автореферат диссертации по радиотехнике и связи, 05.12.10, диссертация на тему:Разработка методов расчета и конструирования мощных генераторов рентгеновского излучения с вращающимся анодом

Введение

Глава I. Мощные генераторы рентгеновского излучения с вращающимся анодом

§ I. Рентгеновские методы исследования структуры вещества и требования к аппаратуре

§ 2. Мощные генераторы рентгеновского излучения с вращающимся анодом и основные тенденции в их разработке

Глава 2. Теоретические основы разработки рентгеновских трубок с вращающимся анодом

§ I. Электронно-оптические системы мощных РГВА и их расчет методом машинного моделирования

§ 2. Расчет температурного поля мишени вращающегося анода

§ 3. Анализ температурного поля мишени РТВА

§ 4. Определение нагрузочной способности РТВА

§ 5. Анализ теплового режима вакуумного уплотнения вращающегося вала анода

§ 6. Расчет интенсивности характеристического излучения рентгеновской трубки

Глава 3. Экспериментальные исследования рентгеновской трубки с вращающимся анодом

§ I. Краткое описание экспериментальной установки

§ 2. Исследование электронно-оптической системы

§ 3. Исследование теплового режима мишени НО

§ 4. Измерение интенсивности характеристического излучения

§ 5. Надежность и срок службы узлов рентгеновской трубки

Глава 4. Конструкция и технология изготовления узлов аппарата с рентгеновской трубкой с вращающимся анодом

§ I. Краткое описание структуры аппарата

§ 2. Рентгеновская трубка с вращающимся анодом

§ 3. Характеристики аппарата АРТВА-2,0. Назначение и область применения 154 Заключение 159 Список использованных литературных источников 164 Приложения

Народное хозяйство нашей страны в современных условиях немыслимо без тесной связи с научно-техническим прогрессом. На основе новейших достижений науки и техники решаются крупномасштабные задачи во всех отраслях советской экономики. Намеченные партией и правительством рубежи дальнейшего совершенствования народно-хозяйственного механизма, в первую очередь - перевод экономики на преимущественно интенсивный путь развития, рациональное использование производственного потенциала страны, улучшение качества и повышение эффективности труда, - ориентированы на дальнейшее ускорение научно-технического прогресса и сращивание науки с производством.

Современная научно-техническая революция совершается на базе быстрого развития как фундаментальных, так и прикладных научных исследований. Глубокое познание материи во всех сферах научной деятельности является необходимым условием дальнейшего прогресса науки, техники и экономики. Одновременно с этим повышаются и требования к методам научных исследований, к их способности выявлять наиболее тонкие связи явлений природы. Поэтому не случайно в арсенале современной науки прочное место заняли рентгеновские методы исследований, а рентгенотехника получила широкое распространение и является одной из наиболее бурно развивающихся отраслей техники.

Уникальные свойства рентгеновского излучения - высокая проникающая способность в непрозрачные для видимого света материалы, возможность извлекать разнообразную информацию из акта взаимодействия излучения с веществом, большая точность рентгеновских методов - определяют чрезвычайно широкий круг задач, решаемых с применением рентгеновской техники в различных областях научной деятельности и производстве. Скща относятся исследования структуры, текстуры, химического состава веществ и материалов, влияния на них факторов внешней среды, процессов, протекающих в объектах на молекулярном и атомном уровнях, и многие другие. Областями науки, наиболее широко использующими рентгеновские методы, являются физика твердого тела, молекулярная биология, органическая и неорганическая химия, кристаллография, минералогия, медицина и т.д. В технике и промышленности рентгеновское излучение стало основным средством дефектоскопии и неразрушающего контроля, а также используется в ряде технологических процессов.

Актуальной проблемой дальнейшего развития и распространения рентгеновской техники является совершенствование источников рентгеновского излучения. Среди множества существующих типов источников особое место занимают мощные генераторы рентгеновского излучения на базе рентгеновских трубок с вращающимся анодом. Отличительной чертой этих генераторов является высокая интенсивность получаемого с их помощью рентгеновского излучения, что дает возможность не только повышать производительность , эффективность, точность и информативность исследований, но и существенно расширить возможности аппаратуры, разрабатывать принципиально новые методы, позволяющие решать актуальные задачи современной науки.

Мощные генераторы рентгеновского излучения с вращающимся анодом - сложные аппараты, рождающиеся на стыке рентгеновской техники, точной механики, электронной оптики, электроники, вакуумной и высоковольтной техники. Это обстоятельство обусловило сравнительно медленное их развитие, получившее ускорение лишь в последние годы в связи с возросшими потребностями науки и техники в новых источниках рентгеновского излучения» В настоящее время производство этих генераторов в ряде стран поставлено на промышленную основу и является перспективным направлением рентгеновского приборостроения.

Вместе с тем, на пути совершенствования генераторов рентгеновского излучения с вращающимся анодом имеется ряд нерешенных теоретических, конструкторских и технологических задач, таких как определение наиболее рациональных способов увеличения мощности рентгеновских трубок и улучшения ряда других параметров, расширяющих возможности аппаратов, повышения уровня автоматизации, надежности, технологичности, эргономики и т.д. Решение этих проблем представляет собой актуальную задачу, непосредственно связанную с прогрессом во многих областях науки и техники.

Настоящая работа посвящена разработке мощного генератора с рентгеновской трубкой с вращающимся анодом. В ней рассмотрены теоретические, экспериментальные, конструкторские и технологические аспекты наиболее важных проблем, касающихся создания таких аппаратов.

Основное внимание в данной работе уделено задаче повышения номинальной и удельной мощности рентгеновской трубки, представляющей наибольший интерес. С этой целью разработаны теоретические основы конструирования вращающихся анодов: решена задача расчета температурного поля мишени и мощности рентгеновской трубки, произведен анализ зависимости этих величин от теплофизичес-ких и геометрических параметров анода и условий его работы, оценена целесообразность того или иного пути увеличения нагрузочной способности трубки.

Рассмотрены также проблемы получения и фокусировки высокопервеансного электронного пучка в рентгеновской трубке, получены аналитические выражения для расчета интенсивности характеристического рентгеновского излучения. Для анализа задачи повышения надежности рентгеновской трубки произведен расчет термических условий работы вакуумного уплотнения вращающегося вала анода.

Экспериментальные исследования рентгеновской трубки с вращающимся анодом проведены в объеме, необходимом для анализа достоверности выводов, полученных теоретическим путем. Они включают в себя экспериментальное определение параметров электронно-оптической системы рентгеновской трубки (размеров фокусного пятна, функции распределения плотности электронного тока в фокусном пятне, эмиссионной способности электронно-оптической системы и др.) и их зависимость от геометрических параметров рентгеновской трубки и режимов ее работы. В процессе исследований теплового режима мишени измерялась ее температура в области фокусного пятна, проводились испытания анодов различных конструкций на предельно допустимую тепловую нагрузку. Определялись также параметры рентгеновского излучения. Исследовались вопросы надежности и долговечности наиболее важных узлов рентгеновской трубки. Полученные экспериментальные данные послужили основой для оценки правильности теоретических выводов.

Основные результаты научно-исследовательской работы нашли применение при разработке, конструировании и изготовлении аппарата с острофокусной рентгеновской трубкой с вращающимся анодом АРТВА-2,0. Описание его конструкции, технологических особенностей, показателей назначения и областей применения дано в заключительной главе.

Обобщая итоги теоретических и экспериментальных исследований, опыта конструирования и эксплуатации мощных генераторов рентгеновского излучения с вращающимся анодом, рассмотренные в настоящей работе, можно сформулировать следующие научные положения.

1. Наибольшее относительное увеличение интенсивности рентгеновского излучения за счет повышения номинальной мощности трубок с вращающимся анодом, имеющим конвективное охлаждение, достигается: для острофокусных трубок - преимущественно при увеличении частоты вращения анода; для трубок с большими размерами фокусного пятна - в основном за счет увеличения наружного диаметра анода и теплоотдачи его внутренней поверхности; причем, оптимальные соотношения этих величин, при которых номинальная мощность трубки достигает максимального значения, определяются из условия экстремума функциональной зависимости критического коэффициента теплоотдачи от произведения диаметра анода на частоту его вращения.

2. Использование в узле передачи вращения к аноду в качестве вакуумного уплотнения вала, при частоте его вращения 3000 -4000 об/мин, двух резиноармированных манжет вместо одной, расположенных таким образом, что расстояние между ними по крайней мере в пять раз превышает ширину их контакта с валом, позволяет увеличить срок службы уплотнений со 100 - 150 до 1500

2000 часов.

3. Повышение износоустойчивости мишени, стабильности излучения во времени и номинальной мощности рентгеновской трубки с вращающимся анодом может быть достигнуто, при прочих равных условиях, применением специальной конструкции внутренней полости анода, в которой созданы необходимые условия для теплообмена в двухфазном режиме развитого пузырькового кипения теплоносителя на внутренней поверхности мишени, обеспечивающего более равномерное распределение температурного поля наружной поверхности анода и снижение его градиентов в области фо^сного пятна.

Основные результаты диссертационной работы могут быть сформулированы следующим образом.

Рассмотрены проблемы получения и фокусировки высокоперве-ансного ленточного пучка электронов, определена схема электронно-оптической системы рентгеновской трубки, позволяющей получать такие пучки и произведен расчет этой системы методом траекторно-го анализа. Результаты расчетов и экспериментальных исследований, определивших основные параметры и технические возможности электронно-оптической системы, позволили сконструировать ЭОС, обеспечивающие получение заданных рентгенооптических параметров для аппарата АРТВА-2,0, имеющие, в отличие от большинства зарубежных трубок, плавную регулировку размеров фокусного пятна, позволяющие сохранять мощность трубки на уровне ее номинального значения при изменении анодного напряжения в широких пределах и стабильно работающие в условиях невысокого вакуума, характерного для разборных рентгеновских трубок с вращающимся анодом.

Имеющиеся в ранее публиковавшихся работах решения одной из наиболее важных задач - анализа теплового режима мишени вращающегося анода и связанной с ним задачи определения номинальной мощности рентгеновской трубки - не позволяют произвести всестороннее рассмотрение этих проблем и получить научно обоснованные рекомендации по повышению нагрузочной способности анодов, поскольку, как показано, эти решения справедливы только для некоторых частных случаев и не учитывают ряда важных особеностей физической картины, в частности, конвективного характера теплоотвода от внутренней поверхности мишени. В диссертационной работе представлено полученное впервые решение задачи о нагревании вращающегося анода с учетом всех факторов, оказывающих влияние на его тепловой режим, на основе которого, с помощью разработанной программы, произведен анализ влияния этих факторов на температурное поле мишени и номинальную мощность рентгеновской трубки. Анализ позволил исследовать общий характер теплового процесса, а также его важнейшие особенности, являющиеся критериями целесообразности того или иного способа повышения нагрузочной способности анода. Результаты теоретического исследования дали возможность определить наиболее рациональные пути увеличения номинальной мощности трубки как в виде общих, так и в виде конкретных рекомендаций, которые легли в основу технических решений, реализованных в конструкции аппарата с острофокусной рентгеновской трубкой с вращающимся анодом АРТВА-2,0.

Важной задачей при разработке трубок и постановке экспериментов является определение интенсивности характеристического излучения. В настоящее время не существует достаточно простых формул для таких расчетов, хотя влияние отдельных факторов на величину интенсивности изучено довольно подробно. Приведенные в работе несложные выражения для расчета интенсивности характеристического К-излучения рентгеновских трубок, полученные впервые, путем обобщения известных теоретических положений, позволяют с достаточной для практических целей точностью вычислять интенсивность излучения любых рентгеновских трубок, что подтверждается хорошим совпадением результатов расчетов и экспериментов.

Специфической задачей проектирования разборных рентгеновских трубок с вращающимся анодом является обеспечение необходимых термических условий работы вакуумных уплотнений вала анода, в качестве которых используются резиноармированные манжеты, поскольку предельная рабочая температура для резины невелика и от нее зависит эластичность манжет и, следовательно, качество герметизации и срок службы уплотнений. Представленное в работе решение задачи расчета теплового режима устройства, содержащего произвольное количество манжет, уплотняющих вращающийся вал анода с конвективным охлаждением его внутренней стенки, получено впервые. На основе анализа теплового режима узла передачи вращения в вакуумный объем, произведенного с помощью разработанной программы для ЭВМ, найдены зависимости температуры от основных геометрических и теплофизических параметров, которые позволили определить необходимые критерии выбора такого сочетания этих факторов, которое обеспечивало бы наиболее благоприятные термические условия для манжет. Реализация полученных рекомендаций при разработке узла вращения анода рентгеновской трубки аппарата АРТВА-2,0 позволила существенно, более чем в 10 раз, увеличить срок службы уплотнений по сравнению с ранее разрабатывавшимися устройствами, что значительно улучшило параметры аппарата в целом.

В процессе экспериментальных исследований мощной рентгеновской трубки с вращающимся анодом был выполнен ряд методических разработок, относящихся, в частности, к определению размеров фокусного пятна на аноде, наибольшей температуры рабочей поверхности мишени, интенсивности характеристического К-излучения трубки и некоторые другие. Объем и точность информации, полученной в результате испытаний экспериментальной установки и серийного генератора с вращающимся анодом, позволяют достаточно объективно оценить достоверность теоретических исследований, правильность сделанных на их основе выводов и эффект от их практической реализации, довольно полно определить технические возможности, параметры и характеристики разработанной аппаратуры.

Результаты теоретических и экспериментальных исследований, а также технические решения, полученные в процессе выполнения данной работы, использованы при создании мощного генератора рентгеновского излучения - аппарата с острофокусной рентгеновской трубкой с вращающимся анодом АРТВА-2,0.

Аппарат, по сравнению с такими современными зарубежными аналогами, как GX -21 ("Эллиотт", Англия) и RZf-200 ("Ригаку", Япония), отличает высокая удельная мощность (яркость) в острофокусном режиме - 15 кВт/мм2; возможность плавной регулировки размеров фокусных пятен ("острого" - 0,1x1 мм и "нормального" - 0,5x5 мм); сохранение номинального значения мощности трубки (1,5 кВт в острофокусном режиме и 5 кВт при нормальном фокусном пятне) при изменении анодного напряжения в широких пределах - от 25 до 60 кВ; высокая стабильность анодного напряжения и тока - до ± 0,1 %; сравнительно небольшая потребляемая мощность, расход воды и габариты. АРТВА-2,0 характеризуется высоким уровнем автоматизации систем контроля и управления, надежностью, безопасностью. Предназначен для широкого крута рентгено-физических исследований различными методами в разных областях современной науки, техники и промышленности. Внедрение аппарата АРТВА-2,0 приносит ощутимый экономический эффект.

Полученные результаты теоретического и экспериментального решения проблем, связанных с созданием мощных генераторов рентгеновского излучения с вращающимся анодом, легли в основу дальнейших работ в этом направлении,

В настоящее время проводится перспективная научно-исследовательская работа по разработке рентгеновского генератора с трубкой, рассчитанной на удельную нагрузку 25 - 30 кВт/мм2.

В заключение, автор выражает искреннюю благодарность научному руководителю, доценту С.А. Иванову за неоценимую помощь в работе, доценту И.А. Назарову - за консультации по математике и программированию, коллегам Ю.Б. Глушанку и Э.В. Кузьмину - за полезные дискуссии и весьма ценные советы.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Таким образом, в представленной работе рассмотрены узловые проблемы разработки мощных генераторов рентгеновского излучения с вращающимся анодом.

1. Александров Ю.М., Гревцев Н.В., Кривоспицкий А.Д. и др. Использование синхротронного излучения в рентгеновской литографии.- Электронная промышленность, 1980, вып. 5, с. 41-46.

2. Арнольд Л.В., Михайловский Г.А., Селиверстов В.М. Техническая термодинамика и теплопередача. М.: Высш. школа, 1979.- 444 с.

3. Арсенин В.Я. Методы математической физики и специальные функции. М.: Наука, 1974. - 432 с.

4. Афонин В.П., Гуничева Т.Н. Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ горных пород и минералов. Новосибщюк: Наука, Сибирское отд., 1977. - 260 с.

5. Бейтмен Г., Эрдейи А. Высшие трансцендентные функции. — М.: Наука, 1974. т. 2, 295 с.

6. Беляев Н.М., Рядно А.А. Методы нестационарной теплопроводности. М.: Высш. шкода, 1978. - 328 с.

7. Бландел Т., Джонсон Л. Кристаллография белка. М.: Мир, 1979. - 620 с.

8. Бокий Г .В., Паракойшиц М.А. Рентгеноструктурный анализ.- М.: Изд. МГУ, 1964. 489 с.

9. Боков Ю.С., Криво спицкий А.Д., Лаврицев В.П. и др. Рент-генолитография как новый метод получения изображения с высокой разрешающей способностью. Тр. Моск. физ.-тех. ин-та, 1977,12, с. 227-233.

10. Бричкин Л.А., Даринский Ю.В., Пустыльников Л.М. Температурное поле в подом ограниченном цилиндре от источника, движущего ся по произвольному закону. ИМ, 1972, т. 22, № 3, с. 537-543.

11. Бастров Ю.А., Иванов С.А. Ускорители и рентгеновские приборы. М.: Bscs, шкода, 1976. - 206 с.

12. Ватсон Г.Н. Теория Бесселевых функций. М.: Изд. ин. литературы, 1949. - 798 с.

13. Верещагин Л.Ф., Кабалкина С.С. Рентгеноструктурные исследования при высокой давлении. М.: Наука, 1979. -174 с.

14. Владимиров B.C. Уравнения математической физики. -М.: Наука, 1981. 512 с.

15. Глушанок Ю.Б., Хатапова P.M., Ведерников Ю.Н. Источник рентгеновского излучения с вращающимся анодом АРТВА-5,0.- В сб.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л.: Машиностроение, 1979, вып. 21, с. 87-94.

16. Гордов А.Н. Основы пирометрии. М.: Металлургия, 1964.

17. Гревцев Н.В., Кривоспицкий А.Д., Семин Ю.Ф. Источники "мягкого" рентгеновского излучения в промышленном производстве СБИС. Электронная промышленность, 1980, вып. 5, с. 36-41.

18. Денискин Ю.Д., Чижунова D.A. Рентгеновские диагностические трубки и их тепловые режимы. М.: Энергия, 1970. - 152с.

19. Иванов Г «С. К истории развития рентгеноструктурного анализа в СССР. В сб.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. - Л.: Машиностроение, 1980, вып. 24, с. 41-49.

20. Захаров О.П. Установка для изучения начальной стадии радиационных повреждений в твердых телах с помощью дифракции рентгеновских лучей. Обнинск: Изд. физ.-энерг. ин-та, I960.

21. Змейков В.Н., Устименко Б.П. и др. Интенсивность турбулентности и теплоперенос в круговых потоках между двумя одновременно вращающимися цилиндрами. В сб.: Теплофизика и радиационная физика. Алма-Ата, 1979, т. 2, с. 127-129.

22. Иванов С.А., Кириенко С.В. и др. Расчет температурного поля вращающегося полого цилиндра, бомбардируемого пучком электронов высокой энергии. Всес. н.-и. ин-т науч. приборостроения., Л., 1981.

23. Иванов С.А., Кириенко С.В. Расчет интенсивности характеристического излучения рентгеновских трубок. Электронная техника. Сер. 4, 1984, вып. 3, с.

24. Иванов С.А., Кириенко С.В. Расчет нагревания вращающегося анода мощной рентгеновской трубки. Электронная техника. Сер. 4, 1981, вып. 6, с. 41-46.

25. Иванов С.А. Расчет нагревания анода рентгеновской трубки цилиндрической конструкции. Электронная техника. Сер. 4, 1978, вып. 4, с. 43-46.

26. Иванов С.А. Рентгеновские трубки для кристаллографических исследований. Измерения, контроль, автоматизация, 1980, * 7/8, с. 33-37.

27. Иванов С.А., Трегубов В.Ф., Щукин Г.А. Расчет и исследование электронно-оптических систем рентгеновских трубок с магнитной фокусировкой. Электронная техника. Сер. 4, 1978, вып. 4, с. 47-51.

28. Каули Д. Физика дифракции. М.: Мир, 1979. - 432 с.

29. Кацман Ю.А. Электронные лампы: теория, основы расчета и проектирования. М.: Высш. школа, 1979. - 301 с.

30. Кириенко С.В. Анализ теплового режима вакуумных уплотнений вращающихся элементов электронных приборов. Электронная техника. Сер. 4, 1981, вып. 6, с. 46-48.

31. Кириенко С.В. Влияние теплообмена на номинальную мощность рентгеновских трубок с вращающимся анодом. Электроннаятехникам Сер, 4, 1983, вып. 2, с. 30-32.

32. Кириенко C.B., Кузьмин Э.В., Синцов А.А. Исследование теплового режима вакуумного уплотнения вращающегося вала рентгеновской трубки. Всес. н.-и. ин-т науч. приборостр. , Л.1, 1981.

33. Кириленко А.Г., Кривоспицкий А.Д., Семин Ю.Ф. Рентгено-литография в микроэлектронике: Обзор. Зарубежная радиоэлектроника, 1980, № I, с; 36-56.

34. Коэффициенты ослабления рентгеновского излучения / А.Л.Запысов, А. С.Гане ев, И.М.Израилев и др. Л.: ЛНПО "Буревестник", 1975. - 134 с.

35. Крейц Ф. Конвективный теплообмен во вращающихся системах. В сб.: Успехи теплопередачи. - М.: Мир, 1971, с." 266.

36. Кронгауз А.Н., Клюев B.B. Физические основы рентгеновских методов контроля и диагностики. В об.': Рентгенотехникам -М-.: Машиностроение, 1980. - кн. I, 431 с;

37. Курант Р., Гильберт Д. Методы математической физики. -М.: Гостехиздат, 195П т.1 I, 476 е.* - т.: 2 , 544 с.

38. К^тателадзе С.С. Основы теории теплообмена. М.": Атом-издат, 1979. - 416 ci

39. К^тепов Л.М., Стерман Л.С., Сткшш Н.Г. Гидродинамика и теплообмен при парообразовании. М.: Высш. школа, 1977. -352 с.

40. Лаймен Д.' Развитие современных методов литографии. -Электроника, 1979, т. 52, № 8, с. 26-44.41Лыков А.В. Теория теплопроводности. М.: Высш. школа," 1967. - 599 с.

41. Молоковский С.И., Сушков А.Д. Интенсивные электронные и ионные пучки. Л.: Энергия, 1972. - 272 с.

42. Мишкинис Б.Я., Оке И.П., Семенов С.Г. Математическая модель для расчета тепловых процессов на вращающемся аноде рентгеновской трубки. Электронная техника. Сер. 4, 1981, вып. 5, с. 33-37.

43. Мясников Ю.Г., Коняк Н.И. Методы рентгеноструктурного анализа и аппаратура. В сб.: Рентгенотехника. - М.: Машиностроение, 1980. - кн. 2, 383 с.

44. Пинес Б.Я. Острофокусные рентгеновские трубки и прикладной рентгеноструктурный анализ. М.: Гостехиздат, 1955. -269 с.

45. Подгорный В.Н., Шварцман А.З. Определение температуры наиболее нагретых точек вращающегося анода рентгенодиагности-ческих трубок экспериментальным путем. В кн.: Основные методы и средства неразрушающего контроля качества изделий. - М.,1978, с. 29-43.

46. Поройков И.В. Рентгенометрия. М.; Л.: Гостехиздат, 1950. - 383 с.

47. Пошехонов В.П., Соколовский Э.И. Тепловой расчет электронных приборов. М.: Высш. шкода, 1977. - 159 с.

48. Раков В .И. Электронные рентгеновские трубки. Л.; М.: Госэнергоиздат, 1952. - 260 с.

49. Редкоземельные металлы / под ред. Л.Н.Комиссаровой. -М.: Иностр. лит., 1957. 150 с.

50. Рид С. Электронно-зондовый микроанализ. М.: Мир,1979. 424 с.

51. Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. М.: Энергия, 1972. - 456 с.

52. Свойства и применение металлов и сплавов для электровакуумных приборов / под ред. Р.А.Нилендера. М.: Энергия,1973. 336 с.

53. Синхротронное излучение. Свойства и применение / под ред. К.Нунца. М.: Мир, 1981. - 528 с.

54. Смольский И.Л. Возможности п ui situ " рентгеновской топографии при исследовании роста 1фисталлов из растворов. - В сб.: 4-я международная шкода специалистов по росту кристаллов. Оуздаль, 1980. - М., 1980. - т. 2, с. 54-69.

55. Франк Ф., Мизее Р. Дифференциальные и интегральные уравнения математической физики. М.: ОНТИ, 1937. - 994 с.

56. Хараджа Ф.Н. Общий курс рентгенотехники. Л.; М.: Энергия, 1966. - 568 с.

57. Хьюз Ф. Рентгенолитография способ изготовления дешевых СБИС с субмикронными размерами. - Электроника, 1979, т. 51, № 23, с. 26-36.

58. Чечеткин А.В. Высокотемпературные теплоносители. -М.: Энергия, 1971. 496 с.

59. Ayers G.L., Huang T.C., Parrish W. High-speed Z-ray analysis.- J. Appl. Crystallogr., 1978, vol. 11, n° 4, p. 229 -233.

60. Brown D.S., Wetton R.E. Recent advances in the study of polymers by small angle Z-ray scattering.- In: Develop, polymers charact. London, 1978, pt. 1, p. 157 203.

61. Chikawa J., Fujlmoto I., Endo S. et al. Z-ray television topography for quick inspection of Si crystals.- J. ELectro-chem. Soc., 1973, vol. 120, ne 3, p. 96 97.

62. Chikawa J., Fujimoto I. Video-display technique for diffraction topography.- NHK Techical monograph, 1974» n° 23.

63. Chikawa J., Fujlmoto I. Z-ray diffra ction topography with a vldicon television image system.- Appl. Phys. Lett., 1968, vol. 13, n° 11, p. 387 389.

64. Chikawa J., Shirai S. In-situ Z-ray topographic observation of crystal growth.- Solid State Phys», 1976, vol. 11,n° 3, p. 133 141.

65. Chikawa J. technique for the video display of Z-ray topographic images and its application to the study of crystal growth.- J. Cryst. Growth, 1974, vol. 24/25, p. 61 68.

66. Davies D.A., Mat hi en son A.M., Stiff Gr.M. Rotating anode Z-ray genera tor.- Rev. Sci. Instrum., 1959» vol.30, n° 6, p.448 491.

67. Gaines J*L*, Hansen H*A* An improved annular-shaped electron gun for an X-ray generator*- Hucl. Instrum. Methods, 1975, vol. 126, n° 1, p. 99 101.

68. Hartmann W*, Markewitz G., Rettenmaier U. et al. High resolution direct-display X-ray topograpy.- Appl. Phys. bett., 1975, vol. 27, n° 5, p. 308 309.

69. Haubold H.G. Application of high-intensity rotatinganode X-ray tubes for diffuse X-ray scattering studies of crystal defect structures.- Eroc. EDRA. Symp. X-Gamma-Ray Sources Appl., 1976, p. 255 258.

70. Heinrich E.F.J. Quantitative electron probe microanalysis. -Washington, 1968.- 298 p.

71. Kataoka K. Heat/mass transfer in Taylor vortex flow with constant axial flow rates.- Int. J. Heat & Mass transfer, 1977, vol. 20, n° 1, p. 57.

72. Kuo С.J., Iida H.T., Taylor J.H. et al. Heat transfer in flow through rotating ducts.- J. Heat Transfer, 1960, vol. 82, n° 2, p. 139 151.

73. Lang A.R. Techniques and intexpretation In X-ray topography.- Diffr. Imaging Mater. Tech. Sci., 1978, vol. 2, p. 623- 714.

74. Liddel D. Exposing electronic device failures with X-rays.- Circuits Manuf., 1979, vol. 19, n° 9, p. 58 60.

75. Longley W., Miller R. A simple rotating anode X-ray generator.- Rev. Sci. lustrum., 1975, vol. 46, n° 1, p. 30 32.

76. McMullan J.Т., Montgomery V.J. The installation of an automatic X-ray diffractometer on a rotating anode generator. -Acta Crystallogr., 1975, vol. A31, pt. 3, p. 232 233.

77. M&Ller A. A "spinning target X-ray generator" and itsAinput limit.- Proc. Roy. Soc., 1929, vol. 125, n° A798, p. 507- 516.

78. Muller A., Clay R.E. The 50-kW X-ray generator at the Davy Faraday laboratory of the Royal Institution.- J. Inst. Electric Engineers, 1939, vol. 84, n° 506, p. 261 268.

79. Muller A. Further estimates of the input limits of X-ray generators.- Proc. Roy. Soc., 1931, vol. 132, n° A820, p. 646 649.

80. Phillips W.C. longer filament lifetime for rotating anode X-ray ma chines using a beam-deflecting magnet*- J* Appl. Crystallogr., 1980, vol. 13, n° 3, p. 338.

81. System for quicly observing defects in crystals developed by NHK.- JEE, 1971, a° 56, p. 64.

82. Wardly 6.A., Peder R., Hofer D. et al. X-ray lithogra* phy technology update.- Circuits Manuf., 1978, vol. 18, n° 1, p. 30 40.

83. Wardly G.A., Munro E., Scott R« High brightness ring cathode rotating anode source for X-ray lithography.- Int. Conf.on Microlithogr. Paris, 1977, p. 217 220.

84. Watts B.K. X-ray lithography.- Solid State Technol., 1979, vol. 22, n° 5, p. 68 71.

85. Wittry D.B., Messenger R.S., Rao-Sahib T.S. et al. Novel "heat-pipe" rotating anode for X-ray lithography.- J. Vac. Sci/and. Technol., 1979, vol. 16, n° 6, p. 1946 1948.

86. X-ray optics and X-ray microanalysis /ed. by H.H.Pa-tee, V.E.Cosslet, A.Engstrom.- N. York: Acad. Press, 1963.

87. Yoneda Y», Horiuchi Т., Ando H. An X-ray generator with high-speed rotating anode.- Oyo Buturi, 1976, vol. 45, n° 6, p. 523 527.

88. Yoshimatsu M., Kozaki S. High brilliance X-ray sources.- In: X-ray optics. Appl. to solids.- Berlin: Springer, 1977, P. 9 33*1. АКТо внедрении результатов диссертационной работы тов. Кириенко С.В.

89. Разработка методов расчета и конструирование мощного генератора рентгеновского излучения с вращающимся анодом"

90. Настоящий акт составлен в том, что в ПО "Научприбор" (г.Орел) принят к серийному производству аппарат с острофокусной рентгеновской трубкой о вращающимся анодом, разработанный ЛНПО "Буревестник" при непосредственном участии тов. Кириенко С.В.

91. В 1983 г. была выпущена первая партия указанных аппаратов в количестве 5 штук, которые посталены в Институт кристаллогафии АН СССР (г. Москва), Киевский государственный университет, ЛНПО "Буревестник" (г. Ленинград).

92. Внедрение в народное хозяйство аппарата АРТВА-2,0 создает ощутимый технический и экономический эффект.

93. При замене базовой модели АРТВА-5,0 экономический эффект от внедрения одного аппарата АРТВА-2,0 (за весь срок службы), с учетом его технической эффективности, преимуществ в эксплуатации, стоимости и т.д., составляет 134,6 тыс. рублей.

94. Планируемый выпуск аппаратов АРТВА-2,0 10 - 15 штук в год.

95. Заместитель главного инженереи1. И.Д.Харитонов

96. Заместитель заведующего K0-I СКВ НП1. И.В.Парилов1. УТВЕРЖДАЮтен^здьного директора1. А.Брытов .1984 г.

97. АКТ об использовании результатовдиссертационной работы тов. Кириенко С.В. "Разработка методов расчета и конструирование мощных генераторов рентгеновского излученияс вращающимся анодом"

98. В настоящее время завершен этап теоретических, экспериментальных и технико-экономических исследований, результаты которых отражены в отчете (номер гос. регистрации 01830061970).

99. Как показывают предварительные расчеты, экономический эффект от внедрения мощного рентгеновского генератора типа ГРОМ-3 составит 135,9 тысяч рублей.

100. Экономический эффект, приходящийся на проводимую НИР "Исследование тепловых характеристик вращающихся анодов мощных генераторов рентгеновского излучения", составляет 203,8 тысяч рублей.

101. Зав. отделом Зав. отделом Зав. отделом1. Зав. отделом