автореферат диссертации по радиотехнике и связи, 05.12.07, диссертация на тему:Исследование и разработка перестраиваемых СВЧ фильтров на основе сегнетоэлектрических конденсаторов

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ПЛАНАРНЫЕ ПЕРЕСТРАИВАЕМЫЕ ФИЛЬТРЫ НА СЕГНЕТО- 9 ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЁНКАХ.

§1.1. Обоснование выбора сегнетоэлектрического кон- 9 денсатора, как управляющего элемента перестраиваемых СВЧ фильтров

§1.2. Свойства сегнетоэлектрических материалов.

§1.3. Планарные сегнетоэлектрические конденсаторы.

§1.4. Коммутационное качество перестраиваемых элемен- 26 тов. Оценка предельных характеристик перестраиваемых фильтров.

§1.5. Методы проектирования микрополосковых СВЧ 33 фильтров.

§1.6. Перестраиваемые фильтры и методы их проектиро- 43 вания.

§1.7. Выводы и постановка задачи.

ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПЕРЕСТРАИВАЕМЫХ МИК- 52 РОПСЛОСКОВЫХ РЕЗОНАТОРОВ И ФИЛЬТРОВ НА ИХ ОСНОВЕ.

§2.1. Перестраиваемые резонаторы. Выбор структур, пригодных для синтеза перестраиваемых фильтров.

§2.2. Свойства гребенчатого резонатора.

§2.3. Свойства короткозамкнутого резонатора.

§2.4. Свойства разомкнутого резонатора.

§2.5. Расчёт коэффициента связи между резонаторами.

Ф §2.6. Выбор оптимальной связи фильтра с входными цепями.

§2.7. Условия сохранения постоянной ширины полосы пропускания фильтра в процессе перестройки.

§2.8. Выводы.

ГЛАВА. 3. ПРЕДЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЕРЕСТРАИВАЕМЫХ 104 ФИЛЬТРОВ.

§3.2. Исследование предельных характеристик фильтров 108 на короткозамкнутых и разомкнутых резонаторах.

§3.3. Оценка нелинейных свойств фильтров на коротко- 119 замкнутых и разомкнутых резонаторах.

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЕРЕСТРАИВАЕМЫХ 132 ФИЛЬТРОВ.

§4.1. Измерение параметров сегнетоэлектрических плё- 132 нок.

§4.2. Синтез перестраиваемых фильтров на короткозамк- 141 нутых и разомкнутых резонаторах. Экспериментальные характеристики фильтров.

§4.3. Выводы.

ЗАКЛЮЧЕНЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУШ

§3.1. Параметр качества перестраиваемого фильтра.

§3.4. Выводы.

Основное применение перестраиваемых фильтров связано с организацией канала связи, основанного на принципе частотного разделения нескольких каналов связи. Современные многоканальные телекоммуникационные системы получили широкое распространение благодаря тому, что позволяют большому числу абонентов поддерживать связь друг с другом или получать доступ к различным информационным службам, в том числе доступ к сети «Internet». Такие системы базируются на использовании большого числа частотных информационных каналов. Каждый частотный канал может использоваться многими абонентами одновременно - это позволяют системы с временным разделением информационных сигналов в одном частотном канале. Таким образом, очевидны перспективы многоканальных телекоммуникационных систем, как надёжных многопользовательских систем связи.

Многоканальные системы связи требуют наличия фильтров, разделяющих частотные каналы, причём число этих фильтров равно числу частотных каналов,, используемых такой системой. Каждый из этих фильтров нужно промоделировать, и, кроме того, отдельно изготовить и настроить. Сопряжение большого числа фильтров с фиксированной центральной частотой для формирования мультиплексера также является сложной задачей. Применение одного перестраиваемого фильтра с электронной перестройкой, диапазон перестройки которого перекрывает несколько полос пропускания неперестраиваемых фильтров, позволит значительно снизить массогабаритные показатели приёмника или передатчика многоканальной системы связи за счёт уменьшения числа фильтров.

Ф В современных телекоммуникационных системах достаточно часто используются фильтры на основе плёнок высокотемпературного сверхпроводника (ВТСП). Такие плёнки позволяют получать фильтры с уникальными характеристиками. Фильтры на основе ВТСП плёнок требуют охлажцения до температуры ниже температуры перехода ВТСП плёнки в сверхпроводящее состояние (Тс=90 К) . Для охлажцения таких фильтров используются специальные криостаты, потребляющие дополнительную энергию. Таким образом, замена нескольких обычных фильтров одним перестраиваемым позволит уменьшить массогабаритные показатели всей конструкции мультиплексера за счёт уменьшения охлаждаемого объёма.

Для реализации фильтров с электронной перестройкой полосы пропускания необходимы элементы, входящие в состав фильтров, способные управлять характеристиками перестраиваемых фильтров. Существует достаточно большое количество различных управляющих элементов, пригодных для изготовления перестраиваемых фильтров. Основными видами этих элементов являются: варикапы, p-i-n диоды, ферромагнитные среды, сегнетоэлектрические (СЭ) среды, микроэлектромеханические (МЭМ) конденсаторы. В данной работе в качестве управляющих элементов выбраны конденсаторы на основе СЭ плёнок. Электрическая ёмкость СЭ конденсаторов зависит от приложенного постоянного управляющего напряжения, изменяющего диэлектрическую проницаемость СЭ плёнки конденсатора. Конденсатор используется как элемент, изменяющий резонансную частоту резонаторов сверхвысокочастотного (СВЧ) фильтра.

Кроме того, СЭ плёнка может быть использована не только как составная часть отдельного конденсатора, но и в составе тонкоплёночной ИС. При этом на подложку наносится слой СЭ, на котором формируется рисунок электродов фильтра с зазорами, образующими планарные СЭ конденсаторы.

Выгодной особенностью СЭ плёнок является их совместимость с плёнками ВТСП. Обе плёнки имеют одинаковую кристаллическую структуру, что позволяет согласовать эти два материала технологически.

ГТланарные структуры перестраиваемых фильтров являются наиболее выгодными при использовании СЭ пленок в качестве управляющих сред. Выше уже упоминалась простота технологии изготовления таких фильтров. Ещё одной немаловажной особенностью таких фильтров является их низкая стоимость, определяемая низкой стоимостью используемых СЭ плёнок. Возможны также волноводные реализации перестраиваемых фильтров на СЭ плёнках.

Целью диссертационной работы является разработка методов проектирования перестраиваемых фильтров, моделирование их характеристик с учётом потерь, возникающих в электродах фильтра и плёнке СЭ, анализ и сопоставление расчётных и экспериментальных характеристик, оценка предельных возможностей фильтров по перестройке и вносимым потерям. Для достижения поставленной цели предполагается решение следующих задач:

1. Теоретически обосновать условия реализации перестраиваемого фильтра с заданными характеристиками с учётом требований к допустимым отклонениям этих характеристик в полосе перестройки фильтра.

2. Исследовать влияние потерь в электродах фильтров и плёнке СЭ на характеристики перестраиваемых фильтров в диапазоне перестройки центральной частоты.

3. Установить соотношения для предельных характеристик перестраиваемых фильтров по перестройке центральной частоты и вносимым потерям.

4. Разработать методику тестирования СЭ конденсаторов для использования в планарных перестраиваемых фильтрах.

5. Исследовать экспериментальные образцы перестраиваемых фильтров, рассчитанных по методикам, позволяющим производить синтез оптимальных с точки зрения заданного закона изменения ширины полосы или максимального параметра качества фильтра.

Объектами исследования являются планарные перестраиваемые резонаторы и фильтры в диапазоне частот 1-10 ГГц, а также СЭ конденсаторы на основе плёнок титаната стронция (SrTi03) и плёнки на основе твердого раствора титаната бария-стронция (BaxSrixTi03) .

Основные методы исследования: а) теоретические: методы теории цепей; б) экспериментальные.

Научная новизна и защищаемые научные положения:

1. Существует оптимальное соотношение для электрических длин МПЛ резонаторов фильтра, обеспечивающих одновременно высокое значение коэффициента перестройки центральной частоты полосно-пропускаклцего фильтра и низкие вносимые потери.

2. Сохранение постоянной абсолютной или относительной ширины полосы пропускания при перестройке центральной частоты полосно-пропускающего фильтра возможно при соответствующем выборе коэффициента включения сегнетоэлектрического конденсатора в резонаторы фильтра.

3. Параметр качества перестраиваемого полосно-пропускакзцего фильтра, определяемый как отношение среднего числа полос перестройки к средним потерям в двух состояниях, однозначно определяется коммутационным качеством емкостных управляющих элементов в составе резонаторов фильтра и порядком фильтра.

4. Максимальное значение параметра качества перестраиваемого полосно-пропускающего фильтра достигается при определённом коэффициенте включения сегнетоэлектрического конденсатора в резонаторы фильтра.

Новые научные результаты работы:

1. Получены аналитические выражения, устанавливающие связь основных характеристик (резонансной частоты, коэффициента перестройки резонансной частоты, крутизны реактивной проводимости резонаторов) исследуемых типов перестраиваемых микрополосковых резонаторов с геометрическими размерами МПЛ резонаторов и параметрами СЭ конденсаторов.

2. Предложен метод расчёта коэффициента, связи рассматриваемых резонаторов на двухслойной диэлектрической подложке, содержащей тонкий слой СЭ материала. Исследованы характеристики связанных перестраиваемых микрополосковых резонаторов на двухслойной диэлектрической подложке (диэлектрик - СЭ).

3. Предложено новое определение параметра качества перестраиваемого фильтра, позволяющее оценить предельные характеристики фильтра по перестройке и вносимым потерям по известным характеристикам управляющих СЭ конденсаторов и микрополосковых резонаторов фильтра.

4. Предложен метод оптимального выбора топологических параметров фильтров, позволяющий сохранить постоянную величину абсолютной или относительной ширины полосы пропускания фильтра при перестройке центральной частоты.

5. Выполнен анализ нелинейных эффектов, позволяющий оценить уровень интермодуляционных искажений на выходе фильтра по отношению к основному СВЧ сигналу.

4.3. Выводы.

1. Изготовлены и экспериментально исследованы перестраиваемые СВЧ фильтры на основе СЭ плёнок в микрополосковом исполнении. Исследуемые фильтры использовали оба типа резонаторов - коротко-замкнутый и разомкнутый, свойства которых обсуждались во 2 главе.

2. Характеристики фильтров, полученные экспериментально, хорошо согласуются с результатами расчётов, что подтверждает правильность разработанных методов синтеза фильтров и метода оценки- предельных характеристик.

3. Исследуемые фильтры показали возможность перестройки характеристики передачи: на три полосы и более, что делает возможным практическое применение таких фильтров при улучшении параметров СЭ конденсаторов.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В работе выполнено комплексное теоретическое и экспериментальное исследование проблемы создания перестраиваемых СВЧ фильтров в микрополосковом исполнении на основе СЭ конденсаторов. Приведённые в работе авторские теоретические и экспериментальные результаты являются оригинальными. Наиболее важные научные и научно-технические результаты, полученные в ходе работы над диссертационной работой, заключаются в следующем:

1., Показано, что короткозамкнутый и разомкнутый резонаторы имеют более высокую добротность по сравнению с гребенчатым, что позволяет уменьшить вносимые потери перестраиваемого фильтра.

2. Установлено, что перестройка центральной частоты резонаторов короткозамкнутого и разомкнутого резонаторов зависит от электрических длин микрополосковых линий резонаторов и управляемости СЭ конденсатора. Для существующих СЭ конденсаторов с типичным значением управляемости п = 2 диапазон перестройки центральной част, определяемый как отношение верхней центральной частоты к нижней центральной частоте, может достигать 20%.

3. Показано, что сохранение ширины полосы пропускания фильтра при перестройке центральной частоты возможно при выборе электрических длин микрополосковых линий резонаторов фильтра в соответствии с методикой, представленной в данной работе. Величина отклонения ширины полосы пропускания перестраиваемых фильтров на короткозамкнутых и разомкнутых резонаторах от заданного закона изменения при перестройке центральной частоты в пределах диапазона, определяемого электрическими длинами микрополосковых линий резонаторов фильтра и управляемостью СЭ конденсатора, достаточно мала, при практических расчётах этим отклонением можно пренебречь .

4. Введено определение параметра качества перестраиваемого фильтра, равного отношению среднего числа полос перестройки фильтра к средним вносимым потерям в крайних состояниях, показано, что данный параметр является универсальным параметром, описывающим предельные характеристики перестраиваемого фильтра.

5. Показано, что для перестраиваемых фильтров с потерями в микрополосковых линиях резонаторов существует максимум параметра качества, величина которого зависит от электрической длины микрополосковых линий резонаторов, добротности этих линий, управляемости и тангенса угла диэлектрических потерь СЭ конденсаторов.

6. Установлено, что максимальная величина мощности входного сигнала, при которой наблюдается равенство мощностей основного и интермодуляционного сигнала на выходе фильтра, зависит от ширины полосы пропускания фильтра и увеличивается с ростом ширины полосы пропускания. Величина этой мощности для типичных параметров СЭ конденсатора составляет 35-45 дБм.

7. Изготовлены и экспериментально исследованы перестраиваемые СВЧ фильтры на основе СЭ плёнок в микрополосковом исполнении. В исследуемых фильтрах использовались оба типа резонаторов - корот-козамкнутый и разомкнутый.

8. Сравнение характеристик фильтров, полученные экспериментально с результатами расчётов показало хорошее согласование, что подтверждает правильность разработанных методов синтеза, фильтров и метода оценки предельных характеристик.

9. Исследуемые фильтры показали возможность перестройки характеристики передачи на три полосы и более, что делает возможным их практическое использование в многоканальных системах связи.

1. YIG-Tuned Filters Shrink Size to 1" Cube/ Microwave Journal, 1995, Vol. 37, No. 6, -P. 23-25;

2. L.V. Tihonravova, Y.K. Fetisov. Multipassband Electronically Tunable Magnetostatic Wave Filter/ Electronics Letters, 1995, Vol. 28, No. 18, -P. 1719-1720;

3. R.E. Collin. Foundations for Microwave Engineering/ Ney York, McGraw-Hill, Inc., 1992;

4. Tunable lumped components with applications to reconfigurable MEMS filters/ D. Peroulis, S. Pacheco, K. Sarabandi, and L. P. B. Katehi// Int. Microwave Symp. Dig., 2001, Vol. 1, -P. 341-344;

5. A K-band linear phased array antenna based on Ba0.6Sr0.4TiO3 thin film phase shifters/ Romanofsky, J. Bernhard, G. Washington, F. Van Keuls, F. Miranda, C. Cannedy// IMS Digest, 2000, Vol. 3, -P. 1351-1355;

6. Свойства плёнок BaxSr!xTi03 выращенных методом ВЧ магнеторон-ного распыления на сапфире с подслоем SrTi03/ Е.К. Гольман, В.И. Гольдрин, В.Е. Логинов, A.M. Прудан, А.В. Земцов// Письма в ЖТФ, 1999, Т. 25, Вып. 14, -С. 1-5;

7. С.П. Зубко, А.Х. Курбанов. Обеспечение устойчивой работы сверхвысокочастотных сегнетоэлектрических устройств в широком температурном диапазоне/ Письма в журнал технической физики, 2003, Т. 29, Вып. 17, -С. 55-62;

8. Сегнетоэлектрики в технике СВЧ/ Н.Н. Антонов, И.М. Бузин, О.Г. Вендик и др.; под. ред. О.Г. Вендика// М.: Сов. радио, 1979;

9. О влиянии электрострикции на диэлектрические потери в сегне-тоэлектрике на высоких частотах/ О.Г. Вендик, В.В. Неженцев, Л.М. Платонова// Изв. ЛЭТИ, 1968, Вып. 64, -С. 92-105;

10. O.G. Vendik. On nonlocal connection between electric field and polarization in a ferroelectric crystal/ Phys. Stat. Sol., 1968, Vol. 27, -P. K39-K41;

11. О.Г. Вендик, Jl.M. Платонова. Влияние доменных образований, присутствующих в парафазе, на диэлектричекие потери в СВЧ диапазоне/ ФТТ, 1969, Т. 11, Вып. 4, -С. 1069-1071;

12. О.Г. Вендик, А.Н. Михалевский. Электрическая нелинейность сегнетоэлектрика-полупроводника в неоднородном электрическом поле/ ФТТ, 1970, Т. 12, Вып. 2, -С. 612-614;

13. O.G. Vendik, L.A. Rosenberg. The Microscopic Theory of Surface Phenomena in Ferroelectric Crystals/ J. of Phys. Soc. of Japan, 1970, Vol. 28, -P. 414-415;

14. O.G. Vendik, L.M. Platonova. The Phenomenological Theory of Microwave Losses in Ferroelectrics above the Curie Point/ J. of Phys. Soc. of Japan, 1970, Vol. 28, -P. 61-63;

15. О.Г. Вендик. Модель сегнетоэлектрической моды/ ФТТ, 1972, Т. 14, Вып. 4, -С. 989-998;

16. Some properties and Applications of Ferroelectrics at Microwaves/ O.G. Vendik, I.G. Mironenko, L.T. Ter-Martirosyan// Journal de Physique, 1972, T. 33,No. 4, -P. C2-272-C2-280;

17. О.Г. Вендик, А.Б. Козырев. Динамический коэффициент диэлектрической нелинейности титаната стронция/ ФТТ, 1972, Т. 15, Вып. 6, -С. 1636-1640;

18. СВЧ диэлектрические свойства сегнетоэлектриков. Технические применения/ О.Г. Вендик, J1.M. Антонова, А.А. Дахнович, И.Г. Миро-ненко, J1.T. Тер-Мартиросян// В кн. «Титанат бария», АН СССР, изд. «Наука». Москва, 1973, -С. 215-226;

19. Диэлектрическая проницаемость плёнок титаната стронция в диапазоне температур 4.2-100 К/ О.Г. Вендик, А.Б. Козырев, Г.Д.

20. JIooc, Э.Г. Павлюк, А.С. Рубан, JT.T. Тер-Мартиросян// ФТТ, 1974, Т. 16, Вып. 4, -С. 1222-1228;

21. О.Г. Вендик, А.Б. Козырев. Аналитическое описание диэлектрической нелинейности сегнетоэлектрических материалов с размытым фазовым переходом/ ФТТ, 1975, Т. 17, Вып. 3, -С. 846-851;

22. Исследование диэлектрических свойств титаната стронция на СВЧ в интервале температур 2,5 78 К/ О.Г. Вендик, Ю.А. Агафонов, Ю.Н. Горин// Изв. АН СССР, сер. физ., 1975, Т. 39, Вып. 4, -С. 841-845;

23. О.Г. Вендик, И.Г. Мироненко. Влияние поверхности на диэлектрические свойства тонкоплёночных сегнетоэлектриков типа BaTi03 при Т > Тс/ Изв. АН СССР, сер. физ., 1975, Т. 39, Вып. 4, -С. 1057-1060;

24. O.G. Vendik, I.G. Mironenko. Size Effect in Thin Ferroelectric Layers/ Ferroelectrics, 1975, Vol. 9, -P.45-48;

25. O.G. Vendik. Dielectric Nonlinearity of the Displacive Ferroelectrics at UHF/ Ferroelectrics, 1976, Vol. 12, -P. 85-90;

26. Диэлектрические потери в МДМ структуре на основе титаната стронция в диапазоне радиочастот при 4.2 К/ О.Г. Вендик, А.И. Де-дак, А.Я. Зайончковский, В.В. Коноваленко// ФТТ, 1980, Т. 22, Вып. 5, -С. 1682-1685;

27. Низкочастотный шум титаната стронция в переменном электрическом поле/ О.Г. Вендик, А.В. Гусев, Д.В. Шпанский// Изв. АН СССР, сер. физ., 1983, Т. 47, Вып. 8; -С. 1648-1651;

28. Гистерезис диэлектрической проницаемости титаната стронция при 4.2 К/ О.Г. Вендик, А.И. Дедык, Р.В. Дмитриева, А.Я. Зайончковский, Ю.В. Лихолетов, А.С. Рубан// ФТТ, 1984, Т. 26, Вып. 3, -С. 684-689;

29. О.Г. Вендик, JI.T. Тер-Мартиросян. Размерный эффект в слоистых структурах: сегнетоэлектрик нормальный металл и сегнето-электрик- ВТСП/ ФТТ, 1994, Т. 36, Вып. 11, -С. 3343 - 3351;

30. О.Г. Вендик, Л.Т. Тер-Мартиросян. Размерный эффект в сегне-тоэлектричесчком слое с проводимостью по постоянному току/ ФТТ, 1995, Т. 37, Вып. 9, -С. 2623- 2629;

31. О.Г. Вендик, С.П. Зубко. Феноменологическое описание зависимости диэлектрической проницаемости титаната стронция от приложенного электрического поля и температуры/ ЖТФ, 1997, Т. 67, Вып. 3, -С. 29-33;

32. Experimental Evidence of the Size Effect in Thin Ferroelectric Films/ O.G. Vendik, S.P. Zubko, L.T. Ter-Martirosyan// Applied Physics Letters, 1998, Vol. 73, No. 1, -P. 37-39;

33. Microwave Losses in Icipient Ferroelectrics as Function of the Temperature and the Biasing Field/ O.G. Vendik, L.T. Ter-Martirosyan, S.P. Zubko// Journal of Applied Physics, 1998, Vol. 84, No. 29, -P. 993-998;

34. О.Г. Вендик, A.H. Рогачёв. Электрострикционный механизм сверхвысокочастотных потерь в плёнке сегнетоэлектрика и его экспериментальное подтверждение/ Письма в ЖТФ, 1999 Т. 25, Вып. 17, -С. 62-68;

35. O.G. Vendik, L.T. Ter-Martirosyan. Influence of Charged Defects on the Dielectyric Responce of Incipient Ferroelectrics/ Journal of Applied Physics, 2000, Vol. 87, No. 3, -P. 1435-1439;

36. Seshu B. Desu, Orest G. Vendik. Suppression of Size Effect in Ferroelectric Films/ Integrated Ferroelectrics, 2000, Vol. 28, No. 1, -P. 175-192;

37. O.G. Vendik, S.P. Zubko. Ferroelectic phase transition and maximum dielectric permittivity of displacement type ferroelectries (BaxSrixTiOj) / Journal of Applied Physics, 2000, Vol. 88, No. 9, -P. 5343-5350;

38. O.G. Vendik, S.P. Zubko. Modeling Microwave Dielectric Characteristics of Thin Ferroelectric Films for Tunable Planar Structures/ Integrated Ferroelecrics, 2001, Vol. 34, No. 1, -P. 215226;

39. Extracting the model parameters of ferroelectric thin film from the experimental characteristics of the capacitance of a planar capacitor/ P.Yudin, M. Nikol'ski, 0. Vendik, S. Zubko, and I. Vendik// Proc. of 31st EuMC, 2001, Vol. 1, -P. 415-418;

40. O.G. Vendik. Microwave Tunable Components and Subsystems Based on Ferroelectrics: Physics and Principles of Design/ Integrated Ferroelectrics, 2002, Vol. 4, -P. 1315-1325;

41. A New X Band 180° High Performance Phase Shifter Using (Ba,Sr)Ti03 Films/ B. Acikel, T.R. Taylor, P.J. Hansen, J.S. Speck, R.A. York// Int. Microwave Symp Dig., 2002, Vol. 1, -P. 1467-1469;

42. СВЧ фазовращатель с планарными конденсаторами на основе пленок титаната стронция/ А. Козырев, А. Иванов, О. Солдатенков, Е. Гольман, А. Прудан, В. Логинов// Письма в ЖТФ, 1999, Т. 25, Вып. 20, -С.78-83;

43. Modeling and calculation of the capacitance of a planar capacitor containing a ferroelectric thin film/ O.G. Vendik, S.P. Zubko, M.A. Nikolskiy// Zh. Tech. Fiz., 1999, Vol. 69, -P. 100104;

44. Конформные отображения физико-топологических моделей/ В.И. Лаврик, В.П. Фильчакова, А.Ф. Яшин// Киев, Наукова Думка, 1990;

45. A. Deleniv. On the Question of the Error in the Partial Capacitance Method/ Tech. Phys., 1999, Vol. 44, -P. 356-360;

46. Microwave Properties of Yba2Cu507x/SrTi03 Planar Capacitors/ A.B. Kozyrev, E.K. Hollman, A.V. Ivanov, 0.1. Soldatenkov, T.V. Rivkin, C.H. Muller, G.A. Koepf// Integrated Ferroelectrics, 1997, Vol. 19, -P. 257-262;

47. Switching Time of Planar Ferroelectric Capacitors Using Barium and Strontium Titanate Films/ A.B. Kozyrev, 0.1. Soldatenkov, A.V. Ivanov// Tech. Phys. Lett., 1998, Vol. 24, -P. 755-757;

48. Low Voltage tunable Barium Strontium Titanate Thin Film Capacitors for RF and Microwave Applications/ A. Tombak, T. Ayguavives, J-P. Maria, G.T. Stauf, A.I. Kingon, and A. Mortazawi// IEEE MTT-S Symposium Dig., 2000, Vol. 3, -P. 1345-1348;

49. Tunability and Loss Tangent of Ferroelectric SrTi03 Films in Yba2Cu3Oy Superconducting Resonator/ J. Sok, J.S. Lee, E-H.Lee// Supercond. Sci. Technol., 1998, Vol. 11, -P. 875-879;

50. B.H. Moeckly, Y. Zhang. Strontium Titanate Thin Films for Tunable YBa2Cu307 Microwave Filetrs/ Proc. Of Applied Superconductivity Conference, 2000, Vol. 3, -P 1960-1963;

51. Исследование влияния примесей марганца на диэлектрические свойства плёнок BSTO/ С.Ф. Карманенко, А.И. Дедык, Н.Н. Исаков, А.А. Семёнов, Ji.Т. Тер-Мартиросян, J. Hagberg// ЖГФ, 2001, Т. 71, -С. 136-140;

52. Strain-Releived Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Films for Tunable Microwave Applications/ W. Chang, S.W. Kirchoefer, J.M. Pond, J.S. Horwitz, L.C. Sengupta// Journal of Appl. Phys., 2000, Vol. 92, No. 3, -P. 1528-1535;

53. И.В. Мальский, В.В. Сестрорецкий. СВЧ устройства на полупроводниковых диодах. Проектирование и расчёт/ М., Сов. Радио, 1969;

54. В. Lax, К. Button. Electromagnetic Properties of Ferromagnetics and Their Application from UHF to millimeter Waves/ Microwave Journal, 1960, Vol. 3, No. 3; 9; 10; 11;

55. J. Cacheris, N. Sakiotis. Ferrite Components for UHF Microwave Systems/ Electronics, 1961, Vol. 34, No. 318, -P 30-34;

56. K. Bullon. Historical Sketch of Ferrits and Their Microwave Applications/ Microwave Journal, 1960, Vol. 3, -P 45-49;

57. M.D. Rubin. A New Electronic Phase Shifter/ IRE Trans., 1963, Vol. MTT-10, No.1, -P 123-127;

58. Антенны с электрическим сканированием/ О.Г. Вендик, М.Д. Парнес, под ред. Л.Д. Бахраха// М., Сайенс-Пресс, 2002;

59. O.G. Vendik, S.P. Zubko. Modeling Microwave Dielectric Characteristics of Thin Ferroelectric Films for Tunable Planar Structures/ Integrated Ferroelectrics, 2000, Vol. 5, -P. 1655-1668;

60. Procedure of Microwave Investigations of Ferroelectric Films and Tunable Microwave Devices Based on Ferroelectric Films/ A.B. Kozyrev, V.N. Keis, G. Koepf, R. Yandrofski, O.I. Soldatenkov,

61. К.A. Dudin, D.P. Dovgan// Microelectronic Engineering, 1995, Vol. 29, -P. 257-260;

62. Перестраиваемый полосно-пропускающий фильтр на основе волно-водно-диэлектрических резонаторов/ О.Ю. Буслов, В.Н. Кейс, А.Б. Козырев, И.В. Котельников, П.В. Кулик// Труды КрыМиКО, 2003, Т. 1, -С. 493-494;

63. Improved Performance in BST-Based Tunable Circuits Employing Low-Loss Nontunable Dielectric/ T. Kaydanova, J.D. Perkins, J. Alleman, A.M. Prudan, M.M Gaidukov, D.S. Ginley// Int. Symp. on Ferroelectricity, 2003, доклад 4.2.3-C;

64. M.G. Ellis. Electronic Filter Analysis and Synthesis/ Boston-London, Artech House Inc., 1994;

65. Microwave Filters, Impedance-Matching Networks, and Coupling Structures/ G.L. Matthaei, L. Young, E.M.T. Jones// Artech House, Norwood, 1980;

66. M.E. Van Valkenburg. Introduction to Modern Network Synthesis/ New York, Wiley, 1960;

67. Narrow-Band Multiple-Coupled Cavity Synthesis/ A.E. Atia, A.E. Williams, and R.W.Newcomb// IEEE Trans, on Circuits and Systems, 1974, Vol. 21, No. 5, -P. 649-655;

68. R.J. Cameron. General Coupling Matrix Synthesis Methods for Chebyshev Filtering Functions/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1999, Vol. 47, No. 4, -P. 433-442;

69. S. Amari. On the Maximum Number of Finite Transmission Zeros of Coupled Resonator Filters with a Given Topology/ IEEE Microwave and Guid. Wave Lett., 1999, Vol. 9, No. 9, -P. 354-356;

70. R.J. Cameron. Fast Generation of Chebyshev Filter Prototypes with Asymmetrically-Prescribed Transmission Zeros/ ESA J., 1982, Vol. 6, -P. 83-95;

71. H.C. Bell. Canonical Asymmetric Coupled-Resonator Filters/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1982, Vol. 30, -P. 1335-1340;

72. R.J. Cameron. A Novel Realization for Microwave Bandpass Filters/ ESA J., 1979, Vol. 3, -P. 281-287;

73. R. Levy. Filters with Single Transmission Zeros at Real or Imaginary Frequencies/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1976, Vol. 24, No. 4, -P. 172-181;

74. Г. Ханзел. Справочник по расчёту фильтров. М., Советское радио, 1974;

75. R. Saal, and Е. Ulbrich. On the Design of Filters by Synthesis/ IRE Trans, on Circuit Theory, 1958, No. 9, -P. 284-302;

76. R.A. Dell-Imagine. A Parallel Coupled Microstrip Filter Design Procedure/ IEEE MTT-S Dig., 1970, Vol. 2, -P. 29-32;

77. Generalized Dual-Plane Multicoupled Line Filters/ S.-J. Yao, R.R. Bonetti, and A.E. Williams// IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1993,. Vol. 41, No. 12, -P. 2182-2188;

78. R. Levy, and I. Whiteley. Synthesis of Distributed Elliptic-Function Filters from Lumped-Constant Prototypes/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1966, Vol. 14, -P. 1916-1919;

79. J.S. Wong. Microstrip Tapped-Line Filter Design/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1979, Vol. 27, No. 1, -P. 44-50;

80. S.B. Cohn. Generalized Design of Bandpass and Other Filters by Computer Optimization/ IEEE Microwave Symp. Dig. Tech. Papers, 1974, Vol. 2, -P. 272-273;

81. E.G. Crystal. Tapped-Line Coupled Transmission Lines with Applications to Interdigital and Combline Filters/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1975, Vol. 23, -P. 1007-1012;

82. E.G. Crystal, S. Frankel. Hairpin-Line and Hybrid Hairpin-Line / Half-Wave Parallel-Coupled-Line Filters/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1972, Vol. 20, -P. 719-728;

83. U.H. Gysel. New Theory and Design for Hairpin-Line Filters/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1974, Vol. 20, -P. 523-531;

84. Знаменский A.E, Попов E.C., Электрически перестраиваемые фильтры/ М., Связь, 1979;

85. М. Dishal. Alignment and adjustment of synchronously tuned multiple-resonant-circuit filters/ Proc. IRE., 1951, Vol. 39, -P. 1448-1455;

86. Losses in Misrostrip/ R.A. Pucel, D.J. Masse, and C.P. Hart-wig// IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1968, Vol. 16, -P. 342350 (с поправками в IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1968, Vol. 17, -P. 1064);

87. A. Gopinath. Maximum Q-Factor of Microstrip Resonators/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1981, Vol. 29, No. 2, -P. 128-131;

88. A. Sabban, K.C. Gupta. A Planar-Lumped Model for Coupled Micros trip Lines and Discontinuities/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1992, Vol. 40, No. 2, -P. 245-252;

89. G.L. Matthaei, G.L Hey-Shipton. Novell Staggered Resonator Array Superconducting 2.3-GHz Bandpass Filter/ IEEE MTT-S Dig., 1993, -P. 1269-1272;

90. L.G. Peter Linner. A Method for the Computation of the Characteristic Immittance Matrix of Multiconductor Striplines with Arbitrary Widths/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1974, Vol. 22, No. 11, -P. 930-937;.

91. D.G. Swanson, Jr. A Novel Method for Modeling Coupling Between Several Microstrip Lines in MIC's and MMIC's/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1991, Vol. 39, No. 6, -P. 917-923;

92. M. Kirschning, and R.H. Jansen. Accurate Wide-Range Design Equations for the Frequency Dependent Characteristics of Parallel Coupled Microstrip Lines/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1984, Vol. 32, -P. 83-90;

93. G. Zysman, and A. Johnson. Coupled Transmission Line Networks in an Inhomogeneous Dielectric Medium/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1969, Vol. 17, -P. 753-759;

94. R. Levy. New Equivalent Circuits for Inhomogeneous Coupled Lines with Synthesis Applications/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1988, Vol. 36, No. 6, -P. 1087-1094;

95. V.K. Tripathi. Equivalent Circuits and Characteristics of Inhomogeneous Nonsymmetrical Coupled-line Two-Port Circuits/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1977, Vol. 25, -P. 140-142;

96. W.L. Jones. Design of Tunable Filters of Near Constant Bandwidth/ Electr. Lett., 1965, Vol. 1, No. 6, -P. 113-116;

97. B.K. Лабутин. Частотно-избирательные цепи с электронной настройкой/ М., Энергия, 1966;

98. В.В. Родников. О возможности перестройки полосовых фильтров СВЧ в кн.: Исследования по радиотехнике/ Новосибирск, НЭТИ, 1973, Вып. 5, -С. 454;

99. В.В. Родников, А.Т. Кравченко. Полосовые фильтры СВЧ с электронной перестройкой/ Радиотехника, 1973, Т. 28, Вып. 3, -С. 34-38;

100. О. Clock. Tunable Frequency Range and Mismatch Adjustment for Comb-Line Band Pass Filters/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1972, Vol. 20, No. 3, -P. 238-238;

101. Voltage tuned filters/ Microwaves, 1971, No. 3, -P. 69;

102. I.C. Hunter, and J.D. Rhodes. Electronically Tunable Microwave Bandpass Filters/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1982, Vol. 30, No. 9, -P. 1354-1360;

103. Theoretical and Experimental Investigation of Varactor-Tuned Switchable Microstrip Ring Resonator Circuits/ T.S. Martin, F. Wang, and K. Chang// IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1988, Vol. 36, No. 12, -P. 1733-1740;

104. M. Makimoto, and M. Sagawa. Varactor Tuned Bandpass Filters Using Microstrip-Line Ring Resonators/ IEEE MTT-S Int. Symp. Dig., 1986, Vol. 1, -P. 411-414;

105. A varactor-tuned RF filter/ A. R. Brown, G. M. Rebeiz// IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 2000, Vol. 48., No. 7, -P. 1157-1160;

106. Tuning properties of 2 GHz superconducting microstrip-line filters/ H. Fuke, Y. Terashima, H. Kayano, M. Yamazaki, F. Aiga, and R. Katoh// IEEE Trans, on Appl. Supercond, 2001, Vol. 11, No.1, -P. 434-437;

107. Tunable Active Filters Having Multilayer Structure Using LTCC/ K. Kageyama, K. Saito, H. Murase, H. Utaki, T. Yamamoto// IEEE MTT-S Dig., 2001, Vol. 3, -P. 1445-1448;

108. T.Itoh. Spectral-domain immitance approach for dispersion characteristics of generalized printed transmission lines/ IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1980, Vol. MTT-28, -P. 733-736;

109. SDA Full-Wave Analysis of Boxed Multi-strip Superconducting Lines of Finite Thickness Embedded in a Layered Lossy Medium/ A.N. Deleniv, M.S. Gashinova, I. B. Vendik// IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 2003, Vol. 51, No. 1, -P. 74-81;

110. J.-S. Hong, M.J. Lancaster. Microstrip fiters for RF/Microwave applications/ John Wiley & sons Inc., 2001;

111. J. Helszajn. Microwave Planar Passive Circuits and Filters/ John Wiley & Sons Inc., England, 1994;

112. M.C. Гашинова. Электродинамическое моделирование планарных многослойных СВЧ структур/ Диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук, СПбГЭТУ, 2003.

113. I.B. Vendik, O.G. Vendik. High Temperature Superconductor Devices for Microwave Signal Processing/ St. Petersburg, TOO "Складень", 1997;

114. S.A. Maas. Microwave Mixers/ Artech House Inc., 1993;

115. T.B. Samoilova, K.F. Astafiev. Effect if Heat on the Nonlinearity of Plane Strontium Titanate Film Capacitors on Sapphire in a Microwave Field/ Tech. Phys., 2000, Vol. 45, No. 6, -P. 759-765;

116. Microstrip Lines and Slot Lines/ K.C. Gupta, R. Gard, I. Bahl, P. Bharita// Artech House Inc., 1996.

117. СПИСОК АВТОРСКИХ ПУБЛИКАЦИЙ

118. A.l. Design of Tunable Ferroelectric Filters with a Constant Fractional Band Width/I. Vendik, V. Pleskachev, A. Svishchev/ IEEE MTT-S Dig., 2001, Vol. 3, -P. 1461-1464;

119. A.2. Performance Limitation of a Tunable Resonator with a Ferroelectric Capacitor/ I. Vendik, 0. Vendik, V. Sherman, A. Svishchev, V. Pleskachev, A. Kurbanov// IEEE MTT-S Dig., 2000, Vol. 3, -P. 1371-1374;

120. A.3. B.B. Плескачёв, И.Б. Вендик. Коммутационное качество электрически управляемых СВЧ компонентов/ Письма в Журнал Технической Физики, 2003, Т. 29, Вып. 24, -С. 15-21;

121. А.4. В. Плескачёв, И. Вендик. Перестраиваемые микрополосковые СВЧ фильтры на сегнетоэлектрических конденсаторах/ труды КрыМиКо,2003, -С. 468-470;

122. А.5. Figure of Merit of Tunable Ferroelectric Planar Filters / 0. Vendik, I. Vendik, V. Pleskachev// Integrated Ferroelectrics,2004, в печати;

123. A. 6. V. Pleskachev. Design of tunable microstrip filters based on resonators with ferroelectric thin-film capacitors/ Proc. 10th International Student Seminar on Microwave Applications of Novel Physical Phenomena, 2002, -P. 26-29;

124. A.7. Tunable Microwave Filters Using Ferroelectric Materials/ I. Vendik, 0. Vendik, V. Pleskachev, and M. Nikol4ski// IEEE Trans on Appl. Supercond., 2002, Vol. 13, No. 2, -P. 716-719;

125. A. 10. V. Pleskachev, I. Vendik. Performance and Limiting Characteristics of Tunable Microwave Filters Based on Ferroelectric Materials/ 48 Internationales Wissenschaftliches Kolloquium., 2003, Vol. 1, -P. 165-166;

126. A. 11. V. Pleskachev. Design of a Tunable Microstrip Filter Based on Open-Circuited Resonators with Ferroelectric Thin-Film Capacitors/ Samsung Young Scientist Day in St. Petersburg Proc., 2003, -P. 96-101;

127. A. 14. V. Pleskachev. Tunable Microwave Filters Using Ferroelectric Materials / Proc. 9th International Student Seminar on Microwave Applications of Novel Physical Phenomena, 2002, -P. 1013;

128. A. 15. V. Pleskachev. Tunable resonators and filters, using ferroelectric capacitors/ Proc. 7th International Student Seminar on High Temperature Superconductors and Ferroelectrics at Microwave Frequencies, 2001, -P. 25-28;

129. А. 16. V. Pleskachev, I. Vendik. Comparison of Commutation Quality Factor of Microwave Capacitive Tunable Components/ Proceedings of St. Petersburg IEEE Chapters, 2003, -P. 26-29;