автореферат диссертации по радиотехнике и связи, 05.12.07, диссертация на тему:Технология изготовления поляризаторов электромагнитного излучения из линейных проводников на основе нарезных дифракционных решеток

ВВЕДЕНИЕ. 4

ГЛАВА 1. РЕШЕТКИ-ПОЛЯРИЗАТОРЫ: ХАРАКТЕРИСТИКИ, ПРИМЕНЕНИЕ, ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ

1.1. Принцип работы, основные характеристики и применение решеток-поляризаторов. 13

1.2. Основные аспекты технологии изготовления решеток-поляризаторов.36

1.3. Выводы.

ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ

РЕШЕТОК-ПОЛЯРИЗАТОРОВ НА ОСНОВЕ НАРЕЗНЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК (НДР) И ВЫРАБОТКА КРИТЕРИЯ ОПТИМАЛЬНОСТИ ИХ ХАРАКТЕРИСТИК

2.1. Исследование коэффициентов пропускания решеток-поляризаторов на основе НДР Д :' . .49

2.2. Выбор критерия оптимальности поляризационных характеристик решеток-поляризаторов на основе НДР.61

2.3. Выводы.70

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК РЕШЕТОК

ПОЛЯРИЗАТОРОВ НА ОСНОВЕ НДР УВЕЛИЧЕННЫХ РАЗМЕРОВ И РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ ПОВЫШЕНИЯ ИХ РАВНОМЕРНОСТИ

3.1. Исследование неравномерности поляризационных характеристик решеток-поляризаторов на основе НДР в зависимости от их размеров. 72

3.2. Способ сканирования решетки относительно ограничительной диафрагмы.78

3.3. Метод нанесения покрытия на решетку с двух противоположных направлений.84

3.4. Выводы.89

ГЛАВА 4. ПОВЫШЕНИЕ ПОЛЯРИЗУЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ РЕШЕТОК-ПОЛЯРИЗАТОРОВ НА ОСНОВЕ НДР

4.1. "Двойная" решетка-поляризатор. 91

4.2. Решетка-поляризатор с удвоенным числом линейных проводников на каждом из штрихов НДР. 97

4.3.Решетка-поляризатор с разделенными линейными проводниками . 103

4.4. Оптимизация профиля линейных проводников решетокполяризаторов на основе НДР.108

4.5. Выводы.

ГЛАВА 5. ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ

ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕШЕТОК-ПОЛЯРИЗАТОРОВ

5.1. Оптимизация режимов нарезания исходной НДР для получения решеток-поляризаторов увеличенных размеров. 118

5.2. Формирование решеток из линейных проводников с переменной пространственной частотой и заданной конфигурацией рабочей зоны.125

5.3. Оптимизация условий и режимов получения решеток-поляризаторов на термопластах. 132

5.4. Применение ионного травления в технологии изготовления решеток-поляризаторов на основе НДР.142

5.5. Выводы. 146

Эффективное применение поляризационных методов в научных исследованиях и использование их в работе технических устройств, практически во всем диапазоне электромагнитных волн, требует наличия высококачественных поляризаторов электромагнитного излучения.

В СВЧ- и ИК- технике в качестве поляризаторов и анализаторов электромагнитного излучения хорошо зарекомендовали себя решетки из линейных проводников, получившие название решеток-поляризаторов. Известны другие типы поляризаторов для этих областей спектра. Это поляризаторы, принцип работы которых основан на частичной поляризации излучения при прохождении через стопу пластин из прозрачных материалов (селен, хлористое серебро, полиэтилен, фторопласт) [1-4]; поляризаторы отражательного типа, например, использующие отражение от пластин из германия [5,6]; поляризаторы, принцип работы которых основан на анизотропии электрической проводимости материалов [7]. Как правило, они имеют большие габариты и неудобны в использовании. В отличие от них, решетки-поляризаторы свободны от этих недостатков, а также нечувствительны к углу падения излучения.

К настоящему времени известно несколько методов изготовления решеток-поляризаторов для различных областей спектра. Для СВЧ и субмиллиметрового диапазона это метод регулярного расположения и закрепления в оправе металлических проволок, а также метод вырезания штрихов в слое металла, нанесенного на прозрачную подложку и фотолитографический метод.

Оригинальным методом, позволившим охватить ближнюю ИК- область спектра, явился метод "косого" напыления, предложенный G.R. Bird and М. Раг-rish [8]. Суть метода состоит в нанесении металлического покрытия на часть граней штрихов прозрачной дифракционной решетки. Дальнейшее развитие метод получил в работах Э.А. Яковлева и Ф.М. Герасимова (ГОИ им. С.И. Вавилова [9, 10, И]). Получаемые таким образом поляризаторы обладают достаточно высокими характеристиками и находят практическое применение в науч5 ных исследованиях. Однако, по данным литературных источников, остается ряд нерешенных вопросов, которые сдерживают производство и ограничивают их распространение. В основном это касается аспектов технологии, которая сводится к описанию отдельных экспериментов по получению образцов. Недостаточно исследованы условия и режимы проведения технологических операций. Из-за отсутствия критерия оптимальности поляризационных характеристик, процесс нанесения покрытия, который является определяющим для формирования линейных проводников с оптимальными параметрами, осуществляется практически бесконтрольно. Применяемый метод контроля по навеске испаряемого материала не охватывает ряд существенных факторов, влияющих на качество покрытия, таких как скорость испарения, давление остаточных газов, полнота испарения «навесок». Противоречивые сведения о преимуществах схем нанесения покрытия лишают возможности выбрать оптимальную из них. Для получения образцов увеличенных размеров не решена задача достижения равномерности характеристик по рабочей поверхности, необходимой для исследования изображения протяженных объектов. Эта задача упоминалась в вышеназванных публикациях, но до настоящей работы, насколько известно автору, никем не решалась. Задачей, вытекающей из условий прецизионных исследований, является достижение повышенной поляризующей способности, близкой к предельной (99% и выше). Зачастую для этих целей пользуются двумя поляризаторами, установленными последовательно, что приводит к снижению пропускания, увеличению габаритов, веса, удорожанию прибора. Предложенный в настоящей работе метод увеличения частоты проводников является принципиально новым решением, позволяющим устранить указанные недостатки. Распространенным материалом в ИК- и СВЧ- технике является полиэтилен. Наиболее привлекательное его свойство - высокое пропускание в широком диапазоне спектра, от видимой области до СВЧ. В вышеназванных работах полиэтилен использовался для получения решеток-поляризаторов, однако характеристики образцов оказались заниженными, по сравнению с образцами на других полимерных материалах: фторопласте и полиметилметакрилате. Это объяс6 нялось низким качеством формирования профиля решетки из-за высокой кристалличности полиэтилена, которая, как известно, зависит от условий и режимов его переработки [12]. В рамках настоящей работы решается задача достижения качественного выполнения рельефа штрихов решеток путем выбора режимов формообразования с использованием разработанного для этих целей специального оборудования и оснастки. Помимо этого, из обзора литературы известно, что в разрабатываемых конструкциях частотнонезависимых, логопе-риодических антенн могут быть перспективны решетки с изменяющейся частотой.

Условия эксплуатации, экономическая целесообразность и конкурентоспособность образцов приводят к задаче получения образцов на твердых подложках с заданной апертурой, отличающейся от прямоугольной.

В настоящее время имеется много публикаций по получению образцов решеток-поляризаторов на основе голограммных решеток. Это объясняется , по видимому, относительной простотой технологии получения голограммных решеток, а не их техническими преимуществами перед нарезными решетками. По совокупности свойств нарезные дифракционные решетки (НДР) показывают хорошую перспективность в технологии изготовления на их основе решеток-поляризаторов. Современная технология позволяет получать НДР с широким диапазоном пространственных частот: от единиц до нескольких тысяч штрихов на 1 мм. Параметры профиля штрихов можно легко варьировать в широких пределах. Грани штрихов имеют ровную и гладкую поверхность, с высокой чистотой. Это свойство очень существенно для формования на штрихах исходной НДР металлических линейных проводников.

Таким образом, высокий технический потенциал и настоятельная потребность в качественных поляризаторах делают актуальной проблему разработки технологии изготовления поляризаторов из линейных проводников на основе НДР. Основой диссертации является комплексное исследование технологической цепи изготовления решеток-поляризаторов, выявление критических звеньев этой цепи и разработка наиболее эффективных и оптимальных методов и 7 устройств для выполнения основных технологических операций.

Цель настоящей работы состоит в разработке прецизионных и производительных методов и средств получения поляризаторов из линейных проводников с оптимальными параметрами на основе технологии нарезных дифракционных решеток.

Исходя из указанной цели, основными задачами являются: исследовать зависимости поляризационных характеристик решеток-поляризаторов от параметров их решетки из линейных проводников и найти критерий, определяющий оптимальность этих параметров;

- исследовать равномерность характеристик решеток-поляризаторов увеличенных размеров (до 100x100 мм ) по рабочей поверхности и разработать методы достижения высокой равномерности при сохранении оптимальных величин основных характеристик;

- разработать конструкции решеток-поляризаторов с повышенной поляризующей способностью (не менее 99%) и способы их изготовления и исследовать характеристики полученных образцов;

- оптимизировать условия и режимы технологических операций изготовления решеток-поляризаторов: получения исходной НДР для поляризаторов увеличенных размеров (до 100x100 мм ); получения решеток переменной пространственной частоты и решеток с рабочей зоной, отличающейся от прямоугольной; получения прозрачных решеток из полиэтилена; применения ионной технологии в формообразовании штрихов прозрачных решеток из хрупких и поликристаллических материалов.

На защиту выносятся следующие основные результаты и положения:

1. Экспериментально обнаруженное оптимальное соотношение поляризационных характеристик решеток-поляризаторов на основе НДР и комплекс технических средств для достижения оптимальности их характеристик: 8

- метод определения оптимальности параметров решеток из линейных проводников в процессе нанесения отражающего покрытия;

- критерий оптимальности основных характеристик;

- способ контроля процесса нанесения покрытия.

2. Комплекс технических средств для получения решеток-поляризаторов

•у увеличенных размеров (до 100x100 мм ):

- методы достижения равномерности характеристик;

- устройства и специальная оснастка для их осуществления.

3. Принцип увеличения пространственной частоты линейных проводников по сравнению с частотой штрихов исходной НДР, на которой они формируются. Конструкции и способы получения решеток-поляризаторов с повышенной поляризующей способностью (до 99%), в том числе на основе названного принципа:

- "двойная" решетка-поляризатор, содержащая две решетки из линейных проводников с заданными параметрами, размещенные на обеих сторонах подложки;

- решетка-поляризатор с удвоенным числом линейных проводников;

- решетка-поляризатор с разделенными линейными проводниками;

- методы реализации вышеперечисленных конструкций;

- метод увеличения высоты линейных проводников без изменения величины коэффициента заполнения решетки.

4. Средства и методы оптимизации технологических операций изготовления решеток-поляризаторов:

- устройство переменного нагружения на резец;

- система управления делительной машиной;

- специальный пресс для формообразования решеток из термопластов;

- применение ионного травления для формообразования штрихов решеток-поляризаторов на хрупких и поликристаллических материалах.

Научная новизна работы заключается в том, что в ее рамках впервые решена проблема создания научных основ нарезной технологии изготовления 9 решеток-поляризаторов. Исследованные в работе зависимости характеристик решеток-поляризаторов из линейных проводников, образованных на штрихах прозрачной нарезной дифракционной решетки, от их параметров позволили автору разработать на основе этих зависимостей критерий оптимальности. Впервые показана практическая возможность увеличения пространственной частоты линейных проводников по сравнению с пространственной частотой исходной дифракционной решетки; реализовано удвоение пространственной частоты.

Практическая значимость работы состоит в том, что на ее основе разработаны и внедрены в опытное производство дифракционной оптики:

1. Технологические процессы изготовления решеток-поляризаторов:

- увеличенных размеров;

- с повышенной поляризующей способностью;

- на термопластах;

- на хрупких и поликристаллических материалах.

2. Технологический контроль операции нанесения покрытия и устройство для его осуществления.

3. Оборудование и оснастка для проведения технологических операций.

4. Техническая документация, содержащая:

- отраслевые технические условия, "Поляризаторы-решетки инфракрасные типа РПИК-1, РПИК-2; ТУЗ-З Э 733-86», содержащие технические требования к изделиям, поставляемым на экспорт;

- отраслевой стандарт "Решетки дифракционные. Типовые технологические процессы изготовления копий"; ОСТЗ-6054-86, раздел 3.3. «Изготовление решетки-поляризатора».

Кроме того, организован серийный выпуск различных типов решетокполяризаторов, в том числе, для поставок на экспорт.

Апробация результатов. Основные результаты работы докладывались на:

Всесоюзной конференции "Оптические изображения и регистрирующие среды", Москва, 1991 г.; Советско-китайском семинаре "Голография и оптическая

10 информация", Бишкек, 1990 г.; отраслевом семинаре "Дифракционная оптика. Новые разработки в технологии и применение", Москва, 1991 г.; региональной конференции "Лазеры в Поволжье", Казань, 1997 г.

Публикации.

Основное содержание диссертации опубликовано в 17 работах, включая 11 авторских свидетельств на изобретения и 2 патента РФ.

Личный вклад автора.

Автору диссертации принадлежит постановка задачи и основные идеи ее решения. Автор является ответственным исполнителем всех научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по нарезным дифракционным решеткам, выполняемым в ГИПО. В работах с соавторами он выдвигал идеи, ставил задачи и намечал пути решения конкретных вопросов по разработке методов и проведению экспериментов, осуществлял обобщение на основе анализа результатов собственных исследований и анализа литературных данных. Участвовал во внедрении результатов работ.

Диссертация состоит из 5 глав.

В главе 1 приведен обзор литературы. Рассмотрены результаты решения задач дифракции электромагнитных волн на решетках из линейных проводников, наиболее близких к решеткам-поляризаторам на основе НДР. Проведен краткий анализ зависимости основных поляризационных характеристик от параметров решеток. Приведены примеры применения решеток из линейных проводников в устройствах СВЧ, субмиллиметрового и ИК- диапазонов. В технологическом аспекте рассмотрены примеры известных методов изготовления решеток-поляризаторов. Показано, что для решеток-поляризаторов на основе НДР, основным является метод нанесения металлического покрытия на часть граней штрихов. Определяющим условием метода является достижение оптимальных параметров решеток из линейных проводников и высокой воспроизводимости результатов. Этим задачам посвящена глава 2. В ней описаны эксперименты по определению зависимости коэффициентов прохождения Е- и Н- поляризованного излучения от параметров решеток-поляризаторов. Измерение коэффициентов производилось в процессе нанесения металлического покрытия. Из анализа кривых пропускания, выбран критерий оптимальности основных характеристик решеток-поляризаторов на основе НДР. Приводится техническая реализация контроля процесса нанесения покрытия с использованием выбранного критерия.

Глава 3 посвящена исследованию характеристик решеток-поляризаторов увеличенных размеров, до 100x100 мм . Установлено, что при обычных условиях нанесения покрытия неравномерность характеристик достигает значительной величины, и что такие решетки-поляризаторы не могут быть использованы в исследованиях изображений протяженных объектов. Описаны два метода повышения равномерности в процессе нанесения покрытия. Приведены величины неравномерности характеристик решеток-поляризаторов, полученных разными способами.

В главе 4 описаны конструкции и методы изготовления решеток-поляризаторов с повышенной поляризующей способностью. Один из вариантов конструкции - это "двойная" решетка-поляризатор. Второй вариант - это решетка с "удвоенным" числом металлических проводников на каждом из штрихов исходной НДР. Третий вариант - это решетка с металлическими проводниками, разделенными прозрачными промежутками. Описаны особенности рабо- ' ты таких поляризаторов.

Приводится новый (оригинальный) способ увеличения толщины линейных проводников при сохранении коэффициента заполнения решетки. Представлены характеристики полученных образцов решеток-поляризаторов.

Глава 5 посвящена оптимизации операций получения решеток-поляризаторов. Описано устройство, установленное на делительной машине, создающее переменное нагружение на резец, пропорциональное скорости его перемещения. Этим достигаются оптимальные условия формообразования штрихов при больших изменениях скоростей перемещения резца.

Приведена схема системы управления делительной машиной, обеспечивающей изменение пространственной частоты решетки по заданному закону и

13

5.5. Выводы

1. Переменное нагружение резца в процессе формования штрихов НДР увеличенных размеров, явилось оптимальным вариантом их выполнения с высокой равномерностью по всей длине. Изменение нагружения пропорционально скорости перемещения резца сохраняет оптимальные условия «резания» по всей рабочей поверхности решетки. Другие решения задачи нецелесообразны. Замедленная скорость перемещения резца приводит к непроизводительной потере машинного времени. Обеспечение постоянной скорости перемещения резца - задача трудновыполнимая и неприменимая к имеющимся делительным машинам.

2. Принцип изменения шага решетки и местоположения штрихов на основе счета дискретов от датчика линейных перемещений и тактовых импульсов, соотношения их с расчетными значениями и выработке управляющего сигнала хорошо реализовался в системе управления штатной делительной машины. Переменный шаг и заданное месторасположение штрихов позволяют выполнять различные элементы антенн с решетками и дифракционные оптические элементы (элементы логопериодических антенн, плоские линзы цилиндрических волновых фронтов, элементы для преобразования пучка лазерного излучения и ДР-)

3. Качественное копирование рельефа исходной НДР достигается оптимальными условиями и режимами прессования полиэтиленовой пленки. К необходимым условиям и режимам следует отнести: нагрев и охлаждение с заданной скоростью и до заданных температур, обеспечение заданного давления на прессуемые изделия и заданного разрежения в прессуемом объеме. Прессование решеток увеличенных размеров (>50x50) необходимо проводить в уело

1 2 виях вакуума 10" -10" Па (мм.рт.ст.), во избежание образования в пленке пузырей и загрязнений. Высокая производительность изготовления решеток-поляризаторов достигается применением исходной НДР на металлической подложке с высокой теплопроводностью.

147

4. Применение ионной обработки при формовании штрихов НДР показало значительное преимущество перед способом прямого резания штрихов. Основное преимущество - это прецизионное травление материала в направлении, перпендикулярном его поверхности, с минимальным уходом критических размеров от значений, заданных маскирующим материалом. Не менее важное значение для решеток-поляризаторов имеет выглаживание поверхности штрихов ионным травлением в аргоне.

148

Заключение

Основным результатом исследований и разработок, выполненных в настоящей диссертации, явилось осуществление автором цели работы - разработка прецизионных и производительных методов и средств получения поляризаторов из линейных проводников с оптимальными параметрами на основе технологии нарезных дифракционных решеток.

Достижение цели стало возможным благодаря комплексному подходу к решению поставленных задач, включающему исследование зависимостей характеристик от условий изготовления и полученных параметров образцов, разработку конструкций решеток, обладающих повышенными поляризационными характеристиками, и методов их получения, разработку устройств и оборудования, обеспечивающих достижения оптимальных условий осуществления технологических операций.

В рамках данной работы:

- исследована зависимость поляризационных характеристик решеток-поляризаторов от параметров решетки из линейных проводников. Найдено оптимальное соотношение поляризационных характеристик и установлен соответствующий этому соотношению критерий оптимальности. Обнаружено влияние процесса окисления напыленной пленки алюминия на характеристики образцов и разработаны поправки на величину контролируемых параметров в процессе нанесения металлического (алюминиевого) покрытия;

- исследована равномерность поляризационных характеристик и разработаны методы достижения значения равномерности по всей рабочей зоне на порядок выше, чем при обычных методах изготовления решеток-поляризаторов размером 100x100 мм , (при сохранении их оптимальных характеристик);

- разработан принцип увеличения пространственной частоты линейных проводников по сравнению с пространственной частотой штрихов исходной НДР, на которых они формируются. Принцип реализуется путем копирования исходной решетки с применением разделительного слоя или многократного нанесения вакуумных покрытий, включающих покрытия из прозрачных в рабочей об

149 ласти материалов. Разработан ряд конструкций и методов изготовления решеток-поляризаторов с повышенной поляризующей способностью (до 99%), в том числе «двойная» решетка-поляризатор, решетка с удвоенной пространственной частотой линейных проводников, решетка-поляризатор с разделенными линейными проводниками. Разработан метод увеличения толщины проводников, без изменения коэффициента заполнения решетки;

- оптимизированы условия и режимы технологических операций изготовления решеток-поляризаторов, для чего разработаны устройства и технологическое оборудование для получения исходной НДР поляризаторов увеличенных разл меров (до 100x100мм ), решеток с переменной пространственной частотой и решеток с рабочей зоной, отличающейся от прямоугольной, прозрачных решеток из полиэтилена. Показана перспективность применения ионной технологии для формообразования штрихов прозрачных решеток из хрупких и поликристаллических материалов.

Перечисленные конструкции поляризаторов, методы их изготовления и устройства для осуществления технологических операций внедрены в опытное производство дифракционной оптики Государственного института прикладной оптики. В течение многих лет образцы поляризаторов поставляются различным заказчикам, в том числе на экспорт, в соответствии с разработанными под руководством автора отраслевыми техническими условиями (ТУ-ЗЭ 733-86).

Выражаю свою благодарность коллективу моих коллег, принявших участие в разработках и внедрении в опытное производство ГИПО поляризаторов на основе нарезных дифракционных решеток: Стрежневу С.А., Куинджи В.В., Ба-лясникову Н.М., Абдрахманову Р.Х., Саляховой Г.А., Сосновской Г.И., Феду ловой H.A., Знаменскому М.Ю, Скочилову А.Ф.

Выражаю глубокую признательность научному руководителю настоящей диссертации, кандидату физико-математических наук Лукину A.B., научному консультанту, генеральному директору ФГУП НПО ГИПО, доктору технических наук, академику РАИН Иванову В.П., методическому руководителю, профессору КГТУ им. А.Н. Туполева, доктору физико-математических наук Поль

150 скому Ю.Е, заместителю директора ФНПЦ ГИПО по науке, кандидату физико-математических наук Белозерову А.Ф., ученому секретарю, доктору физико-математических наук, профессору Мирумянцу С.О. за внимательное отношение к настоящей работе.

Выражаю признательность кандидату физико-математических наук Яковлеву Э.А., начальнику лаборатории ГОИ им. Вавилова С.И., за внимательное отношение и помощь в разработках поляризаторов в ГИПО.

Благодарю Агачева А.Р. и Корнееву Н.Д. за помощь в оформлении диссертации.

151

1. Клотинын Э.Э., Петров В.К., Фелтынь И.А. Оптические свойства селеновых поляризаторов. - Приб. и техн. эксперим., 1972, № 6, с. 183-184.

2. George R. Bird and W.A. Shurcliff. Pile of - Plates Polarizers for the Infrared: Improvement in Analysis and Design.- J. Opt. Soc.Am.,1959, v.49, № 3, p. 235237.

3. Mitsuishi A., Yamada Y., Fujita S., Yoshinaga H. Polarizer for the Far-Infrared Region. J. Opt. Soc. Am., 1960, v. 50, p. 433-436

4. Барановский C.H. Поляризатор для ИК-области. Приб. и техн. эксперим., 1967, № 4, с. 228-229.

5. Богомолов A.M., Панкратов В.М. Поляризатор инфракрасного излучения. -Приб. и техн. эксперим., 1973, № 3, с. 271.

6. Edwards D.F., Bruemmer M.J. Polarization of Infrared Radiation by Reflection from Germanium Surfaces. J. Opt. Soc. Am., 1959, v. 49, N 9, p. 860-861.

7. Rupprecht G., Ginsberg D., Leslie J. Pyrolytic Craphite Transmission Polarizer for Infrared Radiation. J. Opt. Soc. Am., 1962, v. 52, p. 665- 669.

8. G.R. Bird and Parrish. The Wire Grid as a Near-Infrared Polarizer.-J.Opt.Soc.Am.,1960,v.50, № 9, p. 886-891.

9. Яковлев Э.А., Герасимов Ф.М. Поляризаторы инфракрасного излучения на основе прозрачных дифракционных решеток. Опт.-мех. пром-сть, 1964, № 10, с. 28-34.

10. Брацыхин Е.А., Миндлин С.С., Стрельцов К.Н. Переработка пластических масс в изделия. М., Л., "Химия", 1966, 400с.

11. Вайнштейи JI.A. Дифракция электромагнитных волн на решетке из параллельных проводящих полос. ЖТФ, 1955, т. 25, вып.5, с. 847-852.

12. Масалов С.А., Сологуб В.Г., Шестопалов В.П. Дифракция плоской электромагнитной волны на решетке из брусьев круглого сечения. Препринт ИРЭ АН УССР, Харьков, 1972, № 15, с. 1-38.

13. Масалов С.А., Тарапов И.Е. Дифракция электромагнитных волн на пространственной периодической решетке, составленной из брусьев прямоугольного поперечного сечения. Радиотехника и электроника, 1964, т.9, №1, с. 53-60.

14. Кириленко A.A., Масалов С.А. Дифракция плоской волны на решетке типа «жалюзи».- Сб. Радиотехника. Изд-во Харьковского ун-та, 1970, вып. 13, с. 75-79.

15. Агранович З.С., Марченко В.А., Шестопалов В.П. Дифракция электромагнитных волн на плоских металлических решетках. ЖТФ, 1962, т. 32, вып. 4, с. 381-394.

16. Вайнштейн JI.A. Диафрагмы в волноводах. ЖТФ, 1955, т. 25, вып.5, с. 841-846.

17. Шестопалов В.П., Литвиненко Л.И., Масалов С.А., Сологуб В.Г. Дифракция волн на решетках. Изд-во Харьковского ун-та, 1973, 287с.

18. Масалов С.А., Дифракция электромагнитных волн на решетках, составленных из брусьев прямоугольного поперечного сечения: Автореф. канд. дисс., Харьков, 1966. 13 с,

19. Шерклифф У. Поляризованный свет. М., "Мир", 1965, 264с.

20. Hertz Н. Electric Waves.-London, Macmillan and Company Ltd., 1893, 177 p.

21. Жук M.C., Молочков Ю.Б. Проектирование антенно-фидерных устройств. -М„ "Энергия", 1966, 648с.

22. Кюн Р. Микроволновые антенны. Л., "Судостроение", 1967, 518с.153

23. Линзово-зеркальная антенна: A.C. 1536460 СССР/Е.М. Головин, С.Е. Ко-лин, Н.В Карабельников и Ю.Е. Седельников № 4372700/24-09; Заявл. 01.02.88. Опубл. 15.01.90,- Бюл. № 2,- 2 с.

24. Жук М.С., Молочков Ю.Б. Проектирование линзовых, сканирующих, широкодиапазонных антенн и фидерных устройств. -М., "Энергия", 1973, 440с.

25. Сверхширокополосные антенны. Под ред. JI.C. Бененсона. М., "Мир", 1964,416с.

26. Виноградов Е.А., Дианов Е.М., Ирисова H.A. Интерферометр Фабри-Перо короткого миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов с металлическими сетками, имеющими период, меньше длины волны. Письма в ЖЭТФ, 1965, т. 2, вып.7, с. 323-326.

27. Балаханов В.Я., Русанов В.Д., Стриганов А.Р. Многолучевой радиоинтерферометр для диагностики плазмы. ЖТФ, 1965, т. 35, вып. 1,с. 127-131

28. Королев Ф.А., Гриднев В.И. Оптические и радиочастотные характеристики многолучевого интерферометра с дифракционными зеркалами на тонких диэлектрических подложках Вестник МГУ, 1963, серия III, "Физика", № 4, с. 14-19.

29. Королев Ф.А., Гриднев В.И. Многолучевой интерферометр как резонатор высокой добротности. Радиотехника и электроника, 1963, № 8, с. 14801482:

30. Королев Ф.А., Гриднев В.И. Интерферометр Фабри-Перо с дифракционными зеркалами. Опт. и спектр., 1964, т. 16, вып.2, с. 335-340.

31. Du Bois H., Rubens H. On polarization of undifracted longwaved heat rays by wire gratings Phil. Mag., 1911, v. 22, N 128, p. 322-327.

32. Roberts S., Coon D.D. Far-Infrared Properties of Quartz and Sapphire. J. Opt. Soc.' Am., 1962, v. 52, N 9, p. 1023-1029.

33. Демешина А.И., Заяц B.A., Лапшин В.И., Мурзин B.A. Применение металлических решеток в качестве фильтров и поляризаторов света для далекой инфракрасной области. -Журн. прикл. спектр., 1970, т. 13, вып.2, с. 346-349.

34. Жуков А.Г., Смирнов В.И. Поляризационные свойства проволочных реше154ток в длинноволновой инфракрасной области. Журн. прикл. спектр., 1965, т.З, вып.5, с. 410-414.

35. Costley А.Е., HurseyK.H., Neill G.F., Ward J.M. Free-standing fine-wire grids: Their manufacture, performance, and use at millimeter and submillimeter wavelengths. J. Opt. Soc. Am., 1977, v. 67, N7, p. 979-981.

36. Auton J.P. Infrared Transmission Polarizers by Photolithography. Appl. Opt., 1967, v. 6, N6, p. 1023-1027.41 .Лапшин В.И. Поляризационные устройства сублимированного диапазона. -Тр. Физ. ин-та, АН СССР, 1974, вып.77, с. 117-127.

37. Коссова Н.Ф., Лейкина Л.Я., Метельников А.А., Сидельникова З.И. Решетки-поляризаторы для инфракрасной области спектра. Журн. прикл. спектр., 1978, т. 28, №2, с. 329-333

38. Орел Е.Н. Нанесение металлического покрытия на решетки-поляризаторы. -Опт.-мех. пром.-сть, 1972, № 4, с. 33-34.

39. Young J.В., Н.А. Graham and E.W. Paterson, Wire grid infrared Polarizer. -Appl. Opt.,1965, v.4, № 8, p. 1023-1026.

40. Auton J.P., HutleyM.C. Grid Polarizers for use in the Near-Infrared. Infrared Physics, 1972, v. 12, p. 95-100.

41. Способ изготовления дифракционного элемента, поляризующего свет: Патент №4-257801. Япония; G 02В 5/30, 5/18; G03F7/20; Приоритет от 11.09.1992,-2 е.,

42. Круглякова М.А., Воробьев В.Г. Методика точного определения поляризующей способности поляризаторов.-Опт.-мех. пром-сть, 1984, № 2, с. 12-14.

43. Коссова Н.Ф., Воробьев В.Г., Бютнер X., Фальта В. Сравнительное исследование характеристик ИК-поляризаторов ЛОМО. IR 5/6,1980, с. 233-235.155

44. Круглякова M.А., Тохадзе JI.A. Исследование погрешностей измерения поляризующих объектов на ИК-спектрофотометрах.-Опт.-мех. пром-сть, 1979, № 10, с.11-13.

45. Pochi Yen. A New Optical Model for Wire Grid Polarizers. Opt. Communs., 1978, v. 26, N3, p. 289-292.

46. Розенберг Г.В. Оптика тонкослойных покрытий. М., Гос. изд-во физ.-мат. лит-ры, 1958. - 570с.

47. Палатнин Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М., "Наука", 1972. - 320с.

48. Физика тонких пленок/Под ред. Г. Хасса и Р.Э. Туне. М., «Мир», 1967, 396с.

49. Лукашевич Я.К., Стрежнев С.А. О выборе критерия оценки качества решеток-поляризаторов в процессе их изготовления. Отраслевой сборник, 1980, с. X, вып. 147, с. 29-33.

50. Способ изготовления решеток-поляризаторов: A.C. 593565 СССР/ Я.К. Лукашевич, В.В. Куинджи, С.А. Стрежнев № 2093295/18-10; Заявл. 02.01.75; Зарегистр. в Гос. реестре изобр. Союза ССР 21.10.1977 г.

51. Е.М, Воронкова Е.М., Гречушников Б.Н., Дистлер Г.И., Петров И.П. Оптические материалы для инфракрасной техники. М., Наука, 1965, 336с.

52. Способ изготовления решеток-поляризаторов: A.C. 795227 СССР/ Я.К. Лукашевич, В.П. Герасимов. № 2800584/18-10; Заявл. 23.07.79; Зарегистр. в Гос. реестре изобр. Союза ССР 8.09.80г.

53. Способ нанесения металлического покрытия: A.C. 736770 СССР/ Я.К. Лукашевич, С.А. Стрежнев, В.П. Герасимов. № 2645299/18-10; Заявл. 21.07.78; Зарегистр. в Гос. реестре изобр. Союза ССР 29.01.80.

54. Лукашевич Я.К., Герасимов В.П. Нанесение отражающего покрытия решеток-поляризаторов.- Отраслевой сборник, 1985, с. X, Вып. 201, с. 20-24.

55. Способ получения отражающего покрытия: А. С. 909819 СССР/ Я.К. Лукашевич , В.П. Герасимов. - № 2596533/18-10; Заявл. 11.07.80; Зарегистр. в Гос. реестре изобр. СССР 2.11.81г.156

56. Дж. Гудмен. Введение в Фурье-оптику. М. "Мир", 1970, 364 с.

57. Решетка-поляризатор: A.C. 1040933 СССР/Я.К. Лукашевич. № 3310997/18-10;3аявлено 3.07.81г., Зарегистр. в Гос. Реестре изобр. Союза ССР 10.05.83 г.

58. Харвей А.Ф. Техника сверхвысоких частот. М., «Сов. Радио», 1965, 738с.

59. Решетка-поляризатор: A.C. 447659 СССР/ Я.К. Лукашевич, С.А. Стрежнев, Е.Ф. Дедюхин. № 1861073/18-10; Заявл. 22.12.72; Опубл. 25.10.74. - Бюл. № 39,-2 с.

60. Способ изготовления решеток-поляризаторов: A.C. 599242 СССР/ Я.К. Лукашевич, С.А. Стрежнев, В.В. Куинджи № 2355922/10, Заявл. 10.05.76; Опубл. 25.03.78. - Бюл. № 11.- 3 с.

61. Способ подготовки оптических алюминированных поверхностей: A.C. 155965 СССР/ И.Д. Торбин, O.A. Мотовилов-Опубл. 1963. Бюл. № 14.-2 с.

62. Нижин A.M., Торбин И.Д., Митина Ф.А. Копии оптических поверхностей на слое алюминия. Журн. прикл. спектр., 1971, т. 15, № 1, с. 145-147.

63. Способ изготовления решеток-поляризаторов: A.C. 1199082 СССР/ Я.К. Лукашевич. № 3788527/18-10; Заявл. 20.06.84.; Зарегистр. в Гос. реестре изобр. СССР 15.08.85.-3 с.

64. Решетка-поляризатор: A.C. 1272893 СССР/ Я.К. Лукашевич. № 3869090/24-10; Заявл. 12.03.85; Зарегистр в Гос. реестре изобр. СССР 22.07.86.-2 с.

65. Способ изготовления решеток-поляризаторов: A.C. 1080633 СССР/ Я.К. Лукашевич. № 3517180/18-10; Заявл. 1.12.82; Зарегистр. в Гос. реестре изобр. СССР 15.11.83.-3 с.

66. Герасимов Ф.М. Современные дифракционные решетки. Опт.-мех. пром-сть, 1965, №Ю, с. 33-48.

67. М.С. Hutley. Diffraction Gratings. New York, Academic Press, 1982.

68. Герасимов Ф.М., Яковлев Э.А. Дифракционные решетки. В кн.: Современные тенденции в технике спектроскопии. Новосибирск; Наука, 1982. - 70с.

69. Способ нарезания штрихов дифракционных решеток и устройство для его осуществления: A.C. 1682123 СССР/ Н.М. Балясников, Я.К. Лукашевич,157

70. A.A. Варфоломеев, С.Г. Рабинович. № 4699663/08, Заявл. 1.06.89; Опубл. 07.10.91.-Бюл.№ 37.-3 с.

71. Герасимов Ф.М., Яковлев Э.А., Пейсахсон И.В. Кошелев Б.В. Вогнутые дифракционные решетки с переменным шагом. Опт. и спектр. 1970, т. 28, № 4, С. 790-795.

72. Герасимов Ф.М., Яковлев Э.А., Кошелев Б.В. Стигматические вогнутые дифракционные решетки на сферических поверхностях, изготовленные механическим способом. Опт. и спектр., 1979, т. 46, № 6, С. 1177 - 1182.

73. Harada Т., Kita Т. Mechanically ruled aberration corrected gratings/ -Appl. Opt., 1980, Vol. 19, N 23, p. 3987-3993.

74. Делительная машина для изготовления дифракционных решеток: Патент 2036770 РФ/ Р.Х. Абдрахманов, Я.К. Лукашевич, A.A. Нюшкин, Н.М. Балясников,- № 4827732/08; Заявл. 22.05.90; Опубл. 09.06.95. Бюл. № 16.-5 с.

75. Фотоэлектрические преобразователи информации //Под ред. A.A. Пресну-хина. -М., «Машиностроение», 1979, 240 с.

76. Полиэтилен и другие полиолефины // Под ред. П.В. Козлова и A.A. Плата. -М., «Мир», 1964, с. 594.

77. Сирота А.Г. Модификация структуры и свойств полиолефинов- Л., «Химия», 1984, 152с.

78. Лео Манделькерн. Кристаллизация полимеров. М. - Л., «Химия», 1966, 336с.

79. Физика полимеров //Сб. статей. Под ред. М.В. Волькенштейна. М., «Изд-во иностр. лит-ры», 1960, 554с.

80. Способ регулирования оптических свойств полиолефиновой пленки: Патент, 324232, Швеция; Кл. 39а 3 7/10 (В 29d 7/10); Приоритет от 23.08.63.

81. Устройство для одновременного тиснения нескольких листов из пластмасс: Патент, 1296334. ФРГ; Кл. 39а 2,1/00 (В 29с 1/00).

82. Оборудование для переработки пластмасс //Под ред. В.К. Завгороднего. -М., «Машиностроение», 1976, 408с.

83. Способ изготовления решеток-поляризаторов из термопластов: A.C. 1676188 СССР/ Я.К. Лукашевич, Н.М. Балясников, Г.А. Саляхова. № 4711174/05; Заявл. 27.06.89; Зарегистр.в Гос. реестре изобр. СССР 8.05.91.-3 с.

84. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой //Под ред. Р. Бериша. М., «Мир», 1986,484с.

85. Горин Ю.А., Попов В.Ф. Процессы и установки электронно-ионной технологии- М., «Высшая школа», 1988, 255с.

86. Опекунов В.А., Предводителев A.A. Эрозия поверхности металлов под действием ионной бомбардировки. Физика и химия обработки материалов, 1977, №5, с. 44-62.

87. Плазменная технология в производстве СБИС //Под ред. А. Айнспрука и Д. Брауна. М., «Мир», 1987,469с.

88. Б.С. Данилин, Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов М., «Энергоатомиздат», 1987, 264.

89. Lerner J.M., Flamand I., Thevenon A. Ion-etching as a means of blazing and optimizing holographic diffraction gratings. Proc. SPIE, 1983, v. 353, p. 68-71.

90. Lukin A.V., Makarov A.S., Sattarov F.A., etc. Hologram blazed diffraction gratings for a wide spectral range. Proc. SPIE, 1997, v. 3117, p. 191-196.

91. Aoyagi Y., Namba S. Blazed Ion-etched Holographic Gratings. Opt. Acta, 1976, v. 23, N29, p. 701-708.

92. ЮО.Герасимов Ф.М., Рассудова Г.Н. Точные дифракционные решетки для метрологических целей. Опт. и спектр., 1961, т. 11, 259с.

93. Технология изготовления поляризаторов электромагнитного излучения из линейных проводников на основе нарезных дифракционных решеток» в опытном производстве дифракционной оптики НПО ГИПО.

94. Нач. НТК дифракционной, интегральной и асферической оптики ФГУП НПО ГИПО

95. Нач. отдела контроля параметров дифракционных оптических элементов и асферики1. А.В. Лукин