автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.05, диссертация на тему:Исполнительные элементы прецизионных пьезоэлектрических приводов с увеличенным диапазоном перемещения

Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана

ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ПРЕЦИЗИОННЫХ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРИВОДОВ С УВЕЛИЧЕННЫМ ДИАПАЗОНОМ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

05.13.05 - Элементы и устройства ВТ и СУ

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

На правах рукописи УДК 621.313.17

Москва - 1997

Работа выполнена в Московском ордена Ленина, ордена Октябрьской Революции и ордена Трудового фасного Знамени государственном техническом университете имени Н.Э.Баумана

Научный руководитель - кандидат технических наук, с.н.с.

Дубин А.Е.

Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор

Сухинин Б.В.

кандидат технических наук, доцент Ефремов А. К.

Ведущая организация - Центральный научно-исследовательский

Защита диссертации состоится " 28 " апреля 1997 г. в 12 ч. на заседании диссертационного совета К.053.15.06. "Машиностроение" в Московском государственном техническом университете имени Н.Э.Баумана по адресу: 107005, Москва, 2-я Бауманская ул. д.5.

Ваши отзывы в 2-х экземплярах, заверенные печатью просьба выслать по указанному адресу.

С диссертацией можно ознакомится в библиотеке МГТУ им. Н.Э.Баумана.

Автореферат разослан "¿{ " марта 1997 г.

Ученый секретарь

диссертационного совета

институт автоматики и гидравлики

к.т.н.,с.н.с.

Объем 1 п.л. Тираж 100 экз. Ротапринт МГТУ им. Н.Э.Бауьина

Подписано к печати ¿¿1.££-97 г. Заказ »ЗУ

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА. РАБОТЫ

Актуальность. В настоящее враля все более возрастаицее значение приобретают, так называемые, прецизионные технологии. С созданием и совершенствованием таких технологий неразрывно связано дальнейшее развитие ряда перспективных направлений науки и техники. Новые системы лазерной и СВЧ техники, адаптивной оптики, механообработки, гидравлики, энергомашиностроения и другие, построенные на базе прецизионных технолохий, позволяют решать задачи значительно более высокого уровня сложности.

Но, одновременно, создание таких систем взаимосвязано с качественным повышением требований к диапазону рабочих частот, точности приводов и, соответственно, исполнительных алементов (ИЭ) . Так, в ряде случаев, для приведенных выше систем требуется ИЭ обеспечивавший амплитуду линейного перемещения в 500+1000 мкм или угол поворота в 5+10 градусов с частотой 500+1000 Гц и точность не хуже чем 1 мкм или 1 угловая секунда, мощностью 20+30 Вт. ИЭ, обеспечивающие совокупность таких параметров на базе традиционных принципов (например • электромеханические преобразователи), технически нереализуемы. Одним из возможных вариантов решения является использование ИЭ на нетрадиционных принципах функционирования.

В течение последних 15-20 лет динамичное развитие получила область- гаьезоалектромеханических преобразователей (ПЭМП) и, в частности, линейных пьезоэлектрических двигателей (ЛПД). По существу только данный тип- устройств потенциально способен решить поставленную задачу. Однако основной проблемой, сдерживагадей такое решение, является небольшой и ограниченный диапазон перемещения ЛПД, значение которого в 10-15 раз меньше требуемого.

Таким образом, представляется перспективной и актуальной задача создания исполнительных элементов прецизионных пьезоэлектрических приводов с увеличенным диапазоном перемещения.

Цель работы. Создание ЛПД с мультипликацией выходного линейного и углового перемещения (ЛПДМ) не менее чем в 10--15 раз, позволяющий, в составе прецизионных, высокодинамичных приводов малых перемещений, • разработать новое оборудование с качественно более широкими возможности.

Задачи исследования.

1. Разработка способа увеличения диапазона выходного перемещения ЛПД в 10-15 раз;

2. Разработка математической модели динамит ЛДЦМ;

3. Синтез методики расчета ЛПДМ;

4. Экспериментальные исследования макетных образцов ЛПДМ для под-

твержцения теоретических результатов.

Методы исследования. В теоретических исследованиях использовались метода: информационного поиска, теории колебании, математической физики, численные методы решения систем дифференциальных уравнений. Экспериментальные исследования проводились на специально разработанном экспериментальном стенде с помощью программ -но-аллара^ч^г-о комплекса.

Научная новизна.

1. Синтезирована методика расчета исполнительных элементов прецизионных пьезоэлектрических приводов с увеличенным диапазо» .ом линейного и углового перемещения на базе ЛПда.

2. Разработаны математические модели динамики исполнительных элементов на базе ЛПДД.

Практическая ценность. Результаты исследований позволяют существенно расширить область применения ПЭМП при создании нового оборудования, с качественно более широкими возможностями.

Реализация работы. Результаты работы внедрены в НИР НКТБ "Пьезоприбор" (г.Ростов-на-Дону), при создании зеркала с управлением оаражавдей поверхностью, в НИР ЦКБА (г. Тула), при разработке приводов пеленгаторов подвижных объектов и в НИИРЛ МГТУ им. Н.Э.Баумана (г. Москва), при разработке сканатора перспективного тепловизора.

Апробация работы. Материалы данной работы обсуждалась на 2-й Международной научно-тегснической конференции "Актуальные проблемы фундаментальных наук", - Москва, 1994; 3-й Международной научной конференции "Международный Симпозиум по Перспективным Электронным Технологиям"', - Москва, 1995; научных семинарах кафедры "Автоматические системы и робототехника" МГТУ им. Н.Э.Баумана Москва, 1994-1996; Международной выставке "Автоматизация-94", -Москва, 1994; Международной выставке *С1оЪа1 Эоигзз-пд", - Лондон, Великобритания, 1995.

Публикации. По материалам диссертационной работы опубликовано четыре печатные работы. Кроме того, одна работа находится в печати.

Объем работы. Диссертационная работа изложена на 143 страницах машинописного текста и содержит введение, пять разделов с вы ■ водами по^ каждому из разделов, заключение, 34'рисунка, 4 таблида, список литературы из 12 5 наименований и приложение.----------------------- ---------

С0ДЕЙКЙШ2 РАБОТЫ

В0__введан101 обосновывается актуальность темы диссертации.

сформулированы положения, определявшие ее научную новизну, кратко изложено содержание работа по разделам.

Первый раздел посвящен обзору литературы по теме диссертации, обозначена предметная область, проведен сравнительный анализ применяемых ИЭ, в результате которого выбран ИЭ на базе ЛСД, определена основная проблема при использовании ЛЦЦ в различном оборудовании, осуществлена постановка задач исследования.

В настоящее вргаля назрела необходимость в разраОот-се исполнительных элементов дпя прецизионных автоматических следящих систем управления с малыми линейными и угловыми перемещениями. Но, наиболее распространенные электромеханические преобразователи для получения малых перемещений, имеют ряд серьезных недостатков. В современных приводах всё более широко используются ПЗМП и, в частности, ЛЦЦ.

Работы по созданию и исследованию приводов на базе ПЗМП уже более 30 лет проводятся в ряде ведущих отечественных организаций: Центральном нс-учно-исогседовательском институте автоматики и гидравлики (Москва), Научней конструкторско-технологическом бюро "Пьезоприбор" (Ростов-на-Дону), Московском энергетическом институте, С.-Петербургском государственном техническом университете, Томском государственном техническом университете и в других такими авторами как Бансевичус Р.Ю., Вишневский B.C., Дкагупов Р.Г., Евмененко П.В., Ерофеев A.A., Иванов Е.А., Лавриненко В.В., Никольский A.A., Рагульскис K.M., Сабинин 10.А., Сильченкова В.В., Трофимов А.И. и другие, а также в ряде промышленно развитых стран: Германии, Японии, Англии, США и в других.

Однако, в большинства работ указывается на ограниченный диапазон выходного перемещения ЛЦЦ, значение которого в 10-5-15 раз меньше требуемого. ■ ,

Поэтому основной целью данной работы стало создание ЛПД с мультипликацией выходного линейного и углового перемещения ЛПДМ не менее чем в 10+15 раз.

Для достижения данной цели необходимо решить следующие, основные, задачи исследования:

- разработать способ увеличения диапазона выходного перемещения ЛПД;

- разработать математическую модель динамики ЛЦДМ;

- синтезировать методику расчёта ЛПДМ;

- йкспериментально подтвердить теоретические результаты.

Второй раздел посвящен разработке ЛЦЦМ, расалотрены существующие способы увеличения выходного перемещения ЛПД, проведен анализ их возможностей и определены ограничения, предложен новии

способ построения ЛПДИ, разработаны конструктивные варианты.

В настоящее время увеличение диапазона перемещения ЛПД, осуществляется, в основном: 1. увеличением длины активной части ЛПД; 2. использованием промежуточных механических устройств; 3. использованием "шагового" принципа.

Первый вариант, как показыяает практика, ограничен следующим: а)увьлг*чением электрической емкости ЛДЦ; б) возможной потерей устойчивости ЛПД, как сясатого стержня; в)конструктивными параметрами. По первым двум ограничениям, в работе получены выражения для расчета максимального выходного.перемещения ЛПД. Треть г .ограничение возникает когда требуемый ЛДЦ имеет длину, прев.ышаюцую допускаемый габаритный размер.

Второй вариант приводит к появлению дополнительных нежест-костей, люфтов, усложнению конструкция, увеличению габаритных размеров, уменьшению полосы рабочих частот.

Третий вариант позволяет неограниченно увеличить диапазон перемещения, но существенно возрастает сложность конструкции и схемы управления таким ЛПД. "Шаговые" ЛПД имеют небольшие выходные усилие и скорость.

Для увеличения диапазона выходного перемещения ЛПД бьшо предложено испсльзовать наклонное расположение пьезозшемента (ПЭ) относительно направления выходного перемещения, преобразуя таким образом избыточный запас ЛПД по усилию в увеличение выходного перемещения. Передаточное отношение или коэффициент увеличения перемещения (мультипликации) такого механизма приближенно равен значению синуса угла мевду ПЭ и перпендикуляром к направлению выходного перемещения.

На основе предложенного способа были разработаны три конструктивных варианта (рис. 1-3), каждый из которых имеет некоторые особенности, показанные в работе, определяющие область его применения.

В третьем разделе решается задача разработки математической модели динамики ЛЦЦМ. для решения частных задач разработана упрощенная и линеаризованная модели динамики ЛПДИ.

Рассмотрим. ЛПД, состоящий из двух упругих ПЭ, расположенных ' У-образно, леремещаших башмак, упруго контактарукщий с двумя роликами, вращаицимися в двух упругих подшипникак (см. рис. 4). При ~ рассмотрении примем следуйте - допущения: 1. Перемещения только в плоскости ХОУ. 2.ЛДЦ закреплен на абсолютно жестком и не подвижном основании. 3.Масса нагрузки на линейном и момент инерции, на вращательном выходе отнесены к массам башмака и ролика соответственно. 4.Приведенные массы ПЭ сосредоточены в точках 1,2.

Рис. 3.

Eue. 4.

С учетам допущений получаем механическую модель, показанную на рис. 4, со следующими обозначениями: Хз,Уз,<рз - обобщенные координаты положения башмака; у5, д>5, Уе, <Рв - обобщенные координаты положения роликов; п>1,1П2, ~ приведенные массы ИЗ, ль -масса башмака; пь,пц - массы роликов; коэффициенты жесткости м • дессипаташных потерь: дцИидггЬг - ПЭ, д5, Ь5, д6,Ь6 в подшипниках; Ля, дви - в точках контакта 5, 6; усилия: " пьезоэлектрические,

- предварительного нагружения; -1:, 1г - длина ПЭ; г5, г« - радиусы роликов; а4,Ьг - длина и зысота башмака.

Если рассмотреть движение ролика радиусом г по плоскости, и на центр ролика действует сила Р под углом а относительно перпендикуляра к плоскости, то возможны 3 принципиально различных варианта угла наклона силы Г: относительно критического угла давления качения - и крятического угла давления скольжения аи четвертый вариант: нарушение стационарности в точке контакта между родажом и плоскостью ("разрыв контакта") . Поскольку в ЛПДМ башмак взаимодействует с роликами в точках 5 и 6, то необходимо рассматривать два угла давления: а5, ае и общее число сочетаний вариантов становится равным 16. Именно такое количество частных математических моделей динамики полностью описывают данную механическую модель, являющуюся нестационарной. Необходимые обобщенные координаты для катаого из 16 вариантов математических моделей, а также условный номер модели приведены в табл. 1.

Таблица 1.

угол давления СЦЯХке а^а^сс^ а^ссже "разрыв контакта"

модель №11 Уз,У5гУб- модель №12 Уз,<Рз,У5,Уе. модель №13 Уз,<Рз,У5,Уе,<рб- модель К'14 Уз,фз,У5,Уе,<рб.

а^а^а^ модель №21 Уз,<рз,У5,Уб- модель №22 Хз,Уз,<Рз,У5,Уе- модель №23 *з,Уз,<Рз,У5, . Уе,<Рб- модель №24 ХЗ,УЗ,<РЗ,У5Г Уе,<рб.

модель №31 Уз,(?3,У5,<р5, Уе- модель №32 Хз,Уз,фз,У5,<Р5, Уе. ' модель №33 Хз,Узг(Рз,У5г<Р5, Уе,<Ре- модель №34 Хз,Уз,<рз,У$г<р5' Уб,(рб.

"разрыв контакта" ..... модель №41 УЗ,<РЗ,У5,<Р5, Уе. модель №42 ХЗ,УЗГ<РЗ,У5,<Р5, Уе- модель №43 Хз,Уз,<Рз,У5,<Р5, Уб,<Рв. •модель №44 ХЗгУЗ,фЗгУ';>№г Ус,<Рс

Порядок моделей составляет от 6 (модель №11), до 14 (модели

К® 33, 34, 43, 44) .

При разработке математической модели ЛПДМ использовалось, полученное в работах А,А.Никольского, дифференциальное уравнение 1-го порядка, описываюцеэ пьезоэлек:трическое усилие, развиваемое ПЭ, с учетом приведения его массы.

Псатная математическая модель дшдлии ЛПДМ, полученная е работе,. в силу существенного объема, здесь не приводится.

Осньг.ная причина сложности полного математического описания ЛПДМ - учет проскальзывания между башмаком и роликами. Значительно упростить математическое описание можно приняв дополнительные допущения: 1.отсутствие' нарушения стационарности в точках контакта между роликом и башмаком; 2.жесткость подшипников и контактная жесткость между роликами и башмаком не влияет на динамические свойства ЛЦЦМ.

Упрощенная математическая модель, полученная в работе, является стационарной, ъллеет 4-й порядок, нелинейна. В то же время, для синтеза системы управления, например, желательно наличие линейной математической модели объекта.

Анализ упрощенной математической модели показывает, что источник ее нелинейности - зависимость между удлинением пьезозле-мента и выходным перемещением, которая, как показано работе, является коэффициентом мультипликации. Проведенная линеаризация последнего, разложением в ряд Тейлора, показала, что в рабочей области диапазона выходного перемещения коэффициент мультипликации можно принять за постоянное значение, зависящее только от начального угла установки Ю. Механическую модель, в этом случае, можно представить в виде, показанном на рис. 5. Линеаризованная математическая модель динамики' ЛПДМ будет иметь вид:

\

"¡5 '"б —+ —+ Л1-

2

-(£2**3-

' (й **з + ^ * ■*з )*■"2 - + Гц )* ■"-

^о! *

кл*к

(1)

ск1*Яу1 ~к2

п - эЦягс^а, - а2)/(2*0|))).

На рис. 6 линеаризованная математическая модель динамики ЛПДМ представлена в виде структурной схемы. В работе также приведены передаточные функции, соответствующие структурной схеме.

Четвертый раздел посвящен синтезу методики расчета ЛПДМ.

F. — 1 p¡

c2 ■

W

-WW

n Sjh,

m

шшштштшшт.

x3

Рис. 5.

ш

Рис. 6.

определены критерии применения ЛПДМ в конкретной задаче, обосновано использование метода ЛГГ-псиска, выбраны варьируемые параметры, рассчитаны границы изменения варьируемых параметров, определены параметрические и функциональные ограничения.

В задачах с .линейным перемещением нагрузки, критерий применения ЛЦДМ - превышение ЛПД одного из- ограничений: по электрической емкости ПЭ, по механической устойчивости ПЭипо габаритным размерам ЛЦЦ. В работе получены выражения, позволяющие количественно рассчитать данные ограничения.

В задачах с вращением нагрузки на ограниченный угол необходимо использование ЛПДМ по конструктивному варианту К!3 (см. рис. 3), так как в работе показано, что альтернативных решений постав-ленккх задач по повороту нагрузки на ограниченный угсш с требуемы.! сочетанием частоты, амплитуды, момента и достаточной моияости в настоящее время не известно.

Ка следующем шаге расчета ЛПДМ определяются параметры на-правляаних для конструктивных схем К'1 и №2 или опор вращения для конструктивной схемы №3, которые определяют минимальный угол наклона ПЭ и, соответственно, максимальное увеличение перемещения.

Далее в работе показана необходимость использования в методике расчета ХЦЦМ оптимизационной процедуры. На основе анализа существующих методов выбран ЛП-поиск - метод выбора наилучших параметров в задачах со многими критериями. В соответствии с данным методом, выбраны варьируемые параметры. Рассчитаны границы изменения варьируемых параметров. Для исключения вариантов сочетания параметров ЛПДМ, нереализуемых технически, определены функциональные ограничения.' Получены критерии качества, определяемые численным решением математической модели динамики ЛДЩ и расчетом по выбранным варьируемым параметрам.

В общем виде, расчет ЛПДМ по синтезированной методике, проводится в следуюцем порядке: 1. проверка возможности применения ЛПДМ; 2. расчет параметров направляющ« и опор вращения; 3. расчет пределов изменения варьируемых параметров; 4. собственно выбор наилучших параметров ЛЦЩ1 по ЛП-поиску.

Бв:эду сложности и объемности вычислений, и с целью комплексной автоматизации расчетов, разработан программный комплекс, состоящий из ряда модулей.

Пятый раздал содержит результаты экспериментальных исследован;^, приведено описание экспериментальной установки, исследовано влазние различных параметров ЛПДМ на Еыходные характеристики, гзхагжеиа результаты исследования макетного образца ЛПДМ в составе прсюдз сканатора для тепловизора.

Разработанная, для проведения исследований ЛПДМ, экспериментальная установка, состоящая из испытательного стенда и программно-аппаратного комплекса (pie. 7) , позволяет в значительной мере автоматизировать и ускорить этот процесс.

Исследовалось влияние величины предварительного нагружения на выходные параметры ЛЦЦМ: амплитуду выходного перемещения или поворота, характеристики резонансов в рабочей области частот, линейность статической характеристики, наличие и зеличина проскальзывания между башмаком и роликами. Выбор величины предварительного нагружения для исследования определялся тем, что оно .является основным и единственным средством регулировки ЛГЩ?1 после его изготовления и сборки.

В результате исследований было выявлено, что с увеличением усилия предварительного нагружения: а)уменьшается амплитуда вы-' ходного перемещения; 5)исчезает второй резонансный пик, а первая резонансная частота смещается вправо (выше) по оси частот; в)увеличивается величина сухого трения и ухудшается линейность статической характеристики. При небольшом усилии предварительного нагружения на резонансной частоте наблюдается непрерывное вращение выходного вала со скоростью 110...120 об/мин - вследствие проскальзывания между послед®®.! и башмаком (см. рис. 8, кривые 1 й 2), а при увеличении усилия предварительного нагружения эффект непрерывного вращения не наблюдается (кривые 3 и 4).

Проведено сравнение данных, полученных в результате математического моделирования ЛПДМ по полной модели, и данных, полученных в -результате натурных экспериментов. Совпадение экспериментальных данных: по проскальзыванию выходного вала и зависимости частотных свойств ЛЦЦМ от величины предварительного нагружения, позволяет сделать вывод о правомерности допущений, принятых при разработке полной математической модели, и о ее адекватности объекту исследования.

Полученные в работе упрощенная и линеаризованная математические модели динамики ЛПДМ, основываются на принятии дополнительных допущений. Экспериментальные исследования, проведенные с целью проверки корректности принятых дополнительных допущений, показали, что в области частот до первого механического резонанса ЛПДМ данные, полученные по упрощенной и линеаризованной математическим моделям динамики, отливаются от данных натурного эксперимента и полной математической модели не более чем на 8-; 10 % (рис. 9) . Получс;^;ое совпадение позволяет говорить о корректности принятых дополнительных допущений, и об адекватности матемлтическсй

программная часть

интерфейс с паль зователем

графическое отображение данных

управление данными

управление

лпдм

г

интерфейсная

плата ввода-вывода

1

ц&п

I

Усилитель мощности

! математическая | модель динамики

полная

упрощенная

линеаризованная

численное решение системы дифферен-' циальных уравнений

лпда

т

1интерферометричесюФ1 датчик

перемещении

АЦП

т

индукционныи

датчик перемещений

аппаратная часть

методика расчета ЛПДМ

критерий*

применения

¡да

растет параметров

направо иадих

1

расчет пределов из-

менения параметров

V

генератор ЛПТ-

последовательности

г

расчет всех

параметров: ^___г15

1

расчет функциональ-

ных ограничении

1

расчет пробной

точки

допустимые точки

Рис. 7.

Рис. 8.

m

Рис. 9.

модели и реального объекта в дорезонансной области частот. В области частот выше первого резонанса, имеют место более существенные различия. Это накладывает ограничения на применение упрощенной и линеаризованной моделей ЛПДМ в ойяасти частот выше первого резонанса.

Комплексная проверка научных результатов диссертационной работы проведена при разработке исполнительного элемента привода сканирующего зеркала тепловизора. Расчет ЛЩЩ по синтезированной методике позволил разработать исполнительной элемент, полностью удовлетворяющий техническому заданию. Проведенные испытания дали возможность сопоставить данные о его предполагаемых (на этапе расчетов и математического моделирования) параметрах с данными натурных экспериментов (рис. 10), и позволили сделать вывод о том, что синтезированная методика расчета позволяет рще на стадии проектирования ЛПДМ с высокой достоверностью прогнозировать его параметры.

Приложение. В приложении приведены исходные тексты основных модулей программного комплекса.

ЗАКЛШЕНИЕ

К основным научно-техническим результатам диссертационной работы следует отнести следумдае:

• 1. Предложен новый способ увеличения (мультипликации) диапазона выходного перемещения ЛЦЦ, реализованный в нескольких конструктивных вариантах ЛПД с мультипликацией перемещения (ЛПДМ) .

2. Разработан ряд математических моделей данамики ."ПДИ.

3. Синтезирована и реализована в программном комплексе инженерная методика, расчета ЛПДМ.

На основе полученных результатов можно сделать еле душице выводы:

1. Предложенный в работе способ позволяет увеличить диапазон выходного перемещения ЛПД в 10-15 раз.

2. Разработанные конструктивные варианты позволяют не «только увеличить диапазон выходного перемещения ЛЦЦ, но и получить дополнительный выход вращения на ограниченный угол.

3. Разработанный ряд математических моделей динамики ЛПДМ позволяют как проводить, в сочетании с программным комплексом, достоверное математическое моделирование, так и синтезировать си-стеку управления.

Рис. 10.

4; Теоретические результаты работы были подтверждены экспериментальными исследованиями макетных образцов на разработанной экспериментальной установке, состоящей из испытательного стенда и программно-аппаратного комплекса, и при исследовании привода ска-натора тепловизора.

Основное содержание диссертационной работы отражено в следующих публикациях:

1. Дубин А.Е, Щербин А.М, Гришко В.А. Линейный пьезоэлектрический двигатель с встроенными пьезоэлектрическими датчиками //Актуальные проблемы фундаментальных наук: Труды Второй Международной конференции, в 7-ми т./ Под ред. И.Б.Федорова, К.С.Колесникова, А.О.Карпова.- М., 1994,- Т.6,- С. D--1S.

2. Щербин А.М, Гришко В.А. Пьезоэлектрические двигатель с мультипликативными механизмами// Актуальные проблемы фундаментальных наук: Труды Второй Международной конференции, в 7-ми т. /Под ред. И.Б.Федорова, К.С.Колесшгсова, А.О.Карпова.- М., 1994.-Т.6.- С. D-29.

3. Гришко Б.А., Дубин А.Е., Щербин A.M. Пьезоэлектрические моторы и .актюаторы// Международный Симпозиум по ГТарслективньм

Электроннным Технологиям: Тезисы Третьей Международной научной конференции,- М., 1995.- С. 17.

4. Ушаков В.И., ЩерСин A.M. Пьезокерамические электромеханические передачи, прецизионных силовых механизмов //Вестник МГТУ. Машиностроение.- 1996.- »2.- С.101-109.

Кроме того, получено положительное решение предварительной экспертизы и находится в стадии согласования формулы изобретения:

5. Заявка »94015456/25. Ладейный пьезоэлектрический двигатель/ В.А. 1£ишко, А.Е. Дубин, A.M. Щербин.