автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Разработка и исследование технологии изготовления активных и пассивных элементов лазерных устройств на основе микрогетерогенных структур

даошпчташ ордйга трудного красного атжи

ИНСТИТУТ ТОЧНО ; W/ХЛШКИ M «ПИЯ

На гграгчис рукописи

Димитрова Гергана Людш.товя

разработка я исшдо'-лш технологии ЭТОТОИИЯЛ АКТ'ШЫХ И ИАССИП.'ЬП ЧЖКПТОБ ЛАЗЗИ.'ЫХ УОТРО^СТ!?

нд освдг. шгоргароггсшмх сгрткту?

Специальность Oíi.ii.O? - Оптичеоже и штаки-элактронмио

пгаботе

af.tofeïepat

Диссерта1?«! на соиснгдаг учоноИ степени кг.гдчд-'-та тсхничесг.:::-; из.ук

мшнгрдд 159.1

Работа выполнена на кафедрах технологии оптачоеккх деталей и покрытий и квантовой алсктроиики Ленинградского ордена Трудового Красного Знамени института точной иехгатк» и оптики

Научные руководители:

доктор технических наук, лрочт.ссор

Лльтаулор Г. Б. доктор технических неу::, .профессор Путилин Э.С.

Официальные оппоненты: доктор технических наук, про£ессор Прокопенко Й.Т.

кандидат физико-иатематичесхих наук А баев ¡»¡.И.

Водная организация: Государственный педагогический институт

Зацита диссертации состоится __ííJjz.iíS^_____г

в ___час. на заседании специализированного coserá

'Д 053.26,01 по присуждению учонои степени кзндидатз технических нпух в Ленинградском институте точной механики и оптики по адресу: 197Ю1, Ленинград, Саблкнекал ул., 14.

С диссертацией мотаю ознакомиться в библиотеке JHTM0.

Автореферат разослан

ж-- Á-^JátL______] 991 г.

Ученый секретарь \

спеииалкзироалкного совета V I Красавцев 'В. К.

№n:2£äU921h предлагаемой рао'оти обусловлена гироким прчл менсннем кчкрснорксткх стекол / ШС / з качестве лазерних элементов и нсобходо.!остыо совершенствования технологии их иэготоцпснпя. нсслодорллшг 6vли сосредоточь™ вокруг слодтук»-щих проблем:

1. "Технология обработки поверхности МПС. В настол'цое зрст.-л недостаточная пнрормшц'я по вопросам формирования по-bjpxuocTHoro слоя / ПС / этих материалов, получаемого я результате исхгличоско.; обработка, позвияягаего прогнозировать изменения характеристик поверхности Df> времени щзцтят трудностей по ллготоилешш лазерчых эломектил иг. оси от» пористых стекол с яоспролзБодт.'цки и стабилышми эксплуатационными xapai: то ри с т i! к »у.и \.

2. Технология герметизации. При яаготоякешж тюрдотель-iro-;;:n,г,костных лазерных иломентов, получаем« пропиткой поркс-того стекла жидкость« обычно используют дорогостоящие кюш-ты. Альторнаткшиц пода од сапсан с герметизации поверхности пористого стекла точкесло'Лнияи пократкяш. До последнего времени эт." ггроблгила з литературе не рассматр!; галас.ь.

3. Технологии получения нелинейного оптического материала.на основе МПС. К настоящему времени на основе ,'.SIC получены различные комлозкцненные оптические матеркаш. Значительный принципиальны;! и практически!! интерес представляет получение 'композиций, обладающих ногами свойствами. Среди них возможность получения микроскопического изотропного материала с зпачитчзлыю:'! квадратичной нелинейностью.

Цели настоягр;: рао'отн состояли в следтарм:

- исследование плияпля технологических факторов / шд полируэдзго перояиа и длительность обработки / процесса полирования на зокономгрпости формирования ci-.o/.стя и структуру поверхностного слоя о^разцон МПС;

- исслодоюлгз вдипния тср:лическоЙ обработки на параметры ПС до тале Л из ШС;

- исследование столони гор'ктиг?ацни поверхности MIIC при

нанесении гидрсхообних оптических покр»да:н его рабочие поверхности;

- разработка оптчческого оле;-.©кта «а основе аорнотого стекла, обладающего э$ектам удвоений частот.

Вой§-и32Шцо_вс!2жтогй и п^ш^ниа, нзюстые па защиту :

1. ¿¡сслодоваьа зависимость формироитлил но;йрхпостного слоя МПС от технологических факторов / дад пшюж-з, вро.чя об работки / процесса поли ров-шиш и ол.-оцслени олтш-.гишше ус-лоьия обработки: полиропанке порошком магам Ос ох п течении 5-5 часов достигается постоянные значения показателя преломления / о сл = 1 ,3?5 /' К TOJl!i¡!lna СЛОЯ / d -- 60 ин /.

2. Олредзлена ¡.юдоль поверхностного слоя, отзывающая результаты еляипошвтркчесхих изшрзниЯ с параметра»® поверх постного слоя: модель неоднородного слол ндеболео адекватно описывает- исслз.пучиуг, поверхность МПС; гчц'л:ьаткость подели определена ыинийальноЛ разницы в шчисяпшшх к нзлэрешгаХ значений эллшссг.ззтричееких параметров.

3. Показано, что при рожи«.! термообработки - тзше ад-тура '500-650° С б течении 4 часов, осущостытетск стабилизация параметров ПС деталей из ШС.

4. Преддакона и ра ачкзоиш a технология герметнеацин поверхности ¿IJ1C на осиок- гидрофобных оптических покрытий SiOc., полученных методом ьояногс рсактикюго распыления, которые обеспечяьавт сшшяш» коэффициента диффузии отанола на три порядка по сравнения г. коэффициентом дий'Узии самого порип-того стекла.

5. Создан вошй оптический ко;д|Оз;:циснный элгаент lifiC-яелкнеиньД неорганический кристалл, хотеркй получается в ро-•i.yJ^taTd роста годораствосишх кристаллов / ипнрягмр, AD Г, KD Р. UlÓg, L- аргинин хлорид / в капиллярном прэстрансгн) tóiC, Б дамках материалах калугой эффект у.цва=жня частота из-лутгздия ксодного лазера с аЭДвктяичоегь» ^ i г.взаазеи-Ий от ojüueatsuKK об'рлзцг по от;<та:з;>::ю к каяр-'iEлен;;» p&cnpos*

'гранения лазерного излучения.

1. Шя пленной критерий состо-шнп поверхности №С может бить ИСПОЛЬЗОЮН ДЛЯ СОПДЭНИЯ аКСЛрОССЛСП меТОДВКИ теляояо-гическог'о контроля качества лаьорных элементен на ос» и га ШС. •

<2. Влявлеинье закономерности формирования ПС образцов ШС в процессе полирогапия могут послужить основой промнш-лснноИ технологии нслучзнил элементов из КПС с требуемнда п я рамс траки п сш тан ости.

3. Про к* донные исследования стегглп герметизации погерх-ности пористого стекла с нанесенными гидроробвыьи штически-7.3" покрцтияип повиоляю? добиться существенного улучшения эксплуатационных характеристик лазерных элементов а д/'ффу-

зч они ой л элеитсопрскачпсП красителя.

4. ИотИ ктиоыщпоикиЯ материал ШС - налккеЯнкЛ кристалл !ю.7.ст быть попользован как простой доивши шзуализатор излучения лазеров блнкпего >■:!{ - диапазона.

- IX научная конференция о'оягарских аспирантов я СССР о мс.-зсдународаъ'М участием, Москва, 4-5 июня 1987 г.

¿трухтх£а_и_со52щапие_ра2отьк ^сссртацкснная у-абота состоит "из итдония, трех глаз, заключения и шаодов. Работа изложена на 13 5 стр., включает 7 рис. к 7 таблиц. Приведен список агнотиг/ов.'лиой литературу, вглютат.тци'Л 15 2 наименований.

ЁЗ-МШёШШ сформированы актуальность, цели и

задачи дисеертацяшнси работа, ез с:етзь е проблемками, пред-ставляюциш научны1/ и практический интерес.

[!еVваллава псснящена исследованию поверхностного слоя деталей из МПС & лроцсесз яслироьзння.

Интерес к исследованию поверхности ШС гыован трудностями по создании,актншцх и пассиЕкцх элементов на их основе с воспроизводима!® эксплунтацконна.чи характеристик;и:п, ксторье во многом определяются стабильностью иослрю-заодч»ость:о комплексов свойств ПС этого материала, '.'то обусловлено, с одной стороны, отсутствием критерия качества, огпсцкакирго динамически изменятациесл ь процессе п ол; ;р о панн л свойства и структур!; ПС пористой матрнш. С друго."; еторопи, полированное стекло вследствие шогокошоионтности, нестехаоштрли-ностк и юсьма иитоасишого взаимодействия с компонентами окрухгшгрй среди яачяетол слгдным объекте;.: дл;: аналитического изучения.

Параметра ПС ! показатель преломления и толчена слоя / оптических деталей определяют качество изображения оптических систем, » которые1 они входят. Состояние полкрентной по-пэрхнести имеет существенное значение такта при нанесенич тонких слоев, которое обычно повторяет микрорельеф и дефекты подлогиги. Гакик образом, поставленни.е в данной работе задели определяют необходимость исследования динамик: формирования ПС оптических деталей из ШС при полировании.

В этой гласе исследована зависимость параметров ПС пористого стекла от следующих факторов:

а/ шд полкруккцего абразива:

- порошок марки Ссгох, сироко применяем::! б оптической технология при обработке силикатных стекол ио-оа своей н;со-кой полирул-цеЯ н хе;/осорбц!юшюл способности;

- оксид алтадшия, разработанной сотрудниками Института оптакк в г. Софии и оо'ладахж^'й нкяноХ хемосорбцланной способность»;

- оксид железа / крокус 7, применяешь в оптической промышленности для точной доьодх'и Фсрл,: поверхности и чистоты;

б/ время полирования;

п/ герничвеная обработка.

Предварите льная подготовка образцов проходила по классической технолога, аклвчаоцей операции грубого 'хляфовакял,

- ';> -

it.ярлйчг.;хш1ш. для получении образцов в соответствующими параметрами псристон матриц;;, томного ютф^иания. Детали пп ШС продетапдяли coO'oii ппьгллолепитода г, размерами мм

и тояирнол 3 мм. Сни пмзлк сд^накогзу^ исходную поверхность / Н н - 0,03 мкм /. Сбг;пя ошибка ¡¿•opssi поверхности .составляла N « l-U, ¿чК' = 0,5. Полировачие проводилось и ручном режк-м-э на оптическом досодочнсм станке СД-2. Отсчет длительнос-тп полдроог.тл производился о- момента. появления на поверхности сбрггйда интерференционной карги:ш, рашамерность полирования вссп поверхности контролировалась питерТюренцкокним методом, ¿^памяка из ж пенил характеристик поверхности оценивалась дискретно через каедгй час обработки в течении восьми насос.

Доследование изменен»» показатели преломления и толгс^ны слоя г. процессе полирования производилось методом эллкпео-метрии на лазерном оллкнео/язтре ЛЭФ-ЗН при дпух углах падения cmаа. Нзюреиние поляризационное углк д и ¥ является усреднениями по пегорхиисти исслсдуе»«а: образцов, йадоукв эллилеомэтрические параметра л и V , яашкцкеся функцией параметров страдающе;! системы, мс.'но ада.слить ее показатель преломления и тсл^лаз.

Посокльку о(л&ктом исследования являются нориегке стекла со слсгаой нерегулярной структурой ПС, щедставйяатся целесообразным анализ применимости различим* модельных представлений длл интерпретации эллшсометричестгкх измерений. Ддак-гатаость гыбраяка; модели определялась минимальной разницей в измеренных и а-чмеленннх по данной модели эллипссметричео-ких параметров.

Рассматривались следующие модели поверхности: модель однородного слоя, модель неоднородного слоя / ШС / с опепо-понцлальным оптически:? профилем, .МНС с экстремуме в слое. Показало, что модель неоднородного слся о зкетренумем с слое наиболее адекватно сппсызает пошрхнсстъ образцов МТС, фор-мирушукюя в результате полирования.

'.¡ззестно, что качество пог/фхности оптических деталей, характеризуется '¡осмол, ?.глкрорс-льофом и классом чистоты. Од-

- а -

наио для актишьд. к ласси uiü.'X элементов лазерньх устройств ва&ше рабочие характеристики определяются постояпстпом оптических параметров ПС во ¡¡рем ьксплуатации. I кавтоагрв врш.мч отсутствует кратера:! состояния поверхности деталей из И1С, что яшшбгся трудность® создания качсственинх элементов на их основе. Дншша массива экспериментальных дач;?;.х позволяет алднлнуть м Ka-iocTi-з критерия состояния ¡1С слодуюсре пркзнакн:

1. Достижений shouöhkU дллииеогх'трьчэдли: паря; xvrpo?. л. и Т близких к значениям объемного ;:aieu::a'ja.

2. Достижение разнив' в значениях параметров яоворхкостного слоя JSIC при разных условиях измерения. Шпа'шешм отм'о услоьпя означало бн однородность ПО.

3. Досугиаенае 'шчлгальяой разницы и знпчукйях показателя прзломлоиия слоя и объемного ¡.»атерлала, а таксе м'.ннмаль-ноз здачвг.иа толщиHi. слоя. По атоцу признаку аозспо определит;. насколько оуосгмсовавшийся в реаульта-гь полирования слой отличается от параметров объемного материала.

'U '-оотижечла пос-тояистне,' в значениях ппра^етров ПС при увэличзчяа времени пояхрогешя, что дает соз^сспость определят!. оаодидышо время обработки для лолучония поверхности с требумами на^амутраш.

Анализ результатов исследования состояния ПС деталей из ШО, обрлоотаишх покирузяэм: порошками Cor ох, слсядом алюминия и'сксадсм кедеза, позволяет рекомендовать Oer ох для полирования посистых стекол, так кап его пршодекяе делает возможный падения аломеите., поверхностей .слои которого обладает сати&шяышш свойствами; Научение данашкн формирования свойств и стунтурь- поверхностного слоя ЫПС сделали возисшшм определять олтлнальное, с точки зрения состояния ПС, ирзмя поларозшгая, соат&алящео приблизительно пять часов. В соответствии с првдаоаеияык критерием состояния поверхности даль-нс-й'^о полирование является нецелесообразна!), тал как параметры НС приобретают постоянна значения.

¿¡альнейаие исследования nosasajci неоС>:сд:;.\:ость прегвде-нкя термической обработки образцов для стаСйлиэаади. иавамет-

>в ¡i";. Термообработка проводилась з дна этапа» продваритель-) де.тли обрабатывались при тешвратурв 120°-1б0° С в тече-:и 1 ,!j часа .для наделения химически неовизанноЯ зодц, а запри более шсоких температурах 650° С в течении 4 ча-13, когда, по-шд!:моцу, шгораот продукты спопирсшваник, додяи'деся в порах ПС.

L:.?_21929Ü-L'-üSíS рассматривается процесс герметизации по-рхпоста íllC путем начссения гадро^ойтх покрытий и свяаан-:е с этан технолог; чзскив вопроси.

Развитие лазерной техники в большой степени опредоляет-: созданием и исследованием оптических сред с нстш физи-|-х!1М1ческиш и оптичоссими хасакгеристикаш, Результата следования оптических характеристик И1С показали перепек-ачость их применения о качестш матрица яаоеркх актиших пассивных элементов. Традиционно указанные элемент»; шпол-мтец и няде оптических кювет, заполненная расторгши соот-тстгутащ красителей и размещенными в их объеме блоками С. Сложность конструкции тагах элементов сказывается отри-:тольно на эксплуатационных характеристиках. Слодуат отметь, что шеокие точностнее требования, предъявляете к из-•товлен/ю компонентов стандартных активных элементов с ваза-а большими трудозатратам. Кроме того, при прнвнзнии меда электропрс-качки возникает проблема, связанная с гаупти-шанио.ч ионного тока через обгон Й1С вследствие» неконтроли-еиого переноса нонов красителя в зазоре между MIC и пащнт-м стеклом. Возникают также и технологические трудности, иззлные с удалением воздушных прослоек и зазоров, что при-дат к необходимости лрмшне.ния сакуумирования при згполне-я ШС соответствующими растворами красителя, Указанное юбвеммы могут быть разрешен;; путем герметизации рабочих по-рхност;;й ШС оптическими покрытиями, что позволило бн су-стгйшо упростить конструкции актинп-.х элементов на оснозе 1С и улучшить характеристики приборон,

доставленная ц-зль мелет бить достигнута путем нелясенид дрофебных покритий, прозрэчивх в рабочей области спектр*

активюго элемента. При атом желательно, чтобы донуспи.з.-.-размерь, открыт« пор покрытий, оиооделяеше размерами молекул птанола, находилась в предолгие 4 д. Для нанесения тонких пленок были испальзовша: епкртошо растьогь; тетраэтоксисилл-на ¿»/ОС^П^/^ со следующими концентрация»!: ?, 9, 14, 24 Варьируя технологичэсянш параметрами били нанесем; лсследо-вательнз три слоя, причем слои прогсешлся при темпе-

ратуре 300° С в точении 30 ичпуг. Гыли ш>юсе(ш покрытая Э'О

элоктроняо-лучешм методом, а потом фотополимеризилую:;;,!/* ело;: 5>С'2 с прибавками Ре дел улучшения полимеризации, "етодом ионного реактишого распадения билк наносо?к четиоохслойнь;о покрытия со слодутоиузй конструкции: 5 0,1? Н.0,461_ .1 ,92Н.0,ЭС

В связи с функциональней назначением покрытий, нанесенных на поверхности МПС, необходимо ипследосать их проницаемость. О стеленн гкдро*»обизацик поверхности М1С судали по коэффициенту дифрузик солыента через покрытие. С отс:: целью исследовались прсцесои переноса кок молекул этанола, так и этанольНого раствора красителя рола««' б! / Р б!" /. ¡-«топика эксперимента состояла в нанесении капли реагента на обработан ную поверхность, причем боковое гр?лн пластинки били полированы. Для возмещения убь^и раствора с поверхности образца вследстше гисихания и.пенетрации с лоиоадо пипетки наносились дополнительные' порц!1Н раствора. При диффузии сольвента в о&ем образца наблюдалась ярко вграженнап граница фаз, емзщакхцаяал с объеме.

Для измерения скорости дшяения фронта пропитк;* использовалась проекционная оптическая схема. При обработки окспери-кентальнах результатов применялась ферула для оценки диффузии в полуогранкчоннсм пространотее точечного источника.

Также было проведено исследование ди,фузии кгасителя Р 6К через исследуемое покрцтае. Эксперимента провалились по следуют,ей методики. Дпя проведения исследования разработана конструкция ккеетц, которая делится исследуе«:м образцом на два объема. При этом незащищенная сторона образца контактировала с этанолом, а сторона с гндрофобняы покрытием находилась в контакт« с объемом этанольиого раствора красттеля.

1роднармуолыхо обрааци ¡'ЛС были пропитаны этанолом, Ксслйдо-!0И1'(з ди.рфузкн красителя приводилось лерноднчзскини измерена,¡и пропускания на длине волны А= 532 нм на спектророто-:отре ОФ-20. Для обработки окелор!'««нтслъяшс результатов при-1«1'1плея катег/атический аппарат, опии-кассой процесс сзмодпш-)узии тглагопта л полупространство с гримшсют уел о га-лет пер-юге рода / т. с. при постоянство концентрации растсора на ошрхность /'.

г результате иссл^дошлий установлено, что козТхфициеят р&узии ета-'ольного растзора красителя ? 65К через покрытие ¡оставляет 0,6.10"-1-- сг./'/еек для оцноело^ньх покдати.Ч и ¡.10 А" сю сек для трехсло'Ап.'Х пеярьтнл, что на три порядка Екьше, чек коэффициент диффузи;- самого пористого ответа. !то позполяет сделать ей я од о значительной степени гидргфо-¡изш'лк побз рхностк ШС.

Известно, что свойства тонких пленок обычно отличаются >т сзо/стк каезншого образца, что обусцовленно структурой и.-енок, яглшкдепек осноенш.! фактором, огпеделяхм^м как опти-юские / показатель преломления, рассеяние /, так к мохаии-юскне / плотность слое г., адгезия / сес^ст за оптических по-сонта». С друге:"! оторопи структура тонких слоен зависит от [роцессов, протекающих во арем!1 осагдения и роста кристаллов, )бразув!цих пленку.

Предпринятый анализ методов нанесения оптических покр.:'-?ии с точ;:и зрешя технологических факторов, еяределягои^х ;труктуру и проницаемость тонких слое;! показал, что решение ¡оставленной задачи / получение гидрофобных покрытий с шни-«ишноЯ проницаеноеть'о на поверхности МТС / мехно осущест-знть методом ионного рзактиздого расголсния при бомбардаровсе растущей плеши низкознергетическили иопела/, Тпределяюпги-

фактора;« от ого метода являются энергия ионов /303-500 эВ/ I плотность ионного тока /О-ЛОО цА/съг/.

Ъ работе установлена необходимость нанесения дспожитоль-■¡ого гидроробнего покрытия / например, нанесение нергфчшо-:■(.• слоя /, обеспечивавшего ег\е больнее снижение езлхздны {с»ф{гцкеята ;у:;фус,ин. ¡'.роме того, покапало, что у:»лечения

количество слоев приводит к пропорционально.'.«;/ уменьшению зс— лиадмы коэффициента диффузии. Однако при шборе конструкции покрытий надо учитывать требования к их спектраяьннм характеристикам.

Полученные по рекомендуемой технологии оптические элементы на оонош МТС с гидрофобными покрытиями были использовали в перестраиваемых лазерах с когерентной накачкой. Результата испитоаий показали преимущества разработанных активных элементов по сравнению с традиционными, обусловленное их пон-шенними оптическими характеристиками.

Детальные исследования лазерной прочности используемых . покрытий не проводились, но при лазерных урошях накачки /10-100 МЙ/сч2/ разрушении не наблюдалось.

Таким образом в рамках настоящей работы разработан ношй активный элемент на оопо.г минрогстерогенной структуш типа MIIC, на рабочие поверхности которого нанесены гидрофобное оптические покрытш, что приводит к улучитни;о эксплуатационных характеристик лазерных устройств, в которих они применяются.

!iE£Ika.CS§i3 посхящена разработке и исследованию композиционного элемента на основе ШС с квадратичной оптической нелинейностью.

Эффект генерации гармоник находит широкое применение как способ получения когерентного оптического излучения б более коротковолновом диапазоне. Процесс генерации второй гармоники связан с взаимодействием двух ноли: вонбуждаг/дей волны на основной частоте и волны второй гармошки, Известно, что для реализации способности нелинейной среди эффективно генерировать вгоруи гармонику необходимо наполнение условия волнового / фазового / синхронизма. Генерация второй гармоники возможна только в средах без центра симметрии, т. е. в анизотропных 'кристаллах. Однако микропористое стекло дает уникальную возмсяглость " нарушить " это правило. .Действительно, если ввести шшзотропные кристаллы p. пори ШС, то мояпо получить материал с квадратичной оптической нелинейностью. Ол-

о'ор нелинейных кристаллов, кототе могут быть использовали для сЛректплно:! гепер;щщ второй гармоники, производится при сопоставлении параметров кристаллов с режимами лазера основного излучения и характеристиками этого излучения.

Структура МПС позиоллет, заполняя-его капиллярное пространство пелиней1гь;;.;и кристаллами, получить композиционный олемект некрнтшп1к>: к ориентации кристаллов. В таком элементе эффективность преобразования будет пропорционально соотношением количества ишсрокрасгаляоя, ориентированных по направленны синхронизма, к общему числу кристаллов. Для вд-.чолненка постаалоипои задачи использовались следующие нелинейное криет.чллн: догндрофоофат аммония ЛОР, дигидрофос-шат калия КОР, иодат лития И Юо, 1_- аргчпин хлорид, разработанный сотрудниками Физического факультета МГУ. Перечисленные кристаллу, хзходаигие и группу водорастзоривдх, шбранны из слодукямх соображений. Водораствори&аз кристалл:! характеризуются гисокиы оптическим качеством на больших апертурах и длинах, и;и легко синтезируются, уетейчиш я лазерному излучению.

Наиболее распространенным процессом масс оперен оса в пористых а-елах является перемещение растворов под действием кглллллрнцх сил. Кинетические закономерности заполнения пористых систем связали с параметрами их структур / сАций обгон пор и об-ъам их отдельных разнсЕЗДносте}!, характеристи-чоские размеры пор и распределение их по размеряя, гнутрон-ная поверхности пористой систсвд / и определяют а;бор мэтода изготовления нового оптического элемента. Заполнение ШС проводилось из соответствующих растворов перечислении Ве-ЩРОТБ.

Необходимо отмстить, чте хотя размеры пор матриц меньше длины волны пзда-шзго излучения, в процессе зарэдашеобразо-взния и роста кристаллов в кглнллярном г.ространатре ШС образуются поликристаллы с разыераяда бельке дпиш. иолнк спета. Гтго обусловливает наблюдаемое рассеяние ношк элементом.

Исследование аЭДеятишсети нреобразования во ргорую гармонику проводилось на установка, содержащей лаз»р нашген со

следузицими параметра:,и: энергия кшульса I«/ = 30 цГрк, частота | ю 12,5 Гц, длительность лазерного импульса Ъ - 15 но.

Экспериментальные результаты исследования ношх материалов показали, что коэффициент преобразования основного излучения на длине водны А*- 1,00 ич в излучение агорой гармоники имеет максимальное значение для композиции ШС -и составляет величину ,5 Этот элемент может бить попользован для шзуалпзацин блинного ИК излучения.

Ооношое прсимуцест но тага к визуализаторон по сра>.нент' с иопользуеодш в настоящее время спеченными порепчамп нелинейных кристаллов, состоит в больной ыеханическо?. прочности и наличии в>1 ококачестренноЧ опта»еско;! пооетолоот/..

Если удастьсл решить про0'ле;лну уменьшения размеров миксо-крнсталлов до размеров пор микропористого стекла, то к перечисленными преимуществами прибавится и отсутствие рассеяния света.

Б заключении ойорыулировяны еенрпнцо.р^зуяы^ты и шво-£цл полученные в работе;

1. Исследование динамики йормироиаШ'Ч! по'юрхпостного слоя детален из Ж С, о работанн^х полирующими порошками

Се ох, оксидом, аламиняя и оксидо;.; железа, пса волгло определить оптимальные условия / вид пороша, время полирования / для получения ПС с троОусшии параметра.'.!!.

2. Ка основе анализа применимости сумеетвукцих модельных: представлений поверхности, используемых для интерпретации эллилссиетрических измерений установлено, что модель неоднородного слоя с экстремумом оптического прориля наиболее адекватно описывает поверхность образцов МПС, полученных в результате полирования.

3. Экспериментальные результаты показали необходимость проведения тершческсй обработку после и&шровании деталей из КИС для стабилизации парапетрог. ПС.

4. На оснонз анализа выполненных исследований р:ярпбо-тан критерий оценки состояния поверхности ШС, получаемая в

Г>. Показано, что улучшение эксплуатационных харантермс-и упрочнение конструкции тра двойных активных элементов оспою МПС макс? быть достигнуто путчгерметизации по-хности пористого стекла нанесением гидрофобных оптических рытиЛ. Розультатц исследования показали, что применение хслокиого покритня ЬЮ^, получен).ого методом ионного рентного распыления, приводит к сшжеиию коэффициента диф-ии на три порядка по срашению с лшойЬицикнтсм диффузии ого пористого стекла.

б. }'азрг,иот,ш иошГ> оптический покиознциокнцй материал : - н!;лине;:кни кристалл, обледэхщий эффектом удвоения час-ь. Определена область его применения и преимущества по шежш со стандаргним шзуалкзатором.

^ЧЪ (у-Ч ^

писано к печати 17.0с.91 г. 0б7«м \ П. л.

аз 342 Тиран 100 экз. Бесплатно

апрпит 190000,Ленинград, пер. Гришова». 14