автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.07, диссертация на тему:Автоматизация технологического процесса контроля качества при производстве интегральных схем

ШШМЗТЕРСТВО НАУКИ. ИСШЕЙ ШКОЛЫ И ТЕХНИЧЕСКОЙ [ШИТИКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ

На правах рукописи

ЙУ/.

ГОЛУБЯТНИКОВ Игорь Владимирович

АВТОМАТИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Специальность 06.13.07 - Автоматизация технологически*

процессов и производств

АВТОРЕЖРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

МОСКВА - 1992

Работа выполнена в Московском институте приборостроения

Научный руководитель - доктор технических наук,

профессор Е К Михайлов

Официальные оппоненты: доктор технических наук,

профессор С. а Куэыкин, кандидат технических наук С. В. ПЬповаленко

Ведущая организация: Солнечногорский электромеханический вавод

на заседании специализированного Совета К 063.93.03 Московского института приборостроения по адресу: Цэсква, ул. Стромынка, д. 20

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Иэсковского института приборостроения ч

Автореферат разослан "_"_ 1993 г.'

Учений секретарь специализированного Совета '

Защита состоится "_".

1993 г. в _часов

к. т. н., доцент

II и. Богданова

ОБДАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность. На современном этапе технического прогресса особое значение придается автоматизации производственных процессов и исключению ручного труда в наиболее трудоемких и ответственных технологических процессах. Среди комплекса проблем, которые должны решаться на пути к этой цели, чрезвычайно вахнсе значение приобретает создание теоретических и экспериментальных предпосылок для построения на базе современных ЭШ промышленных систем, автоматизирующих процесс обработки информации, поступавшей непосредственно от технологических линий: автоматический контроль качества продукции,' обнаружение объектов, распознавание деталей машин при роботизированной сборке и т. д. Все это позволяет достичиь суыественно луч иих результатов в повышении производительности труда по сравнению с традиционными методами, а наибольший эффект в этом направлении следует ожидать от автоматического аналнза изображений, связанного непосредственно с производством.

Последние достижения микронной и с.'бмикронной полупроводниковой технологии позволят в ближайшие годы освоить и развернуть кассовое производство болших и сверхбольших интегральных схем (ИС), содержащих сотни тысяч элементов с никронкшш и субмикронными размерами. И хотя при проектировании подобных схем сейчас широко используются нетоды и средства автоматизации проектирования, не всегда имеется возможность организовать объективный контроль качества выполнения технологических операций. Более того, с уменьшением размеров топологических элементов, ростом степени интеграции и увеличением площади кристаллов технологический контроль еше более усложняется, так как растет число факторов, определявших качество изготовления изделия, а влияние малых отклонений условия выполнения технологических операция на выход годных БИС трудно' предсказать. В связи с этим необходимы надежные системы для контроля и анализа определенной группы параметров изделия в технологическом процессе.

Одним из первых технологических процессов, в котором субъективные ошибки контроля существенно влияют на результаты, стал процесс производства ИС. Здесь свою роль сыграли масштабы применения операции распознавания дефектов ИС и ответственность задач, решаемых с ее помоиью. На ранних стадиях нанесения рисунка печатного монтажа визуальный контроль является единственным способом выявле-яения дефектов. В то же время, выявление необходимо именно после начальных технологических операций, поскольку в последующем устранение (ремонт) дефектов сувественно затрудняется или становится невозможным.

До последнего времени контроль параметров изделия электронной

- * -

техники осуществлялся, в основной, человеком на основе визуального восприятия изображения, получаемого в системах контроля. Следствием того, что такой контроль осуществляете* субъективно, является его низкая (бО-ббХ) достоверность. Кроне того, сама операция контроля требует весьма больших затрат утомительного, нонотонного и напряженного труда. Ухе одна необходимость избавить человека от выполнения такой трудоемкой операции возводит проблему автонатиза-пии технологического процесса контроля в число важных и актуальных.

пиль : работы и задачи игглрпоияния. целыо данной диссертаиио ной работы является разработка методик и средств организации систем контроля качества, позволяющих автоматизировать технологический процесс контроля при производстве интегральных схем.

Для постижения намеченной пели были поставлены и решены следующие задачи:

- анализ существующих контрольно-измерительных систем сканирующего типа, методов и средств автоматизации технологического процесса контроля качества:

- разработка рациональной, с точки зрения технико-экономических показателей, вычислительной схемы автоматизации и структуры программного обеспечения систем, работающих на Сазе микрозоидо-вого оборудования:

- разработка технологии анализа визуальной информации,, получаемой в автоматизированной системе контроля качества, позволявшей эффективно использовать средства и системы управления базами данных:

- разработка структуры и созйание программного обеспечения системы, автоматизирующей технологический процесс контроля качества интегральных схем.

Нетояы исследования. Для решения поставленных задач применяется аппарат тёогии алгоритмизации технологических процессов, не-тоды теории случайных процессов, математической статистики, теопш вероятностей и цифровой обработки изображений, экспериментальные исследования проводились как в условиях лаборатории, так и на производстве с использованием ЭВМ и микрозокдового оборудования СИЗО).

Научная новизна, в диссертации разработана рациональная, с точки зрения техннко-экононических показателей, структура средств автоматизации анализа и обработки визуальной информации, получаемой в автоматизированных системах контроля качества, предполагавшая возможность гизкой переналадки оборудования, ¿;спользуемого для автоматизации технологического процесса, контроля качества производства изделий микроэлектроники, в случае изменения как объекта

контроля, так и методики измерения параметров испытуемых образцов.

Разработана схема автоматизации и принципы функционирования систем, автоматизирующих процесс контроля при производстве интегральных схем.

Разработана методика рационального расположения системы контроля в структуре технологического процесса.

Разработана информационно-табличная модель графической базы данных для рассматриваемого класса систем. Предложена методика Формирования запросов к графической базе данных.

Разработана структура программно-технического обеспечения автоматизированной системы контроля качества производства интегральных схем.

Практическая ценность. В результате вынолення работа, на основе теоретико-системного подхода, определены пути аппаратно-прог-рамнной реализации систем, автоматизирующих технологический процесс контроля качества изделий микроэлектроники.

Научно обоснована и создана система, реализующая разработанные методики и алгоритмы анализа и распознавания дефектов интегральных схем по их изображению.

Основные модули программного обеспечения, реализующие процессы информационного обмена, распознавания дефектов, а также гибкая структура системы, позволяют использовать разработанные программные средства для автоматизации технологического процесса контроля качества различных изделий микроэлектроники.

Внедрение. Результаты, полученное в диссертационной работе, были использованы для контроля качества кристаллов микросхем, выпускаемых Солнечногорским электромеханическим заводон. Разработанное математическое и программное обеспечение внедрено на этом предприятии, экономический эффект составляет 48 тыс. рублей.

Теоретические и практические результаты исследования использовались в учебной процессе, проводимом на кафедре "Системное программное обеспечение ЭВМ" Московского института приборостроения В течении 1990-1992 г. Г. *

Внедрение результатов диссертационной работы подтверждены соответствующими документами.

Апробация работы^ Основные результаты диссертационной работы бшш доложена и обсуждены на:

- конференции "Информационные системы и точность в приборостроении". иосква. 1984 г.;

- 1-ой Всесоюзной школе-семш;аре по вычислительной томографии, Куйбышев, 1968 г. ;

- Всесоюзной конференции "Искуственный интеллект в автоматизированном управлении технологическими процессами". Грозный. 1989г. i

- Всесоюзной научо-технической конференции "Микропроцессорные средства локальной автонатикй", Гродно» 1989 г. ;

- Научно-текнической конференции "Натенатическое моделирование и САПР радиоэлектронных систем СВЧ на объемных интегральных скемах", Суздаль, 1989 г.;

- Научно-текннческой конференции "Иетодологическое, информационное и программное обеспечение систем автоматизации и управления", Черноголовка, 1989 г.;

- Научно-технических семинарах кафедр "Системное программное 9беспечение ЭВМ" и "Персональные ЭВН" Московского института приборостроения в 19в9-199£ г. г.

Публикации. Основные положения диссертации изложены в в печатных работах.

Структура и обьбн диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, списка используемых источников и приложения. Диссертация содержит 135 страниц машинописного текста, 29 страниц с иллюстрациями и б таблиц. Библиография включает 111 наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Введение обосновывает актуальность темы, раскрывает цель диссертационной работы, ставит основные задачи исследования и опре-. деляет структуру изложения материала диссертации.

Первач глава цосвяиена анализу проблемы обработки визуальной информации в системах, автоматизирующих технологический процесс контроля качества при производстве изделий никроэлектрошгки. Рассматриваются особенности построения систем автоматизации обработки визуальной информации, получаемой с использованием микрозондового оборудования, сформулированы основные требования к системам данного тина.

рассмотрены основные современные нетоды исследования материалов на микгоурозне, приведена классификация методов по признаку возбуждавшего воздействия. Показано, что микрозондовое оборудование. реализуыпее данные методы,' построено по обшей структурной схеме.

Анализ существующих подходов к проблеме автоматизации обработки и анализа визуальной информации, получаемой с помошью микрозондового оборудования, выявил их недостаточную обобщенность при про-

ектировании и эксплуатации систем обработки результатов измерений. Это обстоятельство значительно затрудняет процесс создания систем, автоматизирующих контроль качества, которые вклпчакг и себя никро-эондовые приборц, устройства сопряжения и вычислительный средстра, снабженные математическим обеспечением.

Проведенный анализ имеющихся средств автоматизации обработки и анализа визуальной информации, получаемой в системах контроля качества, позволил определить наиболее рациональную, с точки зрения ■гехнико-эконснических показателей и целевого назначения, структуру средств автоматизации микрозондовкх систем контроля качества изделий микроэлектроники. Необходимость быстрой перенастраиваемое™ структур« микроэондового оборудования в соответствии с ненясашмнся целями и условиями технологического процесса обеспечивается построением разработанной системы по магистрали«-модульному пршшмпу. Обоснована вычислительная схема автоматизации с прикрепленной Н1ПШ-ЭИ1, позволяемая реализовать решение задачи сбора, накопления, обработки и анализа визуальной ннюгмашш об исследуемом обьето в реальном масштабе времени.

Анализ систем обработки изображений показлвает. что одной из основных частей, определяющей э$$ектшмсть системы в целом, является иш'ормз.цнонцая подсистема с ее ядром - графической базой данник (ГБД). которая слуагят инструментом, позволяспаш организовать яаннир, Формализовать их организации, анализировать и синтезировать подели предметной области. Кроне того, организация данных, построенная на принципах баз ланях (БД), позволяет избегать как чрезмерного увеличения обьена памяти, требуемой для хранения данних, так и услохения всей системы.

Под.графической базой данных в работе подразумевается совокупность гранимых в разных Форматах данных о пространственных объектах. их свойствах и отношениях.

учитывая характер задач, репаеиых с поношью разработанной снс-теии, а также магистрально-нодульшгй призит построения, был определен состав прикладного программного обеспечения. В него вощи!:

- средства автоматизации хранения информации на внесних накопителях (мониторы баз данных);

- средства диалога с пользователем;

- средства для управления аппаратурой сопряжения;

- средства для управления микрозондовым оборудованием;

- средства "вспомогательной" обработки изображений (изменение масштаба, поворот и т. д.);

- средства "содержательной" обработки (Фильтрация, выделение

признаков и т. д. )!

- средства классификации и определения дефектных областей изделий.

О®основываетея необходимость, при разработке программного обеспечения, сочетания преимуществ языков высокого уровня с более широкими возможностями, предоставляемыми напшино-ориентироваяными языками.

Разработана методика рационального расположения системы контроля в структуре технологического процесса, совокупность рабочих операция разбивается на п укрупненных технологических операция, после каждой из которых возможно устав >вить контрольный пост. Каждый контрольный пост определяет степень соответствия изделия заданным требованиям. Изделия, содержащие дефекты, считаются негодными и на следующую операцию не поступают. Каждая операдия. технологическая или контрольная, характеризуется различными затратами -материальными, временными и т. д. В общем случае буден называть этот парметр стоимостью.

В результате анализа технологического процесса определяются

для всех 1<гц,г.....п! операпий следующие его параметры :

■ ■ Ы.1 - вероятность события, при котором 1-я операдия будет вы- . • полнена без дефектов;

а I - стоимость укрупненной технологической операции в пересчете на одно изделие;

К^ - стоимость контроля одного изделия после 1-й операции.

Очевидно, что исследуекып технологический процесс всегда можно разбить на п укрупненных технологических операций таким образом, что после любой 1-й операции будет возможно обнаружить большую часть дефектов, возникших после выполнения предыдущих операций. Готовые изделия через пост ОТК поступают в сборочный вех. Поэтому в отношении контрольных операций сделаны следующие допушекия; контроль после 1-ой операции обнаруживает все дефекты изделия, которые появились при выполнении любой из предыдущих операций; итоговый контроль (после п-ой операции) обязателен.

Вводится в рассмотрение двоичный вектор X = (к,. ,%1.....х н ), 1-я компонента х I которого принимает единичное значение. если после 1-ой операции установлен контрольный пост; в противном случае х;равна нулю. Вектор x однозначно определяет план размещения постов контроля, поэтому буден называть его вектором- планом размещения постов контроля или просто планом.

Введен характеристики потока изделий, участвующего в технологическом процессе. Пусть на вход технологического процесса

поступает Н изделий. В процессе обработки дефектные изделия. при прохождении через контрольные посты, из обшего потока изымаются и на вход 1-ой операции поступает Н<,изделий. Назовем

Ц.,-Я;.,/ Н относительным потоком изделий, поступающих на вход 1-ой операции. Если и,.* 1. х^--...-- о, то опре-

деляется следующим образом:

Ti-r- fW (1)

J = 0

Будем называть я/ номером единичной компоненты, предшествующей 1-й. Дополним n-разрядный вектор х компонентой х., . Будем считать поток на входе технологического процесса полиостью проконтролированным, т.е. х„* 1. ¿¿.s 1. Если х,= х-,= 0, то а,-* о. Если si- l-i, то 1. а };., ...и., ,•

Если операционный контроль полностью достоверен (безошибочен), то насилеиность\' = \{г / н,потока fL II годными изделняни на выходе 1-й операции составляет в соответствии с (1):

И-

• если х -- О,'

(31

I , если х s |.

Поскольку итоговый контроль обязателен, на выходе технологического процесса получается IIг годных изделия: П,

средняя стоимость готового изделия на выходе технологического процесса равна

FIX) = ]Г (а<* h-t (3)

1=1

В (3) для любого значения вектора-алана X знаменатель (относительный поток год1шх изделий на выходе технологического процесса) есть величина постоянная, поэтому при нахождении минимальной" средней стоимости годного изделия можно ограничится получениен шшинального значения числителя.

Ш5ор бптимального плана размеиения точек контроля сводится к реае'нкю следуссей задачи. Требуется найти оптиналь-

ный вектор-план xr = i х i , доставляющий минимум Функции f (x) = Z (а;+ х;к^> ft-/ при следующих условиях: ie 10,11 о< J, „< 1, а;> О, К;> О и ограничениях «"«= 1. ж„ * I.

Решение задачи рационального размещения постов контроля сводится к перебору возможных вариантов для выбора наилучшего.

Вторая глава посвяшена вопросам разработки методов и алгоритмов автоматизированного анализа полутоновых изображений.

Проведен анализ математических моделей полутоновых изображений. представленных в виде прямоугольной натршш отсчетов гомогенного случайного поля .

и = I Utl.J) I . 1 = 1, Я , J : 1, И (4)

существенное уменьшение количества требуемых вычислений обеспечивают модели, основанные на вычислении статистических характеристик уровней яркости эленентов разложения. В зтон случае цифровое изображение представляется вероятностной КхК размерной матрицей, где К.- количество градаций яркости дискретизировакного изображения. При анализе реальных структурных изображений, характеризуемых малым количеством града- ■ ций яркости < от 2 до 16 ), применение данных моделей обеспечивает существенное уменьшение избыточности инфорнапии.

Наиболее простой моделью данного класса является модель

вида: _

Р = t P(l> 1. 1= О.К-1 (3)

где pti) - вероятность появления 1-го уровня яркости d изоб-жении:

1 - дискреткзированное зиачеиие яркости.

По Формуле (5) вычисляются интегральные параметры изоб-жений.

Структурное строение изображений выявляет модель изображения по разности уровней яркости. Пусть пара эленентов изоб-гааения (ЭИ) имеет расстояние между собой Щ, л г). Тогда разность уровней яркости этих элементов равна

i (х.у) = If(x.y) - f(x + ЙХ.У + лу)1 (б> .

для дискретизированного поля плотность вероятностей опре-аелятеся по количеству случаев.' при которых Функция f (х. г) приникает каждое из 1 = о, к-1 значения при целых л х и л г.

Такин образом, выражение

Pfi = [ р, U) ) • 1 = O.K-t (71

представляет собоя вектор вероятностей разности уровней яр-

кости для каждого выбранного расстояния 6 . Такая модель дает информацию о. структуре изображения.

Обобщенной моделью является модель, описывающая изображения по совместной вероятности появления значения яркости пар ЭН. такая модель представляется матрицей снежности Р„ ^ , каждый элемент (1, Я которой - вероятность того, что два ЭЛ. отстоящие на расстояние 5 и угод С" , имеют яркости 1 н .1 соответственно.

Р(<? = [ Р5,е ti. Л Г. 1. J = О.К-1 (в)

В работе исследована модель, описывающая структуру изображений длинами серий. Обозначим количество серий 1-го уровня яркости в направлении . длиною j эи через n (1,j). Пусть при квантовании яркости на К уровней, наибольшая длина хорды составляет L единиц ЭИ <L<H). Тогда изображение можно описать

матрицей _ _

I пс (1. J) J , 1 = О. К-1 , J =1,L (9)

Для сравнительного анализа моделей изображений по распределению яркостей и выявления признаков структурного строения изображения в работе предложено вычислять одинакозые параметры коделе.1 <5),(Т).(8): энергию, инерцию, энтропию и гомогенность.

В целях выявления информативности предложенных параметров (признаков) и сопоставления полноты описания текстурных изоб-жений предложенными моделями было исследовано 128 аналогов текстурных изображений - гагсс-наркоЕских полей двух классов. Проведена ранжировка параметров по двуи методам, основанным на определении вариационного расстояния Колмогорова. Выявлены наиболее информативны? признаки для рассматриваемого класса изображений: энтропия н энергия для подели (Т). энтропия, инерция, гомогенность и энергия для нодели (8). Установлено, что модели (Т) и (в) по эффективности равноценны, модель (3) не отражает структурных особенностей изображения.

Комплекс выявленных признаков применен для классификации синтезированных изображений.. Для этого использовался локальный классификатор по Парзенг. кроме того, использовались линейная Физперовская и квадратичная дискришшантиые Функции <Д$>. Для линейной РЛ полученные значения ошибок распознавания составили 2.42 х. для других методов ~ 0,25 '/■.

Аналогично проведены исследования ошибки распознавания трех наименее информативных (по санным ранжировки) признаков, списка распознавания по всем информативным признакам состав-

ляет ~ 13 х для всех методов анализа. Экспериментально установлено, что ошибка распознавания возрастает с уменьшением числа признаков.

Третья глава посвящена вопросам организации информационного обеспечения микрозондовых автоматизированных систен контроля качества.

В работе показано, что ГБД - это локальная база данных, в которой хранятся эталонные изображения изделия микроэлектроники; изображения описаны с помощью математических моделей (9-9).

Фактографическая информация, хранимая в ГБД. представляется в виде совокупности таблиц. В диссертации разработано информационно-табличная модель базы данных.

. Натенатическим аналогом таблицы являете» п-арное отношение О(Л .....Л ). Для получения представления п-арного

отношения рассмотрим его как последовательность вложенных бинарных отношений:

сил,. a¿..... а„) = oui (а,.аг>. aj)...). л„>

о (а,, а,) » о,'

oit,. л3> « о;

Q, ,(Т„ , . А„) =01,

В результате имеем представление n-арного отношения, а следовательно, и таблицы. Таблицы представлена в виде слияния наборов данных.

Пусть кнеется следуглее-представление бд: В s < S, t¡ > ,

где s.- множество информационных структур различного типа;

Т£- множество типов связей между типаии структур.

Выделим множество типов информационных структур S , которые соответствуют последовательности слияния наборов.

Количество таких информационных структур соответствует количеству типов записей в БД. Получаеи сдедуюаее представление базы:

В = < S.Tj.» , где Tj£SXS , Tj s T¡ (10)

Таким образом, разработано информационно-табличное представление (модель) базы данных. В диссертации показано, что разработанное информационно-табличное представление

ванных занимает промежуточное положение между реляционным и сетевым, это -обстоятельство определяет сочетание преимуществ сетевой и реляционной моделей, а именно: определение эффективных путей доступа к данным (как в сетевой кодели) п удобное представление данных (как в реляционной).

в работе показано, что любой запрос к бд предусматривает. в соответствии с разработанной гаНормашюнно-табличной моделью, выполнение над некоторой строкой таблицы одного из четырех действий: наитн. занести! удалить. изненнть.

При проектировании информационной базы был разработан язык запросов, основанный на исчислении структур. Каждая процедура взаимодействия с .БД представляется одним предложением языка запросов. Предложение включает в себя пять частей: ОПЕРАЦИЯ, ЦЕЛЬ. ОГРАНИЧЕНИЕ. ТАБЛИЦЫ. РЕЗУЛЬТАТ. Рассмотрено функциональное назначение каждой из частей. Методика проектирования запросов представлена в виде следующего набора шагов:

1. Выделить список обрабатывает« параметров, терн значения, определяюсп'Л обрабатываемую таблицу, тегм соединения, задающий условие-ограничение.

2. Указать тир операции.

3. Заненить в списке обрабатываемых параметров строковые переменные на соответствуйте км имена таблиц. Полученную последовательность символов указать в части ЦЕЛЬ.

Заменить в списке ограничений строковые переменные на имена таблип. полученную последовательность синволов указать в части ОГРАНИЧЕНИЯ.

5. В списке, определяющим таблицы, заненить последовательность термов значений на последовательность имен таблиц, полученную последовательность символов указать в части таблицы.

6. Определить в части РЕЗУЛЬТАТ количество строк, которые подвергаются обработке.

В четвертой главе основные теоретические результаты диссертационной работы используются для разработки натена-тическсго н программно-технического обеспечения микрозон-довой автоматизированной системы контроля качества ИС по их изображению.

Цель контроля заключается в том, чтобы выявить микросхемы. существенно отяичакпиеся от эталона.

- -

В ГБД хранятся эталонные изображения ис двух типов: с максимально допустимыми значениями ишршш проводников, контактных влооалок и т. д. и с минимально допусттшии значениями. ~

эти два типа изображений описаны с помоиьб моделей и .признаков (5-9). Таким образом устанавливается интервал для элементов печатного монтажа. Для группы контролируемых ис вычисляются значения информативных признаков. Если значения всех признаков находятся в интервале допустимых значений, то такая схема является годной, ис у которой хотя ' бы одно значение признака не попало в интервал допустимые значений, является бракованной.

В работе проведен анализ сложности реализации прог-рдмнно-технического обеспечения. Работу автоматизированной системы обеспечивают следующие технические средства: ишш-ЭВН СИ -1420 в базовом комплекте, крейт КА11ЛК 2 с иаборон модулей, устройство отображения' графической информации и опытный образец электронно-лучевой установки для измерения параметров КС. фуккиноиюование разработанной снстеии базируется на использовании операционной системы РАФОС. Прикладное программное обеспечение р«ализсвано иа языках ФОРТРАН и Накроассемблер.

В заключении"сформулированы основные результаты работы. В приложении приведены документы, подтверждавшие внедрение результатов диссертационной работа.

Выводы, в диссертационной работе получены следующие основныз результаты:

1. Разработаны схема автоматизации и принципы функционирования систем, автоматизирумак процесс контроля при производстве интегральных схем. Предложена методика рационального расположения системы контроля в структуре технологического процесса.

г. Исследованы вероятностные распределения яркости, разности уровней яркости, совместных вероятностей уровней яркости и длин серии изображений, получаемых при автоматизации процесса контроля качества.

3. исследованы признаки полутоновых структурных изображений, проведен анализ кх эффективности в задачах классификации дефектов изделий. Предложено проводить анализ по распределениям разности и совместных вероятностей уровней яркости. Разработана нлтодика распознавания дефектов из-

делий иккроэлектропики по их изображениям, позволявшая автоматизировать процесс контроля качества.

4. Предложена методика разработки информационного обеспечения систем, автоматизирующих процесс контроля качества изделии микроэлектроники. Разработана информационно-таблич-кая модель БД для рассматриваемого класса систем. Разработала методика формирования запросов к ГЕЛ.

3. Научно обоснована и создана система, реализующая разработанные методики и алгоритмы. Эксплуатация автоматизированной системы контроля качества ИС показала высокую эффективность анализа и объективность оценки качества изделия на основе предложенных характеристик.

с. вчрчботаны рекомендации по проектированию прог-ракмно-тгхнического обеспечения автоматизированных систем контроля качестаа изделия микроэлектроники на базе микро-зондового оборудования.

7. Результата диссертационной работы используются в технологической процессе производства интегральных схем Солнечногорского электромеханического завода, экономический эффект составляет 48 тыс. рублей! учебной процессе Яосковском института приборостроения на каф?дре "Системное прогрзмкчое 'обеспечение ЗОТ", что подтверждено соот-ветствлхпини документами.

СПИСОК ОСНОВНЫХ ПУБЛИКАЦИЯ АВТОРА ПО ТЕПЕ ДИССЕРТАЦИИ

1, Пелов A.B.. Голубятников И. в. Математическое моделирование и автоматизация обработки графической информации в системах технологического контроля изделия электронной техники. //Тез. докл. нзучно-техн. конф. "Математическое моделирование и САПР радиоэлектгояных систем СВЧ на ОИС". - Н. , 1969. С. 173.

2. Голубятников И. В. Графическое представление данных в САПР интегральных схем. //Тез. докл. научно-техн. конф. "Натенатическое моделирование и САПР радиоэлектронных систем СВЧ на ОИС". - Н. , 1989. С. 159.

3. Голубятников И. В. Использование микро-ЭВН для анализа изобгажения. получаених при работе автоматизированного комплекса контроля качества изделия электронной техники. //Тез. докл. Всесоюзной научно-техн. конф. "Микропроцессорные средства локальной автоматики". - Гродно. 1989. с. 33-37.

- 1С -

4. Голубятников И. В. Использование мшш-ЭВИ для поддержки и организации баз данных в системах гибких автоматизированных производств. //Тез. докл. кон». * Информационно -измерительные системы и точность в приборостроении". - И. . 1984. с. ТТ.

5. Голубятников И. В. Организация информационного обеспечения систем контроля качества изделий электронной техники с использованием графической базы данных. //Тез. докл. Иаучно-техн. конФ. "Методологическое, информационное и прог-рммное обеспечение систем автоматизации". -Н. . 1989, с. 65-60.

6. Голубятников Н. В.. Белов А. В. Алгоритмическое и программное обеспечение систем анализа изображений микроструктур, //тез. докл. Научно-техн. конФ. "Нетодологическое. информационное и программное обеспечив систем автоматизации", -и.. 1989. с. ТТ.

Т. Голубятников И. В. . Белов А. В. Использование графической базы санных в задаче автоматизации процесса контроля изделий микроэлектроники. //Тез. докл. Всесоюзной научпо-техн. конФ. "Искусственный интеллект в автоматизированной управлении технологическими процессами". -Н. , 1969. с. ТЗ-74.

в. Голубятников И. В. . Белов А. В. Разработка программно'-технического комплекса контроля качества интегральных схем с использованием микро-ЭВН. //Тез. докл. Всесоюзной научно-техн. конФ. "Никропроцессорные средства локальной автоматики". - Гродно. 1989. с. 43-46.

Подп. к печ81и 06,01.93, Формат 60x84, 1/16. Объем 1?0 п.л. ' Тирах 100. Заказ 6.

Готоприн! ИШ1