автореферат диссертации по обработке конструкционных материалов в машиностроении, 05.03.01, диссертация на тему:Повышение износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда

кандидата технических наук
Зинина, Елена Петровна
город
Саратов
год
2007
специальность ВАК РФ
05.03.01
цена
450 рублей
Диссертация по обработке конструкционных материалов в машиностроении на тему «Повышение износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда»

Автореферат диссертации по теме "Повышение износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда"

На правах рукописи

ЗИНИНА Елена Петровна

ПОВЫШЕНИЕ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ МЕЛКОРАЗМЕРНОГО РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА ОБРАБОТКОЙ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ КОМБИНИРОВАННОГО РАЗРЯДА

Специальность 05.03 01 — Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки

ооз

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Саратов - 2007

003163755

Работа выполнена в ГОУ ВПО «Саратовский государственный технический университет»

Научный руководитель:

доктор технических наук, профессор Мартынов Владимир Васильевич

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор Бекренев Николай Валерьевич

кандидат технических наук Сигитов Евгений Александрович

Ведущее предприятие:

ФГУП «НПП «Контакт» (г Саратов)

Защита состоится 14 ноября 2007 г в 10 часов на заседании диссертационного совета Д 212.242.02 при ГОУ ВПО «Саратовский государственный технический университет» по адресу. 410054, г Саратов, ул. Политехническая, 77, СГТУ, корп.1, ауд. 319.

С диссертацией можно ознакомиться в научно-технической библиотеке ГОУ ВПО «Саратовский государственный технический университет»

Автореферат разослан « » октября 2007 г

Ученый секретарь диссертационного совета

А А. Игнатьев

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Одной из тенденций современного производства является использование высокопроизводительного износостойкого режущего инструмента с повышенными прочностными характеристиками Применение такого инструмента имеет прямые экономические выгоды для производителя, поскольку ведет к сокращению прямых затрат на приобретаемый инструмент, повышению производительности и степени загруженности станочного парка, сокфащению времени вспомогательных операций.

Повышенная потребность в качественном износостойком режущем инструменте, в том числе и мелкоразмерном (диаметром до 5,0 мм), вызвала развитие многих технологических направлений, позволяющих модифицировать режущие кромки обрабатываемого инструмента Основным достоинством поверхностной обработки режущего инструмента является сочетание высокой твердости и прочности поверхностного слоя с вязкостью и высокой пластичностью основы изделия При этом возникают реальные возможности образования материалов с заданными свойствами, отвечающими условиям эксплуатации режущего инструмента

Перспективным в этом направлении является метод упрочнения мелкоразмерного инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного давления, разработанный в ФГУП «НПП «Контакт» (г. Саратов) совместно с СГТУ

В отличие от других известных способов данный метод упрочнения не имеет ограничений по обработке мелкоразмерного инструмента Кроме того, применяемые способы высокозатратны, недостаточно эффективны, имеют длительные циклы обработки, могут вызвать появление дефектов в виде трещин, коробления, повышения шероховатости поверхности, что требует дополнительной финишной обработки. Поэтому повышение износостойкости мелкоразмерного инструмента путем создания новой эффективной малозатратной экологически чистой технологии упрочнения режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного давления является актуальной научно-технической задачей

Целью работы является повышение износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного давления.

Для достижения этой цели в работе сформулированы и решаются следующие основные задачи- разработка метода упрочнения режущего инструмента на основе изучения условий формирования, воздействия низкотемпературной плазмы

комбинированного разряда пониженного давления на поверхность сложного профиля и процессов, приводящих к изменению ее свойств;

- разработка принципов конструирования экспериментального технологического оборудования для обработки режущего инструмента в плазме,

- разработка научно обоснованных практических рекомендаций по выбору параметров технологического режима обработки, обеспечивающих гарантированное увеличение износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента;

- комплексное исследование свойств (включая износ) обработанной поверхности режущей кромки инструмента и его испытание в производственных условиях

Методы и средства исследований. Теоретические исследования выполнены с использованием соответствующих разделов теории резания, теории прочности, материаловедения, а также основных положений технологии машиностроения и физики плазмы.

Экспериментальные исследования проводились в лабораторных и ироизводственных условиях по стандартным и оригинальным методикам с использованием аттестованных приборов и кошрольно-измеригельной аппаратуры. Обработка результатов экспериментальных исследований осуществлялась на ЭВМ с использованием стандартного программного обеспечения

Научная новизна диссертации состоит в следующем.

1. Разработан метод повышения износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда, позволяющий модифицировать поверхность режущих кромок и на этой основе формировать свойства (по параметрам микротвердости, шероховатости, омического сопротивления поверхности), повышающие его износостойкость

2. Установлено наличие взаимосвязей между свойствами модифицированной поверхности, показателями работоспособности инструмента и технологическими параметрами обработки.

3. Разработана физическая модель упрочнения режущего инструмента, основу которой составляют механизмы формирования и воздействия низкотемпературной плазмы комбинированного разряда на поверхность режущих кромок инструмента, приводящие к оплавлению микронеровносгей поверхности, измельчению структуры приповерхностных слоев и образованию мелкодисперсной фазы.

Практическая ценность диссертации состоит в формировании принципов конструирования технологического оборудования и создании технологии обработки мелкоразмерного инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда, повышающей его износостойкость.

Реализация результатов работы. Результаты выполненных теоретических и экспериментальных исследований прошли апробацию в производственных условиях ФГУП <<НПП «Контакт» (г Саратов), ОАО «Саратовский подшипниковый завод», ЗАО «Контакт-Салют» (г Саратов) при обработке деталей из сталей ШХ-15, 12Х18Н10Т, Сг 3, меди МОб инструментом из стали Р6М5 и твердого сплава Т15К6

Применение разработанного метода упрочнения режущего инструмента позволяет повысить его износостойкость в 3,2 - 4,4 раза, существенно снизить затраты на покупной инструмент и прогнозировать повышение производкпельности обработки на 10-15%

Апробация работы. Основные результаты доложены и обсуждены на 4 научно-технических конференциях различного уровня, научно-технической конференции «40 лег ШЕЛ «Контакт» (Саратов, 1999 г), Международной научно-технической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения» (Саратов, 2004 г), Международной научно-технической конференции «Современные тенденции развития транспортного машиностроения» (Пенза, 2005 г.), Международной научно-технической конференции «Современные проблемы машиноведения и высоких технологий» (Ростов-на-Дону, 2005 г), а также на заседаниях НГС ФГУП «НПП «Контакт» в 2000-2005 гг и заседаниях кафедры «Конструирование и компьютерное моделирование технологического оборудования в машино- и приборостроении» СГГУ в 1996-2007 пг.

Публикации. Основные положения диссертации отражены в 11 печатных работах (четыре из которых - без соавторов и одна - в издании, рекомендованном ВАК РФ, од ин патент)

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка использованной литературы из 184 наименований и 7 приложений, содержит 252 страницы текста, 71 рисунок, 12 таблиц.

На защиту выносятся:

- метод, устройство, физическая модель и технология упрочнения режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного давления,

- методика комплексного исследования режущего инструмента с модифицированной поверхностью режущей кромки,

- результаты исследования свойств (включая износ) модифицированной поверхности режущей кромки,

- результаты лабораторных и сравнительных производственных испытаний упрочненного режущего инструмента

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении показана актуальность диссертационной работы, приведены цель, задачи исследования, научная новизна, а также изложены основные положения, выносимые на защиту

В первой главе проанализированы основные причины изнашивания режущего инструмента, критерии его затупления, взаимосвязь износа инструмента с физическими характеристиками процесса резания по работам АД Макарова, Т.Н. Лоладзе, НН. Зорева, С.Е Вельского, В Г Соломенко, В А. Бобровского, Н.В Талантова,ДМ Гуревича, Ф.Я Якубова и др

По материалам выполненного анализа сформирован перечень свойств, которыми должна обладать износостойкая поверхность режущего инструмента- низкая шероховатость, высокая прочность на отрыв, мелкозернистость поверхности, уменьшающая размер частиц твердого сплава, вырываемых с трущихся поверхностей инструмента при разрушении мест схватывания; снижение отношения твердостей Н1/Н2 контактных поверхностей (обрабатываемого и инструментального материалов), способствующее уменьшению размеров вырванных частиц

Рассмотрены основные направления повышения износостойкости режущего инструмента, включая современные направления развития в области инструментальных материалов и способов упрочнения режущего инструмента Показаны недостатки известных методов повышения износостойкости режущего инструмента Обоснована возможность применения низкотемпературной плазмы комбинированного разряда для упрочнения режущего инструмента. Показаны преимущества и эффективность данного способа в сравнении с известными способами обработки

Вторая глава посвящена разработке метода упрочнения режущего инструмента на основе изучения условий формирования и воздействия низкотемпературной плазмы комбинированного разряда пониженного давления на поверхности сложного профиля.

Установлено, что комбинированный разряд формируется вблизи поверхности режущего инструмента при пониженных давлениях (~ 300 Па) на малых уровнях СВЧ-мощности (25-35 Вт) при наличии электростатического поля, создаваемого потенциалом смещения на обрабатываемом инструменте.

Разряд имеет сложную структуру (рис.1, а), состоящую из четырех областей области темной плазмы, выполняющей роль объемного катода; области скин-слоя 1 (внешней 1раницы плазмы), где осуществляется эффективная передача энергии электромагнитного поля электронам, области 2, в которой происходит ускорение (накачка) электронов в электростатическом лоле вплоть до лавинообразных процессов ионизации газа; области 3 формирования скомпенсированного потока ионов и электронов на поверхность режущей кромки. Протекание таких процессов возможно только на поверхностях режущих кромок инструмента, поскольку они являются концентраторами силовых линий электромагнитного и электростатического

полей. Эти условия формирования разряда существенно отличаются от условий формирования других видов обьемных плазменных разрядов, что дапаег применение данного разряда наиболее эффективным при обработке сложпопрофильного мелкоразмерного инструмента диаметром от 0,6 мм.

7

Рис. 1. Структура комбинированного разряда (а) и схема камеры обработай для ее формирования (б): 1 - обрабатываемый инструмент; 2 - сменная цанга; 3 - держатель;

4- откачиваемый объем камеры обработки; 5 - изоляционный спой; 6 - магнетрон;

7 - система газонапуска; 8 - блок подачи потенциала на инструмент;

9-герметичныйразъем; 10-кабель; 11 - плазма

Полученные результаты легли в основу разработки физической модели упрочнения режущего инструмента в аспекте формирования низкотемпературной плазмы комбинированного разряда на поверхности сложного профиля и позволяли сформулировать основные принципы конструирования, создать технологическое оборудование (патент 2277763 Россия) и разработать технологию упрочнения режущего инструмента в иизкогемпературной плазме комбинированного разряда.

Основными элементами конструкции оборудования являются: камера обработки (рис.1, б), генератор СВЧ-энергии, блок питания генератора СВЧ-энергии, блок подачи потенциала на инструмент, система газонапуска, вакуумная система. Технологический газ - азот. Потребляемая мощность не превышает 2 кВт.

При создании технологии упрочнения за критерий качества принята насыщенность окрашивания обработанной поверхности, которая напрямую связана с точным позиционированием инструмента в камере и параметрами

режима обработки, входными (подводимой СВЧ-мощностьго, потенциалом смещения, температурой обработки) и выходными (током смещения и временем обрабоиси)

В работе выполнен комплекс исследований, связанных с поиском оптимальных значений режимных параметров по принятому критерию на примере сверл и метчиков. По результатам исследований получена номограмма, использование которой позволяет перейти от традиционного способа задания параметров для диапазонов значений какого-либо геометрического параметра инструмента к их заданию для любого значения этого параметра внутри любого диапазона, входящего в размерный ряд (в данном случае 0,6 . 12,0 мм)

В третьей главе представлены результаты комплексного исследования свойств поверхности режущих кромок инструмента, обработанного низкотемпературной плазмой комбинированного разряда

Объектами исследования были сверла, метчики из инструментальных сталей Р6М5, Р18, HESSE различных типоразмеров, сменные многогранные юердосплавные пластины Т15БС6 с покрытием TiN и с сошлифованным покрытием на ленточке, твердосплавные фрезы с многослойным покрытием фирмы Pokolm.

Комплексное исследование проводилось по разработанной методике с использованием неразрушающих методов, что позволило установить взаимосвязи между свойствами обработанной поверхности, показателями работоспособности инструмента и технологическими параметрами обработки.

В ходе исследования было выявлено, что обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда поверхности режущих кромок придаются новые свойства.

1. Шероховатость поверхности сверл и метчиков снижается в 1,7 . 6,7 раза; усилия трогания дня твердосплавных пластин снижаются в 1,3 3,6 раза, но их значения зависят от потенциала смещения.

2. Омическое сопротивление поверхности сменных твердосплавных пластин изменяется в зависимости от потенциала смещения и имеет максимум, равный 0,2 Ом (исходное равно 0,03 Ом) при потенциалах смещения 100 -110 В

3 Цвет поверхности изменяется от золотистого до темно-бронзового Методом оптической микроскопии обнаружено образование пленки на поверхности режущих кромок сменных твердосплавных пластин при потенциалах смещения U > 80 В. Пленка заполняет микронеровности поверхности, в том числе и риски.

4. Микротвердость поверхности (по Виккерсу) увеличивается и зависит от химического состава инструментального материала, исходного состояния поверхности, наличия износостойких покрытий. Микротвердость поверхности инструментальных сталей после плазменной обработки повышается до

уровня, соответствующего микротвердости необработанного твердого сплава (см таблицу).

Микротвердосга метчиков различных типоразмеров из различных инструментальных сталей с различными покрытиями

JVa п/п Типоразмер инструмента Марка инструментальной стали Микротвердость поверхностного слон, ГШ

в исходном состоянии после плазменной обработки

1 М5 Р6М5 6,0-7,8 13,0-14,0

2 Мб Р6М5 6,0-7,8 11,0-13,8

3 М8 Р6М5 покрытие TiN 8,0-10,0 14,0-16,0

4 i М8 Р18 8,0 10,0 14,0-16,0

5 мю HSSE фирмы Titex Plus 9,0-10,5 24,5-25,5

6 мю Твердый сплав фирмы Pokolra 7,0-12,0 14,0-16,0

7 мю Многослойное покрытие фирмы Pokolm 11,0-15,0 28,0-33,8

Обработка сменных твердосплавных пластин Т15К6 приводит к увеличению их микротвердости до 45 — 55 ГПа и вызывает образование слоистой структуры в приповерхностных слоях на глубину до 2,5 мкм Шаг сформировавшейся периодической структуры составляет 0,3 — 0,4 мкм

Результаты проведенных комплексных исследований позволили сделать вывод о том, что обработка режущего инструмента в низкотемнера турной плазме комбинированного разряда вызывает модификацию его поверхности и приповерхностных слоев

Достоверность данною вывода была подтверждена металлографическими исследованиями сверл В приповерхностном слое толщиной до 20 мкм (рис 2, а) происходит измельчение структуры инструментального материала с образованием мелкодисперсной фазы Эта фаза состоит из равномерно распределенных у поверхности карбидов с карбидной неоднородностью, соответствующей 1-му баллу. Соотношение карбидов, расположенных у поверхности и удаленных от нее —13. Микроструктура мелкодисперсного слоя - мелко игольчатый мартенсиг. Величина зерна соответ ствует 12-му баллу по шкале ГОСТ 5639-82 Общад глубина модифицированного слоя составляет 300 мкм (рис 2, б)

Полученные результаты позволили завершить разработку физической модели упрочнения режущего инструмента введением в нее аспектов, связанных с воздействием низкотемпературной плазмы комбинированно!« разряда

на поверхность сложного профиля и процессами, приводящими к изменению свойств как самой поверхности, так и приповерхностных; слоев.

Рис.2. Поперечный шлиф сверла 0 2,75 мм, прошедшего обработку в низкотемпературной плазме комбинированного разряда при увеличении 520х (а) и 30х (б)

Упрочнение режущего инструмента происходит в результате воздействия на поверхность скомпенсированного потока заряженных частиц (ионов и электронов), сформированного в низкотемпературной плазме комбинированного разряда у поверхности режущих кромок. Модификация приповерхностных слоев начинается в тот-момент, когда активные частицы плазмы, ускоряясь, приобретают энергию, достаточную для преодоления потенциального барьера кристаллической решетки. Высокоэнергетичные ионы способны внедряться в кристаллическую решетку и передавать ей и атомам внедрения свою энергию. Ускоренному внедрению и движению ионов способствуют потоки электронов плазмы («электронный ветер»), что сопровождается усиленными процессами электромассопереноса.

Воздействие энергетичных частиц плазмы на поверхность режущих кромок инструмента вызывает оплавление и сглаживание их микронеровностей, в том числе заусенцев и острий. Частицы плазмы с энергией ниже энергии потенциального барьера оседают на поверхности с образованием плотно-упакованной пленки.

В результате комплексного) воздействия плазмы происходит интенсивный разогрев поверхности и приповерхностных слоев. Последующее охлаждение в вакууме приводит к резкому охлаждению поверхности, что и сопро-

вождается измельчением структуры приповерхностных слоев с образованием мелкодисперсной фазы

В четвертой главе представлены результаты экспериментальных исследований и производственных испытаний, направленных на изучение закономерностей изнашивания модифицированного инструмента.

Исследования проводились в лаборатории кафедры КиМО СГТУ и в производственных условиях ФГУП «НПП «Контакт» (г. Саратов), ОАО «Саратовский подшипниковый завод», ЗАО «Контакт-Салют» (г. Саратов).

В ходе лабораторных исследований измерялись размерный износ режущих кромок сменных твердосплавных пластин Т15К6 и усилия резания при торцевом точении заготовок из стали ШХ-15, отслеживалась динамика износа инструмента. Сопоставительный анализ результатов исследований и свойств модифицированной поверхности показал, что при точении модифицированным инструментом изменяется характер его износа в контактной зоне Так, при торцевом точении стали ШХ-15 на режимах резания и = 1000 мин"1, 5 = 0,11 мм/об, / = 0,3 мм на поверхности инструмента с минимальной шероховатостью происходит сильное наростообразование, провоцирующее скол поверхности. Увеличение шероховатости ведет к увеличению усилий резания, контактной температуры и снижению наростообразования, что повышает износостойкость инструмента в 3,5 раза (с 4 проходов до 14).

Анализ динамики износа показал, что в начале процесса приработки поверхности модифицированного твердосплавного инструмента происходит образование мелких проточин, которые в ходе процесса снижают усилие резания Это сопровождается усилением наростообразования, что ведет к увеличению усилия резания, температуры в контактной зоне, оплавлению и удалению нароста со стружкой В результате возникает сухой контакт стружки с поверхностью инструмента, что провоцирует выкрашивание поверхности и образование новых проточин В такие моменты пиковые значения усилий резания возрастают до 800 - 1000 кг, что не ведет, однако, к полному разрушению инструмента

Аналогичный характер износа наблюдался в ходе производственных испытаний при обработке с увеличенными значениями подачи (ее исходная величина составляла 0,26 мм/об) как для модифицированных пластин с со-шлифованным покрытием из нитрида титана (ТО^) на ленточке (« = 0,32 мм/об), так и для пластин с покрытием ТйчГ (л = 0,38 мм/об). Износостойкость модифицированного инструмента по сравнению с износостойкостью исходных твердосплавных пластин повысилась в 3,8 и 4,4 раза, что соответствует повышению производительности обработки на 10 - 15%.

По результатам испытаний зафиксировано повышение размерной точности деталей из стали ШХ-15 (рис.3) и значительное улучшение качества их поверхности. В частности, шероховатость при точении резцами, обработанными в плазме, составила 0,80-2 мкм, в то время как при точении необработанными резцами - 2,5-3,5 мкм. При этом точение велось в условиях сильного наростообразования, однако стойкость увеличилась в 1,5 раза. Выигрыш машинного времени составил 700 с, что соответствует увеличению производительности на 11%. Кроме этого, в процессе резания проявилась повышенная адгезионная стойкость пленки ИКГ к материалу основы пластины после плазменной обработки, а также устойчивость режущей кромки в процессе резания: имеющиеся дефекты не вели к дальнейшему увеличению дефектности всей поверхности в процессе резания.

По результатам производственных испытаний инструмента из стали Р6М5 (сверление отверстий и нарезании резьбы в деталях из сталей Ст.З и 12Х18Н10Т) были зафиксированы аналогичные результаты: увеличение износостойкости составило 3 — 5 и 3,6 - 4 раза, соответственно.

Рис.3. Совмещенная точностная диаграмма обработки дегалей из стали ШХ-15 твердосплавными пластинами Т15К6 на исходной (1) и увеличенных после плазменной обработки с сошлифованным (2) и сохраненным (3) покрытием "ПЫ подачах

В, целом результаты выполненных исследований позволили констатировать, что разработанный метод упрочнения мелкоразмерного режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда позволяет сформировать у него перечень свойств, которыми должна обладать износостойкая поверхность (см. стр.6) и с учетом этого произвести расчет ожи-12

даемого экономического эффекта от внедрения технологии упрочнения, который составил 500 ООО рублей (в ценах 2003 г ).

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1 Упрочнение режущего инструмента является актуальной научно-технической задачей, однако использование для этого существующих методов и устройств, создающих направленное движение заряженных частиц за счет применения различных ионных источников и ускорительных систем, для поверхностей сложного профиля является малоэффективным В связи с этим перспективным является применение низкотемпературной плазмы комбинированного разряда, особенно для упрочнения мелкоразмерного инструмента диаметром от 0,6 мм.

2 Разработан метод упрочнения мелкоразмерного режущего инструмента в плазме комбинированного разряда пониженного давления, позволяющий модифицировать (на глубину до 300 мкм) поверхность режущих кромок и на этой основе формировать свойства, повышающие его износостойкость и характеризующиеся- улучшением показателей шероховатости за счет выгорания и оплавления заусенцев и неровностей, образованных в процессе изготовления, формирования плотноупакованной углерод-азотосодержащей пленки, заполняющей неровности, повышения омического сопротивления поверхности,

- повышением микротвердости с 20 до ~ 60 ГПа у твердого сплава и с 6-7 до 14-18 ГПа у инструментальной стали Р6М5,

- измельчением структуры инструментального материала с образованием мелкодисперсной фазы в приповерхностном слое толщиной до 20 мкм Эта фаза состоит из равномерно распределенных у поверхности карбидов с карбидной неоднородностью, соответствующей 1-му баллу. Соотношение карбидов, расположенных у поверхности и удаленных от нее - 1 3 Микроструктура мелкодисперсного слоя - мелко игольчатый мартенсит Величина зерна соответствует 12-му баллу по шкале ГОСТ 5639-82 Общая глубина модифицированного слоя составляет 300 мкм;

- изменением цвета поверхности от золотистого до темно-бронзового, происходящим на всех видах инструмента Интенсивность окрашивания зависит от режимов обработки и является критерием ее качества

3 Упрочнение режущего инструмента происходит в процессе воздействия на поверхность его режущих кромок сформированного в плазме скомпенсированного потока заряженных частиц (ионов и электронов), вызывающего интенсивный разогрев поверхности и приповерхностных слоев. Последующее резкое охлажде-

ние в вакууме вызывает измельчение структуры приповерхностных слоев с образованием мелкодисперсной фазы В совокупности данные положения составляют основу физической модели процесса упрочнения режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда.

4 Конструирование технологического оборудования для упрочнения инструмента необходимо осуществлять нг принципах гарантированного получения комбинированного разряда, управления энергией заряженных частиц в потоке плазмы и воспроизводимости результатов модификации поверхности режущего инструмента Практически это определяет необходимость реализации в конструкции технологического оборудования возможностей плавного регулирования подводимой СВЧ-мощности, величины положительного потенциала смещения и рабочего давления, а также определения способа расположения обрабатываемой поверхности инструмента в камере Данные принципы распространяются на оборудование как для одно-, так и для многопозиционной обработки.

5. При создании технологии упрочнения наиболее важным является решение комплекса вопросов, связанных с поиском оптимальных значений параметров режима обработки Полученная по результатам выполненных исследований номограмма позволяет перейти от традиционного способа задания параметров для диапазонов значений какого-либо геометрического параметра инструмента к их заданию для любого значения этого параметра, причем заданными становятся не только входные (подводимая СВЧ-мощность, потенциал смещения, температура обработки), но и выходные (ток смещения и время обработки) параметры, по которым можно осуществлять оперативный контроль хода процесса упрочнения Основные показатели плазменной обработки изменяются в пределах- время обработки - 1,5-15 мин, конечная температура инструмента - 20-90° С.

6. Упрочнение мелкоразмерного режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда обеспечивает значительное повышение его износостойкости твердосплавных пластин из сплава Т15К6 - в 3,8-4,4 раза; сверл и метчиков из стали Р6М5 - в 3-5 и 3,6-4 раза, соответственно. Однако для оптимальной работы инструмента требуется увеличение нормальной нагрузки на поверхность его режущей кромки в 1,5 раза Практически это позволяет повысить не только размерную точность и в 1,75-3 раза улучшить параметры шероховатости поверхности изготовленных деталей, но и получить выигрыш машинного времени, означающий увеличение производительности обработки По результатам, полученным в работе, оно составляет 10-15% и делает возможным получение экономического эффекта от вне-

дрения технологии упрочнения; ожидаемое значение этого эффекта составляет 500 ООО рублей (в ценах 2003 г)

Основное содержание диссертации изложено в следующих публикациях:

Публикации в изданиях, рекомендованных ВАК РФ

1. Зинина Е П Упрочнение режущего инструмента в плазме комбинированного разряда пониженного давления / В В Мартынов, Е П Зинина // СТИН. — 2007. — №6 — С.18-20

Публикации в других изданиях

2 Зинина Е П Разработка плазмохимического оборудования с использованием СВЧ-разряда / А И Господчиков, Е П. Зинина, В М Плющенкоидр // Получение, исследование и применение плазмы в СВЧ-полях сб докл III сессиинауч -техн. совещания —Иркутск, 1989. — С 56-58.

3 Зинина ЕП Повышение износостойкости режущего инструмента при обработке в азотсодержащей плазме СВЧ-разряда / НА Самаркина, А В. Кошелев, Е П. Зинина и др. // Восстановление и повышение износостойкости деталей машин: межвуз науч сб.-Саратов Сарат политехи ин-т, 1990 -С45-48

4. Зийина Е П. Обработка режущего инструмента в неокислительной плазме СВЧ - разряда и ионно-лучевым методом для повышения его износостойкости / Б.М Бржозовский, Е.П Зинина // Исследования станков и инструментов для обработки сложных и точных поверхностей, межвуз. науч. сб - Саратов- СГТУ, 1997. - С 102-107.

5 Зинина Е.П Упрочнение режущего инструмента в микроволновой плазме / Е.П. Зинина // Электронная промышленность. Наука. Технология Изделия. - 1999. - №4 - С.27.

6. Зинина ЕП. Эффективность использования СВЧ-энергии малых мощностей для упрочняющих технологий / Е П Зинина // Перспективы развития электроники и вакуумной техники на период 2001-2006 гг материалы науч -техн. конф. - Саратов, 2001 - С 193-198

7. Зинина ЕП. Создание приповерхностных барьерных зон как путь повышения работоспособности режущего инструмента / Е.П. Зинина // Исследование станков и инструментов для обработки сложных и точных поверхностей, межвуз сб.науч ст.— Саратов СГТУ,2000.-С 119-120

8 Зинина Е.П Упрочнение режущего инструмента в плазме комбинированного разряда пониженного давления / Е П. Зинина // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП-2004): материалы Междунар науч -техн конф. - Саратов. СГТУ, 2004. - С 281-289

9. Зинина Е.П. Повышение износостойкости сложнопрофильного режущего инструмента в плазме комбинированного разряда / Е.П. Зинина, В В. Мартынов // Современные тенденции развития транспортного машиностроения: сб ст.XМеждунар.науч.-техн конф. — Пенза.ПГУ,2005 -С84-86

10 Зинина БП Упрочнение режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного давления / Б П. Зинина, В В. Мартынов // Современные проблемы машиноведения и высоких технологий труды Междунар науч -техн конф в 3 т — Ростов-н/Д. ДГТУ, 2005 -Т 1 -С 145-150

11 Зинина Е П Способ и устройство получения стационарного комбинированного разряда низкотемпературной плазмы пониженного давления / Е П Зинина, А А Сергеев, Н Ф Кислицына // Пат 2277763 Россия. МПК Н05Н 1/18.

ЗИНИНА Елена Петровна

ПОВЫШЕНИЕ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ МЕЛКОРАЗМЕРНОГО РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА ОБРАБОТКОЙ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ КОМБИНИРОВАННОГО РАЗРЯДА

Автореферат

Корректор О А Панина

Подписано в печать 09 10 07 Бум офсет. Тираж 100 экз

Уел печ л 1,0(1,0) Заказ 357

Формат 60x84 1/16 Уч-изд л 1,0

Бесплатно

Саратовский государственный технический университет 410054, г Саратов, ул Политехническая, 77

Отпечатано в РИЦ СГТУ, 410054, г Саратов, ул Политехническая, 77

Оглавление автор диссертации — кандидата технических наук Зинина, Елена Петровна

ВВЕДЕНИЕ

1. СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА, ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1. Износ и стойкость режущего инструмента.

1.1.1. Стойкость режущего инструмента.

1.1.2. Критерии износа и затупления режущего инструмента

1.2.Взаимосвязь износа инструмента с физическими характеристиками процесса резания.

1.3. Основные направления повышения износостойкости режущего инструмента.;.:.

1.3.1. Современные инструментальные материалы.

1.3.2. Модифицирующие технологии.

1.4. Постановка задач исследования.

2. МЕТОД УПРОЧНЕНИЯ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА В ПЛАЗМЕ КОМБИНИРОВАННОГО РАЗРЯДА.

2.1. Концептуальные основы метода упрочнения.

2.2.Физическая модель упрочнения режущего инструмента: формирование плазмы комбинированного разряда пониженного давления на режущих кромках.

2.2.1. Низкотемпературная газоразрядная плазма.

2.2.2. Стационарный СВЧ-разряд.

2.2.3. Физическая модель формирования низкотемпературной плазмы комбинированного разряда пониженного давления

2.3. Экспериментальная установка упрочнения режущего инструмента «Хром»

2.4. Экспериментальное подтверждение физической модели формирования плазмы комбинированного разряда пониженного давления на поверхности режущего инструмента.

2.5. Технологические особенности формирования плазмы комбинированного разряда на поверхности режущего инструмента.

2.6. Выводы.

3. КОМПЛЕКСНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА, ОБРАБОТАННОГО НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМОЙ КОМБИНИРОВАННОГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ.

3.1. Методика и аппаратура комплексного исследования режущего инструмента с модифицированной поверхностью режущей кромки.

3.2. Исследование поверхности режущего инструмента после плазменной обработки

3.2.1. Визуальное и оптическое исследование модифицированной поверхности.

3.2.2. Исследование омического сопротивления модифицированной поверхности.

3.2.3. Исследование шероховатости поверхности.

3.3. Исследование микротвердости поверхности режущего инструмента.

3.3.1. Физические основы и описание методики измерения микротвердости методом Виккерса.

3.3.2. Анализ результатов измерения микротвердости сменных твердосплавных пластин Т15К6.

3.3.3. Анализ результатов измерения микротвердости метчиков

3.3.4. Анализ результатов измерения микротвердости сверл

3.3.5. Анализ результатов измерения микротвердости твердосплавных Т15К30 зубков буровых долот.

3.4. Исследование микроструктуры модифицированного слоя на поперечных шлифах.

3.5. Физическая модель упрочнения режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда: формирование свойств износостойкой поверхности.

3.5.1. Процессы, протекающие при взаимодействии плазмы комбинированного разряда пониженного давления с поверхностью.

3.5.2. Модификация приповерхностных слоев в плазме комбинированного разряда пониженного давления.

3.6. Выводы.

4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ.

4.1. Оценка степени дефектности режущего инструмента.

4.2. Испытания сменных многогранных твердосплавных пластин

Т15К6 \VNUM-080404 ГОСТ 19048-80.

4.2.1. Испытания сменных твердосплавных пластин Т15К6 ТОиМ-080404 ГОСТ 19048-80 в лабораторных условиях.

4.2.2. Испытания сменных твердосплавных пластин Т15К6 WNUM-080404 ГОСТ 19048-80 в производственных условиях ШИП ОАО «СПЗ».

4.3. Производственные испытания режущего инструмента из инструментальной стали Р6М5.

4.4. Оценка ожидаемого экономического эффекта от использования результатов работы.

4.5. Выводы.

Введение 2007 год, диссертация по обработке конструкционных материалов в машиностроении, Зинина, Елена Петровна

Одной из тенденций современного производства является использование высокопроизводительного износостойкого режущего инструмента с повышенными прочностными характеристиками. Применение такого инструмента имеет прямые экономические выгоды для производителя, поскольку ведет к сокращению прямых затрат на приобретаемый инструмент, повышению производительности и степени загруженности станочного парка, сокращению времени вспомогательных операций.

Повышенная потребность в качественном износостойком режущем инструменте, в том числе и мелкоразмерном (диаметром до 5,0 мм), вызвала развитие многих технологических направлений, позволяющих модифицировать режущие кромки обрабатываемого инструмента. Основным достоинством поверхностной обработки режущего инструмента является сочетание высокой твердости и прочности поверхностного слоя с вязкостью и высокой пластичностью основы изделия. При этом возникают реальные возможности образования материалов с заданными свойствами, отвечающими условиям эксплуатации режущего инструмента.

Перспективным в этом направлении является метод упрочнения мелкоразмерного инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного Давления, разработанный в ФГУП «НИИ «Контакт» (г. Саратов) совместно с СГТУ.

В отличие от других известных способов данный метод упрочнения не имеет ограничений по обработке мелкоразмерного инструмента. Кроме того, применяемые способы высокозатратны, недостаточно эффективны, имеют длительные циклы обработки, могут вызвать появление дефектов в виде трещин, коробления, повышения шероховатости поверхности, что требует дополнительной финишной обработки. Поэтому повышение износостойкости мелкоразмерного инструмента путем создания новой эффективной малозатратной экологически чистой технологии упрочнения режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного давления является актуальной научно-технической задачей.

Целью работы является повышение износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного давления.

Методы и средства исследований. Теоретические исследования выполнены с использованием соответствующих разделов теории резания, теории прочности, материаловедения, а также основных положений технологии машиностроения и физики плазмы.

Экспериментальные исследования проводились в лабораторных и производственных условиях по стандартным и оригинальным методикам с использованием аттестованных приборов и контрольно-измерительной аппаратуры. Обработка результатов экспериментальных исследований осуществлялась на ЭВМ с использованием стандартного программного обеспечения.

Научная новизна диссертации состоит в следующем.

1. Разработан метод повышения износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда, позволяющий модифицировать поверхность режущих кромок и на этой основе формировать свойства (по параметрам микротвердости, шероховатости, омического сопротивления поверхности), повышающие его износостойкость.

2. Установлено наличие взаимосвязей между свойствами модифицированной поверхности, показателями работоспособности инструмента и технологическими параметрами обработки.

3. Разработана физическая модель упрочнения режущего инструмента, основу которой составляют механизмы формирования и воздействия низкотемпературной плазмы комбинированного разряда на поверхность режущих кромок инструмента, приводящие к оплавлению микронеровностей поверхности, измельчению структуры приповерхностных слоев и образованию мелкодисперсной фазы.

Практическая ценность диссертации состоит в формировании принципов конструирования технологического оборудования и создании технологии обработки мелкоразмерного инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда, повышающей его износостойкость.

Реализация результатов работы. Результаты выполненных теоретических и экспериментальных исследований прошли апробацию в производственных условиях ФГУП «HiIII «Контакт» (г. Саратов), ОАО «Саратовский подшипниковый завод», ЗАО «Контакт-Салют» (г. Саратов) при обработке деталей из сталей ШХ-15, 12Х18Н10Т, Ст.З, меди МОб инструментом из стали Р6М5 и твердого сплава Т15К6.

Применение разработанного метода упрочнения режущего инструмента позволяет повысить его износостойкость в 3,2 - 4,4 раза, существенно снизить затраты на покупной инструмент и прогнозировать повышение производительности обработки на 10 -15%.

Апробация работы. Основные результаты доложены и обсуждены на 4 научно-технических конференциях различного уровня: научно-технической конференции «40 лет ГНПП «Контакт» (Саратов, 1999 г.), Международной научно-технической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения» (Саратов, 2004 г.), Международной научно-технической конференции «Современные тенденции развития транспортного машиностроения» (Пенза, 2005 г.), Международной научно-технической конференции «Современные проблемы машиноведения и высоких технологий» (Ростов-на-Дону, 2005 г.), а также на заседаниях НТС ФГУП «Hi111 «Контакт» в 2000-2005 гг. и заседаниях кафедры «Конструирование и компьютерное моделирование технологического оборудования в машино- и приборостроении» СГТУ в 1996-2007 гг.

Публикации. Основные положения диссертации отражены в 11 печатных работах (четыре из которых - без соавторов и одна - в издании, рекомендованном ВАК РФ, один патент).

В связи с изложенным на защиту выносятся следующие положения работы, определяющие её научную новизну:

- метод, устройство, физическая модель, и технология упрочнения режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда пониженного давления;

- методика комплексного исследования режущего инструмента с модифицированной поверхностью режущей кромки;

-результаты исследования свойств (включая износ) модифицированной поверхности режущей кромки;

- результаты лабораторных и сравнительных производственных испытаний упрочненного режущего инструмента.

Заключение диссертация на тему "Повышение износостойкости мелкоразмерного режущего инструмента обработкой в низкотемпературной плазме комбинированного разряда"

4.5. Выводы

По результатам сравнительных стойкостных испытаний, проведенных в лабораторных и производственных условиях можно сделать следующие выводы:

1. Подтверждена прямая взаимосвязь между износостойкостью инструмента и свойствами поверхности и структурой приповерхностных слоев режущей кромки.

2. Износостойкость различных видов инструментов, обработанных в плазме комбинированного разряда пониженного давления, увеличивается в 3,5-4,0 раза при работе на оптимальных режимах резания. Для оптимальной работы инструмента требуется увеличение нормальной нагрузки в зоне контакта режущей кромки обрабатываемым материалом ~ в 1,5 раза.

3. Износостойкость сверл зависит от исходной геометрии режущей части инструмента и точности заточки.

5. Ожидаемый экономический эффект от внедрения технологии упрочнения режущего инструмента в плазме комбинированного разряда пониженного давления составит ~ 500,0 тыс. руб. в год

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Упрочнение режущего инструмента является актуальной научно-технической задачей, однако использование для этого существующих методов и устройств, создающих направленное движение заряженных частиц за счет применения различных ионных источников и ускорительных систем, для поверхностей сложного профиля является малоэффективным. В связи с этим перспективным является применение низкотемпературной плазмы комбинированного разряда, особенно для упрочнения мелкоразмерного инструмента диаметром от 0,6 мм.

2. Разработан метод упрочнения мелкоразмерного режущего инструмента в плазме комбинированного разряда пониженного давления, позволяющий модифицировать (на глубину до 300 мкм) поверхность режущих кромок и на этой основе формировать свойства, повышающие его износостойкость и характеризующиеся:

- улучшением показателей шероховатости за счет выгорания и оплавления заусенцев и неровностей, образованных в процессе изготовления, формирования плотноупакованной углерод-азотосодержащей пленки, заполняющей неровности, повышения омического сопротивления поверхности;

- повышением микротвердости с 20 до ~ 60 ГПа у твердого сплава и с 6-7 до 14-18 ГПа у инструментальной стали Р6М5;

- измельчением структуры инструментального материала с образованием мелкодисперсной фазы в приповерхностном слое толщиной до 20 мкм. Эта фаза состоит из равномерно распределенных у поверхности карбидов с карбидной неоднородностью, соответствующей 1-му баллу. Соотношение карбидов, расположенных у поверхности и удаленных от нее - 1:3. Микроструктура мелкодисперсного слоя - мелкоигольчатый мартенсит. Величина зерна соответствует 12-му баллу по шкале ГОСТ 5639-82. Общая глубина модифицированного слоя составляет 300 мкм;

- изменением цвета поверхности от золотистого до темно-бронзового, происходящим на всех видах инструмента. Интенсивность окрашивания зависит от режимов обработки и является критерием ее качества.

3. Упрочнение режущего инструмента происходит в процессе воздействия на поверхность его режущих кромок сформированного в плазме скомпенсированного потока заряженных частиц (ионов и электронов), вызывающего интенсивный разогрев поверхности и приповерхностных слоев. Последующее резкое охлаждение в вакууме вызывает измельчение структуры приповерхностных слоев с образованием мелкодисперсной фазы. В совокупности данные положения составляют основу физической модели процесса упрочнения режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда.

4. Конструирование технологического оборудования для упрочнения инструмента необходимо осуществлять на принципах гарантированного получения комбинированного разряда, управления энергией заряженных частиц в потоке плазмы и воспроизводимости результатов модификации поверхности режущего инструмента. Практически это определяет необходимость реализации в конструкции технологического оборудования возможностей плавного регулирования подводимой СВЧ-мощности, величины положительного потенциала смещения и рабочего давления, а также определения способа расположения обрабатываемой поверхности инструмента в камере. Данные принципы распространяются на оборудование как для одно-, так и для многопозиционной обработки.

5. При создании технологии упрочнения наиболее важным является решение комплекса вопросов, связанных с поиском оптимальных значений параметров режима обработки. Полученная по результатам выполненных исследований номограмма позволяет перейти от традиционного способа задания параметров для диапазонов значений какого-либо геометрического параметра инструмента к их заданию для любого значения этого параметра, причем заданными становятся не только входные (подводимая СВЧ-мощность, потенциал смещения, температура обработки), но и выходные (ток смещения и время обработки) параметры, по которым можно осуществлять оперативный контроль хода процесса упрочнения. Основные показатели плазменной обработки изменяются в пределах: время обработки - 1,5-15 мин, конечная температура инструмента - 20-90° С.

6. Упрочнение мелкоразмерного режущего инструмента в низкотемпературной плазме комбинированного разряда обеспечивает значительное повышение его износостойкости: твердосплавных пластин из сплава Т15К6 - в 3,8-4,4 раза; сверл и метчиков из стали Р6М5 - в 3-5 и 3,6-4 раза, соответственно. Однако для оптимальной работы инструмента требуется увеличение нормальной нагрузки на поверхность его режущей кромки в 1,5 раза. Практически это позволяет повысить не только размерную точность и в 1,75-3 раза улучшить параметры шероховатости поверхности изготовленных деталей, но и получить выигрыш машинного времени, означающий увеличение производительности обработки. По результатам, полученным в работе, оно составляет 10-15% и делает возможным получение экономического эффекта от внедрения технологии упрочнения; ожидаемое значение этого эффекта составляет 500 000 рублей (в ценах 2003 г.).

Библиография Зинина, Елена Петровна, диссертация по теме Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки

1. Вельский С.Е. Структурные факторы эксплуатационной стойкости режущего инструмента / С.Е. Вельский, Р.J1. Тофренец; отв.ред. С.А. Астапчик -Мн.: Наука и техника, 1984.— 128 с.

2. Макаров А.Д. Износ и стойкость режущего инструмента / А.Д. Макаров. М.: Машиностроение, 1966. - 263 с.

3. Лоладзе Т.Н. Прочность и износостойкость режущего инструмента / Т.Н. Лоладзе. М. Машиностроение, 1982. - 320 с.

4. Основы трибологии (трение, износ, смазка): учеб. для тех-нич.ВУЗов; отв. ред. A.B. Чичинадзе. М.: Центр «Наука и техника, 1995.-778 с.

5. Зорев H.H. Исследования процесса резания / H.H. Зорев. М.: Машиностроение, 1967. - 360 с.

6. Усманов К.Б. Влияние внешних сред на износ и стойкость режущих инструментов / К.Б. Усманов. М.: Машиностроение, 1984. - 112 с.

7. Башков В.М. Испытания режущего инструмента на стойкость / В.М. Башков, П.Г. Кацев. М. Машиностроение, 1985. 134 с.

8. ГОСТ 27.002-89. Надежность в технике. Основные понятия. Термины и определения.

9. Заренин Ю.Г. Определительные испытания на надежность / Ю.Г. Заренин, И.И. Стоянова. М.: Изд-во стандартов, 1978. - 168 с.

10. Гостев Г.В. Исследование закономерностей рассеивания стойкости торцевых и концевых фрез / Г.В. Гостев, В.А. Колюнов, Е.В.Гусев // Физико-химия процессов резания металлов : межвуз. сб. науч. ст.; Чуваш. ун-т. Чебоксары, 1986. - С. 75-77.

11. Соломенко В.Г. Критерий износа металлорежущих инструментов / В.Г. Соломенко, Г.А. Зарецкий // Надежность инструментальных и станочных систем : межвуз. сб. научн. трудов ; Краснодар, политехи. ин-т. Краснодар, 1991. - С. 10-15.

12. Электронный каталог «Проминтех». Каталоги, прайс-листы. М2 063481 0804052002 80/ /00

13. Бобровский В.А. Электродиффузионный износ инструмента / В.А. Бобровский. М. Машиностроение, 1970. - 200 с.

14. Шустер Л.Ш. Адгезионное взаимодействие режущего инструмента с обрабатываемым материалом / Л.Ш. Шустер. М.: Машиностроение, 1988. - 96 с.

15. Егоров C.B. Резание конструкционных материалов и режущий инструмент / C.B. Егоров, А.Г. Червяков. М.: Высш. шк., 1975. - 168 с.

16. Кравченко Б.А. Силы, остаточные напряжения и трение при резании металлов / Б.А.Кравченко. Куйбышев, Облиздат, 1962. - 134 с.

17. Талантов Н.В. Закономерности формирования контактных касательных напряжений при резании сталей / Н.В. Талантов // Физические процессы при резании металлов : межвуз. сб. науч. тр. ; Волгоград, политехи, ин-т. Волгоград, 1986. - С. 3-14.

18. Степанов П.М. Особенности изнашивания инструментов при обработке серого чугуна / П.М. Степанов // Физико-химия процесса резания металлов: межвуз.сб. науч. тр. ; Чуваш.ун-т. Чебоксары, 1986. -С. 60-64.

19. Подураев В.Н. Исследование износа твердосплавного режущего инструмента / В.Н. Подураев, С.М.Касьян. //Станки и инструмент. -1984.- N5.-0. 25-27.

20. Казаков Н.Ф. Радиоактивные изотопы в исследовании износа режущего инструмента / Н.Ф. Казаков. Машгиз, 1960. - 138 с.

21. Гуревич Д.М. Механизм изнашивания твердосплавного инструмента / Д.М. Гуревич Н Перспективы развития резания конструкционных материалов. Москва, 1980. - С. 95-97.

22. Солоненко В.Г. К вопросу об износе режущих инструментов / В.Г. Солоненко, Г.А.Зарецкий // Надежность инструментальных и станочных систем : межвуз. сб. науч. тр. Ростов-на-Дону: Изд. РИСХМ, 1991. - С.56-62.

23. Кук, Наяк. Влияние температурных воздействий на износ инструмента / Кук, Наяк // Труды меж. общества инженеров-механиков: Сер.8. Конструирование и технология машиностроения. 1966. - Т.88. -N1.-0. 82-90.

24. Старков В.К. Дислокационные представления о резании металлов / В.К.Старков. М.: Машиностроение, 1979. - 160 с.

25. Якубов Ф.Я. Энергетические соотношения процесса механической обработки материалов / Ф.Я. Якубов. Ташкент: ФАН. - 1985. -105 с.

26. Кабалдин Ю.Г Повышение надежности инструментального обеспечения гибких производственных систем / Ю.Г. Кабалдин, Б.Я. Мокрицкий, Б.И. Молоканов. Комсомольск-на -Амуре: Краевой совет НТО.- 1988.-64 с.

27. Якубов Ф.Я. Исследование связи внутренних энергетических характеристик инструментального материала с его износостойкостью /

28. Ф.Я. Якубов, В.А. Ким, А.А. Мухаммедов / Перспективы развития резания конструкционных материалов. Москва. - 1980. - С. 103-108.

29. Бржозовский Б.М. Обеспечение устойчивого функционирования прецизионных станочных модулей / Б.М. Бржозовский, А.А.Игнатьев, В.В. Мартынов. Саратов: изд-во Сарат. ун-та. - 1990. -118с.

30. Рубашкин И.Б. Оптимизация металлообработки при прямом цифровом управлении станками / И.Б.Рубашкин. Л., Машиностроение. -1980.-144 с.

31. Жарков И.Г. Вибрации при обработке лезвийным инструментом / И.Г. Жарков. Л., Машиностроение.Ленингр. отд-ние. - 1986. -231 с.

32. Бржозовский Б.М. Обеспечение надежности определения режимов лезвийной обработки для автоматизированного станочного оборудования / Б.М. Бржозовский, Н.Л. Плотников; Сарат. гос. техн. ун-т. -Саратов: СГТУ. -2001.-88 с.

33. Бржозовский Б.М. Точность и надежность автоматизированных прецизионных металлообрабатывающих станков: в 2 ч. / Б.М. Бржозовский и др.; Сарат. гос. техн.ун-т. Саратов, 1992. - Ч. 1. - 160 с.

34. Бржозовский Б.М. Точность и надежность автоматизированных прецизионных металлообрабатывающих станков: в 2 ч. / Б.М. Бржозовский и др.; Сарат. гос. техн.ун-т. Саратов, 1992. - Ч. 2. - 156с.

35. Кретинин О.В. Производственная система диагностирования режущего инструмента и обработанной поверхности ответственных деталей / O.B. Кретинин и др. // Надежность и контроль качества. 1996. -N2.-C. 34-40.

36. Потапов В.А. Экономическая эффективность механической обработки с использованием систем контроля стойкости и поломки инструмента / В.А. Потапов // Техника машиностроения. 1996. - N 3(9). -С. 89-93.

37. Карпов А.Н. Обеспечение качества процесса чистовой токарной обработки на основе стабилизации преобразующих свойств динамической системы станка : автореф. . канд. техн. наук : 05.03.01. /Карпов Александр Николаевич. Саратов, 1998. - 16 с.

38. Бровкова М.Б. Оперативная оптимизация чистовой токарной обработки на основе учета динамического состояния оборудования : автореф. . канд. техн. наук : 05.03.01. / Бровкова Марина Борисовна. -Саратов, 1998.-16 с.

39. Позняк Г.Г. Математическое моделирование статики и динамики стойки ультразвукового прошивочного станка / Г.Г. Позняк, В.А. Рогов, Елсайед А. Елмоуши и др. // Станки и инструмент. 2007. - N 6. -С. 2-4.-ISSN0869-7566.

40. Маркарьян Ю.А. Управление процессом глубокого сверления / Ю.А. Маркарьян // Станки и инструмент. 2007. - N 6. - С. 2-4. - ISSN 0869-7566.

41. ГОСТ 19265-73. Прутки и полосы из быстрорежущей стали. Технические условия. М.: Гос. ком. СССР по стандартам. - 1980 - 40 с.

42. Лахтин Ю.М. Материаловедение / Ю.М. Лахтин, В.П. Леонтьева. — М.: Машиностроение, 1972. 512 с.

43. Полевой С.Н., В.Д. Евдокимов. Упрочнение металлов. Справочник. М.: Машиностроение, 1986. - 320 с.

44. Режущие свойства из порошковых быстрорежущих сталей. Mehr Fertigunyssicherheit durch Werkzeuge aus pulvermetallurgischem Schnellstahl / Kolker Werner // Werkstatt und Betr. 1994. - 127, № 5. - C. 356-358.-Нем.

45. ГОСТ 3882-74. Сплавы твердые спеченные. Марки. М. : Гос. ком. СССР по стандартам. - 1986. - 18 с.

46. Инструментальные материалы. Fener und Wasser / Malle Klans // VDI-Zeitschrift. 1994. - Spec. Werkzeuge/ - C. 3. - Нем.

47. Режущая керамика : Заявка № 42402, Япония. МКИ5 В23В27/14 / Иноуэ Сигэо, Оно Такаси, Сасагава Масакадзу; К. К. Рикэн. №2-99584; заявл. 16.1.90; опубл. 7.1.92. // Кокай токе кохо. Сер.2(3). -1992.-1.-С. 5-10.-Яп.

48. Керамическая режущая пластина : Заявка № 425306, Япония, МКИ5 В23В27/14 / Каиэмару Мориёси, Татэно Цунэо, Кусака Сададзи; К.К. Кобэ оэйкосё № 2-128253; заявл. 17.5.90.; опубл. 29.1.92 // Кокай Токе, кохо. Сер.2(3). - 1992. - С. 35-40. - яп.

49. Применение инструментов из сверхтвердых инструментальных материалов. Hart im Nehmen : Proluktiv und Wirtschaftlich fertigen vit polykristallinen Schneidstaffen / Bliki Romain // Maschinenmarkt. 1994. -100, №17.-C. 44-46.-нем.

50. Применение синтетических алмазов для обработки волоконных композиционных материалов. Bearbeitungfaserverstarkter Metalle mit SYNDITE PKD / Clark J.E. // IDR: Ind. Diavanted Rdsch. 1995. - 29, № 1. -C. 5-8.-нем.

51. Зубарев Ю.М. Прогрессивный режущий инструмент из сверхтвердых материалов на основе кубического нитрида бора / Ю.М. Зубарев, C.B. Парсегов ; Лениград. дом науч.-техн. пропаганды. Легинград, 1988.-20 с.

52. Гаврикова И.С. Влияние температуры на формирование ионно-плазменных покрытий / И.С. Гаврикова, А.И. Додонова, В.В. Мокрый и и др. // Физика и химия обработки материалов. 1989. - N 1. - С. HO-HI.

53. Табаков В.П. Повышение работоспособности инструмента из быстрорежущей стали / В.П. Табаков, Ю.Н. Николаев, С.А. Журавский // Физикохимия процессов резания металлов : межвуз. сб. науч. ст. ; Чуваш. ун-т. Чебоксары, 1986. - С. 51-55.

54. Бедункевич В.В. Диагностика быстрорежущего инструмента с нитриднотитановым покрытием / В.В. Бедункевич // Физикохимия процесса резания металлов : межвуз. сб. науч. ст. ; Чуваш, ун-т. Чебоксары, 1986.-С. 81-87.

55. Табаков В.П. Повышение стойкости режущего инструмента путем изменения адгезионно-прочностных свойств износостойкого покрытия / В.П. Табаков, Ю.Н. Николаев, Ю.В. Полянсков и и др. // Станки и инструмент. 1990. - N 3. - С. 22-23. - ISSN 0038-9811.

56. Платонов Г.Л. Влияние содержания углерода в твердых сплавах на скорость роста покрытий из карбида титана и стойкость инструмента с этими покрытиями / Г.Л. Платонов и др. / Порошковая металлургия . 1989. - N 12. - С. 29-34. - ISSN 0032-4795.

57. Магнетронное напыление на установке НВГ-6 с целью улучшения качества инструмента // Сб. реф. НИОКР, обзоров, переводов, и деп. рукописей. Сер. МШ. - 1986. -N 35. - С. 34-35.

58. Боровушкин И.В. Повышение стойкости режущего инструмента ионно-плазменным напылением / И.В. Боровушкин // Станки и инструменты деревообрабатывающих производств : межвуз. сб. науч. трудов; Ленинград, лесотехн. ак-я. Ленинград, 1988. - С. 30-33.

59. Григорьев С. Как повысить надежность режущего инструмента / С. Григорьев // ТехноМИР. 2004. - N 3(21). - С. 53-57.

60. Метод низкотемпературного химического осаждения пленок из паровой фазы с использованием возбуждения плазмы электронно-циклотрон-ным резонансом / Matsuo Seitaro, К iuchi Mikiho // Jap. J. Appl. Phys. 1983. - 4.2, T. 22. - N 4. - C. 210-211. - англ.

61. Музил Дж. Микроволновая плазма: её характеристики и применение в тонкопленочной технологии / J. Musil // Vacuum. 1986. -Т.36. - N 1-3. - С. 161-169. - англ. - пер. Лелюхин С.В.

62. Новое покрытие для режущих инструментов. Neue Hartstoffschicht für die Lerspanung // Galvanotechnik. 1994. - T. 85. - N 11. - C. 3696. - нем.

63. Износостойкие покрытия для режущих инструментов. TiAlN verlängert Standzeit von Zerspannungswerkzeugen // Maschinenmarkt. -1994. T. 100, N 35. - C. 129. - нем.

64. Эффективность высокотвердых покрытий режущих инструментов. Neuentwichelte Hartstoffschicht für das Zerspfnen // Techn. Rdsch. -1994. T. 86, N 40. - С . 4-6. - Нем.

65. Повышение стойкости инструмента при помощи обработки микроимпульсами. Standzeiterhohung durch "Micropuls" : Plasma CVD -Beschickung von Hartmetall - Wendeschneidplatten // Fertigung. - 1994. -T. 22,N9. -C. 66.-нем.

66. Твердый сплав с износостойким покрытием : Заявка N 48409, Япония, МКИ5 В23В27/14 / Катаяма Апира, Танаха Хироси, Имамура

67. Хирото, Савадзима Тэцуро ; Син Ниппон сэйтэцу к.к.; Ниттэцу тёко к.к. ; Тохо киндзоку к.к. N2-108702 ; заявл. 26.4.90. ; опубл. 13.1.92. // Кокай токе кохо. Сер. 2(3). - 1992. - N 2. - С. 37-40. - яп.

68. Твердый сплав спокрытием.: Заявка N 487706, Япония. МКИ5 В23В 27/14 / Таниути Тосиюки, Сугахара Ацуси, Хамагути Такэки ; Мицубиси материару к.к. N 2-200444 ; Заявл. 27.7.90 ; опубл. 19.3.92. // Кокай токе кохо. Сер.2 (3). - 1992. - 16. - С. 35-38.

69. Режущие пластины с алмазным покрытием. Diamantbeschichtete Hartmetall Wendeschneidplatten // VDI-Z : Integr. Prod. -1995. - T. 137, N 1-2. - C. 88. - нем.

70. Рахман Бадрл. Влияние теплостойких покрытий на изнашивание инструментальных материалов (обзор) / Рахман Бадрл, А.Н. Посуко-ва // Надежность и эффективность станочных и инструментальных систем: Сб. науч. трудов ДГТУ / Ростов-на-Дону. 1993. - С. 46-50.

71. Кормилицын С.И. Работоспособность инструментов с покрытиями при точении труднообрабатываемых материалов / С.И. Кормилицын, Ю.М. Быков // Физические процессы при резании металлов : сб. науч. трудов ; Волгоград, пол. ин-т. Волгоград, 1986. - С. 58-63.

72. Солодков В.А. Износостойкость различных модификаций твердого сплава ТТ20К9 при фрезеровании / В.А. Солодков // Физические процессы при резании металлов : сб. науч. трудов ; Волгоград, пол. ин-т. Волгоград, 1986. - С. 98-103.

73. Исследование износостойких покрытий металлорежущих инструментов: Отчет о НИР (заключительный) / Ворошиловград, маши-ностроит. ин-т. Рубежанский филиал: № ГР 02860; Инв. № 096770. Ру-бежанск, 1986. - 14 с.

74. Лабунец В.Ф. Износостойкие боридные покрытия / В.Ф. Лабу-нец, Л.Г. Ворошкин . Киев: Техника, 1989. - 158 с.

75. Рогов В.И. Технологические возможности установки ЭДГУ-1 для электроискрового легирования / В.И. Рогов, Ю.А. Эпов // Повышение стойкости режущего инструмента : сб. науч. трудов. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1983. - С. 36-39.

76. Фотеев Н.К. Повышение стойкости формообразующей оснастки электроэрозионной обработкой / Н.К. Фатеев // Машиностроитель. -1987.-N9.-C. 14.

77. Освоение и внедрение техпроцесса упрочнения режущего инструмента на установке «ЭЛФА-541»: Технический отчет №8035/84-2 / НИИД: № ГР 54364; Инв. № 57257. Иваново, 1987. - 19 с.

78. Лашманов В.И. Повышение износостойкости инструмента /

79. B.И. Лашманов // ПРОинструмент. 2002. - N 18. - С. 16-18.

80. Морозенко В.Н. Механизация электроискрового упрочнения зубчатых профилей / В.Н. Морозенко и др. // Электронная обработка материалов. 1989. - N 4(148). - С. 84-87.

81. Ав. св. Би 1379033 А1. МКИЗ В23Н 9/00. Способ бесконтактного электроэрозионного упрочнения металлических поверхностей /

82. C.Н.Дунин, М.К. Мицкевич (СССР). 3 с. илл.

83. Бровер Г.И. Особенности лазерной и электронно-лучевой обработки инструментальных сталей / Г.И. Бровер, A.A. Шульга, П.И. Русин // Электронная обработка материалов. 1989. - N 1 (151). - С. 15-18.

84. Разработка режимов лазерного упрочнения: Отчет о НИР / Физ.-тех. ин-т АН БССР: № ГР 80049952; Инв. № 0283 0036873. -Минск, 1981.-30 с.

85. Латышев В.Н. Повышение стойкости быстрорежущего инструмента ионно-лазерным поверхностным упрочнением / В.Н. Латышев, А.Г. Наумов, В.В. Новиков и др. // Станки и инструмент. 2005. - N 6. -С. 17-20.

86. Даниленко С.А. Технологическая установка с лазером ЛТН-102А / С.А. Даниленко, И.М. Муха // Технология и организация производства. 1988. - N 2. - С. 48-49.

87. Смольников Е.А. Термическая и химико-термическая обработка инструментов в соляных ваннах / Е.А. Смольников . М.: Машиностроение. - 1989. - 148 с.

88. Никитин А.И. Исследование влияния термоокисления на работоспособность твердосплавных режущих пластин / А.И. Никитин, В.П. Трифонов // Физикохимия процесса резания металлов : сб. статей ; Чуваш. ун-т. Чебоксары, 1986. - С. 71-74

89. Шумаков А.И. Поверхностное упрочнение деталей сверхнауг-ле-роживанием с последующим азотированием / А.И. Шумаков, Л.А. Желанова, В.Р. Бежин // Современные проблемы триботехнологии : тез. докл. Всесоюзн. науч.-тех. конф. Николаев, 1988. - С. 83-84.

90. Разработка и внедрение технологии химико-термической обработки деталей и инструмента в условиях тлеющего разряда: Отчет о НИР (окончательн.) / М. высш. техн. училище им. Н.Э Баумана: № ГР 80005837; Инв. № 02840 035457. М., 1983. - 106 с.

91. Химико-термическая обработка металлов и сплавов. Минск, 1981г.: Тез. докл. 1УВсесоюзн. науч. конф.-Минск, 1981.-398 с.

92. Котков Ю.К. Повышение износостойкости металлорежущего инструмента из быстрорежущих сталей /Ю.К. Котков, А.Г. Наумов // Физика трибологических систем : сб. ст. ; Иванов, хим.-техн. ин-т. -Иваново, 1988.-С. 94-98.

93. Бхатнагар С.С. Азотирование Nitriding / Bhatnagar S.S. // Tool and alloy steels. 1985. - Т. 19. - N 5. - С. 155-159. - англ. - пер. Силь-ченков В.А.

94. Куликов А.И. Исследование нового процесса азотирования металлов и сплавов / А.И. Куликов // Машиностроитель. 1995. - N 4-5. -С. 16-17.-ISSN 0025-4568.

95. Забавник В. Азотирование штампов для горячей штамповки / В. Забавник // Кузнечно-штамповое производство. 1990. - N 9. - С. 18-19.-ISSN 0201-7296.

96. Пархоменко В.А. Плазменное упрочнение сверл из стали Р6М5 / В.А. Пархоменко и и др. // Технол. и организация производства,-1989,-N2.-С. 55-56.

97. A.c. 1793004 СССР МКИЗ С 23 С 8.36. Способ химико-термической обработки изделий из твердого сплава/ Г.Е. Рабинович и др. (СССР)-2 с.

98. A.c. 1042359 СССР МКИ4 С 23 С 4.00. Способ обработки поверхности металлических изделий / И.Ш. Абдуллин и др. СССР 2 с.

99. Пат. 1407384 Россия. МКИ5 Н 05 Н 1/00. Способ обработки металлических деталей импульсной плазмой / В.Н. Ляшенко (Россия) 4 с. илл.

100. Иванов В.А. Микроплазменная технология упрочнения металлов E-mailA IVANOV@FPL.GPI.RU URL: http://www.plasmaiofan.ru.

101. Салькова С.С. Опыт применения ионного азотирования в машиностроении / С.С. Салькова, В.А.Рудман. Л.: Дом науч.-тех. пропаганды. - Ленинград, 1987. - 20 с.

102. Пат. 5240514 США. МКИ5 С 23 С 8/38. Способ ионного азотирования стальных деталей. / Yasuura Kiyovi (Яп.) 5 с. илл.

103. Рябченков E.B. Разработка процессов химико-термической обработки металлов в тлеющем разряде / Е.В. Рябченков // Прогрессивные методы химико-термической обработки : сб.ст. М.: Машиностроение, 1989.-С. 132-142.

104. Бутенко О.И. Формирование диффузионного слоя при ионном азотировании / О.И.Бутенко, Я.М. Головчинер, С.А.Скотников // Прогрессивные методы термической и химико-термической обработки: сб.ст. М.: Машиностроение, 1982. - С. 122-128.

105. Каплун В.Г. Упрочнение в тлеющем разряде деталей топливной аппаратуры. / В.Г. Каплун // Надежность и долговечность машин и сооружений (Киев). 1990. - N 18. - С. 86-89.

106. Современное электротермическое оборудование для поверхностного упрочнения деталей машин и инструментов. Саратов, сентябрь 1990 г.: Тез. докл. II Всесоюз. науч.-тех. симпозиума. М.: Информэлек-тро, 1990.-132 с.

107. Немешев Д.Ф. Износо- и окалиностойкость сталей различных классов после нанесения покрытий ионно-плазмекнной бомбардировкой. / Д.Ф. Немешев, Ю.В. Шахназаров. JL: Дом науч.-тех. пропаганды, 1986.-С. 63-66.

108. Васильева Е.В. Влияние имплантации ионов азота и углерода на стойкость подшипниковой стали / Е.В. Васильева и др. // Физика и химия обработки материалов. 1989. - N 1. - С. 80-82.

109. Гусева Н.И. Упрочнение деталей машин методом ионной имплантации / Н.И. Гусева // Проблемы машиностроения и надежности машин. -1991.-N4.-C. 80-89.

110. Лабунов В.А. Ионно-лучевые источники для обработки поверхности твердых тел и получения тонких пленок / В.А.Лабунов, Г. Рейсе // Зарубежная электронная техника. 1982. - Вып. 1. - С. 1-45.

111. Разработка оборудования и технологических процессов многофункциональных вакуумных ионно-плазменных покрытий на металлической поверхности. Москва, 1990г.: Тез. докл. координационного совета. М.: НИАТ, 1990. - 24 с.

112. A.c. 1441792 СССР. МКИ5 С 21 Д 1/09. Способ обработки инструмента / И.Ф. Исаков и др. (СССР) 3 с. илл.

113. Погребилк А.Ф. Модификация свойств металлов под действием мощных ионных пучков / А.Ф. Погребилк и др. // Известия ВУЗов. Физика. 1987.- N 1.-С.52 -55.

114. Пат. 2277763 Россия. МПК Н05Н 1/18. Способ и устройство получения стационарного комбинированного разряда низкотемпературной плазмы пониженного давления / А. А. Сергеев, Е.П. Зинина, Н.Ф. Кислицына (Россия) 7 с. илл.

115. Зинина Е.П. Упрочнение режущего инструмента в микроволновой плазме / Е.П. Зинина // Электронная промышленность. Наука. Технология. Изделия. 1999. - N4. - С. 27.

116. Промышленные технологии нанесения нанокомпозитных PVD-покрытий. Магнетронная напылительная система УНИП 700 / НПФ «ЭЛАН-ПРАКТИК». E-mail: praktik@sinn.ru.

117. Установка МИР-2 / Информационный листок о научно-техническом достижении //М.:ВИМИ, 1988.-N 88-1594.

118. Установка плазменного напыления и диффузионной сварки в вакууме модели КИБ-ДС / Информационный листок о научно-техническом достижении // М.:ВИМИ, 1987. N 87-1370.

119. Ресурсосберегающие экологичные технологии и оборудование для химико-термической обработки сталей и сплавов / НИИ «НИТРИД». E-mail: nitrid@renet.cov.ru.

120. Агрегат СНВА-5.10.5/7И1 / Информация о новой разработке Электротехника СССР. М.:Информэлектро, 1986. Ж12.07.13-86.

121. Применение метода ионного азотирования для поверхностного упрочнения деталей пресс-форм / Информационный листок о научно-техническом достижении // М.:ВИМИ, 1987. N 87-2053.

122. И. Мак-Даниэль. Процессы столкновений в ионизированных газах / И. Мак-Даниэль. М.: Мир, 1967. - 832 с.

123. Биберман JI.M. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы / JI.M. Биберман, B.C. Воробьёв, И.Т. Якубов. М.: Наука, 1982. -374 с.

124. Райзер Ю.П. Основы физики газоразрядных процессов / Ю.П. Райзер. М.: Наука, 1980. - 415 с.

125. Райзер Ю.П. Физика газового разряда / Ю.П. Райзер. М.: Наука, 1987.-380 с.

126. Энгель А. Ионизованные газы / А. Энгель. М.: Физматгиз, 1959. -320 с.

127. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме / Б.М. Смирнов. М.: Атомиздат, 1968. - 364 с.

128. Месси Г. Электронные и ионные столкновения / Г. Месси, Е. Бархоп; отв. ред. С.М.Осовец. М.: Иностранная литература, 1958. - 434 с.

129. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. М.: Энергоиздат, 1987. - 264 с.

130. Мак-Доналд А. Сверхвысокочастотный пробой в газах / А. Мак-Доналд; пер. с англ. М.М. Савченко, А.Г.Фрвнк. М.: Мир, 1969. -212 с.

131. СВЧ-энергетика / под ред. Э.Окресса. М.: Мир, 1971. -Т.2248 с.

132. Батенин В.М. СВЧ-генераторы : Физика, техника, применение / В.М. Батенин, и др.. -М.: Энергоатомиздат, 1988. 224 с.

133. Русанов В.Д. Физика химически активной плазмы / В.Д. Русанов, A.A. Фридман; отв. ред. ак. В.А. Легасов. М.: Наука, 1984. - 416 с.

134. Смирнов В.В. Оборудование ионной имплантации / В.В. Смирнов и др.. М.: Радио и связь, 1988. - 184 с.

135. Киреев В.Ю. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В.Ю. Киреев, Б.С.Данилин, В.И. Кузнецов. М.: Радио и связь, 1983. - 374 с.

136. Лабунов В.А. Многопучковые ионные источники для систем ионного травления распыления / В.А. Лабунов, Н.И. Данилович, В.В. Громов // Зарубежная электронная техника. - 1982. - Вып. 5. - С. 82-120.

137. Лабунов В.А. Ионно-лучевые источники для обработки поверхности твердых тел и получения тонких пленок / В.А. Лабунов, Г. Рейссе // Зарубежная электронная техника. 1982. - Вып. 1. - С. 1-42.

138. Плазменные технологии в производстве СБИС / отв. ред. Н. Айспрук, Д. Браун. М.Мир, 1987. - 470 с.

139. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов / М.Д. Габович. М.: Атомиздат, 1972. - 304 с.

140. Техгология ионного легирования / отв. ред. С. Намб. М.: Советское радио, 1974. - 160 с.

141. Грановский B.J1. Электрический ток в газе / B.JT. Грановский. М., Л.: Гос. изд. технико-теоретической литературы, 1952. - Т. 1. - 432 с.

142. Райцын Д.Г. Электрическая прочность СВЧ устройств /Д.Г. Райцын. М.: Советское радио, 1977. - 168 с.

143. Козлов О.В. Электрический зонд в плазме / О.В. Козлов. М.: Атомиздат, 1969. - 292 с.

144. ГОСТ 2789-73 Шероховатость поверхности. Параметры, характеристики и обозначения. -М.: Изд-во стандартов, 1990. 10 с.

145. Анурьев В.И. Справочник конструктора-машиностроителя: в 4 т./ В.И. Анурьев М.: Машиностроитель, 1980 - Т. 1 - 728 с.

146. Бурдун Г.Д. Линейные и угловые измерения / Г.Д. Бурдун, Г.С. Бирюков, М.Г. Богуславский и др. М.: Изд-во стандартов, 1977. -512с.

147. Измерительные приборы в машиностроении / под ред. Г.Д. Бурдуна. М.: Машиностроение, 1964. - 524 с.

148. Бокин М.Н. Взаимозаменяемость, контроль и техника измерения в машиностроении / М.Н.Бокин. Л.: Лениздат, 1965. - 256 с.

149. Сандитов Д.С. Микротвердость и некоторые механические и тепловые характеристики некристаллических твердых тел / Д.С. Сандитов // Новое в области испытаний на микротвердость : сб. науч. тр. АН СССР.-М.: Наука, 1974.-С. 236-241.

150. Григорович В.К. Твердость и микротвердость металлов / В.К.Григорович. М.: Наука, 1974. - 256 с.

151. Енишерлова К.JI. Возможности метода статического вдавливания при исследовании приповерхностных слоев хрупких монокристаллов / К.Л. Енишерлова, З.А. Кутейникова, Н.П. Подштбякина // ФТТ. 1978. - т.9. - 12. - С.217-220.

152. ГОСТ 9450-81. Измерения микротвердости вдавливанием алмазных наконечников. М.: Госкомитет СССР по стандартам, 1982. - 32с.

153. Григорович В.К. Физические основы микротвердости / В.К. Григорович // Новое в области испытаний на микротвердость : сб. науч. тр. АН СССР. М.: Наука, 1974. - С. 21-28.

154. Ковалевский В.В. Экспресс-метод определения толщины тонких упрочняющих покрытий / В.В. Ковалевский, Л.Е. Зубков, Ю.И. Ша-лапко // Заводская лаборатория. 1993. - 4. - С. 55-56.

155. Зибуц Ю.А. Оценка микротвердости упрочняющих покрытий / Ю.А. Зибуц, Л.А. Матвиенко, А.И. Каминскас // Заводская лаборато-тия. 1991. - Т.57. - 3. - С. 40-41.

156. A.c. 1245935 СССР. МКИ4 G 01 N 3/42. Способ определения толщины упрочненного покрытия / A.B. Желдубовский, А.Д. Погребняк, Б.Н. Романюк и др. (СССР) 2 с.

157. A.c. 311176 СССР. МКИ G 01 N 3/42. Способ определения глубины слоя перераспределения легирующих элементов / Н.М. Пуль-цин, В.К. Афонин (СССР) 2 с.илл.

158. Перинский В.В. Влияние облучения ионами аргона на электрические и химические свойства пленок хрома / В.В. Перинский, Б.В. Козейкин, Б.А. Макаренко // Электронная техника. 1988. - Сер.7. ТО-ПО. - Вып.4(149). - С.35-37.

159. Диденко А.Н. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов / А.Н. Диденко, А.Е. Лигачев, И.Б. Куракин. М.: Энергоатомиздат, 1987. - 184 с.

160. Ясуда X. Полимеризация в плазме / X. Ясуда. М.: Мир, 1988.-376 с.

161. Бокштейн С.З. Диффузия и структура металлов / С.З. Бок-штейн. М.: Металлургия, 1973. - 208 с.

162. Фикс В.Б. Ионная проводимость в металлах и полупроводниках / В.Б. Фикс. М.: Наука, 1969. - 296 с.

163. Каур И. Диффузия по границам зерен и фаз / И. Каур, В. Густ. М.: Машиностроение, 1991. - 448 с. - пер. с англ.

164. Белый A.B. Поверхностная упрочняющая обработка с применением концентрированных потоков энергии / A.B. Белый, Е.М. Маку-шов, И.Л. Поболь; отв. ред. В.И. Беляев. Минск : Навука i тэхшка, 1990.-80 с.

165. Кидин И.Н. Физические основы электротермической обработки металлов и сплавов / И.Н. Кидин. М.: Машиностроение, 1967. - 374 с.

166. Головин Г.Ф. Технология термической обработки металлов с применением индукционного нагрева / Г.Ф. Головин, Н.В. Зимин; отв.ред. А.Н. Шамов. Л.: Машиностроение, 1979. - 120 с.

167. Демичев А.Д. Поверхностная закалка индукционным способом / А.Д. Демичев; отв. ред. А.Н. Шамов. Л.: Машиностроение, 1979. -79 с.

168. Бондарев В.В. Оперативное диагностирование состояния режущего инструмента на токарных модулях ГПС бесконтактным методом. : дис. канд. техн. наук : 05.03.01 / Бондарев Валерий Викторович. -Саратов, 1997.-249 с.

169. Полетика М.Ф. Приборы для измерения сил резания и крутящих моментов / М.Ф. Полетика. Свердловск : гос. науч.-техн. изд-во машиностроительной литературы, 1963. - 107 с.

170. Мартынов В.В. Повышение износостойкости сложнопро-фильного режущего инструмента в плазме комбинированного разряда /

171. B.В. Мартынов, Е.П. Зинина // Современные тенденции развития транспортного машиностроения, 27-28 сентября 2005г., Пенза : сборник статей X Междунар. науч.-техн. конф. Пенза: ПТУ, 2005. - С. 84-86.

172. Зинина Е.П. Упрочнение режущего инструмента в плазме комбинированного разряда пониженного давления / Е.П. Зинина, В.В. Мартынов // Станки и инструмент. 2007. - N 6. - С. 18-20. - ISSN 08697566.

173. Кабалдин Ю.Г. Синергетика наноструктурирования контактных поверхностей твердосплавного инструмента при резании / Ю.Г. Кабалдин, М.В. Семибратова // Весник машиностроения. 2007. - № 3.1. C.50-54.