автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.13, диссертация на тему:Разработка и исследование принципов построения систем обработки топологической информации и формирования фотошаблонов ЦМД-микросхем на базе высокопроизводительной ЭВМ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ

ИССЛЕДОВАНИЯ.I?

1.1. Анализ существующих систем обработки топологической информации БИС, языков описания топологии, алгоритмов и программ формирования фотошаблонов БИС.

1.2. Определение основных проблем обработки топологической информации и формирования фотошаблонов доменных интегральных микросхем.5*

1.3. Постановка задачи исследования . 5Ь

ГЛАВА П. РАЗРАБОТКА ПРОБЛЕМНО-ОРИЕНТИРОВАННОГО ЯЗЫКА ОПИСАНИЯ ТОПОЛОГИИ ДОМЕННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

2.1. Разработка основных конструкций языка

2.2. Создание операторов описания топологии

2.3. Разработка операторов действия над элементами

2.4. Реализация операций перехода.85"

2.5. Построение оператора присвоения

2.6. Построение оператора запоминания .8Я

2.7. Построение оператора продолжения.б

2.8. Разработка оператора для указания типа технологического оборудования производства фотошаблонов.

2.9. Разработка операторов для вывода информации на печать

2.10. Построение оператора масштабирования

2.11. Построение оператора возврата в начало координат.

2.12. Разработка операторов для вывода информации на фотоповторитель

Выводы

ШВА Ш. ОРГАНИЗАЦИЯ И СТРУКТУРА СИСТЕМЫ ОБРАБОТКИ ТОПО- / ЛОГИЧЕСКОЙ ИНФОРМАЦИИ И ФОРМИРОВАНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ ДИМ (СОТИФ ДИМ).

3.1« Технические средства обеспечения СОТИФ ДИМ . . ¿

3.2. Программное обеспечение СОТИФ ДИМ . . . , . . . ¿

3.3. Структура транслятора языка описания топологии дим.¿

3.3.1. Разработка блока синтаксического анализа . . . ¿¿

3.3.2. Создание организующей программы . . .ш

3.3.3. Организация библиотеки стандартных элементов . ¿

3.3.4. Формирование библиотеки стандартных масок . . ¿2?

3.3.5. Реализация программы автоматической аппроксимации элементов топологии ДИМ . .¿

3.3.6. Разработка процедуры образования рабочей программы

3.3.7. Разработка принципов формирования топологии ДИМ.

Выводы.¿

ГЛАВА 1У. СОЗДАНИЕ И РЕАЛИЗАЦИЯ АЛГОРИТМОВ ПРОГРАММ СИСТЕМЫ ОБРАБОТКИ ТОПОЛОГИЧЕСКОЙ ИНФОРМАЦИИ И ФОРМИРОВАНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ ДИМ . №

4.1. Разработка алгоритмов организующей программы (оксрж)&1) и стандартных подпрограмм для формирования и вывода управляющей информации на координатограф . .¿

4.2. Разработка алгоритмов организующей программы (окшюаг) и стандартных подпрограмм для формирования и вывода управляющей информации на микрофотонаборную установку . . ¿

4.3. Разработка алгоритмов организующей программы (окарноаз) и стандартных подпрограмм для формирования и вывода управляющей информации на фояо-повторитель . . т

Разработка алгоритмов организующей программы ((Ж(*и?0(34) и программы автоматической аппроксимации элементов и вывода топологической информации на экран графического дисплея . . . *

4.5. Изготовление фотошаблонов ЦМД-чипов малой, средней степени интеграции . зоЗ

4.5.1. Проектирование и технология изготовления фотошаблонов чипа 4 кбит . /

4.5.2. Разработка и изготовление фотошаблона чипа средней степени интеграции - 64 кбит

4.6. Исследование и создание методов контроля топологии и изготовления фотошаблонов ДИМ

Выводы

За последнее десятилетие одним из перспективных направлений развития средств вычислительной техники является разработка устройств на цилиндрических магнитных доменах (ЦМД). Физические свойства ЦМД позволяют реализовать на одном кристалле функции памяти, логики, коммутации и отображения информации С I 3. ЦМД -структуры обладают малыми габаритами и потреблением энергии и характеризуются высокими информационной плотностью (до Ю5 - Ю7 бит/см^), быстродействием порядка нескольких мегагерц,надежностью и энергонезависимостью (сохранение информации при отключении питания) С 2, 3 3. Все это обуславливает возможность широкого применения ЦМД - систем в приборостроительной отрасли, основные этапы развития которых показаны в таблице I С 13.

Конкретное применение доменные структуры в вычислительной технике нашли в качестве внешней памяти мини- и микро-ЭВМ, в системах ввода-вывода информации и редактирования текста, в устройствах подготовки данных и отображения графической информации, в программируемых терминах и ассоциативных процессорах, в станках с числовым программным управлением.

Основные усилия разработчиков сосредоточены на создании доменной памяти для замены магнитных дисков. В настоящее время по функциональным и стоимостным показателям ЗУ на ЦЩ могут успешно конкурировать с дисковыми ЗУ с фиксированными головками. Однако, существенное повышение информационной плотности доменных ЗУ (разработка чипа емкостью 11,5 Мбит фирмой Bell [4]jпозволяют ожидать замену в ближайшем будущем дисков с подвижными головками доменными ЗУ.

Основной конструктивно-технологической единицей на ЦМД явля

П1СиГлицс2. í. йиамтр цмъ (ыкм) $U.<lH¿fi¡p nvjAcHz- <ÜL (HM J 6м&>сл4 tU-fi-ÙL. Opaírunu.-¡уоёочяйи pOS-U-tp ÍÜJLLL (мм*) ЦШбооЪраз-KÜA eukmic ЛУ (fífrúMsnJ C/lCCcf ¿H/KU/KWJL jUUXpomo/lCU 0¿£LiL

Ъ 50/Jô Ш&ш. ¿úQKÓutfn 25ЬК£шп. Sx S <5X6 2S—5.Û 5" —10 (рьтсииМУгрснра ¿i fo ra cM-imccpûCfti л г ?5<Jûû O.SM'Süjji iMfußL 10Н£ш 6x6 10*10 ZOÁ 35 10 ^ZO 2.0-40 À 0 ±80 (рот cvM/nc¿p^)u jl ípüiTL C.UJU1L С ¿pu^u 4L ^tMtpcnó ¿U/nc^rtípasL

1 7sm ¿Моим. iÚtítuAl iQQHfafil isns 4O/40 Mo 80 loo dU üanpOHCulL/fic^. \2j)u ¿i âitfUTLpDHoXiù'^OcAi^u Л

0.5 ШШ iû Him iÛÛHbd lOÛÙHÎuJn mío lÚAdO* 35X 35* 100 IODO 1 OQQO„ fp S iü 8Щ áLtt¿mpcHcMJJiic¿p>yju ÍL 3U№ipoHi>jj.U/icepafu Л SJiúMipüdCjlu/n. c¿pafü ¿L pCrf<?¿ri0J¿Ú7l C¿p£ipU JL. ела. иепсци^ет. ¿ьаееи&е. доменнн/ р toasts к ется доменная интегральная микросхема (ДИМ). Проектирование топологии ДИМ, насчитывающей от сотен тысяч до сотен миллионов элементов на кристалле, и изготовление фотошаблонов - чрезмерно длительный, трудоемкий и дорогостоящий процесс. Достичь радикального сокращения сроков и стоимости проектирования возможно только на основе автоматизации процесса проектирования с применением ЭВМ.

Для достижения указанных целей в соответствии с планами важнейших работ Минприбора в Институте электронных управляющих машин в рамках научно-исследовательских тем "Домен-3" № 088980420 и "Регистр" N° 0889910114 автором оыла выполнена данная диссертационная работа по исследованию и разработке методов и средств автоматизированной обработки топологической информации и изготовления фотошаблонов ДИМ.

Актуальность проблемы. Современные БИС достигли уровня интеграции элементов на кристалле. Предельный уровень интеграции доменных интегральных микросхем (ДИМ) составляет элементов. С повышением степени интеграции схем не только на 2-3 порядка затрудняется процесс их проектирования и изготовления, но и, в ряде случаев, используемые для этого методы становятся малоэффективными. В этих условиях этап конструкторского проектирования, включающий в себя разработку топологии схемы, изготовление комплекта фотошаблонов и конструкторско-технологической документации и являющийся наиболее трудоемким в общем цикле проектирования,требует первоочередного решения. Однако в настоящее время аппарат автоматизированного проектирования топологии ДИМ, а также методы и средства изготовления фотошаблонов практически отсутствуют из-за слабой их исследованности. В то же время актуальность промышленного внедрения доменных ЗУ остро поставила вопрос о разработке такого аппарата, поскольку без него невозможна эффективная разработка этих ЗУ на промышленном уровне. Отсутствие его увеличивало время и затраты на проектирование доменных ЗУ, препятствовало нахождению путей и методов оптимизации автоматизированного проектирования топологии и изготовления их фотошаблонов. Рациональное же проектирование топологии и изготовление фотошаблонов повышает выход годных ЦМД-чипов, повышает надежность ЗУ, снижает стоимость ЗУ и потери ЦМД-материалов.

Все это обуславливает актуальность работы, проведенной по теме диссертации и восполняющей пробел в теории и практике создания ЦЩ-систем.

Цель работы - восполнение пробела в исследовании принципов автоматизации проектирования топологии ЦМД-структур и разработки методики автоматизированного формирования и изготовления фотошаблонов доменных интегральных микросхем.

В соответствии с поставленной целью основными задачами диссертационного исследования являются:

- разработка принципов универсального кодирования топологической информации ДИМ;

- исследование рациональных методов автоматизированной обработки топологической информации ДИМ;

- создание и практическая реализация методов автоматизированного формирования и изготовление фотошаблонов ДИМ с помощью прецизионных оптико-механических устройств;

- разработка алгоритмов проектирования геометрии и структурных характеристик фотошаблонов ДИМ;

- определение способов структурной организации системы автоматизированной обработки топологической информации и формирования фотошаблонов дим.

Методы исследований. Теоретические исследования проводились с использованием методов инженерной графики, математического обеспечения ЭВМ и системного программирования, а также основ теории множеств и математического анализа. Экспериментальные исследования основаны на применении ЭВМ для обработки графических изображений, высокоточных оптико-механических устройств для изготовления, магнитооптических и электроизмерительных систем для измерения, контроля и анализа параметров и характеристик фотошаблонов ДИМ.

Научная новизна» В диссертации получены следующие новые результаты:

- впервые разработан проблемно-ориентированный язык описания топологии ДИМ, позволяющий снизить требования на точность изготовления эскизов проектируемых ЦЬЩ-структур, не накладывающей ограничений на их сложность и конфигурацию и обеспечивающий проектирование всей топологической схемы по координатам одной точки в произвольном месте чертежа;

- предложен и исследован новый механизм трансляции топологической информации ДИМ с языка высокого уровня на промежуточный язык, позволяющий использовать одну и ту же исходную программу для вывода управляющей информации на различное оборудование;

- предложены методы автоматизированного проектирования и изготовления фотошаблонов ДИМ с использованием прецизионных оптико-механических устройств, отличающиеся минимальным количеством управляющей информации, и определены пути повышения их быстродействия;

- на основе предложенных методов разработаны новые быстродействующие алгоритмы проектирования геометрии и структуры фотошаблонов ДИМ;

- на базе языка описания топологии ДИМ разработана структура системы автоматизированной обработки топологической информации и

- изготовления фотошаблонов ДИМ, а также методика ее применения;

- реализован новый алгоритм автоматической аппроксимации элементов топологии ДИМ вложенными прямоугольниками на сторонах элементов при выводе управляющей информации на микрофотонаборную установку и тем самым автоматизирован наиболее трудоемкий процесс разбиения элементов на экспонируемые прямоугольники;

- для оперативного проектирования, контроля и исправления топологической информации ДИМ на базе графического дисплея предложена и построена новая диалоговая мониторная система "человек -машина" и разработаны программные средства по автоматизированному управлению процессов проектирования.

Практическая ценность заключается в следующем:

- язык описания топологии ДИМ позволяет сократить объем ручного кодирования на 2-3 порядка и тем самым существенно увеличивает производительность труда проектировщиков;

- применение алгоритма анализа исходной программы и выявления ошибок разработчиков в совокупности с диалоговой интерактивной системой резко повышают достоверность графической информации и способствуют безошибочному проектированию фотошаблонов ДИМ;

- гибкая структура промежуточного языка и модульный принцип построения системы обработки топологической информации и формирования фотошаблонов ДИМ обеспечивают на базе разработанных программных средств настройку транслятора на любое перспективное оборудование при сохранении неизменным текста исходной программы,что повышает эффективность и область применения системы;

- автоматическая аппроксимация элементов топологии ДИМ вложенными прямоугольниками при выводе управляющей информации на микрофотонаборную установку предельно упрощает процесс занесения элементов в библиотеку, задаваемых координатами точек перегиба, и тем самым значительно облегчается один из самых трудоемких и рутинных этапов маскирования элементов экспонируемыми прямоугольниками при проектировании фотошаблонов ДИМ;

- промышленная реализация системы автоматизированной обработки топологической информации и формирования фотошаблонов ДИМ обеспечивает проектирование топологии произвольной конфигурации и различной степени сложности, а также автоматическое изготовление конструкторской документации к ним, что совместно с разработанными методами контроля различных этапов топологического проектирования гарантируют высокое качество фотошаблонов ДИМ.

Реализация результатов работы. Работа проводилась в соответствии с комплексной программой: "Разработка перспективных, внешних запоминающих устройств для СМ ЭВМ" научно-технической проблемы 0.80.14, утвержденной постановлением Госкомитета СССР и АН СССР от 12.12.80 г. Разработанные в диссертации методы, алгоритмы и программы применяются при проектировании и изготовлении фотошаблонов ДИМ различной степени интеграции в ГСКТБ счетных машин г.Ленинград, НПО "Импульс" г.Северодонецк, ЦИФИ/ЮМ (ВНР), УЦУТ^ЧССР). В НИИИТ г.Москва система автоматизированной обработки топологической информации и формирования фотошаблонов ДИМ внедрена в практику проектирования и изготовления фотошаблонов ДИМ и тиражируется в соответствующей отрасли. Кроме того,результаты исследований использовались при проектировании фотошаблонов доменного запоминающего устройства емкостью 2,5 Мбайт, создаваемого в Институте электронных управляющих машин в соответствии с плановой темой "Регистр" и опытно-конструкторской разработки накопителя "Домен--3". Акты о внедрении приведены в приложении к диссертации.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на П Всесоюзной конференции по магнитным материалам г.Москва, 1976 г.; на П, 1У, У Всесоюзных семинарах па ЦПД г.Москва, 1978, 1980, 1981 г.г.; на Ш Всесоюзном семинаре до ЦЩ г.Симферополь, 1979 г., на научно-технических семинарах ИНЭУМ и МЙРЭА.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения, изложенных на 148 страницах машинописного текста, приложения на II страницах, содержит 48 рисунков, 5 таблиц и список литера ауры из 115 наименований.

Выводы

1. Алгоритмы программ при выводе управляющей информации на координатограф обеспечивают полный цикл конструкторского проектирования, включающий в себя проектирование топологии, формирование и вывод управляющей информации по вырезанию фотооригиналов и печати таблиц координат топологических слоев;

2. При выводе информации на микрофотонаборную установку разработаны быстродействующие алгоритмы, максимально использующие аппаратные возможности оборудования и минимизирующие такие параметры как время изготовления металлизированных промежуточных фотошаблонов и количество выводимой при этом управляющей информации;

3. Формирование топологического рисунка ДИМ на фотоповторителе сопровождается выдачей таблицы координат, позволяющей контролировать места "сшивки" фрагментов и правильность образования топологических слоев;

4. Алгоритмы, используемые для работы с графическим дисплеем, дают возможность осуществлять видуальный контроль на экране дисплея правильность формирования :: топологий слоев и процесс автоматического разбиения элементов топологии на элементарные прямоугольники при применении микрофотонаборных установок;

5. Разработанные методы и средства по автоматизации топологического проектирования ДИМ позволили изготовить фотошаблоны чипов доменных ЗУ малойксредней степени интеграции - 4 и 64 кбит;

6. Сложности проектирования топологии и трудности изготовления фотошаблонов ДИМ обусловили разработку эффективных методов их контроля.

У. ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Проведены комплексное рассмотрение и анализ проблем, возникающих при проектировании доменных интегральных микросхем, включающие этапы анализа и синтеза топологии, проектирования фотошаблонов и изготовления конструкторско-технологической документации, диагностики и контроля ДИМ, и на их основе разработана общая структура системы автоматизации проектирования доменных интегральных микросхем.

2. Впервые разработан проблемно-ориентированный язык описания топологии ДИМ, позволяющий предельно снизить требования на точность изготовления эскизов проектируемых топологий, не накладывающий на них ограничений, обеспечивающий проектирование всей топологической схемы по координатам одной точки в произвольном месте чертежа и позволяющий сократить объем входной информации на 3-4 порядка;

3. В соответствии с принятым способом кодирования топологической информации ДИМ разработан новый алгоритм анализа исходной программы описания топологии и выявления ошибок разработчика-тополога, что в совокупности с диалоговой графической системой "человек-машина" обеспечивает безошибочность проектирования и изготовления фотошаблонов ДИМ;

4. Предложены методы автоматизации проектирования и изготовления фотошаблонов ДИМ на прецизионных оптико-механических устройствах и высокопроизводительных электронно-лучевых установках, рассмотрены пути повышения их быстродействия и на базе этих исследований разработана технология производства фотошаблонов ДИМ, отличающаяся минималвным количеством управляющей информации;

5. В рамках предложенных методов разработаны новые быстродействующие алгоритмы проектирования геометрии фотошаблонов ДИМ;

6. Предложен и исследован новый механизм трансляции топологической информации ДИМ с языка высокого уровня на промежуточный язык, обеспечивающий настройку и выход на базе разработанных программных средств на перспективное технологическое оборудование и позволяющий использовать для вывода управляющей информации на это оборудование одну и ту же исходную программу описания топологии;

7. На базе языка описания топологии ДИМ разработана структура системы автоматизации проектирования топологии и изготовления фотошаблонов ДИМ и методика ее применения;

8. Реализован новый алгоритм автоматической аппроксимации элементов топологии ДИМ вложенными прямоугольниками на сторонах элементов ДИМ при выводе управляющей информации на микрофотонаборную установку и тем самым автоматизирован наиболее трудоемкий процесс разбиения элементов на экспонируемые прямоугольники;

9. Разработаны новые программные средства по автоматическому изготовлению конструкторской и технологической документации производства фотошаблонов ДИМ;

10. Для оперативного проектирования, контроля и исправления топологической информации ДИМ на базе графического дисплея предложена и построена новая диалоговая мониторная система "человек-машина" и разработаны математические средства по автоматизированному управлению процессом проектирования;

11. Предложены методы и разработаны средства контроля топологии и фотошаблонов ДИМ.

1. Боярченков М.А., Раев В.К., Прохоров Н.Л., Розенталь ю.Д. "Магнитные доменные и логические запоминающие устройства", М., "Энергия", 1974, с. 3-75.

2. Schuppe W. "Anwendung vou elecktronische Batenverarbeitüng-sanlagen bei» Eutwurf von Schaltungen". "Nachrichtentecbnic Electronic", 1974, № 1o, S. 374-379.

3. Нефедов B.C., Попов B.3., Сонин M.C. "Использование машинных методов при проектировании полупроводниковых ИМС" ТС-9 "Экономика и технология приборостроения", вып.5, М., 1979, с. 1-50.

4. Глориозов Е.Л., Иванников А.Д., Сыпчук П.П. "Автоматизация проектирования топологии ИС", "Обзоры по электронной технике", сер.З, микроэлектроника, М, 1976, вып.2 (362), с. 3-65.

5. Breuer М.А. "Resent developments in Design Automation" -"Computer", 1972, v.5, N2 3, p. 32-41.

6. Ю. Cassee P.R. "Applications of Resent FET Microelectronic Circuits"- "Scientia Electrica", 1972, v.18, К Г, ,p. 29-39.

7. Kitchener J. W. ,Baldy R."The Element Approach to the Design of Complex MOST Integrated Circuits"-"Syst.Tecbnol."1972,N15,p.1-f

8. Suzuki Y., Odagawa K., Abe T. "Cloced CMOS Calculator Circuitry'"-21ЕШЕ J.1973, v.sc-8, N 6, p. 462-469.

9. Курейчик B.M., Лисяк В.В., Перельман А.Л. "Автоматизированные системы проектирования фотошаблонов БИС", (обзор), "Зарубежная радиоэлектроника", № 5, 1979, с. 74-89.

10. Hamvas V.T. "System Design MOS LSI"- "Design Electron", 1971, v.8, N 7, p. 57-60.

11. Тетельбаум А.Я., Шрамченко Б.Л. "Методы машинного проектирования электронных устройств" "Зарубежная радиоэлектроника", М., "Советское радио", № 2, 1977, с. 24-50.

12. Селютин В.А. "Машинное проектирование электронных устройствами "Советское радио", 1977, с. 3-382.

13. Van Cleemput W.M.„On the topological aspect of the circuit layout problem"-Proc.of 13 th Design Automation Conf. ,1976,p.l9<

14. Абрайтис Л.Б., Шейнаускас Р.И., Жилевичгас В.А. "Автоматизация проектирования ЭВМ", М. "Сов.радио", 1978, с. 3-297.

15. Селютин В.А. "Язык для описания топологии шаблонов МОП-БИС" -"Микроэлектроника", т.2, вып.5, 1973, с.448-453.

16. Кармазинский А.И., Округин И.А., Петрухин В.П. "Автоматическая перестройка топологических чертежей элементов библиотечного набора на МДП-транзисторах" "Микроэлектроника", М., вып.9, 1976, с. 261-273.

17. Казеннов Г.Г., Баталов Б.В., Фейнберг В.З., Щемелинин В.М., Колосовский Л.И., Стемповский А.Л., Свердлов А.Г., Пушкин A.B. "Язык описания топологии" "Микроэлектроника", вып.9, 1976, с. 234-247.

18. Широ Г.Э., Осипов Л.Б., Неклюдов В.А., Щеменев В.П. " Математическое обеспечение автоматизированной системы проектирования топологии электронных схем"- кн. "Кибернетические системы автоматизации проектирования", МДНТП, 1973, с. 56-68.

19. Василенко А.П., Войтович И.Д. "Автоматизированная обработка конструкторской документации в процессе проектирования и изготовления ИС" "Управляющие системы и машины", № 5, 1974, с.105-109.

20. Брусникин Г.Н., Лошаков В.Н., Широ Г.Э. "Автоматиз1фованная система АСП-51 проектирования топологии интегральных схем на базе ЕС-ЭВМ" "Электронная техника", сер. 3, Микроэлектроника,вып. 6 (66), 1976, с. 62-69.

21. Баталов Б.В., Норенков И.П. " Система автоматизированного проектирования сверхБИС.- "Микроэлектроника", АН СССР, 1980, т. 9 , вып. 5, с. 401-412.

22. Баталов Б.В., Стемповский А.Л., Шапиро М.Л., Щербаков В.Е. "Принципы описания и обработки топологической информации в рамках операционных систем общего назначения" "Электронная техника", сер. 3, Микроэлектроника, вып.4 (76), 1978, с.10-13.

23. Голубев А.П., Беляков Ю.Н., Стемповский А.Л. "Специализированные языки описания схемо-технической и топологической информации в системах машинного проектирования интегральных схем"

24. Электронная техника", сер.З, "Микроэлектроника, вып.4 (78), 1978, с. 18-23.

25. Cook P. W., Donath W., Lemke G.A., Brennemann "Automatic Artwork Generation for Large-scale Integration" "IEEE J., 1967, v. SC-2, N 4, p. 190-196.

26. Rosenfeld R.L. "Computer Assited Back Production" "IEEE", J., 1969, v. 57, N 9, p. 1629-1634.

27. Rascher A.K., Koller K. "Generating 1С Artwork automatically saves tine, prevents costly errors" -"Electronics", 1969,v. 42, N 24, p. 117, 118.

28. Cracen J. Mo, Johnson C."Computerized Mask-Making for Complex memory chips" "Solid State Technology", 1970, v. 13, N 9, p. 36-38.

29. Lynn D.K. "Computer-aided layout System for Integrated Ciscuits' "IEEE Trans." 1971, v. CT-18, N 1, p. 128-139.

30. Gross A.G., Raamot J., Watkins S.B. "Computer Systems for Pattern Generator Control" "Bell System Techn.J", 1970, v.49, N 9, p. 2011-2029.

31. Foirvler B.R. "Xymask" "Bell Laboratories Record", 1969, v. 47, N 6, p. 204-209.

32. Degan J.J, "Focus on efficiency; Computer graphics for HIС Design." "Bell Laboratories Record", 1974, v. 6, N 2, p. 107.

33. Bracci G., Ferrari D. " A language for treating geometric patterns in a two-dimensional Sjpall". "Communications of the ACM", 1971, v. 14, N 1, p. 26-32.

34. Lynn D.K. "Computer-aided Design for large-scale Integrated Circuits? "Computer", 1972, v. 5, N 3, p. 36-45.

35. Кармазинский А.П. "Математические основы представления топологических чертежей" "Микроэлектроника", М., вып.7, 1974, с. 90-100.

36. Mays G.H. "A Brief Survey of Computer-aided Integrated Circuit Layout" "IEEE Traus.", 1971, v. CT-18, N 1, p. 10-13.

37. Beardsley C.w., "CaD for Semiconductor Chips" "ieee Spectrum", 1971, v. 8, N 9, p. 63-79.42 • Schenstrom F., Wibliams R. "Computer-aided Design" — "Electronic Enginner", 1970, v. 29, N 3, p. 70-73.

38. Banes A.V. "Design MOS/lSI without Errors" ЕВД/ЕЕЕ, 1971, v.16, N 10, p. 35-38.

39. Cracken M., Jonson R. "Computerized mask-making for complex memory chips" Solid State Technology" 197о, v. 13, N 9, p. 36-38.

40. Sugiyama N., Kawanishi H., Ohtsuki T, Watanabe H. "An Inetg-rated circuit layout Design system" "Computer-aided Design", 1974, v. 6, N 2, p. 66-72.

41. Валиев К.А., Казеннов Г.Г., Котко А.И., Баталов Б.В., Щавлев Н.И Нелюбов В.Н. "Вопросы выбора общей структуры высокопроизводительной автоматизированной системы проектирования ИПС". "Управляющие системы и машины", № 5, 1974, с. 27-29.

42. Васенков А.А., Казеннов Г.Г., Щавлев Н.И. "Структура технических средств автоматизированной системы проектирования БИС" -"Микроэлектроника", вып.9, 1976, с. 7-II.

43. Казеннов Г.Г., Баталов Б.В., Щербаков В.Е., Еремина Л.В."Автоматизированная система проектирования фотошаблонов на базе ЭВМ БЭСМ-6" "Микроэлектроника", М., вып.9, 1976, с. 22-26.

44. Казеннов Г.Г., Авдеев Е.В. "Библиотека программ автоматизированного проектирования элементов ИС" кн. "Машинные методы проектирования электронных схем" - материалы семинара, МДНТП, 1975, с. 26-29.

45. Шендерович Ю.М. "Вопросы оптимизации процесса топологического проектирования" "Управляющие системы и машины", № I, 1976, с. 36-41.

46. Селютин В.А., Гуревич Д.З. "Автоматизированная система разработки и изготовления фотошаблонов БИС" "Управляющие системы и машины", Ш 5, 1974, с. 71-74.

47. Гуревич Д.З., Ромм Г.Р.» Селютин В.А. "Применение машинных методов при разработке топологии и фотошаблонов БИС" "Электронная промышленность", № 12, 1974, с. 10-14.

48. Булин С.В., Гордион С.Г., Григорьев А.В., Гуревич Д.З., Койф-ман М.С., Ликерман Г.И., Ромм Г.Р., Селютин В.А. "Реализация на ЭВМ системы алгоритмов проектирования фотошаблонов БИС" "Элект ронная техника", сер.З "Микроэлектроника", 1975, вып.4, с.30-34.

49. Gibson D., Nance S. "SLIC symbolic layout of integrated circuit" - Proc.of 13-th Design Automation Couf.1976, p.139-1$3.55. prophet A., Gibson D. "Symbol cut cost of Design bu Computer" -"Electronics", 1976, v. 49, N 1, p. 32.

50. Wittenzellner R. "Computer-aided Design of large-scale integrated I2L logic circuits" -"IEEE Journal of Solid-State Circuits 1977, vol. Sc-12, N 2, p. 66-69.

51. Sperka M, Zahradnik V. "Navrh morfologic MOS intEgrovahych obvodov pomocou Symbolickeho jazuka" I Ceskoslovenska Konfe-rencia о Microelectronice, Bratislava, 1977, c. 11-16.

52. Рубцов В.П., Жижко В.А. "Система проектирования БИС от уровня коммутационной схемы" "Управляющие системы и машины", 1977, № 2, с. 88-93.

53. Лошаков В.Н., Никишин С.А., Широ Г.Э. "Система сеточного проектирования топологий КМОП-БИС с использованием условных изображений" "Электронная промышленность", № 2, 1977, с. 17-23.

54. Geer R. G. "Computer-aided coarse grid for photoriasrs" "Computer Grafhics", 1976, vol 10, N 2, p. 44-51.

55. Bertails J-C., Zirphile J. "A etanderdized approach for the reduction of LSI design time and automatic rules checkeng" "IEEE Journal of Solid - State circuits, 1977, vol.sc-12, N4, p.33-47.

56. Абрайтис Л.Б., Рябляускас Д.А., Штуйкис В.А., Мацискас И.-К.Л. "Подсистема автоматизации проектирования топологии БИС ячеечного типа" "Управляющие системы и машины", № 5, 1974, с.79-81.

57. Дычаковский В.Б., Ковалевский А.С., Рояукалнс П.П., Розе Р.Ф., Страутманис Г.Ф., Стренге Д.Д. "Опыт разработки и применения программ машинного проектирования линейных интегральных микросхем" "Управляющие системы и машины", № 5, 1974, с. 30-34.

58. Mattison Roland L. "Design automation of MOS artwork" "Computer", 1974, 1, p. 20-27.

59. Кармазинский A.H. "Особенности системы проектирования БИС цифровых устройств на основе библиотечного набора элементов на полевых транзисторах" "Микроэлектроника", т.2, вып.5, 1973, с.442-447.

60. Рубцов В.П., Жижко В.А., Ткаченко Ю.И. "Применение булевой алгебры в проектировании топологии БИС" "Управляющие системы и машины", № 5, 1976, с. II9-I23.

61. Engl W.L., Mlynski В.A., Pernards Р. "Computer-aided Topological Design for Integrated Circuits" "IEEE Trans.", v.CT-20, N 6, 1973, p. 717-725.

62. Mlynski D.A., Pernards P. "Planarisation of Circuit Graphs" -Proc. 6-th Hawaii International Couf., System Sciences, 1973, p. 389-392.

63. Goldstein АЛ., Schweikert D.G. "A Proper Model tor Testing the Planarity of Electrical Circuit" "Bell Syst.Tech. J.," Jan. 1993, v. 52, p. 135-142.

64. Radley P.E. "The Automatic Layout of Electonic Circuits bu computer" "Int. Computer-aided Desigu", 1972, London,p. 167-193.

65. Russo R.L., Oden P.H., Wolff P.K. "A Heuristic Procedure for the Partioning and Mapping of Computer Logic Graphs" "IEEE Trans.", 1971, v. с 20, p. 1455-1464.

66. Shupe C.F. "Automatic Component Placement in the MOMAD System" -12 th Design Automat. Conf. Proc. Boston. Mass. 1975, N 4, 1975, N 4, 1975, p. 162-172.

67. Глориозов Е.Л., Иванников А.Д., Сыпчук П.П. "Методы использования ЭВМ при проектировании топологии монолитных интегральных схем" "Зарубежная электронная техника", М., № 4, 1975, с.3-65.

68. Глориозов Е.Л., Иванников А.Д., Рыбкин И.И. "Анализ методов использования ЭВМ при проектировании топологии МДП ИС" (обзор), "Электронная техника", сер.З, микроэлектроника, вып.5(53), 1974, с. 55-63.

69. Narud J.A. "Computer-aided Analysis and Artwork Generation for Integrated Circuits" "IEEE Int. Conf. Design", 1970, N 7,p. 82-83.

70. Елшин Ю.М. "Диалоговые мини-машинные комплексы для автоматизации проектирования" "Зарубежная радиоэлектроника", № 7, 1979, с. 3-16.

71. Елшин Ю.М. "Диалоговые мини-машинные комплексы для автоматизации проектирования" "Зарубежная радиоэлектроника", № 8, 1979, с. 26-50.

72. Елшин Ю.М. "Диалоговые мини-машинные комплексы для автоматизации проектирования" "Зарубежная радиоэлектроника", № 9, 1979, с. 3-18.

73. Rosentahl C.W. "Intereasing Capabilities in Interactive Computer Graphics Termihals" "Computer" 1972, v. 5, N 6, p. 48-53.

74. Roth J.W. "Interactive Design System application" "Computer-aided Design", 1977, v, 9, N 4, p. 54-67.

75. Staller J.J. "Interactive Graphics System for Electronics" -"Electonic Packaging and Production", 1975, v. 15, N 11,p. 64-72.

76. Wieczner S. "Interactive Graphics in Design automation" -"Computer", 1974, v.7, N 1, p. 28-33.

77. Wilkinson B.S. "Computers in electronic design" "Electronics and Power, 1975, v. 2kg, N 11, p. 24-29.

78. Елшин Ю.М. "Диалоговые мини-машинные комплексы для автоматизации проектирования. Система ". "Зарубежная радиоэлектроника", 1979, № 8, с. 38-50.

79. Zucker J.S., Crawford B^J. "Graphical Layout System for 1С

80. Mask Design" "IEEE Trans", 1971, v.ST-17, N 1, p. 163-173.

81. Оганесьянц Л.Г., Шепелев В.А. "Интерактивная система синтезатопологии БИС" "Электронная промышленность", 1979, № 4, с. 57-65.

82. Spence R. "The interactive graphic man-computer dialogue in Computer-aided Circuit* Design" IEEE Trans, on. Circuit and Systems", 1974, v. CS-24, N 2, p. 49-61.

83. Jamin Ш, "2ÏT0LR A Comput Program for Integrated Circuit Mask Design Checkout" - "Bell System Techn. J.", 1972, v. 51,1. N 7, p. 1581-1593.

84. Rosenberg L., Benbassat C. "Critic-an interated circuit designl*ule checking program" "Design automation workshop", USA, 1974, v. 8, N 1, p. 14-18.

85. Селютин В.А., Булин С.В., Гуревич Д.З., Койфман М.С. "Машинный контроль топологии шаблонов БИС" "Микроэлектронника", том 4, Ш 2, 1975, с. 125-129.

86. Лошаков В.Н., Осипов Л.Б., Широ Г.Э. "Алгоритм проверки топологии ИС на соответствие принципиальной схеме" "Электронная техника", сер. 3, 1976, вып.2, с. 68-74.

87. Широ Г.Э., Осипов Л.Б., Трубицын А.К. "Методы контроля топологии в автоматизированных системах проектирования" "Электронная техника", сер.10, вып.5, 1977, с. 82-87.

88. Оганесьянц Л.Г., Попова Т.М., Шепелев В.А. "Интерактивная система полного контроля топологии БИС" "Электронная промышленность", 1979, № 4, с. 74-79.

89. Тютин А.А., Попов Г.Е. "Автоматизация проектирования больших МОП-интегральных схем с микромозаичной структурой" "Управляющие системы и машины", № 2, 1972, с. 64-70.

90. Sheng A. "A Computer-aided Design System Services Operation" -"Solid-state Technology", 1973, v.16, N 2, p. 25-28.

91. Тао'арный В.Г. "Автоматизированная система проектирования ИС" -"Известия Вузов СССР. Радиоэлектроника", т.16, № 16, 1973,с. 15-22.

92. Старое Ф.Г., Фирдман Г.Р., Шендерович Ю.И. "Вопросы комплексной автоматизации разработки БИС" "Электронная промышленность",6, 1972, с. 22-27.

93. Шендерович Ю.И. "Комплексная автоматизация разработки БИС" -"Управляющие системы и машины", № 5, 1974, с. 30-34.

94. Сагитов К. "Проблемно-ориентированный язык описания топологии и система автоматизации проектирования и изготовления фотошаблонов доменных интегральных микросхем" отчет по научно-исследовательской теме, ЙНЭУМ, 1977, УДК 681.327.664.4,0182.7048 033.

95. Грис Д. "Конструирование компиляторов для цифровых вычислительных машин", М, "Мир", 1975, с. 3-544.

96. Лебедев В.Н. "Введение в системы программирования", М., "Статика", 1975, с. 3-310.

97. Донован Дж. "Системное программирование", М., "Мир", 1975, с. 3-608.

98. Мздник С., Донован Дж. "Операционные системы", М., "Мир", 1978, с. 3-780.

99. Боярченков М.А., Раев В.К., Сагитов К. "Некоторые вопросы автоматизации проектирования доменопродвигающих схем" -"Логические и запоминающие устройства на магнитных кристаллах", Труды ИНЭУМ, вып.44, 1974, с. 3-8.

100. Боярченков М.А., Раев В.К., Сагитов К. "К вопросу автоматизации проектирования ДМД-регистров" "Устройства автоматики и вычислительной техники с использованием доменной структуры магнитных кристаллов" - Труды ИНЭУМ, вып.46, 1975, о. 106-109.

101. Боков Ю.С., Корсаков B.C., Лаврищев В.П., Лубашевская A.B., Мишачев В.И. "Введение в фотолитографию", М., "Энергия", 1977, с. 3-399.

102. Власова Т.И., Гревцов В.Г., Лебедев В.И., Сагитов К. "Подсистема автоматической аппроксимации топологии доменных микросборок", "тезисы докладов У Всесоюзного семинара по ЦМД", М., 1981, с. 38-39.

103. Сагитов К., Слюсарев В.Н. "Опыт автоматизированной разработки фотошаблонов доменных интегральных микросхем малой степени интеграции", тезисы докладов П Всесоюзного семинара по ЦВД, М., 1978, с. 53.

104. Сагитов К. "Некоторые вопросы автоматизации проектирования доменных интегральных микросхем средней и высокой степени интеграции", тезисы докладов П Всесоюзного семинара по ЦВД, М., 1978, с. 53.

105. ИЗ. Сагитов К., Сапегин Г.И. "Изготовление чипов доменных ЗУ повышенной степени интеграции", тезисы докладов Ш Всесоюзного семинара по ЦМД, Симферополь, 1979, с.6.

106. П4.Ворожко В.З., Сагитов К., Сапегин Г.И. "Опыт разработки фотошаблона чипа средней интеграции 64 кбит", Труды ИНЭЗШ, "запоминающие логические устройства на цилиндрических магнитных доменах", № 88, 1981, с. 93-97.

107. Шепелев В.А., Стемковский А.Л., Степченков В.Т. "Комплексный контроль топологии и фотошаблонов", сб. "Микроэлектроника", вып.9, М., 1976, с. 296-305.1. ИНЭУМ. Тираж заказа №•3s1 45 monitor1. PCsl

108. JOB SAG XT 0 ¥1 , MEM =70K/PRY=N,J C= Aoption pmm // exec splmsgsplmsg syslst, id=iagitovl,grp=11end351 45 MONITOR PC:11. OPTION PA RAHexec asvol1. ASVH2 sys002#v'D0S214'1. END3S1 45 MONITOR . PC: 1

109. ASSGN STS§2I)»P2 H ASS6K SYS003,$YS002 // assgn sys004,sys002

110. PHASE PARAMjM // include PA RAR

111. PHASE PRIn po,* // include prifcpo 7/ PHASE foset,* // -INCLUDE.FOIE"1. END3s1 45 monitor1. NAN AIpc :1if ass6n syslod,STS003 // OFTICN DUM SER // EXEC orgprog1. BS1 45 MONITOR pc:11. ME NO1. P 0 0 L 1 REPORT1. DRUCKER: L2

112. ANZAHL OER ZEILEN: 39 DRUCKZEITlog function ti«i3sa*i1.G FUNCTION TI«EU:2J.5?а -А г/ -п "TS П Tt -г» » г> >* -л .А оэ Ol f') о О О О О ,„» „S m fvj ■ГО r-J >. > > 70 XJ Я Я ГО ГО ГО > > > ТО <

113. W мы с О с X ^ W ы Ы Cl Cl О M О

114. V1 -Ni ~\f i-. f-l ь-о сл сл о С/5 £-« -si -J -Ni >-ч t/S st

115. Г2 ■г- -о о r-, C> о о II m о о о Й- & Г" г- J г~ Г" о о о к й- » «л»

116. Г- ^ 4> -IN J> ■r- ■l> 1! » л » с- о С о о Й- V »Л-i -Г- О О O- o- r> c> О сл СЛ to О о О о о оо to W «j» s •л л . "5 С > Ï» > Tv» Г.' fvj тз т? "О > 3» 3> Г0 M -si -a

117. W о /-s fV' С е О Cl О: t.J fj ® в • • » 9 « • • • о о О W Isl Ci со os

118. О ^ ffi s % c. ж ы >-< -si -sí ->| У. ia; 2 ■с- Ьч 1-1 -о -Ni -J •i % VI —s % ro Ы -Н Со Ce о О о О С) -I -( -i 00 СО Cu -si ъл % J-- OJ IV' % Г\) О О С/ СГ СГ о о о с er a: s % w V y • • < < «с 1/. </» «с < < <Л ш СЛ

119. Uî « :;- w UI 1Л О —» „А ^

120. ГС гт s- ÏV r; V oc tT* ■С > t~4 ы ы »-< f-ч о КГ,• Г" rr !c * ХЛ i." ri о О КУ 11 гэ ! Л • i ••

121. V, r~ cr С f- zc. ш К- 5Î Й- a • ®® S S II 4. Já- Й- о п rv ГО

122. T V —1 F" r- ~t rr r. r^ <Л t/J с- «Л СЛ » ;> * VI 1Лr it -1 О r- r~ •J. с. Ci сэ > > > > з> ^ сл (Л СЯ 01 II

123. H -A „ О CI Í.3 -Ц ~4 Г J ГО ГО > ? О о О О с Г J ГО ГО > > >. ro

124. С -i «»s. О —k » « C-'t ы о Ci о ь-> Ol О: С-.' ст о о -aс f" X r./' 73 «7# T -Nj -J "Si »-i »-) J ^ •н -н -ч -sj -Ni -sí »4 t4 1-4 1. -1 л ж л с ce -н -•i -4 О о о о о о- со Со —1 -4 -Í

125. С ^ ^ о CZ X r- а. CJ П" о о О «с с < < •с С СГ СГ: О О сс „.s. о» -s <л if, 1Л < < С •л -а С/5 »/Э СЛ < < <

126. С- с* О "" > » «а „i

127. О 4 O w ô v. О О ' > оj О О 3 -JÎ О 3 о ex* w V/ 33 ■Ci с- о Л й- ГУ о о о * г> * w % W V й ч- —4 -Л

128. С.- J) Ùî M 'Л -* -» Ol <л оэ —1 —S —*• з> з> > го го r\j t> > > w ry м

129. ГО ГО го ■ лэ J» Ы WW СП С' с-О t~t f-Ц tr<