автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.07, диссертация на тему:Автоматизированная система локализации утечек водорода на базе микроэлектронного датчика с барьером Шоттки

ргб од

/ 2 мдр 1998

На правах рукописи

ЛУКОНИН Вадим Павлович

АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА ЛОКАЛИЗАЦИИ УТЕЧЕК ВОДОРОДА НА БАЗЕ МИКРОЭЛЕКТРОННОГО ДАТЧИКА С БАРЬЕРОМ IIIСУ]ТКИ

05.13.07 - Автоматизация технологических процессов и производств в промышленности

АВТОРЕФЕРАТ

диссерта щи на соискание ученой степени кандидата технических наук

И.Новюрод, 1993

Работа выполнена на кафедре "Автоматизация химико-технологических процессов и производств" Дзержинского филиала " Нижегородского' государственного технического университета.

Научный руководитель - доктор технических наук,

член.-кор. РАЕН, профессор Сажин С.Г.

Официальные оппоненты - • доктор технических наук,

профессор Сагунов В.И. кандидат технических наук Тихомиров Л.А.

Ведущее предприятие - ОАО "ЦВЕТ" (Опытно-конструкторское бюро

автоматики ОКБА) г. Дзержинск

Защит* диссертации состоится 0£ 1991;. и • часов на

заседании диссертационного совета " /с Оф в

Нижегородском государственном техническом университете по адресу: 603600. Н.Новгоро'д. ул. Минина. 24

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Нижегородского государственного технического университета.

Ваш отзыв на автореферат, заверенный печатью, просим выслать по указанному адресу.

Автореферат разослан 02._1991г.

Ученый секретарь диссертационного совета, кандидат технических наук,

доцент у/¿¿//f/eSf^yj. /Симонов A.A./

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность Проблемы безопасности водородной' технологии связаны с горением водорода в силу широких границ его взрываемости и незначительной энергии, необходимой для его воспламенения.

Газосигнализаторы использующиеся в настоящее время для предотвращения аварийных ситуаций, не могут дать ответ на вопро'е где образовалась течь, а именно здесь кроется наибольшая опасность т.к. в месте выхода водорода в воздух высока вероятность образования взрывоопасной водородо-воздушной смеси. Таким образом возникает задача локализации утечек водорода на всех стадиях получения, хранения, транспортировки и применения.

Существующие детекторы имеют ряд существенных недостатков, таких как низкие динамические характеристики, сложность системы пробоотбора и др., не Позволяющие применять их для построения автоматических систем локализации. Необходимо расширять номенклатуру чувствительных элементов вводя новые тюты датчиков. Наиболее перспективными в настоящее время- являются твердотельные датчики водорода. . .

Говоря о чувствительных элементах нельзя не упомянуть о сложности обработки дефектоскопического сигнала и мерах необходимых для поддержания рабочих режимов датчиков. Наличие субъективизма при контроле изделий на герметичность приводит к повышенному проценту брака. Для исключения субъективного фактора в определении параметров дефекта н повышения достоверности полученных результатов необходима авгомшнзацня всех процессов локализации утечек (считывание информации, первичная и вторичная обработка дефектоскопической информации, а также поддержания оптимальных рабочих режимов системы локализации при различных условиях контроля).

' 4 . .. '

Все вышеизложенное и определило актуальность работ по созданию автоматизированной системы локализации утечек водорода с микроэлектронным чувствительным элементом.

Целью работу являются теоретические и экспериментальные исследования автоматизированного процесса высокоточной локализации утечек водорода без нарушения концентрационного поля течей, разработка и промышленное внедрение портативного течеискателя на водород на базе твердотельных полупроводниковых сенсоров со встроенной

автоматической микропроцессорной системой обработки дефектоскопического сигнала.

Методы исследования Теоретические исследования выполнены иг основе теории массопереноса, физики полупроводников и диэлектриков, г также теории автоматического управления. Для проведения апробации алгоритмов обработки дефектоскопических сигналов применялся мето; имитационного моделирования. Аппроксимация экспериментальны? кривых осуществлялась ' методом наименьших квадратов Экспериментальные исследования проводились на метрологичесю аттестованной измерительной аппаратуре в соответствии с классов точности. Проверка адекватности математических моделей о существ лялас! методом дисперсиЬнного анализа.

• Научная новизна На основе полученной математической модел! взаимодействия концентрационного поля течи с чувствительны» элементом течеискателя (в режиме "щупа" без прокачки) определен! оптимальные зависимости параметров процесса высокоточно! "локализации утечек водорода. Выявлены новые особенности физико химических процессов, происходящих в полупроводниковом датчик структуры Рс1(Р1)-5Ю2-$1 с барьером Шоттки, позволяющие улучшит характеристики датчика системы автоматической локализации.

- ' 5

. Определены оптимальные параметры работы барьерного датчика, состоящие в применении напряжения обратного смещения иш=-1В и рабочей температуры Траб=100°С, позволяющие существенно уменьшить время реагирования и восстановления датчика, а также увеличить чувствительность контроля.

Исследованы физико-химических процессы взаимодействия водорода с полупроводниковыми сенсорами различных типов при решении задач контроля герметичности и показано, что для осуществления высокоточной локализации водородных течей необходимо использовать датчик на основе диода с барьером Шоттки структуры РсЬБЮг-Зк

Впервые установлен порог чувствительности ро потоку водорода ((2п>га=1*10-7м3Па/с), определяемый составом (90%Р<1+10%Р1) и рабочей температурой чувствительного элемента, выявивший диапазон применений приборов и систем течеискания разрабатываемых на базе диода с барьером Шоттки указанной структуры, "позволяющий определить оптимальный состав газочувствительного электрода и рабочую температуру сенсора в зависимости от условий контроля.

Найдены зависимости параметров дефектоскопического сигнала от расстояния и скорости прохождения чувствительного элемента относительно течи, позволяющие определять оптимальные по быстродействию контроля и точности локализации параметры системы сканирования и алгоритмов обработки дефектоскопической информации и способствующие обоснованой разработке методик автоматизированного контроля.

Установлены новые закономерности динамического взаимодействия концентрационного поля утечки водорода и быстродействующих миниатюрных датчиков, позволяющие осуществить дистанционную локализацию утечек и полную автоматизацию процесса контроля.

Разработан новый математический алгоритм обработки сложного дефектоскопического сигнала в условиях автоматизированного контроля, .

заключающийся в формализации дефектоскопического пика методом моментов и получения на основе указанного метода дополнительной информации о параметрах дефекта. Автоматическая расшифровка и коррекция формализованных параметров дефекта впервые позволила определять точные координаты мест течей лежащих вне траектории контроля и производить оценку величин потоков.

Разработаны устройства автоматизированной локализации течей, новизна которых защищены патентами.

Практическая ценность Выявлены новые зависимости влияния количества адсорбированного водорода на характеристики

полупроводникового сенсора, позволяющие рассчитывать параметры процесса автоматизированной локализации тонких течей.

При проектировании устройств локализации течей использовалась разработанная методика инженерных расчетов.

Реализация работы Разработан и изготовлен информационный канал течеискателъной аппаратуры на базе микроэлектронного датчика с барьером Шотпси и микропроцессорной системы обработки дефектоскопической информации. Разработанные алгоритмы реализовань в программно-техническом комплексе ПТК-АЛУ.

Апробация работы Основные положения защищаемой работь доложены на XIV Российской научно-технической конференции "Неразрушающий контроль и диагностика", Москва 1996г.;на I -III научно технических конференциях "Приборостроение и автоматизаци! технологических процессов", г.Дзержинск 1995-97г.; на Всероссийское научно-методической конференции "Новые информационные технологи! в системе многоуровнего обучения" (секции: автоматизация научны; исследований и моделирование физических процессов), г.Нижний Новгоро, 1996г; на Всероссийской научно-технической конференции студентов i аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 97", г.Москва 1997г.; н Региональной научно-технической конференции "Методы и средств

контроля герметичности", г.Дзержинск 1997г.; на II Всероссийской научно-технической конференции "Методы и средства измерений физических величин", г.Н.Новгород 1997; XIV IMEKO World Congress "New measurements - challengers and visions", Tampere, Finland 1997.

Диссертационная работа обсуждена на совместном заседании кафедр "Автоматизация химико-технологических процессов и производств", "Физики и электротехники" Д/ф НГТУ 24.09.97 и на заседании кафедры "Автоматизация машиностроения" НГТУ 08.10.97.

Публикации По результатам исследований опубликовано 24 научные работы ( в том числе 2 патента РФ).

Структура и «бьем работы Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы и приложения.

Работа содержит 177 страниц текста, 46 рисунков, 9 таблиц, список литературы из 86 наименований.

В приложении 5 актов испытаний и внедрений. Основные положения, представляемые к защите -научно-методический подход к решешпо задач автоматизированной локализации утечек водорода, - основанный на применении полупроводниковых газоаналитических сенсоров, позволяющих создать портативное высокочувствительное течеискателыюе оборудование с низким энергопотреблением и высокими динамическими характеристиками;

-способ высокоточной автомагической локализации утечек водорода без нарушения концентрационных полей оттечен;

-принцип двухпозиционного сканирования при автоматической локализации течей газоаналитическим методом;

-математическую модель взаимодействия концентрационного поля течи с чувствительным элементом теченскателя в режиме "щупа"- без прокачки;

8 .

■ -алгоритмы обработки дефектоскопического сигнала основанного на методе моментов с автоматической коррекцией фонового сигнала и динамической ошибки определения координат мест течей;

-алгоритмическую структуру системы автоматизированной локализации утечек;

^способы' улучшения чувствительности и динамических характеристик полупроводникового датчика течеискателя на основе диода структуры Рс1-8Ю2-51" с барьером Шотпси;

-методику инженерных расчетов и проектирования автоматизированных систем локализации утечек с полупроводниковым чувствительным элементом на основе диода с барьером Шоттки;

-принципы построения и конструирования автоматизированных течеискательных и газоаналитических устройств на базе

полупроводникового датчика.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ Во введении обоснована актуальность темы, сформулирована цель исследования, научная новизна, изложено краткое содержание диссертации, указаны практическая значимость и результаты реализации работы, приведены основные положения, предоставляемые к защите.

В первой главе "Характеристика проблем автоматизированного поиска утечек водорода и выбор направления 'исследований" показана необходимость проведения автоматизированной локализации течей без нарушения их концентрационных полей. Дается обоснование применения высокочувствительного миниатюрного полупроводникового сенсора, способного контролировать концентрацию в "точке пространства" без эффекта усреднения, сигнала. С целью повышения производительности и точности поиска течей предложен принцип двухпозиционного сканирования адаптированный для задач автоматизированного контроля.

Проведен анализ существующих и ' разрабатываемых твердотельных датчиков водорода. Показано, что для задач высокоточной

локализации утечек водорода предпочтительно использовать микроэлектронный полупроводниковый сенсор на базе диода с барьером Шоттки.

На основании анализа теоретических и экспериментальных работ в области течеискания, а также по смежным отраслям науки, сформулирована постановка задачи исследований.

Во второй главе Теоретические исследования алгоритмов работы автоматизированной системы локализации утечек водорода на базе чувствительного элемента с барьером Шотпси" предложено использование блочного принципа построения математической модели при описании алгоритмов работы автоматизированной системы локализации утечек. Предложена и исследована математическая модель' взаимодействия концентрационного поля течи с чувствительным элементом течеискателя в режиме "тупа" без прокачки.

При традиционном контроле . проточными течеискателями учитываются только временные параметры выхода пробного газа из контролируемого изделия, поскольку при использовании вакуумных систем происходит явление усреднения параметров дефектоскопического сигнала по объему изделия т.е. контролируется суммарное ' натеканне. Диффузионный способ устраняет указанные недостатки, но предъявляет повышенные требования к изучению профиля концентрации пробного газа, в районе течи.

Поскольку при автоматизированной локализации утечек происходит считывание концентрационного поля только по одной из координат, а остальные яилиюгея неизменными, практический интерес представляет рассмофеннс процесса распространения водорода в области утечки с одной координатой (например х):

/>С дх г>С д2С

где Е -коэффициент пористости (плотности) среды распространения; С- концентрация пробного газа (водорода); г - время; IV - конвективная составляющая процесса массопереноса окружающего водорода в зону контроля; Л - коэффициент диффузии молекулярного водорода в воздухе при нормальных условиях; Цх)-распределение мест дефектов по поверхности контроля; (}уг - величина потока водорода через течь. Стационарным решением данного уравнения с учетом реализации защиты от конвективных потоков является следующее выражение:

С(*>= В.2.п.Х . Разработан алгоритм обработки дефектоскопического сигнала на базе метода моментов с введением алгоритмов автоматической коррекции фонового сигнала и динамической коррекции определяемых координат мест течей. Используя разницу нулевых начальных моментов можно определять направление на течь (в случае двухпозиционного сканирования), первый начальный момент соответствует координате места течи лежащей на траектории сканирования, применяя зависимость расстояния до места течи и второго центрального момента Н=Г(М2ДС) можно найти вторую координату.

Н=(72.72*М2дс-12.81)* 10-2 (3)

Обосновано применение полупроводникового чувствительного элемента течейскателя на базе диодной структуры (М/БЮг/БО с барьером Шотгки, как наиболее чувствительного, быстродействующего и высокоселективного к водороду. Исследована физико-химическая модель водородочувствительности микроэлектронного: датчика. Для анализа работы газоаналитического сенсора течеискателя с барьером Шотгки необходимо рассмотрение двух основных одновременно протекающий процессов: процесс токопереноса через барьер и процесс адсорбции и десорбции водорода на палладиевом электроде рассматриваемо? структуры.

Е

п = Ыс-ехр

\-~w-)

Гн = Г . Qj

(4)

■И'-^Чб

•де(1-д02-8-д!(1-де)

где, ¡-плотность тока из полупроводника вметалл, q - заряд электрона; V - скорость носителей в направлений переноса; п -концентрация носителей на полупроводниковой стороне контакта, Неэффективная плотность состояний в зоне проводимости полупроводника, к-постоянная Больцмана, Т- рабочая температура сенсора, Гб- высота потенциального барьера датчика, Го - высота барьера без водорода, Р'-изменение высоты барьера под воздействием водорода, Гш-максимальное значение изменения высоты барьера, Ро и 1о- соответственно безразмерные давление водорода и время поздействня, <3С и д, - сгепенк заполнения наружной и внутренней поверхностей структуры Р^БЮ^, у -■коэффициент идентичности поверхностей, безразмерные коэффициенты г и £ характеризуют перенос через пленку палладия.

Приняв ряд допущений и дополнив систему начальными и граничиымн условиями, получаем выражение статической характернсгнкн датчггка -водорода

Г Г

5 (5)

\

\

Уу

где, А-эффективная константа Ричардсона, аР - коэффициент пропорциональный корню отношения скоростей адсорбции и десорбции на пленке палладия, п-коэффициент идеальности, Б- площадь газочувствительного слоя. Сравнение расчетных и экспериментальных данных, методом дисперсного анализа, показало их адекватность.

Осуществлен синтез системы автоматизированной локализации утечек водорода с микроэлектронным датчиком (рис.1.). Определены

Концентрационное поле утечки

Рис. I. Алгоритмическая структурная схема системы автоматической локализации утечек САЛУ (информационный канал)

передаточные функции основных звеньев. Выполнен синтез информационного канала и канала управления рабочими параметрами сенсора. Проведенный анализ системы автоматической локализации утечек позволит . эффективно осуществлять интегрирование САЛУ в автоматизированные системы комплексного контроля качества изделий.

;. . • и .•/•. "

Третья глава"Экспериментальные исследования автоматизированной

системы локализации утечек водорода с микроэлектронным

газоаналитическим чувствительным , , элементом" посвящена

экспериментальному исследованию процессов протекающих в элементах

автоматизированной системы локализации утечек. Экспериментально

определены- статические и динамические характеристики

Рис.2. Статические характеристики сенсоров водорода.

Д(Рез.)-резистивный датчик на основе 5пСЬ; С(МДП)-МДП-датчгос структуры Рё-БЮг-З! с толстым окислом; 1(БШ) -датчик структуры РЛ-БЮг-

сбарьером Шотгки.

Результаты эксперимента представлены в таблице 1. В ходе экспериментальных исследований определены оптимальные рабочие параметры микроэлектронных газоаналитичсских сенсоров водорода. Проведенный сравнительный анализ статических и динамических характеристик выявил преимущества использования в автоматизированных системах локализации утечек водорода датчиков барьерного типа виду их высокой чувствительности, низкого порогового значения минимальной обнаруживаемой концентрации водорода, высокого быстродействия.

Таблица 1

Сравнительная характеристика полупроводниковых сенсоров водорода

ХАРАКТЕРИСТИКА МДП . СТРУКТУРА ДИОДНЫЙ (с бар. Шоттки) РЕЗИСТИВНЫЙ

1. Состав и структура сенсора МЕТАЛЛ ДИЭЛЕКТРИК ПОЛУПРОВОДЬ 80%1'd+Pt МЕТАЛЛ ДИЭЛЕКТЙ«^ 90%Pd+Pt i sñíT! i I ¿»о.- I ПОЛУПРОВОДНИК /

Si Si

ИК ' ПОЛУПРОВОДНИК

2. Минимальная регистрируемая концентрация водорода, ррт 1 0.5 1

3. Порог чувствительности по водороду, м3Па/с 5x10-7 1x10"' 5x10"

4. Рабочая температура чувствительного слоя (Ttte), К 360 390 620

5, Время отклика на сигнал от течи (10"4 м'Па / с), с 1 0.5 t

£. Время релаксации при воздействии течи (104 м3Па/с), с б 1 3

7. Время релаксации при воздействии концентрации 100% об. Hi, с 300 10 60

В. Энергопотребление, мВт <50 <60 <100

9. Время подготовки к работа, мин : .... < \ . <1 <1

10. Селоктивность, отношение сигналов: водород / побочные fallir, OtiV. »Д высокая 16* высокая 10' средняя 10

Исследованы факторы влияющие на • чувствительность и янамичесхие характеристики датчика утечки на основе диода с барьером Цогпси. Показано влияние способа регистрации на характеристики

Гн1, об.%

Рис. 3. Зависимости стационарного отклика от концентрации водорода •в воздухе при Т=400К.

1-Д1, 2- прии=-1В, 3- Д1прии=+0.3В, 4-Дф, 5-ДСприи=-1В

Остановлено, что использование относительно • гппких температур Т=360К), обратного смещения (У=-1В) и регистрации отклика по пмененшо обратного тока Д1, позволяет получить высокие параметры «следуемого барьерного сенсора как датчика водорода в системе штоматизированной локализации утечек.

Проведены исследования параметров процесса автоматизированной токалгаации утечек. Определены факторы влияющие на точность и производительность контроля.

Рис.4. Зависимость пороговой чувствительности (Опнп) от скорости сканирования (У«)

За величину пороговой чувствительности (Опнп) принималос минимальное значение потока, при котором максимальная амплитуд дефектоскопического лика превышала два фоновых значения. Наличи Горизонтальный участок можно объяснить наличием потока водород; достаточного для создания устойчивого концентрационного поля. Ииснш это поле позволяет определять течь в широком диапазоне скороста сканирования.

Эксперименты показали, что высокие точностные показатели (д< <1=±!мм) сохраняются до скоростей порядка 12мм/с. Выше данной значения необходимо вводить алгоритмическую коррекцию динамическо! ошибки локализации.

Осуществлена метрологическая оценка результатов экспериментов.

В четвертой гладе*Методы проектирования, разработка и создани» автоматизированной системы локализации утечек водорода на баз< микроэлектронного сенсора" показаны особенности построен»« ивгомагизиропашшх систем локализации угечек. Приведены этапь разработки информационного канала системы локализации утече* водорода н результаты внедрения портативного микропроцессорного течспсказеля на его основе. На базе однокристальной микро-ЭВМ т!еШ51

17 '

разработан портативный интеллектуальный течеискатель с автоматической обработкой дефектоскопического сигнала и поддержанием оптимальных параметров микроэлектронного сенсора. Прибор прошел успешную апробацию на ряде химических предприятий.

Основные технические характеристики:

Порог чувствительности по водороду - I * 10"7 м'Па/с;

Время отклика на сигнал от течи (1 * 1 (И м3Па/с) -0.5 с;

Время восстановления при воздействии течи (1 * 1 СИ м3Па/с) - 1 с;

Режим обработки информации - автоматический;

Энергопотребление - не более 1 Вт;

Габариты- 190x100x40мм.

Разработаны устройства автоматизированной локализации утечек, использующих принцип двухпозиционного сканирования, позволяющий повысить точность и производительность контроля. Новизна устройств щщищена патентами РФ. Показаны результаты апробации алгоритма заботы системы локализации, включающего и себя , алгоритм определения из ух координат места течи, алгоритм оценки величины потока водорода. 1ерез течь, а также алгоритмы динамической компенсации ошибки юкализации и автоматической коррекции фонового сигнала.

Предложена методика инженерного расчета и проектирования гечеискательного оборудования с чувствительным элементом на базе диодз : барьером Шоттки, позволяющая определять оптимальные параметры )ысокопроизводительных систем автоматической локализации утечек. Данная методика была использована при разработке информационного санала системы автоматической локализации утечек водорода. Рассмотрены различные конструкции преобразователей утечки и )пределены области их применения. . Выполнены перспективные ¡сследования по созданию встраиваемых автоматизированных ¡ысокоинтелектуальных систем локализации использующих .шкроэлектронные датчики утечки.

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1.Исследованы физико-химических процессы взаимодействш водорода с полупроводниковыми сенсорами различных типов при решении задач контроля герметичности и показано, что для осуществления высокоточной локализации водородных течей необходимо использовать датчик на основе диода с барьером Шогпси. следующей структурь РДОЮгЛН. Определены оптимальные параметры работы барьерного датчика, прозволяющие эффективно использовать его для решения задач автоматизированной локализации утечек водорода.

2.Разработана математическая модель водородочувствительногс датчика структуры Р<1/5Ю2/Б1 с барьером Шотпси. Определен информативный параметр сенсора и установлена зависимость информативного параметра от воздействующей концентрации водорода.

3.Предложен метод двухпозиционного сканирования при автоматизированной локализации утечек, состоящий в использовании дву>

полупроводниковых сенсоров расположенных эквидистантно относительно

•

реей симметрии датчика утечки и позволяющий увеличить достоверность, и

/ ' .

производительность контроля. Определена возможность регистрации координат мест дефектов расположенных вне траектории контроля.

4. Разработан новый математический алгоритм обработки сложного дефектоскопического сигнала в условиях автоматизированного контроля заключающийся в формализации дефектоскопического пика методом моментов и получения' на основе указанного метода дополнительной информации о параметрах дефекта. Автоматическая расшифровка и коррекция формализованных параметров дефекта дает точные координаты мест течей и оценку их величин."

5.На основании экспериментальных «следований параметров процесса автоматизированной локализации утечек, определено влияние

лсорости сканирования на пороговую чувствительность и динамику информационного канала течеискатепьной системы.

. 6.Проведена оптимизация всех параметров системы автоматизированной локализации утечек- водорода с чувствительным элементом на базе микроэлектронного датчика с барьером Шоттки.

7.Разработана методика инженерных расчетов течеискательпых систем с полупроводниковыми чувствительными элементами. На основе этой методики спроектирован и изготовлен портативный интеллектуальный гечеискатель водорода, позволяющий. использовать его как информационный канал в различных по структуре автоматизированных течеискательных системах и в системах экомониторинга.

Основные положения диссертации опубликовали в следующих

работах:

1.Виноградов C.B., Тараненко Е.В., Луконин В.П. Твердотельные датчики водорода// Приборостроение и автоматизация технологических процессов:Тез.докл. науч.-техн.конф. 1-2февраля1995г.-Дзержинск, 1995.-C.5.

¿Луконин В.П. Микропроцессоры в газоаналитическом приборостроении// Приборостроение и автоматизация технологических процессов:Тез.докл. науч.-техн.конф. 1-2февраля1995г.-Дзержинск, 1995,-с.б.

3.Подольский В.В., Шибаев И.И., ■ Луконин В Л. Проблемы использования полупроводниковых газовых сенсоров для. задач течеискания// Приборостроение и автоматизация технологических процессов :Тез .докл. Пнауч.-техн.конф .12-1 Змарта 1996г.-Дзержинск, 1996.-с. 24.

4.Шалимов - Е.А., Луконин В.П. Промышленные средства регистрации водорода (обзор)// Приборостроение и автоматизация технологических процессов: Тез.докл. II пауч.-техн,конф. 12-1 Змарта 1996г.-Дзержинск,1996.-с32.

5. Подольский В.В., Шибаев И.И., Луконин В.П. Создание автоматизированной системы исследования характеристик

'•" ' 20

полупроводниковых газовых сенсоров// Новые информационен технологии в системе многоуровнего обучения (секция: автоматизацш научных исследований): Тез.докл.Всеросийской науч.-методич. конф. 23 24апреля 1996г.-Н.Новгород, 1996.-С.49-50.

б.Сажин С.Г., Луконин В.П. Перспективные датчики контрол> утечек водорода//Дефектоскопия.-1996.-№4.-c. 15-19.

7 Луконин В.П. Исследование порога чувств ителы юста полупроводниковых датчиков по водороду// Неразрушающий контроль v диагностика: Тез докл. 14 Российская науч.-техн. конф. 23-26июня 1996г.-Москва,1996.-C.8.430. .

8.Тихов C.B., Подольский В.В., Лесников В.П., Шибаев И.И. Луконин В.П. Влияние способа регистрации на параметры датчика водорода на, основе барьера Шоттки// Неразрушающий контроль и диагностика: Тез .докл. 14 Российская науч.-техн. конф. 23-26июня 1996г.-Москва,1996.-C.8.424.

9. Тихов C.B., Подольский В.В., Лесников В.П., Луконин В.П Микроэлектронные датчики малых концентраций водорода с микропроцессорной схемой регистрации// Приборостроение и автоматизация технологических процессов: Тез докл. Ш-науч.-техн.конф. 25-26февраля 1997г.-Дзержинск, 1997.-С.4.

ЮАнисимов C.B., Подольский В.В., Лесников В.П., Луконин В.П, Портативный газоанализатор с микропроцессорным управлением для определения содержания горючих и токсичных газов в атмосферe/i Приборостроение и автоматизация технологических процессов: Тездокл, 111 науч.-техн.конф. 25-26февраля1997г.-Дзержинск, 1997.-С.5.

I ! .Вадова Л.Ю., Луконин В.П. Использование особенностей однокристальных микропроцессоров INTEL8051 для построения измерительных систем// Приборостроение и автоматизация технологических процессов: Тез докл. III науч.-техн.конф. 25-26фсвраля1997г.-Дзержинск, 1997.-е. 12.

.21 •• .

12.Сажин С.Г., Луконин В.П. Влияние структуры

полутроводниковых датчиков утечки на их чувствительность к водороду// Дефектоскопия.-1997.-№ 1.-е. 90-94.

1 З.Петров Л.С., Луконин В.П. Применение интегральных схем обработки аналоговых сигналов в газоаналитической и течеискательной аппаратуре// Методы и средства контроля герметичности технологического оборудования, коммуникаций и промышленной продукции: Тез.докл. Межрегиональной науч.-техн. конф. 14мая 1997г.-Дзержинск, I997.-c.25.

14.Мясников В.М., Луконин В.П. Построение автоматизированных систем локализации утечек с диффузионным отбором пробы// Методы и средства контроля герметичности технологического оборудования, коммуникации и промышленной продукции: Тез.докл. Межрегиональной науч.-техн. конф. 14мая 1997г.-Дзержинск, 1997.-c.26.

15Луконин В.П. Разработка течеискательных систем на базе информационного канала с полупроводниковым сенсором// Методы и средства контроля герметичности технологического оборудования, коммуникаций и промышленной продукции: Тез .докл. Межрегиональной, науч.-техн. конф. 14мая 1997г.-Дзержинск, 1997.-е. 27.

16.Тихов C.B., Подольский В.В., Лесников В.П., Луконин В.П. Портативный течеискатель водорода с барьерным полупроводниковым датчиком структуры Pd(Pt)-Si02-Si// Методы а средства контроля герметичности технологического оборудования, коммуникаций и промышленной продукции: Тез.докл. Межрегиональной науч.-техн. конф. 14мая 1997г.-Дзержинск, 1997.-c.28. -

17.Мончарж Э.М., Луконин В.П. Учет динамических характеристик датчика при локализации утечек водорода// Методы и средства контроля герметичности технологического оборудования, коммуникаций и промышленной продукции: Тез.докл. Межрегиональной науч.-техн. конф. 14мая 1997г.-Дзержинск, 1997.-c.29.

18.Сорокин C.B., Луконин В.П. Обработка дефектоскопического сигнала при автоматазированной локализации утечек// Микроэлектроника и информатика-97: Тез,цокл. Межвузовской науч.-техн. конф. -Москва, МИЭТ, 1997.-c.90.

19Луконин В.П. Матеметическое ' описание физико-химических процессов происходящих в барьерном датчике структуры Pd-Si02-Si при детектировании водорода// Методы и средства измерения физических величин: Тездокл. II Всероссийской науч.-техн. конф.18-19июня 1997г.-Н.Новгород, 1997.-c.55.

20.Мясников В.М., Сорокин C.B., Луконин В.П. Обработка дефектоскопического сигнала методом моментов// Методы и средства измерения физических величин: Тез.докп. II Всероссийской науч.-техн. конф.18-19июня 1997г.-Н.Новгород, 1997.-c.56.

22. S.Sajn, V.Lukonin Semi-conductor leak detectors sensetive element researching // XIV IMEKO World Congress. New measurements - challengers and visions.- Tampere, Finland.-1997.

23.Сажин С.Г., Тихов C.B., Подольский В.В., Шилова М.В., ЛуконинВ.П. Датчик водорода на основе стркутуры Pd-SiOz-Si с барьером Шоттки//Приборы и системы управления.-1997.-№7.-с.44-45.

24.Свидетельство на полезную модель № 5028 Устройство для определения места течей/ Сажин С.Г., Мясников В.М., Луконин В.П.// Полезные модели. Промышленные образцы.-1997.-№ 9.

25. Заявка № 97100666 Mkii.6G01M3/04 на патент РФ. Устройство для определения места тсчен/ Сажин С.Г., Мясников В.М., Луконин В.П.// Приоритет установлен 20.01.97. Решение о выдаче патента 11.04.97.