автореферат диссертации по машиностроению и машиноведению, 05.02.08, диссертация на тему:Повышение эффективности автоматизированных технологических процессов машиностроительного производства методами лазерных измерительных систем

ГЛАВА1. СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ

ИССЛЕДОВАНИЯ.

1.1. ПРОБЛЕМЫ И СПОСОБЫ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ СОВРЕМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА.

1.1.1. Направления развития автоматизации производства в машиностроении.

1.1.2. Гибкие производственные системы и автоматические технологические линии.

1.1.3. Роботизированные технологические участки.

1.2. АНАЛИЗ СОВРЕМЕННЫХ МЕТОДОВ И СРЕДСТВ КОНТРОЛЯ И ДИАГНОСТИКИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ.

1.2.1. Механические средства контроля. .К

1.2.2. Гидростатический метод. .?,

1.2.3. Уровневые методы контроля угловых перемещений.

1.2.4. Электрические датчики контроля перемещений.

1.2.5. Оптические методы контроля. .7,

1.2.6. Оптико-электронные (фотоэлектрические) методы. .3?,

1.3. АНАЛИЗ МЕТОДОВ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ.

ГЛАВА2. КОНЦЕПЦИЯ ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ И ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ МЕХАНООБРАБОТКИ НА ОСНОВЕ ЛАЗЕРНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ.

2.1. Проблема компенсации погрешностей изготовления деталей на технологическом оборудовании с ЧПУ.

2.2. Методы теоретического исследования точности и производительности механообработки на основе лазерных измерительных систем.

2.3. Анализ точности и производительности механообработки на основе лазерных измерительных систем.

2.4. Анализ точности управления механообработкой на основе лазерных измерительных систем.

2.5. ВЫВОДЫ.

ГЛАВАЗ. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ МЕТОДОВ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА.

3.1. Математическая модель анализа средств повышения эффективности в А ТП МП.

3.1.1. Анализ лазерных измерительных систем с одним позиционно-чувствительным фотоприёмником.

3.1.2. Анализ лазерных измерительных системы с двумя позиционно-чувствительными фотоприёмниками.

3.2. Математическая модель параметрического синтеза основных блоков ЛИС.

3.2.1. Математическая модель параметрического синтеза ЛИС с одним позиционно-чувствительным фотоприёмником (датчиком отсчёта).

3.2.2. Синтез лазерных измерительных систем с двумя ПЧФ.

3.3. ВЫВОДЫ.

ГЛАВА4. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА

4.1. Методы проверки геометрических параметров и характеристик станков.

4.1. Контроль путевого и конечного положения подвижных органов технологического оборудования.

4.2. Автоматическая коррекция траектории движения подвижных органов тяжелого технологического оборудования с большой длиной направляющих.

4.3. Контроль углового положения подвижных органов технологического оборудования.

4.4. Контроль профиля поверхностей изделий машиностроения.

4.5. Коррекция траекторией перемещения подвижных органов технологического оборудования.

4.6. Контроль пространственного положения подвижных органов технологического оборудования.

4.7. Разработка требований к характеристикам и параметрам датчиков контроля диагностики и отсчёта относительно лазерных баз.

4.8. Датчик отсчёта на основе фотодиода с продольным фотоэффектом.

4.9. Датчик отсчёта на основе разрезного фотодиода.

4.10. Датчик отсчёта на основе диффузионного ПЧФ с внутренним управляющим электрическим полем.

4.11. Стабилизация характеристик датчиков отсчёта относительно лазерных баз.

4.12.1. Использование режима насыщения «р-1ч»-перехода фотоприёмников.

4.12.2. Применение отрицательной обратной связи в канале блока усиления.

4.12.3. Частотный метод разделения каналов.

4.13. ВЫВОДЫ.

ГЛАВА5. РЕЗУЛЬТАТЫ РАСЧЁТНО-АНАЛИТИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ АНАЛИЗА И СИНТЕЗА СРЕДСТВ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ В АТП

5.1. Методы построения на ПЭВМ расчётных номограмм анализа коррекции погрешностей технологических процессов методами ЛИС.

5.2. Графоаналитические методы оценки по номограммам погрешности отсчёта отклонений от лазерных технологических баз.

5.3. Методы построения на ПЭВМ расчётных номограмм синтеза ЛИС.

5.4. Графоаналитические методы расчёта параметров основных блоков ЛИС по заданной погрешности отсчёта отклонений от лазерных технологических баз.

5.5. ВЫВОДЫ.

ГЛАВА6. . ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОВ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ.

6.1. . ОБЪЕКТ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ.

6.2. Экспериментальные исследования позиционно-чувствительных фотоприемников.

6.3. ИССЛЕДОВАНИЕ НЕПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ СТАНИНЫ СТАНКА С ПОМОЩЬЮ ЛИС.

6.3.1. Объект исследования.

6.3.2. Цель исследования.

6.3.3. Методика исследования.

6.3.5. Конструкция макетного образца Лис.

6.4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КООРДИНАТНЫХ МОДУЛЕЙ ДВИЖЕНИЯ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ.

6.4.1. Цель исследования.

6.4.2. Конструкция.

6.4.3. Методика испытаний динамических точностных параметров якоря КМД.

6.4.4. Испытание динамического режима самовозбуждения якоря.

6.5. АНАЛИЗ ПОВЫШЕНИЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ УПРАВЛЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКОЙ ТОЧНОСТЬЮ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА МЕТОДАМИ ЛИС ДОК.

6.6. ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ ПРИМЕНЕНИЯ ЛИС ДОК.

6.7. ВЫВОДЫ.

Актуальность проблемы.

Современный уровень машиностроительного производства связан со значительным повышением конкурентоспособности выпускаемой продукции. Конкурентоспособность современного машиностроительного производства определяется эффективностью технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства, высоким качеством, и низкой себестоимостью выпускаемой продукции.

Значительный резерв повышения эффективности технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства связан с применением высокоточного оборудования, в котором обеспечивается высокая точность пространственной ориентации подвижных органов технологического оборудования. Причём, погрешности не должны превышать единиц и долей мкм, не менее важна так же тесно связанная с этим проблема базирования в технологической системе, создание и выбор технологических баз отсчёта.

Значительный резерв в решении проблемы базирования, а так же улучшения параметров автоматизированного технологического оборудования заложен в применении высокоточных и высокопроизводительных средств контроля геометрических параметров этого оборудования, и, в частности, в применении лазерных измерительных систем (ЛИС).

Одним из основных преимуществ опорных лазерных измерительных систем является возможность с их помощью создавать технологические базы отсчета, легко перестраиваемые в пространстве практически на любых расстояниях: от десятых долей метра, до десятков и даже сотен метров длины.

Базы, создаваемые с помощью опорных лазерных измерительных систем могут иметь форму точек, прямых линий, плоскостей, цилиндров и конусов. Эти особенности опорных ЛИС открывают новые возможности решения проблемы базирования оборудования автоматизированного машиностроительного производства.

Однако, существующие опорные лазерные системы не получили широкого применения прежде всего из-за их высокой погрешности измерения, обусловленной нестабильностью диаграммы направленности лазерных источников излучения.

Этот недостаток устраняется введением дополнительного канала, оптически обращённого относительно основного канала измерения.

Рассматриваемые лазерные системы базирования и измерения представляют собой сложные системы, состоящие из блоков излучателя, оптического, фотоприёмного, электронного, обработки информации и конструкторского.

Неизученными остаются вопросы формирования разностного сигнала на фотоприёмниках и электронных блоках ЛИС, что не позволяет в полной мере реализовать потенциальные преимущества лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами. Разработанные по известным алгоритмам современные конструкции ЛИС в ряде случаев обладают недостаточным техническим уровнем. Эффективное решение комплекса технических, эксплуатационных и метрологических проблем возможно в рамках сформулированной в данной работе концепции лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами.

Проектирование таких систем без теоретического обеспечения является чрезвычайно сложной и трудоёмкой задачей. Поэтому, необходима теория, позволяющая по заданному критерию точности системы предъявлять требования к параметрам отдельных составляющих её блоков.

Исследования показывают, что такая теория должна охватывать методы анализа и синтеза лазерных измерительных систем, причём анализ должен позволять рассчитывать точность геометрических параметров системы по известным параметрам основных блоков лазерных измерительных систем. Затем, по заданным точностям геометрических параметров лазерной измерительной системы синтез должен позволять сформулировать требования к параметрам основных блоков лазерных измерительных систем, которые обеспечивают заданную точность контроля и управления технологическим процессом.

Диссертационное исследование посвящено разработке научных положений повышения эффективности технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства методами усовершенствованных лазерных измерительных систем, а так же технических и программных средств их реализации.

В основу диссертационного исследования положены наиболее значительные теоретические и экспериментальные результаты НИР и ОКР, выполненных под руководством или при непосредственным участии соискателя в рамках соответствующих научно-технических и отраслевых программ (Минстанкопрома, Минприбора, Миннауки РФ и

ДР-)

В настоящей работе поставлены следующие задачи: • разработать и обосновать базовую концепцию современных лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами, обеспечивающих эффективное улучшение параметров технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства,

• разработать комплекс математических моделей точностных параметров лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами,

• разработать систему математических моделей функциональных и конструктивных параметров основных блоков ЛИС ДОК,

• разработать методы теоретических и экспериментальных исследований в соответствии с поставленной целью и задачами их проведения,

• разработать и реализовать функциональные, структурные и конструктивные схемы ЛИС ДОК для контроля технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства,

• провести теоретический анализ экспериментальных исследований ЛИС ДОК и их основных блоков,

• провести анализ полученных результатов и сформировать на их основе практические рекомендации по созданию перспективных и модернизированных ЛИС ДОК и их основных блоков,

• разработать технико-эксплуатационные требования (ТЭТ) к лазерным измерительным системам с двумя оптически обращенными каналами и к их основным блокам.

Основными параметрами, от которых зависит точность лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами, являются: погрешность обращения светового потока дополнительного канала, неравенство мощностей излучения прямого и обращенного каналов, неравенство световой чувствительности позиционно-чувствительных фотоприёмников, неравенство усиления сигналов прямого и обращенного каналов (в дальнейшем - параметры блоков).

До настоящего времени такой теории, в которой критерий точности был бы взаимосвязан с параметрами основных блоков лазерных измерительных систем, не было.

Создание такой теории, в виде научно-обоснованных технических решений, внесёт значительный вклад в ускорение научно-технического прогресса в специализированном проектировании и производстве лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами.

Цель работы

Целью работы является решение научной проблемы повышения эффективности технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства путём создания основ теории анализа и синтеза класса лазерных измерительных систем, а также технических и программных средств реализации нового класса лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами.

Достижение поставленной в работе цели обеспечивается решением следующих научно-технических задач:

• разработана и обоснована базовая концепция лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами, обеспечивающая повышение эффективности технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства,

• разработан комплекс математических моделей лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами,

• разработана система математических моделей параметрического синтеза основных блоков,

• разработаны методы теоретических и экспериментальных исследований в соответствии с поставленной целью и задачами их проведения,

• разработаны и реализованы конструкции лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами,

• проведён теоретический анализ и экспериментальные исследования лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами,

• проведён анализ полученных результатов, и, на их основе сформированы практические рекомендации по созданию перспективных и модернизированных лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами,

• разработаны технико-эксплуатационные требования (ТЭТ) к лазерным измерительным системам с двумя оптически обращёнными каналами.

Методы исследования.

Теоретические и расчётно-аналитические исследования базировались на фундаментальных положениях теории оптических и лазерных систем, теории позиционно-чувствительных фотоприёмников и электронных систем, а так же на теоретических положениях в других областях науки. Экспериментальные исследования проводились на опытных приборах лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами и опирались на цифро-аналоговые методы моделирования и обработку результатов на ПЭВМ.

Научная новизна.

Новым в работе является совокупность научных положений, полученных обобщением результатов исследований в области создания теории и практических методов анализа и синтеза лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами, и которые легли в основу повышения эффективности автоматизированных технологических процессов машиностроительного производства.

Сформулирована и обоснована концепция лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами.

В ее основу положены новые представления о возможности эффективного контроля и управления параметрами технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства методами лазерных измерительных систем.

Получены новые закономерности взаимосвязей основных параметров блоков лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами, влияющие на эффективность контроля и управления технологическими процессами, а также дано аналитическое описание этих закономерностей.

Разработан комплекс математических моделей анализа и синтеза погрешностей управления геометрическими параметрами автоматизированных технологических процессов контролируемых и управляемых лазерными измерительными системами с двумя оптически обращенными каналами.

Получены новые сведения о физической сущности влияния параметров основных блоков лазерных измерительных систем на точность контроля и управления параметрами технологических процессов.

Разработаны методы расчета конструктивных и функциональных параметров, позволяющие определить эффективность контроля и управления параметрами технологических процессов.

Разработаны новые графоаналитические методы анализа и синтеза, позволяющие по заданной точности контроля и управления параметрами технологических процессов, сформулировать требования к параметрам основных блоков лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами.

Практическая ценность.

Совокупность научных положений и практических результатов исследований в области лазерных измерительных систем составляют новое направление в области повышения эффективности технологических процессов автоматизированного машиностроительного производства, обеспечивающее реализацию существенно новых способов повышения точности управления геометрическими параметрами технологического оборудования машиностроительного производства.

Результаты работы носят концептуальный характер, с одной стороны обобщая, обозначая и обосновывая возможность реализации принципиально новых методов контроля и управления параметрами технологических процессов с помощью лазерных измерительных систем с двумя оптически обращенными каналами, а с другой стороны - имеют практическую направленность, реализуя конкретные методы анализа и синтеза этих систем.

Практическая ценность работы состоит в использовании научно-обоснованных решений, полученных в работе, для практики инженерных расчётов на этапе проектирования и изготовления усовершенствованных лазерных измерительных систем, с целью повышения точности и производительности автоматизированного технологического оборудования машиностроительного производства. Предлагаемые усовершенствования лазерных измерительных систем позволяют эффективно решать задачи повышения точности и производительности автоматизированного технологического оборудования. В частности, они позволяют создавать технологические базы отсчёта, легко перестраиваемые в пространстве практически на любые расстояния. Осуществлять контроль непрямолинейности движения подвижных органов технологического оборудования, управлять геометрическими параметрами исполнительных приводов движения станков, автоматов и роботов. Проводить диагностику и контроль процесса автоматизированной сборки машиностроительного производства, промежуточного и финишного контроля заготовок и деталей ГПС. Измерять амплитуды, частоты и фазы вибраций технологических объектов, контролировать формы поверхностей деталей, и т.д.

Эти системы отличаются от известных сравнительной простотой и надежностью, низкой себестоимостью в сочетании с высокой точностью. Техническая новизна системы подтверждается 14 авторскими свидетельствами, полученными автором работы.

Степень обоснованности полученных результатов.

Достоверность и обоснованность научных положений, рекомендаций и выводов, изложенных в работе, подтверждена всесторонними исследованиями, выполненными с применением современных методов и технических средств, а так же практическими результатами внедрения теоретических положений относительно методов контроля и управления параметрами технологических процессов с помощью лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами.

В работе создана теория анализа и синтеза методов контроля и управления параметрами технологических процессов с помощью лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами, причём анализ позволяет рассчитывать точность управления геометрическими параметрами системы по известным параметрам основных блоков лазерных измерительных систем, а синтез по заданной точности геометрических параметров технологических процессов позволяет рассчитывать параметры основных блоков лазерных измерительных систем. Экспериментальные исследования, проведённые на макетах и опытных образцах лазерных измерительных систем, подтверждают правильность результатов расчёта, выполненных на моделях анализа и синтеза лазерных измерительных систем.

Апробация результатов работы.

Результаты диссертационной работы внедрены на предприятиях:

1. МПО "ТЕМП" (Гл. 4).

2. МАМИ (Гл. 5).

3. СТАНКИН (ГЛ. 5).

4. Магнитогорском металлургический комбинате (Гл. 5).

Ряд теоретических и экспериментальных результатов внедрены в учебный процесс МАМИ.

Основные результаты работы докладывались на конференциях и семинарах:

1. Конференции МДНТП им. Ф.Э. Дзержинского с 1968 по 1989 г.

2. Всесоюзные конференции по координатно-чувствительным фотоприёмникам и лазерным устройствам на их основе в г. Барнауле с 1972 по 1989 г.

3. Международной конференции ИМЕКО 14 Брауншвейг, ФРГ, 1989 г.

4. Международном симпозиуме по измерениям в роботах . Турин, Италия, 1993 г.

5. В международном каталоге "Catalog Russian Technologies" 1994 г.

6. На международной выставке "ЭВРИКА-94"в г. Лиллельхамер Норвегия, 1995г.

7. На международной конференции ИМЕКО-95, Словакия 1995 г.

8. На научно-технической конференции с международным участием "Электротехнические системы транспортных средств и их роботизированных производств" г. Суздаль 1995 г.

9. На международной выставке "Передовые российские технологии" Япония, Токио, ноябрь 1996 г.

10. На международной конференции ИМЕКО 14 в Брюсселе, Бельгия !996 г.

11. На международной конференции "100 лет российскому автомобилю" 1997 г.

12. На международной выставке "Передовые российские технологии" Тегеран 97, Исламская Республика Иран. 8-16 мая 1997 года, г. Тегеран

Публикации.

Результаты, представленные в работе опубликованы в 72 статьях, из которых 20 написаны лично автором, и в брошюре (3 а.л.). Новизна исследований подтверждена 14 авторскими свидетельствами.

Структура и объём диссертации.

Выполненная работа состоит из введения, шести глав и заключения, отражающего основные выводы. Она выполнена на 232 страницах машинописного текста, иллюстрирована 169 рисунками и фотографиями, содержит 28 таблиц, а список цитированной литературы включает 272 наименования, в том числе 35 зарубежных.

Реализация поставленной цели и задачи диссертационного исследования осуществлена в соответствии со схемой, представленной в таблице 1.1.

Таблица 1.1

СТРУКТУРА ДИССЕРТАЦИОННОГО ИССЛЕДОВАНИЯ

М. СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ.

Глава7. ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕКОМЕНДАЦИИ.

Выполненное исследование позволило сформулировать и обосновать научные положения, совокупность которых может быть классифицирована как решение крупной научно-технической проблемы - повышения эффективности автоматизированных технологических процессов машиностроительного производства (АТПМП) методами лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами (ЛИС ДОК)

В качестве наиболее существенных результатов работы можно выделить следующие.

1. Установлено, что проблема повышения точности автоматизированных технологических процессов машиностроительного производства тесно связана с коррекцией геометрических параметров, определяющих пространственную ориентацию подвижных органов технологического оборудования (ТО).

2. Проблема повышения точности механообработки, а так же тесно связанная с ней проблема ремонтовостановления технологического оборудования, могут быть решены путём управления и коррекции геометрических параметров АТО с помощью внесения в программу ЧПУ ранее записанных отклонений геометрических параметров АТО, либо путём коррекции и управления этими параметрами непосредственно в процессе обработки детали.

3. Одним из путей решения этой задачи является обеспечение автоматизированного технологического оборудования машиностроительного производства лазерными измерительными системами с двумя оптически обращенными каналами имеющих по сравнению с известными измерительными системами более высокую точность, производительность, универсальность, гибкость и надёжность.

4. Методами лазерных измерительных систем с двумя оптически обращёнными каналами (ЛИС ДОК), за счёт формирования дополнительного канала излучения, развёрнутого вокруг оси излучения на угол в 180°, более чем на порядок повышается точность управления и коррекции в ГПС для основных автоматизированных технологических процессов механообработки.

5. На основе предложенной классификации ЛИС ДОК получено 8 структурных схем повышения точности управления геометрическими параметрами в ГПС для основных видов автоматизированных технологических процессов механообработки.

6. Установлено, что при применении ЛИС ДОК для управления и коррекции в ГПС механообработки, точность управления и коррекции механообработкой зависит от следующих параметров ЛИС ДОК: погрешности угла обращения (разворота вокруг оси излучения на угол в 180°) светового потока дополнительного излучающего канала системы, соотношения мощностей излучения прямого и обращенного каналов, соотношения световой чувствительности позиционно-чувствительных фотоприёмников прямого и обращенного каналов, соотношения усиления сигналов прямого и обращённого каналов, соотношения оптической длинны пути излучатель - лазерный датчик прямого и обращенного каналов.

7. Математические модели, учитывающие полученные закономерности взаимосвязей основных параметров ЛИС ДОК, позволяют прогнозировать уменьшение в 10 - 80 раз погрешности управления и коррекции на трассах от 5 до 20 М и более таких геометрических параметров АТПМП как прямолинейность перемещений, плоскостность поверхностей, постоянство углового положения подвижных рабочих органов технологическое оборудование и т.д.

8. Введенное понятие энергетической балансной оси позволило на 30-40% прогнозировать уменьшение погрешности коррекции технологических процессов, вызванных увеличением расходимости светового зонда лазерной базы и на 20-30%, вызванных неоднородностью световой чувствительности на поверхности ЛД.

9. Теоретические исследования, полученные на моделях анализа и синтеза ЛИС ДОК, показали, что для уменьшения в 20 -80 раз погрешности управления и коррекции таких технологических процессов как точение, фрезерование, шлифование, сверление, автоматизированная сборка при соотношении оптических длин каналов п = 0.8, необходимо обеспечить соотношение чувствительности каналов соответственно в пределах т=1.1 - 1.4, а погрешность обращения каналов обеспечить в пределах а = °-°0125-0.05радшн

10. Теоретические и экспериментальные исследования показали, что чувствительность управления и коррекции основных технологических процессов механообработки обратно пропорционально размеру светового зонда для лазерного датчика (ЛД) на основе разрезного фотодиода и диффузионного фотоприемников и не влияет на изменение чувствительности лазерного датчика на основе продольного фотодиода.

11. Теоретические и экспериментальные исследования показали, что точность управления и коррекции основных технологических процессов механообработки зависит от формой и распределением мощности внутри светового зонда лазерной базы для ЛД на основе разрезного фотодиода и не зависит от формы светового зонда и распределения мощности внутри светового зонда для ЛД на основе фотодиода с продольным фотоэффектом и на основе диффузионного фотоприемника.

12. Применение прямоугольных угловых отражателей в процессе коррекции погрешности технологических процессов позволяет обеспечить неизменным расстояние между датчиком и излучателем лазерной базы, повышает чувствительность управления и коррекции технологических процессов в 2-4 раза, и позволяет применять ЛД на основе разрезных фотодиодов и диффузионных фотоприемников, чувствительность которых в 8 - 10 раз выше, чем у ЛД на основе фотодиодов с продольным фотоэффектом.

13. Применение дополнительного оптического канала, предлагаемого в работе, позволяет существенно стабилизировать диаграммы направленности полупроводниковых излучателей и снизить тем самым погрешность управления и коррекции технологическими процессами механообработки. Применение полупроводниковых излучателей вместо газовых приводит к снижению себестоимости одного комплекта ЛИС ДОК на 4800 долларов США. Внедрение в производство одного комплекса ЛИС ДОК вместо импортного даёт экономию валютных средств порядка 50000 долларов США.

14. Предложенная методика, в которой в результате предварительных измерений рассчитывается положение ЛД на трассе выставления измерительной лазерной базы ЛИС ДОК, повышает быстродействие управления механообработкой в ГПС в 2 - 3 раза по сравнению с традиционными методами.

1. Абаджи И.И., Б.И. Дружинин, В.И. Исаев "Контроль взаимного расположения поверхностей деталей машин". Машгаз, 1962.

2. Авербух Т.Г., Бузанова JI.K., Васильев A.M., Глиберман А.Я. "Электрическая модуляция фото-эдс при продольном фотоэффекте".

3. Авторское свидетельство СССР N 116812.

4. Авторское свидетельство СССР N 149910.

5. Авторское свидетельство СССР N 454851.

6. Авторское свидетельство СССР N 470241.

7. Авторское свидетельство СССР N 513245.

8. Авторское свидетельство СССР N 563043.

9. Авторское свидетельство СССР N 655191.

10. Авторское свидетельство СССР N 886603.

11. Алексеенко А.Г. и др. Применение прецизионных аналоговых ИС. М., Радио и связь, 1981,стр.223

12. Балакшин Б.С. Основы технологии машиностроения. М., «Машиностроение»,, 1969, 559 с.

13. Берковская К.Ф., Берковский Ф.М. Исследование сканистора на базе компенсированного "Радиотехника и электроника" 1966, т. XI, N 8, 1530-1532.

14. Берковская К.Ф., Крейцер B.JL Коммутация фотодиодных многоэлементных датчиков. "Известия Вузов. Приборостроение" 1966, 7.1X,N 1,3-9.

15. Брауде Г.Б. "Журнал технической физики", 1937,т. YII, вып. 15. 48.

16. Брауде Г.В. Новая система телепередачи. "Известия электропромышленности слабого тока", 1941, N 1.

17. Бузанова JI.K., Васильев A.M., Васильев A.M. Глиберман А.Я., Лендсман А.П. Фотоэлементы с продольным фотоэффектом. "Радиотехника и электроника" 1965, т. 10, N 1, 138.

18. Вагнер Е.Т. и др. Лазерные оптические методы контроля в самолетостроении. М., Машиностроение, 1974,176 с.

19. Васильев A.M. Лисин A.C. Динамические свойства кремниевых фотоэлементов с продольным фотоэффектом. "Радиотехника и электроника" 1966, т. 11, N 10, 1846.

20. Васильев A.M. Переходные процессы в фотоэлементах с продольным фотоэффектом. "Радиотехника и электроника" 1965, т. 10, N 10, 1839.

21. Веденов В. М , Зотов В.Д. Исследование позиционно-чувствительных фотоприемников с радиальным электрическим полем. .«Приборы и устройства управления». №4, 1974 г.

22. Веденов В. М, Волкова Е. Авторское свидетельство: «Устройство для контроля прямолинейности поверхности объекта».№370462.

23. Веденов В. М. ,Беляев В. Г. Оценка погрешностей лазерных измерительных систем. Всесоюзная конференция «Робототехника и автоматизация производственных процессов РАПП83». Барнаул 1983 г.

24. Веденов В. М.,Волкова Е., Михайлов Л. Н. Оптико-электронные методы контроля непрямолинейности и неплоскостности. В сб. НИИ метрологии Вузов, вып. 4, 1974 г.

25. Веденов В. М. ,Оптико-электронные методы и средства контроля геометрических параметров металлорежущих станков и других механизмов. Сб. МДНТП. «Оптико-электронные приборы для контроля линейных и угловых размеров». М., 1981 г.

26. Веденов В. М. ,Соколов А. В. Оптико-электронная система контроля прямолинейности глубоких отверстий.«Применение оптико-электронных приборов и волоконной оптики в народном хозяйстве». Сб. МДНТП им. Ф. Э. Дзержинского. М. 1989 г.

27. Веденов В. М. ,Филюшов Д. Авторское свидетельство: «Устройство для интерполирования интервалов между штрихами линейной шкалы».№249655.

28. Веденов В. М. ,Чернышев А. Г. Оптико-электронное устройство для контроля коробоватости движущегося проката «Применение оптико-электронных приборов и волоконной оптики в народном хозяйстве». Сб. МДНТП им. Ф. Э. Дзержйнского. М. 1989 г.

29. Веденов В. М. Laser system for measuring geometrical parameters of technological equipmentCataloque Russian Technlogies 1994

30. Веденов В. M. Utilization of a Laser measuring technique forchecking the movement trajectory of the part robotsProceeding of the 3 Internation Simposium on on measurement in Robotics. Torino, Italy, 1993, p

31. Веденов В. M. Авторское свидетельство: «Способ измерения перемещения».№454851 от 22 февраля 1973 г.

32. Веденов В. М. Авторское свидетельство: «Устройство для измерения перемещения светового луча».№239824.2.

33. Веденов В. М. Измерительные, информационные и управляющие системы автоматизированного производства Методические указания к дипломному проектированию для студентов специальности 2102

34. Веденов В. М. Исследование нетиповых фото преобразователей с целью улучшения эксплуатационных параметров. Отчет по госбюджетной теме.

35. Веденов В. М. Лазерные датчики углового и линейного контроля ж. "Автомобильная промышленность " 1996, № 8 с.22-23

36. Веденов В. М. Оптико-электронный метод контроля прямолинейности и плоскостности. Материалы Зей Всесоюзной конференции «Научные основы технологии и прогрессивные технологические процессы в машиностроении и приборостроении».

37. Веденов В. М., Анализ лазерных функциональных схем контроля геометрических параметров объектов. Всесоюзная конференция «Робототехника и автоматизация производственных процессов РАПП83». Барнаул 1983 г.

38. Веденов В. М., Анализ погрешностей лазерных измерительных систем с двумя обращенными каналами. Тезисы докладов Зего Всесоюзного совещания «КЧФ и оптико-электронные устройства на их основе». Барнаул, ч.2, 23-24 с.

39. Веденов В. М., Беляев В. Г. Методика юстировки лазерных измерительных систем при контроле геометрических параметров. Всесоюзная конференция «Робототехника и автоматизация производственных процессов РАПП83». Барнаул 1983 г.

40. Веденов В. М., Беляев В. Г. Оценка динамических характеристик механической части привода станков с ЧПУ. Тезисы докладов Всесоюзной конференции по динамике станков. Куйбышев. 1984 г.

41. Веденов В. М., Джохадзе Ш. Р. Оптико-электронный метод определения параметров сканирующих устройств. Приборы и системы управления №2, 1969.

42. Веденов В. М., Караульник М.И. Способ измерения перемещений. Решение о выдаче авторского свидетельства по заявке №4386230/28 от 29.02.88.

43. Веденов В. М., Корндорф С. Лазерные установки контроля непрямолинейности. В сб. «Автоматизация оптических методов измерения и контроля линейных и угловых величин» М., 1971 г.

44. Веденов В. М., Корндорф С. Оптико-электронный разностный метод контроля прямолинейности и плоскостности. Тезисы НТ конференции «Автоматизация оптических методов измерения и отсчета координат» М., 1969 г.

45. Веденов В. М., Корндорф С. Оптико-электронный разностный метод контроля непрямолинейности. Известия Вузов «Приборостроение» т. 12, №6, 1970 г.

46. Веденов В. М., Корндорф С. Ф. и др Исследование точности и стабильности датчиков оптико-электронных микроскопов. «Станки и инструмент» №5, 1971 г.

47. Веденов В. М., Корндорф С.Ф. Оптико-электронный метод контроля непрямолинейности. Измерительная техника №1, 1970 г.

48. Веденов В. М., Лазерные измерительные системы контроля геометрических точностных параметров технологического оборудования. Международная выставка. "Передовые технологии Российской Федерации" Исламская республика Иран, г. Тегеран с 8 по 16 мая 1997 г.

49. Веденов В. М., Мизанбаев, Мелков, Схиртладзе Использование лазера для проверки точностных характеристик станков. Информационный листок №70975, 01 ГОСИНТИ.

50. Веденов В. М., МизанбаевН.Т., Мелков А.И., Схиртладзе А.Г. Устройство для определения отклонения положения деталей при помощи лазера. Информационный листок №76475, 016, ГОСИНТИ.

51. Веденов В. М., Об одном методе уменьшения влияния нестабильности светового потока на точность измерения перемещения в фотодиодах с продольным фотоэффектом. Радиотехника и электроника 1969 г., Т. 14, №3, 563565.

52. Веденов В. М., Педь Е. И., Марков Б.Н. и др Разработка и исследование автоматической системы измерения непрямолинейности осей глубоких отверстий. Раздел №5: Лазерное устройство для контроля Отчет по НИХР. М. 1983 г.

53. Веденов В. М., Полунов Ю. Авторское свидетельство: «Оптико-электронный дифманометр расходомер».№243395

54. Веденов В. М., Пуш В. Э., Беляев В. Г. и др. Повышение точности и производительности металлорежущих станков с ЧПУ. Отчет по госбюджетной работе. ГР №75055587, М., 1979 г. 43 с.

55. Веденов В. М., Рубинштейн, Гирин Л. К. Стандартизация автоматизированных систем испытания технологического оборудования. ВНИКИ, Стандартизация. Обзорная информация. 1979 г. М., Вып. 1, 33 с.

56. Веденов В. М., Синтез лазерной измерительной системы (ЛИС) с двумя оптическими обращенными каналами и одним ПЧФ. Там же. «Применение оптико-электронных приборов и волоконной оптики в народном хозяйстве». Сб. МДНТП им. Ф. Э. Дзержинского. М. 1989 г.

57. Веденов В. М., Соколов А. В. и др. Однокоординатный измеритель с оптико-электронным сканирующим устройством. Там же.

58. Веденов В. М., Соколов А. В. Анализ погрешности опорных лазерных систем с двумя обращенными каналами и одним ПЧФ. Там же.

59. Веденов В. М., Соколов А. В. Применение координатно-чувствительных фотоприемников в следящем режиме. Тезисы докладов 3 Всесоюзного совещания «КЧФ и оптико-электронные устройства на их основе». Барнаул, ч.З, 1986 г.

60. Веденов В. М., Телешевский В. И .Авторское свидетельство: «Фотоэлектрическое устройство для измерения прямолинейности изделия». №260910.

61. Веденов В. М., Телешевский В.И. Авторское свидетельство: «Фотоэлектрическое устройство для контроля прямолинейности» .№280877.

62. Веденов В. М., Чернышев А. Г. Особенности формирования ШИМ-сигналов в сканисторных оптико-электронных измерительных преобразователях. Там же.

63. Веденов В. М., Чернышев А. Г. Оптико-электронное устройство для контроля планшетности движущегося проката Доклад на Всесоюзной

64. НТ конференции по оптико-электронным методам контроля и измерения. ИПУ. М. 1975 г.

65. Веденов В. М., Шурков В.Н., Телешевский В. И. Исследование и разработка оптико-электронных методов контроля формы деталей. Отчет по НИХР №7811, ГР №78009189, М., 1979 г. 122 с.

66. Веденов В. М.,Бокарев В .Об одном виде погрешностей разрезных координатно-чувствительных фотоприемников в оптико-электронных измерительных системах. Там же.

67. Веденов В. М.,Бокарев В. Исследование особенностей усилителей в оптико-электронных измерительных системах Измерение и контроль при автоматизации производственных процессов. Тезисы докладов Всесоюзной конференции. Барнаул. 1982 г.

68. Веденов В. М.,Бокарев В. Лазерное устройство для контроля непрямолинейности. Там же.

69. Веденов В. М.,Бокарев В. Повышение точности оптико-электронных устройств контроля непрямолинейности. Там же.

70. Веденов В. М.,Бокарев В. Погрешности оптико-электронных (лазерных) измерительных систем с разрезными КЧФ. Точность измерения линейных и угловых размеров в машиностроении. Сб. МДНТП Им. Ф. Э. Дзержинского. М. 1982 г. 124 с.

71. Веденов В. М.,Зотов В. Д. и др. Авторское свидетельство: «Оптико-электронный способ контроля рабочих валков прокатного стана».№3 83490.

72. Веденов В. М.,Зотов В. Д. и др. Оптико-электронный метод определения положения оси вращения валков прокатного стана. В сб. Докладов Всесоюзной конференции по оптико-электронике. Институт проблем управления 1973 г.

73. Веденов В. М.,Зотов В. Д., Михайлов Л. И. Оптико-электронный способ контроля положения осей рабочих валков прокатного стана. Сб. «Оптическая и электронно-оптическая обработка информации». Изд. «Наука» М. 1975 г., с. 27

74. Веденов В. М.,Зотов В.Д. и др. Исследование новых типов позиционно-чувствительных датчиков фотоприемников с радиальным электрическим полем. В сб. «Автоматизация оптических методов измерения и контроля линейных и угловых величин» М., 1971 г.

75. Веденов В. М.,Ляшенко Л. С., Корндорф С. Фотоэлектрическое устройство для измерения геометрических размеров объектов. Авторское свидетельство №532006 15.10.76. Бюл. №38

76. Веденов В. М.,Ляшенко Л.С. Метод определения емкости сканистора. В сб. «Автоматизация оптических методов измерения и контроля линейных и угловых величин», МДНТП, М., 1973 г.

77. Веденов В. М.,Михайлов Л. Н. Оптико-электронное устройство для определения центров вращения валков прокатного стана. В сб. НИИ метрологии Вузов, №5, 1974 г.

78. Веденов В. М.,Михайлов Л. Н. Позиционно-чувствительные фотоприемники с радиально-чувствительным полем в приборах контроля перемещений. В сб. «Оптико-электронные приборы в КИТ» МДНТП, 1974 г.

79. Веденов В. М.,Михайлов Л. Н. Разработка оптико-электронной системы и прибора для контроля межцентровых расстояний рабочих валков прокатного стана. Аннотированный отчет по НИР ВНТИЦ №Б274550, 1973 г.

80. Веденов В. М.,Хегт Д Лазерные методы контроля непрямолинейности.№12, 1972, 544546 с.

81. Веденов В. М.,Хегт Д. Использование вычислительной техники при измерении и анализе отклонений от плоскостности. Feingera technik №7, 1975 г., 289293.

82. Веденов В. М.Дегт Д.К анализу измерений при определении отклонений от формы. Там же. №5, 1975 г., 211214.2.

83. Веденов В. М.,Чернышов А. Г. Оптико-электронные измерительные преобразователи для автоматизации контроля формы движущегося материала. Там же.

84. Веденов В. М.,Чернышов А. Г. Сканисторное устройство для автоматизации контроля в АСУТП. Часть 2.Там же.

85. Веденов В. М.,Чернышов А. Г. Сканисторный измеритель угловых положений для систем автоматического контроля. Часть 1. 3 Всесоюзное совещание «Оптические сканирующие устройства и измерительные приборы на их основе». Барнаул, 1986 г.

86. Веденов В. М.,Чернышов А. Г. Устройство для контроля движущегося материала Авторское свидетельство №934217, 7.06.82.

87. Веденов В. М.,Шурпо А. М., Шпилев А.Н., Фокин Г. В. Применение оптико-электронных измерительных устройств в системах управления серво-гидростатических направляющих тяжелых станков. Сб. «Оптико-электронные приборы в системах контроля и управления».

88. Веденов В.М Соколов В.В.,., Князев Н.Г. Применение ПЧФ в следящем режиме. Материалы Всесоюзного совещания "КЧФ-85" Барнаул, 1985, ч.З, с.43-44.

89. Веденов В.М., Полунов Ю.Л. Авт. свидетельство N 245.395. Бюллетень изобретений, 4 июня 1969. .Веденов В. М., Ляшенко Л. С.О некоторых метрологических параметрах сканисторов Там же.

90. Виноградова Г.Н., Ильин В.Е. О распределении чувствительности по поверхности фотоэлементов из антимонида индия. "Оптико-механическая промышленность", N 8, 1968, 15-19.

91. Гапонов C.B. и др. Повышение равномерности пространственного распределения излучения ОКГ. Квантовая электроника., 1972, №7,стр.48.

92. Горбач Т.Я., Грибников З.С., Кровлец K.M. Фото-эдс электронно-дырочного перехода с продольным фотоэффектом". "Радиотехника и электроника". 1962, т.7, N 6, 1020.

93. Горбач Т.Я., Кровлец К М! "Продольный фотоэлемент при больших освещенностях". "Радиотехника и электроника", т. 7, N 6, 1057. 69.

94. Горбач Т.Я., Кролевец K.M., Савелов В.Н., "Позиционно-чувствительные фотодиоды для следящих систем", "Автоматика и приборостроение Киев, 1964, N 4, 54-56. Кузнецов A.M.

95. Гукайло М.Я. Автоколлимация. М.-К. 1963.

96. Гусев А, А. Технологические проблемы в современном: машиностроительном производстве, М., МГТУ «Станкин», 1998 г., 240с.

97. Дащенко А.И. и и др. Автоматизация процессов машиностроения. М., "Высшая школа", 1991.,480 с.

98. Дащенко A.M. и др. Технология двигателестроения. Машиностроение, 1992.,286с.

99. Дащенко A.M. Технологические основы агрегатирования сборочного оборудования. М., 1991.,272с.

100. Евтихеев H.H. и др. Лазеры и их применение в вычислительной технике. М., МИРЭА, 1973,стр.64.

101. Зотов В.Д. "Разработка и исследование новых типов полупроводниковых оптико-информационных устройств". Диссертация. М. 1969.

102. Зотов В.Д. Полупроводниковые устройства восприятия оптической информации. М., Энергия, 1976, 151 с.

103. Зотов В.Д. Полупроводниковый следящий приемник светового излучения с радиальным электрическим полем. Сборник "Современные проблемы кибернетики". 1968.

104. Зотов В.Д. Широков В.Б. Полупроводниковый позиционно-чувствительный приемник светового излучения с использованием эффекта фокусировки в германии. Сборник "Теория и средства автоматики". М. 1967.

105. Зюганов А.Н. "Фотопотенциометр в режиме функционального преобразователя". В сб. "Полупроводниковая техника и микроэлектроника", вып. 1, 1966, стр. 53.

106. Зюганов А.Н., Свечников C.B. Бесконтактный следящий фотоэкспонометр. "Радиотехника и электроника" 1965, N5, 1335-1340.

107. Исаев A.A. Принципы построения лазерных опорных систем. Автореферат диссертации. M., 1980.

108. Капустин H. М. Системы автоматизированного проектирования, кн.6, М.,1986

109. Катыс Т.П. Информационные сканирующие системы. М. 1965. 55

110. Катыс Г.П., Кравцов Н.В., Чирков Л.В., Коновалов С.М. Модуляция и отклонение оптического излучения. М. 1967. 56.

111. Киссам Ф. Оптические приборы. М.-Л., 1966 (пер. с англ. под редакцией Розенберга Э.И.).

112. Климков Ю.М. Основы расчета оптико-электронных приборов с лазерами. М., Советское радио, 1976,стр.264.

113. Ковшов А.Н. Технология машиностроения М.: Машиностроение,1987.-320 с.

114. Контиевский Ю.П., В.А. Феоктистов. Применение номинального визирования при оценке качества плоских поверхностей методомдвухлучевой интерференции. "Оптико-механическая промышленность", 1966, № 4, 29-31.

115. Кочергин С.И. Безвакуумное передающее устройство. Авторское свидетельство CCCPN 131375.

116. Кравцов Н.В., Стрельников Ю.В. Позиционно-чувствительные датчики оптических следящих систем. М. "Наука" 1969. 57.

117. Крейцер B.JL, Берковская К.Ф. Новый фотоэлектрический преобразователь сканистор. "Техника кино и телевидения" 1967, N 4, 40-46.

118. Кровлец K.M., Свечников C.B. Об инерционности продольных фотоэлементов, "радиотехника и электроника", т. 10, N 7, 1910.

119. Кролевец K.M. "Основные расчетные соотношения для фотодиодов позиционно-чувствительных фотоприемников". "Радиотехника и электроника", 1963, т.8, N 10,1749.

120. Кролевец K.M., Горбач Т.Я., Копыл Г.Ф., Янович B.C., Сарьян Д.И., "Дифференциальный рефрактометр", Авт. свидетельство СССР, кл. 42, 36 N124167.

121. Кролевц K.M. Экспериментальное изучение фотодиодного режима продольных фотоэлементов. "Радиотехника и электроника" 1964, т.9, N 6, 1055.

122. Кузнецов A.M. Основные направления современного развития методов обработки деталей автомобилей. 100 лет Российскому автомобилю. Промышленность и высшая школа: Тезисы докладов международной научно-технической конференции , кн. 7, М., 1996.- с. 2

123. Кузнецов A.M. Прогрессивные конструкции инструментов и технологии обработки наружных резьб. М., 1988. 34с.

124. Кузнецов M. М., Усов Б. А., Стародубов В. С. Проектирование автоматизированного производственного оборудования. Москва, «Машиностроение», 1987 г., 288 с.

125. Левин Б.М."Оптическая линейка ИС-36". Л. 1966.

126. Левин В.М., И.И. Духонел. "Интерферометр для контроля плоскостей и плоскопараллельности". "Оптико-механическая промышленность", 1958, №6.

127. Леонов В.В. Анализ методов измерительных отклонений от прямолинейности и плоскостности поверхностей. М., Издательство стандартов, 21982, 248 с.

128. Линник В.П. Интерферометр для контроля больших машинных деталей. "Оптико-механическая промышленность", июнь 1946.

129. Линник В.П. Интерферометр для контроля больших машинных деталей. "Приборы для измерения длин углов", кн. 7, М.-Л., 1948.

130. Лисейкин В.П., Тришенков М.А., Координатно чувствительный бифотоэлемент. "Полупроводниковые приборы и их применение", вып. 16, 1966, 22-37.

131. Люстров Ю.М., Таубкин И.И. "Оценка линейности инверсионных характеристик продольных фотоэлементов". "Приборы и техника эксперимента" 1965, N4, 174-178.

132. Медянцева Л.Л. и др. Автоматический метод контроля прямолинейности поверхностей большой протяженности. "Измерительная техника", 1967, № 4.

133. Мироненко A.B., "Фотоэлектрические измерительные системы", М. "Энергия", 1967.

134. Митрофанов В.Г., Соломенцев Ю.М. и др. Автоматизированное проектирование и производство в машиностроении, 1989 г., 255 с.

135. Невельсон М. С. Автоматическое управление точностью обработки на металлорежущих станках. Л., «Машиностроение», 1982 г. 184 с.

136. Никитин Б.Д. Гидростатические методы измерения прямолинейности и плоскостности. "Станки и инструмент", 28,1957, № 7,17-19.

137. Новик Б.Ф и др. Об использовании продольных фотоэлементов при наведении на цель. "Известия Вузов. Геодезия и картография" 1965, N 1, 123.150. Павлов В. В.

138. Паночевный Е.В. и др. О прохождении тока через границу зерна в германии. "Радиотехника и электроника", N 10, 1966, стр. 1888. 38.152. Патент ГДР N 146999.153. Патент ГДР № 23300.

139. Патент ФРГ N 2625489 на COIB 11/30.

140. Плечов А. Л, Сергеев А. Г. Метрологическое обеспечение автомобильного транспорта.-М.,1983.-60с.-( Автомобильный транспорт. Обзорная информ. Сер 4

141. Полупроводниковые индикаторы перемещения светового луча. "Автоматика и приборостроение", N 3, 1960.

142. Призменные системы двойного изображения и их применения. Обзор N 2539, ЦНИИТЭИ, Москва, 1986. 77 с.

143. Пронников A.C., Стародубов В. С и др. Точность и надёжность станков с ЧПУ, М., Машиностроение, 1982 г., 256 с.

144. Пуш А. В. Шпиндельные узлы: Качество и надёжность. М., Машиностроение, 1992., 288с.

145. Равич Ю.И. Расчет продольного фотоэффекта в двух координатном фотоэлементе. "Радиотехника и электроника" 1965, т. 10, 1918-1922.

146. Розенберг Э.И. К вопросу о точности визирного метода контроля прямолинейности и несоосности деталей машин. "Труды научно-исследовательского проектно-конструкторского института технологии машиностроения", № 4, 1967, 126-141.

147. Розенберг Э.И. Прибор для измерения непрямолинейности и несоосности крупногабаритных изделий. "Труды н.и. проектно-конструкторского института технологии машиностроения", № 3, 1967, 164-170.

148. Розенберг Э.И., И.Е. Эфрос. Зрительные трубы для измерения непрямолинейности и несоосности среднегабаритных изделий визирным методом. "Измерительная техника", 1963, № 11, стр. 10.

149. Руммер Е.Б., Рыбкин С.М. Теория относительности. М. 1960.

150. Рыбкин С.М. Фотоэлектрические явления в полупроводниках. М. 1963. 68.

151. Смелянский В.М. Механика упрочения поверхностного слоя деталей машин в технологических процессах поверхностного пластического деформирования. М., Объединение "Машмир"1992.,60 с.

152. Соловейчик Я.С. "Проверка прямолинейности длинных направляющих". "Сб. тр. работ эксперим. н.и. ин-та металлорежущих станков" 1949, № 3, 28-68.

153. Таубкин И.И., Тришенков М.А. "К вопросу о продольных характеристик продольного фотоэффекта". "Радиотехника и электроника" 1965, т. 10, 1910-1912.

154. Таубкин И.И., Фример А.И., "К расчету вентильных фотоэлементов с продольным фотоэффектом". "Радиотехника и электроника" 1962, т. 7, 1196.172. Телешевский В .И.

155. Тришенков М.А. Частотная характеристика однокоординатного инверсионного фотодиода. "Радиотехника и электроника" 1965,т. 10,N 11 2046-2052.

156. Тришенков М.А. Инерционные свойства координатно-чувствительного бифотоэлемента. "Физика и техника полупроводников", 1967, т. 1, вып. 8, 1942-1951.

157. Финкелынтейн Е.И. Измерение прямолинейности длинных направляющих автоколлиматорами. "Измерительная техника", 1963, № 12.

158. Цуккерман С.Т., Панков Э.Д. Влияние воздушного тракта на точность приборов управления лучом". "Известия ВУЗ-ов Приборостроение", т. 11, N 12, 1963.

159. Цуккерман С.Т., Панков Э.Д. Влияние размеров воздушного тракта на точность приборов управления лучом". "Известия Вузов Приборостроение", т. 12, N 1, 1969.

160. Чудаков А.Д. Системы управления гибкими комплексами механо-обработки.-М.: Машиностроение, 1990.-240 с.

161. Шарова Е.Е. Исследования некоторых методов проверки прямолинейности направляющих станин. "Тр. институтов Комитета стандартов, мер и измерительных приборов", 1961, вып. 47, (107), 167177.

162. Шарова Е.Е. Методы контроля прямолинейности. В сб. "Энциклопедия измерений контроля и автоматизации", M.-JL, 1966, вып. 6, стр. 5-8.

163. Шокли В. Теория электронных полупроводниковых приборов. М. 1953. 72.

164. Шурков В.Н. Основы автоматизации и промышленные роботы. М. Машиностроение, 1989.-240 с.

165. Allen D., Weinman J., Winslow J., "IRE Trans, on Instrum., 1-9, 336 341 (1960)

166. Appl. Phys. v.31, N6, 1088 1095, 1960. 20. Андросюк Н.Г., Горбач Т.Я., Копыл Г.Ф., Кролевец К.М., Макарчук М.А.

167. Baker L.R., "a two chanal, recording antocollimator"," Proc. of the conference on optical instruments and technigues", London, 1961&

168. Baker. Constrastion fnd performancte of a psition-stnsitive phototransistor. "Optica acta", 1960, v.7,N2, 191-198.

169. Bakor L.R. "Properties and aplications of the new positionsensitive photocelle" Control v.&. H 47, 134 136, N 48, 107 - 109, N 49, 81 - 84, 1962

170. Dson J., Noble P.J.W. Electrical read-out from optical alignment device "Journ. of sientific instruments" 1964, v.41, N 5, 311-316.

171. Gild j., "Diffraction gratings as measuring scales", Oxford, 1960.

172. Hilger Journal, 1961, v.6, Sep. 71. 28. Electronics, 1961, v.34, N 11, 141.

173. Matare N.F., Electronishe Rundschau, 1961, v. 15, N12, 57-60,

174. Meltzer R.I. "Industrial Electronics", IE-IO, 1963, N5, 46. 58. Dyson I. "Optica acta" 1963, v. 10, N4, 171. 59.

175. More W. Webster. The effective surfage recombination of a garmanium surfage with a floating barrier. "Proc. IRE" ,1955, v.43, N4, 427 435.

176. Patterson C. Application of the lateral photoeffect to a traking sistem. "InfaredPhysics". 1962, April-June, v.2, N2, p. 75-84. 73.

177. Phus." 1961, v.31, N10, 1746-1751. 35. Mueller R.K., Jacobson R.L. "J.Appl. Phus." 1959, v.30, N1,121-122. 36.

178. Rome M., Fleck M.G., and Hines D.S. applied Opties, 1964, v.3, N6, 691.

179. Ruhge J.M. "Intensity read out from detectors demonstraiting the lateral photoeffect. "IEEE Trans Electron Devices", 1963, v. 10, N3, 212-213.

180. Shtrwell. a for guadrent silicon photodiods Proceedings conference jf IEEE "Laser and their application" 1964, 45/1-45/4.

181. Shuttleworth Photoconductive logating devise. 88-14,N3.033.073

182. Wallmark. "Proc. IRE" 1957, v.45, N4, 473. 17. J.T. Wallmark. "Electronics" 1957, v.30, N7, 165. 18. L.P. Cosar, "Compt. rend. acad. sci" 1958, 247, 22, 1957. 19. G. Lucovsky, Photoefftcts in noniformly irradiated p-n junctions. J.

183. Williams T.L. Dewelopmetnt and application of position-sensitive photocall. "Justrument practice" 1965, v. 19, N 8, 733-736.

184. Williams T.L.,Klectro-optical measurement and detection of small displacemetnts of a light spot. "Instrument reviev", 1966, v.13, N 171, 88-90, N 172, 150-152, N 173, 189-192.

185. Bidl W/ Ein einfaches Ebenheitsprufgerat nut kleiner Mebunsicherheit "PTB-Mitt" 1965, 75, № 4 (341-343).

186. John M. Miller. Aligument and measurement witch electronik levels. "Toi menufacturing engineer" 1963, № 51, № 1, p. 75-78.

187. BiblW., Moger M., Hoffman W. Kaparitive Prä Zisinsmessung der Fehler von Geradführungen mittels einer erschut terungsunemgefindlichen Quechsilberspiegols" "PTB-Mitt".

188. Eugene H. Koenig, Today's technics for industrial measurements. "Tooling Production" № 31, № 5, 1965.

189. How to measure flatness "American machinist" 1966, № 110, № 18, p. 79-86.

190. Ten ways to measure flatness, Jakson K. Emery. "Metalworking Production", 1966, № 110, № 40, p. 66-70.

191. Harrison P.W., An interferometric alignment set "Machinery" 84, 1954, № 2164, 976-979.

192. Saunders J.B. "An alignment interferometer" "J. Res. Nat. Bur. Standards" 676, 1963, №4, 307-309.

193. Saunders J.B., Gross F.L. Outerferometer for large surface "I. Res. Nat. Bur. Standards", 62, 1959, n.4, 137-139.

194. Neigasaraky K. Electronik method for measuring straightness based on slope "Trans, Japan". Society Mech. Engs" 23,1957, № 134, 343-350.

195. Photo-cells measure bettertlan human eye. "Metalworking Production" 1960, № 104, №42, p. 65-67.