автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.10, диссертация на тему:Разработка учебно-исследовательской системы технологического моделирования для проектирования процессов производства ИЭТ

ВВЕДЕНИЕ.

1. АНАЛИЗ МЕТОДОВ И ПРИНЦИПОВ РАЗРАБОТКИ УИС.

1.1. УИС как средство управления образовательным процессом.

1.2 Предметная область формирования УИС.

1.3. Анализ современных УИС.

1.4. Разработка структуры УИС ТМ и ее компонентов.

Цель и задачи.

2. АНАЛИЗ МОДЕЛЕЙ ПРЕДМЕТНОЙ ОБЛАСТИ И РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ УИС ТМ.

2.1. Математическое моделирование технологических процессов производства ИЭТ.

2.2. Выбор алгоритмов моделирования ТП производства ИЭТ.

2.3. Математическая модель процесса окисления.

2.4. Математическая модель процесса диффузии.

2.5. Математическая модель процесса эпитаксии.

2.6. Математическая модель процессов получения межсоединений и контактных площадок металлизации.

Выводы по второй главе.

3. РАЗРАБОТКА ОБУЧАЮЩИХ КОМПОНЕНТОВ УИС ТМ.

3.1. Формализация знаний предметной области и выбор модели их представления для УИС ТМ.

3.2. Формирование модели обучаемого.

3.3. Алгоритм управления процессом обучения в УИС ТМ.

Выводы по третьей главе.

4. ПРОГРАММНЫЕ И ИНФОРМАЦИОННЫЕ СРЕДСТВА УИС ТМ.

4.1. Структура программных средств УИС ТМ.

4.2. Графические средства визуализации результатов моделирования в процессе обучения.

4.3. Диалоговый интерфейс УИС ТМ.

4.4. Программные средства компонентов моделирования технологических процессов.

4.5. Программные средства компонентов обучения.

Выводы по четвертой главе.

Актуальность темы.

Важнейшим направлением дальнейшего научно-технического прогресса в области разработки и производства изделий электронной техники (ИЭТ) является совершенствование современной технологии, а также повышение технического уровня как самих изделий, так и средств автоматизации технологического проектирования ИЭТ. В решении такого рода задач, объединяемых целевыми комплексными, отраслевыми и региональными программами, большую роль играют специалисты в области технологического проектирования процессов производства ИЭТ. Подготовленный вузом специалист в результате изучения соответствующих дисциплин наряду с другими вопросами должен знать принципы функционирования устройств интегральной и функциональной микроэлектроники, конструкции и технологию изготовления интегральных микросхем, микросборок, микропроцессоров, современное состояние, тенденции и перспективы их развития. Выпускник вуза также должен иметь необходимый запас знаний в фундаментальной научной области, например, в области математики, физики, химии, информатике. В то же время высокие темпы развития микроэлектроники, быстрая сменяемость конструктивно-технологических вариантов ИЭТ, необходимость разработок более прогрессивных технологий приводят к тому, что каждому специалисту в области технологического проектирования приходится неоднократно изучать новые технологические процессы, то есть усваивать все более возрастающий объем знаний.

Таким образом, для дальнейшего развития такого научного направления, как технология производства ИЭТ, необходимо повышение уровня профессиональной подготовки специалистов в области технологического проектирования ИЭТ. Для преодоления противоречия между стремительно нарастающим объемом знаний, подлежащих усвоению, и реальными сроками подготовки специалистов, необходимо определить новые организационные формы обучения, способы получения знаний обучаемыми, закрепления умений и навыков. Одним из таких подходов к подготовке специалистов в вузах следует считать новые формы обучения, базирующиеся на применении проблемно-ориентированных компьютерных обучающих и учебно-исследовательских систем (УИС). Их использование способствует повышению эффективности технологий обучения, интенсификации учебного процесса, повышению качества подготовки специалистов. Таким образом, необходимость создания средств интеллектуальной УИС на основе понятийной модели знаний для обучения специалистов в быст-роразвивающихся областях науки и техники делает актуальной разработку комплекса программных средств, содержащего базу знаний, стратегии и модели автоматизированного обучения, средства моделирования и графической визуализации. Использование такой системы предполагает существенное повышение эффективности и качества подготовки специалистов в области технологического проектирования процессов производства ИЭТ за счет оптимального построения процесса обучения.

Значительный вклад в разработку данной проблемы внесли ученые Воронежского государственного технического университета В.Н. Фролов, Я.Е. Львович, О.В. Родионов, В.И. Федянин, И .Я. Львович и многие другие. Решению работ, связанных с исследованиями в этой проблемной области, также посвящен ряд работ, выполненных на кафедрах САУМПС и САПРИС Воронежского государственного технического университета.

Диссертационная работа выполнена в соответствии с межвузовской комплексной научно-технической программой 12.11 «Перспективные информационные технологии в высшей школе» и в рамках одного из основных направлений Воронежского государственного технического университета «САПР и системы автоматизации производства». Научные результаты, изложенные в диссертационной работе, получены при выполнении научно-исследовательской работы «Концептуальное моделирование и системное управление учебновоспитательным процессом в техническом вузе» (тема Б7/00, направление «Информатика»).

Цель и задачи исследования.

Целью работы является создание комплекса моделей, алгоритмов и программных средств для повышения качества процесса обучения технологическому моделированию процессов производства ИЭТ, реализованных в виде учебно-исследовательской системы технологического моделирования (УИС ТМ), которая обеспечивает сокращение сроков обучения и повышение качества усвоения знаний.

Для достижения данной цели сформулированы и решены следующие задачи: анализ применения существующих УИС в различных областях науки и техники; формирование рациональной структуры УИС, ориентированной на использование новейших программных технологий и средств; разработка компонентов обучающей системы, методики и моделей представления учебной информации; разработка стратегий и моделей оптимального управления процессом автоматизированного обучения; выбор и обоснование применения моделей и алгоритмов моделирования процессов производства ИЭТ; создание средств трехмерной визуализации результатов моделирования, позволяющих повысить наглядность представления информации и эффективность процесса обучения.

Методы исследования.

В работе использованы методы системного анализа, теории нечетких множеств, методы вычислительной математики, теории вероятностей и методы искусственного интеллекта.

Научная новизна.

В работе получены следующие основные результаты: функционально-структурная схема УИС ТМ процессов производства ИЭТ, отличающаяся интеграцией и тесным взаимодействием интеллектуальных обучающих процедур, моделей технологических процессов и средств визуализации; алгоритмы формализации представления знаний в виде объектно-фреймовой структуры, отличающиеся возможностью эффективной манипуляции формализованными знаниями и позволяющие повысить степень структу-рируемости понятий предметной области; иерархическая модель обучаемого, обеспечивающая управление процессом автоматизированного обучения и повышение его качества с учетом индивидуальных особенностей и уровня подготовки обучаемого; алгоритмические процедуры трехмерной визуализации объектов изучения, отличающиеся возможностью обеспечения наглядности и повышенного уровня усвоения учебной информации на каждом этапе моделирования технологических процессов; компоненты УИС ТМ, основанные на использовании современных информационных технологий и позволяющие использовать систему в различных организационных формах обучения.

Практическая ценность и реализация результатов работы. Разработаны методики, модели и алгоритмы оптимального автоматизированного обучения моделированию процессов производства ИЭТ. Создан комплекс программ проблемно-ориентированного направления, реализующий интеллектуальную УИС и позволяющий применить полученные результаты научных исследований при компьютерной подготовке специалистов и проведении исследований в области моделирования технологических процессов производства ИЭТ.

Разработанные методики, модели, алгоритмы и программные средства, положенные в основу УИС ТМ процессов производства ИЭТ, внедрены в учебный процесс на кафедре САПРИС Воронежского государственного технического университета, кафедре информационно-технического обеспечения органов внутренних дел Воронежского института МВД России и используются при проведении лабораторных работ, выполнении курсовых проектов по дисциплинам «Технология изделий микроэлектроники и вычислительной техники». В НИИ электронной техники (г Воронеж) используются следующие результаты, полученные в диссертационной работе: модели технологических процессов производства ИЭТ, программные средства графической визуализации результатов моделирования.

Апробация работы.

Основные положения диссертации докладывались на следующих конференциях и семинарах: Всероссийском совещании-семинаре «Математическое обеспечение информационных технологий в технике, образовании и медицине» (ВГТУ, 1997 г.), Всероссийском совещании-семинаре «Высокие технологии в региональной информатике» (ВГТУ, 1998 г.), IV Международной электронной научной конференции «Современные проблемы информатизации» (ВГТУ, 1999 г.), Всероссийской конференции «Интеллектуальные информационные системы» (ВГТУ, 1999-2000 гг.), Международной конференции «Системные проблемы качества, математического моделирования и информационных технологий» (Москва-Ковров-Сочи, 1999 г.), V Международной электронной научной конференции «Современные проблемы информатизации в технике и технологиях» (Воронеж, 2000 г.), VI Международной открытой научной конференции «Современные проблемы информатизации в непромышленной сфере и экономике» (Воронеж, 2001 г.).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 17 печатных работ.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения, изложенных на 120 страницах машинописного текста, списка литературы из 115 наименований, 4 приложений, содержит 15 рисунков и 4 таблицы.

Выводы по четвертой главе

1. На основе требований, предъявляемых к УИС ТМ и возможностей программного и технического обеспечения разработана структура ее программных средств.

2. Разработаны и программно реализованы обучающие и моделирующие компоненты УИС ТМ, средства графической визуализации и диалогового интерфейса, которые обеспечивают эффективное взаимодействие программных модулей системы на различных этапах ее жизненного цикла.

3. Разработаны ПС компонентов УИС ТМ, обеспечивающие гибкое интерактивное взаимодействие с пользователем и снижающие время на формирование у пользователя навыка работы с системой за счет рациональной реализации ПС и использования возможностей вычислительной техники, что позволяет повысить качество решения задач обучения и моделирования.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. На основе анализа возможностей современных программных обучающих комплексов выявлена необходимость объединения нескольких типов обучающих систем в одну, гибко сочетающую возможности различных принципов обучения и типов учебного материала. Сформированы требования к УИС технологического моделирования.

2. Разработана функционально-структурная схема УИС ТМ процессов производства ИЭТ, отличающаяся интеграцией и тесным взаимодействием интеллектуальных обучающих процедур, моделей технологических процессов и средств визуализации.

3. На основе выполненного обзора методов изоляции элементов ИЭТ с учетом возможностей компонентов и структуры разработанной УИС ТМ проанализирован ряд моделей технологических процессов с точки зрения сложности, эффективности и приемлемости для использования в системах обучения.

4. На основе анализа существующих моделей представления знаний обоснован выбор фреймовой модели представления знаний, как наиболее эффективный для их представления в УИС ТМ и адаптации разработанной модели обучаемого к предметной области.

5. Разработаны алгоритмы формализации представления знаний в виде объектно-фреймовой структуры, отличающиеся возможностью эффективной манипуляции формализованными знаниями и позволяющие повысить степень структурируемости понятий предметной области.

6. Сформирована иерархическая модель обучаемого, обеспечивающая оптимизацию процесса автоматизированного обучения с учетом индивидуальных особенностей и уровня подготовки обучаемого, а также повышение качества процесса обучения.

7. Разработан алгоритм управления процессом автоматизированного обучения технологическому моделированию процессов производства ИЭТ, отли

120 чающийся возможностью гибкой модификации модели обучаемого на каждом этапе процесса обучения.

8. Предложены и программно реализованы алгоритмические процедуры трехмерной визуализации объектов изучения, отличающиеся возможностью обеспечения наглядности и повышенного уровня усвоения учебной информации на каждом этапе моделирования технологических процессов.

9. Реализованы компоненты УИС ТМ, основанные на использовании современных информационных технологий и позволяющие использовать систему в различных организационных формах обучения.

Разработанные методы, модели и алгоритмы, программные средства, составляющие основу УИС ТМ процессов производства ИЭТ, внедрены в учебный процесс на кафедре САПРИС Воронежского государственного технического университета, на кафедре информационно-технического обеспечения органов внутренних дел Воронежского института МВД России и в практику научно-исследовательских работ НИИ электронной техники (г. Воронеж).

1. Автоматизированные обучающие системы на базе ЭВМ / А.Ф. Чернявский, А.М. Мухарский, А.В. Орлов и др.; Под ред. А.Ф. Чернявского. Минск: Изд-во БГУ, 1980.-175 с.

2. Автоматизированные системы проектирования и обучения / Редкол.: Ю.Б. Бородулин и др. Иваново: ИЭИ, 1988. - 160 с.

3. Амамия Н., Танако Ю. Архитектура ЭВМ и искуственный интеллект: Пер. с яп. М.: Мир, 1993. - 397 с.

4. Андреев В.Н. Жидкостная эпитаксия и технология полупроводниковых приборов. М.: Сов. радио, 1975. - 328 с.

5. Архангельский А.Я. Разработка прикладных программ для Windows в С++ Builder 5. M.: ЗАО «Издательство БИНОМ», 2000. - 256 с.

6. Архангельский А.Я. Язык SQL в С++ Builder 5. M.: ЗАО «Издательство БИНОМ», 2000. - 224 с.

7. Астанин C.B., Захаревич В.Г. Обработка и представление знаний в информационно-советующих комплексах систем гибридного интеллекта. Таганрог: ТРТУ, 1997. - 136 с.

8. Базы и банки данных и знаний / Г.И. Ревунков, Э.М. Самохвалов, В.В. Чичтяев и др.; Под ред. В.М. Четверикова. М.: Высш. шк., 1992. - 367 с.

9. Батищев Д.И., Львович Е.Я., Фролов В.Н. Методы оптимизации в САПР. Воронеж: Изд-во ВГУ, 1987.

10. Бобко И.М., Коуров В.Г., Собакинских Н.И. Адаптивные педагогические программные средства. Новосибирск: Изд-во Новосиб. Ун-та, 1991.-101 с.

11. Брусиловский П.Л. Построение и использование моделей обучаемого в интеллектуальных обучающих системах // Техническая кибернетика, 1992. -№5.-С. 97-116.

12. Бубенников А.Н., Садовников А.Д. Физико-технологическое проектирование биполярных элементов кремниевых БИС. М.: Радио и связь, 1991. -288 с.

13. Веденов A.A. Моделирование элементов мышления. М.: Наука, 1988.- 158 с.

14. Вербовецкий A.A. Основы проектирования баз данных. М.: Радио и связь, 2000. - 88 с.

15. Выявление экспертных знаний / О.И. Ларичев, А.И. Мечитов, Е.М. Мошкович и др. М.: Наука, 1989. - 127 с.

16. Гаврилова Т.А., Хорошевский В.Ф. Базы знаний интеллектуальных систем. СПб: Питер, 2000. - 384 с.

17. Гаврилова Т.А., Червинская K.P. Извлечение и структурирование знаний для экспертных систем. М.: Радио и связь, 1992. - 199 с.

18. Гершунский Б.С. Компьютеризация в сфере образования: проблемы и перспективы. М.: Педагогика, 1987. - 263 с.

19. Горяинов С.А. Диэлектрическая изоляция элементов интегральных схем. М.: Сов. радио, 1975. - 120 с.

20. Диалог в обучающей системе / Е.И. Машбиц. В.В. Андриевская, Е.Ю. Комиссарова и др.; Под ред. A.A. Стогния. Киев: Выща шк., 1989. - 182 с.

21. Диалоговые системы схемотехнического проектирования / В.И. Ани-симов, Г.Д. Дмитриевич, К.Б. Скобельников и др.; Под ред. В.И. Анисимова. -М.: Радио и связь, 1988. 288 с.

22. Добряков A.A., Архипова Н.В. Трехконтурная схема управления познавательной деятельностью // Информационные технологии в проектировании, 1997.-№ 1.

23. Довгялло A.M., Ющенко E.JI. Обучающие системы нового поколения // Управляющие системы и машины. Киев, 1988. - №1.

24. Дружественное программное обеспечение: Сборник / Под ред. Б.Н. Васильева. М.: Знание, 1989. - 46 с.

25. Елманова Н.З., Кошель С.П. Введение в С++ Builder 4. M.: Диалог МИФИ, 2000. - 352 с.

26. Замулин A.B. Системы программирования баз данных и знаний. Новосибирск: Наука, 1990. - 350 с.

27. Зубов A.B., Лихтарович A.A. ЭВМ анализирует текст. Минск: Нар. Асвета, 1989. - 158 с.

28. Иванов В. П., Батраков А. С. Трехмерная компьютерная графика. М.: Радио и связь, 1995. - 224 с.

29. Интеллектуальные САПР технологических процессов в радиоэлектронике. / С.А. Алиев, JI.C. Восков, B.C. Ильин и др.; Под ред. В.Н. Ильина. -М.: Радио и связь, 1991. 264 с.

30. Искусственный интеллект: Применение в интегрированных производственных системах: Пер. с англ. -М.: Машиностроение, 1991. 539 с.

31. Карпова Т.С. Базы данных: модели, разработка, реализация. СПб.: Питер, 2001. - 304 с.

32. Корнилова Т.В., Тихомиров O.K. Принятие интеллектуальных решений в диалоге с компьютером. М.: Изд-во МГУ, 1990. - 191 с.

33. Коутс Р., Влейминк И. Интерфейс «человек компьютер»: Пер. с англ. -М.: Мир, 1990. - 501 с.

34. Кузнецов И.П. Семантические представления. М.: Наука, 1986. - 293с.

35. Ладенко И.С., Поляков В.Г. Интеллектуальные системы и информатика. М.: Знание, 1991. - 43 с.

36. Логинов И.И. Имитационное моделирование учебных программ. М.: Педагогика, 1980. - 127 с.

37. Логический подход к искусственному интеллекту: от модельной логики к логике баз данных: Пер. с франц. / А. Тейз, П. Грибомон, Г. Юлен и др.; Под ред. Г.П. Гаврилова. М.: Мир, 1998. - 494 с.

38. Львович И.Я., Родионов О.В., Федянин В.И. Автоматизированные учебно-исследовательские системы. Воронеж: ВГТУ, 1999. - 196 с.

39. Львович Я.Е., Фролов В.Н. Теоретические основы конструирования, технологии и надежности РЭА. М.: Радио и связь, 1983. - 192 с.

40. Любарский Ю.Я. Интеллектуальные информационные системы. М.: Наука, 1990.-227 с.

41. Маковский В.А., Похлебаев В.И. Базы знаний: (Экспертные системы). М.: Изд-во стандартов, 1993. - 36 с.

42. Мальковский М.Г. Диалог с системой искусственного интеллекта. -М.: Изд-во МГУ, 1985. 213 с.

43. Малиночка Э.Г. Автоматизированная обратная связь как средство совершенствования процесса обучения. Саратов: Изд-во Сарат. Ун-та, 1989. -183 с.

44. Малышев Н.Г., Берштейн Л.С., Боженюк A.B. Нечеткие множества для экспертных систем в САПР. М.: Энергоатомиздат, 1991. - 134 с.

45. Матсон Э.А. Конструкция и технология микросхем. Мн.: Выш. Шк., 1985.-207 с.

46. Машбиц Е.И. Компьютеризация обучения: проблемы и перспективы. -М.: Знание, 1986.-80 с.

47. Мокеев O.K., Романов A.C. Технология полупроводникового производства. -М.: Высш. Шк., 1984. 176 с.

48. Нейлор К. как построить свою экспертную систему: Пер. с англ. М.: Энергоатомиздат, 1991. - 288 с.

49. Нечеткие множества в моделях управления и искусственного интеллекта / А.Н. Аверкин, И.З. Батырщин, А.Ф. Блишун и др.; Под ред. Поспелова. -М.: Наука, 1986.-311 с.

50. Новые информационные технологии в образовании / Тез докл. III Все-рос. науч.-практ. конф. «Черноземье-97». Воронеж: ВГПУ, 1997. - 231 с.

51. Норенков С.П., Маничев В.Б. Основы теории и проектирования САПР. М.: Высш. шк., 1990. - 334 с.

52. Оберг Р.Дж. Технология СОМ+. Основы и программирование.: Пер с англ. М.: Издательский дом «Вильяме», 2000. - 480 с.

53. Обучающие машины, системы и комплексы: Справочник / К.Г. Самофалов, В.Г. Слипленко, в.А. Новиков и др.; Под ред. А.Я. Савельева. Киев: Выща шк., 1986. - 302 с.

54. Павлов В.В. Синтез стратегий в человеко-машинных системах. Киев: Выща шк., 1989. - 161 с.

55. Палатник Л.С., Папиров И.Н. Эпитаксиальные пленки. М.: Наука, 1971.-480 с.

56. Петрусинский В.В. Автоматизированные системы интенсивного обучения. М.: Высш. шк., 1987. - 189 с.

57. Питолин В.М, Сушко Н.С. Разработка общей структуры обучающей системы по технологическому моделированию производства ИЭТ // Современные проблемы информатизации: Тез докл. IV Межд. электронной науч. конф. Воронеж: ВГТУ, 1999. С. 28.

58. Питолин В.М., Сушко Н.С., Макаров О.Г. Повышение эффективности обучения технологическому моделированию при использовании трехмерной компьютерной графики // Интеллектуальные информационные системы: Тр. Всерос. конф. Воронеж: ВГТУ, 1999. С 115.

59. Питолин В.М., Сушко Н.С. Разработка учебно-исследовательской системы технологического моделирования ИЭТ // Системные проблемы качества, математического моделирования и информационных технологий: Матер, межд. конф. Москва-Ковров-Сочи, 1999. С. 97-98.

60. Пичугин И.Г., Таиров Ю.М. Технология полупроводниковых приборов. М.: Высш. шк:, 1984. - 288 с.

61. Подготовка информации для автоматизированных обучающих систем / А.Я. Савельев, В.А. Новиков, Ю.И. Лобанов и др.; Под ред. А.Я. Савельева. -М.: Высш. шк., 1986. 175 с.

62. Попов Э.В. Экспертные системы: Решение неформализованных задач в диалоге с ЭВМ. М.: Наука, 1987. - 283 с.

63. Представление и использование знаний: Пер с яп. / X. Уэмо, Т. Кояма, Т. Окамото и др.; Под ред. Н.Г Волкова. М.: Мир, 1989. - 220 с.

64. Присняков В.Ф., Приснякова JI.M. Математическое моделирование переработки информации оператором человеко-машинных систем. М.: Машиностроение, 1990. - 245 с.

65. Прикладная лингвистика и информационная технология / Р.Г. Котов, А.И. Новиков, А.П. Скопан и др.; Под ред. Г.А. Миронова. М.: Мир, 1987. — 161 с.

66. Проектирование диалога «оператор ЭВМ»: Психологические аспекты / В.А. Пономаренко, П.С. Турзин, СЛ. Рысакова и др. - М.: Машиностроение, 1993. -119 с.

67. Разработка и применение автоматизированных обучающих систем на базе ЭВМ / Л.В. Зайцева, Л.П. Новицкий, В.А. Грибкова и др. Рига: Зинатне, 1989. - 174 с.

68. Роджерс Д. Алгоритмические основы машинной графики: Пер. с англ. -М.:Мир, 1989.-503 с.

69. Роджерсон Д. Основы СОМ: Пер. с англ. 2-е изд., испр. и доп.-М.: Издательско-торговый дом «Русская Редакция», 2000. - 400 с.

70. Рубашкин В.М. Представление и анализ смысла в интеллектуальных информационных системах. М.: Наука, 1989. - 189 с.

71. САПР: алгоритмы и программы: Межвуз. сб. / Под ред. Г.Г. Казепно-ва. -М.: МИЭТ, 1989. 174 с.

72. Саридис Дж. Самоорганизующиеся стохастические системы управления: Пер. с англ. М.: Наука, 1980. - 400 с.

73. Сушко Н.С. Использование фреймовой модели представления знаний при разработке учебно-исследовательских систем технологического моделирования // Интеллектуальные информационные системы: Тр. Всерос. конф. Воронеж: ВГТУ, 2001. С. 17-18.

74. Сушко Н.С., Макаров О.Г., Питолин В.М. Средства диалогового взаимодействия в учебно-исследовательской системе технологического моделирования // Интеллектуальные информационные системы: Тр. Всерос. конф. Воронеж: ВГТУ, 1999. С 119.

75. Сушко Н.С., Макаров О.Г., Питолин В.М. Выбор моделей технологических процессов производства ИЭТ для учебно-исследовательских систем // Интеллектуальные информационные системы: Тр. Всерос. конф. Воронеж: ВГТУ, 2000. С. 50.

76. Сушко Н.С., Питолин В.М. Структура ПС графической визуализации в УИС технологического моделирования // Высокие технологии в технике, медицине, экономике и образовании: Межвуз. сб. науч. тр. Воронеж, 2000. С. 3235.

77. Сушко Н.С., Питолин В.М. Учебно-исследовательская система технологического моделирования процессов производства ИЭТ // Высокие технологии в технике, медицине, экономике и образовании: Межвуз. сб. науч. тр. Воронеж, 2000. С. 106-111.

78. Сушко Н.С. Организация процесса обучения в учебно-исследовательской системе технологического моделирования процессов производства ИЭТ // Высокие технологии в медицине, экономике и образовании: Межвуз. сб. науч. тр. Воронеж, 2001. С. 118-125.

79. Сушко Н.С., Питолин В.М., Макаров О.Г. Использование нечеткой логики при разработке учебно-исследовательских систем технологического моделирования // Интеллектуальные информационные системы: Тр. Всерос. конф. Воронеж: ВГТУ, 2001. С. 33-34.

80. Сушко Н.С., Питолин В.М., Макаров О.Г. Модель обучаемого в учебно-исследовательской системе технологического моделирования // Интеллектуальные информационные системы: Тр. Всерос. конф. Воронеж: ВГТУ, 2000. С. 74.

81. Талызина Н.Ф. Управление процессом усвоения знаний. 2-е изд., испр. и доп. - М.: Изд-во МГУ, 1984. - 344 с.

82. Тарасов И.А. Основы программирования в OpenGL. M.: Горячая линия-Телеком, 2000. -188 с.

83. Тейтельбаум А.З., Ходунов A.B. Одномерное моделирование процессов ионного легирования и диффузионного перераспределения примеси в кремнии // Электронная промышленность, 1984. № 9. - С. 41-45.

84. Технология СБИС: В 2-х кн.: Пер. с англ. / Под ред. С.Зи. М.: Мир, 1986.-404 с.

85. Тихомиров Ю. Программирование трехмерной графики. СПб.: BHV - Санкт-Петербург, 1998. - 256 с.

86. Чванова Н.С., Липский И.А. Информатизация системы непрерывной подготовки специалистов: методология, теория, практика. М.: Изд-во ТГУ, 2000. - 518 с.

87. Человек и дисплей / Г.М. Романов, Н.В. Туркина, JI.C. Колпавщиков и др. -М.: Машиностроение, 1986. 252 с.

88. Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. 2-е изд., перераб. и доп. М.: Радио и связь, 1987. - 464 с.

89. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. М. Высш. шк., 1987. - 376 с.

90. Чичварин Н.В. Экспертные компоненты САПР. М.: Машиностроение, 1991. - 239 с.

91. Шемакин Ю.И., Романов A.A. Компьютерная семантика. М.: Науч.-образоват. центр «Шк. Китайгородский», 1995. - 342 с.

92. Шенк Роджер К. Обработка концептуальной информации: Пер. с англ. / Под ред. В.М. Брябина. М.: Энергия, 1980. - 361 с.

93. Adeli H. Knowledge Engineering. McGraw-HillPublising Company, N. Y., 1994.

94. Boose J.H. Knowledge Acquisition Tool, Methods, and Mediating Representations. IOS Press, Ohinsha Ltd., Tokyo, 1990.

95. Gammack J.G., Young R.M. Psychological Techniques for Eliciting Expert Knowledge // Research and Development in Expert Systems. Cambridge: University Press, 1985.

96. Keravnou E.T., Johnson L. Competent Expert System. A case Study in fault diagnosis. London: Kogan Page Ltd., 1986.

97. Naito M., Homma H., Momma N. A Practical Model for Growth Kinetics of Thermal SÍO2 on Silicon Applicable to a Wide Range of Oxide Thickness // Solid State Electronics, 1986. Vol.29, N 9, - P. 885-891.

98. Reif R., Dutton R.W. Computer Simulation of Silicon Epitaxy // J. Elec-trochem. Soc., 1981. Vol.128, N 4, - P. 909-921.

99. Rockart J.F., Scott-Morton M.S. Computer and the learning process in higher education. New York: McGraw-Hill, 1975.

100. Sisodia R., Warkentin M. AI in business and management // PC AI, 1992, Jan/Feb, - P. 32-34.

101. Tuthill G.S. Knowledge Engineering. TAB Books Inc., 1994.

102. Ward S., Pritchard T.I. Characterisation of the Base-Diffusivity Enhancement Factor in a Phosphorus-Emitter Boron-Base Transistor Structure // Solid State Electronics, 1982. Vol.25, N 4, - P.253-259.

103. Wielinga B., Schreiber G., Breuker J. A Modeling Approach to Knowledge Engineering // Knowledge Acquision.4(l).Special Issue, 1992.

104. Yourdon E. Modern Structured Analysis. Prentice-Hall Int.Ed., 1989.111. www.mikron.ru112. kis.pcweek.ru113. cdl. iu4 .bmstu.ru114. www.rsu.ru115. hardware.online.kg