автореферат диссертации по электронике, 05.27.03, диссертация на тему:Импульсно-периодический TEA CO2-лазер с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. Обзор литературы

1.1. Методы формирования однородного объемного разряда

1.2. Предыонизация газовой смеси УФ-излучением

1.2.1. Импульсные источники УФ- излучения

1.2.2. Спектральные характеристики основных источников предыонизации TEA СО2 -лазеров

1.2.3. Влияние параметров электродной системы и источника питания на эффективность предыонизации поверхностным коронным разрядом

1.3. Ресурс работы TEA СО2 -лазеров в отпаянном режиме

1.3.1. Влияние состава газовой смеси на ресурс работы лазера в отпаянном режиме

1.3.2. Влияние предыонизации на деградацию газовой смеси

1.4. Особенности работы TEA СОг-лазеров в импульсно-периодическом режиме

Выводы

Постановка задач исследования

Глава 2. Численное моделирование импульсных TEA СО2- лазеров

2. 1. Выбор теоретической модели

2 .2. Результаты численного моделирования

Выводы

Глава 3. Исследование возможности использования поверхностного коронного разряда в импульсно-периодических TEA СО2- лазерах

3.1. Исследование систем формирования однородного объемного разряда с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

3.2. Принципы построения TEA СО2- импульсно-периодических лазеров с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

3.3. Схемное решение TEA СО2- импульсно-периодического лазера с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

3.4. Выбор материала диэлектрических пластин 68 Выводы

Глава 4. Исследование импульсно-периодического

TEA СО2- лазера с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

4.1. Исследование экспериментального образца лазера

4.2. Методика инженерного расчета TEA СО2 импульсно-периодического лазера

4.3. Исследование технологического TEA СО2 импульсно-периодического лазера с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

Выводы

Глава 5. Исследование возможностей применения импульснопериодических TEA СО2- лазеров в технологии и медицине

5.1. Взаимодействия излучения TEA СО2 импульсно-периодических лазеров с материалами

5.2. Исследование взаимодействия излучения TEA СО2 импульсно- периодического лазера с диэлектрическими материалами с низкой теплопроводностью

Малогабаритные TEA СО2 импульсно-периодические лазеры (ИПЛ) находят применение в технологии [1-2], дальнометрии [3], зондировании атмосферы [4], локации [5], дистанционном анализе газов [6], нелинейной оптике [7], разработке лазеров дальнего инфракрасного диапазона с оптической накачкой [8] и т.д. Существенным недостатком, препятствующим расширению их использования, является недостаточно большой ресурс работы в отпаянном режиме (режим работы без перенапуска рабочей смеси принято называть "отпаянным" режимом). Использование отпаянного режима работы значительно упрощает эксплуатацию ИПЛ, повышает его мобильность. Как правило, ресурс работы ИПЛ в таком режиме даже с использованием газовых катализаторов составляет величину ~106 импульсов. Лазер, работающий с частотой повторения импульсов (ЧПИ) ~ 1 кГц, вырабатывает такой ресурс за время меньшее одного часа, в то время как большинство применений требуют долговременной устойчивости работы. Использование отпаянного режима работы значительно упрощает эксплуатацию ИПЛ и повышает его мобильность. Как правило, ресурс работы ИПЛ в таком режиме даже при использовании газовых катализаторов составляет величину ~106 импульсов [9-10], а попытки его увеличения наталкиваются на ряд серьезных трудностей. Одной из основных причин ограничения ресурса работы лазера в отпаянном режиме является диссоциация молекул СОг в сильноточном импульсном разряде с последующим образованием молекул О2. При достижении молекулами Ог концентрации 0,5-2 % при атмосферном давлении газовой смеси в разряде возникают пространственно локализованные дуги [10,74], что приводит к неоднородному возбуждению разрядного объема и срыву генерации. В большинстве случаев увеличение ресурса работы достигают применением твердотельных [11-12], содержащих платину или палладий, или газовых [9-10,14] (Нг,Н2+СО и др.) катализаторов. Для обеспечения оптимальных режимов работы твердотельных катализаторов требуются повышенные температуры [79], что приводит к необходимости использования дополнительных нагревателей и теплообменников для охлаждения газовой смеси. В компактных лазерных системах это может привести к значительному увеличению габаритов и усложнению системы. Газообразные катализаторы не требуют такого усложнения системы, но менее эффективны, а применение водорода и окиси углерода предъявляет дополнительные требования к технике безопасности при перенапуске газовой смеси. Практически во всех современных малогабаритных TEA СО2 ИПЛ используется предыонизациея УФ-излучением искровых источников или скользящего разряда. Однако скользящий и искровой разряды в значительной мере увеличивают деградацию рабочей газовой смеси [34,72]. Предыонизация поверхностным коронным разрядом (ПКР) в малогабаритных TEA СОг-лазерах обладает рядом преимуществ: высокие однородность и уровень предыонизации разрядного объема, обеспечивающие высокую однородность разряда и, следовательно, высокую воспроизводимость и качество лазерного излучения, а также существенно меньшее, по сравнению с искровыми источниками и скользящим разрядом, влияние на деградацию газовой смеси [73], что позволяет рассчитывать на увеличение ресурса работы лазера в отпаянном режиме. К сожалению, известные системы предыонизации ПКР применяются только в TEA СОг-лазерах, работающих в режиме одиночных импульсов, так как диэлектрические пластины системы формирования ПКР исключают возможность быстрой поперечной прокачки газовой смеси через разрядный объем. Таким образом, работы, связанные с исследованием и созданием TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР, способных работать с высокой ЧПИ, представляются важными и актуальными.

Целью настоящей работы является разработка принципов построения и методики инженерного расчета TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР. Исследование и создание TEA СО2 ИПЛ с высокой ЧПИ для технологических применений. Определение основных областей его применения в технологии.

Научная новизна. Экспериментально показана возможность использования предыонизации ПКР в электроразрядных импульсно-периодических TEA СО2-лазерах. Разработаны принципы построения TEA СО2 ИПЛ с предыонизаций

ПКР. Предложено новое схемное решение электроразрядного импульсно-периодического газового лазера с предыонизацией ПКР (патент России). Разработана методика инженерного расчета TEA СО2 ИПЛ с предыонизаций ПКР. Экспериментально исследованы характеристики TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР. Разработан, создан и исследован экспериментальный образец TEA СО2 ИПЛ с ЧПИ до 1 кГц при атмосферном давлении газовой смеси. Разработан и создан TEA СО2 ИПЛ с ЧПИ до 1 кГц при атмосферном давлении газовой смеси и ресурсом более 1,5-109 импульсов в отпаянном режиме для технологических применений. Экспериментально показана перспективность применения разработанного лазера в технологии для резки хрупких диэлектрических материалов и в хирургии.

Практическая значимость. Предложенная схема формирования однородного объемного разряда и методика инженерного расчета могут быть использованы для разработки TEA СО2 и эксимерных электроразрядных импульсно-периодических лазеров с повышенным ресурсом работы в отпаянном режиме. Разработан и создан импульсно-периодический TEA СОг-лазер с ЧПИ до 1 кГц и ресурсом работы более 1,5-109 импульсов в отпаянном режиме, на основе которого создана лазерная технологическая установка. Определена перспективность использования импульсно-периодических TEA СОг-лазеров для размерной обработки хрупких диэлектрических материалов с низкой теплопроводностью. Данная технология успешно апробирована при изготовлении образцов угловых датчиков для НПО "Авангард" и "Биофизприбор".

На защиту выносятся следующие основные положения: -принципы построения и методика инженерного расчета TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР, позволяющие создавать TEA СО2 ИПЛ с высокой ЧПИ и большим ресурсом работы в отпаянном режиме;

- новое схемное решение электроразрядного импульсно-периодического газового лазер с предыонизацией ПКР (патент России); 8

- впервые в TEA ССЬ ИПЛ получен ресурс более 1,5-109 импульсов при работе в отпаянном режиме без использования катализаторов;

- показано резкое снижение (до трех раз) ширины зоны микротрещин при резке хрупких диэлектрических материалов с низкой теплопроводностью излучением разработанного лазера по сравнению с традиционным методом резки с помощью ультразвука;

Выводы

1. Показана перспективность использования TEA СО2 ИПЛ для обработки деталей из хрупких диэлектриков с низкой теплопроводностью при толщинах до Змм.

2. Показано, что ширина зоны микротрещин при обработке деталей из ДНТ в три раза меньше, чем при обработке ультразвуком.

3. Определены оптимальные режимы обработки ДНТ.

4. Показана перспективность применения TEA СО2 ИПЛ в медицине.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1 Предложено новое схемное решение электроразрядного импульсно-периодического газового лазера с предыонизацией ПКР (патент России).;

2. Разработаны принципы построения и методика инженерного расчета TEA СОг ИПЛ с предыонизацией ПКР;

3. Проведены исследования характеристик TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР. Показана перспективность использования систем предыонизацией ПКР для создания ИПЛ с высокой ЧПИ и большим ресурсом работы в отпаянном режиме;

4. Методом численного моделирования произведена оценка концентрации начальных электронов, создаваемых системой предыонизации. Получена зависимость КНЭ от напряжения зарядки накопительных конденсаторов;

5. Разработана базовая модель TEA СО2 ИПЛ с частотой следования импульсов до 1 кГц, средней мощностью до 90 Вт и ресурсом работы в отпаянном режиме более 1,5-109 импульсов;

6. Определена перспективность применения разработанного лазера в современных технологиях на примере обработки хрупких диэлектрическихматериалов с низкой теплопроводностью. Показано, что ширина зоны микротрещин при резке хрупких диэлектрических материалов с низкой теплопроводностью (стекло, ситал, поликор и т.д.) в три раза меньше, чем при обработке ультразвуком;

7. Показана перспективность использования TEA СО2 ИПЛ в хирургии.

1. Beyer Н., Ross W., Rudolph R. Interection of COi laser pulses of microsecond duration with AI2O3 ceramic substrates // J. Appl. Phys. 1991. v. 70. No 1. P. 75-81.

2. Baloshin U.A., Belyakov I.V., Chernyakov G.M., Pavlishin I.V., Zakirov V.A. The reseach on application of pulse-periodical TEA CO2 laser for processing of fragile dielectric materials low heat conductivity // Proceedings SPIE, 1993, p. 43-46.

3. Hulme K.E. Advanced CO2 laser rangefmder // Opt. and Laser Technol.,1982, v. 14, №4, 213-215.

4. Зуев B.E. Лазер метеоролог. — M.: Гидрометиздат, 1978.

5. Courtenay Т., Boulter F., Henshal H. // Infr. Phys . 1976. V.16. p. 95.

6. Hudson R.D., Hudson L.W. // Proc. IEEE, 1975, v. 63, p. 104.

7. Jones C.R. // Laser Focus, 1978, No. 8, p. 68.

8. Bruneau J.I. A tunable single-longitudinal-mode CO2 oscillator for efficient optical pumping // Opt. Commun., 1982, v. 41, № 6, p. 443-446.

9. Stark D.S., Cross P.H., Foster H.A. A compact sealed pulsed TEA CO2 laser // IEEE J. Quant. Electron., 1975, v. 11, №9, p. 774-778.

10. Pace P.W., Lacombe M. A sealed high repetition-rate TEA CO2 laser // IEEE J. . Quant. Electron, 1978, v. 14, № 4, p. 263-275.

11. Stark D.S., Harris M.R. Planinum-catalysed recombination of CO and O2 in sealed CO2 TEA laser gas // J. Phys. E, 1978, v. 11, p. 316.

12. Stark D.S., Crocker A., Steward G. A sealed 100 Hz CO2 TEA laser using high CO2 concentrations and ambient-temperature catalysts // J. Phys. E,1983, v. 16, p. 158.

13. Алейников B.C., Сысоев В.К., Бондаренко Ю.Ф. Равновесный химический состав газов в отпаянном импульсном лазере высокого давления // Квантовая электроника, 1979, т. 6,N 10, с. 2160.

14. Stark D.S., Crocker A. A sealed high repetition-rate TEA CO2 laser without solid catalyst // Opt. Commun, 1984, v.48, № 5, p. 337-342.

15. Pace P., Lacombe M. Frequency characteristic of a miniature transversely excited CO2 laser // Can. J. Phys., 1979, v. 57, №9, p. 1350-1355.

16. Аверьянов H.E., Балошин Ю.А., Павлишин И.В. и др. Импульсно-периодический СО? лазер атмосферного давления // Известия ВУЗов «Приборостроение», 1986, т. XXIX, с. 93-96.

17. Baranov V.Yu., Kazakov S.A., Malyuta D.D. et. al. Average power limitation in high- repetition- rate pulsed gas lasers at 10,6 and 16 ¡am. Appl. Opt., 1980, v. 19, №6, p. 930-936.

18. Brandenberg W.M., Bailey M.P., Texeira P.D. Supersonic Transverse Electrical Discharge laser // IEEE J. Quaint. Elec., 1972, v. QE-8, № 4, p. 414-418.

19. Месяц Г.А., Бычков Ю.И., Кремнев В.В. Импульсный наносекундный электрический разряд в газе. УФН, 1972, т. 107, в. 2, с. 201-228.

20. Карнюшин В.П., Солоухин Р.И. Макроскопические и молекулярные процессы в газовых лазерах. М., АТОМИЗДАТ, 1981, 200 с.

21. Басов Н.Г., Беленов Э.М., Данилычев В.А. Электроионизационные лазеры. // ЖЭТФ, 1973, т. 64, в.1, с. 108-121.

22. Бычков Ю.И., Карлова Е.К., Карлов Н.В. и др. Импульсный СОг лазер с энергией излучения 5 кДж // Письма в ЖТФ, 1976, тю 2, в.5, с. 212-216.

23. Бугаев С.П., Бычков Ю.И., Ковальчук Б.М. и др. СОг лазер с несамостоятельным разрядом в импульсно- периодическом режиме // Квантовая электроника, 1977, т. 4, № 4, с. 897-899.

24. Лафламм А.К. Возбуждение лазеров на СОг двойным разрядом при атмосферном давлении // ПНИ, 1970, т. 41, № 11, с. 48-51.

25. Мазуренко К).Т., Рубинов Ю.А., Шахвердов П.А. Новый метод возбуждения однородного разряда в СО2 лазерах повышенного давления // Квантовая электроника, 1975, т. 2, № 10, с. 2335-2338.

26. Richardson М.С., Alcock A.J., Leopold К.А. A 300-J multigigawatt СО2 -laser // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. 9, № 2, p. 236-243.

27. Павловский А.И., Босамыкин B.C., Карелин В.И., Николский B.C. Электроразрядный ОКГ с инициированием в активном объеме

28. Квантовая электроника, 1976, т. 3, № 3, с. 601-604.

29. Басманов В.Ф., Босамыкин B.C., Карелин В.И. и др. Высокоэффективный электроразрядный СО> лазер с энергией излучения 500 Дж // ЖТФ, 1982, т. 52,в. 1, с. 128-130.

30. Андреев С.И., Белоусова И.М., Дашук П.Н. и др. Плазмолистовой СОг -лазер // Квантовая электроника, 1976, т. 3, № 8, с. 1721-1726.

31. Бычков Ю.И., Зарослов Д.Ю., Карлов Н.В., Кузьмин Г.П., и др. Инициирование мощного несамостоятельного разряда в молекулярных газах ультрафиолетовым излучением от плазменного катода // Квантовая электроника, 1982, г. 9, № 8, с. 1718-1721.

32. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Напартович А.П. и др. Исследование характеристик импульсного СОг лазера с предыонизацией ультрафиолетовым излучением // ЖТФ, 1976, т. 46, в. 2, с. 355-358.

33. Визирь В.А., Осипов В.В., Тельнов В.А. и др. Малогабаритный СОг лазер с высокой частотой следования импульсов // Квантовая электроника, 1988, т. 15, №5, с, 1256-1260.

34. Richardson M.С., Leopold К.А., Alcock A.J. Large aperture CO2 laser discharge // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. QE-9, p. 934-939.

35. Горячкин Д.Ю., Иртуганов В.M., Калинин В.П. и др. Импульсный СО2-лазер с предварительной фотоионизацией // Квантовая электроника, 1976, т. 3, № 3 , с. 656-658.

36. Аверьянов Н.Е., Ананьев Ю.А., Павлишин И.В. и др. Импульсно-периодический СО? лазер замкнутого цикла // Тез. докл. Всесоюзнойконференции «Применение лазеров в машиностроении» Ленинград, 1981, с. 101-105.

37. Pearson P.R., Lamberton Н.М. Atmospheric pressure СОг lasers giving high output energy per unit volume // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. QE-8, p. 145149.

38. Ernst G.J., Boer A.G. Construction and performance characteristics of a rapid discharge TEA CO2- laser // Opt. Commun., 1978, v. 27, № 1, p.105-110.

39. Ernst G.J., Boer A.G. A 5 cm single- discharge CO2 laser having high power output // Opt. Commun., 1980, v. 34, № 2, p.221 -222.

40. Ernst G.J., Boer A.G. A 10 cm aperture, high quality TEA CO2 laser // Opt. Commun., 1982, v. 44, № 2, p. 125 -129.

41. Hasson V. and Bergman H.M. Spatial control of pulsed high pressure pre-ionisation stabilised glow discharges // J. Phys. E, 1980, 13, 632.

42. Попонин В.П, Шанский В.Ф. Импульсные СОг лазеры с несамостоятельным разрядом / Обзор ОК-9, Л. ННИИЭФА, 1976.

43. Павловский А.И., Басманов В.Ф., Босамыкин B.C. Электроразрядный СО2 лазер с объемом активной области 0,28 м3 // Квантовая электроника, 1987, т. 14, №2., с. 428-430.

44. Карлов н.в., Кислецов А.В., Ковалев И.О. и др. Плавно перестраиваемый по частоте СОг лазер высокого давления с плазменным катодом // Квантовая электроника, 1987, т. 14, № 1 , с. 216-218.

45. Аверьянов Н.Е., Ананьев Ю.А., Павлишин И.В. и др. Исследование импульсно-периодического СОг лазера с предыонизацией УФ- излучением скользящего разряда // Труды 10-го Всесоюзного совещания по спектроскопии, Томск, 1981, с. 39-42.

46. Brown R.T. High Repetition-Rate Effect in TEA CO2 Lasers // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. 9, № 11, p. 1120-1122.

47. Ананьев Ю.А., Анисимова Т.Е., Горячкин Д.А. и др. Исследование возможности создания фотоионизационного СОг лазера с высокой частотойповторения импульсов // Изв. АН СССР, Сер. Физическая, 1980, т. 44, № 10, с. 2113-2115.

48. Chist I., Ciura A., Dragulinescu D. et. al. Design and performance of a high repetition rate TEA C02 laser // J. Phys. E, 1988, v.21, № 4,p.

49. Дашук П.H., Кулаков C.JI., Кучинский A.A. и др. Использование мягкого рентгеновского излучения наносекундного скользящего разряда в системах предыонизации // ЖТФ, 1987, Т. 57, в.1, с. 5057.

50. Василевский М.А., Родичкин В.А., Ройфе И.М., Янкин Е.Г. Создание потока излучения с использованием взрывоэмиссионного катода большой площади // ЖТФ, 1985, т. 55, в. 6, с. 1118-1122.

51. Bigio I.I. Preionization of Pulsed Gas lasers by Radioactiv Source // IEEE J. Quant. Electron., 1978, v. 14, № 2, p. 75-77.

52. Андриякин В.M. и др. // Письма в ЖТФ, 1972, т. 15, с. 637.

53. Королев Ю.Д., Месяц Г.А. Физика импульсного пробоя газов. М., Наука, 1991,224 с.

54. Физика быстропротекающих процессов / Под ред. Златина H.A. (пер. с нем.) М. Мир, 1971, г. 1, с. 135.

55. Ковальчук Б.М., Кремнев В.В., Месяц Г.А., Юрике Я.Я. // Журнал прикладной механики и технической физики, 1973, № 1, с.48.

56. Андреев С.И., Зобов Е.А., Сидоров А.Н. Журн. прикл. Мех. и техн. физ., 1978, т.З, с. 38.

57. Андреев С.И., Зобов Е.А., Сидоров А.Н. Журн. прикл. мех. и техн. физ., 1980, т. 1, с. 111.

58. Виттеман В. СО2 лазер. / под ред. Соболева H.H. (пер. с англ.), М. Мир,1990.с.213.

59. Seguin H.J.J., Tulip J., McKen D.C. Ultraviolet photoionization in TEA laser // IEEE J. Quant. Electron., 1974, v. QE-10, № 3, p. 311-319.

60. Seguin H.J.J., McKen D.C., Tulip J. Photon emission and photoionization measurements in the CO2 laser environment // Appl. Phys. Lett. 1976, v. 28, № 9, p. 487-489.

61. Seguin H.J.J., McKen D.C., Tulip J. Source emission and photoelectron production in a seeded CO2 laser mixture // Appl. Phys. Lett. 1976, v. 29, № 2, p. 110-112.

62. Babcock R.V., Liberman I.,Partlov W.D. Volume Ultraviolet preionization from Bare Sparks // IEEE J. Quant. Electron., 1976, v. QE-12, № 1, p. 29-34.

63. Баранов В.Ю., Борисов B.M., Высикайло Ф.И. и др. Исследования процессов формирования и протекания скользящего разряда Препринт № 3472/7, М. ИАЭ, 1981.

64. Зарослов Д.К)., Карлов Н.В., Кузьмин Г.П., Никифоров С.М. Спектральные характеристики источников предыонизации СОг лазеров в области вакуумного ультрафиолета // Квантовая электроника, 1978, т. 5, №6, с. 1221-12.29.

65. Зарослов Д.Ю., Карлов Н.В., Кузьмин Г.П., Мак Кен Д. Об использовании скользящего разряда для предыонизации газов в газоразрядных лазерах // Квантовая электроника, 1978, т. 5, №8, с. 1843-1847.

66. Зарослов Д.Ю., Кузьмин Г.П., Тарасенко В.Ф. Скользящий разряд в СОг и эксимерных лазерах // Радиотехника и электроника, 1984, т.29, в.7, с. 12171241.

67. Борисов В.М., Гладуш Г.Е., Степанов Ю.Ю. Фотоионизация в импульсном СО2 лазере // Квантовая электроника, 1977,Т. 4, № 4, с. 809-813.

68. Reits B.J. Parametric measurements on a doped CO2 TEA laser // Opt. Commun., 1980, v. 33, № 1, p. 75-79.

69. Аполлонов В.В., Ахунов Н.Н., Фирсов К.Н. Особенности применения легкоионизируемых веществ для получения объемных самостоятельных разрядов Препринт АН СССР, Ин-т общей физики, № 212, М, 1985,20 с.

70. Palmer A.J. Physical model on the imitation of atmospheric pressure glow discharge // Appl. Phys. Lett., 1974, v. 25, p. 138-140.

71. Баранов В.Ю., Борисов B.M., Веденов A.A. и др. Получение распределенного электрического разряда в импульсном СОг лазере и некоторые особенности лазерного излучения - Препр. ИАЭ - 2248, м. 1972.

72. Fahlen T.S. // IE EE J. Quant. Electron., 1979, v. 15, p.311

73. Marchetti R., Penco E., Armadillo E., Salvetti G. // Appl. Phys. Lett., 1982, v. 41, p. 934.

74. Smith A.L., Austin Y.M. Dissociation mechanism in pulsed and continuous CO2 lasers // J. Phys. D, 1974, v. 7,№ 2, p. 314-322.

75. Smith A.L., Norns B. Limiting processes in sealed photoionisation TEA CO2 lasers // J. Phys. D. 1978, v.l 1, № 14, p. 1949-1962.

76. Hirokazu Hokazono, Minoru Obara, Katsuvi Midorikawa, Hideo Tashiro Theoretical operationalmlife study of the closed-cycle transversely excited atmospheric CO2- laser // J. Appl. Phys., 1991, v. 69, № 10, p. 6850- 6867.

77. Nighan W.L., Wiegand W.J. Influence of negative-ion processes on steady-stage properties and striations in molecular gas discharges // Phys. Rev., 1974, v. 110, p. 922-945.

78. Sheildds A.L., Smith A.L., Norris B. Negative ion effects in TEA CO2 lasers // J. Phys. D, 1976, № 9, p. 1 1587.

79. Химия плазмы / под ред. Б.М. Смирнова. М.: Атомиздат, 1980, вып. 7 с.45.

80. Marchetti R., Penco Е. Optimization of corona-discharge photoionization sources for CO2 lasers // J. Appl. Phys., 1983,v. 54, № 10, p. 5672-5675.

81. Велихов Е.П., Баранов В.Ю., Летохов B.C., Рябов E.A., Старостин А.Н. // Импульсные СО2 лазеры и их применение для разделения изотопов.1. М.: Наука, 1983,304 с.

82. Баранов В.К)., Низьев В,Г., Пигульский С.В. Газодинамические возмущения потока в СОг- лазерах импульсно-периодического действия . 1. Конвективное удаление газа из разрядной области // Квантовая электроника, 1979, т. 6, № 1, с. 177-183.

83. Баранов В.Ю., Любимов Б.Я., Низьев В,Г., Пигульский С.В. Газодинамические возмущения потока в СОг- лазерах импульсно-периодического действия . 2. Акустические волны // Квантовая электроника, 1979, т. 6, № 1, с. 184-188.

84. Баранов В.Ю., Велихов Е.П., Казаков С.А. и др. Разделение изотопов методом многофоюнной диссоциации молекул излучением мощного СОг -лазера. 2. Импульсные СОг- лазеры периодического действия // Квантовая электроника, 1979. г. 6, № 4, с.811-821.

85. Технологические лазеры / под ред. Абильсиитова Г.А. — М.: Машиностроение, 1991, т. 1,431 с.

86. Баранов В.Ю., Кириченко Т.К., Клавдиев В.В. // Квантовая электроника, 1978, т. 5, № 3, с.568.

87. Аверьянов Н.Е., Балошин Ю.А., Дернятин А.И., Павлишин И.В., Расчет газовых лазеров на ЭВМ // Труды ЛИТМО: Современная электроника в оптическом приборостроении. Л.: 1981, с. 35-42.

88. Armandillo Е., Spelding L.J. // J. Phys. D, 1975, v. 8, p. 21-23.

89. Manes K.R., Seguin H.J. Analysis о the C02 TEA laser // J. Appl. Phys., 1972, v. 43, p. 5073-5078.

90. Kline L.E., Denes L.J. Investigations of glow discharge formation with volume preionization // J. Appl. Phys., 1975, v. 46, №4, p. 1567-1574.

91. Борисов B.M., Сатов Ю.А., Судаков В.В. О влиянии предыонизации на разрядные характеристики СО?- лазера // Квантовая электроника, 1976, т. 3, №11, с.2460-2462.

92. Бычков Ю.П., Кудряшов В.П., Осипов В.В., Савин В.В. Влияние параметров разрядного контура на режим ввода энергии в газ при самостоятельном разряде // ПМТФ, 1976, № 2, с. 43-46.

93. Ernst G.J., Boer A.G. Kinetik modelling of a self- sustained TEA CO? laser // Opt. Comm., 1980, v.35, № 2, p.249-254.

94. LimbeekJ.W., Lucas J. Time-of-flight measurements of electron transport parameters in C02-N2-He gas mixtures // Solid- state and electron divices, 1978, v.2, № 5. p. 161-163.

95. Аверьянов H.E., Балошин Ю.А., Павлишин И.В. и др. Численное моделирование процессов в лазерных СОг системах // Труды 10-го Всесоюзного совещания по спектроскопии, Томск, 1981, с.17-21.

96. Lowke J.J., Phelps A.V., Irwin B.W. Predicted electron transport coefficient of C02-N2-He laser mixtures //J. Appl. Phys., 1973,v.44,№ 10, p.4664-46-71.

97. Ernst G.J. Boer A.G. Experimental determination of the electron-avalanche and the electron-ion recombination coefficient // Opt. Comm., 1980, v.34, № 2, p.235-239.

98. Горячкин Д.А., Иртуганов B.M., Калинин В.П. и др. СОг-лазеры атмосферного и сверхатмосферного давления с самостоятельным разрядом // Изв. АН СССР. Сер Физическая, 1982, т.46, № 10, с. 1877-1885.

99. Аверьянов Н.Е., Балошин Ю.А., Павлишин И.В. и др. Импульсные СОг-лазеры атмосферного давления / Приборы и устройства для исследования и контроля веществ, материалов, изделий. Тем. сб. Трудов ЛИТМО под ред. В.Н. Васильева Л., 1986

100. Судьенков Ю.В., Юревич В.И. Проходной измеритель энергии лазерного излучения // Тез. докладов 1-го Всесоюзного семинара "Метрология измерительных лазерных систем" , Волгоград, 1991, т.2, с.50.

101. Chang T.Y. Improved uniform field tltctrod profiles to TEA laser and high voltage applicanion // Rev. Sci. Instrum., 1973, v. 44, № 4, p. 405-407.

102. Ernst G.J. Uniform-field electrodes with minimum width // Jpt. Commun, 1984, v.49, № 4, p.275-277.

103. Балошин Ю.А., Котликов E.H., Павлишин И.В. и др. Разработка и исследование диэлектрических зеркал с повышенной лучевой прочности для импульсных СОг-лазеров// ЖТФ, 1987, т. 51, вып.11, 2261-2264.

104. Павлишин И.В., Балошин Ю.А. Электроразрядный импульсно-периодический газовый лазер // патент России № 2025009, приоритет от 18.11.91.

105. Балошин Ю.А., Павлишин И.В. Импульсно-периодический TEA СОг -лазер коротких импульсов с УФ предыонизацией // Оптический журнал, 1998, № 1, с. 72-74.

106. Балошин Ю.Л., Гаврилов С.Н., Павлишин И.В. Сенькин А.Ю. Малогабаритный импульсно-периодический СОг-лазер // Известия ВУЗов "Приборостроение". 1999, т.42, № 5-6, с. 57-61.

107. Технологические лазеры / Справочник под ред. Г.А. Абильсиитова М.: Машиностроение, 1991, т.2, 543 с.

108. Визирь В.А., Шубкин Н.г., Лаайер А.В. и др. Коммутатор сильноточных наносекундных импульсов на тиратронно-дроссельной сборке // ПТЭ, 1985, № 6,118.121.

109. Борисов В.М., Гладуш Г.Г., Степанов Ю.Ю. Фотоионизация в импульсном ССЪ лазере // Квант, электрон. 1977. - Т. 4, № 4. - с. 809-813.

110. Оришич A.M., Пономаренко А.Г., Солоухин Р.И. О предельных энергетических характеристиках импульсных ТЕА-лазеров на СО2 // Ж. Прикл. мех. и техн. физ,- 1975,- № 1.- с. 3-13.

111. О.Р. Judd, The Effect of Gas Mixture on the Electron Kinetics in the Electrical CO2 Gas Laser // J. of Applied Physics, 1974, vol. 45, pp. 4572-4575.

112. Веденов А.А., Гладуш Г.Г. Физические процессы при лазерной обработке материалов —М.: Энергоатомиздат, 1985, 208 с.

113. Stegvan R.L., Skhriempf J.T., Hettche R.L. Experimental atudies jf laser-supported absorption waves with 5 vs pulsed jf 10,6 pm radiation // J. Appl. Phys. 1973, v.44, p. 3675.

114. Жачулка Г.А. Лазерная обработка стекла М.: Сов. Рнадио, 1979, 139с.

115. Банас К.М., У >66 Р. Лазерная обработка материалов // ТИИЭР, 1982, т. 70, № 6, с, 35-40.

116. Григорьянц А.Г. Основы лазерной обработки материалов М.: Машиностроение, 1989, 300 с.

117. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных материалов // Л.: Машиностроение, 1986,248 с.

118. Лазерная и электронно- лучевая обработка материалов. Справочник // Рыкалин Н.Н., Углов А.А., Зуев И.В., и др., М.: Машиностроение, 1985, 496 с.132

119. Коваленко B.c. Романенко В.В., Олещук JI.M. Малоотходные процессы резки лучом лазера // Киев: Техника, 1987, 112 с.

120. Балошин Ю.А., Гаврилов С.Н., Павлишин И.В. Сенькин А.Ю. Исследование возможностей использования импульсно-периодического TEA СОг лазера для обработки хрупких диэлектриков с низкой теплопроводностью // Оптический журнал, 1995, № 8, с. 28-30.

121. Alberti P.W. The complication of CO2 laser surgery in otolarigology // Acta oto-laring (Stockh) 1981, v. 91, № 5-6, p. 375-381.

122. Чирешкин Д.Г, Дунаевская A.M., Гимэн Г.Э. Лазерная эндоскопическая хирургия верхних дыхательных путей // М.: Медицина 1990, с.51-56.

123. Применение лазеров в хирургии и медицине / под ред. O.K. Скобелкина -М., 1988. ч. 2, 326 с.

124. Черняков Г.М., Балин В.Н., Павлишин И.В. и др. Динамика репаративного процесса при диссекции мягких тканей с помощью импульсного СО2 лазера // Тез. докл. Международной конф. «Оптика лазеров», С- Петербурт, 1993, с. 17-19.