автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.01, диссертация на тему:Разработка прецизионных фотоэлектрических измерительных преобразователей круговых перемещений

1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА И ПОСТАНОВКА - ЗАДАЧИ.

1.1. Введение

1.2. Обзор существующих конструкций и классификация параметров, влияющих: на погрешность измерительных преобразователей круговых перемещений (ПИКИ)

1.3. Обзор литературы, анализ и обобщение известных • • исследований, применительных при создании прецизионных фотоэлектрических ПШШ

1.4. Описание выбранной для исследования конструкции

1.5. Постановка задачи работы

2. ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ТОЧНОСТИ ПРЕЦИЗИОННЫХ ФОТО-ЭЖСТРИЧЕСКЖ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ КРУГОВЫХ ПЕРИЛЕЩЕНИЙ (ШКП) В СТАТИЧЕСКОМ РЕКИМЕ РАБОТЫ.

2.1. Введение

2.2. Аналитическое описание сигналов на выходе ШЖП

2.3. Аналитическое исследование точности ПИКП.

2.3.1. Аналитическое описание погрешности ПИКП

2.3.2. Влияние погрешностей оси вращения и выставления растров на шаговую погрешность

ПИКП.

2.3.3. Влияние формы штрихов и схемы съема гшозор

• • мации на внутршнаговую погрешность ПИКП

2.3.4. Влияние числа отсчетов на точность ПИКП

2.4. Численное исследование точности ПИКП

2.5. Влияние параметров сигналов ПИКП на его точность

2.6. Выводы

3. ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ТОЧНОСТИ ПРЕЦИЗИОННЫХ уОТО

ЭЛЕКШНЕСКИХ ПИКП В ДШШЧЕСКОМ РЕЖИМЕ РАБОТЫ.

3.1. Введение

3.2. Оценка влияния смещений растров на точность

ПИКИ и составление его динамической модели

3.3. Составление уравнений движения в аналитическом

3.4. Вывод частных решении уравнений движения от различных видов гармонических возмущений.

3.5. расчет колебании от различных видов возмущений и оценка, их влияния на погрешность ЦИКЛ.

3.6. Выводы

4. ЭКСПЕРШЖНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ.

4.1. Введение

4.2. Описание установок, аппаратура и методики

4.3. Влияние зазора, между растрами на параметры

• сигналов

4.4. Определение числовых значений параметров динамической модели исследуемого ПИКП.

4.5. Влияние параметров основных элементов на точность ПИКП.

4.6. Выводы

5. РАЗРАБОТКА ОРИГИНАЛЬНЫХ КОНСТРШЩИ ПРЕЦИЗИОННЫХ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПИКП И РЕЗУЛЬТАТЫ ИХ ЕНВДРЕЕШ

5.1. Введение

5.2. Описания основных моделей разработанных ПИКП и особенности их технических решений

5.3. Основные технические характеристики и технический уровень разработанных ПИКП

5.4. Места внедрения и экономические показатели разработанных ПИКП.

Актуальность проблемы» Развитие современного машиностроения имеет явно выраженную тенденцию повышения степени автоматизации производства на основе применения металлорежущих станков, роботов-манипуляторов и контрольного оборудования, оснащенных устройствами цифровой индикации (УВД) и числового программного управления (УЧПУ). Это вызывает необходимость создания средств, обеспечивающих точное и надежное преобразование перемещений в нормированные электрические сигналы. В качестве средств, используемых для получения информации о круговых перемещениях, служат измерительные преобразователи круговых перемещений (ПИКИ), среди которое можно выделить фотоэлектрические. Основным их достоинством является высокая точность и разрешающая способность (дискретность).

Измерение круговых перемещений с погрешностью порядка 5"-15" (угл.сек.) и менее в современном станко- и приборостроении -производственная необходимость. Наиболее высокой точности требуют: координатно-расточные станки - порядка з"- б", координатно-измерительные машины и приборы контроля кинематической погрешности зубчатых колес - 2"- з", делительные машины, компараторы и кинематомеры для производства и контроля растров, преобразователей и кинематических цепей - 1"-2" и менее. При этом требуется иметь дискретность, достигающую 0,3//-1,0//. Учитывая, что это составляет величину 0,25*10"^ - 0,8*1(Г6 от диапазона измерения 360°, обеспечение этих двух характеристик наряду с высокими требованиями к габаритам, быстродействию и надежности ПЙКП, является сложной научной проблемой.

Вопросам создания фотоэлектрических ПИКП посвящено немало работ, в результате которых разработано множество различных их исполнений. Наиболее перспективными с точки зрения возможности обеспечения требуемых параметров, являются импульсные ПИКИ, использующие обтюрадионное сопряжение амплитудных пропускающих растров, отличающихся относительной простотой изготовления, . обеспечивающие лучшую глубину модуляции периодических аналоговых сигналов и для увеличения дискретности соцрягаемые с электронными интерполяторами, - нормирующими преобразователями. Они характеризуются высоким быстродействием и достаточной надежностью, без особых трудностей сопрягаются с УЦИ и УЧПУ. Однако, широкого промышленного применения существующие отечественные фотоэлектрические ПЖП, удовлетворяющие вышеуказанные требования к точности, не получили.

Серьезным препятствием на пути создания прецизионных ПИКП (1-4 кл.точности по ГОСТ 20964-75) является то, что пока не решен ряд принципиальных вопросов по выявлению влияния на их точность следующих факторов: уровня, неоднородности пропускания и формы штрихов, погрешностей растров и подшипников с учетом их спектрального состава; расходимости излучения и обусловленных ими параметров сигналов (наличие постоянной и неравенство переменных составляющих, неортогональность и форма); требуемых при эксплуатации динамических характеристик преобразователя и объекта. Недостаточность научно обоснованных данных по этим вопросам затрудняют и снижают достоверность расчетов точности на стадии проектирования ПИКП, что приводит к излишнему увеличению габаритов, необоснованному ужесточению точностных требований к изготовлению, применению сложных схемно-конструктивных решений или к снижению точности преобразования в целом. Поэтому, разработка и исследование прецизионных фотоэлектрических ПИКИ с учетом вышеуказанных факторов весьма актуально и необходимо для удовлетворения требований промышленности и создания более совершенных объектов-станков, машин и приборов. Решению этих задач и посвящена настоящая работа.

Цель работы. Разработка и исследование прецизионных фотоэлектрических БИКП с учетом действующих на их точность внутренних и внешних факторов. .Идя осуществления этой цели предусматривается:

- исследование ПИКП с учетом погрешностей изготовления основных элементов и применяемого в нем способа съема информации;

- исследование ПИКП с учетом вынужденных относительных колебаний между растрами, возникающих из-за погрешностей изготовления и идущих от объекта возмущений;

- экспериментальное исследование влияния зазора между растрами на параметры сигналов, погрешностей изготовления основных элементов ПИКП на его точность и определение необходимых для разработки и аналитического исследования данных;

- создание и исследование новых, оригинальных технических решений и разработка, рекомендаций по совершенствованию ПИЫ1.

Методы исследования. В диссертационной работе использованы теоретические и экспериментальные методы исследования. Теоретические исследования основаны на теории оптико-электронных приборов и теории колебаний механических систем. Составленные математические модели решены численно с использованием ЭШ. Экспериментальные исследования проведены на созданных в Вильнюсском филиале ЭНИМС стендах с применением особоточной измерительной и регистрирующей аппаратуры отечественного и зарубежного производства. Подученные результаты обработаны с использованием гармонического анализа.

Новые научные результаты и основные положения, выносимые на защиту. Впервые разработаны и исследованы математические модели фотоэлектрического ПИКП в зависимости от применяемого в нем способа съема информации с учетом внутренних и внешних факторов: погрешностей основных его элементов - растров, осветителя и подшипников, а также вынужденных калебаний между растрами, возникающих из-за погрешностей растров и подшипников, а также идущих от объекта возмущении; определены зависимости шаговой (при переходе сигнала через средний уровень) и внутришаговой (внутри периода сигнала, соответствующего шагу штрихов) систематических погрешностей от применяемого в ШИШ числа отсчетов при погрешностях растров (по расположению, пропусканию и форме штрихов) и подшипников (по радиальному биению) с учетом их спектрального состава; выявлена интенсивность возникающих в ПИКП колебаний и уровень проявляющихся дополнительных погрешностей от отдельно действующих возмущений; установлена зависимость внутри-шаговой погрешности и характерные ее формы от искажений сигналов, выявлены доминирующие в ней факторы. Впервые экспериментально исследована и определена зависимость сигналов фотоэлектрического ПИКП от зазора между растрами с учетом дифракции проходящего через их излучения; подтверждена возможность его работы при дифракционном сопряжении растров, зазор в котором при шаге их штрихов - 15-20 мкм на порядок превышает применяемый при теневом сопряжении зазор, а мощность сигнала падает незначительно - на 20-30%; определены параметры источника излучения и конденсора, позволяющие реализовать оптическую схему с пониженной чувствительностью к изменению зазора.

Изложенные положения и результаты вносятся на защиту.

Перспективным направлением исследований по данной научной проблеме является создание новых, более совершенных малогабаритных прецизионных и ультрапрецизионных фотоэлектрических ПИКП, расширение области их применения, метрологическое обеспечение процессов изготовления и сборки растров, а также ПИКП в целом.

Практическая ценность. Разработаны новые более эффективные прецизионные фотоэлектрические ПИКЕ, позволяющие в отличие от существующих получить большую точность и дискретность измерения и по совокупности технико-экономических показателей удовлетворить требования современного станкостроения, следовательно повысить технический уровень комплектуемых ими объектов в целом. Это позволило частично отказаться от импорта дорогостоящих особоточ-ных ПИКП и при создании отечественных станков и приборов сэкономить большие инвалютные средства. При создании этих ПИКП разработаны, исследованы и внедрены новые, защищенные авторскими свидетельствами, технические решения: методов повышения точности и дискретности преобразования перемещений путем корректировки фазы между сигналами и исправления их формы в оптическом тракте их обработки; принципиальных оптических схем, реализующих эти методы и обеспечивающих получение точного сигнала отсчета, а также одновременной информации о величине зазора между растрами; способов изготовления растров, способствующих обеспечению большей точности, повышению технологичности и снижению стоимости ПИКП в целом; устройства для автоматической аттестации прецизионных фотоэлектрических ПШСП, обеспечивающего повышение точности и производительность измерения, достоверность результатов.

Реализация в промышленности. Результаты работы реализованы в фотоэлектрических ПИКП 5-ти базовых моделей, изготовителем которых является опытный завод "Прецизика'Ч Вильнюсского филиала ЭНИМС. На 01.04.1984 их изготовлено 1730 шт., в т.ч. ПИКП моделей EE-5I и BE-8I соответственно I6Ó0 и 105 шт. Внедрение разработанных ПИКП в, промышленность, преимущественно в составе выпускаемых заводами Минстанкопрома станков и приборов, обеспечивает годовой экономический эффект, равный 1,46 шш.руб.

Апробация работы. Основные положения и результаты работы докладывались и обсуждались на:

- республиканских научно-технических конференциях "Развитие технических наук в республике и использование их результатов", Каунас, 1977-1984 гг. (ежегодно), "Дути совершенствования малогабаритных металлорежущих станков и контрольного оборудования", Вильнюс, 1980 г. и "Пути повышения технического уровня и конкурентоспособности малогабаритных металлорежущих станков с ЧПУ", Каунас, 1983 г.;

- всесоюзном научно-техническом семинаре "Применение, оптико-электронных приборов в контрольно-измерительной технике", Москва, 1978 г.;

- всесоюзной научно-технической конференции "Проблемы создания и эксплуатации систем ЧПУ для металлообрабатывающего оборудования на основе микропроцессоров", Ульяновск, 1982.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 49 печатных работ, в том числе 9 отчетов, II докладов на научно-технических конференциях и семинарах, 19 авторских свидетельств на изобретение и I - на промышленный образец.

Объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения, библиографического списка, включающего 137 наименований, приложения и изложена на 159 страницах основного текста, включая 60 рисунков и 12 таблиц на 40 страницах.

4.6. Выводы

1. Определены числовые значения данных, необходимых для аналитического исследования, экспериментальные зависимости сопоставлены с полученными ранее теоретическими данными.

2. Светопропускание и погрешность расположения штрихов, а также- биение подшипников, в погрешности ПЖП проявляется в зависимости от применяемого съема информации в преобразующей головке и числа их по окружности. По мере увеличения их шаговая погрешность уменьшается сильнее чем внутришаговая. Это объясняется непостоянством траектории биения подшипников и неоднородностью пропускания растров, вследствие чего амплитудно-фазовый спектр выходных сигналов содержит и четные гармоники, затрудняющие уменьшение второй погрешности при числе отсчетов более двух. При интегральном съеме информации искажения обуславливают интерференционные явления.

3. Для реализации ПЫКП с пониженной чувствительностью к изменению зазора., величина, которого больше чем на порядок превышает линейный шаг штрихов, оптимальной является оптическая схема,в качестве конденсора, использующая сферическое зеркало.

4. Для ПИКП с односторонним отсчетом и точностью 2"-5" необходимо обеспечить: светопропускание 1%9 радиальное биение подшипников 1,5-4,5$ от величины линейного шага, штрихов, погрешность расположения их 2"-Зм, расходимость излучения до 0,5°. а

А?

100

60 40 20 О

1 2 3 4 5 6 7 8 9 Ю щ 55А 100 1?,1 1,0 16.? 6,3 ¿0 т 3.1 9.5 лТ„ 432 100 9 1.9 3,6 6.3 16 14,3 3.3 3,6 а?г 86 100 1?,0 55,? ф 25,г 121 18,9 НА 11,7 Л шж

123456789 10 &

360 град, 180 90

К 1 г 3 4 5 6 ? 8 9 10 ь эгг 12? 23? 293 125 198 203 181 880 1 о 310 125 248 317 128 242 279 т 294 336 ь 207 130 311 515 122 259 302 т т 528

12*456789 10 П Ь

Рис.4.7. Зависимости величины светопропускания ИЗР (а) и их амплитудно-фазовые спектры (соответственно б и в)

БР

У> ад

I » да о

-Ф -зр

-4р -ар за а

1 5

V

1 ч. / -Д ■

-п

72

108 т т ос——

216

252

288

Л94

360'

Рис.4.8. Погрешность расположения штрихов ИЗР мод.ВЕ-180: а -оригинала,полученного методом мультипликации, б -копии, получены ой методом контактной фотолитографии

ДоС 100 о

ВО АО

20 О

Ж / 3 4 3 6 ? г 9 10 Н 13 14 15 т" т <82 Щ ад т 6,1 8,5 6,0 7,1 £0 и щ Й5 Щ к** юо 413 щ В.1 02 11Я 96 4/ 2А 3£ 40 1,3 зо 2.5 1.0

I 1гД тТ 1т Тт Тт Тт „ I I I 2 3 4 5 8 7 8 9 10 11 12 13 14 15 П а

ЗБО град.

180 90 О из у р щ

540

42

230

162

И?

ЗЗЯ

5,5

29$

86 т

105 иго ао

79

10

59

25? Ш

1?£

12 13

79

ЛЗ

166 ззг I и

14

301

25

15

2?0

90

12 5 4 5 6 7 6 9 10 1! 12 13 14 15 П $

Рис.4.9. Амплитудно-фазовые спектры погрешностей расположения штрихов ИЗР мод.БЕ-180: а и б - амплитуды и фазы гармонических составляющих, 0 и К - оригинала и копии соответственно № 4,0 2.0

ХРш 0 -2,0

АО

-60

-ар -100

О- ПГ н°1 □ пг №2 д — ПГ №3 V - ПГ №4

I V Щ* 0

-2.0 -АР

О 50 60 90 120 150 180 2Ю 240 270 500 530 360

У— а

-ПГЛ/Ри ПГ NN20, 13

0 о »4

• —

О 30 60 90 120 150 180 210 240 270 ЗОО ЗЗО 360° 9

О 30 60 90 120 150 180 210 240 270 ЗОО 530 360

Рис.4.10. Шаговая погрешность ПЖП мод.ВЕ-180 на одном обороте • при различных способах съема информации: а - одностороннем, б - двухстороннем и в - четырехстороннем отсчетах по данным табл.4.2

1. Аугустайтис B.B. и др. Расчет характеристик и упрощение уравнений движения динамических систем (алгоритм и программы) /А.С.Гульбинас, Г.-П.К.Мозура, К.Ф.Сливинскас, Е.Р.Ставяцкене.-Вильнюс.- 107 е.- (Рукопись деп. в Лит.НИИНТИ 26.03.1981 г.,698.61).

2. Бармаш С.А. и др. Исследование погрешностей при сопряжении измерительных и нормирующих преобразователей перемещений/'

3. Л.И.Кулис, Б.И.Минцерис, А.Т.Ушинскас.- В кн.: Станкостроение Литвы: Измерительные системы для станков и машин с числовым программным управлением. Вильнюс, 1983, т.15, с.51-64.

4. Бегунов Б.Н., Заказнов Н.Т. Теория оптических систем.-М.: Машиностроение, 1973.- 488 с.

5. Бейзельман Р.Д., Цыпкин Б.В., Дерень Л.Я. Подшипники качения. Справочник.- М.: Машиностроение, 1967.- 564 с.

6. Борштак Н.М. и др. Интегральный метод деления окрузглости.- Измерительная техника, 1958, $ I, с.16-17.

7. Бронштейн И.Н., Семендяев К.А. Справочник по математике для инженеров и учащихся вузов.- Лейпциг: Тойбнер; М.: Наука.- 720 с.

8. Будгинас С.-А.Ю. Развитие измерительных преобразователей и систем для станкостроения.- В кн.: Станкостроение Литвы: Измерительные системы для станков и машин с числовым программным управлением. Вильнюс, 1983, т.15, с.5-10.

9. Булгаков Б.В. Колебания.- М.: Гостехиздат, 1954.- 891 с.

10. Бычатин Д.А., Вильнер Г.А. Индукционные преобразовате/ ли информации.- Л.: Энергоиздат, Ленингр.отд-ние, 1981.- 96 с.

11. Вибрации в технике: Справочник. В 6-ти т. /Ред.совет: В.НЛеломей (пред.).- М.: Машиностроение, 1980 Т.З.Колебания машин, конструкций и их элементов /Под ред.Ф.М.Диментберга и К.С.Колесникова. 1980.- 544 с.

12. Вибрации в технике: Справочник. В 6-ти т./Ред.совет: В.Н.Челомей (пред.).- М.: Машиностроение, 1981.- Т.5. Измерения и испытания.- Под ред.М.Д.Генкина. 1981.- 496 с.

13. Виракас Г.-А.И. Разработка и исследование методов и средств измерения колебаний угловой скорости вращающихся частей машин и приооров: Автореф.дис.на соиск.ученой степ.канд.техн. наук.- М., 1975.- 15 с. (МВТУ им.Н.Э.Баумана).

14. Габидулин М.А. Исследование влияния зазора между растрами на функционирование растровых сопряжений фотоэлектрических датчиков перемещений.- В кн.: Автоматическое управление: Межвуз. сб.науч.тр. Москва, 1977, с.86-96.

15. Габидулин М.А. Исследование функций пропускания растровых сопряжений датчиков линейных и угловых перемещений методом рядов Фурье.- В кн.: Техника преобразования информации.- Труды МИРЗА. М., 1975, вып.83, с.24-43.

16. Герасимов H.A. Метрологические исследования круговых многополюсных датчиков.- В кн.: Приборы и средства дяя активного контроля размеров на металлообрабатывающих станках.- М.: Мос-станкин, 1965, с.32-54.

17. Герберене Л.И. и др. A.c. 759844 (СССР). Фотоэлектрический измерительный преобразователь круговых перемещений /Вильнюсский филиал ЭНИМС; Авт.изобрет. Л.И.Герберене, Б.А.Кравченко, М.-А.Ц.Кузмицкас, Б.И.Минцерис, А.Т.Ушинскас.- Заявл.25.04.78,

18. J£ 2608129/25-28; Опубл. в Б.И., 1980, № 32; МКИ S0IBII/00.- УДК 531.14.

19. Герберене Л.И., Ушинскас А.Т., Кравченко Б.А. A.c.

20. I02470I (СССР). Способ измерения перемещений /Вильнюсский филиал ЭНИМС.- Заявл.II.01.82, В 3379120/25-28; Опубл.в Б.И.,1983, Je 23; МКИ 50IBII/00; S0IBII/26.- УДК 531.715.2.

21. Гольдман И.Я. Влияние эксцентриситета на точность работы индуктосина.- Вопросы радиоэлектроники, 1962, вып.П, сер.ХП.

22. ГОСТ 8.016-81. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений плоского угла. Взамен ГОСТ 8.016-75; Введ. 01.07.82.- 5с. УДК 531.74:53. 089.68:006.354. Группа Т84(47) СССР.

23. ГОСТ 13424-68. Теодолиты. Методы определения погрешностей диаметров горизонтального круга.- Введ. 01.07.68.- Переизд. ишь 1974.- 102 с. УДК 528.5.001.4. Группа П49(47) СССР.

24. ГОСТ 16163-79. Столы поворотные делительные координат-но-расточных станков. Нормы точности. Взамен ГОСТ 16163-70; Введ. 01.07.80; Срок действия до 01.07.85.- 12 с. УДК 621.952.5229.311-187:006.354. Группа Г81(47) СССР.

25. ГОСТ 20964-75. Преобразователи измерительные круговых перемещений. Типы и основные параметры. Технические требования.

26. Бвед. с 01.07.76; Срок действия до 01.07.85.- 5 с. УДК 531.74. 087.92.082.7:621.9.06. Группа П75(47) СССР.

27. Дерус U.C. и др. A.c. 323651 (СССР). Фотоэлектрический датчик угла /Вильнюсский филиал ЭНИМС; Авт.изобрет. П.С.Дерус, И.С.Левитас, А.А.Рамонис, Ю.-Г.В.Якубченис.- 3аявл.30.03.70,1421707/25-28; Опубл. в Б.И., 1972, ré I, МКИ S0IBII/26.- УДК 531.715.

28. Елисеев C.B. Геодезические инструменты и приборы.- М.: Недра," 1973.- 390 с.

29. Иванов Б.Н. Выбор параметров образцового фотоэлектрического преобразователя угла поворота.- Измерительная техника,1981, lê 6, с.28-29.

30. Иванов Б.Н. О поверке преобразователей утла поворота в код.- Измерительная техника, 1974, tè 3, с.20-23.

31. Иванов Б.Н. Погрешность передачи угла при помощи универсального карданного шарнира.- Измерительная техника, 1981, № II, с.32-34.

32. Ионак В.Ф. Приборы кинематического контроля.- М.: Машиностроение, 1981.- 128 с.

33. Карпенко Б.К., Рубан Н.С. Элементы теории и расчета индуктосина.- Электричество, 1964, № 9, с.36-40.

34. Кельзон А.С., Нуравлев Ю.Н., Январев Н.В. Расчет и конструирование роторных машин.- I.: Машиностроение, 1977.- 288 с.

35. Клусевичюс П.В., Шилюнас П.И. Определение точности расположения штрихов.- В кн.: Станкостроение Литвы: Сб.статей по науч.-техн. и произв.вопросам. Вильнюс, 1976, т.8, с.131-138.

36. Кожешник Я. Динамика машин: Избранные статьи /Пер. с чешского Г.М.'Гольденберга.- М.: Машгиз, 1961.- 424 с.

37. Кузмицкас М.-А.П. Исследование влияния кругового сопряжения растровых лимбов на точность фотоэлектрических измерительных устройств: Автореф.дис.на соиск.ученой степени канд. техн.наук.- Каунас, 1977.- 17 с. (Каунасский политехнический ин-т).

38. Кузмицкас М.П., Ушинскас А.Т. Фотоэлектрические измерительные преобразователи.- Мокслас ир техника (Наука и техника), 1981, №8, с.9-11 (на лит.яз.).

39. Кулаков А.Т. Исследование и разработка, фотоэлектрического цифрового преобразователя утла с комбинированной разверткой: Автореф.дисс.на соиск.ученой степ.канд.техн.наук. Москва, 1981,- 25 с. (МИРЭА).

40. Кульвец А.П. Вопросы динамики жесткого ротора, вращающегося в прецизионных подшипниках качения: Автореф.дис.на соиск. ученой степ.канд.техн.наук.- Каунас, 1970.- 18с. (Каунасский политехнический ин-т).

41. Марков Н.Н., Степняков В.П. К расчету дискретности датчиков приборов для контроля кинематической погрешности зубчатыхпередач,- Тр.НШ метрол.вузов, 1979, Ш 16, с.14-20.

42. Мироненко A.B., Полярус Н.Т. Влияние зазора на параметры растрового сопряжения фотоэлектрических преобразователей линейных перемещений.- Известия вузов. Приборостроение, 1975, 18, $ 9, с.90-95 (I часть), J& II, с.109-113 (П часть).

43. Мироненко A.B. Фотоэлектрические измерительные системы. М.: Энергия, 1967.- 358 с.

44. Мирошников М.М. Теоретические основы оптико-электронных приборов.- Л.: Машиностроение, 1977.- 600 с.

45. Мэнли Р. Анализ и обработка записей колебаний.- М.: Машиностроение, 1972.- 368 с.

46. Новицкий П.В. Основы информационной теории измерительных устройств.- Л.: Энергия, 1968.- 245 с.

47. В ГР 81018077; Инв.й 0282.4032528.- Вильнюс, 1981.- 25 с.67. 0СТ2 H72-6-8I. Станки сверлильно-фрезерно-расточные. Нормы точности.- Введ. с 01.07.82; Срок действия до 1.07.87.57 с. УДК 621.914:4. Группа Г81(47) СССР.

48. Петров В.П., Каракулев Ю.А. Метод взаимной компенсации погрешностей угловых преобразователей.- Измерительная техника, 1980, të 5, с.24-25.

49. Петров В.П., Парняков E.G. Исследование погрешностей положения "диаметров" лимбов.- Оптико-механическая промышленность, 1978, JÊ 10, с. 10-12.

50. Петров В.П. О компенсации погрешности положения штрихов лимбов.— Труды ЛИТМО, Л., 1977, вып.90, с.29-37.

51. Пивоварова Л.Н., Куликова Н.И. Фотоэлектрические преобразователи для измерения угловых и линейных перемещений.- Оптико-механическая промышленность, 1974, № 8, с.64-73.

52. Подшипники качения: Справочное пособие /Под ред.H.A. Спицына и А.И.Спришевского.- М.: Гостехиздат, 1961.- 828 с.

53. Преснухин А.Н., Шаньгин В.Ф., Шаталов Ю.А. Муаровые растровые датчики положения и их применение.- М.: Машиностроение, 1969.- 201 с.

54. Рагульскис K.M. и др. Вибрации подшипников /А.Ю.Юрка-ускас, В.В.Атступенас, А.Ю.Виткуте, А.П.Кульвец.- Вильнюс; Мин-тис, 1974.- 392 с.

55. Рагульскис K.M. и др. Вибрации роторных систем /P.A. Ионушас, А.К.Бакшис, М.С.Рондоманскис, Ю.К.Тамошюнас, Р.А.Да-шевский.- Вильнюс: Мокслас, 1976.- 232 с.

56. Сафонов Л.Н. и др. Прецизионные датчики угла с печатными обмотками /В.Н.Болнянский, А.И.Окулов, В.Н.Прохоров.- М. : Машиностроение, 1977.- 152 с.

57. Сафонов Л.Н. Интегральный эффект в многополюсных датчиках угла.- Электричество, 1975, й 4, с.56-60.

58. Точность производства в машиностроении и приборостроении /Под ред.А.Н.Гаврилова.- М.: Машиностроение, 1973.- 567 с.

59. Туричин A.M. и др. Электрические измерения неэлектрических величин.- Л.: Энергия, 1975.- 566 с.

60. Ушинскас А.Т., Аугустайтис В.В., Шульман A.JI. Исследование точности прецизионных фотоэлектрических измерительных пре образователей круговых перемещений.- Вильнюс.- 109 е.- (Рукопись деп. в ЛитНИИНТИ, 17.09.1984 г., В I3UI Ли-84).

61. Ушинскас А.Т., Кулис Л.И., Минцерис Б.И. Фотоэлектрическая измерительная система круговых перемещений.- Метрология, 1980, В II, с.18-25.

62. Ушинскас А.Т. Обзор существующих образцов фотоэлектрических устройств угловых перемещений. Отчет /Вильнюсский филиал ЭНИМС.- Тема Jé 385-68; Jé ГР 68057921; Инв.й Б004048.- Вильнюс, 1968.- 47 с.

63. Ушинскас А.Т. Особенности разработки и внедрения прецизионных фотоэлектрических измерительных преобразователей круговых перемещений.- Вильнюс.- 86 е.- (Рукопись деп. в ЛитНШНТИ 19.09.1984 г., Jfc 1303 Ли-84).

64. Фигатнер A.M. Расчет и конструирование шпиндельных узлов с подшипниками качения металлорежущих станков. Обзор зарубежных материалов.- М.: ЭНИМС, 1971.- 196 с.

65. Фигатнер A.M., Фискин Е.А., Бондарь С.Е. Конструкция, расчет и методы проверки шпиндельных узлов с опорами качения: Методические указания.- М.: ЭНИМС, 1970.- 152 с.

66. Фотоэлектрические преобразователи информации /Под ред. Л.Н.Преснухина.- М.: Машиностроение, 1974.- 375 с.

67. Хлебалов Е.В. и др. Расчет динамических характеристик упругих систем станков с ЧПУ: Методические указания /Т.С.Воробьева, Г.Я.Чумбуридзе, А.Д.Шустиков, Под ред. В.А.Кудинова.-М.: ЭНИМС, 1976.- 98 с.

68. Чуриловский В.Н. Теория оптических приборов.- М.: Машиностроение, 1966.- 563 с.

69. Шваб И.А. Кольцевой осветитель для фотоэлектрических приборов.- Приборы и системы управления, 1976, IS 10, с.41-42. .

70. Шварцбург Л.П. Датчики обратной связи станков с ЧПУ: Обзор.- М.: НИИМАШ, 1982.- 38 с.

71. Шимуленис Ю.Ю., Казлаускао P.M., Ушинскас А.Т. Некоторые вопросы связей растровых элементов при сопряжении двух растров.- В кн.: Станкостроение Литвы: Сб.науч.тр. Вильнюс, 1971, т.З, с.195-204.

72. Шимуленис Ю.Ю. Разработка и исследование растровых угловых преобразователей для металлорежущих станков: Автореф. дис.на соиск.ученой степ.канд.техн.наук.- Каунас, 1974.- 17 с. (Каунасский политехнический ин-т им.А.Снечкуса).

73. Эйдинов В.Я. Измерение углов в машиностроении.- М.: Государств.из-во стандартов, 1963.- 413 с.

74. Электромеханические преобразователи угла с электрической редукцией /Под ред.А.А.Ахметжанова.- М.: Энергия, 1978.224 с.

75. Яблонский A.A., Норейко С.С. Курс теории колебаний.-Ivl.: Высшая школа, 1975.- 248 с.

76. Якубчионис Ю.-Г.В. A.c. 620808 (СССР). Фотоэлектрический способ измерения линейных и угловых перемещений /Вильнюсский филиал ЭШМС.- Заявл.12.05.74, JS 2025527/18-28; Опубл. в Б.И., 1978. JS 31; МКИ S0IBI9/00.- УДК 531.717.

77. Якушенков Ю.Г.Основы оптико-электронного приборостроения.- M.: Сов.радио, 1977.- 272 с.

78. Brezina J. Prehlad modernych uhlomernych metod a pristrojov.- Jemna mechanilca a optika, 1972, IT 12, s.314-318.

79. Ernst A. Quolitatssicherung bei langen-und Winkel -messystemen in Haus Dr. Johannes Heidenhain. MeBtechnische information 8, Ausgabe Marz 1980, s.38-45.

80. Fertigungsprogramm. Ausgabe 1979. "Dr. Johannes Heidenhain" 9/79 E.

81. Gori E. Lau effect and coherence theory.- Opt.Commun, 1979, 31, IT I, p. 4-8.

82. Guild J. Difraction gratings as messuring scales, Oxford University Press, London, i960. 240 p.

83. Guild J. The interference systems of crossed duffraction gratings. Theory of moire fringes. Oxford, Clarendon Press, 1956. 198 p.

84. Hanneman J., Wurzner W. Verfahren zur Darstellung von ebenen Y/inkeln mit hoher Genauigkeit.- Feingeratechnik, 1970, 19, N 5, s. 231-238.

85. Hanneman J., Bienias M., Miethling K.D. Erfahrungen beim aufbou eines Winkeletaions.- Feingeratechnik, 1978, 27, IT 3, p. 114-117.,

86. Herzog K. Dynamische messung von drehubertragungs-fehlern mit fotoelektrischen anbaume ssysteraen.- Werkstatt und Betrieb, 1971, 104, И s.

87. Incrémentale Drehgeber R0D/ER0. Dr. Johannes Heidenhain, 20843301*100*11/82*Schwenkert, Kastenhuber-Partne-r, München). Printed in West Germany, 1982, November, 61 s.

88. Jablonski R., Schimokohne A., ITagai A., Calibration system for precision angle standards.- Bull. P. M. E. 1980,1. 45, 17-24.

89. Kantelberg G. Fehlerbetrachtung fur elektronische In-terpolatoren.- Feingeratetechnik, 1976, 25, N 8, s. 370-372.

90. Lauckner G. Einsatz von Interpolatoren an inkrementa-len Messwandlern.- Feingeratetechnik, 1979, 28, N 4, s.147-150.

91. Mcllraith A.H. An Introduction to the theory of crossed diffraction gratings and their application to linear meas-surement.- Maschine Shop magazine, 1962, 23, April, p.202-213.

92. Patorski K. Position monitoring technique using double diffraction phemomenon.- Opt. Commun., 1978, 27, N 3,p.303-306.

93. Pfeifer T. Genauigkeitsanfordernagen an Winkelschrittgeber und Laser Interferometer zur Ermittlung von Vorschub -- Spindel und Weg/Winkelmessystemfehlern an Werkzeugmaschinen.-Archiv fur technisches Messen (ATM), 1972, V.8224-20, N 432,s. 3-8.

94. Post D. Moire interferometry with white light.-Applied Optics, 1979, 18, N 24, December, p. 4163-4167.

95. Shepherd A.T. 25 years of Moire fringe measurements.-Precis, Eng., 1979, I, IT 2, p. 61-69.

96. Schneider R. Inkrementales Auflichtlangenmessystem.-Werkstatt und Betrieb, 1979, 112, N11, s. 787-795.

97. Schuch K. Ausgewählte Probleme der fotoelektrischen Wegmessung mit hoher digitaler Auflosung.- Messen-Steuren--Regeln, 1975, 18, N 2, s. 66-70.

98. Troteher 0. Uber Fragen der digitalen Wegmessung mitfotoelektrischen Wegmessgeraten hoher Auflosung.- Optic, 1968, 28, IT 3, s. 210-221.

99. Thevenet P. La mesure precise impersonnelle des angles.- Mecanique, matériaux, electricite, 1973, 57, H 279, p. 15-17.

100. Welsh B.li. An angular displacement transducer.-Phys E. Sei. Instrum., 1980, 13, N 8, p.826-832.

101. Wong G., Koenigsberger P. The effects of some alignment errors on the accuracy of a diffraction grating measuring system.- Int.J.Mach. Tool Des. Res., 1963, 3, N 3, p. 139-158.