автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.07, диссертация на тему:Методология адаптивного проектирования вакуумно-плазменных технологий и автоматизированного оборудования

Введение

Глава 1. Методические основы адаптивного проектирования вакуумно-плазменных технологий и оборудования. Постановка задачи

1.1. Анализ процессов вакуумно-плазменной обработки как объектов проектирования

1.2. Основные понятия системного и информационного подходов, использованные для формирования методики проектирования

1.3. Разработка методики адаптивного проектирования вакуумно-плазменных технологий и оборудования. Выводы по главе

Глава 2. Модели представления знаний для проектирования вакуумно-плазменных технологий и автоматизированного оборудования. Постановка задачи

2.1. Модели представления знаний для проектирования технологической схемы вакуумно-плазменной обработки изделий

2.2. Модели представления знаний для выбора способа и режимов вакуумно-плазменной обработки деталей.

2.3. Модели для проектирования вакуумно-плазменного автоматизированного оборудования

2.3.1. Технологические плазменные устройства

2.3.2. Газовакуумные системы технологического оборудования

2.3.3. Электропитание технологических плазменных устройств

2.3.4. Механизмы перемещений

2.4. Модели представления знаний для адаптивного проектирования вакуумно-плазменных технологий и оборудования. Выводы по главе

Глава 3. Автоматизация оборудования для вакуумно-плазмен-ной обработки. Постановка задачи

3.1. Модели представления знаний для автоматизации вакуумно-плазменных технологий и оборудования.

3.2. Алгоритмы управления вакуумно-плазменными технологическими процессами

3.3. Автоматизированные стенды для испытания систем вакуумно-плазменного оборудования

3.4. Разработка адаптивного регулятора для управления процессом вакуумно-плазменной обработки изделий.

3.5. Пример практической реализации адаптивного регулятора для управления процессом нагрева изделий в тлеющем разряде.

Выводы по главе

Глава 4 Системное проектирование технологий и оборудования для плазменного напыления покрытий с совмещенной активацией подложки газовыми разрядами. Постановка задачи

4.1. Исследование влияния активации поверхности подложки дуговым разрядом в процессе напыления на прочность сцепления покрытия.

4.2. Исследование требований к степени очистки подложки перед плазменно-дуговым напылением. Реализация стратегии

4.3. Исследование активации подложки газовыми разрядами. Реализация стратегии

4.4. Разработка автоматизированного оборудования для плазменного напыления покрытий с совмещенной активацией подложки газовыми разрядами Выводы по главе

Глава 5. Разработка технологии и автоматизированного оборудования для вакуумно-плазменной очистки проволоки из тугоплавких материалов Постановка задачи

5.1. Разработка стратегии исследований технологического процесса

5.2. Исследования технологического процесса вакуумно-плазменной очистки проволоки

5.3. Разработка автоматизированного оборудования для вакуумно-плазменной очистки проволоки

Выводы по главе

Глава 6. Разработка технологии и автоматизированного оборудования вакуумно-плазменного оксидирования стальных деталей Постановка задачи

6.1. Разработка стратегии исследования технологического процесса

6.2. Исследование технологического процесса вакуумно-плазменного оксидирования стальных деталей

6.3. Разработка автоматизированного оборудования для вакуумно-плазменного оксидирования стальных деталей

Выводы по главе 6 Заключение Литература

Вакуумно-плазменная обработка является одной из современных и перспективных операций в технологии производства деталей машин и приборов. С помощью вакуумно-плазменных технологий могут быть осуществлены процессы изменения поверхностных слоев деталей, в частности: твердости, адгезии на поверхности, повышение стойкости материала к агрессивной среде и высокой температуре. К таким процессам относятся азотирование, цементация, силицирование, борирование и др. [17, 80, 96, 98, 129, 162].

К достоинствам вакуумно-плазменных технологий необходимо отнести также благоприятные характеристики газовых разрядов для автоматизации, в частности, низкая инерционность и возможность варьировать параметры в широком диапазоне.

Одним из факторов, сдерживающим быстрое внедрение вакуумно-плазменных технологий в производственный процесс, является низкая эффективность проектных работ, направленных на разработку новых технологий и оборудования.

Среди различных путей повышения качества и производительности проектных работ эффективным является автоматизация на базе современных вычислительных средств [1,2]. Особенность современных автоматизированных систем проектирования состоит в том, что они оперируют не данными, а моделями представления знаний, представляющими собой некоторую базу знаний для принятия решений [42, 43, 60, 66, 67, 75, 85, 86, 176].

Возникновение новой концепции построения САПР на основе баз знаний приводит и к формированию нового подхода к проектированию технологий и оборудования для вакуумно-плазменной обработки деталей. 6

Цель работы — улучшение качественных показателей разрабатываемых технологий и автоматизированного оборудования ваку-умно-плазменной обработки и повышение эффективности проектных работ на основе совершенствования методов формирования моделей представления знаний для систем адаптивного проектирования и управления.

Для достижения поставленной цели решается ряд задач. Фундаментальный характер носят задачи, направленные на формирование теоретических основ методологии адаптивного проектирования вакуумно-плазменных технологий и оборудования с использованием методов информационных технологий (глава 1) и разработку моделей представления знаний для проектирования новых вакуумно-плазменных технологий и систем автоматизированного оборудования (главы 2 и 3). Прикладной характер носят задачи, связанные с установлением закономерностей на обрабатываемой поверхности твердого тела при воздействии различными формами газовых разрядов, обеспечивающих предпосылки для синтеза новых способов вакуумно-плазменной обработки и оптимизации технологических процессов (главы 4, 5, 6).

Научная новизна работы состоит в формировании теоретических основ методологии адаптивного проектирования вакуумно-плазменных технологий и автоматизированного оборудования, направленных на повышение эффективности проектных работ и улучшение качественных показателей разрабатываемых технологий и оборудования за счет следующих научных результатов:

1. Обоснованы методические основы проектирования представления знаний, логически объединенных в систему адаптивного проектирования для решения задач структурного и параметрического синтеза вакуумно-плазменных технологий и оборудования.

2. Разработана методика формирования четких и нечетких моделей, в форме логико-математических функций входной и вы7 ходной информации и стратегий проектирования, которые на основании логических операторов принятия решений позволяют выбрать лучшие варианты технологических структур, систем оборудования и режимов обработки.

3. Предложена логико-математическая модель для оценки зависимости вероятностного события взаимодействия частиц газоразрядной среды и твердого тела от теплофизических условий в зоне их взаимодействия, на основании которой определяется направление протекания технологического процесса.

4. Предложена структура адаптивного регулятора для управления вакуумно-плазменными процессами, содержащая четкие и нечеткие модели, которые позволяют с помощью логических операторов обучения и принятия решений сформировать управляющий алгоритм, направленный на оптимизацию технологического процесса при случайных изменениях условий обработки

5. Методами стратегии экспериментальных исследований определены динамические и статические характеристики технологической системы, на основе которых с помощью моделей идентификации адаптивного регулятора формируются алгоритмы параметрической оптимизации и стабилизации технологических режимов ва-куумно-плазменной обработки изделий.

6. Обоснованы принципы построения новых технологических схем для автоматизированной вакуумно-плазменной обработки деталей сложной конфигурации и длинномерных типа непрерывно движущейся проволоки, обеспечивающие высококачественную обработку.

Практическая ценность работы состоит в создании комплекса методик для системы адаптивного проектирования вакуумно-плазменных технологий и оборудования, направленных на повышение эффективности проектных работ и разработку новых вакуумно8 плазменных технологий и автоматизированного оборудования, обеспечивающих улучшение качества обработки и условий труда, а именно:

- технологического процесса вакуумно-плазменного оксидирования (чернения) стальных деталей цветного кинескопа;

- технологического процесса вакуумно-плазменной очистки проволоки из тугоплавких материалов;

- технологического процесса вакуумно-плазменной очистки деталей электровакуумного прибора (изделие 3000);

- технологического процесса плазменного напыления покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами;

- автоматизированных установок 4.083.0034, 4.083.0035, 4.083.0038 для плазменного напыления покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами; автомата вакуумно-плазменной очистки проволоки И4.086.0149;

- автоматизированной установки вакуумно-плазменного чернения ЯЛУК.443243.001.

Реализация результатов работы. Методическое обеспечение для системы автоматизированного проектирования внедрено на предприятии АО «Саратовский научно-исследовательский институт машиностроения» при создании алгоритмического и программного обеспечения проектных работ по разработке вакуумно-плазменного оборудования. Разработанные технологические процессы и автоматизированное оборудование внедрены с экономическим эффектом на АООТ МЭЛЗ (г. Москва), Контакте (г. Саратов), других предприятиях г.г. Москвы, Саратова.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались в 1978 - 1998 гг. на 15 Всесоюзных, Международных и отраслевых конференциях в г.г. Москве, Саратове, Пензе, Йошкар-Ола, 9

Дмитрове Моск. обл.

Публикации. По теме диссертационной работы опубликовано 34 работы, в том числе 3 патента (РФ) и 3 авторских свидетельства (СССР).

В соответствии с изложенным на защиту выносятся следующие положения, определяющие решение проблемы повышения эффективности и производительности проектирования новых вакуум-но-плазменных технологий и автоматизированного оборудования:

1. Концепция адаптивного проектирования вакуумно-плазмен-ных технологий и оборудования, базирующаяся на методах информационных технологий.

2. Метод синтеза новых вакуумно-плазменных технологий и систем автоматизированного оборудования в виде формальной модели проектирования, которая формируется на основе моделей представления знаний двух типов: методологических и проектных.

3. Модели представления знаний, направленные на разработку новых вакуумно-плазменных технологий и систем автоматизированного оборудования.

4. Методология и результаты исследований физико-химических явлений на обрабатываемой поверхности твердого тела при воздействии различными формами дугового и тлеющего разрядов, обеспечивающие предпосылки для синтеза новых способов вакуум-но-плазменной обработки и оптимизации технологических процессов.

5. Концепция адаптивного управления процессами вакуумно-плазменной обработки, базирующаяся на разработанных в работе методах представления знаний в виде формальных моделей обучения, идентификации и управления.

6. Результаты разработки и внедрения в производственный процесс новых вакуумно-плазменных технологий и автоматизированного оборудования.

10

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 6.

1.На основании методики адаптивного проектирования разработаны модели представления знаний для исследований нового ва-куумно-плазменного технологического процесса оксидирования (чернения) стальных деталей. Методом экспертных оценок выбран плазмохимический способ обработки деталей.

2. Экспериментально-статистическими исследованиями определены оптимальные режимы плазмохимического оксидирования стальных деталей.

3. Проведенные исследования показали, что вакуумно-плазменное оксидирование стальных деталей обеспечивает улучшение качества обработки по сравнению с паротермической обработкой за-счет стабилизации технологических параметров в вакуумной среде и автоматизации процесса обработки.

4. Предложена конструкция устройства для оксидирования стальных деталей и на его основе разработано промышленное автоматизированное оборудование.

285

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

По результатам теоретических и экспериментальных исследований можно сделать следующие выводы:

1. Обоснованы и разработаны методические основы проектирования информационных структур в виде моделей представления знаний, логически объединенных в систему адаптивного проектирования вакуумно-плазменных технологий и оборудования.

2. Разработана методика формирования четких и нечетких моделей в форме логико-математических функций входной и выходной информации, позволяющие выбрать лучшие варианты технологий, систем оборудования и режимов обработки.

3. Предложена логико-математическая модель для оценки зависимости вероятностного события взаимодействия частиц газоразрядной среды и твердого тела от теплофизических условий, на основании которой определяется направление протекания технологического процесса.

4. Определены границы параметрического пространства варьируемых факторов технологических сред вакуумно-плазменных способов обработки в форме абсолютных, ранговых, относительных и вербальных шкал, которые представляют проектную информацию в максимально подготовленном виде для оптимизации и принятия решений.

5. Установлены важные закономерности, проявляющиеся на обрабатываемой поверхности твердого тела при воздействии различными формами дугового и тлеющего разрядов, которые обеспечивают предпосылки для синтеза новых способов вакуумно-плазменной обработки и оптимизации технологических процессов, а именно:

- высокая прочность сцепления покрытия с поверхностью подложки достигается при совмещении процессов активации поверхности напыления и нанесения покрытия;

286

- повышение эффективности активации подложки обеспечивается при использовании импульсного дугового разряда низкого давления или сильноточного тлеющего разряда в среде водорода.

6. Экспериментальными исследованиями установлены оптимальные режимы активации поверхности импульсным дуговым разрядом низкого давления: энергия импульсов - (0,5-60)Дж; частота повторения импульсов - (Ю-ЮО)Гц; давление рабочего газа - (102-104)Па.

7. Разработана методика формирования моделей представления знаний в форме логико-функциональных зависимостей расчетных алгоритмов от условий технологического процесса и требований технического задания, которая позволяет выбрать алгоритмы для расчета систем оборудования.

8. Построены экспериментальные функциональные зависимости показателей качества от технологических факторов, позволяющие выбрать оптимальные режимы обработки вакуумно-плаз-менных технологий очистки, напыления, травления.

9. Предложена структура адаптивного регулятора для управления вакуумно-плазменными процессами, содержащая четкие и нечеткие модели представления знаний, которые позволяют сформировать управляющий алгоритм, направленный на оптимизацию технологического процесса при случайных изменениях условий обработки.

1СК Определены динамические и статические характеристики технологической структуры, на основе которых с помощью моделей идентификации адаптивного регулятора формируются алгоритмы параметрической оптимизации и стабилизации.

11. Предложенные принципиально новые технологические схемы для вакуумно-плазменной групповой обработки деталей сложной конфигурации и длинномерных типа непрерывно движу

287 щейся проволоки, обеспечивают качественную обработку и хорошо приспособлены для автоматизации.

12. В результате реализации методики адаптивного проектирования разработаны и внедрены в производство новые вакуумно-плазменные технологии и автоматизированное оборудование, обеспечивающие улучшение качества обработки и условий труда, а именно:

- технологический процесс вакуумно-плазменного оксидирования (чернения) стальных деталей рамо-масочного узла цветного кинескопа;

- технологический процесс вакуумно-плазменной очистки проволоки из тугоплавких материалов;

- технологический процесс плазменно-дугового напыления покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами;

- автоматизированные установки для технологических процессов вакуумно-плазменной обработки ( 4.083.0034, 4.083.0035, 4.083.0038, И4.086.0149, ЯЛУК 443243.001 ).

1. Автоматизация поискового конструирования (искусственный интеллект в машинном проектировании) / Под ред. А.И.Половин-кина. М.: Радио и связь, 1981

2. Автоматизированное проектирование и производство в машиностроении / Под ред. Ю.Соломенцова и В.Г.Митрофанова. М.: Машиностроение, 1986.- 256 с.

3. Автоматический контроль и диагностика систем управления силовыми установками летательных аппаратов / В.И.Васильев, Ю.М.Гусев, А.И.Иванов и др. М.: Машиностроение, 1989.- 240 с.

4. Автоматизация обработки масс-спектрометрической информации / Гуревич А.Л., Русиков Л.А., Могильницкий A.M. и др. М.: Энергия, 1978.- 182 с.

5. Автоматизированное управление технологическими процессами / Под ред. Яковлева В.Б. Л.: Из-во Ленинградского ун-та, 1988,— 224 с.

6. Адлер Ю.П. и др. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. М.: Наука, 1976

7. Айзенштейн А.Г., Блинов В.И., Буланов О.Г. и др. Импульсный источник питания для печей ионного азотирования // В кн.: Разработка и промышленное применение полупроводниковых преобразователей частоты в машиностроении. Уфа, 1977.- С.10-12

8. Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства. М.: Энергия, 1974.- 383 с.

9. Алексеева З.Я., Стефанюк В.А. Экспертные системы — состояние и перспективы // Известия АН СССР. Техническая кибернетика, №5, 1984

10. Ю.Алиев P.A., Церковный А.Э., Мамедов Г.А. Управление производством при нечеткой исходной информации. М.: Энергоатом-издат, 1991.- 240 с.

11. Алиев Т.А. Экспериментальный анализ. М.: Машиностроение, 19-91.- 272 с.

12. Алиев Т.А., Мусаева И.Ф. Статистическая идентификация с уравновешиванием погрешностей // Теория и системы управления, №3, 1995.-С.50-55

13. Андриенко Г.Л., Андриенко H.B. Построение информационно-аналитических MULTIMEDIA-систем, основанных на знаниях // Теория и системы управления, №5, 1995.- С.160-172

14. Антошин Е.В. Газотермическое напыление покрытий М.: Машиностроение, 1974.- 95 с.

15. Андреева В.В. Измерение толщины тонких пленок на металлах оптическим поляризационным методом // Труды института физической химии АН СССР, вып. 6, 1957

16. Аппен A.A. О теоретических критериях адгезии покрытий к металлам // В кн.: Неорганические и органические покрытия. Л.: Машиностроение, 1975.-С.3-11

17. Арзамасов А.Б. Ионное азотирование деталей из аустенитных сталей // Металловедение и термическая обработка металлов, №1, 1991. С.9-10

18. Арсеньев A.A. Кинетические уравнения. // М.: Знание, 1985.— 46 с.

19. Э.Артамонов А.Г., Володин В.М., Авдеев В.Г. Математическое моделирование и оптимизация плазмохимических процессов. // М.: Химия, 1989.- 224 с.

20. А.С. 750238 (СССР) Установка для химико-термической обработки тлеющим разрядом // Опубл. 1980, Б.И. №27

21. А.С. 629651 (СССР) Электропечь для ионного нагрева деталей // Опубл 1978, Б.И. №39

22. А.С. 525257 (СССР) Устройство для стабилизации сильноточного тлеющего разряда // Опубл. 1976, Б.И. №30

23. А.С. 719710 (СССР) Способ катодной обработки деталей устой-, чивым дуговым разрядом // Опубл. 1980, Б.И. №9

24. А.С. 1201346 (СССР) Способ оксидирования стабильной аусте-нитной стали // Опубл. 1980, Б.И. №48

25. А.С. 256461 (СССР) Устройство для очистки проволоки в поле тлеющего разряда // Опубл. 1969, Б.И. №34

26. A.C. 1072297 (СССР) Устройство для контроля сильноточного тлеющего разряда // Опубл. 1984, Б.И. №5

27. А.С. 1096765 (СССР) Источник питания установки тлеющего разряда // Опубл. 1984, Б.И. №21

28. АСУ ТП. Предпроектная разработка алгоритмов управления / Скурихин В.И., Дубровский В.В., Шифрин В.Б. Киев: Наук, думка, 1980.- 296 с.

29. Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г.Д. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде. // М.: Атомиздат, 1975.- 175 с.

30. Балакирев B.C., Дудников Е.Г., Цирлин A.M. Экспериментальное определение динамических характеристик промышленных объектов управления. // М.: Энергия, 1967.- 232 с.

31. Беллман Р. Динамическое программирование. Пер. с англ. // М.: ИЛ, 1960.- 342 с.

32. Бенедикт С. Принятие решений при ненадежной информации // Автоматика и телемеханика, №9.-1996.- С. 151

33. Бернштейн Л.С., Коровин С.Я., Мелихов А.И. и др. Функционально-структурное исследование ситуационно-фреймовой сети экспертной системы с нечеткой логикой. // Техническая кибернетика, 1994, №4

34. Бешелев С.Д., Гурвич Ф.Г. Экспертные оценки. // М.: Наука, 1973.- 158 с.

35. Богомолов С.Е. Логический вывод на формулах с временными связками // Кибернетика и системный анализ. -1992. -№5. -С. 63-70

36. Большаков В.А. Применение системы оптимизационного моделирования для задач управления и подготовки решений. // Автоматика и телемеханика, №2, 1996 С. 134

37. Борисов А.И., Алексеев A.B., Крумберг O.A. и др. Модели принятия решений на основе лингвистической переменной. // Рига: Зинатке, 1982.- 256 с.

38. Борисов А.И., Алексеев A.B., Меркурьева Г.В. и др. Обработка нечеткой информации в системах принятия решений. // М.: Радио и связь, 1989.- 384 с.

39. Булат В.Е., Кейтлин Л.Г., Кельберт С.Л. и др. К исследованию воздействия плазмы дугового разряда в вакууме на поверхность стальных деталей. //Докл. АН УзССР, 1991, №7.- С. 31-34

40. Булат В.Е., Эстерлис М.Х. Очистка металлических изделий от окалины, окисной пленки и загрязнений электродуговым разрядом в вакууме. // ФИХОМ, 1987, №3 С. 49-53

41. Вакуумная техника: Справочник /Е.С.Фролов, В.Е.Минайчев, А.Т.Александрова и др. // М.: Машиностроение, 1985.- 360 с.

42. Венда В.Ф. Системный подход в психологическом анализе взаимодействия человека с машиной. // Психологический журнал, 1982.-Т.З, №1.-С. 85-94

43. Венда В.Ф. Системы гибридного интеллекта: эволюция, психология, информатика. // М.: Машиностроение, 1990.- 448 с.

44. Вилкас Э.Й., Майминас Е.З. Решения: теория, информация, моделирование. // М.: Радио и связь, 1981.- 328 с.

45. Влияние технологических параметров процесса осаждения из сепарированного плазменного потока TiN-покрытий на их защитные свойства. // ФИХОМ, 1991, №3.- С. 65-68

46. Воеводин A.A., Ерохин A.A., Спасский С.Е. Модель выбора схемы многослойного ионно-плазменного покрытия на основе расчета напряжений в его слоях. // Поверхность, физика, химия, механика, 1991, №9.- С. 78-83

47. Гаврикова И.С., Додоков А.И., Мокрый В.В. и др. Влияние температуры на формирование ионно-плазменных покрытий. //

48. ФИХОМ, 1989, №1.- С. 140-141

49. Гибкие автоматизированные производства. Управление технологичностью РЭА / А.М.Войчинский, Н.И.Диденко, В.П; Лузин. // М.: Радио и связь, 1987.- 272 с.

50. Головина Е.Ю. Объектно-ориентированный подход к моделированию предметной области. // Техническая кибернетика, 1994, №2

51. Горелик А.Л., Скрипкин В.А. Методы распознавания. // М.: Высшая школа, 1989.-232 с.

52. Горчинская О.Ю, Рубашкин В.А. Метод индуктивного построения базы знаний для экспертных систем, моделирующих нечеткие рассуждения. // Автоматика и механика, 1991, №3.-С. 113-120

53. Гусев В.В., Киреев В.Ю. Плазмохимические реакторы для удаления поверхностных слоев материалов. // ФИХОМ, 1980, №1-С. 72-29

54. Гуткин Л.С. Оптимизация радиоэлектронных устройств по совокупности показателей качества. // М.: "Сов. радио", 1975.- 368 с.

55. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. // М.: Энергоатомиздат, 1989.- 328 с.

56. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. // М.: Энергоатомиздат, 1987.-264 с.

57. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Модель процесса травления материалов в галогеносодержащей плазме. // Физика и химия обработки материалов, 1977, №4.- С. 8-13

58. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. // М.: Радио и связь, 1982.- 72 с.

59. Данилин Б.С., Минайчев В.Э. Основы конструирования вакуумных систем. // М.: Энергия, 1971.- 392 с.

60. Дитрих Я. Проектирование и конструирование: системный подход. // М.: Мир, 1981

61. Дмитриев А.К, Мальцев П.А. Основы теории построения и контроля сложных систем. // Л.: Энергоиздат, Ленингр. отд-ние, 1988.- 192 с.

62. Дмитриев В.И. Прикладная теория информации. // М.: Машиностроение, 1979.-221 с.

63. Донской A.B., Клубникин B.C. Электроплазменные процессы и установки в машиностроении. // Л.: Машиностроение, 1979.-221с.

64. Донец A.M., Львович Я.Е, Фролов В.Н. Автоматизированный анализ и оптимизация конструкций и технологии РЭА. // М.: Радио и связь, 1983

65. Дороднов A.M., Петросов В.А. О физических принципах и типахвакуумных технологических плазменных устройств. // ЖТФ, 1981, т.51, №3.-0.504-524

66. Дружинин В.В., Конторов Д.С. Проблемы системологии. Проблемы теории сложных систем. // М.: "Советское радио", 1976.296 с.

67. Дружинин В.В., Конторов Д.С. Системотехника. // М.: Радио и связь, 1985,- 200 с.

68. Дулькин А.Ем Наумов Г.И. Магнетронная распылительная установка с ионным травлением подложек на базе ВУП-4. // Приборы и техника эксперимента, 1989, №4.- С. 210-211

69. Дульнев Г.Н. Тепло- и массообмен в радиоэлектронной аппаратуре. // М.: Высш. шк., 1984.- 247 с.

70. Емельянов В.В., Ясиновский С.И. Представление знаний для моделирования сложных дискретных систем и процессов. // Информационные технологии.- №1.- 1996.- С. 16-18

71. Епифанов Г.И., Мома Ю.А. Физические основы конструирования и технологии РЭА и ЭВА. // М.: Сов. Радио, 1979.- 352 с.

72. Жук К.Д., Тимченко A.A., Родионов A.A. Построение современных систем автоматизированного проектирования. // Киев: Наукова думка, 1983

73. Иванов Е.М., Углов A.A. Теплофизические процессы при плазменном напылении тугоплавких металлов. // ФИХОМ, 1985, №2.-С. 61-64

74. Ивановский Г.Ф., Панин C.B., Фролов В.И. Устройство ионно-лучевого нанесения пленок. // Электронная промышленность, 1990, №4.-С. 13-14

75. Иванов A.A., Соболева Т.К. Неравновесная плазмохимия. // М.: Атомиздат, 1978.- 264 с.

76. Измерения в промышленности. Кн.1 Теоретические основы. Пер. с нем. / Под. ред. Профоса П. // М.: Металлургия, 1990.264 с.

77. Интеллектуальные системы автоматизированного проектирования больших и сверхбольших интегральных микросхем. / В.А. Мищенко, Л.М. Городецкий, Л.И. Гурский и др. ; Под. ред. В.А. Мищенко // М.: Радио и связь, 1988.- 272 с.

78. Искусственный интеллект. В 3-х кн. Кн.2. Модели и методы: справочник / Под. ред. Д.А. Поспелова // М.: радио и связь, 1990

79. Испытания, контроль и диагностирование производственных систем. Сб. научн. тр. // М.: Наука, 1988

80. Ицкович Э.Л. Контроль производства с помощью вычислительных машин. // М.: Энергия, 1975.- 416 с.

81. Казаков И.Ф. Диффузионная сварка материалов. // М.: Машиностроение, 1976-312 с.

82. Касаткин A.M. Представление знаний в системах искусственного интеллекта. // Кибернетика.- 1979 №2.- С. 57-66

83. Кафаров В.В., Макаров В.В. Гибкие автоматизированные производственные системы в химической промышленности. // М.: Химия, 1990 320 с.

84. Кафаров В.В., Винаров А.Ю., Гордеев Л.С. Моделирование и системный анализ биохимических производств. // М.: Лесная промышленность, 1985.- 344 с.

85. ЭЗ.Кини Р.Л., Райфа X. Принятие решений при многих критериях: предпочтения и замещения. // М.: Радио и связь, 1981.- 560 с.

86. Колунов В.В. Конструкторское проектирование РЭС в интеллектуальной САПР. // Информационные технологии в проектировании и производстве, 1996, вып. 3-4.- С. 110-112

87. Комаров Ф.Ф., Новиков А.П., Буренков А.Ф. Ионная имплантация / Под ред; Ф.Ф. Комарова. // Минск: Ушвератэцкое, 1994 -303 с.

88. Котельников Д.И. Сварка давлением в тлеющем разряде. // М.: Металлургия, 1981.-116 с.

89. Кофман А. Введение в теорию нечетких множеств. // М.: Радио и связь, 1982,- 432 с.

90. Крапивина С.А. Плазмохимические технологические процессы. //Л.: Химия, 1981.- 248 с.

91. Кудинов В.В., Пекшев П.Ю., Белащенко В.Е. и др. Нанесение покрытий плазмой. // М.: Наука, 1990.- 408 с.

92. Кузин Л.Г. Основы кибернетики, Т.2. основы кибернетических моделей. // М.: Энергия, 1979,- 548 с.

93. Кузнецов И.П. Семантические представления. // М.: Наука, 1986.- 295 с.

94. Ю2.Куропаткин П.В. Оптимальные и адаптивные системы. // М.: Высшая школа, 1980.- 287 с.

95. ЮЗ.Лабунов В.А., Даниловйч H.A., Громов В.В. Многопучковые ионные источники для систем ионного травления распыления. // Зарубежная электронная техника, 1982, вып. 5.- С. 82-120

96. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. Азотирование стали. // М.: Машиностроение, 1976.- 256 с.

97. Лисовский С.М., Таран В.М. Разработка оптимального алгоритма управления нагревом стальных деталей в тлеющем разряде. // Проектирование и техническая диагностика автоматизированных комплексов: Сб. тр.- Саратов: Издат СГТУ, 1995.-С. 45-51

98. Юб.Лорьер Ж.-Л. Системы искусственного интеллекта. // М.: Мир, 1991

99. Лупина Н.В., Слепченко А.Н., Ульянов C.B. и др. Гибридная экспертная система с глубинным представлением знаний для проектирования и диагностики биотехнических изделий. // Техн. кибернетика, 1991, №5.- С. 152-175

100. Любарский Ю.А. Интеллектуальные информационные системы. // М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1990.- 232 с.

101. Лясников В.Н., Украинский B.C., Таран В.М. и др. Гибкий производственный модуль плазменной обработки сеток мощных генераторных ламп. // Электронная промышленность.-1988, вып. 4(172).-С. 57-58

102. ИС.Лясников В.Н., Украинский B.C., Богатырев Г.Ф. Плазменное напыление покрытий в производстве изделий электронной техники.- Из-во СГТУ, 1985.- 200 с.

103. Ш.Лясников В.Н., Таран В.М., Лаврова В.Н. и др. Плазменное напыление титана на сетки мощных генераторных ламп. // Электронная техника. Серия 4, вып. 1, 1980,- С. 98-104

104. Львович Я.Е, Фролов В.Н. Теоретические основы конструирования, технологии и надежности РЭА. // М.: Радио и связь, 1986

105. Максимов А.И., Мухина Г.И., Никифоров А.Л. и др. Очистка поверхности металлов в плазме тлеющего разряда. // Электрон, обраб. материалов, 1985, №2.- С. 37-39

106. Максимов А.И., Рыбкин В.В., Титов В.А. Роль атомов кислорода и отрицательных ионов кислорода в плазменном анодировании алюминия. // ФИХОМ, 1990, №4.- С. 53-56

107. Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. // M.: Энергоатомиз-дат, 1989.- 272 с.

108. Малышев Н.Г., Берштейн-Л.С., Боженюк A.B. Нечеткие модели для экспертных систем в САПР. // М.: Энергоатомиздат, 1991.136 с.

109. Мануэль Т. Попытки внедрения экспертных систем и проблема интеграции. // Электроника, 1990, №6.- С. 15-23

110. Мелихов А.Н., Берштейн Л.С., Коровин С.Я. Ситуационные советующие системы с нечеткой логикой. // М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1990.- 272 с.

111. Минский М. Фреймы и представление знаний. // М.: Энергия, 1979.- 150 с.

112. Митин Б.С., Таран В.М., Бобров Г.В. Плазменное напыление покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами. // Авиационная промышленность-1988, №4.-С. 51-54

113. Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме / Под ред. Л.С. Полака // М.: Наука, 1974.- 270 с.

114. Моисеев B.C. Системное проектирование преобразователей информации. // Л.: Машиностроение, 1982.- 255 с.

115. Намитоков К.К. Электроэрозионные явления. // М.: Энергия, 1978.- 456 с.

116. Нечеткие множества в моделях управления и искусственного интеллекта / Под ред. Д.А. Поспелова // М.: Наука, 1986.- 312 с.

117. Нечеткие множества и теория возможностей. Последние достижения / Под ред. Р.Ягера // М.: Радио и связь, 1986.- 391 с.

118. Нильсон Н. Проблемы искусственного интеллекта. И М.: Радио и связь, 1985.- 280 с.

119. Николаев В.И., Брук В.М. Системотехника: методы и приложения, // Л.: Машиностроение, Ленинград отд-е, 1985.-199 с.

120. Норенков И.П. Введение в автоматизированное проектирование технических устройств и систем. // М.: Высшая школа, 1980

121. Обзоры по электронной технике: оборудование и технология плазменной обработки деталей ИЭТ. / Таран В.М., Змиевс-кой Ю.Н. // М.: 1-985, вып.17, сер. 7.- 58 с.

122. Орловский С.А. Проблемы принятия решений при нечеткой исходной информации. // М.: Наука, 1981

123. Основные концепции технологии автоматизированного проектирования / В.И. Скурихин, Н.Г. Малышев, A.B. Суворов и др. // Управляющие системы и машины. 1986, №1.-С. 7-14

124. Пат. 3211886 (США). Дуговое устройство для очистки // Опубл. Б.И., 1980, №28

125. Пат. 1417502 (РФ). Устройство для обработки проволоки в плазме / Таран В.М., Токарев B.C., Смирнов В.В.

126. Пат. 1163655 (РФ). Устройство для плазменного нанесения покрытий /Таран В.М., Богачкин H.A., Бобров Г.В.

127. Пат. 3352997 (США). Способ очистки загрязненных поверхностей металлов // Изобретения за рубежом.-1974, №1.- С. 15

128. Пат. 948554 (США). Способ и устройство для очистки // Опубл. Бюл. №15 27.05.86.

129. Пат. 1681592 (РФ). Способ чернения стальных деталей в тлеющем разряде и устройство его осуществления / Таран В.М., Богачкин H.A., Смирнов В.В.

130. Пешель М. Моделирование сигналов и систем. Пер с нем. // М.: Мир, 1981,- 300 с.

131. Пипко А.И., Плисовский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. // М.: Энергия, 1979.- 504 с.

132. Плазменная технология в производстве СБИС: Пер. с англ. / Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна // М.: Мир, 1987.- 469 с.

133. Плазмохимические реакции и процессы / Под ред. A.C. Полака // М.: Наука, 1977,- 313 с.

134. Полак Л.С., Гольденберг М.Я., Левицкий A.A. Вычислительные методы в химической кинетике. // М.: Наука, 1984,- 280 с.

135. Полак Л.С. Неравновесная химическая кинетика и ее применение // М.: Наука, 1979.- 405 с.

136. Полищук Ю.М., Хон В.Б. Теория автоматизированных банков информации. // М.: Высшая школа, 1989.-184 с.

137. Поспелов Д.А. Логико-лингвистические модели в системах управления. // М.: Энергоатомиздат, 1981

138. Поспелов Д.А. Ситуационное управление: теория и практика. // М.: Наука.- Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.- 288 с.

139. Поспелов Д.А. Моделирование рассуждений. Опыт анализа мыслительных актов. // М.: Радио и связь, 1989.- 184 с.

140. Попов Э.В. Экспертные системы. // М.: Наука, 1987 288 с.151 .Применение методов плазменного термоупрочнения в машиностроении / В.Д. Пархоменко, М.В. Крыжановский, П.И. Цибулев и др. // Плазмохимия-88. М.: 1988 С. 73-89

141. Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов // М.: Наука, 1980.- 415 с.

142. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Пер. с англ. // М.: Мир, 1984.- 335 с.

143. Резников А.И., Резников Л.А. Тепловые процессы в технологических системах // М.: Машиностроение, 1990.- 288 с.

144. Рей У. Методы управления технологическими процессами. Пер. с англ. // М.: Мир, 1983.- 368 с.

145. Роберте М., Макки Ч. Химия поверхности раздела металл -газ. Пер. с англ. // М.: Мир, 1981.- 539 с.

146. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. // М.: Высшая школа, 1990.320 с.

147. Розен В.В. Цель оптимальность - решение (математические модели принятия оптимальных решений). // М.: Радио и связь, 1982.- 168 с.

148. Роботизированные технологии для плазменно-дугового поверхностного упрочнения машиностроительных деталей / Став-ров Д., Въев Д., Димитров Ж. И др. // Машиностроение, 1990, 39, №10.- С. 447-451, болт.

149. Рубашкин В.Ш. Представление и анализ смысла в интеллектуальных информационных системах. // М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1989 192 с.

150. Рыкалин Н.Н., Углов А.А., Кокора А.Н. Лазерная обработка материалов. // М.: «Машиностроение», 1975.- 296 с.

151. Самсонов Г.В., Виницкий И.М. Тугоплавкие соединения (справочник). // М.: "Металлургия", 1976.- 560 с.

152. Системы автоматизированного проектирования: типовые элементы, методы и процессы / Д.А. Аветисян, И.А.Башмаков, В.И. Геминтерх и др. // М.: Из-во стандартов, 1985

153. Система плазменной очистки и подготовки поверхности // Solid State. Technology, 1989, 32, №4.- с. 98

154. Скурихин В.И., Квачев В.Г., Волькман Ю.Р. и др. Информационные технологии в испытаниях сложных объектов: методы и средства. Киев: наук, думка, 1990.- 320 с.

155. Словецкий Д.И., Амиров И.И. Плазмохимическое плавление тугоплавких металлов // Микроэлектроника, 1990, вып.19, №2.-С. 171-180

156. Соколов В.Ф., Соколова Ю.А., Протасевич A.A. Исследование излучения магнетронного разряда в процессе напыления тонких пленок // ФИХОМ, 1996, №3.- с. 84-89

157. Сурис А.Л. Плазмохимические процессы и аппараты. // М.: Химия, 1989.- 304 с.

158. Таран В.М. Исследование и разработка процесса плазменного напыления покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами. Дис. Канд. Тех наук: 05.16.06. // М.: 1983.176 с. (МАТИ)

159. Таран В.М. Самонастраивающаяся система управления процессом травления проволоки // Проектирование- и техническая диагностика автоматизированных комплексов: Сб. тр. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1995 - С. 62-64

160. Таран В.М., Лисовский С.М. Оптимизация технологии плазменного оксидирования стальных деталей // Прогрессивные направления развития технологии машиностроения : Сб. тр. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1996.- С. 129-132

161. Таран В.М., Митин Б.С., Бобров Г.В. и др. Плазменное напыление покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами // Теория и практика газотермического нанесения покрытий: Тез. докл. X Всесоюзн. совещания.- 1985.- С. 118-121

162. Тартаковский A.M., Курносов В.Е. Информационные технологии проектирования оптимальных конструктивных форм на основе методов эволюционного моделирования // Информационные технологии в проектировании и производстве, 1996, выпуск 3-4.-С. 3-11

163. Таунсенд К., Форд Д. Проектирование и программная реализация экспертных систем на персональных ЭВМ. // М.: Финансы и статистика, 1990

164. Термическая обработка в машиностроении: Справочник / Под ред. Ю.М. Лахтина, А.Г. Рахштадта. // М.: Машиностроение, 1980,- 783 с.

165. Тесленко В.В. Ионная имплантация из плазмы // ФИХОМ, 1991, №2,- С. 91-96181 .Техническая диагностика гидравлических приводов / Т.В. Алексеева, В.Д. Бабанская, Т.М. Башта и др. Под общей ред. Т.М. Башты // М.: Машиностроение, 1989.- 264 с.

166. Технология тонких пленок (справочник). Пер. с англ. Т.1 и 2 // М.: "Сов. радио", 1977

167. Трахтенгерц Э.А. Методы генерации, оценки и согласования решений в распределенных системах поддержки принятия решений. // Автоматика и телемеханика, 1995, №4

168. Уинстон П. Искусственный интеллект. Н М.: Мир, 1980.- 519 с.

169. Франк-Каменецкий Д.А. Диффузия и теплопередача в химической кинетике.//М.: Наука, 1967.-524 с.

170. Фролов В.Н. Управление технологическими процессами производства РЭА в условиях неоднородностей. // Воронеж: Из-во ВГУ,1982

171. Фролов В.Н., Львович Я.Э. Системное проектирование технологических процессов // Воронеж: Из-во ВГУ, 1982

172. Хавличек В.Л. Интеграция знаний по диагностике // Техническая кибернетика, 1992, №5.- С. 76-82

173. Хант Э. Искусственный интеллект // М.: Мир, 1978.- 558 с.

174. Хартман К. Планирование эксперимента в исследовании технологических процессов. Пер. с ном. // М.: Мир, 1977

175. Хасуй А. Техника напыления // М.: Машиностроение, 1975.288 с.

176. Хейес-Рот Ф., Уотермен Д., Ленат Д. Построение экспертных систем // М.: Мир, 1987 430 с.

177. Хенней Н. Химия твердого тела. // М.: Мир, 1971

178. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. Пер. с англ. // М.-Л., Госэнергоиздат, 1962.- 608 с.

179. Цапенко М.П. Измерительные информационные системы: структуры и алгоритмы системотехнического проектирования. // М.: Энергоатомиздат, 1985.- 440 с.

180. Цветков Э.И. Основы теории статистических измерений. // Л.: Энергоатомиздат, 1986.- 254 с.

181. Цымбал Л.А. Синергетика информационных процессов. Закон информативности и его следствия. // М.: Наука, 1995.- 119 с.

182. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. // М.: Советское радио, 1973.- 384 с.

183. Чубаров Е.П. Управление системами с подвижными источниками воздействия. // М.: Энергоатомиздат, 1985.- 288 с.

184. Шенк Р. Обработка концептуальной информации. // М.: Энергия, 1980.-360 с.

185. Шоршоров М.Х., Харламов Ю.А. Физико-химические основы детонационно-газового напыления покрытий. // М.: Наука, 1978.224 с.

186. Шпур Г., Краузе Ф.-Л. Автоматизированное проектирование в машиностроении. Пер. с нем. // М.: Машиностроение, 1988

187. Элты Дж., Кумбс М, Экспертные системы: концепции и примеры. // М.: Финансы и статистика, 1987.- 191 с.

188. Anlagen zum Plasmanitriren und Plasmacarburieren / Griin R. // Electrowarme Int., 1987, 45, No 3-4.- С. 178-182

189. Application of plasma to processing for ceramics/ / Akachi kazuo // Techno Jap., 1987, 20, No 3.- C. 7-26

190. Effect of contamination on ark initiation on a metal surface exposed to plasma / Kudo Kouichi И Jap. J. Appl. Phys 1985, 24, No 10,- C. 1341-1346

191. Exploiting chamber spraying technology. / Bukley Golder I.M., Scott K.T. // Surface J., 1984, 15, No 1-2.- C. 3-7

192. Krupp lonciert Vakuumplasma spritzenfur den Maschinenbau / Hilschen Gottfried // Techn. Rolsch- 1990, 82, No 46.- C. 60-61

193. Plasma arc coating combat component wear // Weld. And Metal Fabr., 1983, 51, No 5.- C. 219-220

194. Plasma flame coating gives components new lease on life // Can Mach. And Metalwork., 1986, 81, No 5.- C. 53-54

195. Plasma CVD coats steel-cutting tools // Adv. Mater. And Process., 1990, 138, No 1

196. Plasma spraying has been established. / Reh. H. // Powder met. Int., 1990, 22, No 6,- C. 35-36

197. Plasma spraying an innovative coating techique: Process variant and application. / Luqscheider E., Weber T. // IEEE Trans. Plasma Sei.- 1990, 18, No 6.- C. 968-973

198. Plasma verzaubert Oberflächen / Miller Franz II Galvanotechnik.-1995.- 86, No 8.- C. 2556-2561

199. Stand und Entwicklungstendenzen beim Plasmaspritzen / Lug-scheider E., Weber Th. // Electrowärme Int., 1987, 45, No 3-4.-C. 190-195

200. Plasma processing equipment for minimum damage and chamber contamination / Goto Haruhiro, Sasaki Macoto, Ohme Tadahiro // Solid. State. Technol., 1991, 34, No 2.- C. 513-516

201. Plasmaober flächentechnologien / Rie Kyong-Tschong, Schnat-baum Frank // LGA-Rd Sch, 1990, No 1.-C. 1-7304

202. Plasmatechnologische Foschungen in der Abteilung Plasmatechnik der Technischer Hochschule Ilmenau / Reib W. // Electrowärme Int. B.- 1990, 48, No 4.- C. 224-226

203. Plasmas et traitement de surface / Sielet Gerard // ARTS et Metters mag.-1989, 140.-C. 22-24

204. DISPER давление газа в квазизамкнутом объеме; скорость распыления вещества; толщина напыляемого слоя покрытия; средняя толщина и дисперсия покрытия ИЗП-539

205. GASDNM температура нагрева материала ИЗП-539

206. Расчет конструктивных элементов плазмотрона газодинамический расчет сопла плазмотрона; расчет тепловых режимов катода; расчет теплообменника ИЗП-290

207. CELT расчет толщины покрытия на подложке сложной конфигурации при плазменных методах напыления ИЗП-453

208. FACT моделирование технологического процесса плазменного чернения стальных деталей ИЗП-553

209. OPTIONS оптимизация режимов напыления ИЗП-4101. УТВЕРЖДАЮ1. АКТ О ВНЕДРЕНИИ

210. J-J , .orre , J .'„л . Г130 гл,*„ / 1 /' Г,Х СЛоГЯ чООКСГО і. /о С СІЛІ ііД /ічіНЛО-А^ІЧ.л ft ; ЯЧЛ^'ШН Ell « я fiï '¡\ .ОТ ЛЛ і g Л'ОМаГИЧСС1."і jím > .с. <L t„ j tr.jí \ »ил a ^ J

211. HZJíví u зоїасисм í; ЦС Lb-J Лчїотл n tl< iL. 4 сі п;,оіжлл

212. З» ;, ) ;sb і- Т-; . со h » »I ii * i'i'íX і ч*«, $ „w л/, ,*~}:j3í

213. Л <ч> и- .,) і Л1А Ii/r, • « » .'pu «CU» Iі' К .( ICI'.1' 'Xr'S, tI;)C ОС Сi)4 ,r\.,«ere ч i ил і<-дч<< x лои^ ел » с -í i-öhö-^ л <ы . а^гом.;:* tisct,.?. .с • г ч ком ка"с* г-- .с-^ í,V) аuaf'i. .HkB-j irf л,с. а л, 'н.'.

214. JJ "„С£ U j^frUi'A'.W,* CI С , if^Gliî ІШ;іЄйїіій ШЖріШЙ»с го,H' и.»! ■ „сл4* » с Jtv íjt „у} xtxo¿¿i ¿юрошкаг) *• /С'— і'шіз "-.ma'pomciwi

215. Оі^фііЖШ П теїі а^ГСІЛ і;.',?fi'ЛЧ' іЛ-ї'ЛЬ'ї'іЛ , >.» 41 -гл^-rJb, ¿чтЬяЯ sяз

216. Работе проводилась по 11? "Тулий" ад предприятии я/я А~ЗЗЗХ ветствии с ТТ предприятия и/я В«2108,

217. Внедрение метода вакуумао-^лазмеяюй фшшшой обработки изде-3000 позволяет сократить брак и повысить процент выхода не