автореферат диссертации по радиотехнике и связи, 05.12.21, диссертация на тему:Нерегулярные микрополосковые резонаторы и СВЧ устройства на их основе

На правах рукописи

РГ5 ОД

1 _ * ' • г »)

ШИХОВ Юрий Германович

НЕРЕГУЛЯРНЫЕ МИКРОПОЛОСКОВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ И СВЧ УСТРОЙСТВА НА ИХ ОСНОВЕ

Специальность 05.12.21 -Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Красноярск - 2000

Работа выполнена в лаборатории Электродинамики и СВЧ электроники Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН.

Научный руководитель:

доктор технических наук Б.А. Беляев.

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор В.Б. Кашкин

Кандидат физико-математических наук В.М. Владимиров

Ведущая организация: Томский Государственный Университет

им. В.В. Куйбыше: г.Томск

Защита состоится « 3 о » и^^Ч&п* 2000 г. в /^ часов на заседании диссерт циокного совета Д.064.54.03 Красноярского Государственного Техническо Университета по адресу 660074, г. Красноярск, ул. Киренского, 26, Красноярск! Государственный Технический Университет.

С диссертацией можно ознакомится в библиотеке КГТУ. Автореферат разослан « 3_» ■ ¿2 ^С^О г

Ученый секретарь

диссертационного совета к.т.н. Ю.П. Саломатов

2

> ШГ) Т- Шя У-о п

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность проблемы. Прогресс в развитии радиолокации, систем связи, :редств контроля и диагностики материалов в СВЧ диапазоне, обусловлен прежде ¡сего, совершенствованием всех компонентов радиоаппаратуры, и в том числе . устройств, использующих резонансы электромагнитных колебаний. В частности 5олыиое внимание уделяется совершенствованию конструкций частотно-флективных устройств (ЧСУ), различных датчиков на основе резонаторов, генера-•оров СВЧ сигналов и др.

Возрастающие требования к габаритам, надежности, а также к себестои-гости изделия, приводят к необходимости создания устройств с оптимальными >лектр ячеек ими характеристиками в сочетании с повышенной степенью интегра-ши СВЧ компонентов. Это заставляет разработчиков аппаратуры с одной сторо-1ы, широко использовать новейшие достижения науки в области электродинами-;и, СВЧ электроники, материаловедения, а с другой стороны - искать новые под-:оды к конструированию устройств и оптимизации их параметров.

Как известно, самыми миниатюрными из "электродинамических" резона-оров являются микрополосковые резонаторы (МПР), поэтому в метровом и леии-1етровом диапазонах длин волн наиболее широкое распространение получили 34 устройства на их основе. Однако проблема миниатюризации остается до-ольно актуальной даже в конструкциях устройств на МПР, и она может решаться [есколькими путями. Например, использование в качестве материала подложек ЛТП? высокочастотных керамик с большим значением диэлектрической прони-[аемости (в» 10) приводит не только к существенному уменьшению размеров ре-онаторов, но и к увеличению их добротности.

)собое внимание в последнее время исследователи уделяют развитию нетрадици-нных подходов к построению миниатюрных микрогТолосковых СВЧ устройств. ]реди таких подходов особо выделяются два. Первый - основан на использовании ак называемых нерегулярных микрополосковых резонаторов, составленных из

отрезков регулярных микрополосковых линий с различным волновым сопроти лением. Нерегулярные микрополосковые резонаторы обладают рядом полож тельных особенностей по сравнению с регулярными МПР. К таким особенной? относятся: миниатюрность, управляемая неэквидистантность спектра собственнь колебаний, возможность удаления второго паразитного резонанса почти на д октавы от первого, повышенная собственная добротность первого рабочего рез нанса. В результате устройство на нерегулярных резонаторах выигрывает не тол ко в размерах, но и может иметь более качественную амплитудно- и фаз частотную характеристику. Поэтому актуальны исследования направленные : изучение свойств нерегулярных микрополосковых резонаторов и получение опт мизированных конструкций ЧСУ на их основе.

Второй подход основан на использовании в СВЧ устройствах так называ мых многомодовых резонаторов. Многомодовые резонаторы появились благода стремлению конструкторов более эффективно использовать полезный объем, з нимаемый устройством. Конструктивные особенности таких резонаторов позв ляют существенно сблизить в них собственные частоты двух или более типов к лебаний. В результате каждый многомодовый резонатор имеет сразу несколь рабочих резонансов. Однако микрополосковые многомодовые резонаторы в г стоящее время применяются крайне редко, по сравнению с. другими типами ми гомодовых электродинамических резонаторов (волноводных, диэлектрических т.д.). Поэтому вполне актуальны исследования,направленные на изучение мног модовых МПР и построение широкого класса устройств на их основе.

Целью диссертационной работы является теоретическое и экспериме тальное исследование нерегулярных и многомодовых микрополосковых резона! ров, разработка и создание на их основе оптимизированных конструкций микр полосковых фильтров, мультиплексеров, датчиков для изучения диэлектрическ и магнитных свойств материалов на СВЧ.

Научная новизна работы. Новые научные результаты, полученные в работе, состоят в следующем:

1. Исследовано влияние различных типов связи входного и выходного резонаторов с внешними линиями передачи на электрические характеристики микрополосковых фильтров. Показано, что комбинированная связь увеличивает избирательность полосно-пропускающего фильтра.

2. Исследовано влияние нерегулярностей резонаторов на крутизну склонов АЧХ микрополосковых фильтров. Показано, что варьирование конструктивных параметров нерегулярных МПР позволяет эффективно управлять асимметрией склонов АЧХ фильтра.

3. Исследован эффект селективного подавления добротности высших резонансов МПР адгезионным подслоем. Показано, что на основе этого эффекта возможно создание фильтра гармоник с широкой полосой заграждения паразитного СВЧ сигнала.

4. Исследованы закономерности поведения спектров собственных колебаний ряда многомодовых микрополосковых резонаторов при изменении их конструктивных параметров. Разработаны принципы эффективного управления резонансными частотами многомодовых МПР. Показана возможность практического использования от двух до четырех резонансов колебаний МПР при построении ЧСУ.

Практическая ценность работы. Предложен ряд оригинальных конструкций микрополосковых фильтров, защищенных авторским свидетельством и патентами России. Результаты исследований крутизны склонов АЧХ фильтров на нерегулярных резонаторах от конструктивных параметров МПР используются для создания устройств с требуемой избирательностью. На основе многомодовых нерегулярных МПР реализованы миниатюрные конструкции полосно-пропускающих фильтров и иультиплексеров со смежными полосами пропускания. Получены оптимизированные конструкции миниатюрных высокочувствительных микрополосковых

датчиков для измерения магнитных и диэлектрических свойств материалов.

Внедрение результатов работы. Проведенные исследования поззоли •разработать и внедрить оптимизированные конструкции микрополосковых фил! ров и мультиплексеров на ряде предприятий России. Результаты проведенных \ следований по микрополосковым датчикам и сами датчики внедрены в учебш процесс в Томском государственном университете. Все внедрения подтвержде! соответствующими актами. Оригинальные конструкции фильтров и микрополс кового датчика защищены авторским свидетельством СССР и тремя патентаг России. -

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались на Вс союзной научно-технической конференции Интегральная электроника С1 (Красноярск, 1988), на ХУ-й Всероссийской школе-семинаре Новые магнитт материалы микроэлектроники (Москва, 1996), на международной научн технической конференции Спутниковые системы связи и навигации (Красноярс 1997), на ГУ международной научно-технической конференции Актуальные пр блемы электронного приборостроения АПЕП-98 (Новосибирск, 1998), на Ш Ме: дународном симпозиуме Сибконверс-99 (Томск, 1999), на 9 Международю Крымской конференции СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии (С , вастополь, 1999). На защиту выносятся

1. Результаты исследований электрических характеристик микрополосковь фильтров на основе нерегулярных МПР.

2. Оригинальные конструкции микрополосковых диллексеров на двухмодов! нерегулярных резонаторах.

3. Оригинальные конструкции многомодовых микрополосковых резонаторе позволяющие реализовать частотно-селективные устройства с относителык полосой пропускания от 2 до 100 %.

4. Оптимизированные конструкции микрополосковых датчиков для измерение

магнитных и диэлектрических свойств материалов. Структура диссертации. Диссертация состоит из общей характеристики работы введения, пяти глав, заключения, списка цитированной литературы и приложений Общий объем диссертации - 125 страницы, включая 66 рисунков, одной таблицы 7 страниц приложения. Библиографический список содержит 59 наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Работа начинается с общей характеристики, в которой дано обоснование актуальности темы диссертационной работы, перечислены основные полученные результаты с указанием их практической ценности.

Во введении рассмотрены преимущества и недостатки СВЧ устройств на основе микрополосковых линий передачи (МПЛ). Кратко рассмотрены технологические проблемы и трудности процесса производства МПЛ, не позволяющие реа-лизовывать устройства с высокими электрическими характеристиками.

х Первая глава посвящена нерегулярным микрополосковым резонаторам (МПР). Первый раздел главы носит обзорный характер, и посвящен нерегулярным МПР со ступенчатым изменением ширины полоскового проводника (скачок волнового сопротивления). Показано, что, правильно выбрав конструктивные параметры такого скачка, можно, во-первых, получить заданный спектр резонансных частот МПР, во- вторых, существенно увеличить собственную добротность резонатора.

Во втором разделе описываются нерегулярные МПР с плавным изменением ширины полоскового проводника в виде "гладкой гантели". Показано, что существует оптимальная топология данного проводника (когда его длина /г приблизительно в 3 раза превышает диаметр наружных окружностей "гантели" 211), которая

обеспечивает одновременно и максимальное понижение частоты первой моды к< лебаний, и максимальное повышение частоты второй.

В третьем разделе показано влияние оголенного адгезионного подслс хрома, находящегося в контакте с полоской МПР, на добротность его колебани) Установлено, что даже небольшой участок такого подслоя способен эффективи понижать добротность той моды колебаний, для которой он расположен в облает пучности высокочастотного напряжения. Причем эффект проявляется и в том сл; чае, когда участок хрома расположен внутри контура полоски МПР.

Вторая глава посвящена исследованию резонансных свойств ряда мно гомодовых микрополосковых резонаторов. Показана возможность э<) фективного управления спектром собственных колебаний многомодовых МП] используя различные конструктивные неоднородности. В частности, предложе? оригинальная конструкция МПР, позволяющая эффективно управлять первым четырьмя резонансными частотами. На рис. 1 показана топология этого резонатор и спектр резонансных частот (1 4) при перемещении /э перемычки А вдоль ст< роны /г.

Рис. 1. Топология многомодового микрополоскового резонатора и спектр колебаний первых четырех резонансов.

'егулировать спектр колебаний также позволяет микрополосковый резонатор, в :отором проводящая полоска в произвольной точке замкнута на экран небольшим »трезком проводника. Изменение частот спектра наблюдается при перемещении х заземляющего проводника вдоль полоски резонатора /г. В случае, когда зазем-гяющий проводник расположен в центре полоскового проводника, первая и вторая

моды, а также все последующие попарно вырождены. Вырождение снимается, если длина проводника, замыкающего полоску на экран отлична от нуля. При этом наблюдается расщепление частот в спектре собственных колебаний МПР, величина которого определяется индуктивностью используемого проводника. Вырождение собственных частот в рассматриваемом

Рис. 2 Спектр колебаний нерегулярного МПР резонаторе снимается так же и при от смешения заземляющего проводника

нулевой длине замыкающего проводника, в случае, когда точка его подключения к МПР смещена относительно :ередины полоскового проводника резонатора. На рис. 2 приведен спектр колебаний первых четырех резонансов нерегулярного МПР, при перемещении замыкающего проводника. Пунктирные линии проведены на уровне первых трех резонансных частот незамкнутого МПР.

Третья глава посвящена исследованию селективных свойств полосно-пропускающих микрополосковых фильтров (МПФ) на основе нерегулярных и многомодовых МПР.

3 первом разделе содержится описание используемого в работе метода расчета характеристик частотно-селективных устройств. Расчет проводится в приближении

Ы1г

длинных линий. Параметры основных типов волн для отрезков одиночных и ев* занных МПЛ рассчитываются в квазистатическом приближении. Дисперсия эф фективной диэлектрической проницаемости учитывается в рамках приближенно аналитической модели. Диссипация мощности учитывается введением мнимо части у волнового числа к => - i¡2Q¿), где QQ - экспериментально измеренна собственная добротность микрополоскового резонатора. Влияние высших типо волн на разомкнутых концах отрезков связанных линий апроксимировалось вве дением эффективных концевых емкостей. Используемый метод обеспечивает при емлемое согласие между экспериментальными данными и расчетом в области час тот квазистатического приближения, то есть в низкочастотной области СВЧ (мет ровый, дециметровый диапазон и начало сантиметрового диапазона).

Исследовано влияние связи с внешним СВЧ трактом на электрические ха рактеристики МПФ. Показано, что комбинированная кондуктивно-индуктивна. связь увеличивает избирательность фильтра. На рис. 3 показан

внешний вид фильтра при такой комбинированной связи. Здесь подводимые линия передачи подключаются к небольшим отрезкам высокоомных микрополоско-вых линий передачи,, выполненных на подложках с малой диэлектрической

проницаемостью и припаянных непосредственно на полосковые проводники крайних резонаторов. Причем один конец отрезков этих линий также соединен с по-лосковым проводником МПР. Там же приведены две АЧХ при кондуктивной и комбинированной связи.

Далее з главе представлены результаты исследований влияния нерегулярности в МПР на асимметрию склонов амплитудно-частотной характеристики мик-рополосковых фильтров. Нерегулярность (скачок волнового сопротивления) в каждом резонаторе реализовалась изменением ширины внутреннего участка проводящей полоски'щ. Исследовались зависимости значений коэффициентов крутизны низкочастотного К\ и высокочастотного Кь склонов АЧХ от величены скачка волнового сопротивления при фиксированных центральной частоте и ширине полосы пропускания фильтра. Коэффициенты крутизны рассчитывались по формулам:

где А/з - ширина полосы пропускания по уровню 3 дБ, А/? - ширина полосы частот от центра полосы пропускания до низкочастотного склона на уровне 30 дБ, ДД -ширина полосы частот от центра полосы пропускания до высокочастотного склона на уровне 30 дБ. На рис. 4 представлены зависимости коэффициентов крутизны склонов АЧХ четырехзвенных фильтров лестничного типа (см. вставку на рисунке) от относительного изменения ч>г при неизменной ширине полосковых проводников крайних участков резонаторов ж Видно, что, изменяя отношение \v\lw можно регулировать в нужную сторону крутизну склонов АЧХ фильтров; при этом для фильтра из керамики ТБНС АЧХ может быть симметричной (К/ = Ки). Очевидно, что для фильтра, выполненного на подложке из поликора, такая симметричная АЧХ возможна в области, обратных скачков волнового сопротивления (при > V,').

кн= ,

¥3/2

Кь Ки

КI, Кь

0.25

0.5 0.75

\Vil\V

а)

1.2 1.15 1.1 1.05

1

0.95

Кь

У

е

к, ---1

0.25

0.5 0.75

\Vil\V

б)

Рис. 4. Зависимость коэффициентов крутизны склонов АЧХ фильтров лестничного типа от относительного изменения щ а) - подложка из поликора (е = 9.6), б) - ТЕНС (е = 80)

Приведены конструкции фильтров гармоник на основе нерегулярных МПР. В частности, МПФ, реализованные на резонаторах с плавным изменением волнового

сопротивления ("гладкая ган-

Потери, дБ

1.5

2 2.5 ' 3

Частота, ГГц

3.5

Рис. 5. АЧХ четырехзвенного фильтра на МПР "гладкая гантель"

тель"), позволяют сдвинуть по частоте вторую, паразитную, полосу пропускания на расстояние З/о от первой (рис. 5). Для того, чтобы более эффективно использовать площадь подложки, резонаторы в фильтре "вложены" друг в дру-. га. Кроме того, отсутствие острых выступов и углов в таких МПР делает их устойчивыми к повышенным уровням падаю-

щей мощности. Другие конструкции фильтров гармоник реализованы на нерегулярных МПР с выступающими участками хрома. Показано, что, используя эффект подавления хромом добротности высших мод колебаний, возможна реализация МПФ с полосой заграждения (уровень не менее 30 дБ) в 20 раз превышающую центральную частоту полосы пропускания/0.

В пятом разделе приведены конструкции МПФ на многомодовых микро-полосковых резонаторах. Показана возможность построения на одном резонаторе полосового фильтра с относительной полосой пропускания от 2 до 100 %. При этом полосу пропускания формируют 2 (узкополосный и среднеполосный фильтр), 3 или 4 резонанса (широкополосный). На рис. 6 приведены прямые и обратные потери фильтров реализованных на многомодовом МПР с подложкой из поликора. В формировании полосы пропускания используются соответственно 2 и 4 рабочих колебания резонатора.

60

45

30

15

Потери, дБ

1 ; 11 к

) 0

и /

1 1.5 2 2.5 3 3.5 . 4 4.5

Частота, ГГц

а)

б)

Рис. 6. Прямые и обратные потери двух фильтров на многомодовом МПР:

а) - топология полоски МПР узкополосного фильтра (Д/3/ /0 = 2.8%)

б) - топология полоски МПР широкополосного фильтра (А/з/ /о = 74%)

Топология резонатора (на рисунке приведена в одном масштабе) в обоих случа отличается только геометрией внутренних отрезков МПЛ, составляющих резок тор, а внешние габариты МПР не меняются (24 х 6 мм), при этом относительн

Четвертая глава посвящена диплексерам на основе нерегулярных мн гомодовых МПР. Одна из конструкций реализована на двух полуволновых резон торах. Полосы пропускания диплексера формируются с использованием двух пе вых мод колебаний основного типа. Разделение сигнала по каналам происход: благодаря подключению выхода первого канала в точку узла высокочастотно напряжения второй моды колебаний, а выхода второго канала в точку узла выс кочастотного напряжения первой моды колебаний. Входной сигнал подается вбл зи края полоски МПР, где происходит эффективное возбуждение обеих мод кол баний. Варьируя скачок волнового сопротивления в МПР, можно в широких пр делах изменять раздвижку между канатами. й0 Потери, дБ

ширина полосы пропускания фильтров отличается почти в 30 раз.

40

20

50

30

10

0

0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9

1

1.1

Частота, ГГц

Рис. 7. АЧХ диплексера на двух нерегулярных МПР: (----------) - расчет, (-) - эксперимент

Изменяя зазор между резонаторами, и их смещение друг относительно друга, можно регулировать ширину полосы пропускания каждого канала в отдельности. Пример реализации такого диплексера приведен на рис. 7.

Диплексер со смежными полосами пропускания реализован на двухмодо-вом четвертьволновом МПР (см. рис. 2), который является входным элементом устройства. Изменением местоположения заземляющего проводника, его индуктивности, а также связи резонатора с входной линией передачи производится настройка резонатора так, чтобы его первая и вторая резонансная частота попадали в центр формируемых полос пропускания. Сами полосы пропускания в каждом канале в отдельности формируются п дополнительными четвертьволновыми резонаторами.

Потери, дБ

Выход II

Выход I

ттш

0.8 0.9 1 1.1 1.2 1.3 Частота, ГГц

0—1

Вход

1

1.4

Рис. 8. Частотная зависимость прямых и обратных потерь диплексера со смежными каналами вблизи полос пропускания

Резонаторы электромагнитно связаны друг с другом и с входным резонатором,

образуя полосовые фильтры, размерностью п-1. На рис. 8 показана конструкция

трехзвенного диплексера и представлены прямые и обратные потери в каналах

вблизи полос пропускания.

В пятой главе рассмотрены конструкции микрополосковых датчиков резонаторно-го и мостового типа для измерения диэлектрических и магнитных свойств ■

материалов в СВЧ диапазоне. Проведенные исследования с использованием нере гулярных МПР позволили получить оптимизированные конструкции устройств При измерении температурных зависимостей диэлектрических констант на такол датчике возможна регистрация относительного изменения диэлектрической про ницаемости материалов на уровне 10"4. Получена конструкция датчика для изме рения диэлектрических констант жидкостей имеющих сравнительно большую п( величине мнимую часть диэлектрической проницаемости. Разработано несколью конструкций датчиков магнитного поля, у которых особенно чувствительна к маг нитному полю либо частота полюса затухания, либо его глубина. Для двух такк датчиков на рис. 9 приведены полевые зависимости относительных измененш частоты полюса затухания (кривая 1) и уровня прохождения СВЧ мощности в по люсе (кривая 2).

Н,Э

Рис. 9. Относительные полевые зависимости частоты и глубины полюса затухания.

Эксперименты проводились с использованием пермаллоевых пленок, толщиной

300+900 А, полученных вакуумным напылением. Пленки имели наведенную в

процессе напыления одноосную анизотропию в плоскости (поле анизотропии

НА=3+5 Э) и ширину линии ферромагнитного резонанса АН ~ 3+6 Э, измеренную

на частоте 1 ГГц.

В заключении приведены основные результаты работы, состоящие в .следующем.

1. Исследовано влияние различных типов связи микрополосковых резонаторов с внешним СВЧ трактом на характеристики полосно-пропускающих фильтров. Показано, что комбинированные виды связи и, в частности кондуктивно-индуктивная, существенно увеличивают избирательность полосового фильтра.

2. Исследовано влияние нерегулярности микрополоскового резонатора на крутизну склонов АЧХ некоторых типов микрополосковых фильтров. Показано, что изменение конструктивных параметров нерегулярностей позволяет эффективно управлять асимметрией склонов АЧХ фильтра при неизменной ширине полосы пропускания.

3. Исследован эффект селективного подавления добротности высших резонансов микрополоскового резонатора адгезионным подслоем. Применение этого эффекта на нерегулярном микрополосковом резонаторе оригинальной конструкции позволяет создать полосовой фильтр с полосой заграждения до нескольких октав.

4. Исследовано пять типов многомодовых микрополосковых резонаторов и частотно-селективных устройств на их основе. Показана возможность создания фильтра с полосой пропускания от 2 % до 100 % на одном многомодовом резонаторе. При этом в формировании полосы пропускания могут использоваться до четырех рабочих колебаний резонатора. Мультиплексеры созданные на основе многомодовых МПР могут иметь смежные каналы пропускания. Все устройства отличаются малыми габаритами и высокими электрическими характеристиками.

На нерегулярных микрополосковых резонаторах созданы оптимизированные конструкции СВЧ датчиков для измерения диэлектрических и магнитных свойств материалов. Датчики имеют высокую чувствительность при небольших

габаритах и позволяют работать с малым количеством исследуемого материала.

В приложениях приведены акты о внедрении конструкций микрополосков!

фильтров и датчиков в процесс производства на некоторых предприятиях России

в учебный процесс Томского государственного университета им. В.В. Куйбыше<

(ТГУ).

Публикации по работе.

1. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Шихов Ю.Г., Алексеева H.A., Сергиенко П.Н. И следование микрополосковых резонаторов с плавным изменением ширщ проводника: Препринт № 784 Ф, Красноярск: Институт физики, 1998,31с.

2. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый полосн пропускающий фильтр: Патент 2078393 РФ, Б.И. № 12, 1997.

3. Беляев Б.А., Матвеев C.B.; Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Подавление добротное высших резонансов микрополоскового резонатора адгезионным подслоем Электронная техника. Сер. СВЧ-техпика, 1994, вып. 4(464), с. 20-25.

4. Беляев Б.А., Лапин В.Б., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Простой СВЧ диплексер ] нерегулярных микрополосковых резонаторах: Препринт N° 667 Ф, Краен ярск: Институт физики, 1991 30 с.

5. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый диплексер на дву модовых резонаторах: // Электронная техника. Сер. СВЧ-техника, 1997, вы 2(470) с.20-24.

6. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый m лосно-пропускающий фильтр: Патент 2065333 РФ, Б.И. № 22, 1996.

7. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Двухзвенный микрополосковый СВЧ фильтр. Часть И: Препринт № 703 Ф, Красноярск: Институт физики, 1991,48 с.

. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г., Гимадеев А.Н. Микрополосковый решетчатый фильтр: А. с. 1681343 СССР, Б.И. № 36, 1991.

. Шихов Ю.Г., Бабицкий А.Н. Исследование избирательности микрополоско-вых фильтров на резонаторах со скачком волнового сопротивления: Труды межд. научно-техн. конф. Спутниковые системы связи и навигации, Красноярск, 1997, Т. 1, с. 266-270.

0. Беляев Б.А.. Лексиков A.A., Трусов В.В., Тюрнев В.В., Шепов В.Н., Шихов Ю.Г. Миниатюризованные микрополосковые СВЧ фильтры: Препринт ЛЬ 730 Ф, Красноярск: Институт физики, 1993, 64 с.

1. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Елисеев А.К., Шихов Ю.Г., Рагзин Г.М. Исследование микрополосковых резонаторов и устройств СВЧ на их основе. Часть III: Препринт № 468 Ф, Красноярск: Институт физики, 1988, 61с.

2. Беляев Б.А., Шихов Ю.Г., Сергиенко П.Н. Спектр собственных колебаний нерегулярного микрополоскового резонатора. Труды IV межд. научно-техн. конф. Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЕП-98, Новосибирск, 1998, Т.1, с. 105-106.

3. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. СВЧ диплексер на четвертьволновых микрополосковых резонаторах: Препринт № 774 Ф, Красноярск: Институт физики, 1997, 30 с.

4. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Сергиенко П.Н.., Шихов Ю.Г. Датчик для измерения диэлектрических характеристик жидкостей. Патент 2124425 РФ, Б.И. № 22, 1999.

5. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый датчик для исследования диэлектрической проницаемости материалов на сверхвысоких частотах//ПТЭ, 1997,№3, с. 112-115.

5. Беляев Б. А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов .Ю.Г. Микрополосковый датчик магнитного поля: Труды XV Всероссийской школы-семинара: Новые магнитные материалы микроэлектроники, Москва, 1996, с. 218-219.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ.

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I

НЕРЕГУЛЯРНЫЕ МИКРОПОЛОСКОВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ.

1.1 Нерегулярные микрополосковые резонаторы со ступенчатым изменением волнового сопротивления.

1.2 Нерегулярные микрополосковые резонаторы с плавным изменением ширины полоскового проводника.

1.3 Использование адгезионного подслоя хрома для подавления добротности резонансов высших мод колебаний МПР.

ГЛАВА II

МНОГОМОДОВЫЕ МИКРОПОЛОСКОВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ.

2.1 Двухмодовый полуволновой микрополосковый резонатор.

2.2 Двухмодовый четвертьволновой микрополосковый резонатор.

2.3 Многомодовый микрополосковый резонатор.

2.4 Многомодовый микрополосковый резонатор с квазисосредоточенными элементами.

ГЛАВА III

МИКРОПОЛОСКОВЫЕ ПОЛОСОВЫЕ ФИЛЬТРЫ НА ОСНОВЕ НЕРЕГУЛЯРНЫХ МПР.

3.1 Методы расчета микрополосковых устройств.

3.2 Связь микрополоскового резонатора с внешним СВЧ трактом. Влияние связи на избирательность полосового фильтра.

3.3 Использование нерегулярных МПР в полосно-пропускающих фильтрах.

3.4 Фильтр гармоник на основе нерегулярных МПР с выступами адгезионного подслоя.

3.5 Микрополосковые фильтры на основе многомодовых нерегулярных МПР.

3.5.1 Микрополосковый фильтр на двухмодовом МПР типа "квадрат.

3.5.2 Микрополосковые фильтры на многомодовом МПР.

ГЛАВА IV

МУЛЬТИПЛЕКСЕРЫ НА ОСНОВЕ НЕРЕГУЛЯРНЫХ МНОГОМОДОВЫХ МИКРОПОЛОСКОВЫХ РЕЗОНАТОРОВ.

4.1 Диплексер на двухмодовом полуволновом микрополосковом резонаторе.

4.2 Диплексер на двухмодовом четвертьволновом МПР.

4.3 Диплексер на основе многомодового резонатора.

ГЛАВА V

ДАТЧИКИ НА ОСНОВЕ НЕРЕГУЛЯРНЫХ МПР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАГНИТНЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ.

Актуальность проблемы. Прогресс в развитии радиолокации, систем связи, средств контроля и диагностики материалов в СВЧ диапазоне, обусловлен прежде всего совершенствованием всех компонентов радиоаппаратуры, и в том числе устройств, использующих резонансы электромагнитных колебаний. В частности большое внимание уделяется совершенствованию конструкций частотно-селективных устройств (ЧСУ), различных датчиков на основе резонаторов, генераторов СВЧ сигналов и др.

Возрастающие требования к габаритам, надежности, а также к себестоимости изделия, приводят к необходимости создания устройств с оптимальными электрическими характеристиками в сочетании с повышенной степенью интеграции СВЧ компонентов. Это заставляет разработчиков аппаратуры с одной стороны, широко использовать новейшие достижения науки в области электродинамики, СВЧ электроники, материаловедения, а с другой стороны - искать новые подходы к конструированию устройств и оптимизации их параметров.

Как известно, самыми миниатюрными из "электродинамических" резонаторов являются микрополосковые резонаторы (МПР) [1], поэтому в метровом и дециметровом диапазонах длин волн наиболее широкое распространение получили СВЧ устройства на их основе. Однако проблема миниатюризации остается довольно актуальной даже в конструкциях устройств на МПР, и она может решаться несколькими путями. Например, использование в качестве материала подложек МПР высокочастотных керамик с большим значением диэлектрической проницаемости (в » 10) приводит не только к существенному уменьшению размеров резонаторов, но и к увеличению их добротности [2].

Особое внимание в последнее время исследователи уделяют развитию нетрадиционных подходов к построению миниатюрных микрополосковых СВЧ устройств. Среди таких подходов особо выделяются два. Первый - основан на использовании так называемых нерегулярных микрополосковых резонаторов, составленных из отрезков регулярных микрополосковых линий с различным волновым сопротивлением. Нерегулярные микрополосковые резонаторы обладают рядом положительных особенностей по сравнению с регулярными МПР. К таким особенностям относятся: миниатюрность, управляемая неэквидистантность спектра собственных колебаний [3], возможность удаления второго паразитного резонанса почти на две октавы, повышенная собственная добротность первого рабочего резонанса [4]. В результате устройство на нерегулярных резонаторах выигрывает не только в размерах, но и может иметь более качественную амплитудно- и фазо-частотную характеристику. Поэтому актуальны исследования направленные на изучение свойств нерегулярных микрополосковых резонаторов и получение оптимизированных конструкций ЧСУ на их основе.

Второй подход основан на использовании в СВЧ устройствах так называемых многомодовых резонаторов. Многомодовые резонаторы появились благодаря стремлению конструкторов более эффективно использовать полезный объем, занимаемый устройством. Конструктивные особенности таких резонаторов позволяют существенно сблизить в них собственные частоты двух или более типов колебаний. В результате каждый многомодовый резонатор имеет сразу несколько рабочих резонансов. Однако микрополосковые многомодовые резонаторы в настоящее время применяются крайне редко, по сравнению с другими типами многомодовых электродинамических резонаторов (волноводных, диэлектрических и т.д. [5-6]). Поэтому вполне актуальны исследования направленные на изучение многомодовых МПР и построение широкого класса устройств на их основе.

Цель настоящей работы. Теоретическое и экспериментальное исследование нерегулярных и многомодовых микрополосковых резонаторов, разработка и создание на их основе оптимизированных конструкций микрополосковых фильтров, мультиплексоров, датчиков для изучения диэлектрических и магнитных свойств материалов на СВЧ.

Научная новизна работы. Новые научные результаты, полученные в работе, состоят в следующем.

1. Исследовано влияние различных типов связи входного и выходного резонаторов с внешними линиями передачи на электрические характеристики микрополосковых фильтров. Показано, что комбинированная связь увеличивает избирательность полосно-пропускающего фильтра.

2. Исследовано влияние нерегулярностей резонаторов на крутизну склонов АЧХ микрополосковых фильтров. Показано, что варьирование конструктивных параметров нерегулярных МПР позволяет эффективно управлять асимметрией склонов АЧХ фильтра.

3. Исследован эффект селективного подавления добротности высших резонансов МПР адгезионным подслоем. Показано, что на основе этого эффекта возможно создание фильтра гармоник с широкой полосой заграждения паразитного СВЧ сигнала.

4. Исследованы закономерности поведения спектров собственных колебаний ряда многомодовых микрополосковых резонаторов при изменении их конструктивных параметров. Разработаны принципы эффективного управления резонансными частотами многомодовых МПР. Показана возможность сближения резонансов от двух до четырех первых мод колебаний МПР и их практического использования при построении ЧСУ.

На защиту выносится.

1. Результаты исследований электрических характеристик микрополосковых фильтров на основе нерегулярных МПР.

2. Оригинальные конструкции микрополосковых диплексеров на двух-модовых нерегулярных резонаторах.

3. Оригинальные конструкции многомодовых микрополосковых резонаторов, позволяющие реализовать ЧСУ с относительной полосой пропускания от 2 до 100%.

4. Оптимизированные конструкции микрополосковых датчиков для измерения магнитных и диэлектрических свойств материалов.

Практическая ценность работы. Предложен ряд оригинальных конструкций микрополосковых фильтров, защищенных авторским свидетельством и патентами России. Результаты исследований крутизны склонов АЧХ фильтров на нерегулярных резонаторах от конструктивных параметров МПР используются для создания устройств с требуемой избирательностью. На основе многомодовых нерегулярных МПР реализованы миниатюрные конструкции полосно-пропускающих фильтров и мультиплексеров со смежными полосами пропускания. Получены оптимизированные конструкции миниатюрных высокочувствительных микрополосковых датчиков для измерения магнитных и диэлектрических свойств материалов.

Внедрение результатов работы. Проведенные исследования позволили разработать и внедрить оптимизированные конструкции микрополосковых фильтров и мультиплексеров на ряде предприятий России. Результаты проведенных исследований по микрополосковым датчикам и сами датчики внедрены в учебный процесс в Томском государственном университете. Все внедрения подтверждены соответствующими актами. Оригинальные конструкции фильтров и микрополоскового датчика защищены авторским свидетельством СССР и тремя патентами России.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались на Всесоюзной научно-технической конференции Интегральная электроника СВЧ (Красноярск, 1988), на ХУ-й Всероссийской школе-семинаре Новые магнитные материалы микроэлектроники (Москва, 1996), на международной научно-технической конференции Спутниковые системы связи и навигации (Красноярск, 1997), на 1У международной научно-технической конференции

Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЕП-98 (Новосибирск, 1998), на Ш Международном симпозиуме Сибконверс-99 (Томск, 1999), на 9 Международной Крымской конференции СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии (Севастополь, 1999).

Публикации. По теме диссертационной работы опубликовано 16 работ, в том числе в центральных научно-технических журналах 3, а также в описании 1 авторского свидетельства и 3 патентов на изобретение.

Структура диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка цитированной литературы и приложений. Общий объем диссертации - 125 страниц, включая 66 рисунков, одной таблицы, 7 страниц приложений. Библиографический список содержит 59 наименований.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В заключении перечислим основные результаты работы, которые заключаются в следующем:

1 Исследовано влияние различных типов связи микрополосковых резонаторов с внешним СВЧ трактом на характеристики пол ос н о-п рон ус каю щи х фильтров. Показано, что комбинированные виды связи и, в частности кондук-тивно-индуктивная, существенно увеличивают избирательность полосового фильтра.

2 Исследовано влияние нерегулярности микрополоскового резонатора на крутизну склонов АЧХ некоторых типов микрополосковых фильтров. Показано, что изменение конструктивных параметров нерегулярностей позволяет эффективно управлять асимметрией склонов АЧХ фильтра при неизменной ширине полосы пропускания.

3 Исс ледован эффект селективного подавления добротности высших резонансов микрополоскового резонатора адгезионым подслоем. Применение этого эффекта на нерегулярном микрополосковом резонаторе оригинальной конструкции позволяет создать полосовой фильтр с полосой заграждения до нескольких октав.

4 Исследовано пять типов многомодовых резонаторов и частотно-селективных устройств на их основе. Показана возможность создания фильтра с полосой пропускания от 2% до 100% на одном многомодовом резонаторе. При этом в формировании полосы пропускания могут использоваться до четырех рабочих колебаний резонатора. Мультиплексеры созданные на основе многомодовых МБР могут иметь смежные каналы пропускания. Все устройства отличаются рекордно малыми габаритами и высокими электрическими характеристиками.

5 На нерегулярных микрополосковых резонаторах созданы оптимизированные конструкции СВЧ датчиков для измерения диэлектрических и магнитных свойств материалов. Датчики имеют высокую чувствительность при небольших габаритах и позволяют работать с малым количеством исследуемого материала.

Автор выражает глубокую благодарность научному руководителю Б.А. Беляеву за предложенную тему, руководству данными исследованиями и постоянное внимание к работе. Автор выражает признательность всем сотрудникам лаборатории за помощь в работе и обсуждении результатов.

1. Справочник по элементам полосковой техники./ под ред. А.Л. Фельдпл ена. - М.: Связь, 1979, 336 с.

2. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Елисеев А.К. и др. Исследование микрополоско-вых резонаторов и устройств СВЧ на их основе. Часть I Препринт ЛЬ 415 Ф, Институт физики, Красноярск, 1987, 55 с.

3. Конструирование и расчет полосковых устройств / В.И. Голубев, И.С. Ковалев, Е.Г. Кузнецов и др.; Под ред. И.С. Ковалева. М.: Сов. Радио, 1974. -296 е., с.86.

4. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Васильев В.А. и др. Исследование микрополос-ков ых резонаторов и устройств СВЧ на их основе. Часть II Препринт М> 448 Ф, Институт физики, Красноярск, 1987, 44 с.

5. S. J. Fiedziuszko. "Practical aspects and limitations of dual mode dielectric resonator filters" in IEEE MTT-S Int. Microwave Syrnp. Dig. (St. Louis), June 1985, pp. 353-356

6. Капилевич Б.Ю., Требухин E.P. Волноводно-диэлектрические фильтрующие структуры: Справочник M.: Радио и связь 1990. 272 с.

7. Веселов Г.И., Егоров E.H., Атехин Ю.Н. и др. Микроэлектронные устройства СВЧ. Учеб. пособие для вузов. М.: Высш. шк., 1988. - 280 с.

8. Stiglitz M.R. Dielectric Resonators: Past, Present, and Future // Microwave ,/.-1981, vol. 24, No. 7, PP. 19-36.

9. Гассанов Л.Г., Ротенберг Б.А., Нарытник Т.Н. и др. Термостабилъные высокодобротные диэлектрические резонаторы для СВЧ электроники. // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ- 1981, вып. 6 (330), с. 2125.

10. Ю.Заикин В А., Смыслов Г.М. Выбор диэлектрической проницаемости подложки при миниатюризации полосно-пропускающих фильтров дециметрового диапазона. // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ- 1989, вып. 9 (423), с. 9-11.

11. Авт. Свид. СССР № 596557. Керамический материал. /Л.И. Мудролюбова, Б.А. Ротенберг, А.Н. Борщ и др.-1978, Бюл. № 9.

12. Безбородое Ю.М., Гассанов Л.Г., Липатов А.А. и др. Диэлектрические резонаторы в микроэлектронике СВЧ. // Обзоры по электронной технике. Сер. Электроника СВЧ.- 1981, вып. 4 (768), 82 с.

13. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Двухзвенный микрополосковый СВЧ фильтр. Часть I-Препринт № 652 Ф, Институт физики, Красноярск, 1990, 60 с.

14. Тюрнев В.В., Беляев Б.А. Взаимодействие параллельных микрополоско-вых резонаторов. // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ- 1990, вып. 4 (428), с, 25-30.

15. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Исследование частотных зависимостей коэффициентов связи микрополосковых резонаторов. Препринт № 695 Ф, Институт физики, Красноярск, 1991, 43 с.

16. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Частотно- зависимые коэффициенты связи микрополосковых резонаторов. // Электронная техника. Сер. СВЧ техника-1992, вып. 4 (448), с. 23-28.

17. Makimoto М.,. Yamashita S. Compact Bandpass Filters Using Stepped Impedance Resonators. IEEE Trans. On Microwave Theory and Techniques. 1979, vol. MTT-67, No 1, p. 16-19.

18. Makimoto M.,. Yamashita S. Bandpass Filters Using Parallel Coupled Strip line Stepped Impedance Resonators. IEEE Trans. On Microwave Theory and Techniques. 1980, vol. MTT-28, No 12, p. 1413-1417.

19. Беляев Б.А., Лексиков А.А., Шихов Ю.Г, Алексеева Н А., Сергиенко П.Н. Исследование микрополосковых резонаторов с плавным изменением ширины проводника: Препринт № 784 Ф, Красноярск: Институт физики, 1998,31с.

20. Kirschning М., Jansen R.H. //Electronics Letters, 1982, v. 1, No. 6, p. 272.

21. Гупта К., Гардж P., Чадха P. Машинное проектирование СВЧ устройств. М.: Радио и связь, 1987, 432 с.

22. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый полосно-пропуекающий фильтр: Патент 2078393 РФ, Б.И. № 12, 1997.

23. Konno M., Tomikawa Y., An electromechanical filter consisting of a flexural vibrator with double resonances, pp. 157-166 of Modern Crystal and Mechanical Filters, ED. by D. F. Sheahan and R. A. Johnson, New York, IEEE Press, 1977.

24. K. Zaki, C. Chen, and A.E. Atia, "Canonical and lonqitudinal dual-mode dielectric resonator filters without iris", IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol MTT-35. pp. 1130-1135, Dec. 1987.

25. W.C. Tang, "An 8-pole quasi-elliptic function filter realized in 3 dielectric resonator cavities", in IEEE MTT-S Int. Microwave Simp. Dig. (Baltimore), June 1986, pp. 349-351.

26. R.R. Bonetti and A.E, Williams, "Application of dual TM modes to triple- and quadruple-mode filters", IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol MTT-35, pp. 1143-1149, Dec, 1987.

27. R.R. Bonetti and A.E. Williams, "А ТЕ triple- mode filters", in IEEE MTT-S Int. Microwave Simp. Dig. (New York), May 1988, pp. 511-514.

28. A.E. Williams and R.R. Bonetti, "A mixed dual-qwuadraple mode 10-pole filter in Proc. 18th European Microwave Conf. (Stockholm), Sept. 1988, pp. 966-968.

29. Машковцев Б.М., Цибизов K.H., Емелин Т.Ф. Теория волноводов. М.: Наука, 1966,- 351 с.

30. Кулеватов М.В. Настройка миниатюрного полосового фильтра на линии передачи с диэлектриком ограниченной ширины: Труды VIII межд. Крымской конф. СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии, Севастополь, 1998, Т. 2 с, 559-560.

31. Беляев Б.А., Лапин В.Б., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Простой СВЧ дип-лексер на нерегулярных микрополосковых резонаторах: Препринт № 667 Ф, Красноярск: Институт физики, 1991 30 с.

32. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый диплексер на двухмодовых резонаторах: // Электронная техника. Сер. СВЧ-техника, 1997, вып. 2(470) с.20-24.

33. Беляев Б.А., Лексиков А.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый полосно-пропускающий фильтр: Патент 2065333 РФ, Б.И. № 22, 1996.

34. Устройства СВЧ: Учеб. Пособие./Под ред. Д.М. Сазонова,- М.: Высш. школа, 1981.- 295 с.

35. Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств. /С.И. Бахарев, В.И. Вольман, Ю.Н. Либ и др.; Под ред. В.И. Вольмана. -М.: Радио и связь, 1982, 328 с.

36. Monaco V.A., Tiberio P. Computer-Aided Analysis of Microwave Circuits. -IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1974. Vol. MTT-22, No. 3. p. 249-263.

37. Гвоздев В.И., Нефедов Е.И. Объемные интегральные схемы СВЧ. М.: Наука, 1985. 256 с.

38. Bryant T.G., Weiss J.A. Parameters of Microstrip Transmission Lines and Coupled Pairs of Microstrip Lines./ IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1968, vol. M l !-16, No. 4, p.251-256.

39. Yamashita E., Mittra R. Variational Method for the Analysis of Microstrip Lines./ IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1968, vol. MTT-16, No. 12, p.1021-1027.

40. Тюрнев В.В. Квазистатическая теория связанных микрополосковых линий.

41. Препринт № 557 Ф, Институт физики, Красноярск, 1989, 19 с.

42. Ховратович B.C. Параметры многопроводных передающих линий. Радиотехника и электроника. 1975, т.20, вып. 3, с. 468-473.

43. Силин Р.А., Гипсман А.И., Самохин Г.С. Полосковые линии и современные методы их расчета. ¡Обзоры по электронной технике. Сер. Электроника СВЧ.- 1989, вып. 6 (1449), 52 с,

44. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Двухзвенный микрополосковый СВЧ фильтр. Часть II: Препринт М> 703 Ф, Красноярск: Институт физики, 1991,48 с.

45. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г., Гимадеев А.Н. Микрополосковый решетчатый фильтр: А. с. 1681343 СССР, Б.И. № 36, 1991.

46. Шихов Ю.Г., Бабицкий А.Н. Исследование избирательности микрополосковых фильтров на резонаторах со скачком волнового сопротивления: Труды межд. научно-техн. конф. Спутниковые системы связи и навигации, Красноярск, 1997, Т.1, с. 266-270.

47. Беляев Б.А., Лексиков А.А., Трусов В.В., Тюрнев В.В., Шепов В.Н., Шихов Ю.Г. Миниатюризованные микрополосковые СВЧ фильтры: Препринт Nq 730 Ф, Красноярск: Институт физики, 1993, 64 с.

48. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Елисеев А.К., Шихов Ю.Г"., Рагзин Г.М. Исследование микрополосковых резонаторов и устройств СВЧ на их основе. Часть III: Препринт № 468 Ф, Красноярск: Институт физики, 1988, 61с.

49. Беляев Б.А., Шихов Ю.Г., Сергиенко ГШ. Спектр собственных колебаний нерегулярного микрополоскового резонатора. Труды IV межд. научно-техн. конф. Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЕП-98, Новосибирск, 1998, Т.1, с. 105-106.

50. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. СВЧ диплексер на четвертьволновых микрополосковых резонаторах: Препринт № 774 Ф, Красноярск: Институт физики, 1997, 30 с.

51. Беляев Б.А., Журавлев В.А., Кириченко В.И., Сусляев В.И., Тюрнев В.В. Исследование диэлектрических свойств солевых растворов на СВЧ с помощью нерегулярного микрополоскового резонатора: Препринт № 547 Ф, Красноярск, 1989, 55с.

52. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Сергиенко П.Н., Шихов Ю.Г. Датчик для измерения диэлектрических характеристик жидкостей. Патент 2124425 РФ, Б.И. № 22, 1999.

53. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Способ измерения диэлектрической проницаемости подложки: A.c. 1800335 СССР, Б.И. № 9, 1993.

54. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополоско-вый датчик для исследования диэлектрической проницаемости материалов на сверхвысоких частотах П7'Э, 1997, № 3, с. 112-115.

55. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Датчик магнитного поля: A.c. 1810855, СССР Б.И. № 9, 1993.

56. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополоско-вый датчик магнитного поля: Труды XV Всероссийской школы-семинара'. Новые магнитные материалы микроэлектроники, Москва, 1996, с. 218-219.

57. О ДЕЯТЕЛЬНОСТИ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУКв 1998 ГОДУ1. Новосибирск19991. М-- ПЛ-УК!/} 19

58. Рис. 1.19. Ступени линейного импульсного трансформатора тока (LTD).1. УТВЕРЖДАЮ :1. Директор НПФ "Электрон"1. УТВЕРЖДАЮ :

59. Директор Института физики СО РАН, академик РАН1. Л "января 1998 г.1. Владимиров В.М.ь/^^^Александров К.С.1. АКТо внедрении микрополосковых устройств, разработанных Институтом физрши им.Л.В.Киренского СО РАН

60. Директор Института физики ;;:тРАН, академик РАНександров К.С.января 1998 г.1. АКТо внедрении микропоЛесковых фильтров, разработанных Институтом физики им.Л.В.Киренского СО РАНг. Красноярск г. Красноярск

61. Начальник КБ Красноярского1. УТВЕРЖДАЮ :

62. Директор Института физики -I, академик РАН-^^Ггександров К.С.января 1998 г.1. АКТо внедрении микрополосковых фильтров, разработанных Институтом физики им. Л.В. Киренского СО РАН

63. Заместитель директора Института физики СО Р д.ф.-м.н., профессор,1. П.• ^С.Г.Овчоктября 1999 г?г. Красноярск1. УТВЕРЖДАЮ:

64. Проректор Томского государственного ггатета, профессор1. А.С.Ревушкин бря 1999 г.г. Томск1. АКТоб использовании в учебном процессе и научных исследованиях микрополосковых датчиков, чувствительных к диэлектрическойпроницаемости материалов

65. Зав. лаб., д.т.н., Б.А.Беляев,л А у ст.н.с., к. ф.-м. н.1. А.А.Лексиковнаучн.сотрудн. Ю.Г.Шихов1. От ТГУ:1. Зав. каф., профессор1. A.Е.Мудровдоцент, к. ф.-м. н.1. B.А.Журавлевоцент, к. ф.-м. н.1. C.С.Новиков