автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.05, диссертация на тему:Магнитострикционные исполнительные устройства для активной оптики

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ

УСТРОЙСТВ СИСТЕМ АКТИВНОЙ ОПТИКИ

1Д Управляемые элементы адаптивных оптических систем

1.1.1 Исполнительные устройства систем активной оптики с управляемыми элементами отражательного типа

1.1.2 Требования к исполнительным устройствам адаптивных оптических систем

1.2 Сравнительный анализ исполнительных устройств

1.3 Магнитострикционные исполнительные устройства систем управления

1.3.1 Явление магнитострикции. Магнитострикционные материалы

1.3.2 Классификационный анализ магнитострикционных исполнительных устройств (МСИУ)

1.4 Цели и задачи работы 50 ВЫВОДЫ

ГЛАВА 2. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ МСИУ С ИЗГИБНЫМ

ТИПОМ ДЕФОРМАЦИИ АКТИВНОГО ЭЛЕМЕНТА

2.1. Принципы построения математической модели МСИУ

2.2 Изгнбные деформации магнитострикционных пластин

2.2.1 Уравнения изгибных деформаций однородных магнитострикционных пластин

2.2.2 Условия возбуждения изгибных деформаций однородных магнитострикционных пластин

2.2.3 Уравнения изгибных деформаций многослойных магнитострикционных пластин

2.2.4 Уравнения изгибных деформаций жестких многослойных магнитострикционных пластин

2.2.5 Условия возбуждения изгибных деформаций в жестких многослойных магнитострикционных пластинах

ВЫВОДЫ

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ МСИУ НА ОСНОВЕ

МАГНИТОСТРИКЦИОННЫХ ПЛАСТИН

3.1 Одноэлементные МСИУ-движители корректоров волнового фронта

3.1.1 Структурное представление МСИУ - движителя

3.1.2 Одноэлементные МСИУ - движители при произвольной поляризации

3.1.3 МСИУ - движители с нагрузкой типа обобщенной опоры

3.2 Многоэлементные МСИУ - движители корректоров волнового фронта

3.3 Статические и динамические характеристики МСИУ-движителей

3.4 МСИУ с управляемой отражающей поверхностью

3.5 Экспериментальное исследование МСИУ на основе магнитострикционных пластин

ВЫВОДЫ

ГЛАВА 4. НОВЫЕ КОНСТРУКЦИИ МСИУ ДЛЯ СИСТЕМ

АКТИВНОЙ ОПТИКИ

4.1 МСИУ - актуаторы сплошных адаптивных зеркал

4.2 МСИУ - движители корректоров наклонов волнового фронта

4.3 МСИУ - движители угловых перемещений юстировочных узлов

4.4 МСИУ с управляемой отражающей поверхностью 194 ВЫВОДЫ 203 ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ 204 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 207 ПРИЛОЖЕНИЯ

Актуальность темы. Развитие новых высокоэффективных областей техники, современных прогрессивных технологий выдвигает комплекс задач, связанных с разработкой исполнительных устройств малых перемещений для эффективного функционирования в микрометровом диапазоне. Широкое распространение получили прецизионные системы, в которых необходимо осуществлять позиционирование элементов с точностью до долей микрон и угловых секунд. Проблема отработки с достаточным быстродействием малых и сверхмалых точных перемещений актуальна в области прецизионной металлообработки, станкостроения, в оптико-механических системах, особенно в области разработки систем активной оптики - в адаптивных оптических системах (АОС), применяемых в лазерных технологических процессах резки, сварки, поверхностной обработки, в системах наземной и космической астрономии, лазерной связи и локации в измерительной технике и т. д.

Адаптивная (по устоявшейся терминологии) оптика является основой для решения задач коррекции фазовых искажений и управления волновым фронтом оптического сигнала. При разработке систем [1-6] большое внимание уделяется проблеме создания эффективного корректора волнового фронта (ВФ), от характеристик которого в решающей степени зависят параметры и возможности АОС. Наиболее широкое применение среди управляемых оптических элементов получили деформируемые зеркала с зональным и модальным управлением, действующие по принципу перемещения отражающей поверхности и корректоры наклонов ВФ часто совмещающие и котировочные функции.

Современные тенденции развития конструктивных схем крупногабаритных адаптивных телескопов, применение в прогрессивных лазерных технологиях излучения достаточно большой мощности среднего и дальнего инфракрасного диапазона предъявляют высокие и часто противоречивые требования к деформируемым зеркалам АОС и, следовательно, к их исполнительным устройствам (ИУ) по диапазону перемещений ± (1,5—2) Лт, развиваемую усилию 300-1000 Н, габаритам (6 -гЮ) хЮ3 Лои, точности (0,05-0,1) Лои, быстродействию (5,0-50) мс, , прочности, технологичности, лучевой и радиационной стойкости, надежности конструкций, возможности работы в контакте с хладагентом, простоте юстировки и т.д. Здесь Лм - дайна волны оптического излучения.

В этих условиях для целого ряда АОС весьма перспективным направлением создания корректоров ВФ является магнитострикционный принцип построения ИУ этих управляемых оптических элементов. Сочетание значительного развиваемого механического усилия и большого диапазона микроперемещений позволяет получать с необходимым быстродействием требуемый профиль поверхности при заданных габаритах зеркала. Высокая жесткость, прочность и теплопроводность металлического активного элемента магнитострикционного ИУ дают возможность построить надежную конструкцию адаптивного зеркала (АЗ) с хорошей лучевой и радиационной стойкостью.

С точки зрения создания эффективных гибких деформируемых зеркал модального типа, актуаторов и движителей корректоров наклонов ВФ - комплекса управляемых средств активной оптики (в часности для инфракрасного диапазона длин волн) наиболее интересным представляется использование единого принципа построения - эффекта возбуждения изгибных деформаций в магнитоетрикци-онных пластинах с неоднородными по толщине свойствами.

Отсутствие адекватного математического описания процессов в магнитост-рикционных исполнительных устройствах (МСИУ) такого класса, теоретических и экспериментальных исследований МСИУ как элемента систем управления не позволяет проектировать ИУ с заданными характеристиками, что препятствует разработке и внедрению перспективных АОС с комплексом средств для управления излучением инфракрасного диапазона на базе магнитострикционных пластин (МП). Поэтому тема диссертационной работы, в которой рассмотрены вопросы развития теории, исследования и проектирования недооцененного (вследствие этого и слабоизученного) класса магнитострикционных устройств - МСИУ с из-гибным типом деформации активного элемента, является актуальной, имеет важное научное значение.

Данные исследования являются частью хоздоговорных и госбюджетных НИР, проводимых на кафедре "Теоретические основы электротехники" Уфимского государственного авиационного технического университета.

Целью диссертационной работы являются создание и исследование эффективных МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента для систем управления излучением среднего и дальнего инфракрасного диапазона.

Для достижения цели в работе решаются следующие задачи:

1. Развитие теории и методики проектирования МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента (МП) с учетом распределенности механических и электромагнитных параметров, позволяющее осуществить представление моделей на уровне структурных схем и передаточных функций, широко применяемых при синтезе САУ.

2. Разработка математических моделей для МСИУ различного функционального назначения и конструктивного решения.

3. Исследования, на основе разработанных моделей, характеристик МСИУ с управляемой отражающей поверхностью и МСИУ - движителей.

4. Экспериментальные исследования ИУ на основе МП.

5. Разработка инженерной методики расчета конструкций МСИУ.

6. Разработка новых конструкций МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента для АОС и их внедрение.

Методы исследований. Перечисленные основные задачи диссертационной работы решаются с использованием вариационного принципа Гамильтона-Остроградского и уравнений Остроградекого-Эйлера при выводе уравнений, описывающих процессы в магнитострикционных пластинах; многомерных преобразований Лапласа и структурной теории распределенных систем при построении и исследовании математических моделей МСИУ различного функционального назначения и конструктивного решения, а также методов теории автоматического управления, математического моделирования (с применением пакета прикладных программ МАТЪАВ 5.0), экспериментальные исследования опытных образцов при изучении характеристик и разработке инженерной методики расчета.

Научная новизна результатов работы заключается в следующем:

1. Впервые с учетом многомерности и неоднородностей получены двумерные уравнения движения, магнитного состояния, описывающие процессы в однородных (сплошных) и многослойных магнитострикционных неполяризованных и поляризованных пластинах прямоугольной конфигурации,.

2. Впервые определены условия возбуждения изгибных деформаций в однородных и уточнены в многослойных магнитострикционных пластинах с использованием выражения стандартизирующей функции краевой задачи.

3. Разработаны математические модели МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента - в одномерном приближении для движителей линейных и угловых перемещений при одноэлементной и многоэлементной конфигурациях кинематической схемы, а также многомерные - для МСИУ с управляемой отражающей поверхностью, впервые установившие, с учетом распределенности электромагнитных и механических величин, аналитическую взаимосвязь конструктивных параметров со статическими и динамическими характеристиками.

4. В результате проведенных исследований статических и динамических характеристик определены технические возможности МСИУ различного функционального назначения, установлены соотношения выбора конструктивных величин, констант материалов при заданных параметрах нагрузки для достижения максимального коэффициента передачи и желаемых динамических свойств.

5. На основе проведенного развития теории и исследования характеристик создан ряд новых оригинальных конструкций МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента с улучшенными техническими и эксплуатационными характеристиками и разработаны методики их расчета.

Практическую ценность имеют:

1. Теория и методика проектирования МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента с представлением моделей в виде структурных схем и передаточных функций, широко применяемых при синтезе САУ.

2. Результаты экспериментального и теоретического исследования статических и динамических характеристик МСИУ.

3. Разработанные оригинальные конструкции МСИУ различного функционального назначения для АОС и инженерные методики их расчета.

Реализация результатов работы. Разработанные автором математические модели и методики расчета МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента внедрены на предприятии Санкт-Петербурга для проектирования исполнительных механизмов АОС, а оригинальные опытные конструкции внедрены в Крымской астрофизической обсерватории на экспериментальном образце адаптивного оптического телескопа, что дало положительный эффект.

На защиту выносятся;

1. Математическая модель изгибных деформаций магнитострикционных пластин с учетом многомерности и неоднородностей.

2. Математические модели МСИУ различного функционального назначения и конструктивного решения.

3. Методика и результаты теоретического и экспериментального исследования МСИУ.

4. Оригинальные конструкции МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента.

5. Методика инженерного расчета МСИУ различного назначения.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы обсуждались на V Всесоюзной Четаевской конференции "Аналитическая механика, устойчивость и управление движением", г. Казань,1987 г., на республиканских межотраслевых научно-технических конференциях, г. Уфа, 1987 г., 1989 г., на Всероссийских научно-технических конференциях "Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления", Гурзуф, 1992 г., 1995 г., 1996 г., 1997 г., 1999 г., на научно-технической конференции с международным участием "Проблемы промышленных электромеханических систем и перспективы их развития", г.

Ульяновск, 1996 г. и др. Опытный образец МСИУ, разработанный на основе исследований автора, награжден серебряной медалью ВДНХ СССР.

Публикации. По результатам исследований опубликовано более 40 печатных работ, в том числе 20 авторских свидетельств на изобретения и патентов.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и приложений. Основная часть диссертации содержит 217 страниц машинописного текста и включает в себя 82 рисунка, 6 таблиц и список использованных источников из 114 наименований.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Показано, что наиболее полно удовлетворяют требованиям систем управления излучением инфракрасного диапазона большой мощности ИУ на эффекте из-гибных деформаций магнитострикционных пластин.

2. Проведена систематизация существенных признаков МСИУ и на ее основе определены тенденции развития этой области техники.

3. Впервые с учетом многомерности и неоднородностей получены двумерные уравнения движения и магнитного состояния, описывающие процессы в однородных (сплошных) и многослойных магнитострикционных неполяризован-ных и поляризованных пластинах прямоугольной конфигурации.

4. Впервые определены условия возбуждения изгибных деформаций в однородных и уточнены в многослойных магнитострикционных пластинах.

5. Разработаны математические модели МСИУ с изгибным типом деформации активного элемента - движителей линейных и угловых перемещений для одноэлементной и многоэлементной конфигураций кинематической схемы в одномерном приближении, а также многомерные - для МСИУ с управляемой отражающей поверхностью, впервые установившие, с учетом распределенности электромагнитных и механических параметров, аналитическую взаимосвязь конструктивных величин со статическими и динамическими характеристиками.

6. На основе проведенной систематизации существенных признаков магнитострикционных устройств, полученных моделей и проведенных исследований характеристик разработаны оригинальные конструкции МСИУ с улучшенными характеристиками для оптических систем управления излучением инфракрасного диапазона.

7. В результате исследований МСИУ установлено, что:

• условием прогиба однородной МП является обеспечение несимметричности функций изменения изгибных магнитострикционных постоянных материала или входного воздействия поля по толщине относительно нейтральной плоскости; прогиб МП пропорционален отношению изгибных магнитострикционных постоянных к константам магнитной непроницаемости; его большее значение при управляющем воздействии и поляризации в слоях одного направления достигается, если отношения имеют разный знак в слоях, лежащих по разные стороны от нейтральной плоскости изгиба, и одинаковый знак, если управляющие воздействия или поляризация в слоях направлены противоположно; коэффициент передачи МСИУ с управляемой поверхностью при шарнирном закреплении по периферии активного элемента пропорционален разности модулей продольных и поперечных изгибных магнитострикционных постоянных И 'и h "материалов каждого активного слоя; коэффициент передачи МСИУ - движителя является функцией двух параметров - угла оси исходной поляризации и угла входного воздействия поля, причем максимальный коэффициент, соответствующий параметрам, при которых реализуются условия чистого сдвига, примерно в 2,5 раза превышает таковой для поляризации и входного воздействия, действующих в продольном направлении; для фиксированной жесткости нагрузки Кн зависимость коэффициента передачи К0 от относительной толщины пластины z\, определяемой отношением Z[] / L, носит экстремальный характер и позволяет провести выбор соотношения геометрических параметров, констант материалов МП, числа параллельно установленных пластин (для многоэлементных МСИУ), при которых коэффициент передачи максимален для неизменных значений параметров L или Z#; в дорезонансном частотном диапазоне передаточная функция МСИУ - движителя может быть представлена в виде передаточной функции третьего порядка, при этом коэффициент передачи и механическая постоянная времени МСИУ пропорциональны характерному геометрическому параметру L*, равному отношению активной длины L к относительной толщине пластины z*L;

• линеаризация и снижение гистерезиса электромеханической характеристики МСИУ - движителей до значений менее 8% достигаются при введении предварительных напряжений за счет прогиба МП;

• расхождение результатов математического моделирования и экспериментального исследования не превышают 12%, что свидетельствует о достаточной адекватности математической модели.

8. Разработана методика инженерного расчета различных конструкций МСИУ.

9. Разработанные математические модели, методики расчета, макетные образцы МСИУ внедрены в практику расчета и проектирования систем, разрабатываемых предприятием Санкт-Петербурга и Крымской астрофизической обсерваторией.

1. Харди Дж. У. Активная оптика: Новая техника управления световым пучком. // ТИИЭР. 1978, Т. 66, №6. - С.31-85.

2. Адаптивная оптика: Пер. с англ. / Под ред. Э.А. Витриченко. М.: Мир, 1980.-456 с.

3. Оптические телескопы будущего / Под ред. Ф. Пачини, В. Рихтера и Р. Вильсона-М.: Мир, 1981.-432 с.

4. Воронцов М.А., Шмальгаузен В.И. Принципы адаптивной оптики. М.: Наука, 1985.-336 с.

5. Лукьянов Д.П., Корниенко A.A., Рудницкий Б.Е. Оптические адаптивные системы / Под ред. Д.П. Лукьянова. М.: Радио и связь, 1989.-240 с.

6. Тараненко В.Г., Шанин О.И. Адаптивная оптика. М.: Радио и связь, 1990. -112 с.

7. Клейменов В.В., Корниенко A.A. Адаптивные оптические системы апертурно-го зондирования// Зарубежная радиоэлектроника. -1985. №11. - С.56-69.

8. Апполонов В.В., Бородин В.И., Гончаренко И.В. и др. Статические и адаптивные элементы силовой оптики // Изв. Ан СССР. Сер. Физ.-1984,- Т.48, №8,-С.1642.

9. Адаптация в информационных оптических системах / И.Н. Матвеев, А.Н. Саф-ронов, И.Н. Троицкий, Н.Д. Устинов; Под ред. Н.Д. Устинова. М.: Радио и связь, 1984. - 344 с.

10. Быстров C.B., Ерашов В.И., Николаев П.В., Сабинин Ю.А. Исполнительные устройства для отработки микроперемещений. В кн.: Атмосферная нестабильность и адаптивный телескоп. - Л.: Наука, 1988. - С.55-57.

11. Kokorowski S.A. Analisic of adaptive optical elements made from piezoelektric bimorphs // J. Opt. Soc. Am. 1979,- Vol.69, №1. - P.181-187.

12. Николаев П.В., Смирнов A.B. Модальные корректоры волнового фронта // Оптико-механическая промышленность. 1987. - №11,- С.47-53.

13. Steinhaus E., Lipson S.G. Bimorph piezoelectric flexible mirror // J. Opt. Soc. Am.-1979,- Vol. 69, № 3. P. 478-481.

14. Halevi P. Bimorph piezoelectric flexible mirror: graphical solution and comparison with experiment // J. Opt. Soc. Am. 1983,- Vol. 73, №1. - P.l 10-113.

15. Кудряшов A.B., Тихонов В.А., Шмальгаузен В.И. Динамические функции отклика биморфных зеркал // Оптика атмосферы. 1988. - Т.1, №3. - С. 61-65.

16. Forbes F., Roddier F., Poczulp G., Pinches C., Sweeny G., Dueck R. Segmented bimorph defomable mirror // J. Phys. E. Sci. Instrum. 1989. - Vol.22. - P. 402-405.

17. Стешенко H.B., Сычев В.В. Опыт работы с 7-элементным адаптивным телескопом. В кн.: Атмосферная нестабильность и адаптивный телескоп. - JL: Наука,1988,-С.5-10.

18. Кузьминский А.А., Шмальгаузен В.И. Пьезоэлектрический дефлектор излучения оптического квантового генератора // Приборы и техника эксперимента,-1986. №5.- С.205-208.

19. А.с. №580539 СССР. Юстировочное устройство. / С.Т. Кусимов, Ф.Г. Тимер-шин,- Опубл. в Б.И., 1977, №42.

20. Федоров Б.Ф. Лазерные приборы и системы летательных аппаратов. М.: Машиностроение, 1979. - 248 с.

21. Бородина И. А. К расчету тепловой деформации управляемых зеркал резонатора. Адаптивная оптика. Межвузовский сборник №2. - Уфа. - УАИ, 1988. -С.21-24.

22. Никольский А.А. Точные двухканальные следящие электроприводы с пьезо-компенсаторами. М.: Энергоатомиздат, 1988. - 160 с.

23. Сабинин Ю.А., Чежин M. С. Комбинированный электромеханический привод. В кн.: Прецизионные электроприводы и датчики малых перемещений. - Л.: ЛНДТПД990,- С.6-9.

24. Мамаев В.Л., Розов Б.С. Прецизионное двухкоординатное однозеркальное сканирующее устройство // Приборы и техника эксперимента.-1976.-№1,- С.227.

25. Ходцев С.П. Устройство для динамического изменения величины фокусного расстояния зеркала // Оптико-механическая промышленность.-1982,- №11.-С.60-61.

26. Сикора C.B., Левин В.А. Простой электромагнитный преобразователь для подстройки О КГ // Измерительная техника. 1976.- №10,- С.36-37.

27. Pat. 4143946 (USA). Impingement cooled deformable laser mirror / Bruno S. Leo, Chang P. Lin. Ass. Secretary of Navy. Filed 5.12.1977. Publ. 13.03.1979.

28. Джагупов P.K., Ерофеев A.A. Пьезокерамические элементы в приборостроении и автоматике. Л.: Машиностроение, 1986.- 256 с.

29. Иванов Е.А., Сильченкова В.В., Афонин С.М. Математическая модель пьезоэлектрического двигателя. // Автоматические приборы и оборудование в микроэлектронике: Сб. тр. Моск. Ин та. электронной техники.-1981.С.19-31.

30. Смоленский Г.А., Исупов В.А., Юшин Н.К. и др. Электрострикционные управляющие приводы новый тип корректоров волнового фронта для адаптивного телескопа / Атмосферная нестабильность и адаптивный телескоп. - Л.: Наука, 1987. - С.38-39.

31. Кусимов С.Т., Тлявлин А.З. Магнитострикционные исполнительные двигатели малых перемещений: Учебное пособие. Уфа.: УАИ, 1981.- 98 с.

32. Белов К.П. Магнитострикционные явления и их технические применения. -М.: Наука. Гл. ред. физ.- мат. лит., 1987.-160 с.

33. БозортР. Ферромагнетизм. М.: И. Л., 1956. - 784 с.

34. Сыркин Л.Н. Пьезомагнитная керамика. Л.: Энергия, 1980. - 160 с.

35. Власов К.Б. Некоторые вопросы теории механических, магнитных, тепловых, магнетомеханических, термомагнитных и термоупругих свойств магнетоупругой среды. Труды ИФМ, Свердловск, 1958. - Вып.20,- С.71-91.

36. Белов К.П. Упругие, тепловые и электрические явления в ферромагнетиках. -М.: Наука, 1957,- 342 с.

37. Баранова Н.А., Бородин В.И., Майков В.Г. Магнитные и магнитоупругие свойства магнитострикционных материалов // Физические свойства магнитных материалов. Свердловск: Уральский научный центр АН СССР, 1982,- С.96-102.

38. Прецизионные сплавы: Справочник / Под ред. Б.В. Молотилова. М.: Металлургия, 1983. - 430 с.

39. Манохин А.И., Митин Б.С., Васильев В.А., Ревякин А.В. Аморфные сплавы. М.: Металлургия, 1984. - 160 с.

40. Pat. 4585978 (USA). Magnetostrictive actuator with feedback compensattor/ Earl D. Hasselmark, James P. Waters, George R. Wisner. United Technologies Corporation. Filed 4.12.1984. Publ. 29.4.86.

41. Троицкий B.A. и др. Магнитодиэлектрики в силовой электротехнике. Киев: Техника, 1983. - 207 с.

42. Ультразвук. Маленькая энциклопедия / Под ред. И.П. Голяминой. М.: Советская энциклопедия, 1979,- 400 с.

43. Харкевич А.А. Теория преобразователей.- М.: ГЭИ, 1948. 191 с.

44. Гутин Л.Я. Магнитострикционные излучатели и приемники. ЖТФ. - 1945. -Т.15, вып. 12. - С.925-941.

45. Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З. Магнитострикционые исполнительные устройства./ Управляемые электрические цепи и электромагнитные поля. -Межвузовский науч. сб. Уфа.: УАИ, - 1992,- С. 12-18.

46. Михайлов О.П. Теория и расчет магнитостроикционных, магнитоупругих устройств автоматизации станков: Дисс. Док. техн. наук,- М.,1974.

47. А.с. 1056751 СССР. Зеркало с регулируемой кривизной / Колокольчиков В.В., Подкопаев А.С., Анисимов В.И., Цейлер В.И. (ДСП).

48. А.с. 1281524 СССР. Зеркало с изменяемой кривизной /Колокольчиков В.В. , Подкопаев опубл. 07.01.87, Бюл. № 1 .

49. Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахов П.А. Magnetostrictive devices of précision drives // ISTC on Unconventional Electromechanical and Electrotechnical Systems. -Juli 10-15, Sevastopol, Ukraine.-TU Press, Szczecin, 1995.- P. 181-186.

50. Цодиков С.Ф., Раховский В.И. Магнитострикционые силовые приводы для суперпрецизионного позиционирования // Измерительная техника. 1997,- №5. - С.56-62.

51. Филиппов Б.Н., Болтачев В.Д., Тараканов В.В. Изгибные колебания многослойных магнитострикционных пластин // ЖТФ 1977,- №1,- С.209-219.

52. Грахов П.А., Грахова JI.B., Фатхиев А.Р. Многослойные магнитострикционые исполнительные элементы адаптивной оптики. / Адаптивная оптика. Межвузовский сборник №2. Уфа. - УАИ, 1988. - С.94-97.

53. Болотин В.В., Новичков Ю.Н. Механика многослойных конструкций,- М.: Машиностроение, 1980. 375 с.

54. Теребушко О.И. Основы теории упругости и пластичности,- М.: Наука.1984.-320 с.

55. Вибрации в технике: Справочник. В 6-ти т./ Ред. Совет: В.Н.Челомей (пред) -М.: Машиностроение, 1978- Т.1. Колебания линейных систем / Под ред. В .В.Болотина. 1978. 352 с.

56. Бутковский А.Г. Структурная теория распределенных систем. -М.: Наука.-1977.-320 с.

57. Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахов П.А. Магнитострикционые исполнительные устройства микроперемещений // Международное научное издание " Интеллектуальные автономные системы ".- Уфа Карлсруэ.-1996.-С. 105-110.

58. Розенблат М.А. Магнитные элементы автоматики и вычислительной техники,- М.: Наука. 1966. 720 с.

59. Сборник специализированных задач по курсу "Теоретические основы электро-техники"(для ЭМФ) / Под ред. К.С.Демирчяна.-М.: Моск. энерг. ин-т, 1987,- 68 с.

60. Синяков А.Н. Системы управления упругими подвижными объектами. Л.: Изд-во Ленингр. Ун-та, 1981. - 200 с.

61. Бутковский А.Г. Характеристики систем с распределенными параметрами (справочное пособие). М.: ГРФМЛ Наука, 1979. -224 с.

62. Грахов П.А., Кусимов С.Т. Исполнительные устройства АОС на основе многослойных магнитоетрикционных пластин // Теория и проектирование систем управления и их элементов,- Уфа: УАИ, 1987,- С.86-93.

63. Грахов П.А., Тлявлин А.З., Грахова JI.B. Характеристики магнитострикцион-ных исполнительных устройств с изгибным типом деформации активного элемента // Теория и проектирование систем управления и их элементов. Уфа: УАИ, 1988.-С.117-120.

64. Грахов П.А., Кусимов С.Т., Фатхиев А.Р., Тлявлин А.З. Алгоритм расчета магнитного поля и прогиба многослойного магнитострикционного элемента // Сложные электромагнитные поля и электрические цепи: Межвузовский сб. трудов, №12 -Уфа: УАИ, 1984.-С. 18-23.

65. A.c. №1237010 СССР. Магнитострикционное устройство угловых перемещений / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З Опубл. 30.06.93. в Б.И.№18.

66. Грахов П.А., Тлявлин А.З. Структурное представление электромагнитного преобразования магнитострикционного исполнительного устройства // Управляемые электрические цепи и электромагнитные поля, №1 : Межвузовский науч. сб. Уфа: УАИ, 1989. - С. 17-20

67. Рассудов Л.Н., Мядзель В.Н. Электроприводы с распределенными параметрами механических элементов. JI.: Энергоатомиздат, 1987,- 144 с.

68. Кузнецов В.А. Линейные пьезоэлектрические двигатели с кодовым управлением // Электромашиностроение и электрооборудование.: 1987.-Вып.41 С.26-31.

69. A.c. №1514197 СССР. Магнитострикционный шаговый двигатель линейных перемещений / Кусимов С.Т., Грахов П.А., Тлявлин А.З., Лебедев В.А., Прохоров А.М., Любарский С.В. Опубл.23.05.93. в Б.И.№15.

70. A.c. №1384168 СССР. Магнитострикционное устройство угловых перемещений / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Лемеш JI.B. Опубл.07.07.93. в Б.И.№19.

71. Воронов A.A., Титов В.К., Новогранов Б.Н. Основы теории автоматического регулирования и управления. Учеб. Пособие для вузов М.: Высшая школа, 1977.-519 с.

72. Башарин. A.B., Новиков В.А., Соколовский Г.Г. Управление электроприводами. J0L: Энергоиздат. Ленингр. отд - ние, !982.-392 с.

73. A.c. 1485179 СССР. Двухкоординатный дефлектор / Грахов П.А., Грахова Л.В., Тлявлин А.З., С.Т. Кусимов.- Опубл. в 1989, Б.И., №21.

74. Нашиф А., Джоунс Д., Хендерсон Дж. Демпфирование колебаний: Пер. с англ.- М.: Мир, 1988. 448 с.

75. Грахов П.А., Тлявлин А.З. Исполнительные устройства на основе магнитост-рикционных пластин // Науч. техн. конференция с международным участием" Проблемы промышленных электромеханических систем и перспективы их развития". - Ульяновск, 1996. - С.87,88

76. A.c. 1612927 СССР. Устройство микроперемещений и способ сборки и монтажа активного биморфного элемента устройства / Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахов П.А., Грахова JI.B., Попов Н.Л., Прохоров A.M., Любарский C.B. -Опубл. 15.05.93 вБ.И.№14.

77. Ленк А. Электромеханические системы: Системы с распределенными параметрами. Пер. с нем./Под ред. Б.А. Потемкина. М.: Энергоиздат, 1982. - 472 с.

78. A.c. № 1396876 СССР. Магнитострикционное устройство / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Фатхиев АР Опубл. 07.07.93, Бюл.№ 19.

79. A.c. № 1436800 СССР. Магнитострикционное устройство микропемещений / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахова Л.В. 0публ.07.07.93, в Б.И. .№> 19.

80. Пат. № 2045125 РФ. Магнитострикционный исполнительный элемент / Грахов П.А., Грахова Л.В., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З. Опубл. 27.09.95, Бюл.№ 27.

81. A.c. № 1304706 СССР. Магнитострикционный привод малых перемещений / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Затолокин Л.Л., Афанасьева H.A., Лебедев В.А., Лемеш Л.В. Опубл.23.07.93. в Б.И., № 21.

82. A.c. № 1111651 СССР. Магнитострикционное устройство микроперемещений / Тлявлин А.З., Грахов П.А., Кусимов С.Т. Опубл. 15.07.93. в Б.И., № 20.

83. A.c. СССР № 1371481 Магнитострикционное устройство микроперемещений / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Лемеш Л.В. Опубл.07.07.93. в Б.И., № 19.

84. A.c. № 1416027 СССР. Устройство микроперемещений / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Лемеш Л.В., Афанасьева H.A. Опубл.23.07.93. в Б.И., № 21.

85. A.c. № 1254968 СССР. Устройство микроперемещений (его варианты) / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З. Опубл.30.06.93. в Б.И., № 18.

86. A.c. № 1124821 СССР. Магнитострикционное устройство микроперемещений / Тлявлин А.З., Затолокин Л.Л., Грахов П.А., Кусимов С.Т. -Опубл. 15.07.93 в Б.И., №> 20.

87. A.c. № 1581185 СССР. Магнитострикционное устройство микроперемещений / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахова JI.B.- Опубл.23.05.93 в Б.И. №15.

88. A.c. № 1455966 СССР. Устройство угловых перемещений / Грахов П.А., Грахова JI.B., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З. 0публ.30.06.93. в Б.И., № 18.

89. A.c. № 795369 СССР. Магнитострикционное устройство угловых перемещений / Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахов П.А. и др. Опубл.23.05.93 в Б.И. №15.

90. A.c. № 1238653 СССР. Магнитострикционное устройство угловых перемещений / Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахов П.А., Лебедев В.А. Опубл.ЗО.06.93. в Б.И., № 18.

91. A.c. № 965266 СССР. Магнитострикционное устройство угловых перемещений / Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахов П.А., Смоленков В.Ф. Опубл. 15.07.93 в Б.И., № 20.

92. A.c. № 1402119 СССР. Зеркало с регулируемой кривизной / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Фатхиев А.Р. Опубл.07.07.93. в Б.И., № 19.

93. A.c. № 1436091 СССР. Адаптивное зеркало / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Та-гиров В.Р., Тлявлин А.З. и Лемеш Л.В. Опубл.07.И.88. в Б.И., № 41.

94. A.c. № 1426274 СССР. Адаптивное зеркало / Кусимов С.Т., Грахов П.А., Тлявлин А.З., Грахова Л.В., Прохоров А.М. 0публ.07.07.93. в Б.И., № 19.

95. А.с. № 1503544 СССР. Адаптивное зеркало / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахова Л.В., Прохоров A.M., Любарский C.B.- Опубл.23.05.93 в Б.И. №15.

96. А.с. № 1637554 СССР. Деформируемое зеркало / Кусимов С.Т., Тлявлин А.З., Грахов П.А., Грахова Л.В., Попов Н.Л. Опубл. 15.05.93 в Б.И., №14.

97. А.с. № 1286030 СССР. Магнитострикционное устройство линейных микроперемещений / Грахов П.А., Кусимов С.Т., Тлявлин А.З. и др. 0публ.30.06.93. в Б.И., № 18.

98. А.С. 1063542 СССР. Мембранный патрон / Тлявлин А.З., Грахов П.А., Кусимов С.Т. Опубл.25.12.83. в Б.И., № 48.