автореферат диссертации по обработке конструкционных материалов в машиностроении, 05.03.01, диссертация на тему:Повышение адгезионной связи износостойких покрытий с твердосплавным инструментом за счет оптимизации процесса подготовки поверхностей

1. ВВЕДЕНИЕ.

1. АНАЛИЗ СОВРЕМЕННОГО СОСТОЯНИЯ ПРОБЛЕМЫ. ПОСТАНОВКА ЦЕЛИ И ЗАДАЧ ИССЛЕДОВАНИЙ.

1.1. Механизм изнашивания сложнопрофильных резьбонарезных пластин из твердого сплава и основные причины их отказа.

1.2. Нанесение износостойких покрытий - как один из основных способов повышения работоспособности сложнопрофильного твердосплавного инструмента.

1.3. Основные характеристики композиции "покрытие - инструментальный материал", предопределяющие эффективность применения режущего инструмента.

1.4. Основные типы промышленных загрязнений поверхностей твердосплавных пластин и методы, используемые для очистки поверхности перед нанесением покрытий.

1.5. Анализ результатов литературного обзора, формулировка рабочих гипотез, постановка цели и задач исследований.

2. Глава 2. ОБЩАЯ МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЙ И ИСПОЛЬЗУЕМОЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ.

2.1. Инструментальные материалы.

2.2. Методика подготовки поверхности инструмента перед нанесением покрытия.

2.3. Оборудование и методика нанесения покрытия (ТьСг^ на твердосплавный инструмент.

2.4. Методика оценки качественных характеристик покрытие -твердый сплав.

2.5. Методика определения режущих свойств и надежности твердосплавного инструмента.

3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РАЗЛИЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ НА КАЧЕСТВО

ТВЕРДОСПЛАВНОГО ИНСТРУМЕНТА С ПОКРЫТИЕМ.

3.1. Анализ основных методов, используемых для очистки поверхности инструмента перед нанесением покрытий.

3.1.1. Мойка инструмента.

3.1.2. Обезжиривание инструмента.

3.1.3. Очистка инструмента путем поверхностного травления.

3.1.4. Механические способы очистки поверхности инструмента.

3.2. Влияние технологии подготовки поверхности на качество инструмента с покрытием.

3.2.1. Влияние смазочно-охлаждающей жидкости и времени пролеживания пластин после обработки шлифованием на качество поверхности.

3.2.2. Оценка эффективности применения различных способов механической очистки поверхности пластин.

3.2.3. Влияние химических методов очистки на качество инструмента с покрытием.

3.3. Анализ влияния предварительной подготовки поверхности инструмента на качество покрытия.

3.4. Определение прочности сцепления покрытия и инструментального материала.

4. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИМАЛЬНОГО ВАРИАНТА ТЕХНОЛОГИИ ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ К НАНЕСЕНИЮ ПОКРЫТИЙ.

4.1. Выявление вариантов технологии.

4.2. Постановка задачи.

4.3. Логическое моделирование.

4.4. Оптимизация варианта технологии.

5. ФИЗИКО-ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ТЕХНОЛОГИИ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ И РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ

ПУЧКОМ БЫСТРЫХ НЕЙТРАЛЬНЫХ МОЛЕКУЛ.

5Л. Экспериментальные исследования влияния ориентирования сложнопрофильных поверхностей в потоке плазмы на характеристики покрытий.

5.2. Разработка технологии очистки поверхностей сложнопро-фильного инструмента пучком быстрых нейтральных молекул.

5.3. Исследование работоспособности твердосплавного инструмента с различными вариантами поверхностной обработки.

Важнейшим условием подъема машиностроительного производства является перевод его на пути интенсивного развития с ускорением научно-технического прогресса, рациональным использованием и экономией всех видов ресурсов, созданием и широким использованием высокопроизводительных, ресурсосберегающих и гибких технологий. Интенсификация производства, повышение качества выпускаемой продукции, внедрение новых прогрессивных технологических процессов требует широкого использования в промышленности автоматизированного станочного оборудования, высокая производительность которого может быть достигнута только при наличии инструмента высокого качества. Кроме того, на возрастающую роль инструмента в повышении эффективности станочного оборудования указывает и тенденция увеличения затрат на режущий инструмент при изготовлении деталей машин.

Таким образом, повышение эффективности режущего инструмента является важной задачей, решение которой вносит существенный вклад в ускорение научно-технического прогресса.

В связи с этим вопрос о повышении износостойкости режущих инструментов выдвигается в ряд наиболее актуальных проблем машиностроения. Нанесение износостойких покрытий позволяет создать инструментальный материал композиционного типа и реализовать в его объеме комплекс таких характеристик как твердость, теплостойкость и износостойкость покрытия в сочетании с ударной вязкостью, прочностью и сопротивляемостью усталостным видам разрушения основы.

В настоящее время в ряде отраслей металлообрабатывающей промышленности широкое применение находит сложнопрофильный твердосплавный режущий инструмент. Однако ввиду своих конструктивных особенностей и специфики процесса резания такой инструмент не всегда отвечает по своим эксплуатационным показателям высоким требованиям современного автоматизированного производства. С целью повышения износостойкости данного 5 типа инструмента на его рабочие поверхности осаждают покрытия из парогазовой фазы (методы ГТ, ОМ и ОС). Однако при использовании данных методов происходит охрупчивание приповерхностных слоев твердосплавной основы и снижение прочности композиции "твердый сплав-покрытие" на 3040%, что является основной причиной хрупкого разрушения режущих кромок инструмента и его отказа при резании. Поэтому наиболее эффективным методом нанесения износостойких покрытий на рабочие поверхности мелкоразмерного сложнопрофильного твердосплавного режущего инструмента является метод конденсации из плазменной фазы в вакууме с ионной бомбардировкой (метод КИБ).

Однако, в ряде случаев эффективность такого инструмента неудовлетворительна из-за нестабильности характеристик износостойкого покрытия, проявляющаяся в виде отслоений покрытия в процессе резания, недостаточной прочности сцепления покрытия с инструментальной основой. Одной из причин вышесказанного является неудовлетворительная подготовка поверхности инструмента перед нанесением покрытия. Поэтому вопросам технологии очистки поверхности от загрязнений следует уделять особо пристальное внимание.

Технологический процесс механической обработки твердосплавных резьбонарезных пластин состоит из большого числа операций: двустороннее шлифование опорной и верхней поверхности пластины; контурное шлифование граней и радиуса сопряжения; шлифование рабочего профиля; шлифование передней поверхности; получение требуемого радиуса скругления режущих кромок. Для получения требуемого радиуса скругления режущих кромок применяются следующие методы: виброабразивная обработка (МИЗ), пескоструйная обработка (МКТС). Следует заметить, что операции технологического процесса механообработки резьбонарезных пластин заметно отличаются по трудоемкости. Наиболее длительной операцией является шлифование рабочего профиля, т.к. на этой операции обеспечивается максимальное количество размеров, что требует частых подналадок станка, правок круга, тщательного контроля точности. Все это приводит к тому, что в ряде случаев наблюдается длительное пролеживание инструмента после обработки шлифованием на первых двух операциях.

При шлифовании твердосплавных пластин в качестве СОЖ применяют как водные растворы, так и масляные СОЖ. В случае применения СОЖ на основе водных растворов необходимо сразу же после шлифования подвергать инструмент поверхностной очистке. В противном случае на поверхности инструмента образуются трудноудалимые окисные пленки, наличие которых, крайне негативно влияет на адгезионные свойства композиции "покрытие -инструментальный материал" и, как следствие, на эксплуатационные характеристики инструмента с покрытием.

Поэтому при выборе средств подготовки поверхности твердосплавных пластин к нанесению покрытий необходимо одновременно учитывать и тип СОЖ, применяемый при шлифовании, и время вылеживания пластин после шлифования.

Классический процесс подготовки поверхности твердосплавных пластин перед нанесением покрытий включает себя не только очистку до загрузки инструмента в камеру вакуумно-плазменной установки, но и ионную очистку, которая осуществляется непосредственно в вакуумной камере в одном технологическом цикле с процессом нанесения покрытий.

При этом наблюдается неравномерное распределение плотности плазменного потока на поверхности сложнопрофильного инструмента в процессе очистки и нанесения покрытий. Поток заряженных частиц концентрируется на режущих кромках, что делает невозможным обеспечение качественной очистки и высокой адгезионной связи покрытий в пазах и углублениях инструмента, с которых и начинается отслоение покрытий в процессе резания.

Таким образом, на рабочих поверхностях инструмента формируются покрытия значительно различающиеся по своим эксплуатационным характеристикам. Это приводит к различию в износостойкости рабочих поверхностей режущих инструментов.

Учитывая вышесказанное, в ходе работы проводились исследования эффективности различных методов очистки (ультразвуковой, виброабразивной, пескоструйной, травления в кислотном растворе) в зависимости от вида СОЖ, применяемой при шлифовании и времени вылеживания пластин после шлифования. Эффективность того или иного способа оценивалась способностью удаления различных поверхностных загрязнений и обеспечением удовлетворительных адгезионных свойств композиции "покрытие - инструментальный материал".

Также были проведены исследования распределения плотности плазменного потока на поверхности сложнопрофильного инструмента в процессе нанесения покрытий и очистки, на основе которых, предложен эффективный способ очистки поверхностей сложнопрофильного инструмента в камере ва-куумно-плазменной установки пучком нейтральным частиц.

Основная часть работы, касающаяся исследований влияния способа подготовки поверхности пластин на наличие поверхностных загрязнений и их влияние на адгезионную связь покрытия с инструментом, выполнена на кафедре «Высокоэффективные технологии обработки» МГТУ «СТАНИКН». Эксплуатационные испытания резьбонарезных пластин с покрытием осуществлялись на ПО «Стрела» (г. Оренбург).

Научная новизна работы заключается:

- в выборе средств очистки подложки твердосплавного инструмента после механической обработки в зависимости от времени образования на поверхности окисных пленок, ухудшающих адгезионную связь покрытия с инструментом;

- в очистке поверхности сложнопрофильного твердосплавного инструмента пучком быстрых нейтральных молекул газов;

Практическая ценность работы заключается:

- в рекомендациях по применению ультразвуковой, пескоструйной, виброабразивной обработки и метода химического травления в кислотном растворе в зависимости от вида применяемой СОЖ при шлифовании и времени вылеживания пластин после шлифования.

- в рекомендациях по выбору режимов процесса очистки твердосплавного инструмента пучком быстрых нейтральных молекул газов в камере вакуумно-плазменной установки.

Результаты работы докладывались на 5 научно-технических конференциях, на заседании кафедры «Высокоэффективные технологии обработки» МГТУ «Станкин», кафедры «Технология автоматизированного машиностроения» Оренбургского Государственного Университета и были удостоены золотой медали и диплома Второго московского международного салона инноваций и инвестиций. По теме диссертации опубликовано 8 печатных работ.

Производственное внедрение результатов работы осуществлялось в рамках контракта на поставку технологии и оборудования для комбинированной ионно-плазменной обработки с Комсомольским-на-Амуре авиационным производственным объединением (2001 г), который был заключен между предприятием-заказчиком и МГТУ «СТАНКИН».

Технологический процесс подготовки поверхностей сменных пластин к нанесению покрытия применен при производстве инструмента на ПО «Стрела». Экономический эффект от внедрения в 2002 году составил 310 тысяч рублей/год за счет уменьшения потребления количества инструмента.

6. ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Проведенными экспериментами установлено, что наличие на поверхности твердосплавного инструмента окисных пленок и жиро-масляных загрязнений, не позволяет обеспечить высокую адгезионную связь покрытия с инструментом и, как следствие, не обеспечивает повышение стойкости инструмента в процессе резания.

2. На основе исследования влияния вида СОЖ, применяемой при шлифовании твердосплавных пластин и времени вылеживания пластин после шлифования на состояние поверхности инструмента из твердого сплава МС 221 установлено что:

- при использовании в качестве СОЖ 2 %-ного водного раствора концентрата "\¥ЕНВАХ" и длительном вылеживании пластин после шлифования на поверхности инструмента образуются трудноудаляемые окисные пленки, избежать появления которых, возможно лишь очисткой инструмента сразу же после шлифования.

- длительность вылеживания инструмента не влияет на наличие окисных пленок на поверхности инструмента, шлифование которого осуществлялось с использованием индустриального масла, но при этом на поверхности присутствуют обильные масляные загрязнения.

3. Экспериментальными исследованиями влияния ультразвуковой, виброабразивной, пескоструйной очистки и травления в растворе орто-фосфорной кислоты на наличие окисных пленок на поверхности инструмента из твердого сплава МС 221 при различном времени вылеживания пластин после шлифования с СОЖ на водной основе "\VENDAX" установлено что:

- виброабразивная обработка (амплитуда колебаний 1,4 мм, период колебаний 0,04 сек, время обработки 50 мин) не позволяет провести полную очистку поверхности от окисных пленок, образующихся на поверхности инструмента в процессе вылеживания.

- при пескоструйной обработке (давление абразивного состава 2 бар, время обработки на одной форсунке 2 сек) происходит полная очистка поверхности от пленок, представляющих собой сложные химические соединения. Однако применение при очистке пескоструйной обработки вызывает повышение шероховатости поверхности инструмента.

- в случае длительного вылеживания твердосплавного инструмента после шлифования, травление в ортофосфорной кислоте полностью очищает поверхность от окисных пленок.

4. Исследования адгезионной связи покрытия (Т1-Сг)И с твердосплавными пластинами МС 221, шлифование которых производилось на водном растворе показали, что высокая адгезионная связь обеспечивается:

- при ультразвуковой очистке с последующим обезжириванием в ацетоне и обезвоживанием в этиловом спирте непосредственно после обработки пластин шлифованием;

- при пескоструйной обработке (независимо от времени вылеживания пластин после шлифования); при химическом травлении в растворе ортофосфорной кислоты (независимо от времени вылеживания пластин после шлифования).

5. Стойкостными испытаниями твердосплавных резьбонарезных пластин из сплава МС 221 с покрытием (П-Сг)К при обработке стали 20 установлено, что стойкость инструмента находится в прямой зависимости от адгезионной связи покрытия с инструментом. В зависимости от адгезионной связи, стойкость исследуемых образцов варьировалась от 42 до 72 минут, причем максимум стойкости наблюдался у образцов с покрытиями, показавших наиболее высокие оценки адгезионной связи с инструментом.

6. Исследованиями распределения плотности плазменного потока по поверхности сложнопрофильного инструмента установлено, что в случае традиционно применяемой в технологиях нанесения покрытий очистки инструмента металлической плазмой, наблюдается концентрация потока заряженных частиц на режущих кромках, что делает невозможным обеспечение качественной очистки и высокой адгезионной связи покрытий в пазах и углублениях инструмента, с которых и начинается отслоение покрытий в процессе резания.

7. Использование при очистке поверхностей сложнопрофильного инструмента пучка быстрых нейтральных молекул газа, позволяет производить качественную очистку всех поверхностей инструмента и обеспечить повышенную адгезионную связь покрытия с твердым сплавом.

1. Металлообрабатывающий твердосплавный инструмент: Справочник. В.В. Самойлов, Э.Ф. Эйхманс, В.А. Фальковский и др. М.: Машиностроение, 1988. - 368 с.

2. Талантов Н.В. Физические основы процесса резания, изнашивания и разрушения инструмента. М.: Машиностроение, 1992. - 240 с.

3. Лоладзе Т.Н. Прочность и износостойкость режущего инструмента.-М.: Машиностроение, 1982.-320 с.

4. Трент Е.М. Резание материалов. Пер. с англ. М.: Машиностроение, 1980. - 264 с.

5. Захаров В.В. Инструмент для изготовления точных внутренних резьб: Учеб. пособие по курсу "Реж. инструмент и инструм. обеспечение ав-томатизир. пр-ва". -Саратов, 1994. -103 е.:

6. Киричек A.B. Инструмент и технология резьбоформообразования: Учеб. пособие. -Владимир, 1998. -152 е.:

7. Верещака A.C. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями. М. : Машиностроение, 1993. - 336 с.

8. Поляк М.С. Технологические методы упрочнения. Справочник в 2-х томах. М.: "Л В. М,- СКРИПТ, Машиностроение, 1995, 832 с.

9. Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий. // «Технология легких сплавов». № 10 . 1984. - С. 55 - 74.

10. Джеламанова Л.И. Прогрессивные методы нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент. М.: НИИМАШ, 1979. - 45 с.

11. Карпенко Г.Д. Современные методы генерации потока осаждаемого вещества при нанесении тонкопленочных покрытий в вакууме. -Минск, 1990. -38 с.

12. Воробьев Г.А. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учеб. пособие. -Томск: Изд-во Томского ун-та, 1991. -123 с.

13. Табаков В.П. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями на основе сложных нитридов и карбонитридов титана. -Ульяновск, 1998.-122 с.

14. Лемешко В.И. Технологическое повышение износостойкости деталей машин нанесением комбинированных покрытий: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.02.08. -Брянск, 1999. -19 с.

15. Верещака A.C. Табаков В.П. Физические основы процесса резания и изнашивания режущего инструмента с износостойкими покрытиями: Учеб. пособие для студентов вузов. -Ульяновск, 1998. -144 е.:

16. Износостойкие и антифрикционные покрытия: Материалы семинара. -М., 1991. -139 с.

17. Вакуумные технологии и оборудование: Сборник докладов 5-й Международной конференции / Под редакцией В. И. Лапшина, В. М. Шулаева. — Харьков: ННЦ ХФТИ, ИПЦ «Контраст», 2002.

18. М. Хокинг, В. Васантасри, П. Сидки. Металлические и керамические покрытия. Пер. с англ. -М.: Мир, 2000, 516 е.

19. Тонкие пленки в электронике: материалы 12-го Международного симпозиума / Под редакцией В. И. Лапшина, В. М. Шулаева. — Харьков: ННЦ ХФТИ, ИПЦ «Контраст», 2001.

20. Абдур Р. Б. Влияние многослойных покрытий на изнашивание твердых сплавов: Диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.03.01. -Ростов-н/Д, 1995.

21. Андреев В. Н. Эффективность применения режущего инструмента с износостойкими покрытиями. // Обработка материалов резанием. -М., 1977. -С. 53-62.

22. Ивченко Т.Г. Определение оптимального уровня показателей качества режущего инструмента. // Надежность режущего инструмента и оптимизация технологических систем. Краматорск: ДГМА. Вып. 7. - 1997. -С. 57-65.

23. Пестунов В.М. Условия эксплуатации инструмента и эффективность процесса обработки. Техника машиностроения, 2000, №6. -С. 31-39.

24. Кулешова И.В., Берман З.К. Повышение эффективности обработки резанием труднообрабатываемых материалов: Обзор/ НИИмаш .-М., 1981.-36 е.:

25. Табаков В.П. Исследование режущих свойств и разработка путей дальнейшего развития инструментов с износостойкими покрытиями / Дис. кандидата технических наук, 05.03.01. Москва, 1979 г.

26. Григорьев С.Н. Повышение надежности режущего инструмента путем комплексной ионно-плазменной поверхностной обработки. Диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.03.01. Москва, 1995 г.

27. Вертеш М.Н. Виды загрязнений, их расположение на поверхности и технология очистки металлических и стеклянных деталей для сверхвысокого вакуума/. -Дубна, 1989. -8 с.

28. Добронравов А.И. Предупреждение пятен загрязнения и подготовка поверхности стальных полос перед нанесением покрытий. -Магнитогорск: Магнитогоск. Дом печати, 2001. -148 е.:

29. Стеблянко B.JI. Подготовка поверхности металлических компонентов при производстве слоистых композиционных материалов: Учеб. пособие/ -Магнитогорск, 1989. -101 с.

30. Хаханина Т.И. Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.11.13. -М., 2002. -56 с.

31. Царенко М.А. Основы технологии мелкосерийного производства металлорежущих инструментов. Учеб. пособие по курсу "Технология и автоматизация инструм. пр-ва" Саратов, 1994. - 69 е.:

32. Повышение эффективности технологических процессов ультразвуковой очистки: Темат. сб. науч. тр./ Моск. гос. автомоб.-дор. ин-т; Под ред. В.М. Приходько. -М., 1995. -78 с.

33. Сорокин И.Н. Химическое травление полупроводниковых соединений: Учеб. пособие по курсу "Физ.-хим. основы технологии микроэлектроники". -М., 1992. -96 с.

34. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Учебное пособие для ВУЗов. М., "Высшая школа", 1986.

35. Скворцов К.Ф. Подготовка поверхностей деталей для нанесения покрытий. М., "Машиностроение", 1980.

36. Т. Hattori. Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing V, J. Ruzyllo and R.E. Novak, Editors, PV 97-35, p. 3-14, The Electrochemical Society Proceedings Series, Pennington, NJ, 1998.

37. Аксенов И. И. , Хороших В. М. Штоки частиц и массоперенос в вакуумной дуге. -М.: Наука. 1984 57 с.

38. Александров Л. Н. Физические явления, обуславливающие зароды-шеобразования, рост и структуру пленок. //Изв. вузов. -1975-1М4. -С. 3-28.

39. Деревлев П. С. Исследование работоспособности инструментов с тонкими покрытиями при прерывистом резании.: Автор, дис. канд. техн. наук. -М. ,1979.-18 с.

40. Кострюков А. В. Формирование тонкопленочных покрытий на рабочие поверхности инструмента.// Пути повышения эффективности оборудования с ЧПУ. Оренбург, 1989. -С. 34-35.

41. Тонконогий В. М. Разработка методов повышения работоспособности многолезвийных сложнопрофильных инструментов с покрытием: Автор, дис. канд. техн. наук. -М., 1987, -17с.

42. Филиппов П. В. Начертательная геометрия многомерного пространства и ее приложения,- JL: Изд-во ЛГУ, 1979.-280 с.

43. Якунин В. И. Теоретические основы формирования моделей поверхностей. М.: Изд-во МАИ, 1985,- 50 с.

44. Мацевитый В.М. Покрытия для режущих инструментов. Харьков: Вища школа, 1987. - 127 с.

45. Белый A.B., Карпенко Г.Д., Мышкин Н.К. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. М.: Машиностроение, 1991.-208 с.

46. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. -М.: Энергоатомиздат, 1998. 327 с.

47. Данилин Б.С. , Сырчин В.К., Неволин В.К. Исследование магне-тронной системы ионного распыления материалов.// ФХОМ. №2. 1977. - С. 33-39.

48. Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Исследование плазменного потока генерируемого стационарным электродуговым ускорителем смагнитным удержанием катодного пятна. // «Физика плазмы». Т. 5, вып. 3. -1979.-С. 607-612.

49. Береснев В.М., Борушко М.С., Любченко А.П. и др. Плазменная конденсация нитрида титана на сталь PI8 и твердый сплав Т14К8. // «Электронная обработка материалов». №3. 1979. - С. 30-33.

50. Береснев В.М., Перлов Д.Л., Федоренко А.И. Экологически чистая технология нанесения покрытий конденсация ионная низкотемпературная (КИНТ). //Сб. науч. трудов ХИСП . вып. 6. - 2001. - С. 274-279.

51. Мацевитый В.М., Любченко А.П., Береснев В.М. и др. О некоторых свойствах вакуумнол-плазменных покрытий .// Сб. «Диффузионное насыщение и покрытие на металлах». К.: Наукова думка, 1983. - С. 11-14.

52. Мацевитый В.М., Казак И.Б., и др. Структура и механические свойства вакуумно-плазменных покрытий Ti CN. // Изв. вузов «Черная металлургия», 1984, №3. С. 83-86.

53. Барвинок В.А., Богданович В.И., Митин Б.С. Закономерности формирования покрытий в вакууме. // ФХОМ. №5. 1986. - С. 92-97.

54. А.с. 1129966. СССР. МКИ С23 С14/36. Способ получения износостойкого покрытия. / Береснев В.М., Мацевитый В.М. Опублик. 1984. - С. 4.

55. Федоренко А.И., Толок В.Т. Гелюх О.Н. Влияние технологических параметров на формирование структуры и свойства вакуумно-плазменных покрытий.// Сб. матер, конф. «Высокоэффективные технологии в машиностроении». К.: УДЭНТЗ, 1996. - С.52-53.

56. Григорьев С.Н., Мельник Ю.А., Метель А.С. Источники пучка широкого поперечного сечения быстрых нейтральных молекул для промышленного нанесения покрытий. Surface&Coating Technology. - т. 156/1-3, 2002, С. 44-49.

57. Источник быстрых нейтральных молекул (патент США No 6,285,025).