автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.16, диссертация на тему:Высокоточный метод и средство измерения малых коэффициентов поглощения оптических элементов лазеров в широком спектральном диапазоне

^ к Для служебного пользования

..-м-и . гг ЭКЗ. N

на правах рукописи УДК 621.373.826.681.785.

РЫБАЛОВ Михаил Аронович

ВЫСОКОТОЧНЫЙ МЕТОД И СРЕДСТВО ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ КОЭФФИЦИЕНТОВ ПОГЛОЩЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ЛАЗЕРОВ В ШИРОКОМ СПЕКТРАЛЬНОМ ДИАПАЗОНЕ

Специальность 05.и.16 -"Информационно-измерительные системы"

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Москва, 1995 г.

Работа выполнена во Всероссийском научно-исследовательском институте оптико-физических измерений

Научный руководитель - доктор технических наук,

профессор Коткж А.ф.

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук,

профессор Сонин A.C.

кандидат технических наук • 'Либерман A.A.

Ведущая организация - НИИ газоразрядных приборов

Защита состоится_1995 г. в I400 часов.

на заседании диссертационного совета Д 041.01.02 Всероссийского научно-исследовательского института оптико-физических измерений по адресу: I0303I г.Москва, ул.Рождественка, 27. тел. 208-49-72.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Всероссийского научно-исследовательского института оптико-физических измерений.

Автореферат разослан _ 1995 г.

И.о., ученого секретаря /?

диссертационного совета, д.т.н*-'—^^(ил.ы А..А.Соколо]

1. ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы.

В настоящее время выпуск высококачественной лазерной техники возможен только при полном технологическом контроле всех характеристик оптических элементов лазе-зов в процессе их производства, таких как: коэффициенты зеркального и диффузного отражения, пропускания, юглощения. Современные серийно выпускаемые и опытные триборы, позволяющие измерять отражение и пропускание штических деталей или элементов лазеров с точностью ю десятых долей процента, не позволяют измерять коэффициенты поглощения оптических элементов лазеров, составляющие сотые и даже тысячные доли процента. Серий-1ая аппаратура для непосредственного измерения коэффи-даентов поглощения оптических элементов лазеров в ши-)оком спектральном диапазоне с большим быстродействием ггсутствует. Задачу создания такой аппаратуры пытаются >ешить, используя различные методы измерения оптичес-юго поглощения, такие как: фотометрические, калори-[етрические, термооптические, интерференционные, опти-;о-акустические, радиометрические.

Вопросам, разработки средств измерения поглощения лтических деталей фотометрическими методами посвящены «боты Житарюка В.Г., Гуменецкого С.Г., Гуревича М.М., расилова Ю. И., Эллерта Г. В., ФельдаС.Я., Бухтиаровой . В., Дяченко А.А., Милявского Ю.С., Лисицина В.С., адежкина D.M.; Валитова P.A.

термооптическими методами-Зуева М. Г., Николаева В.К.

интерферометрическими методами - Карлова Н.В., Кириенко М. А., Кузьмина Г. П., Сисакяна Е.В., Радченко .В., Каск М.Е.;

калориметрическими методами - Ильина М.А., Барчукова . И,, Шгатниченко В.Г., Брюшковой Т.И., Дианова Е.М., ртюшенко В.Г., Дарвойда Т. И.;

оптико-акустическими методами - Бетина А.А., Новико-а В.П., Новикова М.А., Митропольского О.В., Винокуро-а С.А., Петрова М.Ю., Плотниченко В. Г.;

- радиометрическими методами - Скворцова Л. А., Фомичева В. П., Зверева Т.М., Бурыкина С.Е.. Сидорюка O.E., Лопаткина В. М.

Однако, только калориметрические, оптико-акустические и радиометрические методы позволяют создать аппаратуру, способную измерять коэффициенты поглощения оптических элементов лазеров в широком спектральном диапазоне с достаточной степенью точности, а также разделять вклад объемного и поверхностного поглощения. Общим недостатком этих методов является необходимость использования зондирующего излучения большой мощности (более 10 Вт), а для калориметрического метода - необходимость непосредственного контакта термодатчика с исследуемым образцом, большая длительность измерения и необходимость термостагирования образца. В связи с этим проведенный анализ чувствительности этих методов, их преимуществ и недостатков приводит к выводу о необходимости разработки нового метода, учитывающего их недостатки и использующего их преимущества.

Проведенный обзор литературы показал, что до начала диссертационной работы не были решены следующие вопросы:

1) классификация и сравнительный анализ существующих методов измерения поглощения оптических деталей.

2) измерение малых коэффициентов поглащения оптических элементов лазеров порядка 10"2 % с помощью зондируемого излучения мощностью менее 10 Вт;

3) измерение малых коэффициентов поглощения оптических элементов лазеров в широком спектральном диапазоне;

4) измерение малых коэффициентов поглощения опти ческих элементов лазеров в процессе их производства;

Диссертация посвящена разработке радиокалориметри ческого метода и устройства для измерения малых коэф фициентов поглощения оптических элементов лазеров широком спектральном диапазоне с помощью зондирующег излучения мощностью менее 10 Вт, обеспечивающих выско быстродействие и возможность разделения объемного поверхностного поглощения, характеризующих: первое качество материала, второе - качество обработки по ййпунппти оптической детали.

Цель работы.

Целью диссертационной работы является разработка и исследование метода и устройства, позволяющих измерять малые коэффициенты поглощения в диапазоне 0,01 - О, 5 % оптических элементов лазеров диаметром 8-40 мм с диа-четром рабочей зоны 2-10 мм в процессе их производства з погрешностью не более ±15 % на длинах волн 0, 51 и 10,6 мкм, характеризующих ширину рабочего спектрального диапазона.

Для достижения этой цели в работе было проделано следующее:

- сделан обзор существующих методов измерения поглощения света в оптических деталях, проведено их сравнительное аналитическое исследование и классификация;

- разработан радиокалориметрический метод измерения в оптических элементах лазеров, предполагающий калориметрический нагрев зондируемого участка оптических элементов лазеров до состояния термодинамического равновесия и регистрацию его интегрального потока теплового излучения;'

- разработано устройство, позволяющее реализовать ра-шокалориметрический метод измерения поглощения и сос-:оящее из оптико-механического и измерительного бло-сов;

- исследовано влияние теплофизических параметров мате-шала исследуемого оптического элемента, таких как: -еплоемкость, плотность, теплопроводность, коэффициент [злучения и предложены способы их учета;

■ исследовано влияние нестабильности зондирующего ла-¡ерного излучения и предложен способ ее автокомпенса-Ж.

разработана методика калибровки; разработана конструкция установки; проведен расчет основных составляющих погрешности, ценена общая погрешность измерения коэффициента пог-ощения;

созданы и исследованы экспериментальные образцы; намечены пути дальнейшего совершенствования данного етода и средства измерения.

В качестве научного консультанта в диссертационной работе принял участие к.т.н. Надежкин Ю.М.

Научная новизна.

В диссертационной работе решен круг задач, связанных с разработкой и исследованием радиокалориметрического метода и средства измерения малых коэффициентов поглощения оптических элементов лазеров, новизна которых состоит в следующем:

- впервые в отечественной литературе составлен обзор существующих методов измерения светопоглощения в оптических деталях, позволивший обобщить их преимущества и недостатки, сделать вывод о необходимости разработки нового радиокалориметрического метода:

- разработан новый радиокалориметрический метод измерения поглощения зондирующего лазерного излучения оптическими деталями и элементами лазеров, обобщивший основные преимущества радиометрических и калориметрических методов;

- разработана радиокалориметрическая установка для измерения малых коэффициентов поглощения оптических элементов лазеров, работающая при небольших уровнях мощности зондирующего лазерного излучения (менее 10 Вт);

- предложена оптическая схема радиокалориметрической установки, позволяющая измерять малые коэффициенты поглощения оптических элементов лазеров как в видимом, так и в ИК диапазоне;

- получена формула, связывающая показатель поглощения оптического элемента с теплофизическими параметрами его материала: теплоемкостью, плотностью, теплопроводностью, излучательной способностью;

- обнаружена пропорциональная связь времени прямолинейного роста температуры облучаемого участка исследуемого образца с его- теплофизическими константами и, та ким образом, получена возможность исключить зависимость результатов измерений поглощения образца от его теплофизических констант;

- предложен способ исключения зависимости.результатов измерений поглощения исследуемого образца от его излу-

нательной способности;

-•предложен способ и конструкция устройства, позволяющие исключить влияние диффузного отражения в Ж диапазоне на результаты измерения;

- предложены способ и устройство регистрации результата измерений в момент окончания прямолинейного роста температуры облучаемого участка исследуемого образца, позволяющие также исключить влияние на результаты измерений изменения температуры окружающей среды и избе-кать, тем самым, необходимости термостатирования исследуемого образца;

- сделано топологическое описание радиокалориметрической установки для измерения поглощения оптических элементов лазеров;

- исследованы основные составляющие погрешности изме-эения поглощения радиокалориметрической установкой;

- предложены способ и устройство, позволяющие исклю-мть влияние нестабильности мощности зондирующего лазерного излучения;

- получено экспериментальное подтверждение правильности теоретических расчетов.

Практическое значение работы.

- впервые составлен обзор существующих методов измере-шя светопоглощения оптических деталей и элементов ла-шров;

• разработан радиокалориметрический метод измерения коэффициентов поглощения оптических элементов лазеров; разработано устройство, реализующее этот метод; создано средство измерения малых, от О,5 до 0,01%, юэффициентов поглощения оптических элементов лазеров .иаметром 10 - 40 мм, с диаметром рабочей зоны 2-10 м с погрешностью, не более ±15%, на длинах волн 0,51 и 0,6 мкм с помощью зондирующего лазерного излучения ощностю порядка 1 Вт;.

разработана конструкторская, технологическая, техни-еская и эксплуатационная документация измерительного стройства;

Основные научные положения, выносимые на защиту.

- аналитическое исследование существующих методов измерения светопоглощения оптических деталей позволило сделать вывод, о том, что только радиокалориметрический метод, вобравший в себя преимущества радиометрических и калориметрических методов, обеспечивает возможность измерения малых коэффициентов поглощения оптических элементов лазеров при небольших уровнях мощности зондирующего лазерного излучения с достаточным быстродействием и точностью как в видимом так и в ПК диапазоне;

- построенная математическая модель процесса калориметрического нагрева зондируемого участка исследуемого образца позволила сделать вывод о том, что при зондировании этого участка в течении постоянной времени, определяемой теплофизическими константами материала образца и характеризующейся прямолинейным ростом его температуры, полученные результаты измерения поглощения не зависят от этих констант;

- разработанная конструкция радиокалориметрической установки позволила измерять коэффициенты поглощения оптических элементов лазеров в широком спектральном диапазоне и исключить влияние диффузного отражения в ИК области спектра, где приемники теплового излучения обладают наибольшей чувствительностью.

Апробация работы

Результаты диссертационной работы внедрены при выполнении научно-исследовательской работы "Край-Ф" ЦНИИИА, 1985 г. Содержание основных положений диссертации обсуждалось на 4-й, 6-й и 8-й всесоюзных- н.-т. конференциях "Фотометрия и ее метрологическое обеспечение", 11-м, 12-м и 13-м Всесоюзных семинарах "Импульсная фотометрия". 7-й Всесоюзной н.-т. конференции "Метрология в радиоэлектронике".

Публикация

По матриалам диссертации опубликовано 12 Ц2, 93-95. 105-107, 114, 119, 141, 142, 146]) работ, получены два авторских свидетельства [95, 106].

Объем работы

Диссертация состоит из введения, четырех глав основной части и заключения общим объемом ... листов машинописного текста, в том числе ... рисунков, ... фотографий, списка литературы из 151 наименований.

Содержание работы

Первая глава содержит шесть параграфов обзорного характера с анализом известных методов измерения оптического поглощения: фотометрических, термооптических, калориметрических, оптикоакустических и радиометрических.

Фотометрический метод измерения оптического поглощения, использующий закон сохранения энергии, позволяет путем вычитания из мощности зондирующего излучения всех других составляющих оптических потерь получить показатель ослабления оптической детали, включающий в себя объемное и поверхностное поглощение, релеевское рассеяние внутри образца, но не обеспечивает необходимой чувствительности и не позволяет измерять такие малые показатели поглащения, которые имеют оптические элементы'лазеров.

Параллельно с фотометрическими методами развивались калориметрические методы измерения оптического поглощения, основанные на измерении изменения температуры исследуемого образца при его облучении зондирующим лазерным излучением с помощью термодатчиков, находящихся в непосредственном контакте с ним. Необходимыми условиями достижения максимальной чувствительности являются: большая мощность зондирующего излучения, большая длительность измерения, качественный контакт

- 11 -

термодатчика с образцом, термостатирование образца.

Недостатки фотометрических и калориметрических методов стимулировали развитие других методов измерения оптического поглощения термооптических и интерференционных. Однако, недостаточная чувствительность первого, громозкость и спектральная ограниченность второго сводят на нет возможность технологического использования этих методов.

Наибольший интерес представляют появившиеся позднее оптикоакустические и радиометрические методы, основанные на зондировании исследуемого образца короткими мощными импульсами лазерного излучения и регистрации в первом случае акустического, а во втором радиометрического отклика. Но и эти методы требуют большой мощности зондирующего лазерного излучения, высокочувствительных и быстродействующих приемников и специальных методов калибровки.

Все это привело к необходимости разработки качественно нового метода измерения оптического поглощения - радиокалориметрического, которому и посвящена вторая глава.

Во второй главе предложен и проанализирован радиокалориметрический метод измерения поглощения зондирующего лазерного излучения оптическими элементами лазеров. Его суть заключается в регистрации интегрального потока теплового излучения Е зондируемого участка исследуемого образца. Исследуемый образец облучается непрерывным лазерным излучением мощностью Р сечением Б в течении времени, равном постоянной времени установления теплового баланса зондируемого участка. Этот момент определяется окончанием линейного роста температуры зондируемого участка исследуемого образца. Постоянная времени х определяется выражением:

т=СрЗД. (1)

где С,Г , А - теплоемкость, плотность, теплопроводность материала исследуемого образца.

Энергия интегрального потока теплового излучения выражается соотношением:

- 12-

Е=4Е6Т03АТЗ, (2)

где £-интегральная излучательная способность материала исследуемого образца, б - постоянная Стефан'а-Больцмана; Т0 - начальная температура образца; ДТ- изменение температуры зондируемого участка исследуемого образца в результате ег.о нагрева постоянным лазерным излучением;

ДТ=АРт/(СрБ1).

где А-показатель поглощения, 1- длина зондируемого

участка исследуемого образца. Тогда энергия теплового

излучения выражается соотношением: (5)

Е=4е6Т03 АРБ/(XI). (4)

Для калибровки используется модель абсолютно черного тела (АЧТ) в виде черного матового покрытия АК 243 (его характеристики хорошо изучены в этом спектральном диапазоне), нанесенного на подложку из стекла К8.

При этом коэффициент поглощения исследуемого образца будет определяться по формуле:

А=Е/Еачт'Аачт (В)

где Аачт- коэффициент поглощения АЧТ на данной длине волны. £ и X исследуемых образцов и АЧТ определяются из справочных материалов.

Для обеспечения калибровки в рабочем динамическом диапазоне используется оптический ослабитель 1:100 (на длине волны 0,51 мкм - нейтральные светофильтры НС, а на длине волны 10,6 мкм - пластины из Б!, или ВаН.

В этой главе рассмотрен также вопрос о возможности разделения вклада объемного и поверхностного поглощения радиокалориметрическим методом. В результате проведенных исследований было установлено, что разделить вклад объемного и поверхностного поглощения радиокалориметрическим методом можно аналогично тому, как это делается в калориметрическом методе, а именно: путем регистрации изменения тангенса угла наклона прямой роста температуры зондируемого участка исследуемого образца.

Третья глава посвящена разработке и исследованию радиокалориметрического измерителя поглощения. Конструктивно "измеритель" состоит из источника излучения - лазера, оптико-механического и измерительного блоков.

Юстировка оптико-механического блока на разных длинах волн производится методом двух диафрагм. Лазерное излучение фокусируется на исследуемом образце зеркальным объективом. Для повышения коффициента передачи интегрального потока теплового излучения от точечного источника, коим является поверхность зондируемого участка исследуемого образца к приемнику в установке использован зеркальный эллипсоид с иммерсионной линзой. Зеркально отраженное излучение выводится через выходное отверстие элипсоида, расположенное рядом с приемником, что позволяет исключить влияние этой составляющей потерь на результаты измерений и обеспечить практически нормальное падение зондирующего излучения на исследуемый образец.

Важное место в работе занимет вопрос о выборе приемника теплового излучения. Он должен обладать высокой чувствительностью и быстродействием. Этим требованиям наиболее удовлетворяет приемник типа ФСГ-22. Однако, необходимость его охлаждения жидким азотом вынуждает использовать другие приемники, такие как пироэлектрические типа МГ-30, ПМ-4 или оптико-акустические типа ОА.П-7, недостатком которых является необходимость модулирования регистрируемого ими теплового излучения.

При работе на длине волны 10,6 мкм существенное влияние на результаты измерений поглощения оказывает диффузное .отражение зондирующего оптического излученш исследуемым образцом в связи с максимальной чувствительностью приемников теплового излучения именно н; этой длине волны и близких к ней.

Для исключения этого влияния используется допол нительная модуляция зондирующего лазерного излучения обеспечивающая прием теппэвого излучения исследуемог образца только когда зондирующее лазерное излучени полностью перекрыто, а зондирование исследуемого об

разца лазерным излучением только в те моменты, когда полностью перекрыт приемник теплового излучения.

Исследована система автокомпенсации нестабильности зондирующего лазерного излучения. С этой целью в установку введены: опорный канал, отслеживающий изменение мощности лазерного излучения, и измеритель отношения сигналов измерительного и опорного каналов.

Одним из основных вопросов, исследовавшихся в этой главе, был вопрос автоматизации зондирования исследуемого образца до момента наступления состояния динамического теплового равновесия зондируемого участка и регистрации этого момента. С этой целью введены: в блок оптико-механичкский - затвор, открывающий лазерное излучение в момент установления нулевого значения на цифровом индикторном табло блока измерительного и закрывающий его в момент окончания прямолинейного роста температуры зондируемого участка исследуемого образца, а в измерителый канал блока измерительного -дифференцирующее устройство, обеспечивающее автоматическую регистрацию этого момента и исключение погрешности измерений от флюктуаций температуры окружающей среды за время измерения и позволяющее тем самым проводить измерения без специального термостатирования исследуемого образца и приемника.

Проведенное топологическое исследование радиока-пориметрической установки позволил осуществить точный /чет систематических погрешностей фотометрической сходы. связанных с многократными отражениями в оптической системе и-изменением параметров ее элементов, опреде-шть требования к этим элементам.

В четвертой главе проведен расчет всех составляю-дох погрешности измерения поглощения. Теоретически по-;азано, что дифференцирование электрических сигналов [змерительного канала позволяет уменьшить погрешщность :змерения поглощения за счет исключения влияния неста-'ильности температуры окружающей среды и неоднознач-ости определения момента установления динамического еплового равновесия зондируемого участка исследуемого лемента, определены погрешности, вносимые обазцовой ерой (±0,15 %) и оптическим ослабителем, (±5,3 %).

- 15 -

Погрешность, обусловленная нелинейностью измерительного блока, определяемая оптическим способом с помощью набора оптических ослабителей, составляет менее ± 10 %. Суммарная погрешность измерения поглощения не превышает ± 15% при доверительной вероятности 0,95.

Проведены экспериментальные исследования радиокалориметрического измерителя поглощения. Определен объем испытаний, достаточных для метрологической аттестации и периодической поверки СИ. Разработана конструкторская, технологическая, техническая и эксплуатационная документация. Изготовлен опытный образец. Проведены его производственные испытания, метрологическая аттестация и первичная поверка. Проведены приемо-сдаточные испытания и ввод в эксплуатацию на предприятии заказчика. Испытания проводились на готовых оптических элементах (подложки для лазерных зеркал, лазерные зеркала и т.д.) Результаты измерений хорошо стыкуются с результатами измерений аналогичных'элементов или деталей лазеров другими методами и установками: калориметрическими (Московский физический институт АН им.Лебедева), оптико-акустическими (Нижегородский филиал АН), радиометрическими (НИИ "Полюс" Москва, ГОИ-С.Петербург).

Дальнейшее развитие и усовершенствование радиокалориметрического метода открывают большие перспективы его использования в более широких динамическом и спектральном диапазонах. Так, например, на базе данной радиокалориметрической установки может быть изготовлена установка для измерения не только поглощения оптического излучения, но и всех параметров оптических элементов лазеров: коэффициентов зеркального и диффузного отражения, пропускания - причем в широком спектральном диапазоне. Дальнейшее повышение чувствительности может быть достигнуто использованием более современных приемников, не требующих модуляции принимаемого теплового излучения и глубкого охлаждения.

-16-

Результаты внедрения исследований

Результатом исследований явилось создание промышленного радиокалориметрического СИ поглощения оптических элементов лазеров, что подтверждается:

- актом об использовании изобретения "Способ измерений малых коэффициентов поглощения оптических деталей" N 1371187;

- актом об использовании изобретения "Устройство для измерения оптических деталей" N 14244457;

- актом N 429 технической приемки установки 373-Э515 для измерения коэффициента поглощения в оптических элементах при производстве газовых лазеров от 11.06.85;

- актом N 455-47 от 31.01.85 о приемке НИР "Край-Ф" "Исследование методов и создание макета полуатомати-ческой установки для измерения коэффициента поглощения в оптических элементах при производстве газовых лазеров", выполненной по договсфу N 541 от 23.11.82 с НИ-ИГРП в соответствии с ТЗ N 455-0 на НИР "Край-Ф", утвержденным предприятием п/я Г-4685 от 25.02.83;

- актом ввода в эксплуатацию макета установки для измерения коэффициента поглощения оптических злементов лазеров, "Край-Ф", на предприятии В-8769 (НИИГРП) г.Рязани от 20.11. 85.

Апробирование результатов исследований осуществлялось автором при публикации 5 печатных работ, 14 научно-технических отчетов и 7 докладов на Всесоюзных конференциях и семинарах.

Выводы по работе

Основные результаты реферируемой работы можно сформулировать следующим образом:

- проведен анализ существующих методов измерения све-топоглощения в оптических деталях, приведший к необходимости разработки нового метода измерения коэффициента поглощения лазерного излучения в оптических элемен-

тах лазеров;

- разработан радиокалориметрический метод, позволяющий измерять погло.щение лазерного излучения в оптических элементах лазеров;

- разработано устройство, реализующее этот метод,

- разработана оптическая схема радиокалориметрического устройства, обеспечивающая его работу и максимальную чувствительность в широком спектральном диапазоне от видимой до дальней ИК области;

- разработан способ исключения зависимости результатов измерения поглощения от теплофизических констант материала;

- разработан способ и конструкция, обеспечивающие исключение влияния диффузного отражения на результаты измерения поглощения;

- разработан способ и устройство, позволяющие автоматизировать процесс регистрации результата измерения поглощения в момент динамического теплового равновесия зондируемого участка оптического элемента лазера;

- составлено топологическое описание разработанного средства измерения;

- проведен расчет всех составляющих погрешности измерения коэффициентов поглощения оптического излучения в оптических элементах лазеров;

- проведены экспериментальные исследования радиокалориметрического средства измерения поглощения;

- проведенные исследования найдут применеие при разработке различных приборов для оптических и физических измерений;

проведены экспериментальные исследования радиокало-метрической СИ поглощения;

- проведенные исследования найдут применение при разработке различных приборов для оптико-физических измерений.

Перечень работ, в которых опубликованы основные положения диссертации

1. Рыбалов М.А. Методы измерения светопоглощения в оптических деталях и элементах лазеров. // Обзоры по электронной технике. Сер. И. - М. ЦНИИ "Электроника". - 1987. - ВЫП. 2(1250) - 72 с.

2. Рыбалов М.А.. Лисицын B.C., Фокин А.Н. Измерение коэффициентов поглощения лезерного излучения оптическими деталями и элементами лазеров. // Тез. докл. 6 Всес. н.-т. конф. "Фотометрия и ее метрологическое обеспечение" - М. 1986. - с 166.

3. Рыбалов М. А. Измерение малых коэффициентов поглощения оптических деталей и элементов лазеров методом лазерной радиокалориметрии. // Электронная техника. - Сер.8. - 1989 - в 5 (137) - с.53-55.

4. 'Рыбалов М. А., Лисицын B.C., Фокин А.Н. Способ измерения малых коэффициентов поглощения оптических деталей. // а.с. СССР N 1371187 - 1988 г.

5. Рыбалов М.А., Надежкин Ю. М., Лисицын В. С. Установка для измерения малых коэффициентов поглощения оптических элементов лазеров. // тез. докл. 11 Всес. сем. "Импульсная фотометрия" - М. - 1986

6. Рыбалов М.А., Надежкин Ю.М., Лисицын B.C., Фокин А.-Н. Устройство для измерения малых коэффициентов поглощения оптических деталей - а.с. СССР N 1424457, кл. J 5/20 - 1989 г.

7. Рыбалов М.А., Надежкин Ю.М., Лисицын B.C. Лазерный радиокалориметр // Тез.докл. XIII Всес. сем. "Импульсная фотометрия" - М. - 1990 - с. 50.

8. Рыбалов М.А., Лисицын В.С., Надежкин Ю. М. Топологическое описание установки для измерения коэффициентов поглощения. // Сб. тез. докл. 12 Всес. сем. "Импульсная фотометрия" - Л - 1988 - с. 20-22.

9. Рыбалов H.A., Надежкин Ю.М., Фокин А.Н. Диффузное отражение при измерении малых коэффициентов поглощения оптических элементов лазеров и исключение его влияния. // Тез. докл. VIII Всес. н.-т. конф. "Фотометрия и ее метрологическое обеспечение" - М. 1990 -с.

- 19 -

12. Лисицын B.C., Рыбалов М.А., Надежкин Ю.М., Сидорова Л.А. Установка для измерения коэффициента рассеяния оптических деталей. // Тез. докл. IV Всес. н.-т. конф. "Фотометрия и ее метрологическое обеспечение" - М. ВНИИОФИ - 1982. - с. 31.

13. Лисицын B.C., Надежкин Ю.М., Рыбалов М.А.. Сидорова Л.А. Измеритель малых коэффициентов зеркального отражения. // Тез. докл. IV Всес. н. -т. конф. "Фотометрия и ее метрологическое обеспечение" - М. ВНИ-ШОФИ. - 1982. - с. 32.

14. Рыбалов М.А. Анализ чувствительности методов измерения оптического поглощения. // Эл. техн. - сер. 8, ВЫП. 2(144) - М. 1991. - с. 45-49.