений влажности воздуха ср от 0 до 100%

Результаты исследований характеристик экспериментальной системы контроля влажности воздуха подтвердили возможность внедрения данной системы на производственном уровне

Апробация работы:доклад на XI Международной научно-технической конференции «Наукоемкие химические технологии-2006» Публикации: по материалам диссертации имеются две публикации статья в научном журнале «Вестник Метрологической Академии»,одна статья в журнале «Научное приборостроение», тезисы в сборнике докладов XI Международной научно-технической конференции «Наукоемкие химические технологии-2006»

Структура и объем диссертации: диссертация состоит из введения, трех глав, выводов, списка литературы Содержит 108 страниц машинописного текста, 38 рисунков, 12 таблиц, список литературы, включающий 87 наименований Содержание работы

Во введении изложено обоснование актуальности темы, ее возможное применение, перечислены сферы промышленности, где использование системы, разработанной в диссертации достаточно необходимо, также сформулированы цель работы, практическое значение представленной разработки

В первой главе диссертации формулируются основные задачи для реализации поставленной цели

устранение основного недостатка ЭГД - недостаточной устойчивости их характеристик во времени, т е старения датчиков в процессе эксплуатации и хранения,

разработка и внедрение метода расширения диапозона измерения относительной влажности воздуха на базе рассматриваемых преобразователей,

разработка методики расчета оптимальных геометрических параметров для датчиков измерения влажности воздуха,

внедрение и практическое применение разработанной системы контроля и измерения влажности воздуха в условиях предприятия Наряду с этим приведен обзор существующих методов контроля и измерения влажности воздуха, также типы первичных преобразователей, принципы действия, основные достоинства и недостатки Проведен сравнительный анализ среди рассматриваемых методов, на основе наличия определенных достоинств и недостатков

Исходя из вышеизложенного, особый интерес представляют собой достоинства ЭГД простота конструкции, возможность дистанционных измерений, низкая стоимость, малые габариты и масса, а также и основной недостаток многих ЭГД - недостаточная устойчивость их характеристик во времени, т е старение датчиков в процессе эксплуатации или хранения

В данной работе представлена попытка разработки системы измерения и контроля влажности воздуха на базе электрических пирометрических датчиков с улучшенными характеристиками от уже имеющихся, а так же попытка устранения основного недостатка большинства из них - недостаточная устойчивость их характеристик во времени Так же возможность удаления первичного преобразователя от измерительной схемы на расстояние до 100 метров (в соответствии с темой диссертации), что является одним из достоинств выбранного метода

Рассмотрен парк существующих приборов для измерения относительной влажности воздуха, их характеристики и технические требования, предъявляемые к ним на сегодняшний день Такой подход позволяет определить диапазон измерний относительной влажности воздуха, температуры и пределы

допускаемой погрешности при измерениях для разрабатываемой системы контроля и Измерения влажности воздуха

Таблица 1 — Многоканальные приборы контроля относительной влажности и

Модель прибора Измерения температуры воздуха Диапазоны, погрешности, °С Измерения относительной влажности воздуха Диапазоны, погрешности, RH,%

Метеометр «МЭС-200» -40 - +85 10-98

+02-05 ±3

Измеритель параметров ИВТМ-7К -20 - +60 ±02-05 0-99 ±2

Гигрометр "HygroPalm" - 40 - +85 0- 100

±0 2 ±1

Модельный ряд -20 - +80 5-98

гигрометров «Almemo ±0 1-0 6 ±2

FHA ххх, FNAxxx»

Гигрометр «MC-PDP- 0 - +50 0-100

WDP» ±0 3 ±2

Гигротермометр -10-+50 20-100

"Hygromaster" ±0 3 ±1 75 - 3

Гифотермометр F430204 -20 - +50 0-998

+ 1 ±3

Измеритель параметров -20 - +70 2-98

«Testo - 645» ±03-05 ±2

НМР 231 -20 - +60 5 - 98, ±1

±0 1 90- 100, ±2

Термогигрометр TRH-CA 0 - +80 10-99

±0 3 ±2

Таким образом, при разработке новых средств и приборов измерения относительной влажности, необходимо учитывать метрологические характеристики существующих гигрометров, а именно, диапазоны измерения относительной влажности - (5-98) %, температуры - (-10-+60) °С и погрешность измерения - 2,5 %

Во второй главе ведется рассмотрение инструментальных и метрологических аспектов измерения относительной влажности и температуры воздуха

Из множества известных методов создания влажного газа с требуемыми параметрами - метода фазового равновесия над насыщенными растворами солей и кислот, метода двух давлений, метода двух температур и других, метод смешения двух потоков газа является наиболее перспективным сточки зрения точности, быстродействия, диапазона возможных значений по влажности и температуре, производительности и простоты реализации

Метод смешения потоков основан на смешении в определенном соотношении двух воздушных потоков с различной, но постоянной влажностью Обычно, это насыщенный и сухой поток Получение заданной влажности достигается соотношением расходов двух потоков и может быть найдено по следующей формуле

где ф - относительная влажность, 0 - объемный расход потока, Т - температура потока,

индексы «с» - сухой, «в» - влажный, «см» - смесь На методе смешения основана широко применяемая камера-гидростат ПО-34, предназначенная для поверки метрологических характеристик гигрометров Важным преимуществом метода является возможность динамического изменения влажности газа Получение заданной относительной влажности ф% в генераторах смешения потоков достигается соотношением расходов двух потоков

Q.<p. +Qc<Pí

а+вс

о" 100%'(,)

<рЙ = 100% ^ £ 0%

ф%

потока , индексы с- сухой , в- влажный

Погрешность задания влажности складывается из многих составляющих, обусловленных различными факторами

0 2 Г5

0 1

I ЯН %

о

¿.чи ■ I ' > ■ -I-1 ■ I ■ ь>|

ч пп 1 г> л ж 1 кг» тп а» .Л11 * г

1 з

II -О - 1р = 4- 60 "С I

Рисунок I- Абсолютная погрешность асрр вычисления относительной влажности ср по уравнению (3)

1 Неполное насыщение влажного потока,

2 Остаточная влажность сухого потока,

3 Негерметичность соединений,

4 Неравномерность температуры и влажности в измерительной камере,

5 Неравномерность температур при смешении,

6 Изменение температуры при смешении сухою и влажного потоков,

7 Отличие свойств реального газа от идеального,

8 Неравномерность и нестабильность давления,

9 Инструментальная погрешность контрольно-измерительной аппаратуры На рисунке 1 представлены результаты расчета абсолютной погрешности 5фр%, вызванной Неучетом различия плотностей сухого и влажного потоков Если заявленный уровень точности в данном диапазоне температур допускает погрешность 1,2%ср, то

введя дополнительное условие нормирования объемных потоков воздуха С>в+С?с=100 ( удельных единиц), можно пользоваться упрощенным уравнением

ф%=

100 (3)

бе+(100-66)

В качестве рабочего газа может быть использован либо осушенный азот, централизованно поставляемый в баллонах под давлением, либо атмосферный воздух, очищаемый и осушаемый непосредственно в генераторе влажности В качестве адсорбента для осушителя воздуха удобнее всего использовать силикагель, безвредный реагент с легко реализуемым циклом регенерации при температуре 160°-180°С

Система увлажнения воздуха должна иметь насытитель - барбатер и донасытитель - парогенератор для обеспечения уровня влажности, близкого к 100% ф

На рисунке 2 представлена функциональная схема генератора влажного газа Сжатый воздух компрессором КМ через фильтр Ф и регулятор давления РГД подается в ресивер РС , где поддерживается избыточное давление около 0 2 атмосферы, контролируемое манометром МН, подача сжатого газа может осуществляться и от баллона БЛ через редуктор РТ

Из ресивера выходят два канала воздуха - канал осушки и канал увлажнения Канал осушки содержит вентиль ( кран) ВН1, осушитель с селикагелем О, фиксатор расхода воздуха ФР1 на несколько точек и теплообменник АТ Канал увлажнения состоит из вентиля ВН2 , барбатера БР, фиксатора расхода ФР2 и теплообменника — донасытителя НС Фиксированные расходы сухого и влажного воздуха поступают в смеситель СМ, соединенного с измерительной камерой КИ, куда устанавливаются испытываемые датчики влажности

Рисунок 2- Технологическая схема установки задания влажности

Теплообменники АТ, НС, смеситель и измерительная камера КИ помещены в водяной ультратермостат ТС , имеющий в своем составе электронный регулятор температуры РГТ с задатчиком температуры Т, нагреватель НГ и мешалку МШ Змеевик проточной охлаждающей воды на схеме не указан

Предлагаемая установка отличается тем, что в схему включены теплообменник -донасытитель НС и теплообменник сухого воздуха АТ- их наличие обуславливает уменьшение погрешности Так же применение в установке фиксаторов расходов сухого и влажного воздуха ФР1 и ФР2 позволяет проводить работу с одними и теми же точками без дополнительной подстройки и не проводить измерения расхода при помощи ротаметров

При разработке вариантов схемотехники прецизионных измерений температуры воздуха рассматривались в качестве примера платиновые резистивные датчики температуры производства корпорации ' отвечающие следующим требованиям, погрешность измерений не более 0 1-0 5°С, имеющие высокостабильные и воспроизводимые температурные характеристики, единые паспортные данные, долговечность и широкое

конструктивное многообразие Датчики серии "НМ\У-НЕЬЬ-777" представляют собой платиновую пленку с лазерной подгонкой номинального сопротивления, обладают единым паспортом, способны, соответственно, к взаимозаменяемости без дополнительной калибровки, имеют малую постоянную времени, не более 4с, характеризуются высокой линейностью, имеют номинальное сопротивление при О °С Яо= 1000 Ом

Существуют различные рекомендованные схемы подключения таких датчиков к измерительным цепям Однако, при проектировании низковольтных микропроцессорных приборов приходиться сталкиваться с рядом дополнительных требований к схемотехнике измерительного преобразователя низковольтное однопотрное питание с напряжением не более 3-5В, причем напряжение на выходе аналого-цифрового преобразователя (ЛЦП), встроенного в микропроцессор, не должно превышать, как правило, половины напряжения питания, с другой стороны, обеспечение чувствительности и точности измерения температуры на уровне не хуже 0 05 - 0 1 °С ставит задачу максимально усилить сигнал от датчика температуры и гарантировать высокую линейность передаточной характеристики измерительного и вычислительного трактов прибора

Наличие точных единых паспортных данных на температурозависимые параметры датчиков ставит также задачу формирования измерительного преобразователя, обеспечивающего "идеально" точную передаточную характеристику, на уровне погрешности не хуже 0 01-0 1% и желательно без подстроечных элементов

Реализованная, таким образом, схемотехника входного преобразователя позволит обеспечивать процесс производства прецизионных измерителей температуры, не требующих в процессе их изготовления процедур градуировки и калибровки на физических эталонах температуры

С учетом вышеуказанных требований и ограничений была разработана электрическая схема на генераторе тока 1мА, как рекомендованный ток для датчика температуры типа Рг1000

Рассматривается решение вопроса автоматической температурной коррекции гигрометра при помощи определенного схемотехнического исполнения измерительного преобразователя

Для обеспечения достоверной и стабильной градуировки сигнала термогигрометром необходимо решить следующие три задачи

1 Измерение температуры Т°С,

2 Измерение Ях и Як,

3 Обеспечить автоматически разность тт. = к»(и -Ю

— МЫА - - \ Л К/

Измерять температуру необходимо стабильными, малоинерционными и малогабаритными терморезисторами Такими параметрами обладают платиновые взаимозаменяемые датчики фирмы НЕЬ Рекомендуемый ток 1мА Измерительный канал температуры приведен на рисунке 3

Ш 2

33*12.

-I ь—

Ш

•ЛА

1?т

Ф 1.0

Ут

Рис 3 Схема измерения температуры

Генератор тока, но уже переменного, можно использовать и в канале измерения влажностного резистора, однако выбрать оптимальный ток можно только, заранее зная полный диапазон изменения сопротивления датчика от влажности и температуры Поэтому надежнее использовать генератор напряжения с добавочным резистором, который может быть сменным для изменения чувствительности и диапазона измеряемых сопротивлений датчика. Влияние численного значения /?доб на выходное напряжение с измеряемого влагочувствительного резистора представлено на рисунке 4 Выбрав необходимые параметры каналов измерения йт и и сняв семейство температурно-влажностных характеристик, необходимо автоматически вносить коррекцию по температуре в канал измерения влажности

С технической точки зрения проще всего эту процедуру выполнить с помощью микропроцессора Но мы предлагаем другой вариант -автоматическую температурную коррекцию с помощью второго, компенсационного, датчика О его изготовлении будет особый разговор Главное, он загерметизирован при минимальном значении измеряемой влажности газа и имеет минимальное отличие температурной инерции от рабочего, Влагочувствительного датчика

При получении расчетных данных для определения влияния Ч до6 на чувствительности и диапазон измерения Кх использовали следующую зависимость

Цген

и,ых=-Кх (4)

Ядоб + Их

0 12 3

ЛД1= ОДМОм; Лд2=0,5 МОм, 3= 1 МОм, Яд4= 1,5 МОм,

Рис 4 Влияние ЕД0в на чувствительность и диапазон измерения

Для повышения точности измерения температуры предложено следующее схемотехническое решение измерительного преобразователя, имеющего параметры

однополярное питание напряжением +5,00В, выходное напряжение не более 2,500 В, измерение температуры в диапазоне от -5°С до +60°С, с крутизной преобразования 40 мВ/°С по выходу, с предельной разрешающей способностью 0,05-0,08°С, см Рис 5 Первый каскад выполнен на ОУ £>) типа «Яш/-/о-/?я;/» и обеспечивает усиление температурного сигнала в 2 9 раза Второй каскад выполнен на прецизионном дифференциальном инструментальном усилителе, обладающим высокими метрологическими и помехозащищенными свойствами Коэффициент усиления такого ОУ определяется величиной резистора значение которого вычисляется по формуле

К6= ЮОкОм/(ЯЧ), (5)

где К - требуемый коэффициент усиления

Смещение измеряемого напряжения до уровня, совместимого со входом АЦП МП, обеспечивается прецизионным источником опорного напряжения УВ1, типа ЬМ 3852-1 2, причем напряжение снимается с резистора Т?5\ выполняющего роль компенсатора технологического разброса опорных напряжений К01 С учетом максимальных отклонений этого напряжения была выбрана величина 1Гяег= 1 260 В ±0 0005 В, что гарантирует использование любой(без отбраковки) микросхемы типа ¿Л/3852 - 1,2 Настройка данной измерительной схемы сводится к точному выставлению величины с допуском 0,1 мВ Дополнительным преимуществом инструментальных усилителей является наличие у них входа

ЯЕРЮКО Подключение этого входа, с помощью отдельного провода, к выводу микропроцессора, объединяющего аналоговую и цифровую земли, дает эффект дополнительного подавления помех и наводок на измерительную схему

Повышение крутизны преобразования в 4 раза позволит улучшить разрешающую способность до 0,05-0,08°С

УСС1:1

Рис 5

В третьей главе представлены исследования температурно-влажцостных характеристик чувствительного элемента гигрометра

Рассматривается методика расчета геометрических параметров чувствительного элемента первичного преобразователя гигрометра при помощи использования метод конформных отображений, позволяющего получить связь между геометрическими и физическими параметрами рассматриваемых датчиков (размеры электродов, емкость сопротивление первичного преобразователя и глубину проникновения эчектрчческого поля)

Разработан метод расширения диапазона измерения относительной влажности воздуха Изменяют диапазон измерения датчиков влажности либо изменением топологии (геометрических размеров) чувствительного элемента, либо изменением концентрации влагочувствительного сорбента Если изменение концентрации сорбента не представляет много трудностей, то изменение топологии датчика требует изготовления новых фотошаблонов, что весьма затратно как по времени, так и по стоимости чувствительного элемента

Работу датчика во всем диапазоне влажности газа иллюстрирует рисунокб

Кривая 1- собственная характеристика чувствительного элемента Нх!, Кривая 2 - характеристика чувствительного элемента Ях2 Измерительная схема без автоматического переключения диапазонов измерений имеет пределы измеряемых сопротивлений 11 тт и от 5 кОм до 500 кОм

Конструктивно датчик выполнен в корпусе от микросхемы и дополнен шестиштырьковым плоским разъемом С одной стороны корпуса приклеены высокоомный чувствительный элемент Лэ2 и терморезистор Лт На противоположной стороне корпуса размещены низкоомный чувствительный элемент /?э1 и добавочный резистор /?до6 Обе стороны датчика закрыты крышками, имеющими отверстия для контакта с контролируемым газом

1- 2- Лх24- Лэ4 при /?д= 500 кОм,

3 - Лэ3 при йд= 800 кОм , 5- /?з2 при /?д= 300 кОм,

Рисунок 6 - Влажностные характеристики чувствительных элементов датчика гигрометра

Таблица 2- Экспериментальные значения для используемые для получения значений /?экв при подборе добавочного сопротивления Ял

ф% Дх 2, Кх1, Дд=100 Дд=300 Яд=800 Дд=500

кОм кОм кОм кОм кОм кОм

Яэз

0 900 180 213 5 313.0 469 387.3

10 645 115 161 2 252.5 404 314.8

20 520 70 128.1 216 1 325.5 271.9

30 430 38

40 340 10 83 1 162.1 239.5 204

50 264 0

60 190 0 65.5 116.3 156 8 137.6

70 125 0

80 70 0 41 2 56 7 64.5 61 4

90 30 0

100 15 0 13 14 2 14.7 14 5

Значение Лдоб подбирается расчетным путем для обеспечения требуемого диапазона измерения ф % по минимальному отклонению от линейной зависимости Дхзкв(ф) Пример влияния /?до6 представлен в таблице 2 Для снятия температурно-влажностных характеристик газа был собран кварцевый генератор с тремя фиксированными частями 8, 16 и 32Гц Кроме того, был изготовлен и генератор ультранизкой частоты 0 33Гц В конечном итоге остановились на частоте генератора 32Гц Частота некратная частоте сети 50Гц и возможность использования стандартных низкочастотных измерительных приборов (усилителей, вольтметров и др), на нижней границе которых (20Гц)

коэффициент усиления в л/2 раз меньше усиления на средней частоте, т е

Кср= 20 • л/2 -28 3Гц выбрали стабилизированную частоту 32Гц Выходное напряжение генератора составило 9 9В Последовательно с датчиком включали термонезависимый резистор 404к0м Напряжение с датчика контролировалось вольтметром с большим входным сопротивлением (более ЮМом), выпрямлялось и конечным результатом было напряжение постоянного

тока. Принципиальная электрическая и структурная схемы представлены на рисунках 7 и 8.

Для контроля температуры исследуемого воздуха использовался миниатюрный платиновый терморезистор фирмы flEL, имеющий линейную характеристику и малую постоянную времени(не более 0.2 сек.).

Для измерения сопротивления терморезистора был изготовлен генератор постоянного тока 1.0мЛ.

Напряжение пропорциональное сопротивлению Rj , и, следовательно, температуре, снималось электронным вольтметром Professional Digital Multimeter UjNI-T UT70D. имеющим входное

сопротивление более ЮОМом.

Рисунок 11 - Термбгш рометр ТКА.

i Рисунок 9- Электронный вольтметр UNI-T LJT70D. .1

1 Температура воздуха задавалась и обеспечивалась ультратермостатом UTU с дополнительным теплообменником.

Рисунок 10 -- Ультратермостат UTU.

Влажность воздуха устанавливалась на установке задания расходов воздуха сухого и влажного и контролировалась образцовым термогигрометром ТКА, имеющим максимальную погрешность 1%.

Рабочий датчик влажности воздуха с терморезистором и выносной шу: термогигрометра помещались в стеклянную измерительную проточную камеру находящуюся в ультратермостате,

Рисунок 7- Принципиальная электрическая схема измерения относительной влажности.

Измерительная камера

Геплообмекник - донасытитель

Цщ^"-,-■ ■- ^ЩЦРЯЩ^^^ ^ИСУ"0К - Измерительная камера.

По результатам исследования

тем ператур н о-в лажн остн ы х характеристик сорб нион но-рез и сти вного датчика построены крмвыс, представленные на рисунке 13.

Как видно на рисуике 13 сопротивление датчика зависит не только от влажности исследуемого воздуха, но также сильна его зависимость от температуры

К = 44.65 — при 7'-300С

р 20% 1%

Я — Я * г

Кг = 12°" „ -'Л0° =27.85 ~ при «=30%. ' 20"

Г-20

X. 1-30

4 X

О 5 10 15 20 25 30 35 40 45

Обиншжп нчци.%

Рисунок 13- Зависимость датчика от влажности и температуры. Необходима температурная автоматическая поправка в показания гигрометра. Был изготовлен компенсационный датчик, точно такой же по конструкции, с тем же сорбентом, что и рабочий, и загерметизировать его при «нулевой» влажности.

После выдержки в специально изготовленном боксе, наполненном цеолитом, датчик герметизировался эпоксидным клеем, не имеющим усадки

Были исследованы две схемы включения компенсационного и рабочего датчиков последовательная и параллельная

При параллельном включении использовались два одинаковых температурнонезависимых дополнительных резистора 0 404 Мом Напряжения Vх и ик подавались на дифференциальный усилитель и выходным сигналом для градуировки гигрометра был разностный сигнал ивых~их — V'к Основным недостатком этой схемы была разная чувствительность по влажности из-за постоянства добавочных резисторов

Чувствительность зависит от соотношения /?йой и Кх и имеет максимум при

Кдоб ~ Кх

Предпочтительнее оказалась последовательная схема включения компенсационного и рабочего датчиков

Для того, чтобы с увеличением влажности выходное напряжение увеличивалось, выходной сигнал снимался с компенсационного датчика

В этой схеме при любых значениях температуры и минимальной влажности Их=Кк и чувствительность остается высокой

По данным, полученным в ходе эксперимента были получены влажностные характеристики при различных температурах (Г=20°С, 7"=30°С, Г=40°С)

У У

г"г*зо

^20

1 ГТ=40

-Т=20 --•-Т=30 Т=40

Отпллшкмостъ воздуха, %

Рисунок 14 - Зависимость выходного напряжения от изменения относительной влажности воздуха при различных температурах (последовательная схема)

ВЫВОДЫ:

ВЫВОДЫ:

Основные результаты работы по созданию и исследованию системы контроля и измерения относительной влажности воздуха для удаленных объектов до 100 метров можно сформулировать следующим образом

1 Разработана и создана система контрота и измерения относительной влажности воздуха на удаленных объектах до 100 метров при использовании сорбционно-резистивных первичных преобразователей

2 Проверен анализ структуры разрабатываемых датчиков ЭГД измерения влажности воздуха, по результатам которого определена возможность использования адаптированного метода расчета геометрических и физических параметров для используемых первичных преобразователей

3 Разработай метод расширения диапазона измерения относительной влажности вЬздуха

4 С помощью применения предложенного схемотехнического исполнения измерительного преобразователя реализован способ автоматической температурной коррекции гигрометра

5 По результатам экспериментальных данных определена предпочтите пьнач схема измерения - схема последовательного включения рабочего и компенсационного датчиков, использование которой позволяет поддержать чувствительность на высоком уровне

6 Созданная система контроля и измерения влажности воздуха соответствует условиям использования на хлеббзаводах при температурном режиме Т= +20°^ +40°С и относктельной влажности воздуха <р=0-60%

Список опубликованный работ по теме диссертации:

1 Иванченко О И Установка для поверки и аттестации гигрометров/ О И Иванченко, Кйтушкин В П // Вестник Метрологической Академии (С-ЗФ) -выпуск 15, 2005 - с 42-47

2 Иванченко О И , Катущкин В П Термогигрометр для химической промышленности //Тезисы докладов конференции «Наукоемкие химические технологии - 2006» - Самара, 2006г - с 167-168

3 Иванченко, О И Сорбционно-резистивный термбгигрометр/ О И Иванченко, В П Катушкин// Научное приборостроение - 2007 - Т 17,№2 - с 94-95

4 УДК 621 316 765 Датчик с полным диапазоном измерения влажности Иванченко О И , Катушкин В.П ГОУ ВПО СПбГТИ(ТУ)- СПб , 2005 - 5с ил -2 Деп в ВИНИТИ - 14 01 05 - №29В-2005

26 04 07 г. Зак 89-65 РТП ИК «Синтез» Московский пр , 26

Основные условные обозначения.

Введение.

1. Актуальность работы.

2. Цель работы.

3. Задачи для достижения цели.

4. Краткое описание материала диссертации.

5. Основные положения, выносимые на защиту.

6. Апробация работы. Публикации.

Глава

Современные методы и приборы измерения влажности газов.

1.1 Анализ методов измерения относительной влажности воздуха.

1.2 Технические требования к разрабатываемому гигрометру, выбор метода измерения.

1.3 Выводы по главе.

Глава

Инструментальные и метрологические аспекты измерения относительной влажности и температуры воздуха.

2.1 Генератор относительной влажности воздуха на принципе смешения двух потоков.

2.2 Разработка вариантов схемотехники прецизионных измерений температуры воздуха.

2.3 Выбор метода автоматической компенсации влияния температуры на результаты измерения относительной влажности воздуха.

2.4 Выводы по главе.

Глава 3

Исследование температурно-влажностных характеристик чувствительного элемента гигрометра.

3.1. Расчет оптимальных параметров чувствительного элемента гигрометра.

3.2. Расширение диапазона измеряемой влажности газов с помощью изменения топологии датчика.

3.3. Температурно-влажностные характеристики с автоматической компенсацией влияния температуры.

3.4. Исследование влияния длины соединительного кабеля на измеряемые параметры.

3.5. Выводы по главе.

Выводы.

1. Актуальность работы.

Влажность воздуха является одним из основных технологических параметров. В жилых и производственных помещениях и в общественных зданиях влажность воздуха - это один из факторов, определяющих самочувствие человека и условия комфорта для него. Регулирование влажности воздуха (наряду с другими его параметрами) необходимо во всех установках для создания искусственного климата, начиная с лабораторных камер-гигростатов вплоть до современных фитотронов.

В промышленности актуальны задачи контроля и регулирования влажности воздуха в складских и производственных помещениях, связанных с гигроскопическим сырьем, полуфабрикатами и готовыми изделиями (пищевая, текстильная, бумажная, полиграфическая, кино-фотоматериалов и другие отрасли промышленности), на некоторых машино- и приборостроительных предприятиях (для предотвращения коррозии изделий, создания необходимых условий при сборке и испытаниях приборов), в промышленности полупроводниковых материалов и приборов, электронной и т.д. Поддержание определенной влажности необходимо в ряде биологических процессов (например, в микробиологической промышленности, процессах ферментации табака). Аналогичные задачи возникают и в сельском хозяйстве - при выращивании растений в закрытом грунте (теплицы, оранжереи), в животноводстве и птицеводстве - в инкубаторах и помещениях для содержания скота, продуктивность которого зависит от влажности окружающего воздуха, в зернохранилищах и помещениях для хранения и дозревания овощей и фруктов. Технологические процессы химической промышленности выдвигают задачи контроля и регулирования влагосодержания чистых газов: азота, водорода, кислорода, метана и др., во многих случаях необходимо контролировать с большой точностью степень осушки воздуха и различных газов. Аналогичные задачи ставят современные электровакуумная промышленность и металлургия (черная, цветная, в том числе редких металлов и полупроводников). Следует отметить, что перечисленные современные задачи и их решения могут быть реализованы на базе уже существующих систем контроля и регулирования влажности газов. Однако, чувствительные элементы в таких системах находятся в непосредственной близости от электронной части прибора. Предлагаемая разработанная система контроля, измерения и регулирования влажности газов имеет существенное преимущество, заключается в возможности удаления первичных преобразователей (датчиков) от измерительной схемы до 10(Х метров при этом, не теряя своих технических характеристик. Тем самым создание такой системы контроля влажности газов можно отнести к важной научно-технической задаче.

2. Цель работы.

Разработка системы измерения и контроля влажности воздуха на базе электрических гигрометрических датчиков с улучшенными характеристиками от уже имеющихся и возможностью удаления первичных преобразователей от измерительной схемы до 100 метров.

3. Задачи для достижения поставленной цели.

Разработка системы измерения и контроля влажности воздуха на базе электрических гигрометрических датчиков с улучшенными характеристиками на объектах, удаленных от измерительной схемы до 100 метров. Для достижения этой цели были решены следующие задачи: устранение основного недостатка ЭГД - недостаточной устойчивости их характеристик во времени, т.е. старения датчиков в процессе эксплуатации и хранения; разработка и внедрение метода расширения диапазона измерения относительной влажности воздуха на базе рассматриваемых преобразователей; разработка методики расчета оптимальных геометрических параметров для датчиков измерения влажности воздуха; внедрение и практическое применение разработанной системы контроля и измерения влажности воздуха в условиях предприятия; внедрение автоматической компенсации влияния температуры измеряемой среды с предложениями ее реализации на основе определенного исполнения измерительного преобразователя.

4. Краткое описание материала диссертации: Глава 1 построена на базе литературного обзора, позволяющего определить сферы, где тербуется измерение влажности воздуха; существующие методы и перечень приборов измерения относительной влажности воздуха. Более детальное рассмотрение позволяет определить достоинства и недостатки представленных методов. На основании используемых в главе источников информации также определены рабочие диапазоны измерения относительной влажности воздуха^ существующего парка приборов и их точность. Наряду с этим указаны общие требования, предъявляемые для всех типов преобразователей.

Глава 2 содержит в себе информацию об инструментальных и метрологических вопросах реализации измерения относительной влажности и температуры воздуха. Приведено подробное описание установки задания влажности воздуха, основанной на методе смешения двух потоков воздуха(сухого и влажного). Рассмотрены основные факторы возникновения погрешностей при использовании данной установки. Представлены варианты точных измерений температуры, основанные на определенных схемотехнических исполнениях измерительных преобразователей и возможность их использования для разрабатывемой системы измерения относительной влажности и температуры воздуха. Приведено обоснование и выбор метода использования автоматической компенсации влияния температуры.

Глава 3-является итоговой экспериментальной частью данной диссертации. В данной главе приведено описание метода определения оптимальных геометрических и физических параметров чувствительного элемента измерительного преобразователя. Также представлен весь перечень используемого оборудования, позволяющего проведение экспериментов. Описаны возможные схемы измерения, определена более подходящая для проведения данного эксперимента. Приводятся данные экспериментов, построены по этим данным температурно-влажностные характеристики. Наряду с этим представлено описание использования автоматической коррекции влияния температуры на измерения относительной влажности воздуха. Рассмотрено возможное влияние длины соединительного кабеля на результаты измерений.

5. Основные положения, выносимые на защиту.

1. Метод измерения влажности воздуха и создание на его основе первичных преобразователей, удовлетворяющих условиям измерения влажности воздуха на удаленных объектах до 100 метров.

2. Теоретический способ расчета геометрических параметров датчиков измерения влажности воздуха.

3. Метод расширения диапазона измерения влажности воздуха от 0 до 100%.

4. Способ автоматической температурной коррекции гигрометра при помощи определенного схемотехнического исполнения измерительного преобразователя.

6. Апробация.

Доклад на XI Международной научно-технической конференции «Наукоемкие химические технологии-2006», вошедший в сборник тезисов докладов.

7. Публикации.

1. Иванченко, О. И. Установка для поверки и аттестации гигрометров/ О. И. Иванченко, Катушкин В. П.// Вестник Метрологической Академии (С-ЗФ).-выпуск 15,2005.- с.42-47.

2. Иванченко, О.И.Датчик с полным диапазоном измерения влажности/ Иванченко О.И., Катушкин В.П. ГОУ ВПО СПбГТИ(ТУ)- СПб., 2005.- 5с.:ил.-2. Деп. в ВИНИТИ.- 14.01.05.-№29В-2005.

3. Иванченко О.И., Катушкин В.П. Термогигрометр для химической промышленности.//Тезисы докладов конференции «Наукоемкие химические технологии -2006».- Самара, 2006г.- с. 167-168.

4. Иванченко, О.И. Сорбционно-резистивный термогигрометр/ О.И. Иванченко, В.П. Катушкин// Научное приборостроение.-2007.-Т. 17, №2.- с.94-95.

Основные результаты работы по созданию и исследованию системы контроля и измерения относительной влажности воздуха для удаленных объектов до 100 метров можно сформулировать следующим образом:

1. Разработана и создана система контроля и измерения относительной влажности воздуха на удаленных объектах до 100 метров при использовании сорбционно-резистивных первичных преобразователей.

2. Проведен анализ структуры разрабатываемых датчиков ЭГД измерения влажности воздуха, по результатам которого определена возможность использования адаптированного метода расчета геометрических и физических параметров для используемых первичных преобразователей.

3. Разработан метод расширения диапазона измерения относительной влажности воздуха.

4. С помощью применения предложенного схемотехнического исполнения измерительного преобразователя реализован способ автоматической температурной коррекции гигрометра.

5. По результатам экспериментальных данных определена предпочтительная схема измерения - схема последовательного включения рабочего и компенсационного датчиков, использование которой позволяет поддержать чувствительность на высоком уровне.

6. Созданная система контроля и измерения влажности воздуха соответствует условиям использования на хлебозаводах при температурном режиме Т= +20° + +40°С и относительной влажности воздуха 0>=О-И)О%.

1. Берлинер, М.А. Электрические измерения, автоматический контроль и регулирование влажности / М.А Берлинер.- М.: Энергия, 1965.- 488с.

2. Спенсер-Грегори, К. Гигрометрия/ К. Спенсер-Грегори, Е. Роурке.- М.: Металлургиздат, 1963.-204с.

3. Усольцев, В.А. Измерение влажности воздуха/ В.А.Усольцев.- J1.: Гидрометеоиздат, 1959.- 192с.

4. Берлинер, М.А. Состояние и направления развития средств измерения и автоматического регулирования влажности за рубежом (обзор)/ М.А. Берлинер.-М.: ЦНИИТ энефтехим, 1967.- 143с.

5. Кларк В. JT., Нудо А., Джин П. Определение влагосодержания ракетного топлива. В кн.: Влажность. JL, Гидрометеоиздат, 1968, т.4.

6. Щукин, А.Н. Классификация и анализ методов измерения влажности газообразных сред/ А.Н. Щукин, В.И. Михайленко, Мотузова А.А.- М.: ОНТИПрибор, 1966.

7. Матвеев, Л.Т. Основы общей метрологии. Физика атмосферы / JI.T. Матвеев.- JL: Гидрометеоиздат, 1965.

8. Меркулов, А.П. Вихревой эффект и его применение в технике/ А.П. Меркулов.- М.: Машиностроние, 1969.

9. O.Ford S.H. Патент США, класс 73-17, № 3.460.378. 12.08.691. .Ильярский, О.И. Термоэлектрические элементы/ О.И Ильярский, Н.П. Удалов.- М.:Энергия, 1970.

10. Берлинер М.А. Структурные схемы и математические модели гигрометров точки росы и с подогревными датчиками. В кн.: Приборы и методы контроля и регулирования влажности. (Тезисы конференции). JL, ЛОСНТО, 1969.

11. Bigberg, A. A. miniature solid-state dew-point sensor/ A. A. Bigberg "19-th Annual ISA Conf. Proc., New York, 1964, vol.19, part 3". Pittsburg, 1964,№ 11, 2/1.

12. Влажность. Измерение и регулирование в научных исследованиях и технике.- JL: Гидрометеоиздат, 1967-69, т.1-4.

13. Acheson D.T. Vapour presseres of saturated aqueous salt solutions. "Humidity and moisture", vol. 3, New York, Reinhold, 1965.

14. Берлинер, M.A. Новые подогревные датчики и гигротермические равновесные влагомеры/ М.А. Берлинер, Якобишвили А.З.// Приборы и системы управления.- 1970. № 1.

15. Берлинер, М.А., Якобишвили А.З. Авторское свидетельство № 214155.// Бюллетень изобретений.- 1968 .-№ 11.

16. Усольцев, В.А. Приборы для измерения влажности воздуха на метеорологических станциях/ В.А. Усольцев//Приборы и системы управления,-1970.-№1.

17. Scheibe, W. Fehlerverhalten von LiCl Feuchtigheits - messgeraten/ Scheibe, W: "PTB - Mitt".- 1970.-№3.

18. Schaffer, W.A. A simple theory of the electric hygrometer. Bullet. Amer/ W.A. Schaffer: Meteorological Soc.- 1946.- № 4.

19. Матьюс, Д.А. Хлористолитиевые разнозондные гигрометры./ Д.А. Матьюс.- JL: Гидрометеоиздат.- 1967.- т.1.

20. Гершкович, Е.А. Электрические гигрометрические датчики/ Е.А. Гершкович// Приборы и системы управления.- 1970.- № 1.

21. Джонс, Ф. Изучение изменений поверхностного электрического сопротивления пленок PbJ2 в функции относительной влажности при комнатной температуре/ Ф. Джонс. Л. :Гидрометеоиздат, 1967.- т. 1.

22. Муза, Р. Полиэлектрические датчики влажности/ Р. Муза, Г. Шнейба.- JL: Гидрометеоиздат, 1967.-т.1.

23. Коган, В.А. Разработка и исследование сорбционного датчика влажности воздуха на основе термообработанного полиакрилопитрида: Диссертация канд. тех. наук/ В.А. Коган.- Л., 1967.- 123с.

24. Джоветт, Ч.Е. Статическое электричество в электронике/ Ч.Е. Джоветт,-М.:Энергия.- 1980.

25. Иноу, Мацуо//Журнал ОмДэнкидзасси.- 1977,- т. 64.- № 4.- 48-49 е.

26. Раухфус, Ш.//Журнал "Electro-Practiker".- 1974.- № 18.-№ 6- 186-189 е.

27. Каверзнев, В.А Статическое электричество в полупроводниковой промышленности/ В.А. Каверзнев, А. А. Зайцев, Ю.А. Овечкин.- М.: Энергия, 1975.- 267с.

28. Леб, Л. Основные процессы электрических разрядов в газах/ Л. Леб.- М.-Л., 1950.-236с.31 .Быстрое, Б.П. Выбор размеров и конструкции электродов односторонних емкостных датчиков/ Быстрое Б.П.// Изв. Вузов СССР: Электромеханика.-1964.-№ 8.- с. 1003-1009.

29. Ветров, В.В. Исследование емкостных систем для измерения влажности воздуха: Автореф. дисс. на соискание ученой степени канд. тех. наук/ В.В. Ветров.- Ленинград, 1970.-c.21

30. Табаке, К.К. Расчет электрических полей для некоторых задач высокочастотного нагрева/ К.К. Табаке// Тр. Московского энерг. ин-та.- 1953.-вып. 14.- с. 157-165.

31. Форейт, И. Емкостные датчики неэлектрических величин/ И. Форейт.- М.-Л. .-Энергия, 1966.- с. 159

32. Кононов, А.П. Расчет емкости плоского конденсатора с учетом краевого эффекта/А.П. Кононов//Изв. вузов СССР.-1966.- №3.

33. Кочанов, Э.С. Паразитные емкости при печатном монтаже радиоаппаратуры/ Кочанов Э.С.// Радиотехника.- 1967.- № 7(т.22).

34. Кононович, Л.М. Расчет паразитных емкостей при печатном монтаже радиоаппаратуры/ Л.М. Кононович: Радиотехника, 1956.- т.11,- № 8.- 144с.

35. Быстров, В.П. Расчет емкости одностороннего датчика/ В.П. Быстров, Гикис

36. A.Ф., Ксюпин А.Г. // Известия вузов СССР.- 1965.- № 2.

37. Берлинер, М.А.Измерение влажности/ М.А. Берлинер.- 2-е изд., перераб. и доп.- М.: Энергия, 1973.- 400с.

38. Берлинер М.А. Оценка погрешностей влагомеров/ Берлинер М.А.// Измерительная техника.- 1969.-№4.

39. Гордеев, Д.А. Генератор относительной влажности газов на принципе смешения потоков: Дис. на соискание уч. ст. канд. тех. наук/ Д.А. Гордеев.-Санкт-Петербург, 2000.-123 с.

40. Бегунов, А.А. Поверочные схемы для гигрометров/ Бегунов, А.А.// Измерительная техника.- 1979,- № 3.- с.50.

41. Барбар, Ю. А. Измерения температуры портативными микропроцессорными приборами с низковольтным питанием с точностью до 0.1 °С/ Ю.А. Барбар,

42. B.П. Катушкин// Вестник Метрологическая Академия.- Санкт-Петербург,-2004.- вып. 14.- с.54-61.

43. Иванченко, О. И. Установка для поверки и аттестации гигрометров/ О. И.Иванченко, В. П. Катушкин //Вестник Метрологической Академии (С-ЗФ).-выпуск 15.- 2005.- с.42-47

44. Электронно-технические измерения при физико-химических исследованиях /Ветров В.В., Долгов Е.Н., Катушкин В.П., Маркелов А.А.- Л.: Изд-во Ленингр. Ун-та, 1979.-272 с.

45. ГОСТ 8.221-76 Влагометрия и пирометрия (Основные понятия). М:. Из-во стандартов, 1976. - 4с.

46. Бегунов, А.А. Теоретические основы и технические средства пирометрии: Метрологические аспекты/ А.А. Бегунов. М.: Из-во стандартов. 1988. - 350с.

47. Соков, И.А. Метрологическое обеспечение гигрометрии. Обзорная информация/ И.А. Соков. М.: ВНИИКИ. 1987. - вып.1.- 32с.

48. Лыжникова С.А. Приборы для измерения влажности газов и их поверка: Конспект лекций / Гос.ком. СССР по стандатам. М.: Из-во стандартов, 1988. -53с.

49. Sonntag, D. Hygrometrie/ Sonntag D.- Berlin: Akadimie Verlag. - 1968. - p. 1086.

50. Соков, И.А. Метрологическое обеспечение гигрометрии. Обзорная информация/ И.А. Соков. М.: ВНИИКИ, 1982. - вып.5,- 35с.

51. Бегунов, А.А. Метрологический анализ современного состояния отечественной гигрометрии/ А.А.Бегунов, В.П. Шустова // Приборы и системы управления. -1975.-№3.- с.30.

52. Мандрохлебов В.Ф., Арутюков Ю.В. Состояние и перспективы разработки и производства гигрометров и средств их метрологического обеспечения/ В.Ф. Мандрохлебов, Ю.В. Арутюков // Измерительная техника. 1982. - №9.- с.46.

53. Иванченко, О.И. Сорбционно-резистивный термогигрометр / О.И. Иванченко, В.П. Катушкин//Научное приборостроение.-2007.- Т. 17, №2.- с.94-95.

54. Мартюшев К.И. Нелинейные полупроводниковые резисторы/ К.И. Мартюшев, Ю.В Зайцев: Энергия.- 1968.- 192 с.

55. Справочник по элементам радиоэлектронных устройств. Под ред. В.Н. Дулина, М.С., Жука. М.: Энергия, 1978,- с.575.

56. Маркелов А.А., Кузьмин В.К., Торопова Н.В., Машек А.Ч. Исследование и разработка диэлькометрического комплекса приборов контроля влажности и механических свойств формовочных смесей. Отчет о научно-исследовательской работе. Ленинград, 1980.

57. Noboru, Yamazoe Humidity sensors: principles and applications/ Noboru Yamazoe, Yasushiro Shimizu//. Sensors and Actuators.- 10 (1986). p.379-398.

58. УДК 681.586уЗЗ. Ивченко Ю.А., Федоров А.А. Импедансные гигрометры фирмы «Michell Instruments». Датчики и системы,№9.2003.

59. Dunmore, F.W. An.electrometer and its application to radio meteorography/ F.W. Dunmore: J. Res. Nat. Bur. Std.- 20. 1938.-p. 723-744.

60. Dunmore, F.W. An improved electric hygrometer/ Dunmore, F.W.: J. Res. Nat. Bur. Std.- 23 1939,- p.701-714.

61. Shida, K. Measurement of detailed distribution of humidity/ К .Shida // Asahi-kagaku.- 16 .- 1956.- p. 79-83.

62. Yamada, Y. Lithium chloride humidity sensor/ Y.Yamada: Denshi-gijutsu.- 21(9).-1979.- p. 26-30.

63. Nakaasa Instrument Co. Ltd, Catalogue, C911 -8400-15K-2D(1984) p.78.

64. Гровини JI. и Актис А, Генератор влажности для точки росы от -15°С до 90°С, Труды Конгресса Международной Метрологии, Париж, Франция, 21-23 ноября 1989, С.58-64.

65. Хасегава С., Национальное основание точности в измерениях влажности, Труды 1985 Международного Симпозиума по Влаге и Влажности, Вашингтонский Округ Колумбия 15-18 апреля 1985, (Общество Приборов Америки).- с.15-19.

66. Шолз Г., Стандартный калибратор для воздушных влагомеров, Бюллетень OIML Номер 97, декабрь 1984, с. 18-27.

67. Стивене М. Стандартный генератор влажности NPL анализ неопределенности проверкой работы дискретного компонента/ М. Стивене, С.А. Бэлл.- Meas. Sci. Technol.- 3,1993.- с.943-952.

68. Соннтаг Д, Важные Новые Значения Физических констант 1986, Составов давления пара, базирующиеся на ITS -90, и Формулы Психрометра, Z.Meteorol. 70 (1990) Номер 5,340-344.

69. Видерхолд Питер Р., "Измерение Водяного пара, Методы и Аппаратура", (книга), Нью-Йорк, NY, Марсель Деккер, 1997.

70. Датчики фирмы «Honeywell». Библиотека электронных компонентов, выпуск 15: Изд. «Додэка».- М., 2000г., с.18-21.

71. Гутников B.C. Интегральная электроника в измерительных устройствах/ Гутников B.C.- 2-е изд., перераб. и доп.- Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1988.- 304 с.

72. Environmental Condition Sensor. Catalog 15. Micro Switch Honeywell Inc. USA, September 1998, p. 155.

73. Single Supply Rail-to- Rail, Low Cost Instrumentation Amplifier AD 623. ANALOG DEVICES Inc. USA, 1999.

74. Ветров B.B. Исследование емкостных систем для измерения влажности воздуха: Дис— канд. тех. наук.- Ленинград, 1970.- 195с.

75. Коппенфельс, В. Практика конформных отображений/ В. Коппенфельс, Штальман Ф., 1963.- с.287

76. Фильчаков, П.Ф. Приближенные методы конформных отображений/ П.Ф. Фильчаков: Киев, 1964.- с.351

77. Hijikigawa, М. A thin-film resistase humidity sensor / M. Hijikigawa, S.Miyoshi, T.Sugihara ,A. Jinda//Sensors and Actuators.- 1983.- 4.- p.307-315.

78. Sujihara, T.Humidity sensor using poly electrolyte/ T.Sujihara, S.Miyoshi: Sensa-gijutsu: 3(7).- 1983.-p.41-44.

79. S. Humidity sensor using ionic copolymer Tsuchitani, T. Sugawara, H. Kinjo, S. Ohara: Digest of Technical Papers.- 3rd Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators (Transdusers'85), Philadelphia.- PA.- U.S.A. .-1985.- p. 210-212.

80. Sakai, Y. Humidity sensors composed of graft copolymers/ Y. Sakai, Y. Sadaoka, K. Ikeuchi: Digest of Technical Papers.- 3rd Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators (Transdusers'85), Philadelphia.- PA.- U.S.A.- 1985.- p. 213-216.

81. Polymer-based capacitive humidity sensor; characteristics and experimental results /G. Delapieree, H. Grange, B. Chambaz, L. Destannes,// Sensors and Actuators.- 4.1983.- p. 97-104.

82. Glenn, M.C. An 1С compatable polymer humidity sensor/ M.C. Glenn, J.A. Schuetz.-Digest of Technical Papers, 3rd Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators(Transdusers'85) Philadelphia.- PA.- U.S.A., 1985.- pp.217-220.