автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.06, диссертация на тему:Подсистема АСТПП нанесения вакуумно-дуговых покрытий с заданными свойствами на поверхность стекла

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ

ИССЛЕДОВАНИЯ.

1.1 Классификация покрытий, наносимых на поверхность стекла.

1.1.1 Классификация тонкопленочных покрытий по назначению.

1.1.2 Классификация тонкопленочных покрытий по составу.

1.1.3 Методы нанесения покрытий.

1.2 Вакуумно-дуговые солнцезащитные покрытия.

1.2.1 Особенности процесса вакуумно-дугового напыления.

1.2.2 Технологический процесс и оборудование вакуумно-дугового напыления

1.2.3 Физико-механические и эксплуатационные свойства вакуумно-дуговых покрытий и методы их оценки.

1.3 Методы моделирования и оптимизации процесса нанесения покрытий

Цель и задачи исследования.48

ГЛАВА 2. ИНФОРМАЦИОННОЕ И МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОЦЕССА НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНО-ДУГОВЫХ ПОКРЫТИЙ. . 51

2.1 Механизм процессов напыления и формирования покрытий.51

2.2 Теоретические основы моделирования и оптимизации процесса нанесения покрытий.60

2.2.1 Моделирование процессов методами планирования эксперимента . . 60

2.2.1.1 Схема построения модели методами планирования эксперимента . . 60

2.2.1.2 Предпланирование эксперимента.62

2.2.1.3 Определение оптимального плана проведения эксперимента . 66

2.2.1.4 Обработка результатов эксперимента.70

2.2.2 Оптимизация процессов нанесения покрытий.75

2.3 Выводы по второй главе. 78

ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ И ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПОКРЫТИЙ . 80

3.1 Оборудование и условия проведения экспериментов, методы исследования. 80

3.2 Влияние технологических параметров напыления на износостойкость и микротвердость вакуумно-дуговых покрытий на стекле. 86

3.3 Влияние технологических параметров напыления на кислотостойкость вакуумно-дуговых покрытий. 95

3.4 Исследование топографии поверхности вакуумно-дуговых покрытий . 98

3.5 Влияние режима напыления на оптические свойства стекол с тонкопленочным покрытием. . 105

3.6 Выводы по третьей главе.110

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА АЛГОРИТМИЧЕСКОГО И ПРОГРАММНОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПОДСИСТЕМЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ И ОПТИМИЗАЦИИ РЕЖИМОВ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ. 113

4.1 Алгоритм построения регрессионной модели для комплексного показателя качества покрытия. 113

4.2 Алгоритм оптимизации режимов нанесения вакуумно-дуговых покрытий.118

4.3 Подсистема моделирования и оптимизации режимов нанесения покрытий "Plasma-1". 124

4.3.1 Структура, задачи и схема функционирования подсистемы "Plasma-1" 124

4.3.2 Назначение и области использования подсистемы "Plasma-1" . 128

4.3.3 Структура базы данных подсистемы "Plasma-1". 131

4.3.4 Алгоритм использования подсистемы "Plasma-1". 135

4.4 Выводы по четвертой главе.143

ГЛАВА 5. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЛУАТАЦИИ ПОДСИСТЕМЫ АСТПП "PLASMA-1".145

5.1 Тестирование подсистемы "Plasma-1".145

5.2 Исследование закономерностей формирования эксплуатационных характеристик покрытий.148

5.3 Синтез технологических режимов нанесения покрытий с заданными свойствами с использованием подсистемы "Plasma-1".157

5.4 Оценка эффективности подсистемы "Plasma-1". Рекомендации по дальнейшему использованию и развитию.161

5.5 Выводы по пятой главе.164

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.166

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ.171

ПРИЛОЖЕНИЯ 181

ПРИЛОЖЕНИЕ А. Акты внедрения, дипломы.182

ПРИЛОЖЕНИЕ Б. Результаты экспертного опроса для определения параметров и факторов процесса .187

ПРИЛОЖЕНИЕ В. Матрица планирования эксперимента для четырехфак-торного квази-О-оптимального плана и результаты экспериментов по нанесению TiNO-покрытия.189

ПРИЛОЖЕНИЕ Г. Схема проведения предварительной обработки экспериментальных данных .191

ПРИЛОЖЕНИЕ Д. Исходный текст основных процедур программного комплекса "Plasma-1" на языке Object Pascal.192

ПРИЛОЖЕНИЕ Е. Результаты тестирования подсистемы "Plasma-1" . . . 220

ВВЕДЕНИЕ

Тенденция к увеличению площади остекления при проектировании современных зданий, решая задачи улучшения светового режима, обеспечения комфортных условий зрительной работы, снижения веса и повышения долговечности строительных конструкций, порождает необходимость решения ряда дополнительных задач, наиболее важной из которых является защита помещения от перегрева солнечной радиацией.

Решение данной задачи заключается в использовании солнцезащитного стекла, обладающего селективным спектром пропускания электромагнитного излучения. Производство такого рода стекла с точки зрения экономической эффективности и получаемых светотехнических и теплофизических свойств наиболее выгодно путем нанесения на поверхность стекла тонкопленочных покрытий. Одним из преимуществ данного способа является возможность создавать стекло с заданными свойствами на основе обычных составов строительных стекол и, таким образом, в широких пределах регулировать свойства листового стекла независимо от его химического состава и толщины. Более того, нанесение покрытия на поверхность стекла позволяет получить виды стекол, которые обладают рядом полезных свойств, многие из которых затруднительно или невозможно получить другими методами.

Среди существующих методов получения покрытий на стекле наиболее эффективными являются вакуумные ионно-плазменные методы реакционного напыления, которые позволяют получать оптические покрытия с высокой адгезионной и когезионной прочностью, хорошей износостойкостью, равномерным распределением по толщине и хорошей химической стойкостью по отношению к различным агрессивным средам. Возможность на атомарном уровне воздействовать на процесс формирования покрытия и, следовательно, его структуру позволяет получать покрытия и слоистые композиции с уникальными свойствами.

Из ряда ионно-плазменных методов наиболее перспективным является метод вакуумного электродугового испарения. Получаемые с помощью данного метода покрытия не уступают по своим качественным характеристикам покрытиям, получаемым с помощью более широко распространенного метода магне-тронного распыления. При этом вакуумно-дуговой метод характеризуется сравнительно низкими экономическими затратами, высокой скоростью напыления, возможностью гибкого изменения технологических параметров, высокой степенью воспроизводимости и надежности.

Высокая стабильность свойств получаемых покрытий может быть достигнута за счет исключения или уменьшения роли в технологическом процессе человеческого фактора путем осуществления комплексной автоматизации.

Проведение комплексной автоматизации управления процессом напыления в первую очередь требует четкого и детального изучения самого процесса напыления, механизмов взаимного влияния параметров процесса, закономерностей формирования эксплуатационных характеристик покрытий.

Однако на сегодняшний момент проблемы, возникающие при использовании вакуумно-дугового метода для нанесения тонкопленочных солнцезащитных покрытий на стекло, в научном и технологическом отношении решены далеко не полностью. Данное состояние дел объясняется начальным этапом развития данного направления в производстве архитектурно-строительного стекла.

На данный момент практически отсутствует информация об особенностях формирования вакуумно-дуговых покрытий на стекле, о механических, защитных, оптических и теплофизических свойствах получаемых покрытий, недостаточно разработаны технологические аспекты их нанесения. Большие трудности возникают при выполнении наиболее трудоемкого этапа разработки технологического процесса - определении режимов напыления. Следует отметить, что в настоящее время практически отсутствует методология разработки режимов напыления для вакуумно-дугового метода, а многие из полученных результатов носят частный характер. Это связано с воздействием на эксплуатационные параметры покрытий различных факторов и разнообразных физико-химических явлений. Сложность описания таких воздействий определяется тем, что сам процесс относится к разряду многофакторных.

В связи с этим актуальными являются задачи анализа и синтеза процесса напыления с использованием математического моделирования.

Приоритетным и перспективным направлением совершенствования элек-тронно-ионно-плазменных методов, включенным в реестр критических технологий федерального уровня, является оптимизация параметров технологического процесса с целью получения покрытий с необходимым комплексом эксплуатационных свойств.

В то же время отсутствие необходимой информационной базы, теоретико-методологической проработки вопросов моделирования требуют проведения предварительной разработки соответствующего математического, информационного и алгоритмического обеспечения, накопления экспериментального материала, изучения влияния технологических параметров на свойства покрытий.

В связи с этим, необходимым условием повышения эффективности и качества проведения НИОКР по созданию новых видов покрытий, выполнения качественной технологической подготовки производства, построения эффективной АСУ ТП нанесения вакуумно-дуговых покрытий является создание научно обоснованной и работоспособной подсистемы моделирования и оптимизации режимов нанесения покрытий. Создание подобной подсистемы, которая бы позволяла проводить исследования закономерностей формирования эксплуатационных характеристик покрытий на основе разработанных математических моделей, программно синтезировать режимы нанесения покрытий с заданным комплексом свойств, осуществлять ведение базы данных оптимальных покрытий, на данный момент является наиболее актуальной и, в то же время, трудоемкой задачей.

Таким образом, моделирование процесса напыления и оптимизаци я параметров технологического процесса вакуумно-дугового напыления с целью получения покрытий на стекле с заданным комплексом эксплуатационных свойств является актуальной научной задачей, имеющей важный народнохозяйственный эффект.

Целью настоящей работы является оптимизация технологического процесса нанесения вакуумно-дуговых покрытий с заданными свойствами и создание инструментальных средств автоматизации подготовки производства.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

1) экспериментально исследовать влияние режимов напыления на физико-механические и эксплуатационные свойства вакуумно-дуговых покрытий;

2) разработать математическое и информационное обеспечение процесса нанесения вакуумно-дуговых покрытий;

3) разработать алгоритмическое и программное обеспечение подсистемы моделирования и оптимизации режимов нанесения покрытий;

4) исследовать закономерности формирования эксплуатационных характеристик покрытий с помощью разработанной подсистемы;

5) произвести синтез технологических режимов нанесения покрытий с заданными свойствами;

6) оценить эффективность разработанной подсистемы моделирования и оптимизации процесса нанесения покрытий.

Экспериментальные исследования свойств получаемых покрытий проводились с помощью соответствующих методик исследования эксплуатационных и физико-механических характеристик с привлечением лабораторного оборудования кафедры "Технология металлов" ОГУ, а также в производственных условиях на ПО "Стрела" г. Оренбурга. В процессе выполнения диссертационной работы использовались методы математической статистики, системный анализ, методы математического программирования, численные методы анализа, методы математической теории планирования эксперимента.

На защиту выносятся:

- разработанное математическое, информационное и алгоритмическое обеспечение подсистемы моделирования и оптимизации "Plasma-1программная реализация подсистемы;

- результаты моделирования процесса нанесения покрытий методами теории оптимального планирования эксперимента, совокупность созданных регрессионных моделей;

- результаты исследований закономерностей формирования эксплуатационных характеристик покрытий с помощью разработанной подсистемы;

- алгоритм синтеза режимов нанесения вакуумно-дуговых покрытий, реализованный в подсистеме "Plasma-1", технологические режимы конденсации оптимальных солнцезащитных покрытий;

- выявленные закономерности влияния химического состава и технологических параметров напыления на эксплуатационные и физико-механические свойства тонкопленочных покрытий.

Практическая значимость и реализация результатов работы:

- разработан алгоритм синтеза режимов нанесения вакуумно-дуговых покрытий с заданным комплексом свойств;

- разработана совокупность оптимальных солнцезащитных покрытий на основе титана и его соединений, даны рекомендации по их использованию;

- спроектирована и программно реализована подсистема моделирования и оптимизации процесса нанесения солнцезащитных покрытий "Plasma-1";

- определены технологические режимы конденсации вакуумно-дуговых солнцезащитных покрытий;

- опытно-промышленные испытания и внедрение на ПО "Стрела" и в ООО "Технология" разработанной подсистемы АСТПП подтвердили ее высокую эффективность;

- результаты диссертационной работы использованы в проектно-конструкторской деятельности ООО "Плазма-М" при разработке технологических режимов нанесения солнцезащитных и теплосберегающих покрытий на поверхность стекла.

10

По материалам диссертационной работы и результатам исследований опубликовано 14 печатных работ.

Данная научная работа заняла первое место на областном конкурсе научно-исследовательских работ молодых ученых и специалистов Оренбуржья в 2001 году и стала лауреатом областной выставки научно-технического творчества молодежи "НТТМ-200Г.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка использованной литературы (128 наименований) и приложений (7 приложений на 43 страницах). Объем диссертации составляет 223 страницы, в том числе 52 рисунка и 21 таблица.

Основные результаты диссертационной работы заключаются в следующем.

1. Разработана классификация покрытий, применяемых в производстве архитектурно-строительного стекла, по назначению, по составу, по структуре и по методам нанесения. Выполнен анализ существующих методов нанесения тонкопленочных покрытий на поверхность стекла, дана оценка их достоинств и недостатков. Обоснована актуальность применения вакуумно-дугового метода для нанесения солнцезащитных покрытий.

2. Проведен системный анализ технологического процесса нанесения ва~ куумно-дуговых покрытий. Всесторонне рассмотрены этапы нанесения покрытий, разработаны структурно-функциональные схемы процессов напыления и формирования покрытий. На основе проведенного анализа определены приоритеты в разработке технологического процесса напыления.

3. Дан анализ возможных подходов к моделированию процессов нанесения покрытий и сформированы методики моделирования и оптимизации технологических режимов напыления.

4. В результате экспериментальных исследований покрытий на основе титана и его соединений выявлены существующие закономерности влияния технологических параметров процесса напыления и химического состава покрытий на структуру и качественные свойства покрытий, а также на комплекс эксплуатационных свойств системы стекло-покрытие.

5. В результате спектрофотометрического анализа установлено, что все типы покрытий на основе титана в зависимости от степени солнцезащиты можно расположить в следующий ряд в порядке убывания: TiN- и TiNO-покрытия, ТЮ -, Ti- покрытие. Наиболее целесообразно при производстве солнцезащитного стекла использовать TiNO-покрытие. Основываясь на результатах исследований можно заключить, что покрытия на основе титана позволяют снизить пропускание электромагнитного излучения через стекло. При этом они характеризуются селективным пропусканием, благодаря чему не только появляется возможность получать стекло с широкой цветовой гаммой, но, что наиболее важно для солнцезащитного остекления, - в большей степени снижать пропускание излучения инфракрасного диапазона по сравнению с областью видимого излучения.

Вышесказанное позволяет отнести покрытия на основе титана к классу солнцезащитных высокоотражающих покрытий и рекомендовать использование архитектурно-строительного стекла с этими покрытиями для остекления оконных проемов зданий как производственного, так и непроизводственного назначения.

6. Теоретически и экспериментально обоснован алгоритм синтеза режимов нанесения вакуумно-дуговых покрытий с заданным комплексом свойств. Разработано математическое, информационное и алгоритмическое обеспечение подсистемы моделирования и оптимизации "Plasma-1".

7. Программно реализована подсистема АСТПП "Plasma-1", которая позволяет осуществлять моделирование процессов нанесения покрытий на поверхность стекла, а также оптимизировать режимы напыления в зависимости от исходных требований к эксплуатационным и физико-механическим свойствам покрытий.

8. С помощью автоматизированной системы "Plasma-1" создан ряд регрессионных моделей, которые описывают зависимости эксплуатационных и физико-механических свойств покрытий от технологических параметров напыления. Оценка сходимости экспериментальных данных и параметров, рассчитанных по регрессионным моделям, свидетельствует об адекватности и работоспособности построенных моделей.

9. Средствами подсистемы "Plasma-1" на основе созданных регрессионных моделей процесса проведены исследования закономерностей формирования эксплуатационных и физико-механических характеристик вакуумнодуговых покрытий.

10. С помощью реализованной в подсистеме "Plasma-1" процедуры синтеза технологических режимов нанесения покрытий разработаны режимы нанесения солнцезащитных покрытий, удовлетворяющие заданным характеристикам системы стекло-покрытие.

11. Разработана совокупность оптимизационных моделей процесса напыления, с помощью которых получены солнцезащитные TiNO-покрытия, обладающие оптимальным комплексом качественных свойств при заданных ограничениях на значения визуального коэффициента светопропускания и степени солнцезащиты стекла с тонкопленочным покрытием.

Научная новизна результатов диссертационной работы состоит в следующем:

- выявлены закономерности влияния технологических параметров процесса напыления и химического состава покрытий на их эксплуатационные и физико-механические свойства;

- разработана совокупность регрессионных и оптимизационных моделей процесса напыления;

- предложен алгоритм управления процессом нанесения покрытий, позволяющий получать оптимальные солнцезащитные покрытия с заранее заданным комплексом свойств.

- теоретически и экспериментально обоснована методика оптимизации технологических параметров, реализованная в подсистеме "Plasma-l".

Разработка теоретических положений, проведение экспериментов и создание на их основе технологии нанесения солнцезащитных покрытий стало возможным благодаря комплексному использованию теоретических и экспериментальных методов исследования. Решение ряда задач поставленных в работе, стало возможным благодаря известным достижениям таких научных дисциплин, как физика электрических разрядов, атомная физика, физика твердого тела и др., а также использованию в процессе выполнения диссертационной работы методов математической статистики, системного анализа, методов математического программирования, численных методов анализа и методов математической теории планирования эксперимента.

Экспериментальные исследования проводились на экспериментальной базе Оренбургского государственного университета и ПО "Стрела". Результаты эксперимента и испытаний анализировались и сопоставлялись с известными экспериментальными данными других исследователей.

Практическая ценность и научная полезность результатов диссертационной работы выражается в следующих аспектах.

Разработан эффективный и универсальный алгоритм синтеза режимов нанесения вакуумно-дуговых покрытий с заданным комплексом свойств.

Разработанная подсистема АСТПП "Plasma-1" позволяет повысить эффективность проведения НИОКР по созданию новых видов покрытий, повысить качественные результаты разработок. Вместе с тем существенно сокращается объем экспериментальных исследований, что дает возможность значительно снизить затраты материальных ресурсов, денежных средств и времени на отработку функциональных покрытий. Универсальность автоматизированной системы "Plasma-1" делает возможным ее использование для автоматизации управления различными технологическими процессами по приведенной в данной работе схеме.

Получена совокупность оптимальных солнцезащитных покрытий на основе титана и его соединений и технологические режимы их нанесения.

Окончательный вариант подсистемы "Plasma-1" был внедрен в производство на ПО "Стрела" г. Оренбурга в 2002г., при этом ожидаемый годовой экономический эффект от внедрения составил 280,0 тыс. рублей (Акт внедрения от 20 мая 2002г., см. приложение А). Проведенные опытно-промышленные испытания и текущая производственная эксплуатация позволяют сделать вывод о высокой эффективности разработанной подсистемы моделирования и оптимизации технологического процесса нанесения вакуумно-дуговых покрытий.

Результаты диссертационной работы использованы в проектно-конструкторской деятельности ООО "Плазма-М" при разработке технологических режимов нанесения солнцезащитных и теплосберегающих покрытий на поверхность стекла (Акт внедрения от 14 января 2002г., см. приложение А).

Также подсистема "Plasma-1" внедрена в ООО "Технология" г. Оренбурга для разработки и совершенствования технологических процессов термообработки, азотирования и гальванообработки (Акт внедрения от 6 июня 2002г.).

Определенную практическую ценность для теории и практики нанесения покрытий на стекло имеют выявленные закономерности формирования покрытий, результаты экспериментальных исследований влияния технологических параметров процесса напыления и химического состава покрытий на их оптические и физико-механические свойства, приведенные в работе.

Данная научная работа заняла первое место на областном конкурсе научно-исследовательских работ молодых ученых и специалистов Оренбуржья в 2001 году и стала лауреатом областной выставки научно-технического творчества молодежи "НТТМ-2001".

Основные положения диссертации и полученные результаты исследований докладывались и обсуждались на IV Российской научно-технической конференции "Прогрессивные методы эксплуатации и ремонта транспортных средств", г. Оренбург, 1999г.; объединенном заседании XIX Российской школы по проблемам проектирования неоднородных конструкций и XXIX Уральского семинара по неоднородным конструкциям, г. Миасс, 1999г.; II Всероссийской научно-технической конференции "Прочность и разрушение материалов и конструкций", г. Орск, 2000г.; V Российском семинаре "Компьютерное моделирование физико-химических свойств стекол и расплавов", г. Курган, 2000г.; Региональной научно-практической конференции молодых ученых и специалистов, г. Оренбург, 2001г.; Всероссийской научно-практической конференции "Актуальные проблемы подготовки кадров для развития экономики Оренбуржья", г. Оренбург, 2002г.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Соловьев С.П., Динеева Ю.М. Стекло в архитектуре. М.: Стройиздат, 1981.-191 с.

2. Никитин М.М. Технология и оборудование вакуумного напыления. М.: Металлургия, 1992. -112 с.

3. Ройх И.Л., Колтунова Л.Н., Федосов С.Н. Нанесение защитных покрытий в вакууме. М.: Машиностроение, 1976. - 367 с.

4. Suzuki К. State of the art in large area vacuum coatings on glass // Thin solid films. 1999. - Vol. 351. - № 1,2. - pp. 8 -15.

5. Данилин B.C. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. - 326 с.

6. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок. Л.: Химия, 1971 - 200 с.

7. Технология строительного и технического стекла и шлакоситаллов/ В.В. Полляк, П.Д. Саркисов и др. М.: Стройиздат, 1983. - 432 с.

8. Применение стекла в строительстве: Справочник / Под общ. ред. В.А. Дроздова. М.: Стройиздат, 1983. 288 с.

9. Ohsaki Н., Kokubu Y. Global market and technology trends on coated glass for architectural, automotive and display applications // Thin solid films. 1999. -Vol. 351. -№ 1,2. -pp.1-8

10. Piegari A. Antireflection coatings on glass for the visible spectrum // Rivista della staz sper vetro. 1989. - № 1. - pp. 127-130

11. Соловьев С.П. Царицын M.A. и др. Специальные строительные стеклаМ.: Стройиздат, 1971.-221 с.

12. Физико-химические основы производства оптического стекла / Под ред. Л.И. Демкиной. Л.: Химия. Ленингр. отд-ние, 1976. - 456 с.

13. Bach Н., Neuroth N. The properties of optical glass (Schott ser. on glass and glass ceramics: science, technology and applications). Berlin et al: Springer, 1995. -409 p.

14. Пат. 96123580/03 РФ, МПК С03С17/36. Калибруемое, термообрабаты-ваемое, стойкое, покрытое напылением стекло, отражающее инфракрасные лучи, и способ его получения / Ф.Д. Лингл, К.В. Хартинг, С.Л. Ларсон, Опубл. 27.03.1999

15. Сергеев В.П., Яновский В.П., и др. Установка вакуумно-плазменного напыления теплоотражающих покрытий на архитектурное стекло // Пленки и покрытия '98. СПб.: Полиплазма, 1998. - 505 с.

16. Glass coating. Glasbeschichtung mit Katodcnzerstaubung: Anlagen, Komplette Produktionslinien und Rundum-Service von Leybold-Heraeus GmbH. Ab 1.10.87. Leybold AG, 12p.

17. Finley J.J. Heat treatment and bending of low-E glass // Thin solid films. -1999. Vol. 351. - № 1,2. - pp. 263-273

18. Пат. 2132406 РФ, МПК: C23C14/06, B32B17/06. Низкоэмиссионное прозрачное покрытие с повышенной коррозионной стойкостью и оконное стекло с этим покрытием / В.И. Чайрев, Л.А. Сейдман, М.А. Харченко и др., Опубл. 27.06.1999

19. Патент 2075537 МПК 6С23С14/18, 14/08, С03С17/06 Экзотермическое стекло и способы его изготовления / Хэн Ч., Опубл. 20.03.1997.

20. Патент 94044819/02 РФ МПК 6С23С14/22 Способ и устройство для ионно-плазменного напыления/Крысин А.Б., Шумский А.Л., Опубл. 21.12.1994.

21. Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. М.: Машиностроение, 1990. - 384 с.

22. Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. М.: Машиностроение, 1987. - 207 с.

23. Beister G. et al. Advanced layer systems and coating techniques for large-area glass coatings by means of high-rate sputtering // Glastech ber. 1993. - V. 66.-№6/7.-pp. 175-183

24. А. с. 670549 СССР МПК С03С17/06 Способ получения зеркального покрытия / Голубева Г.И., Степуро А.В., Михайлов В.П., Опубл. 30.06.1979.

25. Патент 740157 СССР МПК С23С15/00 С03С17/06 Устройство для нанесения прозрачной электропроводящей пленки на поверхность подложки / Кинг Р., Хискат Р., Опубл. 05.06.1980.

26. Пат. 2008286 РФ, МПК С03С17/245. Способ получения неорганических пленок на поверхности стекол / А.А. Уэльский, Г.Л. Чернышева, В.Г. Сыркин и др., Опубл. 28.02.1994

27. Пат. 2091340 РФ, МПК С03С17/245. Изделие, полученное нанесением на стеклянную подложку по крайней мере одного слоя смешанных оксидов кремния и олова (варианты) / Д.А. Руссо, P.P. Диркс, Г. П. Флорсак, Опубл. 27.09.1997

28. Bange К. Characterization of oxide coatings on glass // Schott research. -1993-1995.-pp. 367-372

29. Veszelei M. Preparation and characterization of sputtered metal oxides and nitrides for optical applications. Uppsala, 1997. - 48 p.

30. Патент 1258323 СССР МПК C03C17/34 Многослойное поглощающее покрытие / Козава Т., Опубл. 15.05.1986.

31. Рязанцев С.С., Гавриленко И.Б., Удалов Ю.Л. Создание подслоя из оксида титана при нанесении покрытий из нитрида титана на диэлектрические подножки // Физика и химия обработки материалов. 1996. - № 2. - С. 65-68

32. Тот JI. Карбиды и нитриды переходных металлов / Пер. с англ. М.: Мир, 1974. - 294 с.

33. Wiemer С., Levy F., Bussy F. Determination of chemical composition and its relationship with optical properties of Ti-N and Ti-V-N sputtered thin films // Surf. Coatings Technol. 1994, - № 68/69. - p. 181.

34. Плешивцев H. В. Катодное распыление M.: Атомиздат, 1968.- 343 с.

35. Технология тонких пленок: Справочник, в 2-х т. / Под ред. JI. Майселла и Р. Глэнга. М.: Советское радио, 1977. - Т.1 - 664 с.

36. Кудинов В.В., Бобров Г.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование-М.: Металлургия, 1992.-432 с.

37. Нанесение покрытий плазмой/ В.В. Кудинов, П.Ю. Пекшев, В.Е. Бела-щенко и др. М.: Наука, 1990. - 408 с.

38. Фольмер М. Кинетика образования новой фазы/Пер. с нем. М.: Наука, 1986. - 208 с.

39. Gordon R. Chemical vapor deposition of coatings on glass // J. non-cryst solids. 1997. - V. 218. - pp. 81-91

40. Данилин Б. С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники. М.: Машиностроение, 1987. - 273с.

41. Vanhulsel A., Celis J.-P., Dekempeneer Е. Inductively coupled r.f. plasma assisted chemical vapour deposition of diamond-like carbon coatings // Diamond and related materials. 1999. - Vol. 8. - № 7. - pp. 1193-1198

42. Попович C.A., Борулько В.И. и др. Производство крупногабаритного стекла с теплоотражающим покрытием // Стекло и керамика.- 1993 № 6-С. 24-25.,

43. Сытник Р.Д., Киуила И.Г. и др. Нанесение оксидно-металлических покрытий на алюмоборосиликатное стекло // Стекло и керамика. 1994. - № 2. -С. 7-9.

44. Аткарская А.Б., Борулько В.И., Попович С.А. Влияние режимов нанесения на свойства золь-гель пленок // Стекло и керамика. 1995. - № 9. - С. 1012.

45. Беленький М.А., Иванов А.Ф. Электроосаждение металлических покрытий. Справ, изд. М.: Металлургия, 1985. - 288 с.

46. Кулик А.Я., Борисов Ю.С. Газотермическое напыление композиционных порошков. JL: Машиностроение, 1985. - 197 с.

47. Никитин М.Д., Кулик А.Я., Захаров Н.И. Теплозащитные и износостойкие покрытия деталей дизелей. JL: Машиностроение, 1977. - 166 с.

48. Донской А.В., Клубникин B.C. Электроплазменные процессы и установки в машиностроении. JL: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1979. - 221 с.

49. Хирс Д., Паунд Г. Испарение и конденсация.-М.:Металлургия,1966-195 с.

50. Шиллер 3., Гайзиг У., Панцер 3. Электроннолучевая технология /Пер. с нем. М.: Энергия, 1980. - 528 с.

51. Архипов В.А., Ивакин В.Ф. и др. Автоматизированная установка для осаждения многослойных оптических покрытий // Электронная промышленность. 1985. - № 2. - С. 10-13.

52. Мовчан Б.А., Малашенко И.С. Жаростойкие покрытия, осаждаемые в вакууме. Киев: Наукова Думка, 1983. - 232 с.

53. Холланд J1. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.: Госэнергонздат, 1963.-608 с.

54. Ивановский Т. Ф., Петров В. И. Ионно-плазменная обработка материалов- М.: Радио и связь, 1986. 230 с.

55. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. /Под ред. Р. Бериша. -М.: Мир, 1984.-336 с.

56. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. -М.: Радио и связь, 1982. 73 с.

57. Получение покрытий сложного состава методами электродугового и магнетронного распыления в вакууме /Т.М. Андронова, В.М. Козлов и др. Рига: ЛатНИИНТИ, 1985. - 39 с.

58. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. М.: Высш. шк, 1988. - 254 с.

59. Современные магнетронные распылительные устройства / В. А. Лабу-нов, Н. И. Данилович и др. // Зарубежная электронная техника-1982.- Вып. 10.-С.З-62.

60. Nosaka Т., Yoshitake М., Okamoto A. Copper nitride thin films prepared by reactive radio-frequency magnetron sputtering // Thin solid films. 1999. - Vol. 348. -№1,2.-pp. 8-14

61. Planar magnetron sputtering cathode with deposition rate distribution controllability. / K. Abe, T. Kabagashi, T. Kamel e. a. // Thin Solid Films. 1982.1. Vol. 96, №2.-P. 225-233.

62. Плазменные ускорители. /Под ред. JT. А. Арцимовича. М.: Машиностроение, 1973. - 312 с.

63. Лабунов В. А., Рейссе Г. Ионно-лучевые источники для обработки поверхности твердых тел и получения тонких пленок // Зарубежная электронная техника. 1982. - Вып. 1 (247). - С. 3^2.

64. Ионные инжекторы и плазменные ускорители / Под ред. А.И. Морозова и Н.Н. Семашко. М.: Энергоатомиздат, 1990. - 256 с.

65. Нага Т., Hamagaki М., Sanda A. New high current low energy ion Source //Japan. J. Appl. Phys. 1986. - Vol. 25, № 3. - P. 1253-1255.

66. Данилин Б. С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. - 264 с.

67. Ion bombardment modification of surfaces. Fundamentals and applications / ed. Auciello O., Kelly R. Amsterdam-NY -Tokyo, 1984. - 466 p.

68. Harper J. M. Ion beam techniques in thin film deposition // Solid State Technol- 1987. Vol. 30, № 4. - P. 129-134.

69. Colliqon J.S. Recent trends in surface treatment using ion beam processes //Vacuum. 1987. - V. 37, №1/2. - P. 35-39.

70. Саенко В. А. Устройства термоионного осаждения // Приборы и техника эксперимента. 1985. - № 5. - С. 9-21.

71. Spalvins Т. Servey of ion plating sources // J. vac. sci. technol. 1980. - V. 17, № 11.-P. 315-321.

72. Осаждение металлических пленок путем распыления из жидкой фазы / Б. С. Данилин, М. В. Какурин, В. Е. Минайчев и др. // Электронная техника. Сер. 3. 1978. - Вып. 2(74). - С. 84-87.

73. Толок В. Т. Вакуумно-плазмова технолопя високих енерпй. // BicH. АН УРСР. 1980. - № 11. - С. 63-66.

74. Мрочек Ж.А., ЭйзнерБ.А., Марков Г.В. Основы технологии формирования многокомпонентных вакуумных электродуговых покрытий. Мн.: Наву-ка i тэхшка, 1991. - 96 с.

75. Барабанов Б. Н., Блинов И. Г., Дороднов А. М., Дудова С. В. Аппаратура плазменной технологии высоких энергий "холодные" системы для генерации плазмы проводящих твердых веществ // Физика и химия обработки материалов. - 1987. - № 1. - С. 44-51.

76. Дороднов A.M., Петросов В.А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств // ЖТФ. 1981. - Т. 51, Вып. 3. -С. 504-524.

77. Кобайн Дж., Эккер Г., Фаррел Дж. Вакуумные дуги / Под ред. Дж. Лафферти. М.: Мир, 1982.- 432 с.

78. Электродуговое распыление металлов и сплавов в вакууме / Ю.И. Андреев, Т.М. Андронова, А.И. Вовш и др. Рига:ЛатНИИНТИ, 1982. - 45 с.

79. Вендик О.Г., Попов В.Ф., Зеленская Н.В. Технология вакуумно-дугового осаждения тонких пленок. Л.: ЛДНТП, 1982. - 20 с.

80. Саенко В.А., Коломиец Н.Ф. Разряд в парах материала анода//Физика и химия обработки материалов. -1984. № 6. - С. 38-41.

81. Верещака А.С., Третьяков И.П. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. М.: Машиностроение, 1986. - 192 с.

82. Ma L.P., Gu Y.S., Duan Z.J. Scanning tunneling microscopy investigation of carbon nitride thin films grown by microwave plasma chemical vapor deposition // Thin solid films. 1999. - Vol. 349. - № 1,2. - pp.10 -14

83. Liu Z.H. Brown N.M. Scanning tunnelling microscopy characterization of gold film surfaces processed using an argon radio frequency (RF) plasma // Thin solid films. 1999. - Vol. 349. - № 1,2. - pp. 78 -84

84. Дрейпер H., Смит Г. Прикладной регрессионный анализ. Кн.2. М.: Финансы и статистика, 1986. - 349 с.

85. Львовский Е.Н. Статистические методы построения эмпирических формул. М.: Высш. шк., 1988. - 239 с.

86. Тюрин Ю.Н., Макаров А.А. Статистический анализ данных на компьютере / Под ред. В.Э. Фигурнова. М.: ИНФРА-М, 1998. 528 с.

87. Тихонов А.Н., Барвинок В.А., Богданович В.И., Малкин В.И. Математическая модель образования соединений нитрида металла при вакуумном ион-но-плазменном напылении // Машиностроение и автоматизация. 1995. -№ 5/6. - С. 43^4.

88. Корчагина М. Н., Савенков Н. В., Корчагин Б. В. Математическое моделирование рабочих характеристик магнетронных систем ионного распыления //Электронная техника. Сер. 1. 1986. - Вып. 1 (385). - С. 62-63.

89. Клиланд Д., Кинг В. Системный анализ и уравнение. М.: Советское радио, 1974. - 278 с.

90. Бусленко Н.П. Моделирование сложных систем. М. Наука, 1978. -400 с.

91. Голенко Д.И., Лившиц С.Е., Кеслер С.Ш. Статистическое моделирование в технико-экономических системах (управление разработками) Л.: Изд-во Ленингр. ун-та, 1977. 264 с.

92. Вознесенский В.А. Статистические методы планирования эксперимента в технико-экономических исследованиях. М.: Статистика, 1974. — 192 с.

93. Налимов В. В. Теория эксперимента. М.: Наука, 1971. - 215 с.

94. Налимов В.В., Голикова Т.И. Логические основы планирования эксперимента. М.: Металлургия, 1981.-151 с.

95. Вальднер В.О., Заболотный В.Т., Старостин Е.Е. Компьютерное моделирование ионно-атомного осаждения покрытий // Физика и химия обработки материалов.- 1996.- №4.-С.9-14

96. Мао Н., Lee S., Park S.-J. The Monte Carlo simulation of epitaxial growth of hexagonal GaN // Surface science letters. 1999. - Vol. 432. - № 3. - pp. 617 -621

97. Новик Ф. С., Арсов Я. Б. Оптимизация процессов технологии металлов методами планирования экспериментов М.: Машиностроение, София: Техника, 1980.- 304 с.

98. Статистическое моделирование и прогнозирование / Гамбаров Г.М., Журавель Н.М., Королев Ю.Г. и др. /Под ред. Гранберга А.Г. М.: Финансы и статистика, 1990. - 383 с.

99. Круг Г .К., Сосулин Ю.А., Фатуев В.А. Планирование эксперимента в задачах идентификации и экстраполяции. М.: Наука, 1977. -208 с.

100. Красовский Г.И., Филаретов Г.Ф. Планирование эксперимента. Мн.: Изд-во БГУ, 1982. - 302 с.

101. Алиев Т.А. Экспериментальный анализ. М.: Машиностроение, 1991. -272 с.

102. Демиденко Е.З. Оптимизация и регрессия. М.: Наука, 1989. - 296 с.

103. Адлер Ю.П., Маркова Е.В., Грановский Ю.В. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. М.: Наука, 1976. - 280 с.

104. Ермаков С.М., Жиглявский А.А. Математическая теория оптимального эксперимента. М.: Наука, 1987. - 318 с.

105. Джонсон Н., Лион Ф. Статистика и планирование эксперимента в технике и науке: Методы планирования эксперимента. М.: Мир, 1981. - 516 с.

106. Хартман К., Лецкий Э., Шефер В. и др. Планирование эксперимента в исследовании технологических процессов. М.: Мир, 1977. - 552 с.

107. Ящерицын П.И., Михаринский Е.И. Планирование эксперимента в машиностроении. Мн.: Выш. шк., 1985. - 286 с.

108. Федоров В.В. Теория оптимального эксперимента. М.: Наука, 1971. -312 с.

109. Химмельблау Д. Прикладное нелинейное программирование. М.: Мир, 1975.-534 с.

110. Нестеров Ю.Е. Эффективные методы в нелинейном программировании. М.: Радио и связь, 1989. 301 с.

111. Моисеев Н.Н. Методы оптимизации. М.: Наука, 1978. - 351 с.

112. ПЗ.Бейко И.В., Бублик Б.Н., Зинько П.Н. Методы и алгоритмы решениязадач оптимизации. К.: Выща школа. Головное изд-во, 1983.-512 с.

113. Аброян И. А., Андропов А. Н., Титов А. И. Физические основы электронной и ионной технологии. М.: Высш. шк., 1984. 320 с.

114. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла / Пер. с англ.,- М.: Мир, 1967- 506 с.

115. Иевлев В.М., Трусов Л.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. М.: Металлургия, 1988. - 324 с.

116. Гост Ю.В. Взаимодействие частиц с веществом в плазменных исследованиях. М.: Атомиздат, 1978. - 271 с.

117. Вучков И.Н., Бояжиева Л.Н., Солаков Е.Б. Прикладной линейный регрессионный анализ. М.: Финансы и статистика, 1987. - 239 с.

118. Бешелев С.Д. Гурвич Ф.Г. Математико-статистические методы экспертных оценок. М.: Статистика, 1980. - 263 с.

119. Кендэлл М.Д. Ранговые корреляции. М.: Статистика, 1975. 214 с.

120. Таблицы планов эксперимента для факторных и полиномиальных моделей (справочное издание) / Бродский В.З., Бродский Л.И., Голикова Т.И. и др. / под ред. Налимова В.В. М.: Металлургия, 1982. 752 с.

121. Голикова Т.И., Микешина Н.Г. Свойства D-оптимальных планов и методы их построения. в кн.: Новые идеи в планировании эксперимента. - М.: Наука, 1969.-С. 21-58.

122. Айвазян С.А., Енюков И.С., Мешалкин Л.Д. Прикладная статистика: Исследование зависимостей. Справочное издание. / Под ред. С.А. Айвазяна. -М.: Финансы и статистика, 1985. 487 с.

123. Шеффе Г. Дисперсионный анализ. М.: Наука, 1980. - 512 с.

124. Арене X., Лейтер Ю. Многомерный дисперсионный анализ. М.: Финансы и статистика, 1985. - 230 с.

125. Мину М. Математическое программирование: Теория и алгоритиы. М.:Наука, 1990. -488 с.

126. Базара М., Шетти К. Нелинейное программирование: Теория и алгоритмы. М.: Мир, 1982. 583 с.

127. ГОСТ 111-90. Стекло листовое. Технические условия. М.: Изд-во стандартов, 1991. - 23 с.