автореферат диссертации по радиотехнике и связи, 05.12.21, диссертация на тему:Теоретические и экспериментальные исследования и разработка процессов и средств электроискровой подгонки резисторов

МИНИСТЕРСТВО НАУКИ, ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ И ТЕХНИЧЕСКОЙ ПОЛИТИКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

КАЗАНСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ И ОРДЕНА ДРЖЫ НАРОДОВ АВИАВДОННЫИ ИНСТИТУТ им.А.Н.ТУПОЛЕВА

На правах рукописи

Инв. о'в , Для служебного пользования

Эт. №

ЛЕУХИН Владимир Николаевич

ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И РАЗРАБОТКА ПРОЦЕССОВ И СРЕДСТВ ЭЛЕКТРОИСКРОВОЙ ПОДГОНКИ РЕЗИСТОРОВ

Специальность 05.12.21 - радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Казань 1992

Работа выполнена в Марийском политехническом институте (МарПШ

Казанском научно-исследовательском институте радиоэлектроники

Научный руководитель - академик АН Республики Татарстан, заслуж деятель науки и техники ТАССР, доктор технических наук, профес.с' Чабдаров Ш.М.

Официальные оппоненты:

заслуженный деятель науки и техники ТАССР,

доктор технических наук, профессор Ермолаев Ю.П

кандидат технических наук Стерхова Л.А

Ведущее предприятие - КБ "Икар"

Защита диссертации состоится 1992 г.

в '/£? часов на заседании специализированного совета КР 063.09.' Казанского авиационного института по адресу: . 420084 г. Казань, ул. К.Маркса, 10

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке института

Автореферат разослан

Ученый секретарь специализированного совета

Козлов В.А.

ОЩАН ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Ванной проблемой обеспечения точности функциональных характеристик РЭЛ и ее составных частей является уменьшение погрешностей пассивных компонентов к в первую очереда пленочных резисторов,так как, являясь самым распространенным компонентом, они в значительной степени определяют точность .надежность и выход годных изделий. Существующий уровень пленочной технологии не позволяет получить резисторы с погрешт ностью сопротивлений меньшей * 10 % при требуемой во многих случаях - ( 0,01-1 ) о вызывает .необходимость проведения соответствующей коррек'Пфовки величшш сопротивления.'

Среди «звестни:-: методов >то донки электроискровая подгонка отличается возможностью проведения корректировки сопротивления без нарушения резистивного слоя, возмошюстыо подтопки толстопленочных резисторов в сторону увеличения и в сторону уменьшения сопротивления, отсутствием необходимости взаимного перемещения резистора и электрода,, простотой реализации, высокой обеспечиваемой точностью.

' Цель работы заключается в разработке комплекса средств для исследования и промышленного.применения электроискровой подгонкя к различит резкетпвным изделиям, повышении основных технических характеристик разрабатываемого оборудования, установлении влияния входных параметров на внходггае показателя процесса, построении моделей, описывающих процесс подгонки.

Дня дрстгаеюи поставленной цели в работе решались следующие задачи:

определение области проведения исследований но электроискровой подгонки и оценка полученных результатов ;

- проведение комплекса исследований для установления связей ме:зду входными параметрами процесса электроискровой подгонкл п.. его выходными показателя?® ;

- построение модели процесса электроискровой подгонки ;

- разработка наиболее приемлемых способов формирования длительности пачки импульсов ;

- разработка основных принципов построения оборудования электроискровой подгонки и на их основе создание установок, пригодных для промышленного применения ;

- проведение исследований применимости метода к различны?.!

резистивным элементам ;

- оценка влияния электроискровой подгонки на стабильность сопротивления резисторов и выработка рекомендаций по улучшение данного показателя ;

- определение наиболее приемлемого варианта построения те по'логического процесса изготовления резистивных элементов с ь пользованием электроискровой подгонки ;

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Разработана модель измерительной системы и определены погрешности, вносимые отдельными ее элементами. На основе модели разработана структура измерительной системы и определены требования к ее узлам, обеспечивающим необходимую точность ерг нения сопротивлений.

2. Разработаны (Ткшгческая и матеыатическ&ч модели нроцес< подгонки, связывающие основные параметры подгонки: амплитуду длительность разрядные импульсов, частоту их следования, даит< ность пачки импульсов - со скоростью подгонки и размером зоны разрушений. На основе полученной математической модели произв! дона оптимизация процесса подгонки резистивных. элементов Р1-9

3. Разработаны различные способы формирования длительное цикла подгонки, обеспечивающие достижение высокой скорости и •точности подгонки, превосходящие известные, и защищенные авто скими свидетельствами.

4. Окепершентально установлены режимы подгонки с разруш цием и без разрушения резистивного слоя и определено их влиян на скорость подгонки и-стабильность сопротивления после подго ки для толстопленочЕшх резисторов в широком диапазоне удельны сопротивлений. Даны рекомендации по выбору резолов.

5. Экспериментально установлен факт улучшешщ стабнльнос сопротивления после подгонки с разрушением резистивного слоя уменьшении расстояния мезду электродом' п. резистором.

6. Экспериментально установлено увеличение скорости подг ки и улучшение стаБильности сопротивления после подгонки п осуществлении разряда в жидкой диэлектрической среде.- -

Практическая значимость работы. Разработаны устройства <| мирования длительности пачек импульсов, реализующие различные законы изменений длительности циклов подгонки, защищенные ав1 скими свидетельствами и примененные в серии установок "электрс искровой подгонки."

Разработаны установки электроискровой подгонки, пригоднь

для промышленного использования применительно к СВЧ-поглотите-лям Р1-9 и толстопленочным наборам резисторов Б19М, переменным резисторам СПЗ-44а.

Произведена оптимизация режимов подгонки резисторов Р1-9 по выходному показателю "Скорость подгонки".

Разработаны рекомендации по выбору режимов подгонки толстопленочных резисторов на основе рутениевых паст.

Разработан вариант построения технологического процесса изготовления: толстопленочных переменных резисторой .с использованием электроискровой подгонки, обеспечивающей шшимум4 производственных затрат.

Разработан комплекс оборудования для исследования процесса электроискровой подгонки, вюгачающяй установку подгонки с электронным секундомером 1-1 широким набором функциональных возкотаос-тей, измеритель высокого напрянения,' многоканальный программируемый измеритель временной нестабильности сопротивлен",м резисторов, автоматический электронны!! коммутатор, сер:го контактных устройств.

Разработано программное обеспечение для обработки результатов' исследований.

Результаты работы внедрены в технологические процессы изготовления резисторов Р1-9 на ПО "Зркои", тонкопленочных мшеро-сборок' в ЩПГТН, толстопленочных микросборок з КШ'ШРЗ, в учебный ■процесс ¡ларИИ, что подтверждается актами внедрения.

Основные положения, внноепше на защиту

1. Активное управление скоростью подгонки л обеспечиваемой при этом точностью'наиболее целесообразно проводить путем регулирования длительности пачки импульсов. Закон изменения длительности пачки импульсов, позволяющий минимизировать время подгонки при обеспечении заданной точности имеет вид:

= (1)

где Ти - длительность пачки импульсов на и -м шаге ;

Т0 - длительность пачки импульсов неизменно!! длительности

2. Улучшение стабильности сопротивления резисторов после подгонки с разрушением резистивного слоя и повышение скорости подгонки мо™ет быть достигнуто путем уменьшения расстояния между электродом и резистором и проведением процесса подгонки

\

в жидкой диэлектрической среде. При этом улучшение стабильности связано с"более полным удалением резистивной плешей в зоне обработки-и уменьшением размера зоны, обработки и- переходной зоны. Увеличение скорости подгонки связано с увеличением нервная ранения при уменьшении расстоянш менду электродом и резистором л, как следствие, возрастанием энергии разряда и уменьшением площади удаляемого резйстивного материала.

3. Направленность подгонки толстояленочныт резисторов на основе рутения определяется формой разряда, зависящей от частоты следования импульсов, ц уцелышм сопротивлением резистив-ного материала. Подгонка в сторону уменьшения 'сопротивления, мочот быть применена для паст с удельным сопротивлением свыше 1 кОм/о в случае разряда дискретной формы.

4. Моделирование измерительной сястеш и численное решение уравнения преобразования отклонения номиналов эталонного и под гоняемого резисторов в управляющий'сигнал показало , что точность сравнения сопротивлений в основном определяется1точность деления: напряжения источника питания моста, стабильностью коэс( фициента усиления измерительного усилителя, точностью'установки и поддержания порогов срабатывания компараторов.

5. ¡Дящд-дума производственных затрат при изготовлении тол-стоплепочшгс переменны:!: резисторов следует ожидать при ориептс ции расчетного значения сопротивления на номинальное с последующей прдг01п{0й сопротивления резисторов, не укладывающихся £ заданный допуск, в два номинала: основной и дополнительный.

6. Дрейф сопротивления толстопленечнн;: резисторов практически заканчивается через 1000 часов после подгонки п составят ет при этом примерно удвоенное значение дрейфа за 24 часа и утроенное значение дрейфа за 1 час после подгонки, на основании чего возможна отбраковка потенциально'ненадежные резисторов и введение соответствующих корректирующие поправок в процесс подгонки.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуздаллсь на Всесоюзной научно-техниче* кой конференции "Конструктивно-технологическое обеспечение качества микро- и радиоэлектронной аппаратуры при проектировали] и в производстве." ( г. Ижевск, 1983 ), 2-ой Всесоюзной конференции "Технология и.конструирование ГИС и вопросы их производства" ( г. 7глич, 1988 ) , Всесоюзной конференции " Состоя-

ние и перспективы развития основных направлений радиотехнологии и спецмашиностроения" (г. Казань, 1989 ) , 9-ой Всесоюзной ' конференции "Планирование и автоматизация эксперимента в научных исследования" ( г.Москва, 1989 ) , 2-ой Всесоюзной конференции "Микропроцессорные системы автоматики" (г. Новосибирск, 1990 ), Всесоюзной конференции "Технико-экономическая эффектив- ' ность новой радиоэлектронной техники" ( г. Горький, 1990 ) .

Публпкашш. Основные результаты диссертационной работы изложены в 25 публикациях.

Объем шботы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы из 337 .названий и -прилояешй. Она изложена на 239 страницах и содержит 63 рисунка, 22 таблэды.

■содеешйе работы

Во введении обосновывается актуальность темы, сформированы основные задачи исследований, показана научная новизна и практическая значимость работы, приведены полонепия, выносимые па защиту.

В петтой главе проведен анализ литературных данных по под- . гонке'резистпвных изделий, в том числе -отдельно рассмотрены вопросы подгонки в. сторону уменьшения сопротивления, корректировки'

сопротивлении и функциональной характеристики переменны:: резисторов, подгонке резисторов с использованием электрического разряда, .рассмотрены вопросы обеспечения высокой точности подгонки Проанализированы входные :: выходные показателя процесса подгонки и определена область проведения исследований. Отмечено, что исследовала незначительная часть возможных зависимостей, при этом многие исследования не содержат количественных данншс и' характеризуют сравнительно узкую область используемых режимов и ограниченную ношаклатуру резистивннх материалов. Рассмотрено оборудование'дая подгонки резисторов электрическим разрядом и определены тенденции его развития. Исследовано влияние электрического разряда на структуру и ТКС.толстопяеночных резисторов

По.результатам проведенного анализа сделаны следующие основные выводы.

1. Существует достаточно большое количество методов подгонки резисторов в сторону уменьшения сопротивления, систематизация которых, включая технические возможности и применимость,

отсутствовала. Выявлено, что универсального метода подгоню в сторону уменьшена сопротивления не существует. Для тонкопленочных резисторов наиболее приемлемым следует считать электроимпульсный метод и метод подгошси расфокусированным лазерным лучом. Для толстопленочных резисторов наилучшие результаты мо-;;;ет дать сочетание электроискрового метода, используемого для высокоомннх резисторов, и лазерного для подгошси низкоомных резисторов.

2. Практически отсутствуют исследования до корректировке сопротивления переменный резисторов, хотя выход годных этих из-дел;Ш леаит на уровне 60-70 %. В связи с этим представляет интерес применение для корректировки электроискрового воздействия обеспечивающего целостность резпетквного слоя, широкий диалазо! изменения сопротивления, возмошость подгонки в сторону увеличения л уменьшения -соиро'пдалекия.

3.-В области подгонки электрическим разрядом отсутствует четкая тершшология и разграничение видов подгонки. 3'связи с этим сделала классификация методов подгонки электрическим разрядом и систематизация сведении о них. Выявлено,что наибольше! развитие в последнее время получили метода электроискровой иод-гонки ¡1 подгонки высокочастотным разрядом, однако промышленные образцы оборудования отсутствуют,

4. Анализ входных и -выходных показателей процесса олектро искровой подгонки позволяй выявить множественность связей мозд ними, которая услогляется существование;,: большого количества в дов реэдетивных жторншхов и широким диапазоном шг удельных сопротивлений. К настоящему времени исследована незначительная ■часть возмошик зависимостей.

5. Электроискровая подгонка в целом благоприятно сказнвае сл на ТКС резисторов. ;;<го дает додшшнташюо основание дяя с лее широкого внедрения метода в практику.

Втошя глава посвяд'ша моделированию процесса электроне* роЕой подгонки, моделированию измерительной системы, определению наиболее приемлемого закона изменения длительности пачки импульсов, те:шш<о-эконом>таескс1?лу анализу вариантов иостроенш технологических процессов изготовления резистпвных элементов < использованием электроискровой подгонки, разработке адаптацио; пых моделей автоматического регулирования.

Установлена зависимость между скоростью подгонки У

основными параметрами электроискрового разряда:

УакШйа-т а и(рэ[£){Ц, (2)

где к - коэффициент, учитывающий топлофизические свойства материала и полярность импульсов ; / - частота следования клпульсов ; - ^' - частота синхронизации ; Т - длительность пачки шпульсов ; Йп- сопротивление резистора после подгонки ;

- удельное сопротивление резистивной пленки ; I - длина резистора ; А - толщ:ша резистивной планки _Р - плотность материала резпстивной плеща! ; Хц - длительность разрядного импульса ; Ш)- амплитуда разрядного импульса ; ЗЦ)- разрядный тек . '

Оптпйпзацня процесса электроискровой подгонки.крупногабаритных резисторов Р1-Э по критерию производительности методом планирования активного эксперимента позволила выявить следующий набор параметров, отвечающих требован-по обеспечения -максимальной скорости подгонки: амплитуда разрядных импульсов 4 кВ, частота следования импульсов 12 кГц при сквашюсти, 3-, длительность натки импульсов 10 глс, При этом получена следующая математическая подать, оялсывавдая процесс »Лектропсктю-' " вой подгонки:

у= 0,т +0,0583и + 0,041б{- 0,тбЦ + 0№4Т + 0,0140 ^ -- 0,0377+ 0,0147117+ 0,0247/Г" 0,0234ОТ + 0Ши{Т, ( 3 )

где Р - скважность следования задающих ишуяьсов.

Для обеспечения высокой точности на заключительной стадии подгонки и минимизации количества циклов подгонки предложен закон изменения длительности пачки дап1ульсов(1).Применение-дан-лого закона позволяет уменьшить количество циклов подгошел па заключительной стадии до 5, что превосходит известные технические решения и подтверждено а.с. 1598731 .

Построение и анализ модели измерительной системы позволили выявить, что напряжение на ее выходе ( напряжение на устройстве 'выборки-хранения ¿/т ) будет определяться следующим

образом: .

где ио - напряжение источника питания моста ;

К - коэффициент деления напряжения ;

& - сопротивление подгоняемого резистора ;

\ - сопротивление эталонного резистора ;

Гк - сопротивление открытого ключа на полевом транзисторе; - постоянная, времени входного интегратора ;

# - полное сопротивление входного интегратора«;

Вг - постоянная времени УВХ ;

Ки- коэффициент усиления измерительного усилителя.

На основе полученной зависимости определены требовашш к стабильности напряжения источника питания- моста л точности его • деления, необходимому коэффициенту усиления измерительного усилителя, вел ¡тайне порогового напряжения кошаратора, точности его установки и поддержания. Предложены конкретные схемные реше,-ния отдельных узлов, и определены допустимые диапазоны изменения номиналов входящих в них элементов.

Техшжо-экономическое моделирование основывалось на рас, смотрении различны-: вариантов построения технологических процессов изготовления резастявных элементов с использованием электроискровой подгонки. Сравнение вариантов производилось -"по показателю минимальных производственныг затрат, определяемого на основе известию: характеристик распределения и потерь от брака продукции ■ и величины затрат па исправление брака ( по-игокку } . '3 результате бшю найдено, что минимума производственные затрат следует ожидать при ориентации расчетного значения величины сои-тивлепия на номаиальпоо и последующей полтонне в два иоетша : основной и дополнительный. данное обстоятельство учтено при разработке установки.олектропскровой подастся переменны-: резисторов и защищено а. с. .1729333 .

Р третье;-! главе на основе выработанных любований к оборудованию электроискровой подгонки представлены практические результаты по разработке его отдельных устройств ( формирователя длительности пачки импульсов и измерительного усилителя ) , а такж по созданию-и применению серии установок подгонки, предназначенных для подгонки дискретных резисторов ("лскра-5 " ) ,

резисторов на цилиндрическом основании (автомат подгонки резисторов С2-293 ) , групп резисторов в составе микросхем,микросборок или наборов резисторов ( многоканальная установка АПР-8К- ) , переменных толстопленочных резисторов ( УППР-1 ) .

Отличительной чертой разработанной серии установок является автоматизация завершения процесса подгонки, возможность контроля сопротивления резистора до и после подгонки, законченность и унификация конструкции (использование типовых приборных: корпусов ) , высокие технические характеристики ( точность подгонки в предела;': С - 0,1.-. .0,5 ) % в зависимости от тина установки , диапазон номиналов подгоняемых резисторов от 5 Ом до 1 Жм, потребляемая мощность не более 70 Вт ) , возможность изменения •режимов подтопки в широких пределах, возможность подгонки в сторону увеличения и в сторону уменьшения сопротивления, низкая стоимость.

Решение задачи обеспечения высокой точности и производи- . телыюсти подгонки в значительной степени связано со способом формирования .длительности дачкц импульсов --¿Щ-7 .

Предложено построение -ЗДЩ на основе аналоговых средств, где в качестве регулирующего элемента выступает позистор , с использованием точного выпрямителя 'для регулировки длительности при подгонке в "+" н в "-" , ■дцПЛ для реализация синусоидального закона сходимости. Бее решения защищены авторскими свидетельствами.

Необходимость всестороннего исследования процесса подгонки, большая трудоемкость выполнения данной задачи и отсутствие пригодного для этих целей универсального оборудования побудило к разработке и создании ряда специализированны:': устройств. В частности были разработаны:

1. Установка для исследования ре-г.1мов подгонки, обеспечивающая фиксацию времени подгонки при помощи встроенного электронного секундомера-» вьщачу определенного количества разрядных импульсов от 1 до 2040 , различные режимы работы.

2. Автоматизированный комплекс для исследования электроискровой подгонки, включающий установку подгонки, м^-сро-ОШ, электронный коммутатор, блок сопряжения и позволяющий исследовать кинетику подгошеи и стабильность сопротивления после подгонки.

3. "многоканальный автоматизированный комплекс, предназначенный для исследования временной нестабильности до 100 ре-

зисторов в течение двух лет с накоплением информации на магнитном носителе.

4. Измерители высокого напряжения с оптоэлектронной развязкой, работающие на принципе усреднения амплитуды разрядных импульсов- за один цикл подгонки.

В четвертой главе представлены результаты экспери-

ментальных исследований. Произведен выбор ре;:шмов электроискровой подгонки толстопленочных" резисторов на основе рутения с ■ра от 50 Ом до 8 кОм, обеспечивающих подгонку в сторону увеличения или уменьшения сопротивления с разрушением л без разрушения резистивного слоя и отвечающих заданным требованием по точности и скорости подгонки,.стабильности сопротивления.

Исследование влияния электроискровой подгонки на характеристики толстодленочных переменных резисторов СПЗ-44а и последующие испытания подогнанных резисторов на соответствие ТУ по-■ казали пр:-иц;ш;-;альнуо применимость метода к данному классу резисторов.

Б результате проведения исследований по влиянию разрядной среди и расстояния метду электродом и резистором на скорость подгонки и стабильность сопротивления поело 1ЮДГ01ЖИ установлено, что в случае подгонки с разрушением резистивного слоя указанные показатели улучшаются в 2-3 раза при уменьшении расстояния электрод-резистор до 0,2-0,5 мм п проведении процесса в- г:;щ кой диэлектрической среде. Уменьшение расстояния электрод-резистор :г использование гйдкоД диэлектрической среды улучшает чистоту реза и уменьшает размеры зоны обработки и переходной зо ны.

Исследование стабильности сопротивления после подгонки позволили выявить( чт'о дрейй сопротивления резисторов, подогнанных в сторону уменьшения сопротивления, в несколько раз мель то, чем у подогнанных в сторону увеличения сопротивления с разрушением. резистивного слоя. Дрейф сопротивления резисторов црар тичеекп заканчивается через 1000 часов после подтопки и составляет пул этом примерно удвоенное значение дрейфа за 24 часа и •утроенное значение дрейфа за 1 час после подгогоси.

Проведены исследования влияния формы электрода и его пере-• мещения на такие показатели, как скорость подгонки, точность подгонки, достигшая величина коэффициента подгонки, стабильность сопротивления после подгонки. Исследованы плоский непод-вшный электрод , игольчатый неподвижный и игольчатый сканируй

щий электрод.

Электрод Скорость подгонки Коэффициент подгонки Точность подгонки Величина дрейша за 5000 часов

за 1с за 10 с

Плоский 9,03 1,97 0,78 0,08 -0,84

Игольчатый неподвижный 23,75 О СО О f Оч/ 0,65 0,27 -0,59

Игольчатый сканирующий 35,12 6,41 . 0,33 0,24 "-1,06

Проведен сопоставительный анализ результатов электроискровой и лазерной подгонки блоков Б19:Л номинала 510 Ом с использованием многоканальной установки для партии, содер:;салис: соответственно 160 и 187 иодяошк но 7 резисторов. Определено, что 'ерэд-нее абсолютное значение отклонения от номинала для электроискровой подгонки составило 0,17 ¿ при велтеше среднеквадратичного отглокен:з1 0,055,. а лазерной - 1,18 % при среднеквадратичном отклонении 1,150, что свидетельствует о более высокой обеспечиваемой точности электроискровой подгонки. Производительность обои:: методов для исследуемых партий составила около 150-180 иодло-'.~ок в час."

Основные результаты оаботн

1. Определена область проведения исследований по изучению процесса электроискровой лодгопкп.л проведен анализ

дакш-п. Установлено, что применение электроискровой подгонки в' цело;', благоприятно сказывается на величине TIÍC толсторленочнын резисторов. Выявлено, что отсутствует обосновагашй выбор ремимов и видов полгонки для широкого диапазона оезистивше: материалов по критериям производительности, обеспичтаемой точности и стабильности сопротивления.

2. Построены флзэтоская и катематтгческая модели процесса подгонки, связывающие основные параметры процесса: амплитуду разрядит-: импульсов, пи частоту и длительность, длительность пачкп импульсов, размер зоны-разрушений со скоростью подгонки. Определены конкретные ре;::иш подгонки крупногабаритных резисторов Р1-9, обеспечивающие получение высокой скорости подгонки. v

3. Построена модель измерительной системы и определены требования к ней, позволяющие производить сравнение сопротивлений

подгоняемого и эталонного резисторов с точностью не хуже —0,01?J. Выявлены основные составляющие погрешности сравнения сопротивлений. Предложена схемная реализация отдельных узлов измерительной системы, направленная на повышение точности сравнения.

4. Проведен техншо-эк'ономлческлй анализ вариантов построения технологического процесса изготовления резисторов СПЗ-44а с использованием электроискровой подгонки. Установленочто минимума производственных затрат следует отащать при ориентации расчетного значения сопротивления на номинальное с последующей подгонкой резисторов,не уэюхчвшкся в заданный- допуск., в -два номинала: основной и дополнительный. > ,,

5. Предложен закон изменения длительности цикла подгонки на заключительной стадии подтопки (1 ) , обеспечивающий заданную точность подгонки лрн шгшмальном количестве гцаслов и превосходящий другие известные решении' данной задачи.

6. 13первна исследована применимость электроискровой подгон кн для корректировки сопротивления толстоплепочны:: переменных резхсторов и разработано соответствукхдез /оборудование для этих целей.

7. Разработаны ир;пщтщ создана оборудовашш, обеспечивающего подгонку груаи резисторов ка подкоже без взахнюго перемещения разрядного электрода резистора íí изготовлен опытный образец восьмиканаяыгого полуавтомата1 подгонки.

8. Разработана и изготовлена серия установок электроискровой подгонки, обеспечивающая двунаправдонность подгонки, автомс тическое изменение длительности пачки импульсов при подходе к ио^-шалу и с их использованием определена применимость метода i различным резистнвным ¿зделзш: Р.1-9, 02-293, СЛЗ-44а,Б19-.;5, HPl-4-Sv>l, тонкоплоночным и толстопленочным микросборкам.-

9. Разработан комплекс рекомендаций, направленны;! на умеш шение величины послеподгоночного дрейфа, включающий выбор вида подгонки, расстояния электрод-резистор, разрядной среда, формы и перемещения электрода.

10. Разработан комплекс оборудования для исследования процесса электроискровой подгонки: измеритель высокого напряжения экспериментальная установка подгонки,. многоканальный измерител: величины : ослеподгоночного дрейфа, автоматический электронный коммутатор.

11. Исследовано влияние на обеспечиваемую точность и скорость подгонки следующих параметров: амплитуды, частоты и длительности пачки импульсов,/расстояния электрод-резистор, формы и перемещения разрядного электрода, разрядной среды и даны рекомендации по. их выбору.

Основные результаты диссертационной -работы изложены в следующих публикациях:

1. ОдпнцоВ'МД. .Леунип В.Н.,Пгумнов 2.Н. Автомат электроискровой, подгонки прецизионных резисторов С2-23В // Всесоюзная .

'научно-техническая конференция "Конструктивно-технологическое обеспечение качества микро- и радиоэлектронной аппаратуры при проектировании и в производстве" Тезисы- докладов.-Ижевск,-1УЗЗ.-0.101-102' (ДСП). . ■

2. Одинцов :.!.А. »Деуг.ж В.И. ,Игумнов В.11. Автоматизация процесса подгонки толетопленочных резнсторных гл.г:росборок // Всесоюзная научно-тохшгчеекая котфропвди "Конструктивно-технологическое обеспечение качества l.cncpo- и радиоэлектронной аппаратуры при иройкт-тованн:: н в производстве". Тезисы докладов. -Л;.севск, 1УЗЗ.- С.103-104 (ДСП ).

3. 0, ;ипцов .".i.A. .Лоухпн В.Н. Установка подгонки резисторов на подложках из бприллиевой керагагси // Вторая Всесоюзная, научно-техническая конференция "Технология и конструирование ГИС и вопросы их производства" Тезисы докладов,- Ярославль, 1938. Часть П.- С.33-39.

4. Установка электроискровой подгонки резисторов "Kcxpa-SV ••¿ф.ллсток ;.'йрД!ГГ11 .'г 237-88 / Сост. З.И.Леухин, :.1.А.(Каодов, й.Н.Кгуштов.- Лошкар-Ола, 1938.

5. А.с. 1432462 (СССР). Устройство для подгонки :лекич:п1Х резисторов / З.Н.Леухин, л!. А. Одинцов, ЗЛ1.Игушов,С.В.Смоленцев.

- 'Зарог. в Гос.реестре пзобр.ОСС? 23.01.89 (ДСП ) .

6. Гончаров В.Д. ,0.чинцов i.A. ,Леухин В.Н. Обеспечение точности резисторов микросборок электроискровой подгонкой'// Всесоюзная конференция "Состояние и перспективы развития основных направлений радиотехнологии и спецмашипостроення" - Казань,1У8Э,-С.167-169 (ДСП ) .

7. А.с.1494795 (СССР) Устройство для подгонки толстопленочных резисторов / В.Н.Леухпн.М.А.Од;1нцов,В.Н.11гу1,аюв,'л.З.;лоскв1гчеа

- Зарег. в Гос.реестре изобр. СССР 15.03.89 (ДСП ).

.8. Одинцов ?Л.А. ,Лоухин В.Н.,Игумнов Б.II. Установка электро искровой подгонки редистивпых элементов "Искра-5" // Сшектронна промшшешюсть-, 1989, вып.8. - С. 56.

9. Леухин В.II..Сальников В.К.. Автоматизированный комплекс для исследований процесса электроискровой подгонки резисторов. // IX Всесоюзная конференция "Илашшование и автоматизация эксперимента в научных доследованиях " Тезисы докладов . - Москва 1939. - С.195-196.

10. A.c. 1565282 СССР . Устройство.для подгонки величины сопротивления толстоиленочных резисторов / В.Н.Леухин, С.А.Еу-райлев,- Зарег. в Гос.реестре изобр. СССР 15.01.90 ( ДСП) .

11. Установка для корректировка сопротивления толстоцлепоч-ншс переменных резисторов. Инф.листок .-Лар.^ДНТН Je 90—1 / Сост.

- В.И.Леухин. - Лошкар-Ола, 1990 .

1?. Установка электроискровой подгонки резисторов "Импульс" Ищ5.листок шар.ЦНТИ !'> 90-66 /Сост. С.А.Куравлев,В.II.Лсухнн, ' ' М.А.Одинцов, В..'¿.Шарапов.- :1ошкар-0ла, 1990 .

13. A.c. 1598731 ( СССР) Способ подгонки пленочных резисторо / З.Л.Лоух1ш,Л.А.0дшздов,В.Н.лгумцов - Зарегистр. в Гос.реестре изобр.СССР 8,06.90 ( ДСП) . . .

14. 'Леухин В.Н.,Соколов A.B. '¿ногоканашьный автоматизировал кий. комплекс для исследования временной нестабильности сопро-т •шлешм резисторов // 3 Всесоюзная научно-техническая копфорон ция ""лшропроцессорные системы автоматики" 'Тезисы докладов -Новосибирск, 1990 . - С.229-230.

15. Одинцов '.I.A., Леухин В.Н.,Игумнов В. И.- Установки-электроискровой подгошш толстоплепочннх розисторов // Техника средств связи, сер. ТПО, 1930. - выи. 1 - С.83-86.

16. Леухин В.К. Выбор режимов электроискровой подгонки толстоиленочных резисторов // Техника средств связи, сер. Т1ЮД99С вып.2 . - С.36-45.

17. Леухин В.Н., Технико-экономическая эффективность использования устройств электроискровой подгонки резисторов // Всесок ная научно-техническая конференция "Технико-экономическая эффек тивность новой радиоэлектронной техники" Тезисы докладов -

\ Горький, 1990. - С.28.

18. А.с.1729233 (СССР ). Устройство для корректировки сопротивления толстопленочных переменных резисторов / В.Н.Леу-хин. Saper, в Гос.реестре изо'бр. СССР 14.04.89 (ДСП ).

19. Устройство для подгонки сопротивления толстопленочных . резисторов на подложке / В.Н.Митрофанов,C.B.Смоленцев/Л.А.Одинцов, BJ1.Игумнов,В.Н.Леухия. Полояитальное решение о выдаче авторского свидетельства по заявке 4821028/21 от 14.04.89.

20. Захаров Ю.В.,Леу:пш В.Н. Построение физической и математической моделей процесса 'электроискровой подгонки резисторов // олектрогагая техника, сср. 8, 1991. вкл. 3. - С.33-43.

21. Леухин B.ÎI. Зависимость стабильности сопротивления толстопленочных резисторов от условий электроискровой подгонки //Техника средств связи, сер. ТПО, 1991, вып. 2.- С.41-13.

22. Лоухпн B.I-Î. Исследование влияния разрядной срэды па показатели процесса электроискровой подтопки //Сборник научна: работ к 125-ллетзЕо Русского технического общества. - ,1о:акар-0ла, 1Э91. - С. 34-115.

23. Леунин В.Н. .Оптимизация процесса электроискровой подгонки резпеказных элементов по критериям точности и производительности // Сборник научны.-: работ к 125-летию Русского технического общества. - лозкар-0 :а, 1991. - С.25-27.

24. Леу:-:ш1 В.П. Методы подгонки розист;шнк"с ялешнтов в' сторону умоиызон-.хя сопротлвяения // Технология и конструзгрова-нке электронной аппаратуры. 1992, .'Г- 2 . - С.47-51.

25. Лвухпл В.Н. Способы корректировки сопротивления и функциональной характеристики переменных нппроволочкыс резисторов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 1992, 2. - С.52-54.