автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.07, диссертация на тему:Автоматическая стабилизация положения электронного луча в испарителе с целью обеспечения качества защитных покрытий лопаток ГТД

СГ)

с^ На правах рукописи

Гусаров Александр Вячеславович

АВТОМАТИЧЕСКАЯ СТАБИЛИЗАЦИЯ ПОЛОЖЕНИЯ [ЕКТРОННОГО ЛУЧА В ИСПАРИТЕЛЕ С ЦЕЛЬЮ ОБЕСПЕЧЕНИЯ КАЧЕСТВА ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ ЛОПАТОК ГТД

Специальность 05.13.07 - Автоматизация технологических процессов

и производств

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Рыбинск - 1998 г.

Работа выполнена на кафедре "Вычислительные системы" Рыбин« государственной авиационной технологической академии.

Научный руководитель: кандидат технических наук, доцент Семенов Э.И. Научный консультант: кандидат технических наук, доцент Комаров В.М.

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор Трусов В.В.,

кандидат технических наук, Черных Ю.А.

Ведущее предприятие: ОАО "Рыбинские моторы".

Защита состоится 2 7 мая 1998 г. в 12 ~ на заседании диссертационн совета К 064.42.02 Рыбинской государственной авиационной технологичес] академии.

Адрес: 152934, г. Рыбинск, Ярославской обл., ул. Пушкина, 53, РГА' Тел. (0855) 520290 Факс (0855) 528688.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке РГАТА. Автореферат разослан 4 7 апреля 1998 г.

диссертационного совета

Ученый секретарь

Иванов Ю.Н.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность диссертационной работы определяется необходимостью обеспечения качества защитных покрытий, наносимых на лопатки газотурбинных двигателей (ГТД) методом электронно-лучевого испарения. Качество защитных покрытий, наносимых в вакууме методом электронно-лучевого испарения материала из тигля, может быть обеспечено только при условии стабилизации параметров технологического процесса (ТП), влияющих на качество покрытий. Это связано с тем, что в настоящее время прямое управление качеством покрытий в процессе их нанесения отсутствует, поэтому для обеспечения качества покрытий используется косвенное управление. Одним из путей обеспечения качества покрытий является стабилизация распределения мощности, подводимой в испаритель электронным лучом, по поверхности испаряемого материала. Это может быть достигнуто путем создания системы автоматической стабилизации положения электронного луча в испарителе (САС).

Существующие электронно-лучевые установки для вакуумного нанесения покрытий имеют в своем составе средства, устраняющие дестабилизирующие воздействия неконтролируемых оперативным персоналом изменений тока системы отклонения, тока эмиссии катодов, фокусировки луча. Вместе с тем, ряд дестабилизирующих факторов не контролируется средствами автоматики. К таким факторам относятся, например, гистерезис системы отклонения, изменение параметров электронной пушки вследствие тепловой деформации катода, изменение магнитных свойств электромагнитной системы отклонения вследствие нагрева и старения. Наличие этих факторов приводит к тому, что появляется возможность выхода электронного луча за пределы допустимой зоны перемещения, ограниченной стенками тигля.

Выход электронного луча за пределы допустимой зоны перемещения

вызывает неравномерный разогрев поверхности испаряемого материала и пла ление водоохлаждаемого тигля и других элементов внутренней конструкщ камеры испарения. В таких условиях невозможно обеспечить воспроизвел мость свойств получаемых покрытий и безопасность ТП. В диссертации решае ся задача стабилизации положения электронного луча в испарителе.

Цель работы - разработка и исследование системы автоматической ст билизации положения электронного луча в испарителе для обеспечения стаб лизации мощности, распределяемой по поверхности испаряемого материала.

Для достижения поставленной цели необходимо:.

- разработать и исследовать датчик положения электронного луча;

- разработать и исследовать систему автоматической стабилизации п ложения электронного луча.

Объектом исследования настоящей работы является технологичесы процесс нанесения защитных покрытий лопаток ГТД методом электронн лучевого испарения.

Научная новизна работы заключается в следующем:

- предложен метод определения положения электронного луча, оси ванный на использовании потока электронов, отраженных с поверхности исг ряемого материала;

- разработаны математическая модель датчика положения электронно луча и методика его расчета.

Практическая ценность работы.

Разработанные автором программные средства для моделирования д; чика положения электронного луча позволяют определить размеры и место рг положения чувствительного элемента (ЧЭ) датчика положения электронно луча с целью получения требуемых характеристик датчика при размещен комплекса аппаратных средств САС на технологическом объекте. Методи расчета САС позволяет обеспечить работоспособность системы автоматическ

стабилизации положения электронного луча, которая может быть размещена на различных типах электронно-лучевых установок, применяемых для нанесения защитных покрытий, тонких пленок, в литейном производстве.

Результаты исследований использованы в учебном процессе при преподавании дисциплин "Электроника и микроэлектроника" и "Управление качеством электронных средств".

Основные научные и практические результаты диссертационной работы внедрены в виде:

- прибора для защиты установок вакуумного напыления от повреждения электронным лучом;

- системы автоматической стабилизации положения электронного луча в технологическом процессе нанесения защитных покрытий на лопатки ГТД методом электронно-лучевого испарения.

Научные положения, выносимые на защиту:

1) метод определения положения электронного луча, основанный на использовании электронов луча, отраженных от поверхности испаряемого материала;

2) принципы построения вторичноэмиссионного датчика положения электронного луча;

3) математическая модель датчика положения электронного луча;

4) методика выбора размеров и места расположения чувствительного элемента датчика положения электронного луча в камере испарения;

5) принципы построения системы автоматической стабилизации положения электронного луча.

Апробация.

Материалы диссертационной работы прошли апробацию в докладах на 10 Всероссийских и международных конференциях и симпозиумах.

Публикации.

По материалам диссертации опубликовано 18 печатных работ, из них статей, 3 информационных листка, 1 заявка на патент и 6 тезисов докладов.

Структура и объем работы. Работа изложена на 243 листах, содержи 34 таблицы, 76 рисунков и состоит из введения, четырех разделов, заключение списка использованных источников из 160 наименований и шести приложений.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Для достижения поставленной цели в работе решены следующие задачи

- сформулированы требования к методам определения положения эле! тронного луча и к системе автоматической стабилизации положения электро! ного луча;

- разработаны и исследованы новый метод определения положения эле! тронного луча и автоматический регулятор, включающий в себя датчик полож! ния электронного луча и устройство управления.

Метод исследования основан на выявлении факторов, влияющих на к чество защитных покрытий лопаток ГТД, анализе методов определения полож ния электронного луча с оценкой возможности их использования для определ ния положения электронного луча в технологическом процессе нанесения з щитных покрытий на лопатки ГТД с последующей разработкой нового метод использовании принципов построения современных систем управления техн логическими объектами. При решении поставленной задачи использованы м тоды аналитической геометрии, теории вероятности и математической стат стики, численного интегрирования, теории систем автоматического регулир вания.

Изучение факторов, которые влияют на качество защитных покрытий л паток ГТД, наносимых методом электроннолучевого испарения, позволи.

делать вывод о том, что одним из путей обеспечения качества защитных порытой лопаток ГТД и повышения безопасности технологического процесса яв-яется автоматическая стабилизация положения электронного луча в испарите-:е.

Для осуществления автоматической стабилизации положения электрон-гого луча в испарителе необходимо оснастить существующие установки ваку-много напыления (УВН) с электронно-лучевым испарителем системой автома-ической стабилизации положения электронного луча. Для решения этой задачи [еобходимо разработать и исследовать автоматический регулятор, который ;олжен включать в себя датчик положения электронного луча и устройство правления. Устройство управления реализовано с использованием известных [етодов и средств построения систем управления технологическими объектами. )сновное внимание в работе уделено разработке и исследованию датчика поло-сения электронного луча, являющегося неотьемлимой частью САС, так как ха-актеристики автоматической системы с обратной связью примерно на 90% оп-еделяются параметрами датчика.

Анализ существующих методов определения положения электронного уча показал, что они имеют такие недостатки, как низкая стойкость к запыле-ию, невозможность определения положения электронного луча в тигле, огра-ичения на электрические и конструктивные параметры испарителя.

Для решения поставленных задач сделан вывод о том, что для разработки исследования датчика положения электронного луча необходимо разработать овый метод определения положения электронного луча, позволяющий опреде-ить положение электронного луча в тигле с относительной погрешностью не олее 10%.

Таким методом является вторичноэмиссионный метод определения по-ожения электронного луча (рис. 1), который основан на том, что при переме-дении электронного луча по поверхности испаряемого материала происходит

перераспределе-

Коллекторы

I,

к

I,

ние тока, прот

к+1

кающего в цеп;

Луч

коллекторов отр

/•ч^ Отраженный луч

Испаряемый материал

\ ЧЭ

I \_

является результ

сигнал датчика I

женных электр нов. Выходж

Рис. 1. Вторичноэмиссионный метод определения положения электронного луча

том нормирован!

по величине тою

в цепях коллект

ров отраженных электронов 1к. Датчик положения электронного луча состо

из чувствительного элемента (ЧЭ) и вычислителя положения луча. ЧЭ предста ляет собой камеру-обскуру с размещенными в ней коллекторами отраженш электронов. Предложены конструкции ЧЭ двух типов: с коллекторами, обр щенными в сторону тигля и с коллекторами, параллельными поверхности йен ряемого вещества (рис. 1). Элементы конструкции ЧЭ и коллекторы изготовл ны из нержавеющей стали, электрические изоляторы выполнены из керамик Для уменьшения погрешностей, вносимых многократным отражением электр нов от внутренних стенок ЧЭ, внутрь ЧЭ предложено установить виньетиру] щую диафрагму. При перемещении электронного луча по одной координате и пользуется ЧЭ с двумя коллекторами, при перемещении электронного луча : двум координатам - ЧЭ с четырьмя коллекторами.

Основное требование, предъявляемое к датчику положения электронно луча - обеспечение линейной зависимости выходного сигнала от положен электронного луча в тигле в пределах зоны чувствительности датчика полоя ния электронного луча Ц, характеризующей диапазон значений координат це

тра фокального пятна электронного луча, в пределах которого существует одг

тачная связь между выходным сигналом и положением центра фокального пятна электронного луча. Кроме того, зависимость выходного сигнала от положения электронного луча должна быть монотонной.

Выходной сигнал 11р при перемещении луча по одной из координат для ЧЭ с двумя коллекторами вычисляется по формуле:

= (1)

где к - коэффициент пропорциональности;

^ и 12 - поток отраженных электронов через 1-й и 2-й коллекторы.

Статическая чувствительность датчика Ц определяется по формуле:

где ДИр - разность между максимальным и минимальным значением выходного сигнала в пределах зоны чувствительности.

Реальная зависимость выходного сигнала от положения электронного луча отличается от линейной, поэтому используется аппроксимация зависимости выходного сигнала от перемещения электронного луча по координате К линейной функцией:

ир = к5 • АГ. (3)

Особенностью разрабатываемого датчика положения электронного луча является то, что требуемая зависимость выходного сигнала от положения электронного луча может быть получена исключительно путем изменения размеров ЧЭ датчика и места расположения ЧЭ в камере испарения УВН.

Для получения линейной зависимости выходного сигнала датчика от по-

ложения электронного луча в тигле предложена методика выбора размеров 1 места расположения ЧЭ в камере испарения УВН.

Методика основана на выборе места расположения ЧЭ в соответствии о свойствами диаграммы распределения отраженных электронов и внутренне] конструкцией камеры испарения УВН, определении размеров ЧЭ, зависящих о места его расположения в камере испарения, и расчете выходного сигнала дат чика положения электронного луча по одной из координат по формуле:

1р = 1^1к±1, (4)

+1к+1

где 1р - моделируемый выходной сигнал;

1к и - поток отраженных электронов через к-й и (к+1)-й коллекторы.

Для расчета потока отраженных электронов через к-й коллектор повер> ность фокального пятна электронного луча покрывается "сеткой", каждая яче{ ка которой соответствует одному источнику отраженных электронов. Коллекто электронов покрывается "сеткой", каждая ячейка которой представляет ква; ратный участок поверхности, положение которого определяется полярными (( и азимутальными (ф) углами в сферических координатах, а значения углов 01 ределяются расстоянием до центра участка поверхности (г) и его положение относительно источника отраженных электронов (рис. 2).

Поток отраженных электронов через к-й коллектор определяется по фо]

муле:

п ш

т >Ут Мф2тп -ф1тп)-(соз01тп -соз92тп), (5

3=11=1

где К(хт,ут) - коэффициент, учитывающий положение источника ]

Рис. 2. К расчету потока отраженных электронов через участок поверхности коллектора

поверхности фокального пятна, который определяется по формуле:

К(хт,Ут) =

хт

стх; ^Оу

2лохоу

(6)

где хт, ут - координаты центра т-го источника излучения;

сх, ау- средние квадратичные отклонения нормального закона распределения плотности тока по поверхности фокального пятна.

Значения углов ф1тп, ср2гап, 01 тгъ ®2тп определяются для каждого т-го источника излучения и п-го участка поверхности коллектора в соответствии с рис. 2. Сначала определяется телесный угол, в пределах которого заключены траектории отраженных электронов, попадающих на коллектор, затем значения углов 01тп и 92тп :

Ölrnn - - <X(

"0

(7

02nm ~ ®2 ~~ a0 '

(8

Для расчета зависимости (4) в среде Turbo Pascal 7.0 разработаны про граммные средства, позволяющие проводить расчет выходного сигнала датчик для двух типов ЧЭ с двумя и четырьмя коллекторами. Исходными данными дл расчета являются размеры испарителя, камеры испарения и параметры фокаль ного пятна электронного луча. Шаг интегрирования по поверхности фокальноп пятна следует выбирать в интервале от 0,001 до 0,005 максимального размер фокального пятна, шаг разбиения углов ф и 6 - в пределах (0,05+0,1) градуса.

Зависимость выходного сигнала датчика от положения электронного лу ча имеет нелинейность типа "насыщение". Для выбора зоны чувствительносп датчика на линейном участке характеристики предложен алгоритм выбора раз меров и места расположения ЧЭ в камере испарения УВН. Возможность разме щения ЧЭ в камере испарения и его размеры ограничены зоной размещение расположение и размеры которой зависят от типа УВН. После определения рас положения и размеров зоны размещения определяются первоначальные размер! и место расположения ЧЭ. Затем по формуле (4) выполняется расчет зависимо сти 1р от положения луча в пределах допустимой зоны перемещения луча и кор ректировка размеров и места расположения ЧЭ до получения линейной зависк мости выходного сигнала датчика от положения электронного луча в предела допустимой зоны перемещения луча.

Проведенные в соответствии с предложенной методикой расчеты по/ твердили возможность получения требуемых характеристик датчика для ра: личных типов конструкций камер испарения и испарителей УВН.

Для расчета значения выходного сигнала по формуле (1) используете цифровой вычислитель на базе персонального компьютера (ПК) с устройство:

и

сопряжения с объектом (УСО). В операционной части УСО реализован мультиплексный режимом ввода с использованием одного преобразователя ток/напряжение для каждого коллектора, коммутатора и АЦП. Интерфейсная часть УСО, выполненная на программируемых БИС и ИМС с "жесткой" логикой, обеспечивает обмен с ПК байтами данных по интерфейсу Centronics.

Вычислитель позиционного сигнала как элемент САС может быть представлен в виде пропорционального звена с передаточной функцией kg и запаздыванием т. В среде Turbo Pascal 7.0 на языке Pascal с использованием процедур на языке Ассемблера разработаны программные средства для реализации вычисления позиционного сигнала. Запаздывание т при использовании ПК класса IBM PC/XT не превышает 1 мс. Основную погрешность в определение положения луча вносят отклонения формы фокального пятна от эллиптической и отклонения распределения плотности тока по поверхности фокального пятна от нормального закона.

Система автоматической стабилизации положения электронного луча должна иметь следующие показатели качества: длительность переходного процесса не более 1 с, перерегулирование не допускается, САС должна быть астатической.

Анализ существующих систем управления перемещением электронного луча показал, что они являются двухмерными системами несвязанного управления. Для синтеза САС рассмотрен один из двух контуров двухмерной САС (рис. 3), а полученные результаты перенесены на другой контур.

Для стабилизации положения электронного луча используется цифровая система управления. Цифровой регулятор состоит из вычислителя на базе ПК, а также экстраполятора нулевого порядка, включающего в себя цифро-аналоговый преобразователь и масштабирующий усилитель. Экстраполятор размещен в том же УСО, которое используется для аппаратной реализации датчика положения электронного луча, что позволяет рационально использовать

Рис. 3. Структурная схема одного контура САС

аппаратные средства. Инфранизкочастотное возмущающее воздействие f(t (рис. 3) условно приложено к входу усилителя тока системы отклонения. За дающее воздействие g(t) представляет собой уставку в виде позиционного дво ичного кода. Датчик рассогласования реализован программно. Сплошной лини ей выделены существующие звенья САС, входящие в УВН, характеристики ко торых известны или определяются экспериментально. Усилитель тока и систем; отклонения могут быть представлены как последовательное соединение усили тельного звена и апериодического звена первого порядка. Электронный луч i ЧЭ могут быть представлены как пропорциональное звено и апериодическое звено первого порядка соответственно. В цифровом регуляторе реализовш ПИД-алгоритм регулирования.

Разработаны алгоритмы управления для УВН с ручным и автоматизиро ванным управлением перемещением электронного луча. В среде Turbo Pascal 7 J для реализации этих алгоритмов разработаны программные средства на язык Pascal с использованием процедур на языке Ассемблера.

Установлено, что значение периода дискретизации следует выбират равным от 100 до 150 мс. Величина периода дискретизации более чем на поря

№к превышает постоянные времени переходного процесса звеньев непрерывной 1 дискретной части САС, поэтому исследуемую САС можно представить как свазистатическую. Для исследования САС в динамическом режиме применено моделирование ее на ЭВМ. Для описания процессов в САС в дискретные моменты времени, кратные периоду дискретизации, использованы разностные ■равнения. Получены условия устойчивости САС, позволяющие осуществить шбор коэффициентов усиления регулятора. Коэффициент усиления интеграль-гого регулятора необходимо выбирать равным единице, значения коэффициентов усиления пропорционального и дифференциального регуляторов зависят от ¡начений коэффициентов усиления звеньев САС. Для оценки качества процесса травления использовался графический метод, а также интегральная оценка <ачества.

Предложена методика инженерного расчета САС. Исходными данными тля расчета являются требуемые показатели качества САС, конструктивные параметры испарителя и камеры испарения, параметры системы отклонения и электронного луча. На первом этапе определяются размеры ЧЭ, место расторжения ЧЭ в камере испарения УВН и статическая чувствительность датчика. За втором этапе выполняется моделирование САС на ЭВМ и формируются программные модули, реализующие алгоритм управления.

Моделирование САС на ЭВМ показало, что при значении периода дискретизации, равном 0,15 с, и значениях коэффициентов усиления регулятора, соответствующих полученным условиям, длительность переходного процесса не тревышает 0,6 с, перерегулирование отсутствует.

Автором разработан прибор для защиты УВН от повреждения электронным лучом, позволяющий предотвратить аварийные ситуации, связанные с выводом луча из тигля.

Автором проведены экспериментальные исследования вторичноэмисси-энного датчика положения электронного луча с ЧЭ различных типов. Результа-

ты исследований показали, что значения статической чувствительности, опрел ляемые по теоретическим и экспериментальным характеристикам, практичеа полностью совпали, относительная погрешность определения положения эле тронного луча не превышает 10%.

Проведены исследования функционирования САС при воздействии де табшшзирующих факторов в виде изменения тока системы отклонения и ус» ряющего напряжения луча с визуализацией положения электронного луча экране компьютера. Время переходного процесса не превысило 1 с, перерегул рование отсутствовало, отклонение положения электронного луча от заданно не превышало допустимых пределов. Это позволило сделать вывод о том, ч предложенные автором методики расчета датчика положения электронного лу и цифрового регулятора позволяют получить требуемые показатели качест САС. Запыление коллекторов отраженных электронов при испарении металл и керамики не повлияло на работоспособность САС.

По результатам испытаний автором сделан вывод о том, что применен системы автоматической стабилизации положения электронного луча позвол стабилизировать положение электронного луча в испарителе и, как следств] стабилизировать мощность, распределяемую по поверхности испаряемого ма' риала электронным лучом.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

В диссертации решена задача осуществления автоматической стабили ции положения электронного луча в испарителе.

В процессе выполнения работы получены следующие основные резу.

таты:

1. Установлено, что для обеспечения качества защитных покрытий лопата ГТД необходимо стабилизировать положение электронного луча в испарителе.

2. Для определения положения электронного луча в процессе элекгрон-го-лучевого нанесения покрытий предложен новый метод, основанный на регистрации изменения перераспределения потока отраженных электронов, кото-зые попадают на коллекторы отраженных электронов, размещенных внутри 1увствительного элемента в виде камеры-обскуры, при перемещении электрон-юго луча по поверхности испаряемого материала.

3. Разработана и исследована математическая модель датчика положения шектронного луча. Разработаны программные средства для моделирования дат-шка положения электронного луча.

4. Получены выражения для передаточных функций элементов САС и разностные уравнения для моделирования САС. Определены условия устойчи-юсти и параметры качества САС с ПИД-регулятором. Разработаны программное средства для реализации алгоритмов управления.

5. Изготовлен прибор для защиты установок вакуумного напыления от товреждения электронным лучом.

6. Разработана и испытана система автоматической стабилизации поло-кения электронного луча. Полученные математические соотношения, модели-эующие программы и программы регулирования могут быть использованы при шытно-конструкторской разработке САС.

Результаты диссертационной работы внедрены в промышленность и ис-тользуются в учебном процессе, что подтверждено соответствующими актами.

Основное содержание работы отражено в следующих публикациях:

1. Автоматизация контроля положения электронного луча в установках

для электронно-лучевого нанесения покрытий / Гусаров A.I Семенов Э.И., Сидоркин В.П., Ларионов Д.А. // Вестник Верхне-Волжско: отделения АТН Российской Федерации. Серия: Высокие технологии в ради электронике. - Нижний Новгород. - 1995. - №1. - с. 50 - 52.

2. Семенов Э.И., Гусаров A.B., Сидоркин В.П. Методы определения п ложения электронного луча для АСУТП электронно-лучевого нанесения п крытий //Труды Украинского Вакуумного Общества. - Харьков, - 1996. - Т. 2 с. 272 -275.

3. Семенов Э.И., Гусаров A.B. Определение положения электронного л ча методом вторичной эмиссии в процессе нанесения покрытий // Тонк пленки в электронике: Материалы 7 Международного Симпозиума. Йошка Ола, 1-5 июля 1996 г. - Москва - Йошкар-Ола, 1996, - с. 256 - 257.

4. Гусаров A.B., Семенов Э.И. Использование сигналов с датчиков вт ричной эмиссии для контроля положения электронного луча в процессе нанес ния покрытий // Вестник Верхне-Волжского отделения Академии технологи1 ских наук Российской Федерации. Серия: Высокие технологии в радиоэлектр нике. - Нижний Новгород. - 1996. - № 2. - с. 51 - 53.

5. Блок защиты установки вакуумного напыления от повреждения эл* тронным лучом / Семенов Э.И., Сидоркин В.П., Гусаров A.B., Лар* нов Д.А. // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 1997 №2, - с. 42-44.

6. Семенов Э.И., Гусаров A.B. Система стабилизации положения эл< тронного луча в установках для нанесения тонких пленок // Труды Украинскс

Вакуумного Общества. - Харьков - 1997. - Т. 3, с. 351 - 352.

6

7. Заявка 95116946/02 МПК С 23 С14/00. Электронно-лучевая устано! для нанесения покрытий / Семенов Э.И., Гусаров A.B. - опубл. БИ № 29 (I ч.), - 1997 г.

Гусаров Александр Вячеславович

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

АВТОМАТИЧЕСКАЯ СТАБИЛИЗАЦИЯ ПОЛОЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА В ИСПАРИТЕЛЕ С ЦЕЛЬЮ ОБЕСПЕЧЕНИЯ КАЧЕСТВА ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ ЛОПАТОК ГТД

Зав. РИО В.Н. Гончаренко Лицензия ЛР №020284 от 04. 12. 96

Подписано в печать 15 апреля 1998 г.

Формат 60x84 1/16 Заказ 138

Уч. изд. л. 1,0 Усл. печ. л. 0,9

Тираж 90 экз.

Изд-во РГАТА Отпечатано в Рыбинской государственной авиационной технологической академии г. Рыбинск, ул. Пушкина, 53