автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Инфракрасные лазерные системы на молекулярных газах и их применение

РГ5 ОД

САКИ - ПЕТЕРБУРГСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОЙ МЕХАНИКИ И ОПТИКИ

На правах рукописи УДК

БАЛОШ Юрий Александрович

ИНФРАКРАСНЫЕ ЛАЗЕРНЫЕ СИСТЕМЫ НА ЮШУШШ ГАЗАХ И ИХ ПРШЕНЕНИЕ

Специальность 05.11.0? - Оптические и оптико-злектрокыг

приборы 01.04.21 - Лазерная физика

Автореферат диссертации на ссисханио учёной степени доктора технических наук

Сонут - Петербург 19УЗ

Работа выполнена на кафедре к-еантогой электроники Сдлхт - Петербургского Института Точной Механики и Оптики

Официальные оппоненты:

доктор технических наук.профессор ЯЗНРЕВ В.А, доктор физико-математических наук,

профессор ЛИБ2НС0Н М.Н, доктор физико-математических наук,

профессор ЛРШЗАДОЯ В. Е.

Ведунье предлвиятие — Сакхт Петербургское Оптико-Механическое

Объединение

Автореферат разослан " .......J 993 г

Зго.гта, диссертации состоится .jt^Q^JL____Г993 Г.

* Jjjü. час. на а «.едоки Согета Института Точной Механики и Оптики •; ¡V7Í0I .Саккт • Петербург,СаЗлккекая ул., 14 ).

С диссертацией можно ознакокитсся в библиотеке инстя.уга. Вас:: стзьщи и яги*.еч&ния по автореферату t г '¿-х ока. ) просим напгаг;..1ть в адр;с института I 19'<ЧС1,Санкт - Петербург,Саб-лкиск&д ул.,I-i ).

Учёный Секретарь Совета i .'Г МО, ;/ / кгндид.чт технических наук,

доц-'нт ('í KPÍCAEXbB Ь.М. /

V i

-л-

ССГА1 ¿'.РЛ.ЧТ1.;Р!!!37^С,\ PASOTL

Актуальчостl пас'о:и. 3 настоящее срамя вое Золькее в:&иа-няо в физических исследованиях а различных прикладных задачах привлекает область аюктроыагшкзшх ваш от нескольких до сотой шжрсн (ип^ра::рао;;ц;1 (йК) и субмиллЕястровий (СБГд) дкапа-зодц). В от он диапазоне ле.\от интересы лазерной спектроскопии и диагностики плсзш, поразрупглепого контроля материалов и изделий, технологии аедощинн, локация. Успешое роаениэ многих задач jb эта:; обдаст-дс связано с разработкой п создашо»1 источников кэгер*,£игого изгоняя в этой диапазоне дан аолй с характерисгикачл излучения, кообходнглм! длч реиоляя поставленных задач.

В настоящее зрс;:я п этогд диапазоне используются хри основная; тлпа козочнпксе:

1. Тб&рдотольякэ (полупроводнккоздэ) лехочгпик, такие гше генераторы на лазлппо-прелотпых диодах диодах Га: ::а.

2. Baiijэлектрешю-волнов'ле генераторн (например, клястрош-шо, ыагкитрошщо к хиротрош-ыо).

3. Лазоржо источники, вюшчгшпяе яолдаоовудадкогне и газовые лазеры.

Источшжп яершх двух типов, дают кзлучошго с нуаииаа дач практических пряг/еяенсл уроиктан ёьгхо,иного сигнала ? диапазоне дли" воли о? одгаац дашштров до 500 та, Дздьиойазз' умоныгешэ длины золны генерация приводит к зн;гчпголыог.;у /меньдеюю о:;.сргсг:поскон аЗДектяглоогл этих источников, евл-зашю..1^г с Tipaiu;;irniaj:biibC-ni ограничан:га.гл ОВЧ.чгохо,;;ой генерации, заложенных л ксцсгруюде этих приборов. Поэтому оскошов ши-лшшо в диапазоне» длин волн ст единиц до 5..;о иш привлекают ¡aaopiKe источники, среди которых наиболее пераяектяшшмх яв-1ЯИГОЯ эяектроразрядные газовые дязэрн к газовые лаээрц с оп-%

-А-

тяческой (когерентной) накачкой, Эти перспективы, определится рядом очень важных для решений прикладных .задач качеств, присущих эу1ял лазерам. При относительно высекк.с энерготнчоеких . уровнях выходного излучения, и относительной простоте устройства, эти источники обладают болов высокой стабильности выходных характеристик (пространственная к временная структур" излучения) и более надежны в работе, чем источшш; порв^гс двух типов.

Эти обсхоятол-стэа определили достаточно большое количество газоЕЫх лазеров, в той цш иной мере кспольауешис ъ освоении Ж и СБМ диапазонов. Среда них особое место крнпадлщ/лт алектрорнзрядиоиу газовому лазеру на молекула:': углекислого газа (СОс-лазер). Этот лазер с перв. х своих шагов привлек к себе внимание прээде всего как источник когерентного излучения ц с власти 9-11 мкм, обладаицнй значительная! возмс;с* '■тт/с-ш в энергетических характеристика;'. и способный работать в разлпч-.'нкх рег.л.:ах (поарерывнин, шзульенш:, кляульоно-периодический). Кроме того, одним из интересных и лерепектившх направлении в квантовой электронике стало использование СОо-лазэра в освоении дальнего ¡1л I. ЖЛ диапазонов длин волн. Спасаюсь, что область генерации СОо-лазера является область» резонансного поглощения в кслебательно-врацателыик накоса): для большого количества иоленул, Кроме этого, уровень могдостеЛ, получаемых в СО^-лазерах, обеспечивает впоокум эффективность возбуждения некоторых молекул за счет механизма вынукдоки'ого комбинационного рассеяния :ВК?). Переиэлучзнпг возбужденных излучений:! ООо-ла-. зерп модек.'л в екзтшз вра'дагелыьге уровней едни о колебательного есстсляпя леягт в области .план волн от сетей ¡лиски до . ].'.;:лл;;':етргв. Псрекзлучунпе в колзбательно-зрелагальной

' скоте.'.'с ¿-резке.': п-зрекрквает дачаззон л.-"-:: пели от геелткэг до смй.мякрга. .Такое преобразовала г кглучзнгя СОз-лазера л спре-

дслпло лрпнцют работы газовых.лазеров с оптической (когерент- . пой) накачксЛ, генорпруэдах в ИХ и СЕЛ диапазонах. -Уже первые исследования таких лазеров показали, что все проблемы улучис-штя и оптимизации характеристик этих лоточников тесно связаны и переплетаются с проблемами дальнейшего оовераенствовшия.

i'w

Сдиако освоение '¿сох перспектив СОр-лазера оказалось не таким простим делсм и поставило пэред разработчкезьаг ряд принципиально новых задач з фпзпхй газового разряда, б исследовании основных прет.' ^ооз,' определяющих генерацпэ, з лазерной оп~ ■ такс (резонаторы, лучевая прочность). 'А у нас .в стране, .и за руйсхсом по всем эти.: иавразлепаям ведутся кнтедсиваыо ксслсдс-ванхя. Результаты стях наследований показывала", что если дате прецэгои, олредоляшяо основные :ле>:злкзш генерация, азучош достаточно хорошо, то ото ке яэяявгея едо полной гаронгяо! дт создания паксягой констигхщя carero лазера, астоды cáimoro подобия илз простого переноса дгшШгх лабораторных иаяэгоз ССо-лазеров, на хоторкх были подучены хараягеряотаяз генерадд;:, близкие в нзкетеркх случае: к предзлыплл, па рзальнце конструкция часто оказывается несостоятельная!. Это особенно относятся к СО^-лазэргм с высоким уровнем энергетически/. характеристик

при больно;: апертурз выходного излучения, работавдих в ¿плг/лъс-

f

ном или ¡плпульсно-норкодпчосксгл рэззгдах, .

Тагда-образом, г. 1и СБУ.диапазонах длин зокн. ежздквюэт-ся предпосылки для форипровапая п 'развктая -козрго научно-тогепя-чсского НЕпраадешгяс - приборостроительной квантовой элекгрсяа- ■ ки з a-nú диапазонах.

В радаах работ по созданаа такого направления' требуете;? зосполпмть недостаток теоретических исследований,' поз волг/дай. проводить акадкз характеристик "L2C и.CEU лазеров :: лазерных 'сно-

_£ -

тем о достаточно oiSianx позиций. Необходам та:ссе поиск новшс методов разработки и конструирования эти: лазеров и лазэрнха систем, методов разработки и контроля элементов И1С оптики, но многом определяющих возможности лазеров в ЯК и CE.i диапазонах, особенно при высоких уровням их ояергэтичесжюс ;:арак?ор:;вгяк. Должны быть определены целоаио функции ИК и СЕД лазеров п при-' нладних задачах и определит перспективы их р-азвпуия. Весь оют ко;лплекс' проблем составил предает данной работы и определил ее цель,

11е.г.ъ работу. Реиеше :1ау:яс~тех№чдс:яой лроблемы создания ■алпульсных я иачульсяо-псриодических лазеров -и лазерных снстеи па молокуляриьас' газах в диапазоне длин золи от 9 до 5С0 :.®л в широко:.! диапазоне энергетических, временнкх и пространстисинцх характеристик излучения, а также рзыенхо ряда проблем, ипреде-я.-н.:ш прз!.\;оиеше этих лазеров и оаотеа в прикладных задачах квшмозойэлоктреншш к перспективы их раз г- .йоткл и прхаопэнпя.

Осисвкне задачи исследований. Поставленная цель достигаемся s

- комплекс."мл исследованиями, вклзчад'лимг. б себя теоро-тичсокоа описашю, Физические и ¿те?.:атычоские метода моделирования v. анализа ооновяшс ларакгеристзг. ПК лазер^з и лазершх систем, разработкой схек и пакетов прикладных прогреет реали-зац: i utiix мегодсв ка Ж для задач разработки, конструирования I11C лазеров и оптшлнзадин характернсти*! пх излучения; '

- р'мпзрнмвнтачьншк исследования;.:;: по проверка тсоретп-чесадх исследовании ц расчетам метчЦОЕ;

- KOMKAvKcmrui иссладоганлягли по сс-здаш::; методов и аппаратура для.,контроля оптических характеристик элементов лазерной ilX ептакя, 'Псзволдвдих совместно а современной технологией создавать эланеигную оптическую Сазу для 11л лазерных систем

различного назначения, а таггае использованием этих методов в . некоторых задачах 'метрологии и' поразрукакзщого контроля'

- разработкой па основе .ззииеиоложенных комплексных иосло-' дований базозше конструкций и схем ИК и ОБМ лазеров, на их оо-но1зе лазерных Когшлаксол :г установок длп использования в злда-

технологии и медицины,

- определение:,! перелок'мш ИК и СБМ лазеров' и лазерных систем и пржадашс задачах квантовой электроники..

Каяппя новизна. Совокупность получогашх результатов позволяет говорить (. формировании в рамках дисоертационной работы нового научно-технического направления - приборостроительной квантовой электроники в ¡ЕС и 'TBI.! диапазонах электромагнитных воли В работе получены олэдулщие научные результаты:

Т. Определена совокупность основных физических продесоов, ./горке могут быть положены в основу разработки, расчета и конструирования ИХ п длиш-юволнойг: газовых лазеров и лазерных ' систем с возбуждением активное сред электрическим разряда.» или оптическом накачкой. Предложены структурные схемы матеглатичес-■ кого «•■»долпрованжя процессов, определяздах основные характеристики кзлучошэд в таких типах лазеров, л этапы реализации этих ехал. На основании теоретических к экспериментальных исследований разработаны математические модели основных блоков этих' -структуркпх схем.

2. Разработана основная теоретическая модель молекулярных ИК и Civ,! лазеров - модель Активного Резонатора. На базе общей •.. .теории открыт:-« резонаторов выведены осковнпа уравнения, они-сЕзажие сшлитудные (энергетические) к фазовые характеристики' АР с зеркалаш круглой апертуры и произвольно,! кривизны, за- ' полненных уюшпкзэдой кэодаородцей средой с учетом насыщения усиления. Длд роализащт стррсг/рнк схем расчета ¡К лазеров

на 2Ш, в которых эта ¡лоделъ является ооаотао?., прздяосшо определять режим работ АР как СВДШГ'ВЙ "ли штцкШР-IH.il, ч?о не является эквивалентным поакетв;л 1Ш?таЗ!ЮГ0 и М.1-ШЬСЯОГО рэжимов работы. Дм анализа нестацкондрпого ро:«!:ла работы Л? (гафокоапертуряые АР), основного рогеша, яссл^уемо-го в диссертация, предложен раочошй алгоритм, 2 основу которого положен вариант ^а-лоеогдаосванной иадачи ЛР.

3. Разработана пакзты программ для реализации на ОШ структуряюс схем мод<зляр<чзаяия процессов, опродедгагих основные ■характеркстик'л ИХ лазеров к лазерных-систем, На осногазжи тооретлчеекпх исследований и математического- моделирования с •'спсшаозакгеы эетге. програш хатэахтерпстик штпяшх сред нк лазеров и усилителей (пргобразезание экергнн петоднлла возбуждения в аитшшой ергдз лазера или уелллтеля при различных дли-гс-яьксзгдх иппульсоз возбуждения я гонграцни, расчет кокГйнцп-енгев уагдепиа аетнвиих сред и харахториет:..'. иклелтаршсс процессов), подгверздонаых экезершенталышгли лесдедоваахямн, проведены угочлешхя ыод&лей акишких сред СОо-лазоршх систем с '/1--прэд1!0!П1з: 'лей и длш-новолнових лазероЕ с олтдчеоной накачкой излучение?.! отлх едете:,! (эгд уго-иенлл еделагл расчетные модели более нздспсики :з задачах разработки к конструирования этих систол), предаояелн схе;.:н молекулярных усалктолоП, поз/хътодтх с высокой эффективностью уекггвать 1г::лульсн лазерного с ?н с :: осудэстглять обра-декал золно-г-ых Фро"т.оЕ этого «здучэаля.

-1. Проведены :-:о!.31лекскь:б д^следования по гецользозакшо ?Г\7. прк разработке и конетруярованяи Ж лазере-; ;г лазерных Результата эгсх аосхедовгпг?. пдззедлл: разработать: ' ! - базой:,4. модуль ТЕА ССз-лазега с 73 пргдаокг'ацде?., на осцоро котсрег:- ооздазать" лазер:ше сйстзглк в. игрекаi дп-

-

отазояо энергия, длительностей'импульсов генерации и частоты х следования;

- длжновсяновый газовый лазор с оптической накачкой, :сззоллю!ц:1й получать эффективную генерации в отроком щтерва-:о длин волн.

Проведенные исследования позволил! определить возможности :остроолш сиотемн САПР для газовых лазеров и других приборов ваптозо'!-электроники.

б. Проведены комплексные исследования по разработке ИК :азороз с задошглл и перестраиваемыми пространственными ха->а:гторхстикаг.^1 излучения, которые могут слушттъ основой много-¡унюл опальных лазерных систем в прикладных задачах. Предлежа-:о рогеннэ создания таких лазеров с помощью оптической элеглент-» ;си базы, основу которой составляя? резскаторные зеркала с родильным (по определенному закону) коэффициентом отражения*

6. Проведены комплексные исследования по созданий методов . да контроля оптических характеристик элементов лазерной Ж ¡птики.

В основу этих методов положен оптико-акустический эффект . ОАЭ), возникающий в оптических элементах при лазерной нагруз- :

С Иимода теоретического анализа ОАЭ в пределах тепловой .■ ,'одели получены простые аналитические выражения! связывающие араметры дзкаекия поверхности оптических элементов в любой юг.кнт времени с параметрами среды и лазерного воздействия, •становлека связь абсолютных значении поглощательной сйособйоо« ' и и коэффициентов поглощений оптических лазерных элементов о , ;аксимальными значениями смещения их поверхностей.

В качестве основного измерителя Ци<и выбран интерферо-ютр Майкельсона с фотоэлектронным счетом полос, в схему кото- /

рого вдагсена поверхность исследуемого элемента,

Провадэнн исследования агяшгсзгд я §ори акустических ем: пало» з отрахазднх и проходных оптических дозорных' элемента Е завяозиости от энергетических параметров лазерного воздай бия, которые дозволили регистрировать различные стадии их pi руления.

7, На основе ОАЭ продуюглна опсообы илг'.эрец'дП и исслод; ванил характеристик зкеяектов лазерной оптнж {кос^пцпелта поглсл'энпл, порога'лучевой про^поотп, качества поверхности) тохнслогичоохом контроле. Эти спосеоц позволили разработать изгггритодьну» аппаратуру (иигор'-у- 'зжвдмкшю измерители ;3£ и IZZÍC) для научных исследовали:; и технологического коатролг отроете»: и лраходкых охсмецтоз лазерной оптики в IS и друз диапазонах длп; волк лазерного излучения. Основное пропмулес во этих приборов по сравнению с изззетншн типами {: апрпмзр, кадераиетрзив) состоит в высокой чувствительности при пзмерг i'Xíeí коэффициентов поглоцеякл (до 1СГ" см"1), еозмоглсоти иг ueprriH.I поглощения в различных по.аппертуре элемента точках .небольшими затратами времена ка эта Кч..лороиия, возиоаности прогнозирования на этих приборах лучевой'прочности лазерногс элемента без его разрушения.

3. Проведены компле: ;ше исследования по использовании разработанных в диссертации Ж лазеров в технологии и медиц! не. Основное внимание в зтих исследованиях было направлено h решен: задач, в которых излучение таких лазеров оказывается предпочти- лъцш по эффективности воздействия на объекты по сравнешпэ с другими лазерными источниками. В технологии - aï прежде 'всего'обработка диэлектрических материалов о низкой . теплопроводность'.}, таких, кал; различные стекла, керамики, кс пэзвты. В «едкая»? - eco возде.1стьао прелде всего на ко.чше

--Н -

паточные ткали, lía основе проаедежайс 'исследований разработа- '. • :и варианты тохнатоглчвокпх лазерных комплексен по обработке-.овзрхдостной х объемней. издали?. пз диэлектриков с зазжой тек-' лпрозодаостьзг варианты медпшнекпх хирургичоских лазерных • •стакозок,

2. Спрсдзлепм перспективы з разработках ¡Ж п СБГЛ лазораврс 2ctkj (лрелде лсого - это загстеш с заданиями пространствен- ■ кмл характеристика,¡и излучения) и б прыелоаий этих сястек з адачах кзслтолоЛ электроники.

Лглитн-ескал ддннссть резульгатез работа зшкзэчастоя в окоэпогл то:.:, что разработка методов расчета, ¡сонструирова-::л к оптимизации ЯК и ОБ" лазеров ir лазерных систем с ислоль-озгго-а.: сЗЛ, а тахг.е методов контроля характеристик елтнче^-:;х материалов к оптических элементов Ж лазеров привела к сода.":::: колпрзтпкх лазеров и лазерккх спг:0м 3 ото::, диапазоне, таксе к ссздапхз приборов для изипрзнзя характеристик пламенел ;1л'лазерной. ептикп.

3 работе получеки сдедуэдко практические результаты:

I, Определены новые подходу к разработке и кэксгрутгрсва-:■::: лазеров и лазэрпкх систем, в ксторпх основное место зани-алт метод;; моделирован:'л с использованием ЭВМ, и седана лри--здкап теория елехтроразрядного газового лазера (усилителя) лазера (усилителя) с оптической накачкой, зттачахгдт: э себя аге::ат:г:ес1с:ч ..одела процессов уеилен-ия :i генерации з гиро-см инто-зьело зрзмептсх и энергетических характеристик лзлуче-кя, пакстп программ реализации стих медалей на ЭЗМ. Все это сзволлет получать полньй набор трактеркстпк излучения разра-птызаемсго лазера или усилителя и конструктивах параметров, . бсспечавеэдах эти характеристики, проводить ептпмг. -ада этих • арактзристик к параметров (прямые п сбракше задачи).

2. -О помощью ой теории решены задачи, позволяйте предложить :

. - охеш многопроходных молекулярных Щ. усилителей наносе-кукдных идоудьсов, обладающих высокой • эффективное!!ью дресбра-

• зовакия энергии, В монография Cll схемы признаны накболсе удачными для таких длительностей усиливаемых иг,пульсов;

- схему газозого лазера с оптдчзской накачкой, которая в отддчие от судествуодвс схем ыоает работать в широком дкадазо-'не длин зсдн с высокой эффективностью генерации и без существенных изменений в конструкции лазера при изменении, диапазона генерации;

. - резонаторШе зеркала о'переменными по апертуре, коэффициентами отраязнкя, с псио'дьа которых иакио осуществить синтез лазеров с широким кабором заданных и перестраиваемых проотрач-

• ствз2шых характеристик излучения.

3, Разработанные в диссертации методы расчета и конструирования лазеров и лазерных оисхем с иапельз ованием ЭВГЛ легли в основу приборов, созданных как в }ЯШ, так и в других организациях страны..

. 4. Разработаны импульсный и тщпульсно-периодичоский ТЗА СК^лазеры о УЗ предионпзадкой с уровняли энергии в ::..шульсе до нескольких.десятков Джоулей и частотами повторения этих импульсов до 60 Гц.

5. 'Разработала базова" конструкция яшульсно-периодячьс-кого TEA С02~дазера с УФ предионизацией о широки:.: диапазоном

а

временных (длительности импульсов генерации от 0,3 до 3«13 о п частотами их следования от единиц до тысяч П;) и энергети- . ческих (десятки-сотни i.C" энергии в здяг/льсе и до сотен Зт ,средней ыоздостк) характеристик. На эту конструкцию получен Гооударствгшш2 патент России,

С. Разработаны методы я средства контроле оптических характеристик элементов лазерной оптики. На их основе разработана измерительная аппаратура (измерительный стенд, антерферена-. цконнко измерители ¡ПШ и 1ЩС) рая научаух исследований а технологического контроле стрш?л:о'Дих и проходных элементов ла-зерко;1. c:r;;::';î в Ж г других диапазонах длен волн. Эта аппаратура имеет проимудэстла перед уйэ оукзстзуЗдеЗ по точности, -опвратггшотя л эозггс-ясотям (прогнознре чине лучевой прочности дазор'-тих сломьн;эб без пх разрушения) сашх измерений.

7. Результаты исследований по .использовании излучения базового 'jCp-лазера з прикладных задачах показали перспективность сг? использования в технологии й аедицано. На основе базового СЭс-лазера разработан лазерный технологический комплекс для сбрдбопех диэлектриков с низкой теплопроводностью к с воз-кокзес'л'дп; его использования от точного приборостроения до ху- ■ докзетюиио.': обработки изделий.

о. Лсглзака високсл эффективность воздействия импуль : ' : >> периодического излучения базового С02-лазера на зскэые ткан? и определена перспективы впэдрения этого лазера'з хирургическую практику. На основе этого лазера разработок первые варианты медицинских лазэрнкх хирургических установок для использования их в клинически}; условиях.

3. ,'<1ля создания цирехоалдэртурньк лазерных'-комплексов в диапазоне длин волн до 500 шел показана эффективность использования в гаки., псг.ллексах открытых резонаторов.

10. Методы разработки, расчета'и конструирования rai мах Ж и СБ" могут быть пепользованн при разработках твердотельных и ллдкостныи лазеров и лазерных систем- в различных диапазонах длин волн.

Реализация •результатов у '.боты. Разработанные и .развитые

- -

в процессе проведения диссертационной работы методы и сргдст<-ва были использованы:

I. Развитые г работе методу разработки,расчёта.и нокст-руирогалия газогых лазеров с использованием ЭБМ нглл:; прздгнз-н'/.е:

— ь НЖЭлсктрскзтаидар?" . (г.Санм-ЛбтерЗувг ) яг г разр.г.окн rams:« лаосрсг»устойчигых к зоздсйстняя жсгккх nstcxc« наличных з&рлшиса; частиц;

— в НИЛ"П::ток" (р.^пязинз ) и ГОК им.С,Бакаеве u-.U-su.kt •• Пе гсрЗупг ) при разработке техаолэггчеехкх гагохых тлгегз?,*

— I ХГ/ (г.Харько« ) к КРТй (г.Москга ) яр« газрлб;:т.-:о ч сса-Чанки лазерных ИК vi СЕ л систем для диагностики сдсзо;.

2.Раз*.И1ые е работе «год'.! к cpccwi ¡сснтрг.гп чтрлктй--нсткк глемэнссг лазерной оптики Н'Лди применение:

— » ГОИ им.С.Зйгклоа и ЛСУО (г. Саякт - Петербург- !.,

г ЯЯЯЛАЛ (r.2a<rypa >,Ш0 (р.Казань ) sps: ?1срл5е?л«,сездд-кик и дт?8с?алвк оптических элементов технологически* 00-,-лазере г,имцульеккх к юаульсно-периодичйсих газовых и тырдо-тельиых лазеров;

— I /ГШ,лгу и ДОДе- (г, Санкт - Петербург )яри разработке методик сгтс-ахустйчрскэь дефектоскопии и нерааруаыег^го ¡«сит-роля элементе?. лазерной Оптики.

3.Результаты разработки и исслйдоганкя лазерного технологического комплекса по обработке диэлектриков с низкой теплопроводно с. тья были реализованы в НЛО "Авангард",НПО "Биофизпри-бер ",на кафедре вычислительной техники ИГМО (г.Санкт - Петербург ) при изготовлении угловых датчиков.

4. Результаты воздействия импуяьсно-пгрксдического излучения СО^-лсзера на живые ткани были реализованы в клиниках 3-УЛ (г.Ську.т - Петербург ).

5. Результаты podois попользовались з учобксм процессе в лекциях г.з курса:,: "Расчет DHcproir-rooiffix дара;лзтроз лазорев", "Лазерная сдоктрсскед-л", "Теоретнчаокая оптика", а такие в д:гллс;лы;-: курзогк: padoïax огудокгоз кафедры квантовой электроны:::: ;ГГ.:0 :: флзлкя ЛШ.

ôâJiai—сг:

I. Прххдадаал теория элоктроразрддного лазера ;; лазера о , слтлчооко'; гыгхажоЗ, зклляапдая з себя: -

- зтруглтрацб сха:« !.:ате:латнчосксго кодвяаревзляя дроцес-/-с зз гелзрлы:::: :: усдлз:дш с лепользозалнегл 33;,! в МК и CS,' лазера::;

- основную тесрсткыееку.о модель !"( :: СЕЛ лазерез - модель Акт ;к:::лс "згепагсоа (Л?), з ксторсЛ одновременно рассматрцва-"' (Гол îорылрекаллз актллнел среди под действие:.: источников воз- : Суд:;;.:;.:.! (эдскгрхчезххЛ разряд, оптическая кахачка лазерныы из-л~:о:.::с:,;) :т герыиролапле доля язлученхл з резокаторэ; заполнением тало": оредо::;

- рдгч;г:аЛ алгоритм ддл роленля задача Активного Резона-' тора на cLlï, л созову которого положен вариант саьссссглазован-ноЛ з^хдакл АР;

, - огслзр:гленталыше доследования по провзрке прикладной ' т^ерл:..

О» Р-кзультатк комплексных последовал::;: ::о разработке им-: пульс.::::: :п'пульснс-дгрлод:;чеок::л IZ'. ль?грез .л баз со;-.: колет- , р-~:ц:::: ^.лульепс-лзрлодичзсксго элеытрсразрлдпого лазера.

•3. Результаты ¡;оре;:охт::в:-::г: кее::одоз;л:кл до оозлалню лд-зерол с зцл,ол:пхли к перестраиваемыми прегерахстездным*: рнстикаыи 1Гзл"-:з;п:л.

•1. истоды л средстга контроля сим: лее пил xap:av-;?::srîœ

~4в г-

элементов лазерной оптики и разработана!'» на их основе измерительную аппаратуру для научных исследований и тедподогического контроля етих элементов.

,'5. Результаты комплексных исследований практического использования Ж к Ш лазерсд и перспективы дпьпвйзэгс развития 'Щ; «г СЕМ лазордах cnctois в прикладных задачах квантовой электродик;:, -

вт^лал, аид-ра. ,цлссертацпя натесана по материала:.! исследований, выполненных ллчко автором, яр:: его непосредственно:: учаогпя ил:: под его руководством. Автора: предложены и разработаны основные подоления прнгледяой теории ы GKi лазерных енгте:,:, .схемы'разработки, раечото к коиструярсзынкл лазерных спетом с ;':сла1ьзоза:з:гы SS.!, а^оргдак рзг.днзаа»: задачи по сыжч-зу лазеров с зада^н::,:; характеристика:.::: излучения. 3 соавторзтво предложены и рагргЗотацы методы, содотда аппаратура контроля характерно?»: гламовтег лаз - оптики, • базовая конструкция ';:;;ыульоно-пер::однческого злзктроразрядного лазера :: схе.« лазера с оптической накачкой.

Анг-^г-д; oplcn;. Материалы д::зсе1.:зц::л полсаоны в основу монографии L.Л.Золсдин, ^.^арла:! ••Приискание ЭВМ

г:рк разработке дозоров", л., „"ддллтрад, "Малпностроокые", 1983 .г.-, док^здывеляоь н с'^¡дались на Ш-сй могдународпоЗ конференции "Нелинейная и когерентная оптика" (р.Мацск, 1983г, на воосшзнцх конференциях:

- J электронике' {г.Казань, I97Q г.);

- Сон; • менная прикладная оптика я оптические прпборц (г/Ленинград, 1975 г.);

-.Взаимодействие оптического излучения о всдостзом (г.Ленинград, 1337, 1Э35, 1933 гг,);.- Птаменэ-гио лазеров в народно:: хозяйства {г.Патура,

?-

ШПдаЛП, 1037, 1989 гг.);

па Всесоюзном совецаиш; по спектроскопии (г.Томск, 198П, 1581 гг.), па Российской национально]'! конференции "Лазерные тохнодогтш'ЭЗ" (г. Шатура, 1ЩТЛАН, 1293 г.), па профссссрско-преггодаватольских конференциях (ЛЖЛО, 1972-1990 гг.).

Структура и объем работы. Диссертация состоит из 5 глав, введения и заключения и содержи? 363 стр. основного текста и (об рисунков

ОСНОВНОЗ СОДЕРЖАНИЕ

Во введении обосновывается актуальность темы, формулируются цель п задачи исследований, научные и практические результаты работы и оснозше поло::сения, выносимые на защиту.

Л первой главе рассматриваются основные принципы и методы разработки, расчета и конструирования КК и длияноволногых лазерных систем па основе элсктроразрядпых газовых лазеров к газовых лазеров с оптической накачкой. Такими метода;® определены методы математического моделирования процессов, определяющих характеристики успления и генерации з таких лазерах и использование ЭВМ в таких задачах.

На основании анализа теоретических и экспериментальных исследований определена совокупность основных процессов, математическое моделирование которых мш;зт быть положено в основу ' разработки, расчета ч конструирования ИК и длинноволновых газовых лазеров и лазерных систем с возбуждением активных сред электрическим разрядом (ГЛЭВ) или оптической накачкой (ГЛ9П). Предложены структурные схеш этого моделирования с использованием ЭВМ (Рис.1 к 2) и этапы их реализация (Рис.3). Блоки этих схем являются обардли для любых газовых активных сред, т.е. с помощью предлотшых схем модно анализировать любой тип элект-

роразрядного лазера или лазера с оптической накачкой.

Основной теоретической мо-оакэ лроддаченнкх схем является модель активного розснатора (Едок 12, рис.Г), в которой одновременно рассматривается:

а) формирование самой активной среди и резонаторе лазера под действием возбуждения (электрический разряд, оптическая . накачка лазерным излучением);

й) формирование поля излучения в резонаторе, заполненном этой средой в определение зыходдех характеристик лазера (усилителя) .

Основными мет сдали расчета резонаторних задач в квантовой электронике являются численные с использованием ЭЗЛ методы решения интегранъшх либо ди.Тх^ерснцпачьпых уравнений, опясгзаа-..их формирование электромагнитного поля в резонаторе, "ля общей теоретической подели А!' наиболее перспективным школерным методом рн-.четов его характеристик определен метод интегральных уравнений. Дчя активного резонатора, заполненного средой с комплексным,. неоднородны:.', по координата.: показателем преломления хах .. стерпзуюдил усиленно лазерного излучения в этой среде, с использованием аппарата функции Грина, выведено основное интегральное уравнение длл расчета амплитудных и фазовых характериг-?ик излучения АР. Наряду с эти:.: проанализирована и определены уравнения всех олоков структурно: схс:.; расчета глав и ГЛ01-1 (рис.1 и 2), дсполняэда: £• этих схема: сснов-цоз интегральное уразкзние .1?, и установлены их связи во времени. ?то, относится преадз во-зге к урагнел^д.:,'слисываадим про цесоы создания инверсии в среде А? (калонге или полумасс::-, чтение) а г. уразнс-:-д:я;.1 резачднегз контур;. а импульсном рз^ае , раЗогк Г2ЭЗ, оавсив£»32К- лзед энергии :;а:-:с-.::телл з активную среду лазера (усизгтед?). Зое» ?тс г.: г в ат-:; г в задача-: разраЗот

г

Исходные данные

г—

Элементарные процессы I

Уравнение Больцкслна

?г

(г)

Ш

дыыд{г(г)

Кйнстанш -жментарнт процессов

"ЧУ

Ураёнеиия описывающие генерацию ё мазере (.Усиление ё усилителе)

1

ш \ 9

Параметры резонатора Характеристик , лагера ■ (усилителя).

Рис. I. Структурная схсг«а разработай, расчета и конструирования газовых лазероз усилителен с электрическим воз-.Суждением активной среды

Из /¡учение накачки

Оптической схема никачт

Резонатор

Т7

Константы элементарных процессов

ЛащУшлитег.ф-

Уравнения, аписы* бающие режим генврцции'усиле-ния)8 активной среде ШН

1практерис№ки\ резонатора

ЯДциимми пч»

•5 | у

Характеристики имучения ШН

Рас. 2. _Структурная схека разработки, расчета и конструирования газовых лазеров усилителен с возбуждением актайкоЗ среды оптическом кахас-ой

Р1ГС. 3. Этапы реализации структурных схл;л рис. I и 2

ки и расчета конкретных лазеров и лазерных систем оптимально строить программы реыония этих уравнений на 33?.!.

При разработке Ж газошх лазеров с использованием ЗВ1.1 предложено определять режим работы лазера, как СТАЦИОНАРНЫЙ или НВСТАЦИОНАРНЫ.-!. Эти определения по общей теоретической модели АР не являются эквивалентными соответственно НЕПРЕРЫВНОМУ ШУЛЬСНОМУ режимам генерации лазера. Критерий перехода в структурных схемах от стационарного реотма АР к нестационарному определяется соотношением времен (время формирования поля в резонаторе) и (длительность генерации).

При ^е 'рассматривается стационарный раним работы АР. 2сллП!^>г1г , то не обходило анализировать уме нестационар-ну Л ри'мгм работы АР. Идя такого режима работ: 'АР предложен расчетный алгоритм, сг.тчал^йся от стационарной задачи по г1отеу и Ли [2*], в осно,гу которого полсззн вариант нестационарной самосогласованной задачи АР,

3 за ял-эчегвги главы рассмотрены возможности построении о л-

тимизационных задач (вариантов зг %ач САПР) в методах ^а^работ-ки лазеров и лазерных систем с использованием ЭЕ.1.

Вторая глава посвящена вопросам разработки, расчета и проектирования. СО^-лазеров о использованием ЗШ. Этот лазер занимает особое место в освоении ИК и длинноволнового спектров электромагнитных волн, .Как источник когерентного излучения в области от 9 до II мк .. он обладает значительными возмоэтостя-ш в энергетических характеристиках и способен эффективно работать в различных реяшках генерации - непрерывном, импульсном, шлпульсно-ыериодическш. Кроне этого, с СС^-лазероц связаны перспективы освоения дальнего и субшллшетроаого диапазонов путем создания на их основе газовых лазеров с оптической накачкеж. Для непрерывного раяныа работы СОд-лазеров уяо тлеются определенные успехи по только в теоретических и экспериментальных исследованиях их работы, но и в приборных разработках [3, <Г|. Материалы этой главы посшщены TiiA СС^-лазерам,-работащим в импульсном и. импульсно-неоиодическсм режимах.

Анализ проблем разработки таких лазеров, как приборнпх комплексов, позволил определить наиболее перспективных тип предионизацнл - ггредионизацию основного разрядного промежутка УФ излучением вспомогательного разряда, т.е. основным типом TEA СС^-лазера в диссертации является фотоионнзациошш;! лазер. Дюг этого типа лазера разработаны физические и математические модели основных блоков расчетной схемы ГЛЭВ (Рис. I) и программы их реализации на ЭВМ.

Все исследования по применению методов разработки TEA COg-iasepoB и лазерных систем с использованием ЭВМ и оценка перспектив такого подхода рассмотрены в виде трех задач:

Задача I - Усилитель .

Расчетными методами проведен анализ усиления импульсных

-ЙЗ -

сигналов различной длительности в среде ТЕЛ СО^-усилителя. Полученные результаты в сравнении их с известными эксперимен-/гальнши йсследовашшш показали надозиость расчетной схош в широкая инторйаие. длительностей усиливаемого импульса и позволили выделить проблемную задачу: разработку СС^-усилителт с высоко:! инергстичоскол эффективностью усиления наносекунд1шх импульсов. Ъ качестве решения этой проблемы предложены схе:.ш многопроходных СОр-усилителен паносекундных (и меньше) импульсов, проведен анализ их характеристик, который подтвердил оух^ективпость усиления коротких импульсов в этих схемах, и определены перспективы таких усилителей. Предломошше схемы наш о использовать для создания усилителей коротких импульсов на'твердых и квдких активных средах.

Задача 2 - Лазер

. В качестве'первого и очень намного этапа в решении проблем, поставленных в диссертации, решена задача разработки и исследования с использованием ЗЗМ импульсного СС^-лазора. Прикладная теория, разработанная в 1-ой главе и реачизопаипая здесь д.ля данного лазера, позволяет получать весь набор характеристик исследуемого лазера (энергию, модность и .длительность импульса генерации, распределение поля излучения как в резонаторе так и вне его, угловую расходимость) при заданных конструктивных параметрах лазера, проводить оптимизацию этих характеристик. Полученные результаты в сравнешш с эксперимента,«! подтвердили эффективность методов с использованием "ЛЗМ в таких разрабст"ах. Одним из интересны выводов этого анализа является необходимость использования нестационарной задачи АР , в разработках Т2А 00 р-лаз¿роз с числами Френеля ^ 10, т.е. ширехоаппертурных лазеров.

Проведенные исследования по анализу, режимов усиления и

генерации в молекулярных актпвнгк средах позволяют Сл.дтозиро-вать с использованием ЭНЛ лазерные системы (генератор - усилительные каскада) в широком диапазоне энергетических и временных характеристик излучения, анализировать формирование волновых фронтов усиливаемого сигнала, их поколения в активных средах и чорроктировать их (обращение волнового фронта в среде молекулярного усилителя, рассмотренное в задаче "Усилитель"), рассматривать особенности систем, формирующих короткие импульсы,, с точки зрения когерентных эффектов.

Разработка лазеров с использованием ЭВ'Л позволяет опреде-. лять новые перспективные направления приборостроительной квантовой электроники.

Б третьей задаче - задаче синтеза импульсного СС^-лазера с заданны;™ характеристиками поля излучения в дальней зоне определено одно из таких направлений, а тленно: создание лазеров и лазерных систем с ¡аироким набором заданных и перестраиваемых пространственных характеристик излучения с помоцью нетрадиционных элементов резонаторпой оптики, таких как реяона-торные зеркала с переменными по алпертуре коэффициентами отражения, Обсуждены перспективы таких разработок и проблемы создания таких резонаторных зеркал.

Тгг>тья глава я. ляется своего рода продолжением первых двух глав диссертации. В них были рассмотрены задачи разработки газовых лазеров с использованием ЭВМ. Такой подход можно определить, как "физическое" конструирование этих приборов. Однако очевидно, что такой подход является.только одним из этапов создания лазера, код: прибора, т.к. в нем не могут быть учтены (модально) многие факторы, определяющие его конструктивность, такие как, например, изменения конструкционных парамет-■ ров, полученных расчетам на ЭВМ, в течение дательного времеш!

'áa-

раЗотк лаз о;, а лсд действием разряда, температуры, лазерного кздучонгя л т.н.

ПолниУ. оОъе:* информации дал создан:;л коаотрукг&кй лазерных источников могу? дать только комплексные исследования. На ос-" ново :чгг.:/. комплексных л'ос.'.едокаллй (разработка с ислодьзова-ннс:л ZXh л зкеларл:,ментальное конструирование) в этой главе ' дродстанлокы разраЗоташпо коцструкцки ашульсцого и аипульс-ле-периодлвеского Til С0?-\~азороэ с 75 продконизадней с уровня;.:;: энергии в импульсе до десятков Zvtoyswfi и частотами повторения импульсов до 50 Гц. Основное применение таких лазеров -это нсолодоталлз кедяяойжх процессов, лредще всего лучевой прочности (материалы TJ-CA глазк) п оптическая накачка активных срсд лазеров среднего и дальнего й? диапазонов (материалы 7-ой главы).

Згв разработка послу лли осчоэой для создания базовой кокс?рук:х.:» пмлульсно-псрнсдл-иокога ТЗЛ СС^-дазора о ыироки.л диапазоном временные (д лтельности имлульоов генерации от 0,3 до 3 икс и частота,» ж следования от единиц Гц до одного kI.J и энергетических (десятки - сотня мДл э импульсе л до 2ёи средне:': медное.л) характеристик, 0епов:дг5 л ерхгпнйшиг оле-центш этого лазера является систола лродгхсоацив, обоснечл-гчедя в одном зяшульов зозбуг,. лил развитие поверхностного коронного разряда, 75 свечение которого осуществляет продион..-зацта разрядного оЗвсые. и дгвитцо объемнс..е разряда, возбук-даь..ого активнее среду лазера. За счет епеци.ал'-:ой формы и материала (саД'.;"о) диэлектрических пластин, на которых развивается коронный разряд, сОесцечлзаотся элективная прздд.-.гсзация в оснозном объеме разряда я продув активной среды через разрядный промежуток основного разряда, лснотрукцил лазера обеспечивает его устойчивую работу с изменение:.; первоначальных харак-

теристик излучения (прег-де всего уровень энергии и мокюогг) в пределах 1£% в течение нескольких часов благодаря окс?е:.:з регенерации активней cweox, разработанной и введенной в hos. На базовую конструкций подана гашеа на Государственны;: патент России (цряорзтетная справка от 18.10.91) и получено лолеки-тельпое ромение.

• Зозаомлост::, золозйннке в базовуз конструкции, определили полек задач, в которых шяю эффективно нспольз.оахь этот лазер. Прозедозп исследования по щшзнежпо оаэозого лазера в технологических задачах по обработке различных. материалов (металла, диэлектрики). По результата;,! этих по следований определено оспсьзса направленно использования базового лазера в тех-кслогил - обработка длэлектрйков о низкой теплопроводностью (ДХГ). 3 ого:.: направлении яцдсяе;а; две задачи:

- приборостроение,.в которое требуется эффективная и точная cjpaioxKa деталей из ДлТ с :.йгпя,:алы;сл ,;^ной мпкрегре гл

в области обработки;

- хулогзст1-2п:ак обработка изделий из Д2Г и разлгпд:::: з;о-лудрагодок:::л: каллой (напр:~:эр, агат, г.л.:?„).

~лл релеиия выделенных задач па оснсво базовой конструкции к.лгулъсно-пери одического Т2А СОр-лазера разработал лазерный технологический комплекс, управляемый от 33.'.; для точной ■ч про£плшо51 обработки Д{Г. Комплекс обеспечивает:

- необходимую траекторию движения образца с западной теч-. ноотьл с учетом многопроходного рокима относительно лазерного

луча;

- необходимое позиционирование лазерного луча в пуоогей точке этой траектории;

- необходимые скоростные режимы движения лазерного .г/ча по' траектории з зависимости от обрабатываемого диэлектрика"

(материал, это толдкка)

Др.зерннЛ комплекс пропел усподную адробаци.о з технолога-' ческид процессах изготовления утлсэкх летчиков в 1ПС "Азан-гард", "РлоОлзлрибср" и з lino за кафедре вичпсднтзльной тех- _ пики (г.Санкт-Петербург). Возможности системы САПР, оддсмеп-ные в этот кс.гдледс, позволяя? полгать на воя разлг-пгдо :.:о-згсгпгно изделия из г:а:дюЗ (типа ^лорзлтийокол :.:отатд::г) :: обьем-нке рисудни на дни. Используя эоэ идеодсгид лазерного технологического комплекса па обработке ДНТ кслзэ создазать комплекс:; до раскрою различных тканей л ком.

Прсв-зцож; исследования до воздействие-излучения базового лазера на гязкз ткани теплокровных млзотнкк. Результата c?:ix .'тсслодсвдлхй, подкрепленное гнстсдсгпчаскггм:: и пгзтрехяглгчее-::дми нзоледз^гм.илми этих тканей после воздействия, доказали, что ггот лазер имеет перспективы, досталслике для его знодр"-лил с хирургачзску.: практику.

5;д; разработан макет лазерной медицинской хирургической установи::. Зз основные узла: .

- ит.иулоз.чс-пердсдкческяй Т2А COo-лазор (базовая модель) с набором характеристик (энергетических и временных), позвз-ляхдкх прозоддть различные зоздсйстедл па ткани мягкие, кез-нкэ, коетндз; .'

- геркально-лннзовая система транспортаргзкк лазерного излучения к объекту, оптический рычаг, поз золящий хирургу проводить кхчнпулядкя в оперативном проотралегде о размера1.:;: ' GGÜ х 500 х 303 мм3. Макет промел едробацко на яявотнух ъ >.~м-никах Воб:що-;.:одипинской Акадшхп (г.Санкт-Петербург). Лолу-, чэпчн* опит долокэн в основу первого варианта лазерной медицинской хирургической установки, разработанной в ,'ГГХ, которая к концу 1393 .года б уде: передана хКА-ддл ислодъзоданхя ее-

- а-

. ё обычных операциях.

Таким образом, проведенные исследования показывает, что па основе базовой модели и:.пульснс--пэр:1од:1ческсго Т2А С0?-лазера !.;о;хно разработать целы;: ряд технологических л медицинских лазерных установок. По зсо эти разработки будут so много:.: зависеть.'от. наличия соответствующей приборной элементной базы. Для С02-лазерсв и других типов лазеров, обладаздс: высокими уровнями энергетических характеристик,' базовыми елопоктзми, во тот 1 определяюдтяи возможности конструкции, яштагся оптические элементы резонаторов и сиозк.:, формир^одих и транспор-тир—эдих излучение лазера вне резонатора. К ним относятся от-рашадае и проходные зеркала резонаторов, линзы, делительные пластины, диффрахцисцяые рвеедаг. .

Четвертая глава поевядена Исследова: им опкгчиехпх элементов лазерных систем, Сснс^гл предметом исследования этой главк является определение .поглодательноЯ способности (козффй-циен -г поглощения) лазерного излучешя в оптически:: лазерных элежошес. '3' непрерывном ремтгме работы лазера поглодекне его излученияi оптическими эздмвкзол, Неравномерность отого поглощен,':;-; вызывают термодеформзц:'.. этих элементов и, как следствие этого, ухудшение качества полд излугаик лазера эюш элементами. В иг; г/лъсном рекпмэ работы лазера, особенно при коротких импульсах генерации, основной•проблемок для оптического элемента становится лучевая прочность,-которая также определяется пеглоденкой в элементе долей с-"ергил лазерного излучения. Для иьшульсно-периодического pessma работы лазера ваанши' могут быть обе проблемы. ,

Основным методов исследования поглощения в оптических элементах ИХ и 'других лазеров рассматривается оптико-акустический метод (САМ), в основе которого лежит генерация акусти-

ческих колебаний (волы) при взаимодействии лазерного излучения о веществом к хх анализ.

3 начало главы дан краткий ана-пз суг,е»твуэдях штодоэ измерений (абсолютных л относительных) доглодепхя излучения в оптических элементах» Па оснозе ьтого анализа выделен ряд характерна: недостатков, которые в той или иной мере присуди всем зт:пл погодам, К ним молено отдестн:

а) недостаточно высокий уровень точности пэкеряшзс величин поглощения для современник- грэОспочкй к материалам лазерной оптики з точности в оценке вклада в обдез погдодениэ поверхностного и объемного поглощений;

б) большое время кзмореник;

в) отсутствие диффэренгцшы-ьас измерений погл<Л';з:й;,т,

позволяющих получагь информация о зга распределение со образцу.

ОХИ цозволяе!! устранить эти.недостатки тё, наряду с спел, • определять дучеауа прочность оп'лтчес'хнх- ьломоктоВч

Вся эта информация позволяет корронтхровхть технология . изготовления оптических элементов лазерной сп-тжк тгк:тм обра- • зом, чтобы получать-элементы (отрааадздькыо г лроходчце), способные сохранять своп первоначальные рассчитанное и оптимизированные оптические характеристики под воздействием точных лазерных потоков (например, зеркала в задаче лидера с заданными характерногаками излучения во П-ой глазе).

Зсо исследования по использованию ОЖ в определении поглощения и лучевой прочности оптических элементов построены оледуюцш. образом:

I. .0 помощью теоретического анализа сптико-^/.усгичесло. у ¿1фзк?а в пределах тепловой педели получены простые аналитические гирагкенля, связынаг/дпе'параметры дзи.т.ения поверхности •

- Зс-

оатпческих элсмзятов (охраиаоздас и проходнкх) в лаЗсй мшснт времена с параметра.® среды и лазерного азздоЗотзая. Установлена л апробирована однозначная связь абсолютных з;;ачеяи:1 по-глодательноЛ способности ^ оптхчоских поверххосго:'. штодлоэ ОПГЛ и ксоТфидлеята поглощения ^ ц?оходакх элсглэптов с мам-сж.гатьдхш значойкжля смэценп^ их псзерхнссге:": Лслуче-

ш» соотнсления, однозначно овйзкшщиэ значения Ц",.^ с температурой поверхности, полвергдатейся'ооздаз&твив лазерного 1*зл, гения. ■

2. В качество основного измерителя и»«*.. (осстзетотззн-но А ил:-: ^ ) выбрал интерферометр "аЗлодьсспа с ч>тсэлектронным счетом подо о, з схему которого внлхнока поверхность исследуемого образца. 3 этой схеме регистрами; Ун<л колсме-пия всзз'Лстзуящего лазерного луча и зелд-лру'дэго лу-:а ян?ер-' ферсметра совпадает. Забранная схема регистрации 1)«,«* позволяет :

а) регистрировать здшикальнвв значения поглсдательпсети СП" на уровне (I - 5)»1С"5, коо^ндиентов пегдодемня преход-ных элементов :-га -уровне 10 см А и температуры поверхности образцов при'лазерном воздействии на уровне'0,1°1<5

б) производить измерения величин Л а ^ в различных точках ис-ледуемого образца за зремл воздействия лазерного импульса и получать распределение этих величин по его аппертуре)

з) переходить от абсолютных измерена?: Ж и ^ к огнсси-телъпм,:, когда в схеме интерферо. :тра исследуем:;;: образец можно сравнивать с другим (эталонным) образцом.

3. Проанализированы процессы взаимодействия лазерних ш-пульсов с различными параметрах: (интенсивность, форма и длительность импульса гешрадцш, ддяна волна кзлучкглл) с дефектами поверхностного слоя и на оспоко этого анализа введена

- и -

классификация деЗек?ел по их реакция ла лазерное гоздойстзпз. Зга класел.5т:ация рассматривает только две груш* дефектов: 1-я группа - дефекты, концентрация котеркх подает с росте:/, дозы поглощенней энергии { 2-я группа - дз^ентц, концентрация которых увеличивается о ростам дезы поглощенной оперта*.

lia пр.тмграх CIT.! установлено, что значения пх погяоцатэль-ией способности -Д непрерывно изменяется при взаимодействии о лазерпзг-.; излучением, 3 этом изменении мок-ю вцкедагь мшшмалъ-исе значение Д , определяемое лазерной очисткой (удалением дефектсз Г-ой группы). является одяпогзешчгг, которое достаточно точно связано ,с ?.шсй.здьпьс13 для данного образца знало плми лзразру:ла:г:нх иптонсизностей лазерных импульсов -Xvep . а теая» с порогами .других процессов пза.г.:одейстз:гя лазерных пжульсов с ОН". Зкводы, поденные дет поглсдателъной способности СШ, раапроотрапяатсч и ка,ксэ®ицкснтп логдог;е:ш Pi .".ля проходных одлмеятоз (яадачие fo^ - лазерная очистка,

X, ,

i, Исследования амплитуд и форм- акуотичоекпх сигналов в оптических лазерных-элементах в зависимости от энергетических' параметров лазерного воздействия позволяют регистрировать наступление различных стадий их разрушения ^локальный пробой -изменение формы акустического сигнала (АС), пробой по воей зоне взаимодействия' - изменение фазы АС),

Зее эти результаты могут быть исп^.тьзо_а1Ш для создания ■ лазерных ОАГЛ исгяедован~я оптических элементов различных.диапазонах длин :олв ядерного излучения (о- эксимзрных лазеров до субмпллхкетровых)." lia основе OAI.Î предложены способы измерений и исследование-характеристик элементов лазерной.оптики (коэффициента поглощения. пли погдодатедьпой способности, порога лучевой прочности,- качества поверхности) в 'тохнатсгпческоц

Контроле. Эгд опособц позволили разработать, измерительную аппаратуру интерфсрекацлсдаые измерители ШКП и /ШС для научных исследований "4 технологического контроля отраназдах им проходних элементов лазерной сптлкл. Аппаратура прошла успешную апробацк» при исследованиях к измерениях- характеристик.' металлических, мета.тдодиэдектр1Глескхх и кристаллических оптических элементов лазерной ПК оптики.и оптических элементов лазеров видимого я блхкаго диапазонов, проведенякх совместно с'ГОН им.С.И.Завидова, ЛОЖ (г.Санкт-ПетерОтрг), НИЦТЛ АН СССР (г.Шатура).

3 закличении згой главы определены перспективы 0Л."Д как в измерениях характеристик оптических лазерных элементов, так и в другое арякладык задача:'.. Сд:гим из наиболее хнтеросюгх , Применений САМ в лазерной физике х технике может стать проходной оптико-акустическйй измеритель энергий лазерных импульсов.

В пят',»3 глазе'представлены материалы, посвяпенннь разра-■ боткам, расчетан и конструированию длд.-нновслноЕь'х лазеров с оптической накачкой (ДГЛОН, ГЛОК) излучением С02-лазора. В ■ отличие от С02-лазэров, развитие и разработка которых в течение дочти 30 лет позволяли получить.достаточно надемныз источ-, кдки с широким лаЗором-энергетических и вреМеккдс характерно. тик излучения в Ж диапазоне, ТДОН, как приборные комплексы, делают свои первые лаги. Поэтому изложенные в отой главе материала рассматриваются как попытки определения .перспектив-в развитии этих пр1М:ороЕ. .

Анализ .литературных данных,, проделанный з начале главы, ' определяет проблемы -создания и разработки ИОН. С одной стороны, достаточно хорошо изучены.механизмы резонансного и не. резонансного возбуггдегия молекул излучением лазерных источив- , ков накачки. Построены расчетные модели по методу балансных■

уразнешй, лолуклассическим и квантовым метода»®, когорув при наличии койсгант элементарных процессов позволяют количественно описывать преобразование излучения оптической накачки лазерное излучение дальнего Щ и СЩ диапазонов. С другой стороны, отсутствие какой-либо оптической элементной базы, т.к.'на сегодняшний день практически нот исследований, позволяющих выбирать материалы для создания проходной и'отраяавдей оптики в схемах ГЛСН, Кроме того, недостаточно исследован и оптимизирован з ГЛОН выбор коне трух^Й резонаторов я схем,оптической накачки (в перкодичеокой литературе йзезстны- ГЛОН как с открнты-ш, так к волноводами резонатора®).

- Проведенные в этой глазе нсолзДОзания и полученные результаты можно считать началом большой и перспективной работы по создания безальтернативных источников когерентного излучения в дальнем Ж я СБ!.! диапазонах с характеристиками излучения (превде всего энергия и мощность), необходимыми да реаения многих прикладных задач.

.1. Проанализированы с использованием ЭВМ задачи усиления х генерации в типичных активных средах ГЛОН молекулы СН3+ и

Такой анализ в сравнении с известными экспериментальными результатами позволяет определить более точно основные константы процессов возбуждения активной среди я усиления в ней и* тем самш, сделать более достоверным моделирование основных' характеристик лазеров о оптической: накачкой. При разработка ГЛСН такоо моделирование с использованием ЗЕ'Д позво. дет выбирать и алттпирозать активную ерэду (ее состав, давление, общий объем) под конкретные выходные характерис-чки лазера.

•,2. Проанализированы возможности, использования открытых , резонаторов в ГЛОН по отнесению к полноводным резонаторам, Показано, что эти резонаторы имеют реальнуо перспектив для длин

--

волн вплоть до 500 шел в шгрокоа^ертурных ИОН, разргЛотка ко. торкх является одним из решений созданий лазерэз с оптической • н&качкой с повашеюпас: знерготаческгсл характеристиками. Основ» иык элементом такого РЛСНа являете.-; шрекоаляоргурный С0о-ла-звр (лазер накачки), разработку, насчет и конструирование которого можно осуществлять ко материала!.-! первых трех глаз диссертации.

3. Предложена и проанализирована схема Г.10Н, иоторая, в

отличие от «угоотвудак схем» гдоАсег работать в спрохогл диала-зоне длин волн х 12 до 1000 мкы с высокой- э'5оектпзность:: ге-аерник -зо всем отом диапазоне. Схема может работать о различными апертура?,гс лазеров накачки, использовать открытые и вол-новодкне резонаторы. Схема позволяет работать в указанна.1! диапазоне длин во.тн без судостзек77:х изменений в конструкции лазера. Эти- изменения при переходе от одного диапазона длин волн к другому сводятся только к замене активного газа э секции генерации ГЛ0Н, смене в оокляи генерации коэдег-ых насадок и замене однох дифракционной решет, являющейся <%цш из зеркал для. кгбраихой длины золки генерации. Эта схема была '; экспериментально исследована в ГЛСХ ка молоку таэ: «МЦ с -Аг = 12.& злы. Эти исследования подтвердили вксохую (в несколько раз) э-^фекг;. ;-кость предложенной схемы по сравнению с уже известными схеиачк построения ГЛШ.

! 4. Проанализирована с ясаогалованием 23;,1 задача разработки ГЛШ с задании.". пространственны:,! распределением поля излу- • ■ ченкя. В отличие от СС^-лазеров с подобными характеристиками ' (П--5Л .глава)'з качестве основного устре1;стза, Формирующего не. обходимое поле излучения'з ушк ГЛОН, выбрана его активная . ■ среда, в которой за счет поглощения пространственно-неоднород-•иогс льля накачьг возникает неоднородности, приводя-

-Зэ-

щив к модуляции пслч в резонаторе ГССН, Поле накачки задающее в активной среде ГЛОН необходимые неоднородности, приводящие к формировали» заданного поля излучения ГЛ0Н,?/ом-но получить с помощь» лазера накачки,СО^-лаяера,построенного по алгоритм,изложенному во второй глаао диссертации.Такта образом,рассмотренная задача расширяет возможности перспективного направления в приборостроительной квантовой электронике,а именно: рапрлбетка и создание лазеров в оиреко« • диапазоне длин волн генерации с заданны у" пространственными характеристика«! поля их излучения и с возможностями перестройки этого поля.

Полученные в о той главе результаты вкедрени и опробирой-нк s ifTMO на кш^еаре квантовой ялйктроники.в IffTII (г.Москва ), в XapbKcacK'.w Государственном Университете (г.Харьков ).

Б за;л№гния_сформулированы основные-результата работы,

ИГГИРСВАЯНАЯ литература

Г.Виггеман В. С09-лазер,//.'<!. ,'.!осхза»"'(ир", 1990,360 ctр. г. Ц Т. Ш. У., is&i', v:-<4, У-5, р i-яъл.

3.Голубев В.С.,Лебед^я Ф.В.Йккенерные основы создания технологических лазеров .Лазерная техника к технология (яэд редакцией Григорьянца А.Г. ),м.,Висгтя зксла,19йЗ,Кн.2,17б стр.

4.Технологическив лазеры.Справочник (под редакцией Абильсиитога. Г.А. ),т.Т,Москва,Машиностроение,1991,

Результаты,полученные в диссертации,опубликованы в 71 почетной рьботе,лз которых основными является следящие:

I .Валоакн Ю.А. ,Крк..ов К.М.,ШарлаЯ С.Ф.Лоиу.енение ОВЧ при разра-' ботке лазеров.Л.,Ыапкнсстрсенле,Ленянгр?д,19чУ,236 стр.

2.Баловин S.A. (Богданов М,П. «Крылов К.Й.Лсэкопедко В.Т.Исследование стабильности оа0о?ы лазера нй основе С0^.//Тоуды ЛЗСхг "Вопроси квантовой электроники", 1963,Вчл .65,ст24У.

"'.Балооии Ю.А■ .Богданов "..il. ,Лпскзгг>'ка Б.Т. О некоторых исследованиях тзезолатора для лазера'на основе СО-, У/Т^ды лКГ%' "Вопроси квантовой электроники ' ,1068,Нып.65,1.:

4.Аверьянов Н.Е.,Палшйн Ю.А.Особенности работ» яупульсиого газового лазсса на основ« LQ* .//Трулы 1ИГ.&''Вопросы* квалтолоя электроники1', 1970 ,Вып .67, с'; 112-1 • 3.

5. Евлосин D.А.,Крылов 'К.К.Оптимизация параметр:;« газового .талера на СО,,работаюпего в импульсном ptяке./,Труаы Всесоюзной конференции по электронике,Рязань, I9V0,с.57-60.

.бг.Аверькяов Н.Е. jBsJtociKH Ю.А, »Вогдг нов й.а.гезокаторы с отверстиями связи для лазерае н& СО0.//Труда Всэсовдкой конференция по электронике>Рязань,1970^с.134-13'7. Ч.ЪаЕос.Une У./ЙЦл/ 3-, Л Gt, ¿as^ Оо^ ^at)Oc.í¡tonüU(¡^

c.ß. aead, -íeue в, pq^'s,-1« , р\

8.Аверьянов H.S. ,Валошик Ю.А.Влияние на выходную мощность С0о-лазеев. отвйостйя связи резонатора.//Изв.Вуаов "Приборосгре!'.--ни е"•", 1973, №3, с .24-29.

9.Аверьянов Н.Е.,Балепшн Ю.А.Исследование импульсного СНГ на. CO., при'зо Суждения активной средь) микросекундккмя жгл-дьсеш то-*" ка./УТ^уди ДЙГЮ "Borro.сы квантовой электроники",IÖ76,Вып.70,

Ю.Ваяотин SC.А. .ЗильбепA.E.4i.еденный расчёт.влипнил заик« '.-»нкх частиц различных энергий на ппектрслиюе х^вактерисягки активных сред жидкостных' и гаоОвых 0Ш'.//Твуды В'езсоюап.хокф."Сов-.реиекнак поккладная оптика и оптические прибеги.'",Т..,Ленинград, /Э7й,сЛ6-21. ■

11.Валсйик S.A..Коновалов'Г.М.,С«ольк*ков A.B.,Шарлей СЛ.Зче?.сх-кость кинетики типов колебаний, PCHesiínvcMsx в квектоюч тснора-Totje с пассиашк затвогом от спектральных характеристик лссх.*-дуеиого фзто1ропного затвора.//STIC, 1975,v.XXIII,£.2,0.214-217.

12.Валсаин S.A. ,Тбп-Погозян A.C..Tep-Погосян П.А.Кинетика Не -fie ла:.!о г е. на основе засчитанной пункции распределения оЛектоско*.

13.В£лош;ш Ю.А. ,Тер-Г-!Гоеян А.С.Теллозой о^фркт в лаззре -пг.и облучении Прзник&сдей радиацией.//ЮС, 1377,т.ХХУТ1,в.5,с.816-821.

14.BwtsstKh В.А.О влиянии злес'пзонкого 'Облучения на генерационные хаиакгешемш: газовых 0Ш'\7/ЖПС,.19?8,т. JÍXyiIl, в. 4, с.5^-626.

J5 .'Аверьянов Н.Е.,БаясиКн ¡O.A. К тзасчрту хаояжяйстик ¿отокони- 1 зациомного ТКА С0о-Л.азера.//ШС,1979",'г.ХлХ ,а".I,с.5Ó-&0.

К.Агзгьгшов Н,Е.,Вадолнл Ю.А.Гёрке М.Н.,Дернятин А.И.,Хургин Я,Б. Ра-.йёт характеристик •фотоаоййзяпкокккх Т£\ СО-,-лазеров'- 'AlaB. ВУЗов "Приборостроение',т.22,MC,с,£5-71.

I?. Аверьянов Н,Е.,Б&лоагин Ю.А. »Дернятии А.И.Фоточонизацкоккый ТЕД Cüo-дазео./Лез.доял.1-оййе»отр&слзйоЯ Зс^соозк.конф. по нонструнтопско-тсхкологическим цребде^ем газол-у лазеров к уст- ■ ройогг на их основе,Рязань,1960,с.21-23.

' 18.Аеерь*йог, Н.Е.,Валошта Ю.А. Об эМетхвности молекулярного усилителя ¡и.носекундных ивдгульсо8.7/ШФ, 1900 ,т.50, с Л 929-1934'.

19.А2еоьллой Н.Е.,Валоиин Ю.А. Численный

анализ пябот^ уоле?чуляр— ного усилителя-ианосекудпршх импульсов.//й11С,1931,тХХХУ,в.I, с.47-51. . ■

"0.Ананьев Ю.А, .Аверьянов 'Н.Э. ,Взлошия -Ю.А;Исследование имнульенс . периодического фотоионнзацнокчого TEA С00-лазера.//Тгз.докл.ЙСч,-совзН. копф. "Применение лазеров .в мшхнострсекии",Ленинград,IS6I c.I0I-IC5. • . . ..

21.Аверьянов К.2..Валршкн Ю.А. ,Децкятии А.И. ,Па»л:кзиц И.3.Расчёт га .зойык лазеров на ЭЙ.'". /Груды Лп'1'Ю "Совремйнн&я ол^ктроника в -оптическом приборострогнйи",Л.,Ленинград,I9¡H,с.I26-J.3Q.

. 22.Аверьянов Н.Е. .ВалоД.ш Ю.А..Дзрнктин А.К.,Крылов К.И.

. шин И.В..Обретение'волнового фронта излучения ъ. СОу-усилитеде Труды tX-ог'о'Всессюзй.Совещания* по спектроскопии,ТсЙск, 1380 c.DÍ-bb. - '

23.Аверьянов Н.Е. .Баяоатн Ю.А..Павлишин И.В.Исследование фотоиснй* зационного TEA СО Р-лая ера. / Л оуды IX ВсесомзН-Совещанг'я по спектроскопии .Тоотк ,1980, с ,41-44

24.Аяерьяног Н.Е. ,Балсш: .ч Ю, А., Дернят»« А.И.»Крылов К.И.,Яагли-

. шин И.В.Численное моделирование процессов в лазерных СОо-мсте-мах.//Труды Х-ого Бссссюэи,Совещания по спектроскопии,Томск, 1981,0.17-21.

25.Азет)ьяиоя К.Е..Ананьев Ю.А.,Бялопии В.А..Девнятин А.К.,Крылов* К. И.»Паллишин. И.В. Исследование кмпульено-перипдичеексго CO.,-лазера с ггредыоиияаци'пя УФ-излучснием скользгзсгс разряд а. Труды \-ого Всессюзн.Совещания по олектррехопни«Томск,1981,

с. 31'-'• z,

Йб.Лвсоьян&'в Н.Е.,Еалошин Б.А.,Дернятин А.И.,Павлиаии И.В.Исследование ойпачения волнового вчента в \!олек\гляонсм многоппохецнэм усилителе.//Ы1С.1982, т.ХХХЛ ,Я.5,с.73С-733.*

27.?.алошин Ю.А. .Беляков »i.B..Tfip-Логосян А.С.Интегральное уравнение активного плоского позонатора с неоднородной средоР,//Т-^э. докл. Sc есопян .ионф, ''Пржюнадие jst .еров в науке и технико1', Йе!П!НГо?д, 1985, с, Й0-124. 1

28.Аверьянов Н.Е.,БаЯО!вин Ю.А.,Бухансв К.<5. ,а"аг.л/иин И.В.Дю«-вич И. ¡¡.Способ лазерной обработки.//А.С. 13С2оёэ СССР,приоритет от Ifi.07.0b. '

29.А«-;рьяч:я1 H.S.,Вйлоакк Ю.А..Гроыоьенко З.М. ,Ит>тугаио9 В.Ц.

лмпульсчо-пераодичьский СОо-лагср атмосферного давления./''Из-псаг/.п ВУЗов "Пркборостроякхе", 19й€,г.ХХГХ,К>,с.ЗЗ-€б.

30.Аверьянов Н.Е..Еадогин Ю.А.,Крылов К.И. К возможности постоое-ния системы автоматизированного прэектнрояьниг для газовых* лалсрса.//11ав; ВУЗов "Приборостроение",1^66, ?.ХХ1Х',£7, с,70-74.

31.Альтш7Лрр Г.В. ,Еалоа»н Ю.А. ,'Ларлай С.Ф. Расчёт сг.тнческих резонаторов, гвн^атовсв.усхлигйлхй.//Учебное mistze по: курсокк-л paiота;.:J.снинград, Л »fiKO, 1985,£0 стр.

32.П<злспия Ю.А. ¡Пая л тайн 3.1'.Способ ваз5ужкния сабс-чгй среды элехтроразрядного* газового лазера.//А.С. FISITfcS? СССР,прорятет от 0o.0i.87.

33.Еалсшин !).А.,Павлишмн И.З.,Сгяденков Ю.В.'.Юревич BJi- -лазе,., с п^фчктквкок накачкой лазерным излучением.//Тез,докл-Л-сго Ресл.семинара "Лазерная технология".Зильнпс,1937,с.131-125.

34.Аверьянов И.З,.Еалопин 0.А.,Беляков И,В..Павлншин If,В.Расчет веэснатопов с оптической накачкой .//"SIC, ISB7, т.ХХХХУI, !>3,

с. 396-<"-00.

35. Аверьянов H.S. .Еалотин 0.А..Маотахина Л.И.,Пдвлиикн ' вич В.И.Исследование возчстлссти прогнозирования- порогов пл>--;-мсо^оаяевания на гп.'веисноегк металлов с ломаные оптико-ахуоти-чнекого метода,7/КГФ Д987,т,57,вып.9,с. 1755-176...

36.Аверьянов Н.Е. .Еалоиин Й.А. ,Маг;Т/?:ина Л,И..Пазлигин 'А.Ъ.,Тк>ъ-«яч В.И.лселедовьние фопуы акустических сигналовлвез^ужгое'мнх излучением лаэеза в металлических отракат^.те , т.'//, выл.IT,с.21^3-2130.

37.Еалопин U.A. Дотяиков ь.Н.,Салиев ,Г!авл;тин И.В.,Юве*ич 13.И.

■ , РазввЯотка и исследование дизлекгричеехкх зеркал с повышенной

лучевой п^счнос|ьб для иудульсных СО^-л ьзер о в , .//£ГФ, I 987, т. о I,

ЗЗ.Еалошин Ю.А.,Судьонкos У.В.,Юю?гкч В.К.Измерения кооффицяен-тоь погдацоккп мйт«ляте«схпх Ьяркад с повышенной точность®, 'хео.докл, Всссжо.ч.хо!!г1."Уззлу.с;(г,ейс'.лив оптического излучения с i^cctscm" , л с и и ни г; м2,, iv у 7, с. 470 —1'?z>

39.Волошин Ю.А,,Судым-кэ}' Г.3.,Антона* А .А. .Лавятеин II.В. ,Юре-гич в. i'.Способ" опр?дрлсй5».«г качества поверхностей оптических изделий .//А.С- ." СССР, приоритет от 01 .ТО.83.

4Q.Вал сиг/л Ю. »Бяяяксг И. В. К расчету резокысрс« Ж и CÍ.M лазеров с задатка: хлеактериптихами и.*,лух;екия./'/Мвнсзузовский сб. 1 Ад ал. л írfaji оптика", I • '¿У, Уфа. с. 3Í-3V.

41 .Анеэьякс« Н.Е. Балол.,к ЮЛ. ,Ла*ликин И.В.»Судьгнксг Ю.Я. ,»Ъе-гкч З.И.Хсс7.£д-.ездие лазерного пл£змоо5т>аяовонкя у оя г.'ч<?с них поверхностей с ислол!>аовйм:ем оптикс.-акустн«еског6 Тес.докл. XIII Ме.ча/нзподнсГ" ко«ф- п0 нелинейной и коггеентко? оптике,1926,Мин2К,ч.III,с.52-67.

42.F.нлоийк Ю.А.,С дьенкоЕ 2.3. .У-реяич Б.И.Влияние дч^октое поверхностного ••док на яорлооатйяьн'у» способность и ппсцесск низко- • пооогсs ог о osa сужения металлических зеркал., /Тей.цок*.Зоесоюзн" конф. ''IloXMekiHv.fc «чазероь ь народном хоаяйетьо" Л

!_атура, с. 190-201.

43.Балоаин В.А..Судъенксг 10.3. .Юреиич В.И.Влияние термообиаЗотки н& лпоцегем оздр/вытя медных зеокел.//Тез.кокл.Ясесокзн»srar р.

¡Ьимен-жие яазерск ъ народном хозяйс^г.е",I9c»9,Híü;TJ¡íji, Шатура, с. 301-302". , , , ,

44. ЧпыьГК V А , B-kw*r<M . «i . OfW. - амцЬс

, ' 1л Ойхг epiia fít;,t ítyj, frigio, JCt >лс ?.

45 .Бал одам Ю.А. ¡Судьенкот. Ю.В. .Кревич В.У..Медленная теъмедчфоома-иия металлов при быстром лазерном тгагогг?.//Теэ.5Ь>.л.УШ Зсесопзк.кояф.по 'Езаи!/одеЯстгй» епткчеехого излучения с »е-

' прет 6 ом .Ленинград, К90, с. II5-II7.

•"^.Бллошнк jtj.A. «Судьонког Ю.В. ,Юре?.кч В.'/,.Особенности п&зруясния оптических поверхностей метапясг пои вяй/модоясткик" с короткими лазерными импульсами .//Тез. докл'.УIII Зсесогазн.кснф. по вза-.имодойстиюо оптического излучения с з«esctsom,Леккшрад, 1990, . с.Иб-119. i , ,

47. ВслМ.!-« V. Y^fn'cl, \J./tude.hbcf Y. ¿Ppví tWwJefrtwd^

' liflcfe W^fe'^f km ¡.«а.-ьд./^те* Cb.{«tc,c¿ í* Jttc'ift.í.«* ' 4 ЫГ&Ьо* rtKW&ti, Lcmi.c.ií.íí, f'^'lá,

48.Бйлоичн Ю.А,,Судьенков C.B.Jjoetwi В.К.Интерфорен&ционнкй ene •

cotí оповделелид- коэффициента йоглсжсяие оптического момента. А.С. Г 1553705 CCC?,приоритет от 03.С3.0С.

49.Еалсшин Ю.А. .Павлшик И.В. .Элехтроря.зпядякЯ иулульско-псриод"- • чески.!-- газогь'й лазео.Заявхл на Российский патент Ь013Г:33

от 18.II.91.

бЭ.Бадошкн D.A. ,Г1аадкшнк И.В.»Беляков И.З., к др. Исследование возможностей использования tica СО^-лаяега для обояйптки с,иэ-локтрнков с низко" "егшопвогодиоСР.'.и.//Тез.Росс/гскои н.здио-- нальной кокф,"Лазерш« технологе.л'93"", 1003,гЙГГпАл,¿»тура.

Ы.Белин З.Н.,Балош^н Ю.А. ,Бе?>яког я дп.Мор-толонич.-ская каит/ча ■ рвпаратианого процесса поело аозде^стякя сфоо'спт-оьгшкого хуча. импульг.но-периодичвского СОт-дазера.'''Тез.Рзсс"/йской Национальной конф. "Лазерные т?хнологии>93 ,1903