автореферат диссертации по машиностроению и машиноведению, 05.02.07, диссертация на тему:Повышение эффективности отделочной обработки деталей из поликорундовой керамики

кандидата технических наук
Нечаев, Дмитрий Александрович
город
Москва
год
2010
специальность ВАК РФ
05.02.07
цена
450 рублей
Диссертация по машиностроению и машиноведению на тему «Повышение эффективности отделочной обработки деталей из поликорундовой керамики»

Автореферат диссертации по теме "Повышение эффективности отделочной обработки деталей из поликорундовой керамики"

□□3492361

На правах рукописи. НЕЧАЕВ ДМИТРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ОТДЕЛОЧНОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ ИЗ ПОЛИКОРУНДОВОЙ КЕРАМИКИ.

Специальность: 05.02.07 - Технологии и оборудование

механической и физико-технической обработки.

АВТОРЕФЕРАТ

Диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Москва 2010

2 5 ФЕЭ 2010

003492361

Диссертационная работа выполнена на кафедре "Технология транспортного машиностроения и ремонта подвижного состава" в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Московском государственном университете путей сообщения» (МИИТ),

Научный руководитель:

доктор технических наук, профессор Куликов М.Ю.

Официальные оппоненты:

доктор технических наук,

старший научный сотрудник Наумов А.Г.

(Ивановский государственный университет)

кандидат технических наук Кириллов А.К.

Московский государственный технологический университет (СТАНКИН)

Ведущее предприятие: ОАО ЦКБ "СПЕЦРАДИОМАТЕРИАЛОВ" г. Москва

Защита состоится марта 2010 г. в " 13 " час. на заседании диссертационного совета Д212.203.16 при Российском университете дружбы народов по адресу: 113090, Москва, Подольское шоссе, дом 8/5 ауд, 109.

С диссертацией можно ознакомится в Учебно-научном библиотечном центре Университета по адресу: 117198, Москва, ул. Миклухо-Маклая, д,6.

Автореферат разослан "_"_2010г.

Ученый секретарь диссертационного совета

1. ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы исследования.

Развитие современного машиностроения связано с поиском новых материалов с необходимыми свойствами, а также технологий их изготовления для обеспечения конкурентоспособности продукции. К одним из наиболее перспективных материалов может быть отнесен широкий класс керамических и композиционных материалов. Они обладают уникальными свойствами: широким диапазоном механических свойств (твердость, прочность) в сочетании с химической устойчивостью и радиационной стойкостью; обладают высокими электрофизическими и радиотехническими свойствами; имеют уникальные служебные (эксплуатационные) характеристики.

Поликристаллические материалы на основе оксида алюминия широко используются в электронной, радиотехнической промышленности в качестве подложек под микросхемы, в металлообработке в качестве режущих пластин. Однако массовое применение таких материалов сдерживается с одной стороны нестабильностью их физико-механических свойств и структуры, которые обусловлены трудно управляемыми процессами формообразования (формование, спекание), а с другой стороны высокими требованиями к точности и качеству поверхности изделий. Высокие требования к точности готовых изделий, определяемые десятыми долями микрометра, шероховатости поверхности /?а < 0.05 мкм, а также отсутствие поверхностных дефектов (трещин, царапин, сколов) обуславливают применение в качестве финишной обработки операций алмазной доводки, как правило длительной во времени. Поэтому проблема стабилизации процессов диспергирования и последующего управления технологическим процессом является актуальной.

Рекомендации по технологии доводки, существующие в настоящее время, основываются, в основном, на эмпирических подходах и разнообразных гипотезах, которые рассматривают процесс диспергирования с различных теоретических позиций. В связи с этим возникла необходимость проведения исследований процесса тонкой доводки с целью его стабилизации на основе анализа комплексного воздействия комбинированной внешней среды и технологических условий и создания физико-математической модели такого взаимодействия. Предлагаемый в данной работе подход предполагает учет как технологических факторов процесса, так и геометрических особенностей инструмента - притира.

Решение такой сложной задачи возможно с использованием системно-структурного анализа, где статистические оценки выходных показателей процесса связаны с физико-механическими явлениями сопровождающими процесс. В результате появляется возможность создания управляемого технологического процесса.

Цель работы:

Повышения производительности и качества поверхности изделий из минералоке-рамики методами алмазной доводки и теоретическое обоснование математической модели диспергирования в условиях обработки свободным абразивом при комбинированном воздействии среды.

Методы исследования:

Физическое моделирование реального технологического процесса, методы статистической обработки результатов, лабораторные методы механических и физико-механических испытаний.

Научная новизна заключается в;

- Установлено определяющее влияние условий предварительной механической обработки на эффективность процесса доводки керамики;

- Выявлена прямая корреляционная зависимость шероховатости обработанной поверхности керамики от ей микротвердости, а также от параметров ее зерна;

- Разработана математическая модель микроразрушения керамики при комплексном воздействии абразива и внешней среды;

Практическая ценность;

По результатам исследований на основе существующих теоретических подходов установлено существенное положительное влияние гидродинамического эффекта на эффективность доводки мелкозернистыми пастами изделий из керамики ВК 100-1 в виде пластин 60x48x1 мм, реализованы условия стабильного осуществления этого эффекта, рекомендована к производственному использованию пожаробезопасная СОТС МР-1 и технологические рекомендации по ее использованию, что позволило повысить в производственных условиях выход годных изделий на 5% по всему производственному циклу, сократить время обработки, резко улучишь санитарно-экологические условия производства и получить хороший экономический эффект.

Публикации:

По результатам проведенных исследований опубликовано 6 работ.

Структура и объем работы:

Диссертационная работа состоит из введения и пяти глав. Содержит 132 страницы машинописного текста, 19 рисунков, 15 таблиц, библиографию из 97 наименований.

2. ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы диссертационной работы.

В первой главе представлен обзор работ, рассматривающих анализ основных физических процессов, сопровождающих доводку свободным абразивом. Отмечается, что эта разновидность механической обработки представляет собой сложный процесс массового динамического воздействия алмазных зерен, контактирующих поверхностей и жидкой абразивной среды, в результате которого происходит съем материала как с обрабатываемой поверхности, так и поверхности притира. При этом процессу сопутствуют стохастические явления: различная степень подвижности зерен; сложное физико-химическое воздействие абразивной среды на поверхностные слои контактирующих поверхностей, неопределенность физико-механических характеристик абразивной прослойки вследствие накопления шлама, процессов структуризации и др.

Кроме влияния отмеченных особенностей, поверхностные слои испытывают со стороны зерен циклические динамические нагрузки в условиях всестороннего сжатия, приводящие к накоплению усталостных повреждений и последующему разрушению деформируемых микрообъемов, что значительно усложняет процедуру математического описания процесса и его алгоритмизацию. Задача управления процессом диспергирования заключается в создании таких условий, чтобы процесс резания с максимальной интенсивностью проходил на обрабатываемой поверхности и был минимизирован на поверхности притира

В условиях комбинированного взаимодействия различных процессов в зоне резания единственно возможным методическим подходом к алгоритмизации является системно-структурный анализ. Каждая система состоит из множества элементов (подсистем), имеющих под собой реальные физические связи и обладает свойством относительной устойчивости в определенных границах изменения ее переменных. Фиксация состояния относительной устойчивости позволяет стабилизировать процесс диспергирования, составить физико-математическую модель и появляется возможность проектирования относительно управляемого технологического процесса при стохастических элементах этой системы.

В соответствии с изложенным, для реализации поставленной цели исследований необходимо решить следующие задачи:

- Определить рациональные условия формирования поверхностного слоя при доводке с учетом эффекта технологической наследственности.

- Исследовать совместное влияние режимов доводки и предварительного состояния поверхностного слоя на скорость диспергирования

- Определить рациональные критерии комплексные воздействия условий обработки на получаемую минерало - керамическую деталь

- Установить пожаробезопасную СОТС, используемую при доводке минерало-керамического изделия.

Вторая глава содержит сведения об используемом оборудовании, средствах измерения и методиках проведения эксперимента.

Исследования проводились с использованием модернизированных станков типовых моделей C-1S и ЗШП-Э50М, позволяющих вести обработку при попутном и встречном направлениях вращения. Для измерения усилия резания в плоскости доводки применялся стенд П8-ТММ конструкции МГТУ им. Баумана.

В качестве объекта исследования использовались пластинки размером 60x48x1 мм корундовой керамики ВК100-1, содержащей 99,8% оксида алюминия, материалов инструмента (притира) использовались серый чугун (СЧ 15), титановый сплав ВТ-1, сталь 5, текстолит, стеклотекстолит.

Применялись алмазные пасты мазеобразные растворимые органическими веществами АСМ 5/3 ПОМ, АСМ 3/2 ПОМ по ГОСТ 25593-83.

Физико-механические свойства поверхности исследовались с помощью микротвердомера ПМТ-3 по стандартной методике (ГОСТ 9450-76). Для исключения влияния краевых эффектов и масштабного фактора предел прочности при осесимметгричном изгибе определялся с использованием специального приспособления спроектированного для обеспечения равенства радиальных и кольцевых моментов в заделке и центральной зоне. Это позволяет нагрузить наибольшую площадь пластинки максимальными изгибающими моментами.

Качество поверхностного слоя анализировалось с использованием профилографа -профилометра мод. К202 и радиусом ощупывающей иглы 2 мкм, оптической и электронной микроскопии. Глубина нарушенного слоя определялись рентгенографическим методом. Разработана методика определения глубины нарушенного слоя, размеров кристаллитов и микронапряжений.

При планировании эксперимента использовался полный факторный эксперимент ПФЭ 23 и некомпозиционный план второго порядка для двух факторов и проводилась статистическая обработка результатов с построением математической модели процесса.

Для статистической обработки результатов применялась ПЭВМ с типовым пакетом прикладных программ контроля качества по рекомендациям ISO 9000:

Третья глава посвящена анализу характера влияния доминирующих входных фах-торов процесса диспергирования на выходные показатели операции доводки: производительность и качество поверхности. Основными из них являются: механические свойства поверхностных слоев заготовки и структурные особенности, технологические факторы {давление, скорость относительного движения и закон ее изменения, свойства абразивной суспензии.

Исследованы характер распределения микротвердости поверхности подложек. Установлено логарифмически - нормальное распределение параметра с математическим ожиданием микротвердости На 2450 МПа и квадратичным отклонением <г= ±570 МПа, что свидетельствует о значительной неоднородности показателей механических свойств поверхности. Исследован характер распределения размеров зерна керамики и установлена корреляция с распределением параметра шероховатости шлифованной поверхности. Установлено, что количественные показатели качества поверхности существенно улучшаются путем комплексного применения метода доводки связанным абразивом и эффективной СОТС (1 % раствор масла касторового сульфированного в воде).

Исследованиями показателей прочности установлено, что изделия из керамики ВК 100-1 являются поверхностно-дефектными, определен предел прочности при осесиммет-ричном изгибе с защемлением по контуру. Исследован характер влияния применяемых СОТС на величину предела прочности. Установлено, что водные СОТС используемые при шлифовании уменьшают предел прочности на 30%, а органические СОТС (керосин и СОТС-МР-1) не влияют на величину аи. Проведена оценка связи пористость - качество поверхности и установлена корреляция этих показателей: при пористости < 2% параметр Яа <1,25 (V7), а пористости > 2% соответствует параметр Ra > 1,25.

Экспериментальными исследованиями установлено сложное влияние технологических факторов процесса на производительность доводки свободным абразивом. Исследовались две типовые схемы обработки: эксцентрикового типа (станок С-15) и поводкового типа (станок ЗП1П). Взаимовлияние кинематических и динамических параметров процесса и количества подаваемой жидкости в зону резания приводит к различной производительности. Это взаимодействие особенно заметным становится при обработке мелкозернистыми пастами АСМ 5/3 и АСМ 3/2, где количество жидкости определяет условия взаимодействия абразивной прослойки и поверхностных слоев обрабатываемой детали. Установлено положительное влияние на производительность и качество поверхности дополнительных спиральных канавок треугольного профиля, создающих гидродинамический эффект и позволяющих стабилизировать процесс диспергирования в условиях тонкой доводки.

Рассмотрено влияние различных СОТС на эффективность диспергирования,. Установлено, что СОТС МР-1 создает наиболее благоприятные условия диспергирования исследуемой керамики в условиях гидродинамического режима доводки за счет равномерности изнашивания поверхности притира, различных адсорбционных эффектов и эффективного торможения алмазных зерен. При этом повышается производительность, улучшается качество полировки, уменьшается число царапин и сколов, удаляется нарушенный слой в 1,2 - 1,4 раза быстрее при использовании керосина

Исследован характер изменения абразивной способности суспензии во времени. Для различных СОТС установлена эмпирическая зависимость соответствующая уравнению Миндта:

<2(1) = (2оехр(-са), (1)

где <Зо - абразивная способность новой суспензии (мг/мин);

а - коэффициент, зависящий от технологических условий доводки. Определены значения показателя степени а для исследуемых СОТС и паст различной зернистости, значения которых свидетельствуют о различном характере поведения суспензии в зоне резания обусловленном синергизмом взаимодействия технологических факторов на эффективность диспергирования.

Исследован характер износа поверхности притира с различными геометрическими особенностями. Теоретический анализ характера износа поверхности проведен с использованием теории перекрытий по кинематическим показателям. Экспериментальное определение характера износа показало, что износ типового притира коррелирует с теоретическими расчетами для гладкого притира, а экспериментальный притир со специальными канавками изнашивается более равномерно. Этот факт подтверждает вывод о значительном положительном влиянии гидродинамических условий на стабилизацию процесса диспергирования при доводке мелкозернистыми пастами и стабильность выходных показателей операции.

Четвертая глава посвящена разработке математической модели диспергирования керамики мелкозернистыми алмазными пастами при учете комбинированного воздействия среды и кинетики накопления повреждений в поверхностных слоях обрабатываемого материала.

Математической основой модели является экспоненциальная зависимость абразивной способности суспензии (1).

Полагая общность процессов накопления повреждений и хрупкого разрушения при циклическом объемном нагружении и стохастическом абразивном нагружении локального

объема поверхностного слоя при доводке, определяемых характером поведения дислокаций, коэффициенту а в уравнении Миндта (I) можно придать физический смысл.

Рассматривая малый участок контактной зоны разрушаемой поверхности при абразивной доводке, но содержащий такое количество мелкозернистых частиц, что дискретность диспергирования сглаживается и среде можно приписать свойства макросистемы, уравнение процесса диспергирования можно представить в виде:

Ч,(г)~Ч»(*)-ехрНа-С*П1 (2),

где: цх(г)-с!х/<И - скорость съема в момент времени 1, (мг/мин, мкм/мин);

цо(г) - начальная скорость сьема материала, обусловленная зернистостью пасты {¿) и другими сопутствующими технологическими факторами;

/ № \ - обобщенная функция накопления повреждений обу-

Д^) „

словленная кинетикои воздействия абразивнои среды,

а-

К(а)-Р-ас

с j

к ; (3)

fifG1) - функция скрытой энергии деформации, МПа*сек"'; К(<т)~ функция коэффициента локального напряжения; Р - давление в зоне обработки, МПа; ас* -разрушающее напряжение, МПа; С* - предельное значение функции повреждаемости в момент разрушения обусловленное предельной плотностью дислокаций, сек"1.

Предлагаемый подход основан на взаимосвязи между физическими процессами деформирования и разрушения происходящих на микроуровне и макроскопическом поведении материала. Он позволяет, с одной стороны, уйти от излишней детализации атомных, дислокационных и других структурных процессов, а с другой - сформулировать критерий разрушения локального объема в терминах механики сплошной среды.

Характер поведения обобщенных функций {¡(О1), Ща), С*= const определяется на основе экспериментальных исследований реального технологического процесса. Проведенные исследования процесса доводки технической керамики ВК 100-1 позволили получить частные зависимости влияния технологических факторов процесса на эффективность диспергирования с использованием разработанной эффективной СОТС, которые изображены на рис. 1 (а, б, в).

Эксперимент проводился в производственных условиях на типовом оборудовании оптической промышленности станке ЗШП-350М. Связав каждую из экспериментальных

Р.МПа

0.15

50

75

100 125

150

п, об/мин

175

5 10 15 20

Время доводки, I (мин)

Рис.1: Зависимость скорости съема керамики цт, (мг/мин), паста 5/3 ПОМ: а) - от внешнего давления, Р, МПа; б) - от скорости относительного движения, по: в) - от времени доводки, мин. 1 - СОТС-МР-1; 2 - СОТС - керосин.

зависимостей с одной из обобщенных функций повреждаемости: ¡}(<3*) с qx(Vo), К(а) с q,(P), С* с lnqm(t), методом последовательных приближений можно рассчитать экспериментальные функции повреждаемости по уравнению (3), следуя нижеприведенному алгоритму.

1. Определяется С*, исходя из предельного перехода зависимости lnqm(t) (рис.1,в):

In = (4)

~ос

при условии разрушения локального объема без приложен!« внешней нагрузки (Р=0), приняв функцию Д) равной энтальпии единицы объема обрабатываемого материала. Такой переход согласуется с энергетической гипотезой разрушения, в соответствии с которой акт разрушения может происходить вне зависимости от способа подвода энергии. Значение ¡що определяется с графика (рис. 1.в), а с - определяется из статических испытаний обрабатываемого материала.

Для корундовой керамики ВК 100-1 принято:

lnq0 — 4,25; ро - 83,172 МПа*сек-1; схс* — 165 МПа- предел прочности на изгиб при испыташш по схеме осесимметричного нагружения в присутствии используемой СО ТС. По зависимости (4) получено значение С* = -4,754 (сек"1).

2. Определяется Ко(сг) по уравнению (3) с использованием значения qm~48 мг/мин соответствующего среднему значению Рср эксперимента. (Pip ~ 0,1 МПа, рис. 1,6).

3. Определяется значение $ с использованием третьей зависимости (рис. 1,а) с подставкой в уравнение (3) полученных выше значений С* и К0.

Таким образом, повторив отмеченную последовательность расчета по пунктам 2 и 3 с использованием значений qm с графиков (рис. 1,а, б) получаем массив значений обобщенных функций повреждаемости /}(Уо) и К(Р), соответствующих условиям протекания реального технологического процесса. По мнению автора они отражают реальные физико-механические аспекты диспергирования материала сопровождающие операцию доводки свободным абразивом. Рассчитанные таким образом функции повреждаемости для различных условий доводки изображены на рис. 2. Полученные зависимости являются информативными и могут быть использованы при проектировании технологического процесса доводки - притирки для снятия определенного припуска.

При смене технологического маршрута предварительной обработки изменится значение предельной функции повреждаемости С* - const.

Рис. 2: Зависимость функций повреждаемости от технологических факторов процесса доводки:

а) - функции скрытой энергии деформации -/(по);

б) - функции коэффициента локального напряжения К(а) =/(Р):

1 - СОТС-МР-1; 2-СОТС-керосин. Монотонный характер поведения функций повреждаемости Р(С?); К(о) может слу-

жить показателем стабильности процесса обработки. Перегиб кривых 1 и 2 на рис.2а при различных я числах оборотов притира свидетельствует о смене характера диспергирования, что и подтверждается результатами практических исследований по оптимизации процесса доводки.

В пятой главе рассмотрены вопросы оптимизации технологических параметров процесса доводки мпнералокерамики ВК 100-1 в производственных условиях с использованием экспериментальной СОТС. Методом математического планирования эксперимента получены уравнения регрессии:

скорости съема: дх = 3,0 + 0,832 + 0,5Р + 0,5ЗУ +- 0,ЗЗРГ, мкм/мин параметра шероховатости: Нтах = 0,053 + 0,012'/, мкм.

После исключения доминирующего фактора (2) зернистости пасты получены уравнения регрессии, характеризующие степень влияния кинематических и динамических условий на эффективность диспергирования, вида: паста 5/3 - у = 76,5 + + Д5Р +

паста 3/2 - ^ = 55,7 + 21, ЗУ + 20,2Р + 7.6РУ;

где у - параметр оптимизации; у = д/Ятах.

Анализ уравнений регрессии показывает, что с уменьшением зернистости пасты роль давления в зоне резания возрастает в 1,5 раза, что свидетельствует о положительном влиянии гидродинамических процессов на эффективность обработки. В заключительной части главы представлен поиск оптимальных значений технологических режимов методом Бокса - Уилсона и анализ физико-механических характеристик поверхностного слоя керамики, полученных различными методами механической обработки с использованием рентгенографического анализа.

Основные выводы.

1. Эффективность механической обработки корундовой керамики должна определяется комплексом факторов процесса резания: технологическими условиями, структурой и физико-механическими свойствами обрабатываемой поверхности. Экспериментально установлена корреляционная связь рассеяния параметров шероховатости со значением микротвердоста поверхностного слоя и размером зерна кристаллической фазы. Достижение параметра шероховатости На < 0,63 мкм возможно с использованием специальных методов обработки - доводки.

2. Процесс диспергирования стабилизируется при комплексном воздействии алмазной пасты, рабочей среды определенного состава, геометрической формы рабочей поверхности притира и технологических режимов операции доводки. Технологические режимы назначаются экспериментально в соответствии с приведенной в диссертации мето-

дикой в зависимости от конкретных условий организации производства.

3. Установлено, что на операциях доводки свободным абразивом активной составляющей абразивной суспензии является смазочно-охлаждаюшая технологическая среда (СОТС), осуществляющая комбинированное ангиадгезионное, смазочное и диспергирующее действия. Состав суспензии оказывает влияние на производительность диспергирования. Наилучшие результаты обработки и показатели качества поверхности в условиях гидродинамической доводки показала используемая в качестве СОТС МР-1,

4. Рассмотрено влияние ПАВ в составе СОТС на производительность процесса. Установлено что, величина скорости съема керамики и характер потери абразивной способности суспензии во времени определяется количеством ПАВ. Рациональная концентрация ПАВ составляет 2-5 % от объема основы, при этом производительность повышается на 20-30%.

5. Разработана математическая модель абразивного диспергирования при комплексном воздействии внешней среды с учетом кинетических процессов накопления повреждений при циклическом воздействии абразива на микронеровности поверхности с использованием обобщенных функций повреждаемости. Характер обобщенных функций повреждаемости определяется на основе экспериментальных данных полученных при исследовании реального технологического процесса.

6. Предлагаемые обобщенные функции повреждаемости учитывают процессы накопления скрытой энергии деформации, энергетические особенности технологической среды и свойств материала поверхностного слоя при циклическом деформировании микронеровности. Они могут быть использованы при создании компьютерных моделей технологических операций доводки.

7. Физико-механические характеристики поверхностного слоя в диапазоне 0-20 мк. определены методом рентгенографического анализа. Установлено, что величина остаточных напряжений и глубина нарушенного слоя уменьшаются в следующем порядке: шлифование - доводка - полирование - исходный образец.

8. Промышленная апробация результатов на базовом предприятии показала, что предложенные технологические мероприятия привели к улучшению показателей качества полированной поверхности, сокращению времени обработки, санитарно-экологических условий производства, повышению коэффициента выхода годных изделий на 5% по всему производственному циклу.

Основные положения диссертации отражены в следующих печатных работах:

Нечаев Д.А. «Оптимизация алмазной обработки керамики на основе системного анализа с использованием нейросетей» Вестник машиностроения №12 - 2008 стр. 31 ./соавторы: Бахарев В.П., Куликов М.Ю., Яковчик Е.В.

2. Нечаев Д.А., «Повышение Эффективности чистовой обработки поликрисгалличе-ских материалов» Научно-практическая конференция НЕДЕЛЯ НАУКИ - 2008 «Наука -транспорту», ГУ-56/соавторы: Яковчик Е.В.

3. Нечаев Д.А.,«Термомеханический анализ механизмов финишной обработки керамических материалов» Металлообработка №2(50) 2009,16 / соавторы: Бахарев В.П., Куликов М.Ю., Яковчик Е.В.

4. Нечаев Д.А., «Повышение эффективности обработки металлокерамических изделий» Девятая научно-практическая конференция 2008 "Безопасность движения поездов", Х-21/соавторы: Яковчик Е.В.

5. Нечаев ДА. «Повышение качества обработки керамических материалов путем использования эффективной СОТС» Научно-практическая конференция «Наука МИИТа -транспорту» НЕДЕЛЯ НАУКИ - 2009,1-46 .

6. Нечаев Д.А., "Закономерности механической обработки корундовой керамики" тезисы докладов II международного семинара "Техника и технологии трибологнческих исследований" 2009,42/ соавторы: Бахарев В.П., Куликов М.Ю., Яковчик Е.В.

В диссертации "Повышешге эффективности отделочной обработки деталей из поликорундовой керамики" изложены основные сведения об механической финишной обработке современных керамических материалов абразивным и алмазным инструментом. Установлено определяющее влияние условий предварительной механической обработки на эффективность процесса доводки керамики; выявлена прямая корреляционная зависимость шероховатости обработанной поверхности керамики от е8 микротвердости, а также от параметров ее зерна; разработана математическая модель микроразрушения керамики при комплексном воздействии абразива и внешней среды. Результатом проведенных исследований явилось внедрение в производство пожаробезопасной СОТС МР-1 и технологических рекомендаций по ее использованию, что позволило повысить в производственных условиях выход годных изделий на 5% по всему производственному циклу, сократить время обработки, резко улучшить саиитарно-экологнческие условия производства и получить хороший экономический эффект.

In the dissertation "Increase of efficiency of finishing processing of details from Mineral ceramics" the basic data on mechanical finishing processing of modern ceramic materials by the abrasive and diamond tool are stated. Defining influence of conditions of preliminary machining on efficiency of process of operational development of ceramics is established; direct correlation dependence of a roughness of the processed surface of ceramics on its microhardness, and also on paramétrés of its grain is revealed; the mathematical model of microdestruction of ceramics is developed at complex influence of an abrasive and an environment. Result of the spent researches was introduction in manufacture of fireproof SOTS MP-1 and technological recommendations about its use that has allowed to raise under production conditions an exit of effective articles on 5 % on all production cycle, to reduce processing time, sharply to improve sani-tary-ccological conditions of production and to receive good economic benefit.

НЕЧАЕВ ДМИТРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ОТДЕЛОЧНОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ ИЗ ПОЛИКОРУНДОВОЙ КЕРАМИКИ.

Специальность: 05. 02. 07 - Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки.

Подписано к печати 10.02.10 Формат

Заказ Лг<! 45 Тираж - 80 экз.

127994 Г. Москва. Ул. Образцова, д.9, сгр.9 Типография МИИТа

Оглавление автор диссертации — кандидата технических наук Нечаев, Дмитрий Александрович

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. Литературный обзор и постановка задачи исследования

1.1 Состояние вопроса алмазной обработки керамических изделий.

1.1.1' Физическая сущность процесса доводки.

1.1.2 Влияние внешней среды на процесс диспергирования.

Введение 2010 год, диссертация по машиностроению и машиноведению, Нечаев, Дмитрий Александрович

Современное машино- и приборостроения связано с разработкой и внедрением новых материалов и прогрессивных технологических процессов их обработки. К таким материалам относятся керамические материалы и ситаллы. Они находят широкое уприменение в различных областях техники. Благодаря своим уникальным свойствам керамику используют в качестве режущего инструмента, деталей машин, приборов, радиоэлектронной аппаратуры и т.д. Из-за высокой твердости материала механическая обработка заготовок возможна лишь абразивным инструментом. Применение синтетических алмазов позволяет резко интенсифицировать процесс обработки керамики,.но нестабильность механических свойств последней ограничивают возможности алмазной обработки.

Процесс доводки является одним из наименее изученных способов обработки ввиду одновременного действия многочисленных трудноуправляемых процессов и явлений. Производительность, качество поверхности, износ и стойкость инструмента, энергетические затраты определяются свойствами керамики, характеристиками алмазного инструмента, режимами и технологическими особенностями оборудования. Поэтому повышение эффективности механической- обработки керамики обусловлено изучением закономерностей сложного многофакторного процесса резания.

Типовая технология керамического производства состоит из стадий:

- помол и смешивание со связкой для получения формовочной массы;

- оформление заготовки прессованием, горячим или холодным литьем, литьем пленки, прокаткой, т.е. приготовление полуфабриката;

- обжиг в камерных или туннельных печах, в вакууме или под давлением в определенной газовой среде и т.д.;

- механическая обработка для окончательного оформления изделия.

Каждая из вышеперечисленных стадий случайным образом влияют на значение коэффициента усадки керамики при высокотемпературном обжиге. Соответственно можно сделать вывод, что получить необходимую точность ке5 рамических деталей без механической обработки (резки, сверления, шлифования, доводки) в серийном производстве невозможно. Конфигурация керамических деталей после обжига вследствие деформаций — поводок — может значительно отличаться от указанной на чертеже. Это относится прежде всего к плоским заготовкам площадью 20-40 см2. Все это приводит к необходимости назначать большие припуски на обработку, которые иногда достигают нескольких миллиметров. А соответственно для снятия такого припуска при черновом шлифовании алмазным инструментом необходимо выбирать такое оборудование, инструмент и технологические режимы, которые обеспечат высокую производительность процесса обработки [33]. При этом точность размера должна составлять несколько десятков микрометров, а параметр шероховатости Яа -около 0,63-1,25 мкм.

Чистое шлифование алмазным инструментом ставит своей задачей обеспечение заданной точности размеров и уменьшение глубины нарушенного слоя. Для получения минимальной высоты неровностей обрабатываемой поверхности применяют доводку свободным алмазным зерном. При доводке сохраняется макрогеометрия и размерная точность, полученные при чистовом шлифовании, параметр Яа может быть доведен до 0,01 мкм.

В промышленности в массовом количестве изготовляют детали приборов и устройств, пластины режущих инструментов из высокопрочных керамических материалов. Одним из таких изделий является подложки для тонкопленочной электроники из керамики ВК100-1 - "поликор". Оксидная керамика обладает широким диапазоном физико-механических свойств, причем в ряде случаев для специальных применений эти свойства уникальны. Так, например, в радиоэлектронике используют керамику с диэлектрической проницаемостью от 3 до 10000, температурный коэффициент этой характеристики может варьироваться от ±3-10"5 до ±1 град"1. Максимальная температура эксплуатации конструкционной керамики может быть от 1270 до 4150 К, термический коэффициент линейного расширения от 2 до 14-10"6 град"1. Предел прочности при сжатии от 0,2 до 2 ГПа, при изгибе - от 0,07 до 0,4 ГПа; твердость по шкале Мооса от 4 6 до 9,5 баллов. Такое разнообразие свойств определяемое рецептурой и соответствующей технологией изготовления керамики, вносят определенные трудности в проектирование механической обработки.

На поликоровых подложках задаются: параметр шероховатости Яа < 0,01 л мкм, допуск плоскостности на 20 см должен быть равен 1-5 мкм, регламентированы наибольшие размеры микровыколов и сколы краев, а также количество царапин (ТУ 11.027.031-72). В связи с широким распространением в практике многослойных покрытий режущих граней минералокерамических пластин инструментов, грани под покрытия должны быть обработаны с параметром шероховатости Яа < 0,01 — 0,05 мкм, а режущие кромки должны иметь сколы не более 2 — 5 мкм [16]. Обеспечение этих требований возможно только методами доводки, что позволяет изготавливать инструменты с высокими режущими свойствами и повысить их надежность.

Причинами возникновения чрезмерно-больших микровыколов и микротрещин на поверхности является недостаточность числа доводочных операций или времени, их осуществления, т.е. когда трещиноватый слой с поверхности детали не удален полностью. Если же слой удален, а размеры дефектов больше допустимых, в первую очередь необходимо обратить внимание на соответствие режимов обработки, размерам используемых при доводке алмазных зерен пасты или порошка, возможность загрязнения рабочей зоны более крупным зерном (на поверхности деталей в этом случае появляются редкие глубокие риски), фактическую твердость материала инструмента — притира и его плоскостность.

Мягкие притиры из меди, текстолита при длительной эксплуатации, особенно если на их рабочей поверхности нет спиральных или кольцевых канавок, насыщаются алмазами, становятся твердыми. Прирабатываемость притиров и шаржируемость свежими алмазами ухудшаются, что резко сказывается на производительности процесса и качестве доведенной поверхности. Этими же причинами объясняются трудности стабильного обеспечения требуемой шероховатости поверхности.

Существующие в настоящее время рекомендации по технологии доводки 7 основываются, как правило, на эмпирических подходах и разнообразных гипотезах, рассматривающих процесс диспергирования- с различных теоретических позиций. В связи с этим возникла необходимость проведения исследований процесса тонкой доводки с целью его стабилизации на основе анализа комплексного воздействия абразивной среды, и обрабатываемой поверхности и создания физико-математической модели такого взаимодействия. Наличие подобной модели позволяет прогнозировать выходные- показатели процесса диспергирования и появляется возможность создания управляемого технологического процесса.

При этом возможны два принципа построения технологии.

1. Построение техпроцесса обработки деталей с учетом технологической наследственности. Этот принцип основан на анализе структурной схемы построения технологического процесса от заготовки к детали и позволяет повысить параметры качества изделия, при стабильных и управляемых процессах производства заготовок. Применительно к построению доводочных операций применение указанного принципа приводит к необоснованно завышенному числу переходов с постепенно уменьшающейся зернистостью суспензии. При этом значительно удлиняется по времени производственный цикл и возрастает себестоимость.

2. Проектирование технологического процесса изготовления прецизионных деталей основано на решении задачи по формированию параметров качества изделий на основе установления связей: качество детали - необходимые операции - требования к заготовке. Реализация этого принципа позволяет сократить трудоемкость изготовления изделия" и обеспечить требуемые показатели качества с учетом статистических закономерностей конкретного производства.

В соответствии с изложенными особенностями, стабилизация процесса диспергирования на финишных операциях механической обработки керамики является первым этапом создания управляемого процесса обработки свободным абразивом. Для этого необходимо проанализировать закономерности процесса 8 с учетом всех реально действующих факторов и подобрать адекватные критерии обрабатываемости. Затем необходимо обеспечить условия равномерного изнашивания поверхности инструмента и сохранения геометрической формы во времени, что и обеспечит возможность управления процессом финишной обработки.

Кроме отмеченного, необходимо учитывать тот факт, что при отработке технологии в производственных условиях основные закономерности, полученные при проведении "чистых" экспериментов, могут нивелироваться побочными явлениями и процессами. Поэтому оптимизация параметров переменных входных факторов по критериям, характерным для данного производства, является составной частью комплексного подхода к проектированию технологии. Решение этой задачи возможно при использовании системно-структурного подхода.

Таким образом, проблема стабилизации процесса доводки свободным абразивом и физико-математическое описание характера диспергирования является актуальной. В настоящей работе предпринята попытка создания теоретических основ инженерной методики расчета технологической точности, основанной на кинетике разрушения обрабатываемого материала.

Заключение диссертация на тему "Повышение эффективности отделочной обработки деталей из поликорундовой керамики"

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

1. Эффективность механической обработки корундовой керамики должна определяться комплексом факторов процесса резания: технологическими условиями, структурой и физико-механическими свойствами обрабатываемой поверхности. Экспериментально установлена корреляционная связь рассеяния параметров шероховатости со значением микротвердости поверхностного слоя и размером зерна кристаллической фазы. Достижение параметра шероховатости Яа < 0,63 мкм возможно с использованием специальных методов обработки — доводки.

2. Процесс диспергирования стабилизируется при комплексном воздействии алмазной пасты, рабочей среды определенного состава, геометрической формы рабочей поверхности притира и технологических режимов операции доводки. Технологические режимы назначаются экспериментально в соответствии с приведенной в диссертации методикой в зависимости от конкретных условий организации производства.

3. Установлено, что на операциях доводки свободным абразивом активной составляющей абразивной суспензии является смазочно-охлаждающая технологическая среда (СОТС), осуществляющая комбинированное антиадгезионное, смазочное и диспергирующее действия. Состав суспензии оказывает влияние на производительность диспергирования. Наилучшие результаты обработки и показатели качества поверхности в условиях гидродинамической доводки показала используемая в качестве СОТС МР-1,

4. Рассмотрено влияние ПАВ в составе СОТС на производительность процесса. Установлено что, величина скорости съема керамики и характер потери абразивной способности суспензии во времени определяется количеством ПАВ. Рациональная концентрация ПАВ составляет 2-5 % от объема основы. При этом производительность повышается на 20 %.

5. Разработана математическая модель абразивного диспергирования при комплексном воздействии внешней среды с учетом кинетических процессов накопления повреждений при циклическом воздействии абразива на микронеровности поверхности с использованием обобщенных функций повреждаемости. Характер обобщенных функций повреждаемости определяется на основе экспериментальных данных полученных при исследовании реального технологического процесса.

6. Предлагаемые обобщенные функции повреждаемости учитывают процессы накопления скрытой энергии деформации, энергетические особенности технологической среды и свойств материала поверхностного слоя при циклическом деформировании микронеровности. Они могут быть использованы при создании компьютерных моделей технологических операций доводки.

7. Физико-механические характеристики поверхностного слоя в диапазоне 0 — 20мк. определены методом рентгенографического анализа. Установлено, что величина остаточных напряжений и глубина нарушенного слоя уменьшаются в следующем порядке: шлифование - доводка - полирование - исходный образец.

8. Промышленная апробация результатов на базовом предприятии показала, что предложенные технологические мероприятия привели к улучшению показателей качества полированной поверхности, сокращении времени обработки, к улучшению санитарно-экологических условий производства, повышению коэффициента выхода годных на 5% по всему производственному циклу.

Библиография Нечаев, Дмитрий Александрович, диссертация по теме Автоматизация в машиностроении

1. Абрамзон A.A., Зайченко Л.П. и др. Поверхностно-активные вещества. Синтез, анализ, свойства, применение. Учебн. пособие для вузов. /Под ред. A.A. Абрамзона Л.: Химия, 1988, с. 200.

2. Алехин В.П. Физика, прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. М.: "Наука", 1983, с. 280.

3. Ахматов A.C. Молекулярная физика граничного трения. М.: "Машиностроение", 1963, с. 462.

4. Бакли Д. Поверхностные явления при адгезии и фрикционном взаимодействии. /Пер. с англ. Белого A.B. под ред. Свириденка А.И. М.: "Машиностроение", 1986, с. 400.

5. Балкевич В.Л. Техническая керамика. М.: "Стройиздат", 1984, с. 226.

6. Балыбердин B.C., Бахарев В.П., Смирнов Г.А. К вопросу об отыскании оптимальных критериев оценки механических свойств керамических подложек. /Деп. в ВИНИТИ №5965-В87, Москва, 1987.

7. Балыбердин B.C., Бахарев В.П. О значении физических концепций в исследовании кинетики усталостной повреждаемости материалов. /Деп. в ВИНИТИ №3967-В88, Москва, 1988, с. 26

8. Балыбердин B.C., Бахарев В.П., Широкая O.A. Развитие кинетического подхода к суммированию усталостных повреждений. //Известия Вузов. М.: "Машиностроение", 1994, №7-9, с. 19-28.

9. Бахарев В.П., Смирнов Г.А., Антюфеева Т.П. Некоторые закономерности финишной обработки изделий из технической керамики. //Технология, автоматизация и организация производства технических систем. Межвузов, об. научн. трудов. М.: МГИУ, 1999, с. 14

10. Ю.Бердичевский Е.Г. Смазочно-охлаждающие технологические средства для обработки материалов. -М.: "Машиностроение", 1984, с. 224.

11. П.Божко А.Е., Шпачук В.П. Деформационный критерий усталостного разрушения материала. // Проблемы прочности. 1985, №12, с. 66.

12. Булычев С.Н., Алехин В.П. Испытание материалов непрерывным вдавливанием индентора. -М.: "Машиностроение", 1990, с. 224.

13. Бычков Н.Г. и др. Некоторые особенности кинетики деформирования конструкционных материалов при циклическом упругопластическом деформировании. // Проблемы прочности.- 1986, №11, с. 7.

14. Ваксер Д.Б., Иванов В.А., Никитков Н.В. и др. "Алмазная обработка технической керамики." Д.: "Машиностроение", 1976, с. 160.

15. Вассерман H.H., Гладковский В.А. Закономерности упрочнения и накопления повреждений в процессе циклического нагружения стали. Известия ВУЗов. "Машиностроение" 1965 - №2, с 12

16. Верещака A.C., Третьяков И.П. Режущий инструмент с износостойкими покрытиями. -М: "Машиностроение", 1986, с. 190.

17. Викулин В.В., Русин М.Ю.,Суздальцев Е.И., Горчакова Л.И., Корабле-ва Е.А.,Шкарупа М.И. «Современные и перспективные керамические материалы ФГУП ОНПП «Технология»; журнал «Огнеупоры и техническая керамика» №9 2009 г, с.25.

18. Виноградов В.Н. и др. Абразивное изнашивание. М.: "Машиностроение", 1990, с. 224.

19. Геминов В.Н., Балыбердин B.C. Обобщенная функция накопления повреждений при усталости. Сб. усталость и вязкость разрушения металлов. Изд-во "Наука", 1995, с. 13.

20. Гогоци Г.А., Гнессин Г.Г., Грушевский Я.Л. и др. Прочность и трещи-ностойкость керамики. // Проблемы прочности. — 1987, №5, с.77.

21. Головкина Н.Е., Саратов Н.М. Пути повышения прочности керамических материалов.// Аналитический обзор. — Обнинск. ФЭИ, 1980, с 32.

22. Глубинное шлифование деталей из труднообрабатываемых материалов. /С.С. Силин, В.А, Хрульков, Н.С.Рыкунов и др. М.: Машиностроение, 1984. с.64.

23. Гурьев А.В., Богданов Е.П. Закономерности перехода микропластической деформации в макропластическую для структурно-неоднородных металлов. // Проблемы прочности. — 1986, №6, с. 35.

24. Дунин — Барковский И.В., Карташова А.Н. Измерение и анализ шероховатости, волнистости и некруглых поверхностей. — М.: "Машиностроение", 1978, с. 232.

25. Дроздов Ю.Н. и др. Трение и износ в экстремальных условиях: Справочник. /Ю.Н. Дроздов, В.Г. Павлов, В.Н. Пучков М: "Машиностроение", 1986, с. 224 (ОПМ).

26. Иванова B.C. Усталостное разрушение металлов. — М.: "Металлургиз-дат", 1963, с.22

27. Кабалдин Ю.Г. Трение и износ инструмента при резании. // "Вестник машиностроения", №1, 1995, с. 26 32.

28. Кабалдин Ю.Г. Структурно-энергетический подход к процессу изнашивания режущего инструмента. // "Вестник машиностроения", №12, 1990, с. 62-68.

29. Карзов Г.М., Марголин Б.З. Швецова В.А. Физико-механическое моделирование процесов разрушения. С.-Пб.: "Политехника", 1993, с. 391.

30. Катрич М.Д., Беркович Е.С. и др. Исследование твердости монокристаллов карбида кремния методом царапанья. — в сб. "Склерометрия." -М.: "Наука", 1968, с.165.

31. Качанов Л.М. Основы механики разрушения. М.: "Наука", 1974, с. 172-174

32. Кащеев В.Н. Абразивное разрушение твердых тел. М.: "Наука", 1970, с. 247.

33. Кащук В.А. Особенности шлифования конструкционных керамических материалов. //Вестник машиностроения, 1994, №10, с. 21-26.

34. Клушин М.И. Теория резания. Вводные главы. — Горький, 1975, с.5-22

35. Кобл Р.Л., Парих Н.М. Разрушение поликристаллической керамики. /Под ред. Г.Т. Либовица М.: "Мир", т.7, ч.1, с. 634.

36. Ключников C.B. Повышение обрабатываемости поликорундовой керамики при шлифовании путем воздействия на контактные процессы эффективными СОТС. Автореферат диссерт. .канд. техн. наук Горький, 1990.

37. Коллинз Дж. Повреждение материалов в конструкциях. Анализ, предсказание, предотвращение. -М.: "Мир", 1984, с. 624.

38. Костецкий Б.И. и др. Поверхностная прочность материалов при трении. /Под. ред. Б.И. Костецкого Киев: "Техшка", 1976, с. 296.

39. Коцаньда С. Усталостное разрушение металлов. М.: "Металлургия", 1976, с.36

40. Крагельский И.В. Трение и износ. М.: "Машиностроение", 1974, с. 418.

41. Красовский А.Я. Динамика дислокаций и пластический сдвиг в кристаллических твердых телах. // Проблемы прочности. 1969, №1, с.65.

42. Кремень З.И. Доводка плоских поверхностей. — Изд-во "Техника", Киев, 1974, с.122

43. Лозицкий Л.П., Игнатович С.Р. Математическая модель процесса накопления повреждений в деформируемых материалах. // Проблемы прочности. 1985, с. 34.

44. Локи М. Оптимизация стохастических процессов. М.: "Мир", 1970, с. 381.

45. Макклинтон Ф., Аргон А. Деформация и разрушение материалов. — М.: "Мир", 1970, с. 443.

46. Маслов E.H. Теория шлифования материалов М.: "Машиностроение", 1974, с. 315.

47. Маталин A.A. Новые направления развития технологии чистовой обработки.-Киев: "Техника", 1972, с. 136.

48. Машиностроение. Терминология: Справочное пособие Вып. 2 — М.: Изд-во стандартов, 1989, с. 432.

49. Механические свойства металлов. Учебн. для Вузов. /Золотаревский B.C. М.: Металлургия, 1983, с. 352.

50. Новицкий П.В., Зогриф И.А. Оценка погрешностей результатов измерения. Л.: Энергоатомиздат. Ленинградское отделение, 1991, с. 304.

51. Огородов Л.И., Курнаков С.Я. Экспериментальная проверка проведения кинетического уравнения повреждений наследственного типа для расчета момента разрушения жаропрочного сплава. // "Вестник машиностроения", №10, 1995, с. 26 28.

52. Орлов П.Н., Полухин В.А. Стенд П8 — ТММ для исследования процесса алмазно-абразивной доводки. /Сб. Алмазы, Вып. 4. — М.: НИИМАШ, 1972, с. 11-18.

53. Орлов П.Н., Савелова A.A., Полухин В.А. и др. Доводка прецизионных деталей машин. /Под ред. Ипполитова Г.М./ М.: "Машиностроение", 1978, с. 266.

54. Орлов П.Н. Технологическое обеспечение качества деталей методами доводки. М.: "Машиностроение", 1988, с. 384.

55. Подураев В.Н. Автоматически регулируемые и комбинированные процессы резания. -М.: "Машиностроение", 1977, с. 304.

56. Позднышева А.П., Шумячер В.М., Волков М.П. Влияние структурно-механических свойств абразивных суспензий на диспергирование металла при доводке. //Вестник машиностроения, 1986, №1., с.32

57. Полосаткин Г.Д., Соломеин И.А. Исследование механизма образования микроцарапины на металлах в диапазоне скоростей от 0.02 до 120 м/с. -В сб. "Склерометрия., -М.: "Наука", 1968, с.34

58. Попов С.А., Малевский Н.П., Терещенко Л.М. Алмазно абразивная обработка металлов и твердых сплавов. - М.: "Машиностроение", 1977, с. 263, (Б-ка технолога).

59. Протодьяконов М.М., Тедер Р.Н. Методика рационального планирования экспериментов. М.: "Наука", 1970, с. 75.

60. Райхель А.М., Непомнящий O.A., Шведун В.Г. К вопросу о влиянии масштабного фактора на прочность ситаллов. //Проблемы прочности. -1986, №10, с. 43-46.

61. Рогов В.А., Шкарупа М.И., Гришин Д.К. «Сравнительный анализ механической обработки сверхтвердых керамических материалов»; научный журнал «Вестник Российского университета дружбы народов», серия «Инженерные исследования » №2 , Москва 2008 г.

62. Семибратов М.Н. Управление формообразованием оптических поверхностей в процессе притирки. "ОМП", 1970 №11, с. 55-60.

63. Скоростная алмазная обработка деталей из технической керамики. /Н.В. Никитов, В.Б. Рабинович и др. Под ред. З.И. Кремня JL: "Машиностроение", Ленинградское отделение, 1984, с. 131.

64. Словарь справочник по трению, износу и смазке деталей машин. -Киев: Наук, думка, 1979, с. 188.

65. Смазочно-охлаждающая жидкость для полирования керамики. A.C. №1162862 СССР, кл. С10М 141/12 /Смирнов Г.А. и др. 1983, с.6.

66. Сосновский JI.A. Об оценке долговечности при циклических нагруже-ниях. // Проблемы прочности. 1986 №11, с. 16.

67. Спиридонов A.A. Планирование эксперимента при исследовании технологических процессов.-М.: "Машиностроение", 1981, с. 184.

68. Смазочно-охлаждающие технологические средства для обработки резанием. Справочник. / Под ред. С.Г. Энтелиса, Э.М. Берлинера М.: "Машиностроение", 1986, с. 352.

69. Справочник по теории упругости. / Под ред. Варвака П.М., Рябова А.Ф. -Киев: "Буд1вельник", 1971, с. 320.

70. Справочник по триботехнике. / Под общей ред., М. Хебды, A.B. Чичи-нидзе. Т.1, М.: "Машиностроение", 1989, с. 400.

71. Тамбулатов Б.Я. Доводочные станки. — М.: "Машиностроение", 1980, с. 160.

72. Таратынов О.В. Основы процесса суперфиниширования и пути повышения его производительности и качества. Учебн. пособие М.: МАМИ, 1977, с. 86.

73. Формообразование оптических поверхностей. /Сб. под ред. Проф. Ку-манинаК.Г. -М.: Оборонгиз, 1962, с.44

74. Федоров В.В. Кинетика повреждаемости и разрушения твердых тел — Ташкент: Фан, 1985, с. 136

75. Федоров В.В. и др. Прогнозирование остаточной работоспособности деталей машин. // Проблемы прочности. 1987, №8, с. 22

76. Федоров В.В. Термодинамические аспекты прочности и разрушения твердых тел. Ташкент: Фан. 1979, с. 54

77. Хартман К., Лецкий X. и др. Планирование эксперимента в исследовании технологических процессов.-М.: "Мир", 1977, с. 552.

78. Ходаков Г.С., Кудрявцева Н.Л. Физико-химические процессы полирования оптического стекла. -М.: "Машиностроение", 1985, с. 224.

79. Хрульков В.А. Взаимодействие алмазного порошкового инструмента со спеченной алюминиевой керамикой при шлифовании. В кн. Синтетические алмазы - ключ к техническому прогрессу. 4.1 - Киев: Нау-кова думка, 1977 - с. 183-190.

80. Хрульков В.А., Матвеев В,С., Волков В.В. Новые СОЖ, применяемые при шлифовании труднообрабатываемых материалов. М.: "Машиностроение", 1983, с. 64.

81. Хрульков В.А., Тародей В.А., Головань А .Я. "Механическая обработка деталей из керамики и ситалов." — Изд-во Саратовского ун-та, 1975, с. 352.

82. Цеснек JI.C. Статистическая интерпретация механического изнашивания трущихся тел. — В кн. Контактное взаимодействие твердых тел и расчет сил трения и износа. — М: "Наука", 1971, с. 176- 190.

83. Черняков М.К. Возможности управления технологическим процессом алмазной обработки пластин из хрупких материалов. Автореферат дис-серт. . к.т.н.-Л.: 1981, с. 16.

84. Шипилов H.H. Исследование технологических возможностей скоростной алмазной доводки плоских заготовок из керамических материалов. Автореферат диссерт. . к.т.н. Л.: 1980, с. 16.

85. Шубников A.B. "Элементарные механические явления при шлифовании и полировании." сб. "Качество поверхности деталей машин." №3. - Изд-во АН СССР,1957, с.32

86. Эванс А.Г., Лэнгтон Т.Г. Конструкционная керамика. М.: "Металлургия", 1980, с. 256.

87. Этин О.Л. Выбор оптимальных условий при решении технологических задач. //Станки и инструмент, 1976, №3, с. 24-25.

88. Ящерицын П.Н. и др. Теория резания. Физические и тепловые процессы в технологических системах: Учебн. для ВУЗов — Мн.: Высшая школа 1990, с. 512.

89. Ящерицын и др. Тонкие доводочные процессы обработки деталей и приборов. Минск: Наука и техника, 1977, с. 328.

90. Götz J. Die Polierforschung. Heutiger Stand und neue Erkenntnisse. -Sprechsaal Keramik, Glass, Enail., Silik., 1968, bd. 101, N. 13, SS. 539 -540, 542 544.

91. Götz J. Untersuchung über den Polierprozess von Glass. Tail 4. Oberflächenfehler beim Polieren mit gebundenen Korn. Glastechnische Berichte, 1967, N. 12, SS. 468 - 479.

92. Kaller A. Einfluß der chemischen, kristallographischen und physikalischen Eigenschaften der Polirmittel beim Polieren des Glases. Silikattechnik, 1983, v. 34, N. l,pp. 15-17.

93. Kaller A. Elementar Vorgänge im Wirkspalt beim Polieren von Funktionsflächen spröder optischer Medien, insbesondere von Glass. Silikattechnik, 1980, v. 31, N. 2,pp. 35- 40.

94. Mindt U. Zur Färtebestimmung von loosen Schlifmaterialen Schleifmittelindustrie, 1926.