автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.01, диссертация на тему:Разработка способа, аппаратных и программных средств контроля электропроводимости и качества металлизации отверстий печатных плат

ВВЕДЕНИЕ.

1. ОБЗОР МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МЕТАЛЛИЗАЦИИ ОТВЕРСТИЙ ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ.

1.1 Методы контроля качества металлизации.

1.2. Вихретоковый метод контроля толщины металлизации.

1.3. Контроль качества металлизации методом электрического сопротивления.

1.4. Активный тепловой контроль качества металлических изделий.

1.5. Цель и задачи исследований.

1.6. Выводы.

2. КОМБИНИРОВАННЫЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ

КАЧЕСТВА МЕТАЛЛИЗАЦИИ.

2.1 Структурная схема.

2.2. Преобразователь для активного теплового контроля.

2.3. Расчет вихревых токов в металле тепловвода.

2.4. Формирование уравнений для расчета нестационарного теплового возбуждения тепловвода.

2.5. Выводы.

3. РАСЧЕТ СИГНАЛОВ ТЕРМОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ДЛЯ ТЕПЛОИЗОЛИРОВАННОГО ОТВЕРСТИЯ.

3.1. Программа расчета.

3.1.1. Формирование исходных данных для расчета.

3.1.2. Формирование данных для подготовки таблицы термограмм.

3.1.3. Выходные данные после запуска программы.

3.2. Зависимость теплового сигнала от параметров объекта контроля.

3.2.1. Зависимость теплового сигнала от толщины тепловвода.

3.2.2. Зависимость теплового сигнала от толщины металлизации.

3.2.3. Зависимости теплового сигнала от диаметра отверстия.

3.2.4. Зависимость теплового сигнала от толщины платы.

3.3. Выводы.

4. РАСЧЕТ СИГНАЛОВ ТЕРМОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С УЧЕТОМ ВЛИЯНИЯ МАТЕРИАЛА ПЛАТЫ.

4.1. Программа расчета.

4.2. Расчетные модели.

4.2.1. Базовый набор основных параметров.

4.2.2. Результаты расчета, выбор информативных параметров сигналов.

4.2.3. Анализ факторов, определяющих погрешность выделения информативных параметров сигнала.

4.3. Выводы.

5. КОМБИНИРОВАННЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МЕТАЛЛИЗАЦИИ И ЕГО МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.

5.1. Блок-схема программы МТЕ8Т.

5.2. Описание основных алгоритмов программы.

5.3. Анализ результатов работы программы и оценка погрешностей.

5.4 Метрологические характеристики метода.

5.5. Выводы.

6. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПО КОНТРОЛЮ

ТОЛЩИНЫ МЕТАЛЛИЗАЦИИ.

6.1. Экспериментальная установка.

6.2. Результаты экспериментов, их анализ и оценка погрешностей.

6.3. Выводы.

В современной радиоэлектронной аппаратуре основным средством осуществления соединений является печатный монтаж, в том числе монтаж на многослойных печатных платах. Печатная плата (1Ш) стала основным конструктивным элементом радиоэлектронной аппаратуры.

Надежность и срок службы аппаратуры определяются, наряду с другими факторами, качеством и параметрами печатных плат.

Печатный монтаж - это система печатных проводников, обеспечивающих электрическое соединение элементов схемы [1]. Печатный монтаж может размещаться на одной или двух сторонах изоляционного основания, образуя одно- или двустороннюю печатную плату. Исходным материалом для печатных плат являются фольгированные медью текстолиты на основе стекловолокна (стеклотекстолиты). Металлизированные отверстия используются для обеспечения перехода печатного проводника с одной стороны платы на другую.

В производстве одно и двусторонних печатных плат наибольшее распространение получили химический, комбинированный негативный и комбинированный позитивный методы [1]. При изготовлении многослойных печатных плат (Ml Ш) используют послойное наращивание, попарное прессование, электрохимическую металлизацию сквозных отверстий и различные комбинации этих методов [2].

Химический метод изготовления ПП заключается в травлении фольгированного диэлектрика и получил широкое применение как в производстве односторонних печатных плат, так и для изготовления внутренних слоев МПП. Преимуществами метода являются высокая разрешающая способность, простота изготовления. К недостаткам можно отнести отсутствие металлизированных отверстий и пониженную плотность монтажа.

При электрохимическом методе наносят металлический рисунок печатной схемы на нефольгированное изоляционное основание путем электролитического осаждения меди.

Комбинированный метод основан на комбинации вышеописанных технологических процессов. Если электрохимической металлизации отверстий предшествует химическое вытравливание печатной схемы, то используют негативное изображение фотошаблона (проводники прозрачные). Если же защитное покрытие печатного рисунка создают после электрохимической металлизации отверстий, процесс называют позитивным (проводники затемненные). Комбинированный позитивный метод сочетает в себе преимущества химического и электрохимического методов изготовления ПП.

Метод попарного прессования при изготовлении многослойных печатных плат основан на выполнении межслойных соединений посредством металлизации отверстий по типу обычных двусторонних печатных плат с использованием двух заготовок из двустороннего фольгированного диэлектрика, которые спрессовываются с введенной между ними изоляционной стеклотканью. Преимуществом метода является относительная простота реализации, но зачастую прессование приводит к разрушению металлизации переходных отверстий и к отказам соединений.

Метод послойного наращивания заключается в последовательном чередовании слоя изоляции и металлизированного слоя печатного рисунка.

Процесс изготовления МПП методом электрохимической металлизации сквозных отверстий состоит в изготовлении отдельных внутренних слоев химическим методом, прессовании слоев в монолитный пакет, сверлении сквозных отверстий и их металлизации.

7. Заключение.

1. На основании анализа литературных данных выяснено, что в настоящее время не существует технически разработанных способов контроля удельной электрической проводимости, толщины и отслоения металлизации в отверстиях печатных плат диаметром менее 0,7мм (0,30,7мм) до травления рисунка.

2. Обосновано, что активный тепловой контроль обладает достаточными потенциальными возможностями контроля толщины и отслоений металлизации, реализация которых затруднена условиями возбуждения и регистрации теплового возбуждения.

3. Разработаны запатентованный метод и преобразователь для измерения площади отслоения (и толщины) металлизации отверстий ПП диаметром 0,3-0,7 мм и более до травления рисунка ПЛ. Погрешность измерения площади отслоения 12-15% , толщины 6-8%. Преобразователь содержит два тепловвода, обеспечивающие возбуждение и регистрацию тепловой волны.

4. Предложен комбинированный метод, предусматривающий совместное использование активного теплового контроля и вихретокового (или на методе электросопротивления) для решения задачи контроля толщины, удельной электрической проводимости с погрешностью 8-12% и отслоения металлизации.

5. Дана формулировка уравнений для численного расчета вихревых токов тепловвода, наводимых при пропускании по возбуждающей катушке индуктора мощного радиоимпульса тока. Вихревые токи обеспечивают мгновенный нагрев кольцевой области тепловвода.

6. Составлена программа TERMO, реализующая расчет вихревых токов и теплового возбуждения тепловвода и металлизации. По результатам работы программы определена минимальная толщина

ОД мм) и материал тепловвода, полностью экранирующего 1111 от воздействия электромагнитного поля индуктора.

7. Дана формулировка уравнений для численного расчета теплового возбуждения в тонкой пластине, источником которого являются импульсные вихревые токи.

8. Подготовлена для расчета сигналов термопреобразователя (конфигурация расчетной области, значения теплофизических параметров материалов и т.п.) программа кафедры ИТФ МЭИ. Составлены варианты расчета термограмм в зависимости от толщины металлизации, степени отслоения.

9. Построены зависимости параметров сигнала термопреобразователя от параметров металлизации. Получены критерии и характерные кривые (годографы) на плоскости, где любой точке (в определенной области) соответствует металлизированное отверстие с определенной толщиной и степенью отслоения металлизации.

10. Составлена программа MTEST для анализа результатов измерений комбинированным методом. Программа позволяет определить величины контролируемых параметров: толщину слоя (d), удельную электропроводимость материала (а) металлизации и протяженность отслоения (%); вычислять погрешности результатов измерений, определить нарушение теплового контакта с металлизацией при проведении измерений.

11. Расчет влияния диаметра металлизированного отверстия и толщины платы показал, что это влияние можно учесть с помощью поправочных коэффициентов, так же как и для вихретоковых приборов или приборов на эффекте электросопротивления.

12. Результаты расчета влияния аппаратурной погрешности измерений показали, что необходимо обеспечить отношение

119 сигнал/шум не менее бОдб, при уменьшении этого отношения погрешности возрастают, что делает измерения некорректными.

13. Результаты расчетов с использованием программы МТЕБТ показали, что погрешность определения электропроводимости составляет 8-12%, толщины металлизации 6-8%, степени отслоения 1215%.

14. Разработана конструкция и изготовлен преобразователь для проведения экспериментальных исследований. Чувствительность пироэлектрического термопреобразователя ~0,2°К.

15. Изготовлены образцы для проведения экспериментальных исследований в виде набора печатных плат толщиной 1,5мм с отверстиями диаметром 0,3-1,1мм и толщиной металлизации 5-56мкм.

16. Результаты экспериментов полностью подтвердили техническую реализуемость предложенного метода контроля качества металлизации: расчетные и экспериментальные данные отличаются не более чем на 912% (амплитудные характеристики) и на 5-8% (временные характеристики).

1. Медведев A.M. Контроль и испытания плат печатного монтажа. -М.: Энергия, 1985

2. Федулов А.А., Явич Э.Р., Котов Е.П. Многослойные печатные платы. Под ред. Е.П. Котова, М.: Советское Радио, 1973.

3. Круглова Е.Г., Вячеславов П.М. Контроль гальванических ванн и покрытий. М,- Д.: Машгиз, 1961.

4. Автоматизированный визуальный контроль качества металлизированных сквозных отверстий печатных плат. Нага Yasuhiro, Dol Hideaki, Numata Kiyoshi, Endo Kenzo, Shikada Satoshi, Seirnitsu kogaku kaisy. J.Jap. Soc. Precis. Eng. 1990.

5. Dixon R.D., Eassahn G.D., DiGiallonardo A. Infrared Thermography of Subsurface Defects. Mater. Evaluations 1972, N4.

6. Оборудование для оптического контроля. Optiche Inspektion. Pronic. -1991, N12.

7. Maldague X., Cielo P., Poussart D., Emerson P. Thermographic Nondestructive (NDE) of turbine bodies: Methods and Image Processing -Industrial Metrology. 1990, N1.

8. Неразрушающий контроль металлов и изделий. Справочник. Под ред. Г.С. Самойловича. -М.: Машиностроение, 1976.

9. Герасимов В.Г. Электромагнитный контроль однослойных и многослойных изделий. М.: Энергия, 1972.

10. Sukhorukov V.V. Printed circuit reliability's ensuring by the new means for nondestructive testing of the printed circuit board through-hole metallization. / 7th Sump. Rel. Electron., Budapest, 1988 : Relectronic'88: Proc. vol. 2.

11. Ермолов И.Н., Останин Ю.Я. Методы и средства неразрушающего контроля качества. М.: Высшая школа, 1988.

12. Dixon R.D., Digiallonardo A. Thermography of Defects. -Material Evaluation, 1972, №4.

13. Бекешко Н А. , Попов Ю.А. Контроль качества точечных сварных соединений термографическим методом. Дефектоскопия 1971, №3

14. Вавилов В.П. , Горбунов В.Н. , Кузнецов В.Б. Теоретические исследования одной из задач теплового контроля точечных сварных швов. Дефектоскопия, 1973, №1

15. Сергеева И.В. Возможности использования процессов нестационарной теплопроводности для неразрушающего контроля. Дефектоскопия, 1973, №6

16. Горбунов В.Н. , Вавилов В.П., Парватов Г.Н. Решение двумерной задачи теплопроводности для металлической пластины с прямоугольным внутреннм дефектом, Дефектоскопия, 1974, №5

17. Протасов А.Г., Синеглазов В.М. Определение геометрических параметров дефектов тепловыми методами контроля. Техн. диагност. иНК, 1991,N2.

18. Вавилов В.П., Танасейчук С.Ю., Анализ трехмерной задачи теплового контроля. Дефектоскопия, 1981, №2

19. Способ контроля качества металлизации отверстий печатных плат и устройство для его осуществления. А с. 154085 СССР. Романов В.П., Матвеев В.Б., Чинякин С.П.; Казан, авиац. ин-т. N 4340147/24-21.

20. Герасимов В.Г., Покровский А.Д., Сухоруков В.В. Неразрушающий контроль. В 5 кн. Кн. 3. Электромагнитный контроль: Практ. пособие, под ред. В.В.Сухорукова.-М.: Высш. школа, 1992.

21. Шкатов П.Н. Электромагнитный контроль тел вращения сложной формы. М.: МЭИ, 1975.

22. Сухоруков В.В., Разработка и исследование прибора для контроля качества металлизации отверстий в печатных платах. Отчет о НИР, М. МЭИ, 1986

23. Плотников Ю.А. Неразрушающий контроль параметров электропроводящих покрытий. Дисс. к.т.н., М.: МЭИ, 1990

24. Сергеева И.В. Возможности использования процессов нестационарной теплопроводности для НК., Дефектоскопия, 1976.

25. Бакунов A.C., Герасимов В.Г., Останин Ю.Я. Вихретоковый контроль накладными преобразователями. М.: МЭИ, 1985.

26. Новик В.К. Пироэлектрические преобразователи. М.: Советское радио, 1979.

27. Амосов A.A., Дубинский Ю.А., Копченова Н.В. Вычислительные методы решения инженерных задач. Приближение функций, численное интегрирование, минимизация функций. Под ред. Ю.А. Дубинского. -М.: МЭИ, 1992

28. Касаткин М.А., Вавилов В.П. , Тепловой контроль поверхностных усталостных трещин в жаропрочных сплавах. Дефектоскопия, 1988, №3

29. Касаткин М.А., Вавилов В.П. , Тепловой контроль жаропрочных никелевых сплавов. Дефектоскопия, 1990, №4

30. Чинь Суан Жао, Программное обеспечение и алгоритмы контроля параметров тонких электропроводящих покрытий. Дисс. к.т.н., МЭИ, 1996.

31. Cramer К. , Winfree W. Thermographic Imaging of Cracks in Thin Metal Sheets. Proc. SPIE, vol. 1682 "Thermosense-XIV".

32. Lau S. К., Almond D.P., Milne J. M. A Quantitative Analysis of Pulsed Video Thermography. NDT and International, 1991, 24, №4.

33. Grice K. R., Inglehart L. J., Favro L. D. et al. Thermal Wave Imaging of Closed Cracks in Opaque Solids. J. Appl. Phys., 1983, 54 (11).

34. Глебов И. А., Быков В. H., Шурина Э. П., Большаков Л. П.,Распознавание очагов нагрева в массивах ферромагнитных телах. -Дефектоскопия, 1981, № 11.

35. Luong М.Р., Infrared Thermography of Metals.

36. Deplech PH., Balageas D. Mesure par Thermographie Infrarouge Stimulee de Resistences Thermiques d'Interface dans des Structures Bonnes Conductrices de la Chaleur. Journee d'Etude du 9 Janvier 1992, Soc. Fr. des Thermocoens, Paris.

37. Prabhu D. R., Winfree W. P. Automation of Disbond Detection in Aircraft Fuselage Through Thermal Image Processing. In: Rev. of Progress in Quant. NDE, ed. by D. 0. Thompson and D. E. Chimenti, Plenum Press, N.Y., 1992, 11.

38. Prabhu D. R., Hovell P. A., Syed H. I., Winfree W. P., Application of Artificial Neural Networks to Thermal Detection of Disbonds. See 21.

39. Prabhu D. R., Winfree W. P. Neural Network Based Processing of Thermal NDE Data for Corrosion Detection. See 21.

40. Syed H. I., Cramer К. E. Corrosion Detection in Aircraft Skin. -Proc. SPIE "Thermosense-XV", 1993.

41. Selman J.J., Miller J. T. Evaluation of Prototype Thermal Ware Imaging System for Nondestructive Evaluation of Composite and Aluminium Aerospace Structures. See 29.

42. DelGrande N., Durbin Ph., Perkins D. Dual-Band Infrared Imaging Applications: Locating Buried Minefields, Mapping Sea Ice, and Inspecting

43. Aging Aircraft. Proc. of Quant. NDE Conf., San Diego,U. S. July 9-24, 1992.

44. Vavilov V. P., Poletika M. F., Pushnyh V. A. et al. Forecasting of tool's wear resistance by measurement of their thermal diffusivity. See 9.

45. Spicer J. W., Kerns W. D., Aamodt L. C. et al Characterisation of Hidden Airframe Corrosion by Time-Resolved Infrared Radiometry.

46. Sakagami Takaxide, Ogura Keiji, Know-how inspection technique based on infrared thermal images under Joule effect heating. JSME Int. J. A., 1994 -37, №4.

47. Способ контроля качества металлизации отверстий печатных плат: Патент на изобретение № 2159522 РФ, МКИ3 G 01 N 27/82 / Плотников Ю.А., Поляхов М.Ю., Чернов JI.A. 8с.: ил.

48. Долгов Ю.А. Олейник Т.В., Бусько Ф.Р., Исследование метода автоматизированного стопроцентного контроля качества металлизации отверстий печатных плат. Известия ЛЭТИ, 1980, №277, с. 71 74.

49. Курбатов П.А., Аринчин С. А., Численный расчет электромагнитных полей. М,: Энергоатомиздат, 1984 г., 168 с.

50. Камья Ф. М., Импульсная теория теплопроводности. М., Энергия, 1972 г.,

51. Справочник по специальным функциям под ред. М. Абрамовича, И. Стиган. М.: "Наука", 1979 г., 832 с.

52. Дж. Форсайт, М. Малькольм, К. Моулер. Машинные методы математических вычислений. М., Мир, 1980 г., 279 с.

53. Калиткин Н. Н., Численные методы. М., "Наука", 1978 г., 512 с.

54. Родин А. А., Разработка и исследование програмно-специализированного прибора неразрушающего контроля. Автореферат диссертации к.т.н. М. МЭИ, 1984, 21 с.

55. Сергеев В.Г., Сильванский И.В., Поляхов М.Ю., Разработка магнитоизмерительной системы для многопараметрового магнитного контроля качества термообработки конструкционных сталей. Отчет по НИР №21228700, 110с., М. МЭИ, 1988

56. Сергеев В.Г., Поляхов М.Ю., Магнитоизмерительная система для контроля параметров низкокоэрцитивных магнитных материалов. Тезисы докладов XII ВНТК "Проблемы магнитых измерений." ч.2, 2с., Ленинград, 1989

57. Сергеев В.Г., Комаров Е.В., Поляхов М.Ю., Разработка магнитоизмерительной системы для многопараметрового контроля качества термообработки конструкционных сталей. Отчет по НИР №21228800, 59с., М. МЭИ, 1989

58. Сергеев В.Г., Комаров Е.В., Поляхов М.Ю. и др. Исследование и разработка методов и средств измерения ферромагнитных материалов и магнитных полей. Отчет по НИР №11698600 , 53с., М. МЭИ, 1990

59. Сергеев В.Г., Сильванский И.В., Поляхов М.Ю. и др. Автоматизация контроля магнитных параметров образцов конструкционных сталей. Тезисы докладов X ВНТК "Постоянные магниты" , 2с., г.Суздаль, 1990

60. Устройство для измерения магнитной индукции: А. с. 2003998С1 СССР, МКИ3 G 01 R 1/06 / Лагутин О. Б., Комаров Е. В., Поляхов М. Ю. и др. 5с.: ил.

61. Комаров Е.В., Поляхов М.Ю., Сильванский И.В. и др. Малогабаритный прецезионный микровеберметр. Дефектоскопия №9, 1993

62. Сильванский И.В.,Комаров Е.В., Поляхов М.Ю. и др. Разработка и изготовление опытного образца автоматизированной установки для контроля основных магнитных свойств образцов конструкционных сталей. Отчет по НИР №3, (НТТМ "Контакт") 51с., М. МЭИ, 1998

63. Улитин Ю.М., Поляхов М.Ю., Поляхова И.Н., Разработка методов, средств и приборов технической диагностики и вихретокового контроля качества изделий. Отчет по НИР №01970005597, 45с., М. МЭИ, 2000

64. Ахмедов А.Г., Поляхов М.Ю., Чернов Л.А. Зона контроля накладного вихретокового преобразователя // Обзор достижений в области неразрушающего контроля / Амер. ин-т. физики 1999,-Вып.19А.-С.485-488,- на англ. яз.

65. Плотников Ю.А, Поляхов М.Ю., Чернов Л.А. Экспериментальные исследования по АТК отверстий печатных плат преобразователя // Обзор достижений в области неразрушающего контроля / Амер. ин-т. физики 1999.-Вып.19В.-С.1911-1917. -на англ. яз.

66. Каспари Р.Ю., Поляхов М.Ю., Чернов Л.А. Контроль качества металлизации отверстий печатных плат преобразователя // Обзор достижений в области неразрушающего контроля / Амер. ин-т. физики -1999.-Вып. 19В.-С. 1919-1920. на англ. яз.

67. Николаев Д.В., Поляхов М.Ю., Чернов Л.А. Импульсное возбуждение вихретоковых преобразователей преобразователя // Обзор достижений в области неразрушающего контроля / Амер. ин-т. физики -1999.-Вып. 19А.-С.481-484. на англ. яз.

68. Поляхов М.Ю., Савушкин Д.Г., Чернов Л.А. Вихретоковый контроль качества печатных плат // Обзор достижений в области неразрушающего контроля / Амер. ин-т. физики 1999.-Вып. 19В-С.1923-1929. - на англ. яз.

69. Испытаем показала, что внедрение предложенных средств и способов контроля позволяли повысить качество ш сократить время отработки технология изготовления экспериментальных печатных плат.

70. От МЭИ Заведующий кафедрой Эй •^Г^Т Э» В. Кузнецов1. Доцент-/. ГМ?>) «5« А* Чернов1. Старший преподавательот га"шт"

71. Заместитель генерального конструктора1,0»Соломонов1. Ведущий инженер1. В,М,Виноградов0.03е-3 50.07е-3 52.3е-3 101.0е-3 1010 1.0 1.0 1.01. Zone Z.

72. Заготовка файла исходных данных ■1. TRUE.flagCARTESfiagListTaurelax1. TauBeg1. TauEnddTauBegstepTauRES1. Tbegin1. Solve.

73. SLVup = SLVdown: SLVleft = SLVright =1. FILE.nameWar nameRes D2POST.EXE nameList ;;;; nameList1. Control.

74. TRUE. .TRUE. .TRUE. .TRUE.epsdTauMIN dTauMAX maxi terminlterChangeTau maxIterChangeTau1. Zone R.1. Rbeg = 0.0 noZone = 6 1.n. noCV. .qL. .typ0.5е-3 5 1.0 а0.03е-3 5 1.0 а0.05е-3 3 1.0 а2.3е-3 10 1.0 а1.0е-3 10 1.0 а

75. FALSE. . FALSE. 1.00 0. 1.0 0.001 0.01 20.0конечное время начальный шаг по времени шаг выдачи в файл начальная температура

76. Тест для Электротехники' RESULT\dlen50.res1. КЕ8ШЛМ1еп50.пИсоп ;;• 1.е-7 ■ 0.001 0.01 300для обработкилистинг листинг

77. Зависимость Т макс (1т) вариация толщины металлизации1т,с

78. Зависимость Т макс (1т) вариация протяженности отслоения (толщина металлизации 30 мкм).и у48,248 ( 47,8 I-47,6 47.4 47,24746,846,646,446,20,45400%о*0,460.470,48049 1т, с0,50,510.520,53

79. Зависимость параметра U(0,03c)-U(0,001c) от tmtm, с1. Рис. 9.3.

80. Зависимость параметра (Um-U(0,2 с)) / Um от tm0,16515 мкм-♦— бездеф ■а» деф-300,85

81. Зависимость параметра (Um-U(0,2 с)) I U(0,2 с) от tmtm, с

82. Вторая производная функций теплограмм для случая вариации толщины металлизации

83. Г':15мкм Г':20мкм Г':25мкм Г':30мкм.-1" :35 мкм ---------(" :40 мкм Т" :45 мкм-1" :50 мкм

84. Вторая производная функций теплограмм для случая вариации протяженности отслоения (толщинаметаллизации 30 мкм)1. Время, с

85. Г".10% \" 20% Г':30% Г 40% \" 50% .-Г':60% ("70% -Г" :80% Г 100%

86. Вторая производная функций теплограмм для случая вариации толщины металлизации300025002000г1500ф х ха> т гоп Ю00500о .0,010,020,030,040,05 Время, с0,060,070,080,09г':15мкм .Г':20мкм 1" :25 мкм \" :30 мкм .-Г':35мкм .-—Г':40мкм f" :45 мкм -- г 50мкм