автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.05, диссертация на тему:Разработка и моделирование элементов фото- и рентгеночувствительных БИС

Введение.

Актуальность темы.

Цель работы.

Научная новизна.

Практическая ценность.

Положения, выносимые на защиту.

Практическая значимость.

Апробации работы.

Публикации.

Структура и объем работы.

Глава 1. Обзор мирового уровня в области фото и рентгеночувствительных СБИС.

1.1. Фоточувствительные КМОП-фотодиодные (КМОП-ФД) матрицы.

1.2. Интеллектуальные КМОП-ФД камеры с процессорной обработкой изображений.

1.3. Фоточувствительные СБИС на ПЗС.

1.4. Рентгеночувствительные приемники.

1.5. Системы автоматизированного проектирования и моделирования.

Выводы.

Глава 2. Разработка математических моделей и методологии оптимизации элементов КМОП-ФД фотоприемника.

2.1. Разновидности ячеек.

2.2. Математические модели ячейки

2.3. Функция передачи модуляции.

2.4. Модель топологии ячейки.

2.5. Оптимизация ячейки.

Выводы.

Глава 3. Модели рентгеночувствительности ФПЗС и КМОП-ФД и методы ее повышения.

3.1. Исследование моделей поглощения рентгеновского излучения.

3.2. Моделирование рентгеночувствительности в ПЗС и КМОП-ФД.

3.3. Повышение рентгеночувствительности с помощью многослойных гибридных микросборок.

3.4. Разработка экспериментального макета.

Выводы.

Глава 4. Схемы КМОП-ФД для внутрикристальной обработки изображений.

4.1. Основные задачи обработки изображений.

4.2. Реализация межкадрового вычитания.

Выводы.

Глава 5. Система моделирования фото и рентгеночувствительных схем.

5.1. Требования к набору симуляторов. Программное обеспечение для моделирования.

5.2. Разработка симулятора рентгеночувствительности.

5.3. Интеграция набора симуляторов в специализированную систему проектирования фоточувствительных СБИС.

5.4. Применения системы для проектирования фото и рентгеночувствительных СБИС.

Выводы.

Актуальность темы

Современное состояние в области фоточувствительных СБИС характеризуется дальнейшим развитием фоточувствительных приборов с зарядовой связью (ФПЗС) и интенсивным ростом фотодиодных матриц с внутрикристальным управлением, обработкой изображения и АЦП (КМОП-ФД БИС). Рекордные параметры ФПЗС следующие: матричные приборы имеют формат 5000x10000 (50М) ячеек, линейные ФПЗС имеют 14000 ячеек и несколько выходов.

КМОП-ФД появились в результате развития обычных фотодиодных матриц, координатная выборка в которых осуществлялась с помощью n-МОП дешифраторов и регистров, сформированных на этом же кристалле. Высокий уровень и широкое распространение КМОП-технологии в настоящее время позволили реализовать фотодиодные матрицы с активными ячейками. В этих приборах в каждой ячейке содержится истоковый повторитель, который усиливает сигнал по мощности при его считывании на шину столбца (коэффициент передачи по напряжению немного меньше 1). Существуют ячейки, содержащие более сложные схемы. Дополнительно на кристалле (на каждый столбец) формируются схемы двойной коррелированной выборки, усилители с программируемым коэффициентом усиления, АЦП и т.д. Таким образом, реализуется однокристальная камера с цифровым 10 разрядным выходом.

Разработаны интеллектуальные «разумные» однокристальные КМОП-ФД камеры, которые дополнительно содержат процессор с памятью, что позволяет не только воспринимать изображение, но и обрабатывать его по требуемым алгоритмам в реальном масштабе времени.

Сравнение ФПЗС и КМОП-ФД с точки зрения применения в различных системах показывает следующее. Оптоэлектронные системы с высоким разрешением, высокой однородностью фоточувствительности и низким уровнем шумов должны строиться на базе ФПЗС. К таким системам относятся профессиональные цифровые видеокамеры, медицинские рентгеновские и эндоскопические приемники, наземная и космическая астрономия, космические системы дистанционного зондирования Земли (ДЗЗ) [1].

КМОП-ФД по сравнению с ФПЗС имеют следующие недостатки: высокий геометрический шум (обусловленный формированием в ячейке нескольких управляющих шин и нескольких МОП транзисторов), низкая фоточувствительность только 30 - 35 % площади ячейки является прозрачной для света), высокий темповой ток, трудности уменьшения размеров ячейки [2]. Поэтому для улучшения характеристик проводятся интенсивные исследования схемотехники, технологии w конструкции ячейки и фоточувствительной области. Цифровые и аналоговые блоки, формируемые на том же кристалле, в значительной степени являются стандартными.

Одной из основных характеристик фоточувствительного прибора на КМОП является фактор заполнения, т.е. отношение фоточувствительной области к обще-; площади ячейки. Важной задачей проектирования КМОП-ФД является увеличение-площади фотодиода и, соответственно, фактора заполнения.

Хорошо развитая и отлаженная КМОП технология позволила ведущим полупроводниковым компаниям мира разрабатывать и успешно производить крупноформатные (более 1000x1000 ячеек) цифровые КМОП-ФД. Необходимо отметить, что для производства качественных КМОП-ФД стандартный КМОП процесс должен быть модифицирован и усложнен за счет введения тонких дополнительных операций легирования в область фотодиода. Тем не менее, прогресс в уменьшен-,-г.; проектной нормы КМОП технологии полностью применим для изготовления КМОП.

ФД.

Важной областью применения фоточувствительных приборов в медицине, астрономии и дефектоскопии является использование рентгеновского диапазона излучения. Из-за низкого коэффициента поглощения фотонов рентгеновского диапазона в подложке полупроводника рентгеночувствительность оказывается низкой. Для ее увеличения используется пленка специализированного материала . фосфора (CsJ), который преобразует рентгеновские фотоны в фотоны видимого диапазона. В настоящее время выпускаются рентгеночувствительные ПЗС как с прямой засветкой, так и с пленкой фосфора. Исходя из всего этого, задача повышение рентгеночувствительности ПЗС является актуальной.

Одной из основных и сложных задач обработки видеоинформации является обнаружение движущихся объектов на изображении. Разработка устройств фильтрации (обработки) изображений на ПЗС и КМОП-ФД является перспективно1/ задачей, так как эти устройства могут быть сформированы на одном кристалле с фотоприемником. Данное обстоятельство во многих практических случаях позволит повысить эффективность и резко снизить стоимость систем обработки изображений, которые в настоящее время строятся на базе ЭВМ. В системах с ЭВМ видеосигнал, снимаемый с выхода фотоприемника, по каналам связи поступает на АЦП и только после этого передается и обрабатывается на ЭВМ. Недостатками являются высоки:;: требования к производительности ЭВМ и скорости передачи данных по каналу связи ы высокая стоимость такой аппаратуры. Распространенным видом аналоговой фильтрации является межкадровое вычитание сигналов, которое позволяет выделять движущиеся фрагменты на изображении. Межкадровое вычитание было реализовано на фоточувствительных ПЗС БИС [3]. Эта задача является также актуальной для КМОП-ФД.

При проектировании фоточувствительных БИС и их элементов (ячеек) используется универсальные и специализированные САПР, причем более эффективными являются специализированные средства. Для моделирования различных характеристик ПЗС был реализован комплекс отдельных программ (ча языке Фортран), который обеспечивает расчет и моделирование спектральных, электрофизических и фотоэлектрических характеристик ПЗС [4]. Недостатком этого комплекса является необходимость использования отдельных программ. Для ввода исходных данных используются текстовые файлы. Программы связывает между собой разработчик, которому приходится вручную вводить данные в каждую из программ. Комплекс состоит из разрозненных программ, не имеет единого ядра и программного интерфейса, а также ПО для построения топологии и сечений, расчета рентгеночувствительности и моделирования КМОП-ФД ячейки. Создание: программного ядра объединяющего разнородное специализированное ПО позволит улучшить характеристики этого комплекса и упростить его использование.

Таким образом, тема диссертации, посвященная разработке и моделированию элементов фото и рентгеночувствительных БИС, является актуальной.

Цель работы

Целью диссертационной работы является создание моделей фото- и рентгеночувствительных элементов, разработка элементов с межкадровым вычитанием, создание методологии оптимального проектирования КМОП-ФД элементов, программного ядра и интерфейса специализированной системы для автоматизации их проектирования.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

1. Разработать математическую модель и методологию оптимизации КМОП-ФД ячейки;

2. Разработать математическую модель, симулятор и конструктивные методы увеличения рентгеночувствительности многокристального ПЗС и КМОП-ФД БИС;

3. Разработать схемы на КМОП-ФД для межкадрового вычитания; 6

4. Разработать ядро и программный интерфейс автоматизированной системы проектирования фото- и рентгеночувствительных БИС и внедрить ее в промышленность.

Научная новизна

1. На базе разработанных аналитических и численных моделей предложена методология оптимизации КМОП-ФД ячейки, состоящая в следующем: фоточувствительность или разрешающая способность выбирается в качестве целевой функции, ограничения накладываются на фотоэлектрические топологические характеристики, переменными являются размеры транзисторов;

2. Разработана математическая модель рентгеночувствительности многокристального ПЗС. Предложен новый конструктивный метод, позволяющий значительно (в 50-70 раз) повысить рентгеночувствительность ПЗС и КМОП-ФД БИС по сравнению с приемниками, покрытые пленкой CsJ;

3. Предложена новая схема КМОП-ФД ячейки, реализующая межкадровое вычитание за счет промежуточного хранения зарядов соседних кадров в элементе с плавающим затвором, что обеспечивает выделение движущихся фрагментов на изображении и сокращение объема данных;

4. Разработана структура системы проектирования фоточувствительных БИС, включающая в себя программное ядро, блоки вычерчивания топологии и задания технологического маршрута, симулятор рентгеночувствительности и удобный для разработчика интерфейс.

Практическая ценность

1. Разработанная методология оптимального проектирования КМОП-ФД ячейки позволяет максимизировать фоточувствительность или разрешающую способность элементов КМОП-ФД БИС.

2. Предложенная многослойная гибридная микросборка позволяет в 50-70 раз повысить рентгеночувствительность ПЗС и КМОП-ФД БИС по сравнению с приемниками, покрытые пленкой CsJ и в несколько раз - по сравнению с приемниками с прямой засветкой.

3. Предложенная КМОП-ФД схема ячейки с межкадровым вычитанием позволяет выделять движущиеся фрагменты на изображении в фокальной плоскости кристалла в реальном масштабе времени.

4. Разработано ядро и программный интерфейс системы проектирования фото и рентгеночувствительных БИС внедренной в промышленность.

Положения, выносимые на защиту

1. Фоточувствительность и разрешающая способность КМОП-ФД БИС определяются проектной нормой, размерами ячейки и фотодиода. Максимальная фоточувствительность определяется из решения задачи нелинейного программирования при ограничениях на топологические размеры ячейки, времена считывания и восстановления, отношение сигнал/шум и функцию передачи модуляции.

2. Рентгеночувствительность многокристальных приборов ФПЗС и КМОП-ФД БИС увеличивается практически линейно при увеличении числа кристаллов в вертикальной микросборке.

3. Последовательное считывание и промежуточное хранение зарядов соседних кадров в элементе с плавающим затвором позволяет аппаратно реализовать межкадровое вычитание.

Практическая значимость

1. Выполнена оптимизация фоточувствительности КМОП-ФД ячеек с проектными нормами 0,5 и 0,25 мкм для перспективных оптоэлектронных модулей малогабаритных космических аппаратов нового поколения (НИР «Транш», ФГУП «ОПТЭКС»),

2. Симулятор рентгеночувствительности был использован при расчете характеристик и проектировании многокристального приемника на ПЗС с ячейкой 7x7 мкм с повышенной рентгеночувствительностью (ГУП НПП «Пульсар»).

3. Фрагменты системы моделирования фоточувствительных БИС внедрена в ГУП НПП «Пульсар» и использована при разработке линейных (4096 ячеек) и матричных (765x580 ячеек) ФПЗС нового поколения в рамках ОКР «Пассат», ОКР «Панадол», НИР «Перспектива-ОКО» и НИР «Карта-МЛ-П».

4. Результаты по оптимизации КМОП-схем использованы в учебном процессе МИИТа и МИРЭА в рамках НИР (шифр Ф0078/889) по программе «Интеграция».

Апробации работы

Основные результаты работы доложены на следующих конференциях: XI! Научно-техническая конференция «Пути развития телевизионных фотоэлектронных приборов и устройств на их основе» (Санкт-Петербург, ОАО ГУП «Электрон», июнь 2001 г.) 1-я и 2-я международные конференции "Photonics for Transportation", 1999 г. (Чехия) и 2001 г. (Сочи), 3-я и 4-я конференции "Микро и наноэлектроника" 2001, 2002 г. (С.-Пб.), научная сессия МИФИ 2002, 2003 гг. (Москва, МИФИ), международная конференция «Photonics Prague» 2002 г. (Чехия, 2002) и 10-я международная конференция «Smart Structures and Materials» (США, 2003).

Публикации

По теме диссертации автором опубликовано 13 работ из них 2 без соавторов, поданы 2 заявки на получение патентов.

Структура и объем работы

Диссертация объемом 13$ страниц состоит из введения, пяти глав н заключения, списка использованных источников и приложения.

Выводы

1. Анализ систем моделирования БИС (Cadence, TCAD) и специальных средств моделирования фоточувствительных БИС на ПЗС (CCD CAD) показал, что они в не полной мере удовлетворяют потребностям разработчика фоточувствительных БИС. Специальные средства моделирования ПЗС используются в виде набора отдельных программ, что затрудняет их применение и требует высокой ^.залификации разработчика.

2. Разработана структура специализированной системы проектирования и моделирования фоточувствительных БИС, включающая в себя программное ядро, которая позволяет использовать существующие программные средства, имеет удобный для разработчика интерфейс, блоки вычерчивания топологии, задания технологического маршрута, построения сечений двух и трехмерных распределений, симулятор рентгеночувствительности и симулятор оптимизации КМОП-ФД БИС.

3. Фрагменты специализированной САПР фоточувствительных БИС внедрены в ГУП НПП «Пульсар» и использованы при разработке линейных (4096 ячеек) и матричных (765x580 ячеек) ФПЗС нового поколения в рамках ОКР «Пассат», ОКР «Панадол», НИР «Перспектива-ОКО» и НИР «Карта-МЛ-П».

4. Симулятор рентгеночувствительности был использован при расчете и проектировании многокристального приемника на ПЗС с ячейкой 7x7 мкм с повышенной рентгеночувствительностью.

С помощью системы моделирования выполнена оптимизация фоточувствительности КМОП-ФД для проектных норм 0,5 и 0,25 мкм в рамках НИР «Транш».

Заключение

Основным научным результатом диссертации является разработка математических моделей фото- и рентгеночувствительных элементов (ячеек), методологии и программного обеспечения для их моделирования и оптимизации, новых схем и структур, позволяющих расширить функциональные возможности БИС на КМОП-ФД и ПЗС и автоматизировать процесс их проектирования.

Новые научные результаты состоят в следующем: Разработаны аналитические модели для расчета фотоэлектрических и топологических параметров типовых ячеек КМОП-ФД, позволяющие проводить их проектирование и оптимизацию по чувствительности, разрешению, динамическому диапазону. Задача оптимизации требуемой характеристики сформулирована и решена в виде задачи нелинейного программирования. 2. Предложена новая многокристальная структура ПЗС в виде вертикальной микросборки, позволяющая значительно (на 2 порядка) повысить рентгеночувствительность. Разработана математическая модель многокристального ПЗС, включающая в себя модели квантовой эффективности, квантового выхода, рентгеночувствительности и динамического диапазона. Это позволило получить зависимость квантового выхода от числа кристаллов и технологических характеристик прибора. Предложена новая схема на КМОП-ФД для межкадрового вычитания, позволяющая вычитать сигналы соседних кадров в каждой ячейке. Данная схема обеспечивает выделение движущихся фрагментов на изображении и сокращение объема данных.

-. Разработана структура и основные фрагменты специализированной системы проектирования и моделирования фоточувствительных БИС, включающей в себя программное ядро, которое позволяет использовать существующие программы, удобный для разработчика интерфейс, блоки вычерчивания топологии, задания технологического маршрута, построения сечений двух и трехмерных распределений, симулятор рентгеночувствительности и симулятор оптимизации КМОП-ФД БИС.

Практические результаты диссертации состоят в следующем: Выполнена оптимизация фоточувствительности КМОП-ФД ячеек с проектными нормами 0,5 и 0,25 мкм в рамках НИР «Транш» (ФГУП «ОПТЭКС») для оптоэлектронных модулей малогабаритных космических аппаратов нового поколения.

Фрагменты специализированной системы проектирования фоточувствительных БИС внедрен в ГУП НПП «Пульсар» и использована при разработке линейных (4096 ячеек) и матричных (765x580 ячеек) ФПЗС нового поколения в рамках ОКР «Пассат», ОКР «Панадол», НИР «Перспектива-ОКО» и НИР «Карта-МЛ-П». Симулятор рентгеночувствительности был использован при расчете характеристик и проектировании многокристального приемника на ПЗС с ячейкой 7x7 мкм с повышенной рентгеночувствительностью.

Результаты по методологии проектирования и оптимизации КМОП-ФД БИС внедрены в учебный процесс МИИТ и МИРЭА в рамках НИР по программе «Интеграция».

1. Titus Н. "Imaging sensors that capture your attention". Sensors, February, 2001.

2. B.A. Шилин, П.А. Скрылёв, Фотоприемные БИС на ПЗС и КМДП-фотодиодных ячейках, 10-я научно-техническая конференция «Современное телевидение», 1920 марта, 2002, Москва

3. П.П.Сычук, Б.А.Копыткин, А.А.Яншин, Д.И.Зарудный, В.А.Шилин, Б.М.Хотянов, «Разработка СБИС формирователей видеосигналов с многовходовыми элементами ввода и памяти на ПЗС», научно-технический отчет №327, М., 1982.

4. Shilin V.A., Pugachev A.A. CCD simulation systems Proc. SPIE2790, pp2-13, 1996

5. В. Mansoorian, H-Y. Yee, S. Huang, E. Fossum, "A 250mW, 60frames/s 1280x720 pixel 9b CMOS digital image sensor", IEEE Int. Solid-State Circuit Conference, 1999.

6. O. Schrey, R. Hauschild, B.J. Hosticka, U. lurgel, M. Schwarz, "A locally adaptive CMOS image sensor with 90dB dynamic range", IEEE Int. Solid-State Circuit Conference, 1999.

7. D. Yang, A. Gamal, B. Fowler, H. Tian, "A 640x512 CMOS image sensor with ultra wide dynamic range floating-point pixel-level ADC", IEEE Int. Solid-State Circuit Conference, 1999.

8. Я W. Yang, O. Kwon, J. Lee, G. Hwang, S. Lee, "An integrated 800x600 CMOS imaging system", IEEE Int. Solid-State Circuit Conference, 1999.9. "FillFactory CMOS Space Applications", www.fillfactory.com.

9. LI. Ramacher et al, "Single-chip video camera with multiple integrated functions", IEEE Int. Solid-State Circuit Conference, 1999.

10. Color SXGA Digital Image Sensor 1280 x 1024 pixel progressive scan solid state image censor with integrated CDS/PGA/ADC, digital programming, control, timing, and pixel correction features, Motorola, Semiconductor technical data, 2000.

11. E. Fossum, "Pushing the envelope", Optical Engineer Magazine, №1, 2001.

12. Naito, Y., et al, "A 1/3-inch 360k-pixel Progressive-Scan CCD Image Sensor," ITE Technical Report vol. 20, No. 21, pp.1-6, Mar., 1996.

13. Yamada, Т., et al., "A 1/2 inch 1.3M-Pixel Progressive-Scan IT-CCD for Still and Motion Picture Applications", ISSCC Digest of Technical Papers, pp. 173-174, Feb., 1998.

14. А.А.Краснюк, С.В.Ларионов, В.Я.Стенин, А.А.Утенков, В.А.Шилин, «Рентгеночувствительный датчик изображения на основе матрицы с зарядовой связью», Инженерная физика, №2, 1999, сс.29-33.

15. HAMAMATSU Photonics К.К., Cat. №КАСС1056Е08, Feb. 2002 DN

16. HAMAMATSU Photonics Italia Catalogue, http://www.hamamatsu.it13013.;-iAMAMATSU Photonics K.K., Cat. №KMPD1028E01. Jun. 1999 SI

17. D.F. Newport, C.L. Britton, Jr.,G.T. Alley, W.L. Bryan, M.S. Emery, M.N. Ericson, H.R.Brashear, and D.W. Bouldin "Intergratin and enhancing tools for ASIC design using MOSIS fabrication", IEEE Transactions on nuclear science, vol. 37, no.2, april 1990

18. В.Д. Разевиг, C.M. Блохнин "Система P-CAD 8.5", "ДМК", Москва, 1997

19. H. Mutoh, Simulation for 3-D Optical and electrical analysis of CCD, "IEEE Trans, on Electron Dev.", 1997, vol. 44, № 10.

20. K. Tachikawa, T. Umeda, Y. Oda, Device design with automatic simulation system for basic CCD characteristics, "IEEE Trans, on Electron Dev.", 1997, vol. 44, № 10

21. P.A.Skrylev, V.A. Shilin, A.L. Stempkovsky, Analytical models of CMOS APS, Second conf. on Photonics for Trans-portation, Proc. SPIE, vol. 4761, 2002.

22. Носов Ю.Р., Шилин B.A., Основы физики приборов с зарядовой связью. М., «Наука», 1986.

23. В.Пугачев А.А., Шилин В.А., Скрылёв П.А., Двумерное моделирование КМДП-фотодиодной ячейки, 3-я научно-техническая конференция "Микро и наноэлектроника", Москва, 2001

24. П.А. Скрылёв, В.А. Шилин, Оптимизация фоточувствительности КМДП-фотодиодной ячейки, 4-я научно-техническая конференция "Микро и наноэлектроника", Москва, 2002

25. P.A.Skrylev, V.A. Shilin, Optimum design of SMOS APS imagers, Photonics Prague 2002 4th International Conference on Photonics, Devices and Systems, 26-29 May 2002 Czech Republic

26. Немец O.M., Словарь по атомной физике, М.: Наука, 1985, pp.218-227.i>'L.Корж В. И., Кусков В. Е., Стенин В. Я., "Детекторы рентгеновского излучения на приборах с зарядовой связью", М.: Приборы и оборудование эксперимента, 1982, №3, pp. 7-19.

27. П.А.Скрылёв, В.А.Шилин, Многослойные фотодетекторы с повышенной рентгеночувствительностью, Научная сессия МИФИ-2002, Сборник научных трудов, Москва, 2002

28. P.A.Skrylev, A.S.Skrylev, V.A.Shilin, Multilayer X-ray sensitive CCDs, Second conf. on Photonics for Transportation, Proc. SPIE, vol. 4761, 2002

29. Заявка на получение патента №2002121188/20(022292)

30. К.Секен, М.Томпсет, Приборы с переносом заряда, М.: «Мир», 1978, 327 с.

31. Ф.П.Пресс, Формирователь видеосигнала на приборах с зарядовой связью, М.: «Радио и связь», 1981, 136 с.

32. P.K.Weimer, W.S.Pike, F.V.Shalleross, M.G.Kovac, Video processing in charge transfer image sensors by recycling of signals through the sensors. RCA rev., 1974, v.35, №3, p.341-354

33. J.F. Brietzmann, D.R.Collins, Operation of a CCD moving target indicator, IEEE Sol. St. Circuits Conf., 1976, Philadelphia, Digest of Tech. Pap., p. 37.

34. G.R.Nudd, P.A.Nygaard, Demonstration of a CCD image processor for two-dimensional edge detector, Electronics Letter, 1978, v. 14, №4, pp. 83-85.

35. J.K.Aggarual, R.O.Duda, Computer analysis of moving polygonal images, IEEE Trans., v. C-94, 1975, pp.966-976.

36. Заявка на получение патента №20021211.87/20(022291)

37. Скрылёв П.А., Промышленная система автоматизированного проектирования СВИС на ПЗС, Сб. тезисов, докладов 9-й международной конференции «Лазеры в науке, технике и медицине» М., МНТОРЭС, 1998

38. Pugachev А.А., Skrylev Р.А., Workshop for charge-coupled devices design, In Photonics for Transportation, Proc. SPIE, vol.3901, 1999

39. Скрылёв П.А., САПР ПЗС, Сб. докладов студ. конференции, секция «Информатика и телекоммуникации», М., МИ ИТ, 1999

40. Скрылёв П.А., Шилин В.А., Структурная система моделирования СБИС на ПЗС, Сборник докладов международной конференции студентов и аспирантов, М., МИФИ, 1999

41. Pugachev А.А., Shilin V.A., Skrylev Р.А., Simulation system to design photosensitive CCDs, In Lasers for science, technique, and medicine, Proc. SPIE, 2001

42. Скрылёв П.А., Шилин В.А., Моделирование спектральных характеристик фоточувствительных приборов с зарядовой связью, Сб. тезисов, докладов 9-й международной конференции «Лазеры в науке, технике и медицине» М., МНТОРЭС, 1998

43. Kostyukov E.V., Pugachev A.A., Skrylev P.A., Design and Mixed Modeling of PhCCD with Vertical Antiblooming Structure, In Lasers for science, technique, and medicine, Proc. SPIE, 2001