автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.13, диссертация на тему:Термокондуктометрическое устройство контроля утечек потенциально опасных газов на основе полевых транзисторов

Введение

Глава 1. Анализ состояния проблемы и формулировка задач исследования

1.1. Обзор методов и средств контроля герметичности технологического оборудования и коммуникаций

1.1.1. Способы контроля герметичности

1.1.2. Методы, применяемые в газоаналитических и течеискательных средствах контроля, состояния технологического оборудования

1.1.3. Анализ возможности применения термокондуктометрического метода детектирования в области контроля герметичности технологического оборудования

1.1.3.1. Пути повышения чувствительности ДТП

1.1.3.2. Пути повышения избирательности ДТП

1.2. Применение полупроводниковых структур в качестве первичных преобразователей утечки технологических газов

1.3. Система алгоритмов обработки дефектоскопического сигнала , 38 1.4., Постановка задач исследования ■ ' " '

Выводы

Глава 2. Теоретические исследования процессов детектирования утечек многогазовым течеискательным устройством

2.1. Определение теплопроводности бинарных и псевдобинарных смесей *

42.2., Математическое моделирование газодинамического процесса формирования поля концентраций утечек технологических газов

2.3, Физическая модель полевого транзистора, применяемого в качестве полупроводникового чувствительного элемента детектора по теплопроводности

2.3.1. Механизм формирования выходного сигнала ПТУП

2.3.2. Моделирование поверхностных и объемных процессов в датчике и определение информативного параметра

2.3.3. Процесс взаимодействия пробного вещества с ПТУП 75 2.4-. Математическое описание процесса детектирования утечек

2.5. Системно-структурный анализ процесса поиска утечек автоматизированной системой на основе термокондуктометрического метода

2.5.1. Структурная модель процесса автоматизированного поиска утечек '

2.5.2. Определение передаточных звеньев. Расчет настроек регуляторов

2.6. Алгоритм автоматизированной обработки дефектоскопической информации.

Выводы

Глава 3. Экспериментальные исследования универсального течеискательного устройства с полупроводниковыми чувствительными элементами

3.1. Экспериментальное сравнение различных типов термокондуктометрических датчиков

3-. 1.1. Экспериментальная установка и методика проведения исследований

3.1.2. Статические и динамические характеристики датчиков

3.1.3. Результаты проведенных исследований

3.2. Экспериментальное исследование физических ^процессов, происходящих в чувствительном элементе *

3.3. Исследование статических и динамических характеристик ПТУП

3.3.1. Особенности конструкции экспериментальной установки и методика проведения исследования

3.3.2. Выбор режима работы чувствительного элемента с учетом влияния приложенных напряжений на его параметры

3.3.3. Влияние скорости прокачки смеси через канал с ГТТУП и скорости перемещения датчика по поверхности объекта контроля на чувствительность и динамические характеристики прибора

3.4.' Обеспечение достоверности экспериментальных исследований. Метрологическая оценка результатов экспериментов

Выводы

Глава 4. Разработка и создание течеискательных систем и утройств на базе детектора по теплопроводности

4.1. Методика инженерного расчета термокондуктометрических автоматизированных средств контроля состояния технологического оборудования и коммуникаций

4.2.Портативное универсальное течеискательное устройство 146 4.2.1.Конструктивное решение и принцип действия

4.2.2.Результаты промышленных испытаний

4.3.Системы контроля герметичности на основе датчиков с

4.3.1. Автоматизированная система поиска течей

4.3.2. Многоканальная система определения негерметичности оборудования, коммуникаций и разъемных соединений

4.3.3. Обеспечение взрывобезопасности течеискательных устройств. Выбор источников электро- и пневмопитания датчика для различных областей применения

4.4.Программа обработки дефектроскопической информации термокондуктометрического течеискательного устройства

4.5.Перспективы использования течеискательных устройств на основе полупроводниковых чувствительных элементов в т'ечеискании и экомониторинге

Выводы

АКТУАЛЬНОСТЬ ПРОБЛЕМЫ

Одним из основных критериев качества технологического оборудования и коммуникаций и их безопасной работы является герметичность. При своевременном проведении контроля герметичности указанных выше объектов и устранении обнаруженных неполадок можно продлить срок их службы, увеличив показатели надежности, снизить материало- и энергоемкость, повысить производительность, уменьшить потери сырья и получаемого технологического продукта. Следует учесть, что многие вещества, используемые и получающиеся на химических предприятиях, применяемые в различных областях науки и техники, являются токсичными, экологически вредными, взрыво- или пожароопасными. Поэтому при отсутствии постоянного контроля утечек потенциально опасных веществ может произойти чрезвычайная ситуация, которая повлечет за собой возможную нетрудоспособность обслуживающего персонала, а также дополнительные материальные вложения на ликвидацию последствий аварии.

Для того, чтобы избежать непредвиденных аварийных ситуаций необходимо контролировать состояние технологического оборудования не только при изготовлении, но и в процессе его эксплуатации. Выбор' способа поиска течей, степень его автоматизации, а также эффективность испытаний зависит от размеров и конструктивных особенностей изделий, от условий последующей эксплуатации, от типа рабочей среды и соответствия ее свойств свойствам пробного вещества, от доступности * герметизирующих соединений для проникновения к ним пробных веществ и т.п.

При диагностике состояния технологического оборудования на ранних стадиях развития разного рода дефектов прямо в процессе эксплуатации без его остановки (в том числе крупногабаритных и протяженных объектов) накладывает целый ряд ограничений, в частности, из-за того, что в качестве пробного вещества приходится использовать рабочее вещество и емкости нельзя вакууммировать (из-за этого применимы не все методы контроля герметичности); оборудование, как правило, не очень удобно размещено в промышленном помещении; имеет дополнительные приспособления, подключенные коммуникации и приборы, которые мешают проведению испытаний не только в автоматическом, но даже в ручном режиме поиска утечек; и, кроме того, на работающем технологическом оборудовании возникают дополнительно наиболее вероятные места возможного возникновения течей (фланцевые и резьбовые соединения, сальниковые уплотнения, др.).

Поэтому необходимо особенно тщательно выбирать метод детектирования, тип чувствительного элемента и степень автоматизации процесса. Существующие детекторы, (используемые в промышленности) основанные на каталитическом горении, масс-спектрометрии, электро-химических процессах имеют ряд существенных недостатков, таких как сложность обслуживания, длительное время подготовки, габариты, стоимость и др.

Необходимо расширять номенклатуру чувствительных элементов течеискателей, вводя новые типы датчиков. Наиболее перспективными в настоящее время являются полупроводниковые датчики. На их базе возможно построение портативных и недорогих приборов. Говоря о чувствительных элементах нельзя не упомянуть о сложности обработки дефектоскопического сигнала и мерах, необходимых для поддержания рабочих режимов датчиков. В настоящее время большинство операций по выделению и расшифровке полезного сигнала, а также контроль за работой приборов осуществляется вручную. Это требует высокой квалификации оператора и наработки огромного статистического материала о встречающихся дефектах. Для исключения субъективного* фактора в определении параметров дефекта и повышения достоверности полученных результатов необходима автоматизация всех процессов детектирования утечек (считывание информации, первичная и вторичная обработка дефектоскопической информации, а также поддержания оптимальных рабочих режимов системы детектирования при различных условиях контроля). Введение микропроцессорной системы управления процессами измерения и обработки сигнала позволит использовать сложные математические алгоритмы повышающие достоверность и информативность контроля. ЦЕЛЬЮ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ являются экспериментальные и теоретические (с помощью методов математического моделирования и системно-структурного анализа) исследования характеристик новых полупроводниковых элементов, а также разработка и создание универсального портативного течеискательного устройства на их основе для контроля герметичности технологического оборудования и коммуникаций в процессе эксплуатации.

НАУЧНАЯ НОВИЗНА

Проведен сравнительный анализ полупроводниковых датчиков различного типа по температурным, вольт-амперным и метрологическим характеристикам и показано, что при решении задач контроля герметичности предпочтительнее использовать датчик на ПТУП с целью повышения чувствительности и быстродействия контроля, а также расширения рабочего температурного диапазона в область отрицательных температур.

Выявлены особенности поверхностных и объемных физических процессов, происходящих в структуре полевого транзистора, используемого в качестве чувствительного элемента, при нестандартном способе включения ПТУП в прямом смещении на р-п переходе. Теоретически и экспериментально обосновано включение ПТУП в измерительную схему при напряжении на управляющих электродах в прямом смещении до исм=0^-0,5 В, позволяющее существенно увеличить чувствительность контроля за счет уменьшения собственных шумов датчика при максимальной температурной нестабильности, уменьшить время реагирования и восстановления датчика, повысить надежность прибора.

Разработана математическая модель процесса взаимодействия пробного газа с чувствительным элементом течеискательного устройства, отражающая влияние различных технологических параметров на эффективность процесса детектирования утечек.

Впервые достигнут порог чувствительности по потоку водорода (0т1п=5.4 *10''мс,Па/с) , чувствительным элементом данного типа, выявивший диапазон применения приборов и систем течеискания, разрабатываемых на базе полевого транзистора с управляющим р-п переходом (ПТУП).

Найдены оптимальные значения таких параметров детектирования, как скорость прохождения чувствительного эл.емента относительно течи (3-15 мм/с), расход смеси через камеру (2-6 л/ч), коэффициент теплопроводности технологического газа и др., что позволило определить лучшие по быстродействию и чувствительности контроля параметры системы сканирования и алгоритмов обработки дефектоскопической информации, а также способствующие обоснованой разработке методик контроля,

Разработаны (на уровне изобретений и полезных моделей) и созданы новые конструкции термокондуктометричеоких течеискательных устройств и их узлов.

Разработан новый математический алгоритм обработки сложного дефектоскопического сигнала и автоматического управления технологическими процессами, учитывающие специфику операций контроля и степень их автоматизации, габариты и геометрию объектов контроля, условия проведения испытаний, реализованный при создании соответствующего программного продукта.

НАУЧНАЯ И ПРАКТИЧЕСКАЯ ЦЕННОСТЬ РАБОТЫ

Определены новые зависимости влияния количества пробного вещества на характеристики полупроводниковых датчиков, в т.ч. и с р—п переходами, позволяющие рассчитывать параметры процесса автоматизированного поиска утечек на поверхности технологического оборудования и коммуникаций.

Разработан принципиально новый тип термокондуктометрического детектора, нашедшего применение в течеискании и экомониторинге. Проведена оптимизация технологических параметров чувствительного элемента на основании характеристик, полученных при детектировании объектов контроля; увеличен порог чувствительности и получено большее быстродействие по сравнению с серийно выпускаемыми приборами подобного типа.

Предложена методика инженерных расчётов при проектировании автоматизированных устройств определения мест течей на основе полевых транзисторов с р-п переходом.

Создана программа, осуществляющая алгоритмы обработки дефектоскопической информации, учитывающие специфику объектов контроля и степень автоматизации процесса детектирования.

РЕАЛИЗАЦИЯ И ВНЕДРЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ИССЛЕДОВАНИЙ

Результаты проведенных исследований реализованы в виде:

- математической модели процесса детектирования утечек технологических газов полупроводниковыми чувствительными элементами, реализующими термокондуктометрический метод;

- детектора нового типа с чувствительными элементами в виде полевых транзисторов с управляющим р-п переходом ;

- универсального портативного течеискательного устройства со встроенной автоматической системой обработки дефектоскопического сигнала и поддержки рабочих параметров прибора;

- программы обработки дефектоскопической информации и автоматического управления технологическими процессами, учитывающей специфику операций контроля и степень их автоматизации, габариты и геометрию объектов контроля, условия проведения испытаний и т.п.

Результаты исследований внедрены в учебный процесс по специальности 21.02 "Автоматизация технологических процессов и производств". Имеются акт внедрения алгоритмов в ООО "Орлекс" г.Орел , акты промышленных испытаний в ЗАО «Завод «Измеритель» г. Санкт-Петербург.

ОБЪЕМ РАБОТЫ

Диссертация состоит из введения. четырех глав, заключения, списка литературы и приложений. Работа содержит 193 страниц текста, 4 6 рисунков, 12 таблиц, список литературы из 7 6 наименований. В приложении 3 акта испытаний и внедрений.

Основные результаты работы:

1. Проведен сравнительный анализ различных электротехнических датчиков, в том числе полупроводниковых структур, отбираемых по чувствительности к температурным изменениям и низкому коэффициенту шума с точки зрения их примечания в качестве .чувствительного элемента термокондуктометрического течеискателя.

2. Дано теоретическое ч . экспериментальное обоснование использования полевого транзистора с управляющим р-п переходом как высокочувствительного миниатюрного датчика систем поиска утечек различных газов. Обоснован оригинальный режим работы чувствительных элементов, позволивший с успехом применить недостатки ПТУП, проявляющиеся при работе * их в обычных электрических схемах. Показано, что лучшие характеристики ПТУП дат при 1] зи <0 (прямое смещение).

3. Разработана и исследована математическая модель процесса поиска утечек с помощью датчика на ПТУП,, с учетом поверхностных и объемных процессов, происходящих в ызахчроэл ок трояком датчике при детектировании газов. Аналитически: по.-::;-. статическая характеристика чувствительного элемента ЛТУй,

4. Произведен системно- структурный анал>:'-' ::рс .-всса поиска утечек автоматизиров лнноп системой на основе термокондуктометрического метода, а' также построена структурная модель процесса автоматизированного поиска утечек (ПАПУ), позволяющие использовать полученную алгоритмическую структуру при интеграции ПАПУ в автоматизированный технологический процесс комплексного контроля и изготовления газонаполненных изделий

5. Теоретически и экспериментально исследованы параметры процесса поиска течей. Определено влияние скорости прокачки смеси через канал с чувствительным элементом и скорости перемещения датчика по поверхности объекта контроля на чувствительность и динамические характеристики прибора. Определены оптимальные диапазоны этих пграмечров.

181

6. Разработана методика ин^елерчол-о расчета термокондуктометрических автоматизировании4; средств контроля состояния технологического оборудования и кс^учлкацмй с учетом типа чувствительного элемента \ ЯТУП) к анализируемого газа.

7. Разработано и опробовано портативное универсальное течеискательное устройство, позволяющее проводить контроль герметичности технологического оборудования и коммуникаций на месте эксплуатации.

8. Создана программа обработки дефектоскопической информации термокондуктометрического течеискательнсго устройства на ПТУП с учетом габаритов и формы объектов контроля, степени автоматизации и условий проведения процесса детектирования и т.п., а также с возможностью эксплуатации ее з ре-киме имитатора для проверки работы и оценки точности определения параметров течей.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Зарубин Е.М., Веряскина О.Б.- Обоснование использования полевых транзисторов в датчике по теплопроводности. // Тез. доклада 1.I научно-технической конференции "Приборостроение и автоматизация технологических процессов". Дзержинск, 1997. — с, 16.

2. Веряскина О. Б. Пути повышения чувствительности анализатора состава бинарных и псевдобинарных смесей.' /',< Тез. доклада IV научно-технической конференции "Состояние и проблемы технических измерений". Москва, 1997. —с.350.

3. Зарубин Е.М., Сажин С.Г., Веря С К И Н 3. О. Б. Ка тар оме три ч е с ки е датчики утечки пробных газов. // Дефектоскопия,1998 г, №4, с.19-86

4. Веряскина О.Б. Температурные и шумовые характеристики и параметры полевых транзисторов. // Тез. доклада III Нижегородской сессии молодых ученых, Нижегородской обл., 1998. — с.21

5. Verjaskina О, Sazhin S. Research of the sensitivity of leaktesting. // 7— European conference on non-destructive testing. Copenhagen, 1998. —v.l, p.783-787

6. Сажин С.Г., Веряскина O.E. Особенности диагностики технологического. оборудования при помощи течеискателя на базе полевых транзисторов. // Тез. доклада на семинаре "Контроль-герметичности", г. Санкт-Петербург, 1.998. -с. 10

7. Веряскина O.E. Определение'" теплопроводности водородосодержащих смесей при нормальных условиях. // Тез. доклада III Всероссийской научно-технической конференции "Методы и средства измерений физических величин". Н. Новгород, 1998. — ч.у, с.21.

8. Свидетельство на полезную модель № 9313 РФ, МКИ G 01 N 27/18, Детектирующее устройство/ Зарубин Е.М., Сажин С.Г., Веряскина O.E. №98106782/20. Заявл. 14.04.98; Опубл. 16.02.99, БИМП № 2

9. Веряскина О. Б. Особенности построения структурной модели ДТП. // Тез. доклада IV Всероссийской научно-технической конференции "Методы и средства измерений физических величин". Н. Новгород, 1999. ч.Ш, с.16

10. Свидетельство на полезную модель №; luifc f^, МКИ G 01 N 27/18, Детектирующее устройство / Зарубин Сажин С. Г., Веряскина О.Б. №98120771/20. Заявл. 11.11.98?" Опубл. 16.08.99, БИМП № 8

11. Веряскина О.Б. Портативное интеллектуальное течеискательное устройство: результаты промышленных испытаний и перспективы использования. // Metavimay, 1999, №3, с. 37-39

12. Заявка на № 98111719/28, МКИ G 01 N 27/62. Способ анализа газов. / Веряскина О.Б., Добротин С.А., ЗлруОич ¿Л-:. Попов А. А., Сажин С. Г. Заявл. 17.06.98; Опубл. 10 . 03 . 00, РТ'МП № 7.

13. Веряскина О.Б. Обработка сигнала терыокскдуктометрического длтчикл . // Топ . доклада ТТ • Всорогг^йспсЛ •: у1.11 ю то х I ги'.гс с кой "конференции "Компьютерные технологии в наука; проектировании ипроизводстве". Н. Новгород, 2000. —ч.И, с. 23

14. Белокур И.П., Коваленко В.А. Дефектоскопия материалов и изделий.- Киев: Техника, 1989.- 192 с.

15. Средства контроля герметичности: В 3-х томах. Т. 2.промышленные средства контроля герметичности. / Под.ред. А.С.Зажигина.- М.: Машиностроение, 1976.- 184 с.

16. Химченко М.В., Бобров В.А. Неразрушающий контроль в нефтяном и химическом машиностроении.- М. : Машиностроение1978. -290 с.

17. Неразрушающий контроль. В 5 кн. Кн.1. Общие вопросы. Контроль проникающими • веществами / А. К. Гурзее, И. Г,. Ермолов, С.Г. Сажин М.: Высшая школа,1992.- 24? с.

18. Викулин И.М., Стафееь В Л-'; Фтлзи.-са ь-. •.• у проводниковых приборов.- 2-е изд., перераб. и доп.- М.: Радио и связь, 1990.264 с.33.- Аш Ж. и др. Датчики измерительных систем: В 2-х книгах,, кн.2. Пер. с франц.- м.:Мир, 1992.- 480 с.

19. РИКЕН: инструменты и системы для детектирования газов: проспект фирмы ШКЕЫЕШЕ, 1999 г. 32 с.

20. Марченко А.Н., Свечников С.В., Смовж А.К. Полупроводниковые сенсорные потенциометрические элементы.- М. : Радио и связь 1988 -192 с.

21. Переносной течеискатель ТП7101—Информационный листок № 617 3.- М:ЦНИИТЗИ приборостроения,1973

22. Лапин В.А., Шарнин В.А. Детектор по теплопроводности. Авт. свид. СССР № 1670558, ' МКИ С 0;. N Л/15, Б:о;:е. изобр., 1991,№ 30

23. Аш Ф. с соавторами. Датчики измерительных систем: в 2х книгах. Кн.2. Пер.с франц.- М: Мир,1992.- 424 с. ;

24. Лапин В.А., Шарнин В.А. Детектор по теплопроводности.

25. Авт. свид. СССР № 167 0558, МКИ О 01 N. 27/18, Бюлл. изобр.,1991,№ 30

26. Абдурахманов Б.М., Галухо А.А., Харченко В.В. Детектор по теплопроводности. Авт. свид. СССР № 7599^3, МКИ С 01 N 27/18, Бюлл. изобр., 198 0, № 32

27. Афанасьев В.Д., Ильин В.К. Устройство для измерения концентрации тетрахлорида кремния. Ав'т. свид,. СССР № 1052976,

28. МКИ С 01 N 2 7/18, Бюлл. изобр.,1983, № 41

29. Кицай М.Е., Луценко В.Ф., Марченко М.Ю., Санкин Я.Л.Термокондуктометрическая ячейка. Авт. свид. СССР № 922 611,

30. МКИ С 01 N 27/18, Бюлл. изобр., 1982, № 15

31. Патент США № 4594879, № 544064, МКИ в 01 N 25/18, 1986

32. Родионов А.А., Котмин В.О. Детектор по теплопроводности. Авт. свид. СССР № 819661, МКИ С 01 N 25/18, Бюлл. изобр., 198., № 13

33. Балаухин А.А., Липцэн Е.Л., Мартынюк В.И-. Детектор по теплопроводности. Авт. свид. СССР № 1260811, МКИ и- 01 N 27/18, Бюлл. изобр., 1986, № 36

34. Заявка Японии № 53-29114, кл. 113К 31, 197 9

35. Аманназаров А., Розинов Г.Л.,Чубукова Н.Х Кеа^-ды и приборы для определения водорода:справочник. - М.-Хилия7, -128 с.

36. Кривоносов А.И. Температурная компенсация электронных схем, -М.:Связь, 1977.- 136 с.

37. Пасынков В.В., Чиркин Л.К., Шинков А. Д. Полупроводниковые приборы.- М.: Высшая школа, 1981. 431 с.

38. Кейс В.М. Конвективный тепло- и массооСмен. -Пер. с англ. Дулькина И.Н.- М.: Энергия, 1972.- 448 с.

39. Исаченко В.П., Осипова В.А., Сукомел А, С. Теплопередача.-М.: Энергия, 1969.- 440 с.

40. Горшков Ю.А., Уманский А. С. Измерение теплопроводности газов.-М.: Энергоиздат, 1982.- 224 с.

41. Беляев Н.М., Рядно А. А. Методы теории теплопроводности.- В 2-х частях. 4.1- М. : Высшая школа, 1982.- 327 с,.

42. Недужий И.А., Алабовский А.Н. Киев : Высшая школа,1978.224 с.

43. Corino Е., Brodkev R. Investigation of с he wail region in turbulent flow./ Jorn. of fluid mech=, ±969, vol.37, № 1, p. 130

44. Блихнер А. Физика биполярных и полевых транзисторов: Пер. с англ. /Под ред. И.В.Грехова.- Л.: Энергоатомиздат,1986 245 с.

45. Evans A. Characteristics of unipolar field-effect transistors / Electronic industries, 1963, vol.22, p. 99 58.,Малин Б. В., Сошин М.С. Параметры и св-ва полевых транзисторов.- М: Энергия, 1967- 126 с.

46. Бочаров Л.Н. Полевые транзисторы.- М: Радио и связь, 1984. -148 с.

47. Тугов Н.М., Глебов Б.А., Чарыков Н.А. Полупроводниковые приборы: учебник для Вузов.- М.: Энергоатомиздат,1990.- 576 с.

48. Полевые транзисторы. Физика, технология и применения. / Пер. с англ. под ред. С.А. Майорова,- М. : Советски «и радио, 1971.-376 с.

49. Richer I. Basic limits on the proper tie.:.- of field-effect transistors. / Solid-state electronics- 1963, № 6, р/ 539--54263. ■ Кобболд P., Теория и применение полевых транзисторов/ пер. англ. В.В. Макарова Л: Энергия, 1975.- 304 с.

50. Тихонов А.Н., Самарский А. А. Уравнения математической фйзики,- М.: Наука, 1977.-736 с.

51. Гебхарт Б., Джалурия Й., Махаджан Р. Свободноконвективные течения, тепло- и массообмен. В 2-х книгах, кн.2: Пер.с англ.-М.: Мир, 1991.- 528 с.

52. Основы расчета и проектирования теплообменников воздушного охлаждения: Справочник / А.Н. Бессонный, Г. А. Дрейцер, В.Б. Кунтыш и др. ; Под общ. ред. А.Н. Бессонного. Спб.: Недра, 1996.- 512 с.

53. Дель Topo В., Паркер С.Р. Принца ы проектирования систем автоматического управления.- Перо с англ., пс:; ред Воднера В.А.-М.: Мир, 1968.- 560 с.

54. Санковский Е.А., Шаталов A.C., Шматок С. А. Теория автоматического управления. Учебное пособие для Вузов.- М. : Высшая школа, 197 7.-448с.

55. Измерение электрических и неэлектрических величин: учебное ^пособие для Вузов./ H.H. Евтихиев, Я.А. Купершмидт., В.Ф. Популовский и др.; под общ. ред. H.H.Евтихиева.- M.: Энергоатомиздат, 1990.- 352 с.

56. Конвективный тепло- и массог.еренос : единое описание для течения в каналах. / Каст С., Кришер А., Райнике А. и др. М: Энергия,1980. - 123 с.

57. Калниболотский Ю.М. и др. Расчет чувствительности электронных схем.-Киев: Техника, 1982.- 398 с.

58. Sah С. Effect of surface recombination frid channel on p-n-junetion and transistor characteristics. / IRE trans, tlsctron devices, 1962, ED-9, p. 94-108

59. Галкин В.И. Полевые транзисторы ь чувствительных усилителях.- J1: Энергия, 1974.- 340 с.

60. Hoerni J.A., Weir В. Conditions for a temperature compensated- field-effect transistor./ lEEE,^ 1963, №51, p. 10581059 . '

61. Новицкий П.В., Зограф И.А. Оценка погрешностей результатов измерений. -Л.: Энергоатомиздат, .1991.- 304 с.

62. Программирование микропроцессора Í8051: Методическое пособие / Л.Ю.Вадова. Н.Новгород, 1999.- 13 с.